DE2356030B2 - Taster zur werkstueckantastung - Google Patents

Taster zur werkstueckantastung

Info

Publication number
DE2356030B2
DE2356030B2 DE19732356030 DE2356030A DE2356030B2 DE 2356030 B2 DE2356030 B2 DE 2356030B2 DE 19732356030 DE19732356030 DE 19732356030 DE 2356030 A DE2356030 A DE 2356030A DE 2356030 B2 DE2356030 B2 DE 2356030B2
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
spring
parallelogram
bending rod
button
button according
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
DE19732356030
Other languages
English (en)
Other versions
DE2356030C3 (de
DE2356030A1 (de
Inventor
Hans-Dieter Dipl -Ing Dr rer nat 6331 Werdorf Schuster Erich 6331 Huttenberg Jacoby
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Leica Microsystems Holdings GmbH
Original Assignee
Ernst Leitz Wetzlar GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Ernst Leitz Wetzlar GmbH filed Critical Ernst Leitz Wetzlar GmbH
Priority to DE2356030A priority Critical patent/DE2356030C3/de
Priority to CH1405274A priority patent/CH575590A5/xx
Priority to GB4582274A priority patent/GB1467704A/en
Priority to IT70153/74A priority patent/IT1024670B/it
Priority to US05/517,643 priority patent/US3945124A/en
Priority to JP49122646A priority patent/JPS5081171A/ja
Priority to SE7413959A priority patent/SE399593B/xx
Publication of DE2356030A1 publication Critical patent/DE2356030A1/de
Publication of DE2356030B2 publication Critical patent/DE2356030B2/de
Application granted granted Critical
Publication of DE2356030C3 publication Critical patent/DE2356030C3/de
Priority to JP1979106898U priority patent/JPS5635764Y2/ja
Expired legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
    • B23Q16/00—Equipment for precise positioning of tool or work into particular locations not otherwise provided for
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
    • B23Q1/00—Members which are comprised in the general build-up of a form of machine, particularly relatively large fixed members
    • B23Q1/25—Movable or adjustable work or tool supports
    • B23Q1/26—Movable or adjustable work or tool supports characterised by constructional features relating to the co-operation of relatively movable members; Means for preventing relative movement of such members
    • B23Q1/34—Relative movement obtained by use of deformable elements, e.g. piezoelectric, magnetostrictive, elastic or thermally-dilatable elements
    • B23Q1/36—Springs
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B5/00—Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques
    • G01B5/004—Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques for measuring coordinates of points
    • G01B5/008—Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques for measuring coordinates of points using coordinate measuring machines
    • G01B5/012—Contact-making feeler heads therefor

Description

Die Erfindung betrifft einen Taster zur Werkstückantastung mit einem Federparallelogramm je Koordinatenrichtung für Translalionsbewegungen.
Bekannt sind Tastköpfe zur mechanischen Antastung körperlicher Werkstücke an dreidimensionalen Meßmaschinen. Dabei haben die Taster entweder in zwei <*> Achsen rotatorischc und in einer Achse translatorischc Lagerung oder in. allen drei Achsen translatorischc Lagerung. Letzteres ist durch entsprechend angeordnete Federparallelogramme realisiert worden.
Auch sind Taster bekannt, bei denen die Meßkräfte durch zusatzliche Maßnahmen aufgebracht werden. Aui diese Weise erreicht man, daß die Tasterposition, bei der die MeQablesung erfolgt, in jedem Fall die gleiche ist.
Eine Umrechnung oder Korrektur des Meßwortes muß dann nicht mehr erfolgen.
Ein Nachteil solcher Taster liegt in dem relativ großen Aufwand, der insbesondere bei mehrdimensionaler Antastung zur Erzeugung der Meßkrafte notwendig ist.
Gemäß einer weiteren Konstruktion wird bei einem Taster die Meßkraft nicht gesondert aufgebracht. Man erhält sie vielmehr durch eine Tasterauslenkung bekannter Größe und kombiniert dann durch geeignete meßtechnische Maßnahmen die Tasterauslenkung mit dem Wert aus dem Maßerfassungssystem in der richtigen Weise zum Meßergebnis. Bei einem besonderen derartigen System ist die Tasterauslenkung kleiner als die Genauigkeit der Meßmaschine, wodurch die genannte Kombination entfallen kann.
Bei Tastern der letztgenannten Art ergibt sich folgendes Problem: die Auslenkung des Taststiftes, bei der die Messung erfolgt, sollte aus meßtechnischen Gründen möglichst klein sein. Zur Erzeugung einer vorgegebenen Meßkraft bedingt diese Forderung für jeden Bewegungsfreiheitsgrad des Taststiftes einen relativ steilen Kraft-Weg-Zusammenhang (steife Federung). Andererseits ist ein gewisser Freihub des Tasters erforderlich, damit im Falle von Kollisionen zwischen Werkstück und Taster der Tastkopf selbst die Steuerung der entsprechenden Bewegung übernehmen und die Bewegung sofort abbremsen kann, um eine Zerstörung zu vermeiden. Steife Federung und größerer Freihub sind aber widersprüchliche Forderungen.
Aufgabe der Erfindung ist es, die beiden genannten Forderungen bei einem Taster zur Werkstückantastung in Einklang zu bringen.
Gelöst wird diese Aufgabe bei einem Taster der eingangs genannten Art, welcher sich auszeichnet durch zusätzliche federnde Mittel zur Variation der Federkonstante bei mindestens einem Federparallelogramm als Funktion der Tasterauslenkung in Richtung der dem Federparallelogramm zugeordneten Koordinate.
Dabei können in gegensätzlichen Richtungen wirkende, im Ruhezustand direkt oder über Zwischenglieder gegen Anschläge liegende Spiralfedern als federnde Mittel vorgesehen sein, welche über mindestens einen Biegestab angesteuert werden. Die Anschläge sind zweckmäßig so ausgebildet, daß bei einer Deformation des Federparallelogramms zunächst im wesentlichen nur die Federkraft des Biegestabes und bei wachsender Auslenkung dann zusätzlich die Federkraft einer Spiralfeder wirksam wird. Bei einer Ausführungsform sind an einer Platte eines Federparallelogramms montierte Spiralfedern und ein an der gegenüberliegenden Platte dieses Federparallelogramms montierter Biegestab vorgesehen. Der Taster kann sich aber auch auszeichnen durch an einer Platte eines Federparallelogramms montierte Spiralfedern und durch einen an mindestens einer der Parallelogrammfedern montierten Biegestab. Als Biegestab kann ein Piezostab vorgesehen sein. Zweckmäßig weist der Biegestab einen steiler, und jede der Spiralfedern einen flachen Kraf'.-Weg-Zusammenhang auf. !Eine weitere Vusführungsiorm des Tasters ist dadurch gekennzeichne!, daß als Anschläge für die Spiralfedern mit der einen Paralle'iogrammplatte starr verbundene Kugeln vorgesehen sind, daß der Biejrestab über eine, nur an ihm befestigte, relativ /.um Federparallelogramm bewegliche Kugel an den Spiralfedern angreift und daß die Kugel des Biegestabes bei an den Anschlägen anliegenden Anschlagbolzen spielfrei /wischen diesen gehalten ist.
Ll
Die Erfindung ist nachfolgend anhand der in den Figuren schematisch dargestellten Ausführungsbeispie-Ie näher beschrieben. Es zeigt
P i g. 1 ein Tasterelement in Vorderansicht,
P i g. 2 dasselbe in Seitenansicht, S
Fig.3 den zugehörigen Kraft-Weg-Zusammenhang und
F i g. 4 einen λ-D-Tastkopf.
Gemäß Fig. 1 ist ein Taststift 1 mit der in Richtung des Pfeiles 6 beweglichen Platte 2 einer Parailelogrammführung fest verbunden. Die Platte 2 ist über Blattfedern 3, 4 mit einer Basisplatte 5 verbunden, die bezüglich der Richtung des Pfeiles 6 starr gelagert ist. An der Basisplatte 5 sind zwei Federtöpfe 7,8 befestigt, deren Spiralfedern 9, 10 mit ihren Achsen parallel zum Pfeil 6 orientiert sind. Die vorgespannten Federn 9, 10 drücken Anschlagbolzen 11, 12 gegen drei, in einem Federgehäuse 14 befestigte Kugeln 15 (s. Fig. 2). Zwischen die Anschlagbolzen 11, 12 ragt durch eine Aussparung im Federgehäuse 14 hindurch bezüglich der Anschlagbolzen spielfrei das Ende eines im Teil 2 fixierten Biegestabes 13.
Die soweit beschriebene Einrichtung hat folgende Funktion: Berühr1, der Taststift 1 bei einer Relativ-Bewegung in Richtung des Pfeiles 6 ein Werkstück, so erfährt zunächst der Biegestab 13 eine Flexion mit steilem Kraft-Weg-Zusammenha.:ig, wie er für geringe Tasterauslenkungen in F i g. 3 dargestellt ist. Übersteigt die dabei entstehende Meßkraft die Kraft der vorgespannten Federn 9, 10, so werden diese deformiert, wobei wegen des dabei wirksamen flachen Kraft-Weg-Zusammenhanges die Meßkraft nur noch relativ wenig anwächst (F i g. 3).
In Fig.4 ist eine mögliche Kombination dreier Tasterelemente gemäß F i g. 1 und 2 zu einem 3-D-Taster gezeigt. Die federnden Elemente 7 bis 13 sind in den Parallelogrammführungen der Übersicht halber fortgelassen. Mit Hilfe der beschriebenen Einrichtung ist es möglich, bei Meßkräften bis zu etwa 50 ρ Hübe von nur wenigem μιη zu realisieren, wobei für größere Beanspruchungen gleichzeitig ein Freihub für den Taster von mehreren mm zur Verfügung steht.
Der Vorteil des erfindungsgemäßen Tasters gegenüber Bekanntem liegt in der Möglichkeit einer Messung hoher Genauigkeit unter Verzicht auf den Aufwand, der sonst zur Steuerung der die Taster oder Prüflinge bewegenden Motoren erforderlich ist.
Hierzu 2 Blatt Zeichnungen

Claims (8)

Patentansprüche:
1. Taster zur Werkstückp.ntasung mit einem Federparalleiogramm je Koordinatenrichtung für Translationsbewegungen, gekennzeichnet durch zusätzliche federnde Mittel (9, 10, 13) zur Variation der Federkonstante bei mindestens einem Federparallelogramm als Funktion der Tasterausienkung in Richtung der dem Federparallelogramm zugeordneten Koordinate.
2. Taster nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch· zwei, in gegensätzlichen Richtungen wirKende, im Ruhezustand direkt oder über Zwischenglieder (11, 12) gegen Anschläge (15) liegende Spiralfedern (9, 10) als federnde Mittel, welche über mindestens einen Biegestab (13) angesteuert werden.
3. Taster nach Anspruch 2, gekennzeichnet durch eine derartige Ausbildung der Anschläge (15), daß bei einer Deformation des Federparallelogramms (2, 3, 4, 5) zunächst im wesentlichen nur die Federkraft des Biegestabes (13) und bei wachsender Auslenkung dann zusätzlich die Federkraft einer Spiralfeder (9,10) wirksam wird.
4. Taster nach Anspruch 3, gekennzeichnet durch an einer Platte (5) des Federparallelogramms montierte Spiralfedern (9,10) und durch einen an der gegenüberliegenden Platte (2) dieses Federparallelogramms montierten Biegestab (13).
5. Taster nach Anspruch 3, gekennzeichnet durch an einer Platte (3) des Federparallelogramms montierte Spiralfedern (9, 10) und durch einen an mindestens einer der Parallelogrammfedern (4) montierten Biegestab (13).
6. Taster nach einem der Ansprüche 2 bis 5, gekennzeichnet durch einen Piezostab als Biegestab (13).
7. Taster nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß der Biegestab (13) einen steilen und jede der Spiralfedern (9,10) einen flachen Kraft-Weg-Zusammenhang aufweist.
8. Taster nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß als Anschläge für die Spiralfedern (9, 10) mit der einen Parallelogrammplatte (5) starr verbundene Kugeln (15) vorgesehen sind, daß der Biegestab (13) über eine, nur an ihm befestigte, relativ zum Federparallelogramm (2,3,4,
5) bewegliche Kugel an den Spiralfedern (9, 10) angreift und daß die Kugel des Biegestabes (13) bei an den Anschlägen (15) anliegenden Anschlagbolzen (U, 12) spielfrei zwischen diesen gehallen ist.
DE2356030A 1973-11-09 1973-11-09 Taster zur Werkstückantastung Expired DE2356030C3 (de)

Priority Applications (8)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE2356030A DE2356030C3 (de) 1973-11-09 1973-11-09 Taster zur Werkstückantastung
CH1405274A CH575590A5 (de) 1973-11-09 1974-10-21
IT70153/74A IT1024670B (it) 1973-11-09 1974-10-23 Tastatore per il controllo dimensionale di pezzi
GB4582274A GB1467704A (en) 1973-11-09 1974-10-23 Feeler device for gauging workpieces
US05/517,643 US3945124A (en) 1973-11-09 1974-10-24 Contact sensor for workpiece calipering
JP49122646A JPS5081171A (de) 1973-11-09 1974-10-25
SE7413959A SE399593B (sv) 1973-11-09 1974-11-06 Avkennare for avkenning av ett arbetsstycke
JP1979106898U JPS5635764Y2 (de) 1973-11-09 1979-08-03

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE2356030A DE2356030C3 (de) 1973-11-09 1973-11-09 Taster zur Werkstückantastung

Publications (3)

Publication Number Publication Date
DE2356030A1 DE2356030A1 (de) 1975-05-15
DE2356030B2 true DE2356030B2 (de) 1977-09-01
DE2356030C3 DE2356030C3 (de) 1978-05-11

Family

ID=5897651

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE2356030A Expired DE2356030C3 (de) 1973-11-09 1973-11-09 Taster zur Werkstückantastung

Country Status (7)

Country Link
US (1) US3945124A (de)
JP (2) JPS5081171A (de)
CH (1) CH575590A5 (de)
DE (1) DE2356030C3 (de)
GB (1) GB1467704A (de)
IT (1) IT1024670B (de)
SE (1) SE399593B (de)

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2949484A1 (de) * 1979-01-31 1980-08-14 Jenoptik Jena Gmbh Einrichtung zur einstellung von tastern
DE3314318C1 (de) * 1983-04-20 1984-10-04 Diskus Werke Frankfurt Am Main Ag, 6000 Frankfurt Meßtaster mit induktivem Meßsystem für Schleifmaschinen
DE3417991A1 (de) * 1984-05-15 1985-11-21 Mauser-Werke Oberndorf Gmbh, 7238 Oberndorf Tastkopf einer messmaschine
DE3426315A1 (de) * 1984-05-28 1985-11-28 Maag-Zahnräder & -Maschinen AG, Zürich Zahnmesstaster
DE3640511A1 (de) * 1986-03-10 1987-09-24 Knaebel Horst Verfahren und vorrichtung zur ueberpruefung und/oder erfassung der masse, massaenderungen, positionen oder positionsaenderungen von werkstuecken, stellgliedern oder dgl.
DE4216215A1 (de) * 1992-05-06 1994-01-20 Max Hobe Tastfühler
EP0669514A1 (de) * 1994-01-24 1995-08-30 Widia Heinlein Gmbh Messvorrichtung

Families Citing this family (68)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB1445977A (en) * 1972-09-21 1976-08-11 Rolls Royce Probes
US4130941A (en) * 1975-03-20 1978-12-26 Rolls-Royce Limited Displacement gauge
GB1551218A (en) * 1975-05-13 1979-08-22 Rolls Royce Probe for use in displacement measuring apparatus
GB1551217A (en) * 1975-05-13 1979-08-22 Renishaw Electrical Ltd Displacement measuring apparatus
GB1568053A (en) * 1975-10-04 1980-05-21 Rolls Royce Contactsensing probe
IT1088539B (it) * 1976-12-24 1985-06-10 Rolls Royce Sonda per l'uso in apparecchi di misura
DE2712181C3 (de) * 1977-03-19 1981-01-22 Fa. Carl Zeiss, 7920 Heidenheim Tastsystem
DD141197A1 (de) * 1978-12-27 1980-04-16 Horst Donat Koordinatentastkopf zum antasten mehrdimensionaler werkstuecke
US4364179A (en) * 1980-10-31 1982-12-21 Portage Machine Company Statically balanced inspection probe assembly
US4330942A (en) * 1981-03-17 1982-05-25 Klingelnberg Sohne Length-measuring probe for measurement
US4420834A (en) * 1981-06-10 1983-12-13 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Air Force Flow attenuator for use with liquid cooled laser mirrors
DE3279249D1 (en) * 1981-06-30 1989-01-05 Renishaw Plc Probe for measuring workpieces
DE3135495C2 (de) * 1981-09-08 1983-11-10 Mauser-Werke Oberndorf Gmbh, 7238 Oberndorf Meßkopf für Meßeinrichtungen, Mehrkoordinatenmeßgeräte und Bearbeitungsmaschinen
DE3210711C2 (de) * 1982-03-24 1986-11-13 Dr.-Ing. Höfler Meßgerätebau GmbH, 7505 Ettlingen Mehrkoordinatentaster mit einstellbarer Meßkraft zum Abtasten von mehrdimensionalen, stillstehenden Gegenständen
IT1156686B (it) * 1982-10-18 1987-02-04 Finike Italiana Marposs Testa per il controllo di dimensioni lineari
DE3241747A1 (de) * 1982-11-11 1984-05-17 Gerhard 6686 Eppelborn Lauer Vorrichtung zum ermitteln der lage einer ausnehmung an einem groesseren werkstueck, insbesondere aus blech
IN161120B (de) * 1983-03-30 1987-10-03 Wyler Ag
FR2544482A1 (fr) * 1983-04-13 1984-10-19 Meseltron Sa Dispositif de mesure tridimensionnelle
US4536961A (en) * 1983-03-31 1985-08-27 Meseltron S. A. Three-dimensional measuring device
EP0123885A1 (de) * 1983-03-31 1984-11-07 Meseltron S.A. Dreidimensionale Längenmesseinrichtung
IT1180704B (it) * 1983-05-11 1987-09-23 Hoefler Willy Dispositivo di controllo di ruote dentale a funzionamento automatico
DE3320983C2 (de) * 1983-06-10 1985-12-05 Willy Prof. Dr.-Ing. 7500 Karlsruhe Höfler Transportables Gerät zur Prüfung des Zahnflankenprofils und der Zahnflankenlinien (Zahnschräge) von Zahnrädern auf Verzahnmaschinen oder Zahnflankenschleifmaschinen sowie zur Positionierung dieses Gerätes und zum Orientieren des Meßtasters an der Verzahnung für den Meßvorgang
JPS59196329U (ja) * 1983-06-16 1984-12-27 ヤンマー農機株式会社 乗用農作業車のクラツチ装置
CH666123A5 (de) * 1983-07-30 1988-06-30 Hoefler Willy Selbsttaetig arbeitendes zahnradpruefgeraet.
JPS6078301A (ja) * 1983-08-06 1985-05-04 マウゼル−ベルケ、オベルンドルフ、ゲゼルシヤフト、ミツト、ベシユレンクテル、ハフツング 多重座標測定機械の測定ヘツド
FR2569835B1 (fr) * 1984-09-04 1989-01-06 Meseltron Sa Tete pour la mesure de diametres de pieces cylindriques
GB8431746D0 (en) * 1984-12-17 1985-01-30 Renishaw Plc Contact-sensing probe
US4780961A (en) * 1986-11-10 1988-11-01 Shelton Russell S Probe assembly and circuit for measuring machine
US4734994A (en) * 1986-12-22 1988-04-05 Gte Valeron Corporation Probe having a plurality of hinged plates
IT1206842B (it) * 1987-01-15 1989-05-11 Fidia Spa Dispositivo tastatore particolarmente per macchina a copiare
CH672182A5 (de) * 1987-06-29 1989-10-31 Meseltron Sa
GB8728500D0 (en) * 1987-12-05 1988-01-13 Renishaw Plc Position sensing probe
DE3808548A1 (de) * 1988-03-15 1989-09-28 Rheinmetall Gmbh Messvorrichtung zur lagebestimmung von werkstueck-flaechen
DE68914148T2 (de) * 1988-10-11 1994-07-07 Renishaw Plc Messsonde mit Lagern, deren Rollelemente zentralisiert sind.
JPH0789045B2 (ja) * 1988-12-15 1995-09-27 富山県 三次元変位量測定器
US5209131A (en) * 1989-11-03 1993-05-11 Rank Taylor Hobson Metrology
DE4204632A1 (de) * 1990-08-28 1993-08-19 Leitz Messtechnik Zentriereinrichtung fuer einen mechanischen tastkopf
DE4235365C2 (de) * 1992-10-20 1996-09-26 Mahr Gmbh Goettingen Längenmeßmaschine
DE4235366C2 (de) * 1992-10-20 1996-09-26 Mahr Gmbh Goettingen Längenmeßmaschine
DE4238724C1 (de) * 1992-11-17 1993-12-23 Leitz Mestechnik Gmbh Zentriereinrichtung für einen mechanischen Taster
DE4309082A1 (de) * 1993-03-20 1994-09-22 Pietzsch Automatisierungstech Meßvorrichtung zum Vermessen der Form von Zylindern
DE4331655C3 (de) * 1993-09-17 2000-11-09 Leitz Mestechnik Gmbh Tastkopf vom messenden Typ für Koordinatenmeßgeräte
US5461797A (en) * 1994-04-19 1995-10-31 M&M Precision Systems Corporation Object measuring system
DE4424225A1 (de) * 1994-07-09 1996-01-11 Zeiss Carl Fa Tastkopf für Koordinatenmeßgeräte
DE4439578C1 (de) * 1994-11-05 1996-02-08 Leitz Mestechnik Gmbh Verfahren zum Auswerten von Sensorsignalen sowie Tastkopf zur Durchführung des Verfahrens
JP3153111B2 (ja) * 1995-09-18 2001-04-03 株式会社ミツトヨ 手動操作型三次元測定機
US5657549A (en) * 1995-10-04 1997-08-19 Shen; Yin-Lin Method of improving accuracy of touch trigger probe
JP3633733B2 (ja) * 1996-09-19 2005-03-30 株式会社ミツトヨ 揺動量の倍率変換機構
US5979070A (en) * 1997-12-19 1999-11-09 Lau; Kam C. Method and apparatus for selectively locking a movement direction of a coordinate measurement probe
JP2000321001A (ja) * 1999-05-11 2000-11-24 Mitsutoyo Corp 接触子の定圧力機構
JP2003065748A (ja) * 2001-08-29 2003-03-05 Mitsutoyo Corp 測定装置
US7246030B2 (en) * 2002-02-14 2007-07-17 Faro Technologies, Inc. Portable coordinate measurement machine with integrated line laser scanner
US6920697B2 (en) * 2002-02-14 2005-07-26 Faro Technologies, Inc. Portable coordinate measurement machine with integrated touch probe and improved handle assembly
US7519493B2 (en) * 2002-02-14 2009-04-14 Faro Technologies, Inc. Portable coordinate measurement machine with integrated line laser scanner
USRE42082E1 (en) 2002-02-14 2011-02-01 Faro Technologies, Inc. Method and apparatus for improving measurement accuracy of a portable coordinate measurement machine
US6952882B2 (en) * 2002-02-14 2005-10-11 Faro Technologies, Inc. Portable coordinate measurement machine
US6973734B2 (en) * 2002-02-14 2005-12-13 Faro Technologies, Inc. Method for providing sensory feedback to the operator of a portable measurement machine
US6957496B2 (en) * 2002-02-14 2005-10-25 Faro Technologies, Inc. Method for improving measurement accuracy of a portable coordinate measurement machine
US7881896B2 (en) 2002-02-14 2011-02-01 Faro Technologies, Inc. Portable coordinate measurement machine with integrated line laser scanner
US7073271B2 (en) * 2002-02-14 2006-07-11 Faro Technologies Inc. Portable coordinate measurement machine
DE10258448A1 (de) 2002-12-13 2004-06-24 Franz Haimer Maschinenbau Kg Zentriervorrichtung, insbesondere für eine Tastmessvorrichtung
DE102005036126A1 (de) * 2005-07-26 2007-02-01 Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh Sensormodul für einen Tastkopf eines taktilen Koordinatenmessgerätes
JP5136940B2 (ja) * 2009-06-05 2013-02-06 公益財団法人北九州産業学術推進機構 三次元測定装置
IT1403845B1 (it) 2010-10-29 2013-11-08 Marposs Spa Sonda di tastaggio e relativo metodo di controllo
IT1402715B1 (it) 2010-10-29 2013-09-18 Marposs Spa Sonda di tastaggio
WO2012098355A1 (en) 2011-01-19 2012-07-26 Renishaw Plc Analogue measurement probe for a machine tool apparatus
JP2014081323A (ja) * 2012-10-18 2014-05-08 Mitsutoyo Corp レバーヘッド
JP5745664B1 (ja) 2014-03-14 2015-07-08 株式会社東京精密 双方向変位検出器

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2065951A (en) * 1935-03-26 1936-12-29 Niles Bement Pond Co Comparator
DE1912605C3 (de) * 1969-03-12 1975-09-11 Siemens Ag, 1000 Berlin Und 8000 Muenchen Vorrichtung zum Halten eines aus Meßsonde und Meßkopf bestehenden MeBorganes für ein Bohrungsinnenmeßgerät
US3845561A (en) * 1972-06-05 1974-11-05 W Elsdoerfer Measuring head system
DE2242355C2 (de) * 1972-08-29 1974-10-17 Fa. Carl Zeiss, 7920 Heidenheim Elektronischer Mehrkoordinatentaster

Cited By (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2949484A1 (de) * 1979-01-31 1980-08-14 Jenoptik Jena Gmbh Einrichtung zur einstellung von tastern
DE3314318C1 (de) * 1983-04-20 1984-10-04 Diskus Werke Frankfurt Am Main Ag, 6000 Frankfurt Meßtaster mit induktivem Meßsystem für Schleifmaschinen
DE3417991A1 (de) * 1984-05-15 1985-11-21 Mauser-Werke Oberndorf Gmbh, 7238 Oberndorf Tastkopf einer messmaschine
DE3426315A1 (de) * 1984-05-28 1985-11-28 Maag-Zahnräder & -Maschinen AG, Zürich Zahnmesstaster
EP0163070A2 (de) * 1984-05-28 1985-12-04 Maag-Zahnräder und -Maschinen Aktiengesellschaft Zahnmesstaster
EP0163070A3 (en) * 1984-05-28 1987-06-16 Maag-Zahnrader Und -Maschinen Aktiengesellschaft Tooth measuring pin
DE3640511A1 (de) * 1986-03-10 1987-09-24 Knaebel Horst Verfahren und vorrichtung zur ueberpruefung und/oder erfassung der masse, massaenderungen, positionen oder positionsaenderungen von werkstuecken, stellgliedern oder dgl.
DE4216215A1 (de) * 1992-05-06 1994-01-20 Max Hobe Tastfühler
EP0669514A1 (de) * 1994-01-24 1995-08-30 Widia Heinlein Gmbh Messvorrichtung

Also Published As

Publication number Publication date
DE2356030C3 (de) 1978-05-11
CH575590A5 (de) 1976-05-14
US3945124A (en) 1976-03-23
DE2356030A1 (de) 1975-05-15
SE7413959L (de) 1975-05-10
JPS5081171A (de) 1975-07-01
SE399593B (sv) 1978-02-20
GB1467704A (en) 1977-03-23
JPS5635764Y2 (de) 1981-08-24
IT1024670B (it) 1978-07-20
JPS5547700U (de) 1980-03-28

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE2356030C3 (de) Taster zur Werkstückantastung
DE102007022326B4 (de) Koordinatenmessgerät zum Bestimmen von Raumkoordinaten an einem Messobjekt sowie Dreh-Schwenk-Mechanismus für ein solches Koordinatenmessgerät
DE2242355B1 (de) Elektronischer Mehrkoordinatentaster
EP0301390B1 (de) Tastkopf für Koordinatenmessgeräte
EP0301389B1 (de) Tastkopf für Koordinatenmessgeräte
EP3213833A2 (de) Vorrichtung mit presse, werkzeug und werkzeugschutzsystem zur bearbeitung von blechwerkstücken und hierfür verwendbare einstellbare distanzeinrichtung
EP0123835B1 (de) Messarm einer Mehrkoordinaten-Messmaschine
CH644206A5 (de) Anordnung zur variation der federkennlinie einer federparallelogrammvorrichtung.
DE2911561C2 (de) Wandler zum Umwandeln von Druckschwankungen in elektrische Signale
WO2018122118A1 (de) Positioniereinheit
DE102006034455A1 (de) Lageveränderliche Werkstückauflage für eine Maschine und Bearbeitungsanlage mit einer entsprechenden Werkstückauflage
DE202007005665U1 (de) Waage mit Transportarretierung für das Wägesystem
DE102016123122B3 (de) Haptic-Test-Messvorrichtung und Verfahren zur Ermittlung einer Kraft-Weg-Kurve bei einer Haptic-Test-Messung
DE2948712A1 (de) Schlitten fuer laengenmessgeraete
DE19647514C2 (de) Verfahren zur Durchführung einer Messung mit einem Taster eines messenden Tastkopfes eines Koordinatenmeßgerätes
DE4005334C2 (de) Greifeinrichtung
DE102011002262A1 (de) Messkopf für ein Koordinatenmessgerät
DE2105654C3 (de) Befestigungsvorrichtung für ein Reibrad-LängenmeBgerät
EP0742422B1 (de) Mehrkoordinaten-Tastkopf
DE3121373A1 (de) Geraet zum insbesondere dreidimensionalen messen und/oder anreissen und/oder antasten von werkstuecken
DE10330955B4 (de) Positionsmessgerät und Verfahren zur Montage eines derartigen Positionsmessgerätes
DE3329896C2 (de) Druckelement für Nadeldruckvorrichtungen
DE2946271A1 (de) Messkopf fuer eine messmaschine
DE138191C (de)
EP0128561A2 (de) Dreidimensionaler Taster

Legal Events

Date Code Title Description
C3 Grant after two publication steps (3rd publication)
8327 Change in the person/name/address of the patent owner

Owner name: WILD LEITZ GMBH, 6330 WETZLAR, DE

8327 Change in the person/name/address of the patent owner

Owner name: LEICA INDUSTRIEVERWALTUNG GMBH, 6330 WETZLAR, DE