DE2341359A1 - Aus einer mehrzahl von einfachen oder zusammengesetzten lambda/4-schichten bestehender reflexionsvermindernder belag - Google Patents

Aus einer mehrzahl von einfachen oder zusammengesetzten lambda/4-schichten bestehender reflexionsvermindernder belag

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DE2341359A1 DE19732341359 DE2341359A DE2341359A1 DE 2341359 A1 DE2341359 A1 DE 2341359A1 DE 19732341359 DE19732341359 DE 19732341359 DE 2341359 A DE2341359 A DE 2341359A DE 2341359 A1 DE2341359 A1 DE 2341359A1
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Description

BALZERS HOCHVAKUUM GMBH, Heiir-.ch-Rertz-S^r.ö, D 6 Frankfurt/M 90
Aus einer Mehrzahl von einfachen oder zusammengesetzten λ/4-Schichten bestehender reflex!onsvermindernder Belag
Erst in letzter Zeit ist es gelungen, praktisch herstellbare reflexionsvermindernde Schichtsysteme zu entwickeln, die nicht nur in einem verhältnismässig schmalen Wellenlängenbereieh sondern im ganzen sichtbaren Gebiet eine niedrige Reflexion aufweisen (A. Musset and A. Thelen, Multilayer Antireflection Coatings, Progress in Optics, Vol. 8, New York, 1970). Trotz der grossen Wirksamkeit dieser Systeme wäre oft eine noch grössere, über das sichtbare Spektralgebiet hinausreichende Bandbreite erwünscht. Z.B. gibt es optische Linsensysteme, die nicht nur für die Abbildung im sichtbaren Bereich sondern gleichzeitig auch für die Abbildung im nahen Infrarot benutzt werden sollen. Eine normale Mehrfachsieht-Reflexionsverminderung bekannter Art wäre
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für diese Systeme sogar noch nachteiliger als überhaupt keine Reflexionsverminderung, da die Reflexion dieser bekannten Schichtsysteme äusserhalb des Nutzbereiches sehr stark ansteigt.
Weiterhin wäre es selbst für die Reflexionsverminderung im sichtbaren Bereich oft erwünscht, über eine grössere Bandbreite zu verfugen. Denn da für alle Interferenzsysteme Dickenänderungen mit Wellenlängenverschiebungen und Aenderungen des Einfallswinkels äquivalent sind, könnte man mit breitbandigeren Systemen die Dickentoleranzen bei der Herstellung vergrössern, diese also verbilligen, oder eine grössere Variation des Einfallswinkels zulassen und damit z.B. optische Teile mit stärkerer Krümmung immer noch zufriedenstellend entspiegeln.
Die bisher bekannten, aus mehreren Schichten bestehenden Breitbandsysteme für Reflexionsverminderungen lassen sich im allgemeinen auf Systeme mit gleichdicken Schichten zurückführen und können dann als aus zwei Gruppen von Schichten aufgebaut aufgefasst werden. Vom Substrat aus gezählt, besteht eine erste Gruppe aus Schichten mit ansteigendem Brechungsindex, während eine darauffolgende zvieite Schichtengruppe aus Schichten mit abfallender Brechzahl besteht. Unter "ansteigender" bzw. "abnehmender" Brechzahl oder Brechungsindex wird hier und im folgenden verstanden, dass innerhalb der so gekennzeichneten Gruppe die aufeinanderfolgenden Schichten einen zunehmend höheren bzw. niedrigeren Brechungsindex besitzen. Bei der vorerwähnten ersten
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Schichtengruppe mit ansteigendem Brechungsindex besitzt also die erste Schicht einen bestimmten Brechungsindex, die zweite Schicht einen höheren Brechungsindex als die erste Schicht und - sofern die Gruppe drei oder mehr Schichten umfasst die dritte und jede folgende Schicht einen höheren Brechungsindex als die jeweils vorangehende Schicht, bis die Gruppe abgeschlossen ist. Jedoch wurden nach dem bisherigen Stand der Technik bei reflesöonsvermindernden Belägen mehr als zwei Einzelschichten in jeder Gruppe kaum verwendet.
Für die Schichtgruppe mit abfallendem Brechungsindex gelten die vorstehenden Ausführungen analog.
Zum besseren Verständnis der Erfindung werde zunächst der typische Aufbau eines bekannten Systems für eine brei !,bandige Reflexionsverminderung näher erläutert. (Alfred Thelen, Three Layer Antireflection Coating, USP 3 I85 020)*
Die Figur 1 zeigt schematisch ein derartiges bekanntes reflexionsverminderndes Schichtsystem zusammen mit der zugehörigen Reflexionskurve. Es besteht aus einer auf einer Unterlage mit dem Brechungsindex 1,52 (Glas) aufgebrachten ersten Schichtengruppe aus zwei Schichten mit zunehmendem Brechungsindex von 1,62 und 2,10. Darauf folgt eine zweite Gruppe, die ebenfalls aus zwei Schichten besteht, mit den innerhalb der Gruppe abfallenden Brechwerten 2,10 und 1,38. Letztere Schicht grenzt an Luft mit dem Brechwert 1 an.
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Jede einzelne der genannten Schichten besitzt eine optische Schichtdicke von λ/4, bezogen auf eine Wellenlänge von 520 nm.
Wie aus der in Figur 1 wiedergegebenen Reflexionskurve ersichtlich ist, steigt bei einem derartigen Mehrschichtsystem die Reflexion unterhalb von ca. 450 nm und oberhalb von ca. 650 nm wieder sehr steil an und erreicht bei etwa 400 bzw. 700 nm bereits den Wert von· 1 %t was in Anbetracht dermit diesem System eigentlich angestrebten sehr geringen Reflexion (in Mittel 0,1 ^) im Arbeitsbereich oft unzulässig erscheint.
Die Erfindung hat sich nun zum Ziel gesetzt, ein neues Mehrschichtsystem für einen reflexionsvermindernden Belag mit vergrössertem Nutzbereich anzugeben.
Der erfindungsgemässe reflexionsvermindernde Belag besteht aus einer Mehrzahl von einfachen oder zusammengesetzten λ/4-Schichten und ist dadurch gekennzeichnet, dass - in der Reihenfolge der Aufzählung vom Substrat her beginnend - auf diesemdrei Gruppen von wenigstens je zwei λ/4-Schichten aufgebracht sind, wobei die aufeinanderfolgenden Schichten der ersten Gruppe einen unterhalb des Brechwertes des Substrates abfallenden, die Schichten der zweiten Gruppe einen wieder ansteigenden und die Schichten der dritten Gruppe einen bis wieder unterhalb des Brechwertes des Substrates abfallenden Brechwert besitzen.
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Ueberrasehenderweise hat sich gezeigt, dass sich die Breitbandigkeit reflexionsvermindernder Beläge wesentlich steigern lässt, wenn man auf die angegebene Weise zwischen dem Substrat und der bei bekannten Systemen angewendeten ersten Schiehtengruppe mit ansteigendem Brechungsindex eine weitere Gruppe von Schichten mit abfallendem Brechungsindex einfügt. Unter einer λ/4-Schicht ist im Rahmen dieser Beschreibung in bekannter Weise eine Schicht zu verstehen, für welche das Produkt aus Schichtdicke χ Brechungsindex (die sogenannte optische Schichtdicke) gleich ist einem Viertel der Bezugswellenlänge des Systems. Die Bezugswellenlänge des Systems ist diejenige Wellenlänge, deren zugehörige Schwingungszahl den Mittelwert der Schwingungszahlen der beiden Grenzen des Nutzbereiches (der Planken, an denen die Reflexion wieder steil ansteigt) darstellt. Sie ist gleich der Schwerpunktswellenlänge für welche das System konstruiert wird.
Zum besseren Verständnis werden im folgenden mehrere Ausführungsbeispiele der Erfindung näher beschrieben.
Die Figur 2 zeigt ein erfindungsgemässes Schichtsystem, welches aus sechs Einzelschichten besteht. Auf der Unterlage mit dem Brechungsindex 1,52 sind als erste Schichtengruppe zwei Schichten mit abnehmendem Brechungsindex, nämlich Schichten mit n=l,44 und n=l,3>8 aufgebracht. Darauf folgt die zweite Schichtengruppe mit den aufsteigenden Brechungsindizes 1,62 und 2,o8 und schliesslich die dritte Gruppe mit wieder abnehmenden Brechungsindizes
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von 1,98 und 1,38. Das System ist für eine' Bezugswellenlänge von 500 nra konstruiert, Jede Einzelschicht besitzt dementsprechend eine optische Dicke von 1/4 der angegebenen Wellenlänge (also 125 nm).
Mit diesem System wird die in Figur 2 ebenfalls dargestellte Reflexionsverminderung auf dem angegebenen Glassubstrat erzielt. Für eine mittlere Reflexion von 0,25 % kann daraus eine Nutzbreite von etwa 380 bis 750 nm abgelesen werden, was bereits einen nennenswerten Fortschritt darstellt z.B. für die Anwendung auf Linsensysteme für farbgetreue Abbildung.
In analoger Darstellung zeigt die Figur 3 ein weiteres Beispiel der Erfindung mit einer ersten Schichtengruppe bestehend aus zwei λ/4-Schichten, einer zweiten Schichtengruppe aus drei λ/4-Schichten und einer dritten Schichtengruppe mit wiederum zwei λ/4-Schiehten, sodass dieses Schichtsystem insgesamt 7 Einzelsehiehten umfasst, von denen jede eine optische Dicke von 125 nm aufweist, sodass der gesamte Belag also eine optische Dicke von 875 nm besitzt.
Die erste Schichtengruppe besteht in diesem Falle aus den Schichten mit den Brechungsindizes 1,45 und 1,38, die zweite Gruppe aus den drei aufeinanderfolgenden Schichten mit den Brechungsindizes 1,43, 1,71 und 1,95 und die dritte Gruppe schliesslich aus den beiden Schichten mit den Brechungsindizes l,8l und 1,38.
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Dieses System ergibt, wie die zugehörige Reflexionskurve erkennen lässt, eine weitere Verbreiterung des Nutzbereiches, der jetzt von etwa 350 bis 900 nm reicht, wobei allerdings der Mittelwert der Reflexion im genannten Bereich mit etwa 0,7 % schon verhältnismässig hoch liegt. Trotzdem ist ein Fortschritt gegeben insofern, als mit diesem System in einem bisher nicht zu verwirklichenden breiten Nutzbereich eine Reflexionsverminderung erzielt wird, dieses System also beispielsweise für den Fall einer für sichtbares Lieht und Infrarot zu benutzenden Optik brauchbar ist, wogegen das etwa in Figur 1 beschriebene Schichtsystem trotz seiner wesentlich geringeren mittleren Reflexion im Nutzbereieh dafür nicht verwendet werden könnte.
Man kann bekanntlich jede X/^-Schicht durch eine aus mehreren Teilschichten aufgebaute Schichtkombination wirkungsmässig ersetzen. Eine solche Ersatzkombination wird im folgenden als zusammengesetzte λ/4-Schicht bezeichnet.
Insbesondere ist es bekannt, dass man jede nicht absorbierende Schicht durch eine symmetrische Kombination von drei Einzelschichten ersetzen kann (L.I. Epstein, The Design of Optical Filters, Journ. Opt. Soc. Am. 42, 8o6 (1952)). Dies kann ausgenutzt werden, um von einem bekannten System ausgehend gleichwertige Systeme mit günstigeren Brechzahlkombinationen abzuleiten (P.H. Berning, Use of Equivalent Films in the Design of Infrared Multilayer Antireflection Coatings, Journ. Opt. Soc. Am. 52, 431, (1962))'. Wendet man diese bekannte Methode
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des Ersatzes homogener λ/4-Schichten eines Systems durch zusammengesetzte λ/4-Sehichten bei vorliegender Erfindung an, gelangt man zu weiteren Ausführungsbeispielen. Obwohl ein solches abgeleitetes Schichtsystem mehr Schichten aufweist als das ihm zugrunde liegende Primärsystem, ist es doch oft einfacher herzustellen, dann nämlich, wenn auf diese Weise mit verfügbaren und erprobten Schichtmaterialien auszukommen ist, wogegen für das primäre System unter Umständen Schichtmaterialien mit einem Brechungsindex erforderlich wären, die nicht oder nur in unbefriedigender Qualität zur Verfügung stehen. Nach dem heutigen Stand der Technik gibt es nämlich nur eine begrenzte Auswahl an Schichtmaterialien für verschiedene Brechungsindizes. Der Ersatz von Einzelschichten durch Schichtkombinationen, also die Verwendung zusammengesetzter Schichten, stellt manchmal die praktischere Möglichkeit zur Verwirklichung eines erfindungsgemässen Systems dar.
Die Figur 4 zeigt ein solches äquivalentes Sehiehtsystem, das aus demjenigen der Figur 2 durch Ersatz einzelner λ/4-Schichten durch zusammengesetzte λ/4-Schichten abgeleitet wurde, indem (vom Substrat aus gezählt) die fünfte Schicht mit dem Brechungsindex 1,98 durch eine symmetrische Kombination von drei Schichten ersetzt wurde, bestehend aus einer mittleren Teilschicht von 37/4 nm optischer Dicke und mit dem Brechungsindex 1,38 und zwei anliegenden Teilschichten von 230/4 nm optischer Dicke und
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mit dem Brechungsindex 2,08. Es ergibt sich dann, dass die eine der genannten Teilschichten mit dem Brechungsindex 2,o8 zusammen mit der angrenzenden (vom Substrat aus gezählt vierten) Schicht des Primärsystems, welche eine Dicke von 500/4 nm und ebenfalls einen Brechwert von 2,o8 aufweist, eine setzte dickere Schicht mit dem Brechwert 2,08 bildet, welche
eine Dicke
also insgesamt/von 730/4 nm besitzt. Zu den Dickenangaben sei bemerkt, dass diese, einer Gepflogenheit der Literatur über Mehrschichtsysteme folgend, durch jene Wellenlänge angegeben wurden, für welche die betrachtete Schicht gerade eine optische Dicke von λ/4 besitzen würde. Da, wie erwähnt, die optische Dicke gleich dem Produkt aus wirklicher Dicke mal Brechungsindex ist, kann die wirkliche Dicke jeder einzelnen Schicht errechnet werden, indem die optische Dicke durch den Brechwert dividiert wird.
Wie aus dem Vergleich der Figur 2 und 4 ersichtlich ist, kann durch den Kunstgriff der Verwendung äquivalenter Schichtkombinationen das Schichtmaterial mit dem Brechwert 1,98 vermieden werden, was einen herstellungstechnischen Vorteil bedeutet. Die Transmissionskurve der Figur 4 zeigt, dass im wesentlichen dasselbe optische Resultat erzielt wird wie mit dem Sehichtsystem der Figur 2; die ersichtlichen geringfügigen Abweichungen sind auf die unterschiedliche Dispersion einfacher und zusammengesetzter λ/4-Schiehten zurückzuführen.
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In ähnlicher Weise kann aus dem Schichtsystem der Figur 3 durch Ersatz der vierten, fünften und sechsten Schicht ein äquivalentes System abgeleitet werden. Es wurde die vierte Schicht mit Brechungsindex 1.71 und der Dicke \-nra ersetzt durch eine Schichtkombination bestehend aus einer mittleren Teilschicht mit dem Brechungsindex 2.08 und der Dicke -4— nm, an welche beiderseits je eine Teilschicht mit dem Brechungsindex I.38 und der Dicke =^~ nm anliegt. Die fünfte Schicht des Schichtsystems der Figur 3 wurde ersetzt durch eine Dreifachschicht mit einer mittleren Teilschicht mit dem Brechungsindex 2.08 und der Dicke 315 nm und zwei anliegenden Teilschichten mit dem Brechungsindex I.38 und einer Dicke von -Λ- nm. Schliesslich wurde die sechste Teilschicht der Figur 3 ersetzt durch eine Dreifachschicht bestehend aus einer mittleren Teil-
22*5 schicht mit dem Brechungsindex 2.08 und der Dicke —jp- nm und beiderseitig anliegenden Teilschichten mit dem Brechungsindex I.38 und der Dicke I30 nm.
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Man erhält also für dieses Beispiel den folgenden Schichtaufbau
lfd.Nr. η 4 S -i 630 nm s in nm 0,32
7 1,38 500 nm 157,5 0.11
6 * 1,38 130 nm 56,25 0.11
2,08 225 nm /217 nm 54,25 0.16
5 * 1,38 130 nm 78,75 0.12
4 * 1,38 87 nm loh'=, nm 61,25 0.09
'3 2,08 315 nm 42,75 0.08
2 1,38 87 nm 39,5 0,25
1 1,38 158 nm 125 0,25
Substrat 2,08 171 nm 125 0,25
1,38 158 nm 125
1,45 500 nm
1,38 500 nm
1,45 500 nm
1,52
η = Brechungsindex
s = optische Schichtdicke
λο= Bezugswellenlänge
* = zusammengesetzte λ/4-Schicht
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Wenn wiederum aneinandergrenzende Schichten aus demselben Material zu einer Schicht (die in einem Arbeitsgang hergestellt werden kann) zusammengefasst gedacht werden, dann erhält man also ein System von 10 Einzelschichten, aufgebaut aus drei verschiedenen Schichtmaterialien mit dem Brechungsindices 1,^8, 1,^5 und 2,08. Das abgeleitete System ist deshalb, obwohl es mehr Einzelschichten enthält, bequemer herzustellen als das Primärsystem gemäss der Figur· ^.
In den vorbeschriebenen Beispielen sind die Schichtdicken für eine Bezugswellenlänge von 500 nm berechnet. Man erhält daraus weitere Beispiele für andere Bezugswellenlängen, indem die angeführten Schichtdicken in entsprechendem Masse (der Bezugswellenlänge proportional) verändert v/erden; z.B. wären für eine Bezugswellenlänge von 400 nm die angegebenen Dicken mit dem Faktor 400:500 = 0,8, für eine Bezugswellenlänge von 600 nm mit dem Faktor 600:500 = 1,2 zu multiplizieren.
Für die angeführten Beispiele kommen vor allem die folgenden Schichtmaterialien in Betracht:
Magnesiumfluorid für "den Brechungsindex I,j58; Siliciumdioxid für den Brechungsindex I,4j5 bis 1,45; Aluminiumdioxid für den Brechungsindex 1,62 und Zirkondioxid für den Brechungsindex 2,08.
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Natürlich können aber auch andere bekannte Schichtmaterialien mit genügender Absorptionsfreiheit und passendem Brechungsindex verwendet werden.
Nächstehend werden einige weitere Erfindungsbeispiele angeführt. Der Einfachheit halber werden dabei jedoch nur die Grundsysteme, die aus lauter λ/4-Schichten bestehen, angegeben. Um diese festzulegen genügt dann die Folge der Brechzahlen. Die erste (eingeklammerte) Zahl gibt die Brechzahl der Unterlage, dann folgen die Brechzahlen der Schichten und zuletzt (eingeklammert) diejenige des angrenzenden Mediums d.h. im allgemeinen Luft mit dem Brechwert 1.
Beispiel 5-
(1.52) 1.45, I.38, I.38, I.62, 2.08, 2.08, I.38 (1.0).
Dies ist ein Siebenschichter, wobei interessant ist, dass zweimal 2 aneinandergrenzende λ/4-Schichten denselben Brechungsindex besitzen, also zusammengefasst betrachtet als eine λ/2-Schicht in einem Arbeitsgang hergestellt werden können. Bei diesem System bilden die ersten beiden Schichten mit abfallendem Brechungsindex (I.45, I.38) die erste Schichtengruppe, die drei folgenden Schichten mit zunehmendem Brechungsindex (I.38, 1.62, 2.08) die zweite Gruppe und die letzten zwei Schichten mit wieder abfallendem Brechungsindex (2.08, I.38) die dritte Gruppe im Sinne des Patentanspruchs. Dieses System zeichnet sich durch eine besondere niedrige Reflexion bei massig vergrösserter Bandbreite aus.
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Beispiel 6:
(1.62) 1.55, 1.^5, 1.72, 2.22, 2.08, I.38 (l.O).
Wie aus der für die Unterlage angegebenen Brechzahl von 1.62 zu ersehen ist, handelt es sich um ein reflexxonsverminderndes Schichtsystem für ein hochbrechendes Gas.
Beispiel 7:
(I.52) I.45, 1,58, I.38, 1.62, 2.10, 2.35, I.96, I.38 (1.0).
Hier liegen acht λ/4-Schichten vor, wodurch eine besonders grosse Bandbreite erreicht wird.
In den vorgenannten wie in den noch folgenden Beispielen ist stets zu beachten, dass jede der angegebenen einfachen X/k-Schichten auch durch eine zusammengesetzte λ/4-Schicht ersetzt werden könnte. Dadurch erhält man zwar, wie oben ausgeführt, mehr Schichten im System, gleichzeitig jedoch den Vorteil, dass man die Schichtmaterialien nach technologischen Gesichtspunkten freier auswählen kann, da es stets möglich ist, aus einem geeigneten Material höheren Brechungsindex und einem solchen von niedrigerem Brechungsindex durch Kombination eine zusammengesetzte λ/4-Schicht des vorgeschriebenen Brechungsindex zu erreichen.
Die nachfolgend angeführten Beispiele, nämlich Beispiel 8:
(I.52) I.45, I.38, 1.50, I.87, 2.^5, 2.35, I.92, I.38 (1.0);
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Beispiel 9:
(1.52) 1.45, I.38, 1.75, 2.30, 2.10, I.38 (1.0) und
Beispiel 10:
Cl.52) 1.45, 1.38, 1.38, 1.53, 1.95, 1.95, 1 38 (1.0),
zeigen weitere Ausführungsmöglichkeiten des erfindungsgemässen Prinzips. In jedem Falle erhält man eine verbesserte breitbandige Reflexionsverminderung, wenn man, wie dargelegt, die drei Gruppen aus mindestens Je zwei Schichten und mit dem gemäss Patentanspruch vorgeschriebenen Verlauf des Brechungsindex vorsieht.
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Claims (10)

PATENTANSPRUECHE
1.) Aus einer Mehrzahl von einfachen oder zusammengesetzten λ/4-Schichten bestehender reflexionsvermindernder Belag, dadurch gekennzeichnet, dass - in der Reihenfolge der Aufzählung vom Substrat her beginnend - auf diesem drei Gruppen von wenigstens je zwei λ/4-Schichten aufgebracht sind, wobei die aufeinanderfolgenden Schichten der ersten Gruppe einen unterhalb des Brechwertes des Substrates abfallenden, die Schichten der zweiten Gruppe einen wieder ansteigenden und die Schichten der dritten Gruppe einen bis wieder unterhalb des Brechwertes des Substrates abfallenden Brechwert besitzen.
2. Belag nach Patentanspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass für den Belag sechs λ/4-Schichten vorgesehen sind.
3ο Belag nach Patentanspruch 1, dadurch gekennz ei c h η e t, dass wenigstens eine Schicht der dritten Gruppe als zusammengesetzte λ/4-Schicht ausgebildet ist.
4. Belag nach Patentanspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die zusammengesetzten λ/4-Schichten in ansich bekannter Weise mit einer mittleren und zwei
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symmetrisch an diese anliegenden äusseren Teilschichten ausgebildet sind, wobei die mittlere Teilschicht einen höheren, die anliegenden Teilschichten einen niedrigeren Brechwert als die einfache λ/4-Schicht aufweisen, denen die zusammengesetzte Schicht äquivalent ist.
5. Belag nach Patentanspruch 1, dadurch gekenn· ζ e i c h η e t, dass der Belag aufgebaut ist aus sechs Schichten mit einer optischen Dicke von λ/4 der Bezugswellenlänge, wovon die fünfte Schicht als zusammengesetzte λ/4-Schicht ausgebildet ist.
6. Belag nach Patentanspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der Belag aufgebaut ist aus sieben Schichten von λ/4 optischer Dicke der Bezugswellenlänge, wovon die vierte, fünfte und sechste Schicht als zusammengesetzte Schichten ausgebildet sind.
7. Belag nach Patentanspruch/ dadurch gekenn-
zeichnet, dass der Belag aufgebaut ist aus folgenden Schichten und Tel!schichten:
1. Schicht: η = 1,45, s =0,25
2. Schicht: η = 1,38, s = 0,25 *
3. Schicht: η = 1,45, s = 0,25
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4. Schicht: η = 1,38, s = 0.08 \q
5. Schicht: η = 2,θ8, s = 0.09 λ-ο
6. Schicht: η = 1,38, s = 0.12 Xq
7. Schicht: η = 2,08, s = 0.16 XQ
8. Schicht: η = 1,38, s = 0.11 Xq
9. Schicht: η = 2,08, s = 0.11 λ
10. Schicht: η = 1,38, s = 0.32 Xq
wobei η den Brechungsindex, s die optische Dicke und λ die Bezugswellenlänge bedeutet.
PR 7212
409819/0642
Leerse
ite
DE2341359A 1972-10-19 1973-08-16 Aus einer Mehrzahl von einfachen oder zusammengesetzten lambda/4-Schichten bestehender reflexionsvermindernder Expired DE2341359C3 (de)

Applications Claiming Priority (1)

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CH1533672A CH557546A (de) 1972-10-19 1972-10-19 Aus einer mehrzahl von einfachen oder zusammengesetzen (lambda)/4-schichten bestehender reflexionsvermindernder belag.

Publications (3)

Publication Number Publication Date
DE2341359A1 true DE2341359A1 (de) 1974-05-09
DE2341359B2 DE2341359B2 (de) 1979-09-27
DE2341359C3 DE2341359C3 (de) 1980-06-12

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ID=4408277

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