DE2655642A1

DE2655642A1 - Verfahren und einrichtung zum erzeugen eines optischen gitters

Info

Publication number: DE2655642A1
Application number: DE19762655642
Authority: DE
Inventors: Alexander Termanis
Original assignee: Rank Organization Ltd
Current assignee: Rank Organization Ltd
Priority date: 1975-12-08
Filing date: 1976-12-08
Publication date: 1977-06-16
Also published as: FR2334984B1; JPS5270850A; AU2032976A; AU498525B2; US4148549A; FR2334984A1; GB1506400A

Description

HW/95/HGA/RC/CEF * 1. Dezember 1976

U.K.Application No. 50270/75 9959-76 Dr.v.B/E Filed: 8th December 1975

The Rank Organisation Limited 11 Hill Street, London W1X 8AE

Verfahren und Einrichtung zum Erzeugen eines optischen Gitters

Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zum Erzeugen eines optischen Gitters gemäß dem Oberbegriff des Patentanspruchs 1. Ferner betrifft die Erfindung Einrichtungen zur Durchführung eines solchen Verfahrens.

Photographische Verfahren zum Herstellen von optischen Beugungsgittern durch Aufzeichnen von Interferenzstreifen sind bekannt. Bei solchen Verfahren verwendet man zur Aufzeichnung der Interferenzstreifen als photoempfindliches Material häufig ein mit Photolack überzogenes Substrat, das am Entstehungsort der Interferenzstreifen angeordnet wird. Die Widerstandsfähigkeit eines photolackes gegen bestimmte Entwickler oder Ätzchemikalien hängt von der Lichtintensität bei einer vorangegangenen Belichtung ab und man kann daher

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durch Entwickeln bzw. Ätzen der Photolackschicht ein Beugungsgitter erzeugen, dessen Topographie direkt von der Form und Intensität der Interferenzstreifen, mit denen der Photolack belichtet worden war, abhängt.

Es ist bekannt, daß man zum Erzeugen von Interferenzstreifen zwei kohärente Lichtbündel zum Schnitt bringen muß und daß man solche kohärenten Lichtbündel in Form von Sekundär- oder Teilbündeln durch Aufspaltung eines Primärbündels kohärenten Lichtes erhalten kann, das von einer geeigneten Lichtquelle, wie z.B. einem Laser, stammt. In der Praxis werden jedoch durch statischen Staub auf den optischen Elementen, die das Licht durchlaufen muß, eine Anzahl von Neben- oder Störinterferenzfiguren erzeugt, die in den schließlich erzeugten Interferenzstreifen unerwünscht sind. Ferner entsteht durch etwaige kleine Unvollkommenheiten der optischen Elemente in der für die Herstellung der Interferenzstreifen verwendeten Apparatur ebenfalls eine Reihe von störenden Interferenzfiguren. Dieser Störeffekt wird gelegentlich als "Orangenschaleneffekt" bezeichnet. Die dadurch verursachten Unvollkommenheiten in den gewünschten Interferenzstreifen, die bei der Herstellung des Beugungsgitters unvermeidbar mit aufgezeichnet werden, haben zur Folge, daß das erhaltene Gitter in unerwünschter Weise streut.

Man hat bereits versucht, dieser Schwierigkeiten dadurch Herr zu werden, daß man das Primärbündel räumlich nicht kohärent macht, indem man es durch einen rotierenden Diffuser fallen läßt, bevor es in die beiden Sekundär- oder Teilbündel aufgeteilt wird, die zur Erzeugung der aufzuzeichnenden, gewünschten Interferenzstreifen verwendet werden. Da die räumliche Kohärenz der Sekundärbündel durch diese Maßnahme jedoch auf einen beliebig kleinen Wert herabgesetzt wird, ergibt sich der Nachteil, daß die Sekundärbündel sehr genau positi-

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oniert werden müssen, damit sich sichtbare Interferenzstreifen ergeben. Dies bedeutet in der Praxis, daß die beiden Sekundärbündel genau gleiche Querschnittsgröße haben müssen und daß ihre Einfallswinkel bezüglich der Ebene, in der die Interferenzstreifen erzeugt werden sollen, einander genau gleich sein müssen und daß sie Teile eines einzigen amplitudengeteilten Bündels sein müssen: Bei der Herstellung von optischen Gittern mit bevorzugter Beugungsordnung bedeutet dies, daß sich für eine vorgegebene Lichtwellenlänge und einen gegebenen Photolack unabhängig von der Gitterkonstante nur eine Vorzugswellenlänge ergibt. Die Herstellung von optischen Gittern mit verschiedenen Vorzugswellenlängen jedoch gemeinsamer Gitterkonstante ist daher nicht ohne weiteres möglich, wenn die räumliche Kohärenz mittels eines rotierenden Diffuser s herabgesetzt wird. Die Verringerung der räumlichen Kohärenz stellt andererseits eine äußerst wirksame Maßnahme zur Herabsetzung der oben erwähnten Störflecken oder Störinterferenzen dar.

Der vorliegenden Erfindung liegt dementsprechend die Aufgabe zugrunde, Verfahren und Einrichtungen zum Herstellen von optischen Gittern mit vorgegebenen unterschiedlichen Vorzugswellenlängen oder Vorzugsordnungen anzugeben und gleichzeitig die durch die Verwendung eines Diffusers im Primärbündel erzielten Vorteile zu erhalten. Insbesondere soll also ein photographisches Verfahren zum Herstellen von optischen Gittern angegeben werden, die den Hauptteil der gebeugten Lichtenergie in eine oder eine kleine Anzahl von Beugungsordnungen konzentrieren.

Diese Aufgabe wird bei dem Verfahren der eingangs genannten Art gemäß der Erfindung durch die im kennzeichnenden Teil des Patentanspruchs 1 angegebenen Maßnahmen gelöst.

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Die Erfindung geht also aus von einem Verfahren zum Herstellen eines optischen Gitters mit Vorzugsrichtung, bei dem Interferenzstreifen photographisch aufgezeichnet werden, die durch Interferenz zweier kohärenter Sekundärlichtbündel entstehen, welche von einem gemeinsamen kohärenten Primärlichtbündel stammen, dessen räumliche Kohärenz zumindest mittels eines rotierenden Diffusers, durch den das Primärbündel fällt, herabgesetzt wird. Eines der Sekundärbündel wird nun bezüglich des anderen seitlich oder lateral um einen Betrag komprimiert oder expandiert, der in einer Beziehung zum Schnittwinkel zwischen den beiden Sekundärbündeln im Interferenzbereich steht, so daß sich die beiden Bündel zumindest in einer Ebene im Schnittbereich decken, und eine photographisch empfindliche Fläche oder Schicht wird in dieser Ebene zur Aufzeichnung der entstehenden Interferenzstreifen angeordnet.

Man kann in der Praxis auch Interferenzstreifen bilden oder abbilden, wenn eines der Bündel nur in einer Dimension des Querschnitts so komprimiert oder expandiert wird, daß sieh die beiden Bündel längs dieser Dimension decken, so daß es also nicht unbedingt notwendig ist, die Bündel in zwei Querschnittsrichtungen zu komprimieren oder expandieren.

Das oben angegebene Verfahren läßt sich in der verschiedensten Weise modifizieren. Beispielsweise kann man das Primärbündel durch zwei Diffuser fallen lassen, von denen der eine ruht, während der andere rotiert, und die vorzugsweise nahe beieinander angeordnet sind.

Die laterale Kompression eines der interferierenden Sekundärbündel kann auf verschiedene Weise erfolgen. Beispielsweise kann man das eine Sekundärbündel durch ein Prisma fallen lassen, das so angeordnet ist, daß der optische Weg

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asymmetrisch ist und das austretende Bündel in einer Querschnittsrichtung bezüglich des eintretenden Bündels verkleinert ist.

Eine andere Möglichkeit besteht darin, zur Aufteilung des Primärbündels in die beiden Sekundärbündel ein Beugungsgitter zu verwenden; in diesem Falle ist dann das Bündel einer Ordnung bezüglich des einer anderen Ordnung komprimiert oder expandiert. Hierfür wird man zweckmäßigerweise ein Beugungsgitter verwenden, das das einfallende Licht oder zumindest den größten Teil davon in zwei Ordnungen konzentriert. Ein solches Beugungsgitter dient also sowohl als Vorrichtung zum Aufspalten des Primärbündels in die Sekundärbündel als auch als Vorrichtung zum Komprimieren oder Expandieren des einen Sekundärbündeis bezüglich des anderen.

Zur Herstellung der photographischen Aufzeichnung wird ein Film oder eine Schicht eines photoempfindlichen oder photographischen Materials in der Ebene angeordnet, in der die beiden Sekundärliehtbündel interferieren. Die beiden Lichtbündel interferieren zwar in der ganzen Zone, in der sie sich schneiden, wegen der Verringerung der räumlichen Kohärenz des Primärbündels sind jedoch Interferenzstreifen nur in einer einzigen Ebene beobachtbar, nämlich in der Ebene, wo sich die beiden Bündel genau decken. Diese Ebene kann parallel oder senkrecht zu der Ebene, die die Linien oder Achsen der beiden einfallenden Bündel halbiert, verlaufen, je nachdem ob die beiden Sekundärbündel in bezug aufeinander lateral invertiert sind oder nicht. Wenn jedes Sekundärbündel zwischen dem Bündelteiler und dem Schnittbereich der beiden Bündel gleich oft reflektiert werden, decken sich die Bündel "normal", wenn dagegen das eine Bündel eine ungerade Anzahl von Malen öfters reflektiert wird als das andere, tritt eine

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"invertierte" Deckung in der Schnittzone ein.

Das Primärbündel soll vorzugsweise kollimiert sein, was auf verschiedene Weise bewirkt werden kann, andererseits wird das Licht im Primärbündel zweckmäßigerweise auf den Diffuser fokussiert, so daß es von diesem aus divergiert. In diesem Falle kann dann ein Konkavspiegel verwendet werden, um das Licht zum Bündelteiler zu reflektieren und gleichzeitig das Bündel zu kollimieren. Man kann andererseits selbstverständlich auch ein sammelndes Linsensystem verwenden.

Um große Vorzugs- oder "Glanz"-Winkel zu erreichen, kann der Rohling oder Aufzeichnungsträger mit der photoempfindlichen Oberfläche für das Gitter in einer Zelle angeordnet werden, die eine geeignete Flüssigkeit enthält und zwei lichtdurchlässige Fenster hat, durch die die interferierenden Sekundärbündel auf die photoempfindliche Oberfläche fallen. Als Flüssigkeit eignen sich für diesen Zweck z.B. Tetrachlorkohlenstoff, flüssiges Paraffin, SiliconÖl u.a.m.

Eine andere Möglichkeit, große Glanzwinkel zu erreichen, insbesondere bei relativ grober Teilung, besteht darin, die durch die Bündeltei!vorrichtung erzeugten beiden Sekundärbündel auf den beiden Seiten der Bündelteilervorrichtung so zurückzuwerfen, daß sie sich unter einem kleinen Winkel schneiden.

Die vorliegende Erfindung betrifft ferner eine Einrichtung zur Durchführung der. oben angegebenen Verfahren; sie enthält eine Lichtquelle zum Erzeugen eines Primärbündels aus kohärentem Licht _} einen rotierenden Diffuser, um die räumliche Kohärenz des Primärbündels mindestens zu verringern, eine Vorrichtung zum Aufteilen des Primärbündels in zwei Sekundärbündel, eine Vorrichtung sum lateralen Komprimieren

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oder Expandieren eines der beiden Sekundärbündel bezüglich des anderen, und eine Vorrichtung, durch die die beiden Sekundärbündel längs entsprechender Strahlengänge auf mindestens einen Punkt, wo sich die Bündel schneiden, geworfen werden; die die laterale Kompression oder Expansion bewirkende Vorrichtung erzeugt dabei einen solchen Grad von Querkompression oder Expansion, daß sieh die beiden Sekundärbündel in einer Ebene, die durch die Schnittzone geht, genau decken und dadurch in dieser Ebene ein Muster von beobachtbaren Interferenzstreifen bilden. Es ist ferner eine Vorrichtung zum photographischen Aufzeichnen des in dieser Ebene entstehenden Interferenzstreifenmusters vorgesehen.

Im folgenden werden Ausführungsbeispiele der Erfindung unter Bezugnahme auf die Zeichnung näher erläutert.

Es zeigen:

Fig. 1 eine schematische Darstellung des Schnittbereiches zweier kohärenter Lichtbündel;

Fig. 2 eine graphische Darstellung des Schnittbereiches zweier kohärenter Liehtbündel, die gemäß einer Ausführungsform des Verfahrens gemäß der Erfindung modifiziert worden sind;

Fig. 3 eine schematische Darstellung einer Einrichtung zum Erzeugen eines Beugungsgitters gemäß der Erfindung;

Fig. 4 eine schematische Darstellung eines abgewandelten Teiles der Einrichtung gemäß Fig. 3;

Fig. 5 eine schematische Darstellung einer zweiten Einrichtung zum Erzeugen eines Beugungsgitters nach dem Verfahren gemäß der Erfindung; und

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Fig. 6 eine schematische Darstellung eines Teiles einer dritten Einrichtung zum Erzeugen eines Beugungsgitters nach dem Verfahren gemäß der Erfindung.

In Fig. 1 sind zwei kohärente Lichtbündel 11 und 12 dargestellt, die durch Aufspaltung eines Primärbündels kohärenter Strahlung erzeugt wurden. Die Pfeile 13 und 14 geben die relative Orientierung der beiden Bündel bezüglich ihrer Orientierung im Primärbündel an. Wenn die beiden Bündel unbeeinflußt sind, entstehen Interferenzstreifen im ganzen Schnittbereich, der durch das Viereck mit den Eckpunkten A, B, C und D dargestellt ist, und man kann diese. Interferenzstreifen, die in der Richtung des Pfeiles. BD verlaufen, mittels eines entsprechend angeordneten photographischen Films aufzeichnen. Wenn andererseits das Primärbündel zur Verringerung seiner räumlichen Kohärenz durch einen Diffuser geleitet'· und dadurch verändert worden ist, können nur dort Interferenzstreifen auftreten, wo sich die beiden Sekundärbündel 11 und 12 genau decken; im Falle der/Figur 1 dargestellten Situation ist dies nur in einer dem Pfeil BD entsprechenden Ebene der Fall. Interferenzstreifen sind nur in dieser Ebene sichtbar und man muß daher zur Aufzeichnung der Interferenzstreifen eine photographische Schicht in dieser Ebene anordnen.

Um diese Schwierigkeit zu vermeiden und die Herstellung von Beugungsgittern mit Vorzugsrichtung bei verschiedenen Wellenlängen mit der gleichen Wellenlänge (und damit der gleichen Gitterteilung bzw. gleichen Interferenzstreifenabständen ) zu ermöglichen, wird das Bündel 11 bezüglich des Bündels 14 komprimiert oder zusammengedrückt. Wenn, wie es inFig. 2 dargestellt ist, der Winkel, unter dem sich die Bündel schneiden, unverändert, bleibt, schwenkt die Ebene, in der Interferenzstreifen beobachtet werden können, vom

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Ort der in Fig. 1 durch die Linie BD angegebenen Ebene um einen Winkel zum Ort der in Fig. 2 durch die Linie BD dargestellten Ebene. Da der Einfallswinkel der beiden Lichtbündel und die Wellenlänge des Lichts gleichgeblieben sind, verlaufen die Interferenzstreifen in der gleichen Richtung wie in Fig. 1 und haben die gleichen. Abstände (die durch die gestrichelten Linien in dem Viereck A, B, C, D in Fig.2 dargestellt sind) , die Form des Vierecks A, B, C,D hat sich jedoch durch Verringerung der Breite des Bündels 11 geändert.

Eine praktische Einrichtung, die dies zu erreichen gestattet, ist in Fig. 3 dargestellt. Sie enthält eine Lichtquelle in Form eines Lasers 15, der ein dünnes, im wesentlichen kollimiertes (paralleles) Bündel liefert, das durch eine Linse 16 auf einen rotierenden Diffuser 17 fokussiert wird. Der Diffuser 17 wird durch einen Motor 18 angetrieben. Unmittelbar hinter dem Diffuser 17 befindet sich eine stationärer Diffuser 19, von dem aus das nun divergierende Lichtbündel, das mit 20 bezeichnet ist, auf einen Konkavspiegel 21 fällt, dessen Abstand vom Brennpunkt der Linse 16 seiner Brennweite entspricht. Der Konkavspiegel 21 steht jedoch schräg zur Achse des Lichtbündels 20, so daß das einfallende Licht durch den Konkavspiegel 21 als kollimiertes Bündel auf ein Beugungsgitter 31 geworfen wird.

Bei dem Beugungsgitter 31 handelt es sich um ein optisches Gitter, das die einfallende Lichtenergie in ein Bündel nullter Ordnung 24 und ein Bündel erster Ordnung 23 konzentriert. Da, wie aus Fig. 3 ersichtlich ist, die Winkel, die die Bündel 23 und 24 mit der Ebene des Gitters bilden, verschieden sind, haben auch das Bündel nullter Ordnung und das Bündel erster Ordnung unterschiedliche Breiten. Das Bündel nullter Ordnung fällt auf einen Reflektor 26 und von

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dort auf einen Reflektor 32, der das nun mit 28 bezeichnete Bündel in eine Richtung lenkt, in der es mit einem Bündel interferieren kann, welches durch Reflexion an einem Reflektor 25 aus dem Bündel 23 erster Ordnung entstanden ist.

Der Schnittbereich der beiden Bündel ist wieder durch ein Viereck A, B, C und D, und die Ebene, in der die Lichtbündel 27 und 28 Interferenzstreifen erzeugen, durch eine Linie BD dargestellt. Ein Aufzeichnungsträger oder Gitterrohling 29, der eine photoempfindliche Schicht 30 trägt, ist mit seiner Schichtebene in der durch die Linie BD dargestellten Ebene angeordnet. Die Richtung der entstehenden Interferenzstreifen ist durch gestrichelte Linien im Viereck A, B, C, D angegeben. Wie ersichtlich, verlaufen diese unter einem kleinen Winkel bezüglich der Ebene der photoempfindlichen Schicht 30.

Fig. 4 zeigt, wie die Einrichtung gemäß Fig. 3 abgewandelt werdenkann, um höhrere Winkel für die Vorzugsrichtung oder "Glanzwinkel" zu erreichen. Der Gitterrohling 29 mit der photoempfindlichen Schicht 30 ist in einer Zelle im Schnittbereich der beiden Bündel 27 und 28 angeordnet. Die Zelle 34 enthält eine geeignete Flüssigkeit, wie Kohlenstoff tetrachlor id, Paraffinöl, Siliconöle und dgl., sie hat zwei ebene Glasfenster 35 und 36, die die beiden Seiten der Zelle bilden, durch die die Lichtbündel 27 und 28 einfallen, sowie zwei Licht absorbierende oder durchlassende Wände 37 und 38. Die Richtung der Interferenzstreifen verläuft hier wie bei der Einrichtung gemäß Fig. 3 und ist durch einen gestrichelten Pfeil O dargestellt.

Fig. 5 zeigt eine andere Einrichtung zur photographischen Aufzeichnung von Interferenzstreifen. Bei dieser Einrichtung wird wie bei der Einrichtung gemäß Fig. 3 ein im

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wesentlichen kollimiertes Bündel 22 kohärenten Lichts dadurch erzeugt, daß man die Strahlung von einem Laser 15 durch eine Sammellinse 16 auf einen Diffuser 17 fokussiert, der durch einen Motor 18 gedreht wird. Das divergente Bündel 20 vom Diffuser 17 durchsetzt einen stationären Diffuser 19 und fällt dann auf einen Konkavspiegel 21, dessen Abstand vom Brennpunkt der Linse 16 gleich seiner Brennweite ist und der so geneigt ist, daß das parallele, kollimierte Bündel 22 auf einen Bündelteiler 38 fällt, der bei dieser Ausführungsform aus einem halbdurchlässigen Spiegel besteht. Das einfallende Primärbündel 22 wird durch den Bündelteiler 38 in zwei Sekundärbündel 42 und 43 aufgespalten, die auf Spiegel 39 bzw. 40 fallen. Der Spiegel 39 reflektiert das einfallende Sekundärbündel 42 in Form eines Bündels 44 auf ein Prisma 41 mit dreieckigem Querschnitt, das das einfallende Lichtbündel seitlich oder in Querrichtung durch Brechung zusammendrückt und ein Ausgangsbündel 46 liefert, dessen Querabmessung kleiner ist als die des vom Spiegel 40 reflektierten Bündels 44.

Die beiden Sekundärbündel 44 und 46 schneiden sich in einem Bereich, der durch das Viereck A, B, C, D dargestellt ist und einen Gitterrohling 29 enthält, dessen photoempfindliche Schicht 30 in einer durch die Linie BD bezeichneten Ebene liegt, in der sich die beiden einfallenden Sskunäärbündel 44 und 4β genau decken und daher dort sichtbare Jb-•iarferensstreifen erseugen.

j?ig_o 6 ssigt schließlich eine einfache Einrichtung sum Erzeugen v©n Beugungsgittern mit grober teilung und honen Glanswinksln, Ein in der gleichen Weise wie bei der Einrichtung gemäß Fig, 5 erzeugtes kollimiertes Primär bündel- 22 füllt auf sin Beugungsgitter 47_? d&s das Licht in zwei Crä-EHangsn fccnserririsrt _B die als Bündel 48 ητΛ 49 dargestellt'

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sind. Das Bündel 49, das das Bündel zweiter Ordnung darstellt, ist im Vergleich zum Bündel 48, das die nullte Ordnung darstellt, expandiert und die beiden Bündel 48 und 49 fallen auf Spiegel 50 bzw. 51, die so angeordnet sind, daß die auffallenden Bündel als Bündel 52 und 53 nahe an den beiden Seiten des Gitters 47 vorbeilaufen, und sich in einem Bereich entsprechend dem. Viereck A, B, C, D mit kleinem Winkel in bezug aufeinander sehneiden. Da bei diesem Falle beide Bündel hinter dem Bündelteiler jeweils nur einmal reflektiert werden, sind die beiden Bündel nicht seitlich in bezug aufeinander invertiert und die Ebene, in der die Interferenzstreifen beobachtbar sind, d.h. also in der sich die beiden Bündel genau decken, verläuft im wesentlichen quer zur Winkelhalbierenden, wie durch die Linie AC angedeutet ist. Die Richtung der Interferenzstreifen bildet in diesem Falle mit der Ebene, in der die Interferenzstreifen sichtbar sind, keinen kleinen Winkel, sondern vielmehr einen Winkel von nahezu 90° mit dieser Ebene. Auch hier wird wieder ein Gitterrohling 29 mit einer photoempfindlichen Oberfläche oder Schicht 30 in der betreffenden Ebene angeordnet, die in diesem Falle durch die Linie AC dargestellt ist.

Bei allen oben beschriebenen Einrichtungen wird die photoempfindliche Schicht während einer bestimmten Zeitspanne belichtet und der Photolack oder dgl. wird dann entwickelt, wodurch er eine dem Muster der aufgezeichneten. Interferenzstreifen entsprechende Gestalt annimmt.

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Λ -

Leerseite

Claims

Patentansprüche

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\^Lj. Verfahren zum Herstellen eines Beugungsgitters mit

Vorzugsrichtung durch photographisches Aufzeichnen von Interferenzstreifen, die durch zwei sich schneidende, kohärente Sekundärlichtbündel erzeugt werden, die von einem gemeinsamen kohärenten Primärbündel stammen, dessen räumliche Kohärenz durch einen rotierenden Diffuser zumindest verringert worden ist, dadurch gekennzeichnet, daß eines der Sekundärbündel (27, 28; 42, 43; 52, 53) seitlich in bezug auf das andere Sekundärbündel um einen Betrag komprimiert oder expandiert wird, der in Verbindung mit dem Schnittwinkel der beiden Bündel im Schnittbereich so gewählt ist, daß sich die beiden Bündel in mindestens einer Ebene des Schnittbereiches decken, und daß in dieser Ebene eine photoempfindliche Fläche (30) zur Aufzeichnung der auf diese Weise erzeugten Interferenzstreifen angeord-..-net wird.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß man das eine (45, 46) der beiden interferierenden Lichtbündel zur lateralen Kompression durch ein Prisma (41, Fig. 5) fallen läßt.
3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die laterale Kompression eines der beiden interferierenden Lichtbündel (27, 28; 42, 43; 52, 53) in bezug auf das andere Bündel durch ein Beugungsgitter (31; 47) bewirkt wird, das das Primärbündel (20, 22) in die beiden Sekundärbündel (23, 24; 48, 49) aufteilt und so gewählt ist, daß das einfallende Licht überwiegend in nur zwei Ordnungen konzentriert wird.

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4. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Aufteilung des Primärbündels (20, 22) in die beiden Sekundärbündel (42, 43) mittels eines halbdurchlässigen Spiegels (38) erfolgt (Fig.5),
5. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die durch den Bündelteiler (47) erzeugten beiden Sekundärbündel (49, 53; 48, 52) auf beiden Seiten des Bündelteilers (47) vorbei so reflektiert werden, daß sie sich unter einem kleinen Winkel schneiden (Fig. 6).
6. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß als photoempfindliche Fläche (30) eine Photolackschicht verwendet wird, die nach dem Belichten mit den Interferenzstreifen und anschließendem Entwickeln eine Oberflächen-^topographie annimmt, die vom Abstand und der Intensität der Interferenzstreifen abhängt.
7. Verfahren nachjeinem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß das Primärbündel (2O) von der kohärenten Lichtquelle (15) durch eine sammelnde Optik (16) auf den Diffuser (17) fokussiert wird und daß das diffuse Primärbündel (20) durch einen Konkavspiegel (21) kollimiert und auf den Bündelteiler (31, 38; 47) geworfen wird, der das Primärbündel in die beiden Sekundärbündel aufteilt.
8. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß ein Aufzeichnungsträger mit der photographisch empfindlichen Oberfläche (30) in einer Zelle (34) angeordnet wird, die eine Flüssigkeit und zwei transparente Fenster (35, 36) aufweist,

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durch die die zur Interferenz zu bringenden Bündel (27, 28) auf die photoempfindliche Oberfläche (30) fallen.
9. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß das eine Sekundärbündel (23, 27) einmal und das andere Sekundärbündel (24, 28) zweimal reflektiert werden, bevor die Bündel den Schnittbereich erreichen und miteinander interferieren.
10. Einrichtung zum Herstellen eines Beugungsgitters mit Vorzugsrichtung durch photographisches Aufzeichnen von Interferenzstreifen, die in einem Schnittbereich zweier kohärenter Sekundärbündel entstehen, die von einem gemeinsamen kohärenten Primärbündel stammen, mit einer das Primärbündel aus kohärentem Licht liefernden Lichtquelle, einem rotierenden Diffuser, der die räumliche Kohärenz des Primärbündels zumindest verringert, einer Vorrichtung zum Aufteilen des Primärbündels in die beiden Sekundärbündel, einer Anordnung, die die beiden Sekundärbündel über zugehörige Strahlengänge ziinindestens einem Schnittbereich leitet, und einem photographischen Aufzeichnungsträger für die Interferenzstreifen, d adurch gekennzeichnet, daß im Strahlengang mindestens eines der Sekundärbündel (23, 24; 42, 43; 48, 49) eine Vorrichtung (41; 50, 51) zur lateralen Kompression oder Expandion eines der beiden Sekundärbündel in bezug auf das andere angeordnet ist, welche eine solche laterale Kompression bewirkt, daß sich die beiden Sekundärbündel (27, 28; 44, 46; 52, 53) in einer Ebene im Schnittbereich genau decken und dort ein beobachtbares Interferenzstreifenmuster bilden, und daß der photographische Aufzeichnungsträger in dieser Ebene (A-C) angeordnet ist.

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11. Einrichtung nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß der Bündelteiler (31, 47), der das Primärbündel (20, 22) in die beiden Sekundärbündel (23, 24; 48, 49) aufteilt, ein Beugungsgitter (31, 47) ist, das gleichzeitig als Vorrichtung zur Bündelexpansion bzw. -kompression wirkt.
12.Einrichtung nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß der Bündelteiler zum Aufteilen des Primärbündels (20, 22) in die beiden Sekundärbündel (42, 43) ein halbdurchlässiger Spiegel (38) ist.
13. Einrichtung nach Anspruch 10, 11 oder 12, dadurch gekennzeichnet, daß die Anordnung (25, 26, 32; 39, 40; 50, 51), die die beiden Sekundärbündel (23, 24; 42, 43; 48, 49) zum Schnitt bringt, aus zwei Spiegeln (25, 26, 32; 39, 40; 50,51) besteht, die jeweils im Strahlengang eines der Sekundärbündel angeordnet sind.
14. Einrichtung nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, daß im Strahlengang eines der Sekundärbündel (24) ein weiterer Spiegel (32) angeordnet ist, der dieses Sekundärbündel bezüglich des anderen SekundärbundeIs lateral invertiert.
15. Einrichtung nach einem der Ansprüche 10 bis 14, dadurch gekennzeichnet, daß der photographische Aufzeichnungsträger (30) in einer Zelle

(34) angeordnet ist, die eine Flüssigkeit enthält und mindestens zwei transparente Wände (35, 36) hat.

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16. Einrichtung nach Anspruch 15, dadurch gekennzeichnet, daß die anderen Wände (37, 38) der Zelle (34) lichtabsorbierend ausgebildet sind.
17. Einrichtung nach Anspruch 15 oder 16, dadurch gekennzeichnet, daß die Flüssigkeit in der Zelle (34) KoHenstofftetrachlorid ist.
18. Einrichtung nach Anspruch 15 oder 16, dadurch gekennzeichnet, daß die Flüssigkeit in der Zelle (34) aus einem Siliconöl besteht.
19. Einrichtung nach Anspruch 15 oder 16, dadurch gekennzeichnet, daß die Flüssigkeit in der Zelle (34) ein flüssiges Paraffin enthält.

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