DE2322804B2 - Interferometersystem zum messen von abstandsaenderungen zwischen zwei bauteilen einer vorrichtung - Google Patents

Description

ίο Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf ein Interferometersystem gemäß dem Oberbegriff des Anspruchs 1.

Ein derartiges Interferometersystem ist in dem älteren Patent P 2201 194 erläutert und dient zur Messung kleiner PosiMonsänderungen in axialer Richtung, beispielsweise zwischen dem Werkzeughalter und der Leitspindel einer Werkzeugmaschine, sowie zur Messung von Nickbewegungen, d. h. Drehungen um die zur Hauptachse rechtwinklige Horizontalachse und zur Messung von Schlingerbewegungen, d. h. Drehungen um die zur Hauptachse rechtwinklige Vertilg a !achse.

Bei kleinen Werkzeugen kann ein Richtlineal verwendet werden, um die beiden seitlichen Verschiebungen zu messen, und zwar dadurch, daß Änderungen in der Länge eines Indikators zwischen dem Richtlineal und dem Maschinenelement beobachtet werden, wenn sich der Indikator längs des Richtlineals bewegt. Dies geht bei kurzen Maschinenelementen bis etwa 60 cm einigermaßen gut. Wenn die axiale Länge jedoch größer wird, werden auch die Abmessungen und das Gewicht des Richtlineals größer, und dieses wird sperrig und schwierig zu handhaben. Außerdem verursachen Wärmeeinflüsse Fehler bei Richtlineal-Messungen. Zur Messung der Geradlinigkeit sind auch mit Fernrohren arbeitende Techniken eingesetzt worden. Hierzu sind jedoch eine präzise optische Ausrichtung und eine visuelle Beobachtung erforderlich, und das Auflösungsvermögen nimmt mit der Entfernung ab.

Bei der derzeit am meisten gebräuchlichen Methode wird ein Zentrierdetektor eingesetzt, der einen Laser enthält, welcher einen Lichtstrahl parallel zur Hauptachse der Bewegung des Maschinenelements aussendet. Vier Photodetektoren sind auf dem beweglichen Maschinenelement montiert und in vier Quadranten um die Mittelachse des Laserstrahls herum mit Abstand voneinander angeordnet. Ist die Achse des Laserstrahls mit dem Mittelpunkt der Quadrantenanordnung der Photodetektoren ausgerichtet, so treffen auf den vier Photodetektoren gleiche Anteile des Lichtstrahls auf und erzeugen ein ausgeglichenes Ausgangssignal. Wenn sich das Maschinenelement und die zugeordnete Vier-Quadranten-Photodetektoranordnung in axialer Richtung bewegen, isi die Ungleichheit der Ausgangssignale der vier Photodetektorschaltungen ein Maß für die horizontale oder vertikale Verschiebung der Achse des sich bewegenden Elements. Obwohl solche Zcntrierde.tektorer über größere Entfernungen wirksam sind, tritt bei ihnen das Problem auf, daß der Laserstrahl dazu neigt zu wandern und sich um die normale Strahlachsc zi drehen, was zu einer Unsymmetrie in den Ausgangssignalen der Photodetektoren führt und irrigerweise al· Ausrichtungsabweichung abgelesen wird.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Interferometersystem der eingangs genannten Art so zi verbessern, daß mit relativ geringem zusätzlichei Aul wand und hoher (ienauigkeit horizontale und ver

tikale seitliche Verschiebungen gegenüber der Hauptachse gernessen werden können.

Die Lösung dieser Aufgabe ist im Anspruch 1 gekennzeichnet.

Auf Grund der unterschiedlichen Brechungsindizes des Wollaston-Prismas für die verschiedenen Polarisationsebenen der beiden Strahlkomponenten werden diese in entgegengesetzt gleiche kleine Winkel gegenüber der Einfallsrichtung divergiert und unter einem Winkel von 90° auf die exakt plangeschliffenen Reflektoren am entfernten Bauteil gerichtet und nach der Reflexion im Wollaston-Prisma zur Interferenz gebracht Bei einer Relativbewegung zwischen den zwei Reflektoren und dem Wollaston-Prisma rechtwinklig zur Längsachse und zur Scheitellinie der Reflektoren werden die optischen Weglängen der getrennten Strahlkomponenten verschieden geändert, und diese Weglängendifferenz Tührt zu einer entsprechenden Änderung der entstehenden Interferenzstreifen, welche wiederum signifikant für die zu bestimmende relative Positionsänderung beider Bauteile ist. Insbesondere für inehrachsige Werkzeugmaschinen oder optische Präzisionssysteme können daher nunmehr genaue Koordinatenmessungen vorgenommen werden, wobei entweder das Wollaston-Prisma oder das Reflektorpaar auf dem beweglichen Bauteil angeordnet sein können oder beide auf stationären Bauteilen angeordnet sind, deren Relativbewegung auf Grund thermischer Dehnungen oder Erschütterungen gemessen werden soll.

Wie sich nachweisen läßt, haben dabei kleine Translations- oder Rotationsbewegungen der Lichtquelle in irgendeiner Richtung oder Relativbewegungen zwischen dem Wollaston-Prisma und dem Reflektor entlang der Längsachse oder seitlich zu dieser keinen Einfluß auf die Meßgenauigkeit. Atmosphärische Störungen zwischen der Lichtquelle und dem Wollaston-Prisma beeinträchtigen die Messung ebenfalls nicht, und derartige Störungen zwischen Wollaston-Prisma und Reflektoren beeinträchtigen das Meßergebnis nur wenig, da nicht die absoluten Weglängenänderungen, sondern deren Differenzen ermittelt werden.

Eine weitere Verbesserung der Meßgenauigkeit wird gemäß der bevorzugten Ausführungsform nach Anspruch 2 erreicht, da die Verwendung eines Lichtstrahls mit zwei Frequenzen die Verwendung von Wechselspannungsverstärkern ermöglicht und somit die bei Gleichstrornverstiirkern bekannten Dril'tprobleme vermeidet.

Durch die Verwendung zweier Wollaston-Prismcn und zweier Reflektorpaare symmetrisch zur Hauptachse gemäß Anspruch 3 kann das Interferometcrsystem vorteilhaft derart ausgestaltet werden, daß es auch zur Messung der Rotationsbewegung um die Hauptachse verwendet werden kann.

Im folgenden werden bevorzugte Ausführungsbeispiele der Erfindung an Hand der Zeichnung erläutert; es stellen dar:

F-*ig. 1 schematise'! ein Intcrferometersystem zur Messung von seitlichen Verschiebungen rechtwinklig zur Längsachse und zum Scheitel der Reflektoren (Z-Richtung);

Fig. 2 schematisch die sich bei einer seitlichen Verschiebung zwischen dem Wollaston-Prisma und dem Reflektorenpaar rechtwinklig zur Längsachse und zum Scheitel des Reflektorenpaares bei der Anordnunggemäß Fig. 1 ergebenden geometrischen Änderungen;

Fig. 3 und 4 schematisch Ausführungsformen des Interferometersystems zur Messung von seitlichen Verschiebungen in V-Richtung rechtwinklig zur Längsachse (in Draufsicht);

Fig. 5 A und 5B schematisch bzw. perspektivisch eine Verdopplung des Interferometersystems gemäß Fig. 1 zur Messung von relativen Rollbewegungen beider Bauteile um die Längsachse.

ίο Das in Fig. 1 dargestellte Interferometersystem enthält als Lichtquelle 11 einen Gaslaser, der einen Lichtstrahl mit zwei Frequenzkomponenten /, und f₂ aussendet. Der Strahl wird durch eine Viertelwellenplatte 12 und eine Halbwellenplatte 13 geleitet, wel- ehe dessen Frequenzkomponenten in orthogonalen Ebenen linear polarisieren. In vorliegendem Beispiel ist /, schematisch als in der Zeichenebene polarisiert dargestellt, während /₂ senkrecht zu dieser polarisiert ist. Dieser Strahl wird auf einen Strahlspalter 14 gerichtet, von dem aus ein Teil des Strahls mit zwei Frequenzkomponenten als Referenzsignal zu einem Referenz-Photodetektor 15 geleitet wird. Das Wechselstromausgangssignal dieses Referenz-Photodetektors IS entspricht der Frequenzdifferenz /, - /₂ und wird einem der Eingänge eines reversiblen Zählers 16 zugeführt. Der andere Teil 17 des Strahls wird durch den Strahlspalter 14 hindurchgelassen.

Das Interferometer enthält außerdem einen ebenfalls nichtpolarisierenden Strahlspalter 21, einen Drehspiegel 22, ein Wollaston-Prisma 23 und ein Paar ebener Reflektoren in der Form von Spiegeln 24 und 25. Im speziellen Ausführungsbeispiel sind die beiden Spiegel 24 und 25 ortsfest an einer Leitspindel 26 einer Werkzeugmaschine vom Drehbanktyp befestigt, während das Wollaston-Prisma 23 fest auf einem Werkzeughalter 27 montiert ist, der seinerseits auf einem Schlitten 28 befestigt ist, welcher längs des Maschinenbettes 29 in axialer oder A-Richtung beweglich ist. Die Ebene jedes Spiegels ist relativ zur Spindelebene leicht geneigt, wobei der Scheitel der beiden Spiegel in der horizontalen Mittelachse der Spindel liegt. Mit dieser Anordnung kann, wenn die Spindel 26 und die Spiegel 24 und 25 ortsfest gehalten werden, die vertikale Verschiebungsbewegung des Werkzeughalters 27 relativ zur Achse durch die Spindelmitte gemessen werden.

Der durch den Strahlteiler 21 hindurchgehende Strahl 17 tritt in das Wollaston-Prisma 23 ein, welches so mit dem Strahl ausgerichtet ist, daß die eine Frequenz, beispielsweise /,, der ordentliche Strahl und die andere Frequenz, beispielsweise /_:, der außerordentliche Strahl wird. Das Wollaston-Prisma trennt dann diese beiden Strahlkomponenten, und diese treten aus dem Prisma unter vom ursprünglichen Strahl ein wenig abweichenden Winkeln aus. Die beiden Strahlkomponenten sind dabei gleichen aber entgegengesetzten Ablenkungen in der Vertikalebene ausgesetzt. Die Strahlkomponente mit der Frequenz /, gelangt zum Spiegel 24, wo sie zum Wollaston-Prisma reflektiert wird, während die Strahlkomponente mit der Frequenz /₂ zum Spiegel 2S gelangt und ebenfalls zurück zum Wollaston-Prisma reflektiert wird. Die beiden Strahlkomponenten werden im Prisma 23 wiedervereinigt, und der wiedervereinigte Strahl wird dann durch den Strahlspalter 21 teilweise auf den Drehspiegel 22 reflektiert, welcher den Strahl zurück aiii einen Weg parallel zum ursprünglichen Strahl auf einen Dopplcr-Photodetektor 21 des Sensor-Systems

des Interferometers richtet.

Zu Beginn der Bewegung des Schlittens 28 ist das Prisma 23 so ausgerichtet, daß der Scheitel der beiden Spiegel 24 und 25 mit dem ursprünglichen Strahl fluchtet und daß die optischen Weglängen der beiden Strahlkomponenten zwischen dem Prisma 23 und den zugeordneten Spiegeln 24 bzw. 25 gleich sind. Dieser Zustand ist in Fig. 2 durch die mit durchgezogenen Linien gezeichneten Spiegel 24 und 25 dargestellt. In dieser Anordnung und bei ortfestem Werkzeughalter 27 gelangt der zusammengesetzte Strahl zurück zum Doppler-Photodetektor 31, dessen Ausgangssignal (/,-/₂) dem zweiten Eingang des reversiblen Zählers lözugeführtwird. Der Zähler gibt an seinem Ausgang eine Zahl ab, die der Streifenzahl zwischen Doppier-Eingang und Referenz-Eingang in diesem anfänglich ausgerichteten Zustand entspricht.

Wenn Schlitten 28 und Werkzeughalter 27 relativ zur Spindel 26 bewegt werden, ändern sich die Weglängen der Strahlkomponenten mit den Frequenzen /, und f₂ zwischen dem Prisma 23 und den beiden Spiegeln 24 und 25, so daß der reflektierte Strahl Komponenten mit den Frequenzen /, ± Δ /, und /₂ ± Of₂ hat. Solange jedoch die Achse des ursprünglichen Strahls durch das Wollaston-Prisma mit dem Scheitel der Spiegel, d. h. mit der Achse durch die Spindel, ausgerichtet bleibt, ändern sich die optischen Weglängen der Strahl komponenten in gleicher Weise, und die Streifenzahl ändert sich nicht. Wenn sich das Prisma 23 jedoch in einer Richtung senkrecht zur Hauptachse um den Abstand D verschiebt, wird die Weglänge der Strahlkomponente mit der Frequenz /, um die Strecke d_] verkürzt, während die Weglänge der Strahlkomponente mit der Frequenz /₂ um O₂ verlängert wird. Der rückkehrende Strahl besteht nun aus Komponenten mit den Frequenzen /, + Af_] und /₂ — Af₂, und der Zähler zeigt die Änderung der Differenz der optischen Wege von O₁ + O₂ an, wobei ή, = ö₂ = D sin X ⁴V₂. Das Interferometer zeigt die Abstandsänderung D als 2 D X sin */, an. Macht man 2 X sin */₂ gleich 0,1 oder 0,01, so zeigt das Interferometer D unmittelbar in genormten Längeneinheiten an.

In Fig. 3 ist ein Interferometersystem ähnlich demjenigen gemäß Fig. 1 dargestellt, welches so angeordnet, daß die Geradlinigkeit in V-Richtung rechtwinklig zur Hauptachse der Spindel gemessen werden kann, wenn der Schlitten 28 sich längs der A'-Richtung bewegt. Die Vorrichtung ist in Draufsicht dargestellt. Die beider, ebenen Spiegel 24 und 25 sind gegenüber ihrer Anordnung in Fig. ! um 90° verdreht, und das Wollaston-Prisma ist so orientiert, daß die beiden Strahlkomponenten mit den Frequenzen /, und /₂ in der Horizontalebene (Zeichenebene) abgelenkt und auf die beiden Spiegel 24 und 25 gerichtet werden. Der Rest des Systems mit dem Strahlspalter 21 und dem Drehspiegel 22 (in dieser Ansicht unter dem Strahlspalt^r 21) ist identisch mit dem in Fig. 1, und jede Abweichung des Werkzeughalters 27 in V-Richtung von der Hauptachse führt zu einer entsprechenden Änderung in der Streifenzahl.

Die Anordnung nach Fig. 4 veranschaulicht eine Abwandlung des Systems gemäß Fig. 3, mit der die Verkantung des Werkzeughalters längs der V-Richtung rechtwinklig zur Hauptachse in Jf-Richtung gemessen werden kann. Die Spiegel 24 und 25 bleiben unverändert, und der Werkzeughalter 27 ist längs des Schlittens 28 hinterschliffen. Das Wollaston-Prisma ist gegenüber seiner Position in Fig. 1 um 90" ver dreht. Der Schlitten 28 ist auf dem Maschinenbett 2⁽ festgelegt. Die Laser- und Sensoreinrichtungen befin den sich in einer zu ihrer Position in Fig. 3 rechtwink !igen Lage, so daß der ursprüngliche Strahl und de zurückkehrende Strahl in einer zur Spindelachsi rechtwinkligen Richtung durch das Wollaston-Prism; 23geleitet werden. Ein Pentaprisma 32 ist im Schnitt punkt von Hauplspindelachse und V-Gleitachse an

ίο geordnet. Die Strahlkomponenten mit den l-requen zen /, und /₂ werden durch das Prisma 23 aufgespaltei und folgen verschiedenen, jedoch gleich langen We gen durch das Pentaprisma 32 bis zu den zugeordnetei Spiegeln 24 und 25 und wieder zurück. Solange siel der Schlitten 27 längs der V-Achse genau rechtwinklij zur .Y-Achse bewegt, bleiben die optischen Wege bei der Strahlkomponenten zu den Spiegeln einande gleich, und das System mißt keine Änderung in de Streifenzahl. Wenn sich jedoch Schlitten 27 unc

jo Prisma 23 aus der V'-Achse herausbewegen, änden sich die optischen Weglängen beider Strahlkompo nenten, was als Änderung der Streifenzahl gemessei wird, die in unmittelbarer Beziehung zur Abweichung von der Rechtwinkligkeit steht.

Wenngleich in den oben beschriebenen Systemet die beiden Spiegel ortsfest gehalten wurden und da: Wollaston-Prisma sich relativ zu diesen auf dem be weglichen Maschinenelement bewegte, ist es für bestimmte Anwendungslälle wünschenswert, das WoI laston-Prisma ortsfest zu halten und die Spiegel au: dem beweglichen Element anzubringen. Beispielsweise ist bei der Messung der Cieradlinigkeit der X-V-Stufe in einer Fräsmaschine das Wollaston-Prismi dort befestigt, wo das Schneidewerkzeug normalerweise gehalten wird, und die Anordnung mit den bei den Spiegeln ist auf der jeweils beweglichen Platte dem A"-Abschnitt oder dem Y- Abschnitt angeordnet der gemessen werden soll. Das System arbeitet wie oben beschrieben und mißt die Geradlinigkeit der Bewegung des Stufenabschnitts relativ zur Werkzeugachse.

In Fig. 5 A und 5 B ist ein Teil eines doppelten Interferometersystems dargestellt, mit welchem ein« begrenzte Rotations- oder Rollbewegung eines Gegenstandes 41 um eine Hauptachse 42 gemessen werden kann. Zwei Spiegel 43, 44 sind fest auf dem Gegenstand 41 montiert und drehen sich mit diesem urr die Hauptachse 42. Daher drehen sich, wenn die Oberteile der beiden Spiegel 43 und 44 sich in einei Richtung drehen, die Unterteile der beiden Spiegel 43 und 44 in der entgegengesetzten Richtung.

Der von der Lasereinheit kommende Strahl 45 mil zwei rechtwinklig zueinander und linear polarisierter Strahlkomponenten mit Frequenzen /, und f₂ wird durch eine Optik 46, 46' in zwei getrennte parallele Teilstrahlen 47 und 48 aufgespalten, von denen jedei durch einen zugeordneten Strahlspalter 21 bzw. 21' hindurch und dann in ein zugeordnetes Wollaston-Prisma 23, 23' gelangt. In der Darstellung nach Fig. 5 A und 5B gelangt der obere Teüstrahl in das Wollaston-Prisma 23 und der untere, hierzu parallele Teilstrahl in ein Wollaston-Prisma 23'. Die beiden Woliaston-Prismen sind gleich weit von der Hauptachse 42 des Gegenstands 41 entfernt. Das obere Wollaston-Prisma ist so orientiert, daß der obere Teilstrahl in einer oberen Horizontalebene in die gewünschten Strahlkomponenten zerlegt wird, die auf die Oberteile der beiden Spiegel 43 bzw. 44 in vorbe-

stiinmtem gleichem Abstand von der Achse gerichtet werden. Das untere Wollaston-Prisma 23 ist so orientiert, daß es den unteren Teilstrahl in die erwünschten Strahlkomponenten in einer unteren 1 lorizontalebene /erlegt und auf die Unterteile der beiden Spiegel 43 bzw. 44 im gleichen Abstand von der Hauptachse richtet, wie die beiden oberen Teilstrahlen.

Die beiden Strahlkomponenten mit den Frequenzen /', und /, in der oberen Ebene werden von den Spiegeln 43 und 44 zurück zum oberen Prisma 23 reflektiert, wiedervereinigt und dann zurück zum Strahlspalter 21 und zum Drehspiegel 22 geleitet, um den wiedervereinigten Strahl auf einen ersten Doppler-Photodetektor 31 in der Sensoreinheit zu richten. Die beiden Strahlkomponenten in der unteren Ebene werden von den Spiegeln 43 und 44 zurück zum unteren Prisma 23 reflektiert, wiedervereinigt und über den unteren Strahlspalter 21' und den Drehspiegel 22' einem zweiten Doppler-Photodetektor 49 in der Sensoreneinheit zugeführt. Die beiden Photodetektoren 31 und 49 arbeiten als Doppler-Photodetektoren, und ihre Frequem'.-Ausgangssignale werden voneinander subtrahiert, um eine Streifenzahl zu erhalten, die von der Rollbewegung des Gegenstandes 41 wahrend der relativen Axialbewegung längs der Achse 42 zwischen den Spiegeln 43 und 44 einerseits und den beiden Wollaston-Prismen 23 und 23' andererseits abhängt. Eine seitliche Bewegung, d. h. eine Bewegung sowohl der Ober- als auch der Unterteile der Spiegel in gleicher Richtung führt zu einer Auslöschung der Streifen/.ahl, so daß nur eine Drehbewegung gemessen wird.

Obwohl das zwei Planspiegel benutzende Interferonietersystem wegen seiner Einfachheit zu bevorzugen ist, können auch andere optische Systeme verwendet werden, beispielsweise können die beiden Spiegel durch eine Würfelecke ersetzt werden, und der Ausgang des Wollaslon-Prismas kann durch einen ein Linsen-Paar enthaltenden Strahlerweiterer geleitet werden und in die Würfelecke gerichtet werden. Nach Reflexion von der Würfclecke gelangen die beiden Strahlkomponenten mit den Frequenzen J₁ und j. durch das Linsensystem in das Wollaston-Prisma zurück, wo sie wiedervereinigt werden. Solange der Scheitel der Würfelecke auf der Hauptachse bleibt, wenn sich die Würfelecke längs dieser Achse bewegt, wird keine Streilenzahl ermittelt. Sollte sich der Seheitel aus der Achse heraus bewegen, ändert sich die Lange der optischen Wege beider Strahlkomponenten, und die Streifenzahl wird wie oben beschrieben ermittelt.

Bei einer anderen Ausführungsform können die Planspiegel durch Porro-Prismen ersetzt werden. In einem solchen Fall kann die Anordnung aus Strahlteiler 21 und Drehspiegel 22 weggelassen werden. Porro-Prismen sind jedoch relativ teuer, weshalb die Lösung mit den Planspiegeln bevorzugt wird.

Es versteht sich, daß der dargestellte Zwei-Frequenz-Laser eine bevorzugte Ausführungslorm der Erfindung darstellt. Andere monochromatische Quellen mit Einrichtungen zur Erzeugung von zwei verschieden polarisierten Strahlen, die den zwei Meßwegen zugeordnet sind, können ebenfalls eingesetzt werden.

Hierzu 2 Blatt Zeichnungen

409 510/253

Claims (3)

Patentansprüche:

1. Interierometersystem zum Messen von Abstandsänderungen zwischen zwei Bauteilen einer Vorrichtung, beispielsweise zwischen Spindel und Werkzeughalter einer Drehbank, mit einer Lichtquelle zum Erzeugen eines Hauptlichtstrahles und mit einer im Weg des Hauptlichtstrahls angeordneten Polarisationseinrichtung, welche einen Lichtstrahl mit zwei orthogonal polarisierten Strahlkomponenten abgibt, mit einer Strahlspalt- und Reflektoreinrichtung, welche einen Teil des Lichtstrahls auf einen Referenzdetektor richtet und einen anderen Teil d^s Lichtstrahls mitteis eines an dem einen Bauteil befestigten Strahlspalters zerlegt und nach der Vereinigung mit einem Anteil, der von einem art dem anderen Bauteil befestigten Reflektorsystem reflektiert ist, auf einen Doppler-Photodetektor richtet, und einer den beiden PhotodeteiUoren nachgeschalteten reversiblen Zähleinrichtung, dadurch gekennzeichnet, daß der an dem einen Bauteil (27) befestigte Strahlspalter durch ein Woliaston-Prisma (23) od. dgl. gebildet ist, welches die beiden orthogonal polarisierten Strahlkomponenten (/,, /₂) des Hauptlichtstrahls (17) voneinander trennt und gegenüber dessen Einfallsrichtung um entgegengesetzt gleiche kleine Winkel ablenkt und rechtwinklig auf zwei an dem anderen Bauteil (26) symmetrisch zur Hauptachse angeordnete ebene Reflektoren (24, 25) richtet, deren spitzer Winkel gleich dem Divergenzwinkel der auf diese einfallenden Strahlkomponenten (/,, /₂) ist, von wo diese zum Woliaston-Prisma zurückreflektiert werden, in diesem interferieren und zu dem Doppler-Photodetektor (31) zwecks Erfassung von Änderungen der optischen Weglängen der beiden getrennten Strahlkomponenten (/,, /₂) gelangen.

2. Interierometersystem nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die orthogonal polarisierten, dem Woliaston-Prisma (23) zugeführten Strahlkomponenten des Lichtstrahls (17) zwei verschiedene Frequenzen (/,, /₂) haben, und das Woliaston-Prisma den Lichtstrahl in die eine Strahlkomponente mit der einen Frequenz (/,) und der ersten Polarisationsrichtung und die zweite Strahlkomponente mit der zweiten Frequenz (/,) und der zweiten Polnrisationsriehtung aufspaltet.

3. Interferometersystem nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Strahlspalt- und Reflektoreinrichtung derart ausgebildet ist, daß sie einen weiteren Teil (48) des Lichtstrahls (45) abspaltet und auf ein weiteres in gleicher Weise aufgebautes Wollaston-Prisma (23') richtet, auf dem anderen Bauteil (41) symmetrisch zur Hauptstrahlenachse (42) ein weiteres Paai von ebenen Reflektoren (43, 44) befestigt ist, welche jeweils entgegengesetzt gleiche kleine Winkel gegenüber den getrennt einfallenden Strahlkomponenten (/,, J₁) bilden und diese auf die beiden Wollaston-Prismen (23, 23') zurückreflektieren, st) daß zwei wiedervereinigte Lichtstrahlen gebildet werden, und die mit dem Doppler-Photodetektor (49) verbundene reversible Zähleinrichtung derart ausgebildet ist, daß sie aus der Differenz der Inteiierenzstreiien der beiden Strahlen die Rollbewegung um die Hauptstrahlachse (42) zwischen beiden Bauteilen (27,41) bestimmt.