DE3111027A1

DE3111027A1 - Verfahren und vorrichtung zur positionsabtastung eines objektes

Info

Publication number: DE3111027A1
Application number: DE19813111027
Authority: DE
Inventors: Seiji Hachiouji Tokyo Kashioka; Hiroshi Sakow
Original assignee: Hitachi Ltd
Current assignee: Hitachi Ltd
Priority date: 1980-03-24
Filing date: 1981-03-20
Publication date: 1982-02-18
Also published as: JPH0531084B2; DE3111027C2; US4435835A; GB2075182B; JPS56132505A; GB2075182A

Description

BESCHREIBUNG

Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung zur Abtastung der Position eines Gegenstandes unter Verwendung eines Bildmusters, das von einer Fernsehkamera oder dergleichen aufgenommen wird.

. Ein Verfahren, bei dem aus einem von einer Aufnahmeeinrichtung, z.B. einer Fernsehkamera aufgenommenen Bildmuster ein bestimmtes Objektmuster in der Weise herausgezogen wird, daß es sich von irgendeinem anderen Muster oder einem Hintergrundmuster unterscheidet und bei dem die Position des ObJuktmusters innerhalb des zweidimensionalen Bildmusters ermittelt wird, ist beispielsweise in der JP-OS 52-14112 oder JP-OS 52-9133 beschrieben.

Dieses Verfahren tastet die Position des Objektmusfcers eines Objektes in der Weise ab, daß ein lokales Muster auf dem Objekt als Standardmuster verwendet wird, daß die Positionsrelationen zwischen dem Standardmuster und dem Objektmuster vorher gespeichert werden, daß Teilmuster, die an verschiedenen Stellen aus dem Bildmuster eines von der Aufnahineeinrichtung gelieferten Aufnahmebereiches herausgeschnitten werden, nacheinander mit dem Standardmuster verglichen werden und daß Positionskoordinaten herausgezogen werden, die für das am besten koinzidente Teilmuster repräsentativ sind.

Bei einem derartigen Verfahren wird jedoch das Objektmuster unterschieden, indem man die Position des lokalen Musters herausfindet, das sich am besten mit dem Standardmuster innerhalb des Bildmusters des Aufnahmebereiches deckt, so daß in dem Falle, wo eine Vielzahl von Mustern mit demselben Merkmal wie das lokale Muster innerhalb des Bildmusters vorhanden sind, nur eines von ihnen abgetastet wird, so daß es unmöglich ist, das spezielle lokale Muster abzutasten und das Objektmuster zu erhalten.

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Um es zu ermöglichen, nur das spezielle lokale Muster zuverlässig auch dann abzutasten, wenn eine Vielzahl von Mustern mit dem gleichen Merkmal wie das lokale Muster innerhalb des Bildmusters vorhanden sind, ist folgendes Verfahren angegeben worden.

Der Aufnahmebereich wird in eine Vielzahl von Bereichen unterteilt, die Positionskoordinaten der Teilmuster, in denen der Grad der Koinzidenz zwischen den herausgeschnittenen lokalen Mustern und dem Standardmuster maximal wird, werden in. entsprechenden Bereichen ausgewertet, der Grad der Koinzir denz, der nicht kleiner als ein vorgegebener. Wert ist, wird herausgezogen oder ausgewertet, und die Positionskoordinaten des Objektmusters werden aus den relativen Positionsrelationen unter der Vielzahl von Positionskoordinaten der so herausgezogenen Teilmuster abgetastet.

Bei diesen herkömmlichen Verfahren ist jedoch notwendige Bedingung, daß das Objektmuster oder das lokale Muster zur Abtastung der eigenen oder innewohnenden Positionsrelationen innerhalb des Aufnahmebereiches bei der Abtastung existiert, und wenn diese Bedingung nicht erfüllt ist, muß entweder die Aufnahmeeinrichtung oder das Objekt bewegt werden. In dem Falle, wo bei der Positionsabtastung eines Musters auf einem Halbleiterplättchen oder dergleichen die Bildvergrößerungen aufgrund der fortgeschrittenen Winzigkeit des Musters des Objektes oder zur Steigerung der Erkennungsgenauigkeit erhöht worden sind, erfolgt eine Kontraktion des Aufnahmebereiches relativ zu einer identischen Zuführungsabweichung, und es wird weniger wahrscheinlich, daß die oben genannte Bedingung erfüllt ist.

Aufgabe der Erfindung ist es, ein Verfahren zur Positionsabtastung anzugeben, das es ermöglicht, die gelieferte Position eines Objektes abzutasten, ohne eine Aufnahmeeinrichtung oder das Objekt zu bewegen, welche Zuführungsablenkung das Objekt auch mit sich bringen mag.

Zur Erreichung dieses Zieles ist gemäß der Erfindung vorgesehen, daß die Positionskoordinaten von einer oder mehrer·

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Sorten von Standardmustern, die aus einem Muster eines
ganzen Bereiches herausgezogen werden, der so eingestellt
ist, daß er einen Aufnahmebereich eines Objektes bei allen angenommenen gelieferten Positionen des Objektes enthält,
vorher gespeichert werden, daß die Positionskoordinaten
des Standardmus ters in gleicher Weise aus einem Bildmuster des Aufnahmebereiches auf dem Objekt herausgezogen werden, und daß die Positionsinformation des Standardmusters im gesamten Bereich und dem Aufnahmebereich verglichen werden,
um zu entscheiden, welcher Teil des gesamten Bereiches des Aufnahmebereiches darin liegt, so daß die Position des
Objektes abgetastet wird.

Die Erfindung wird nachstehend anhand der Beschreibung von Ausführungsbeispielen und unter Bezugnahme auf die beiliegende Zeichnung näher erläutert. Die Zeichnung zeigt in Figur 1 eine schematische Darstellung des Aufbaus eines

automatischen Draht-Bonding-Systems, bei dem eine erfindungsgemäße Vorrichtung zur Positionsabtastung verwendet wird;

Figur 2 ein Blockschaltbild zur Erläuterung einer Ausführungsform der erfindungsgemäßen Vorrichtung zur Positionsabtastung gemäß Figur 1 ; . . .
Figur 3 eine schematische Darstellung zur Erläuterung eines Beispiels eines Musters eines Objektes;
Figur 4 eine schematische Darstellung zur Erläuterung von

Beispielen von Standardmustern;
Figur 5 eine scheamtische Darstellung zur Erläuterung der Positionen der Standardmuster gemäß Figur 4 im Muster nach Figur 3;

Figur 6 eine schematische Darstellung zur Erläuterung eines Beispiels eines Musters eines Objektes, das bei der Abtastung aufgenommen wird;
Figur 7 eine schematische Darstellung zur Erläuterung der Positionen der Standardmuster gemäß Figur 4 im Muster gemäß Figur 6;

Figur 8 ein Blockschaltbild einer Ausführungsform einer Verarbeitungsschaltung 32 in Figur 2;

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Figur 9 ein Blockschaltbild einer Ausführungsform einer

Suchbereich-Teilerschaltung in Figur 8; Figur 10 ein Blockschaltbild einer Ausführungsform einer Verarbeitungsschaltung 35 in Figur 2; Figur 11 eine schematische Darstellung von Beispielen von Standardmustern, die in entsprechenden Bereichen des Musters gemäß Figur 5 vorhanden sind; Figur 12 eine schematische Darstellung zur Erläuterung von Beispielen von Standardmustern, die in entsprechenden Bereichen des Musters gemäß Figur 7 vorhanden

sind; und in
Figur 13 ein Blockschaltbild einer Ausführungsform einer Treiberschaltung in Figur 10.

Figur 1 zeigt den Aufbau eines automatischen Draht—Bondingsystems, mit dem Drähte auf eine Halbleiterpille gebondet werden, indem man Verfahren und eine Vorrichtung zur Positionsabtastung gemäß der Erfindung verwendet.

Wenn bei einer Anordnung gemäß Figur 1 eine Halbleiterpille 1 von einer beweglichen Einrichtung 2 zugeführt worden ist, so wird ihr Bild auf ein Ziel 7 in einer Aufnahmeeinrichtung 6 projiziert, und zwar durch die Objektivlinse 4 eines Mikroskops 3, sowie einen Spiegel 5. Wie nachstehend näher erläutert, tritt ein in der Aufnahmeeinrichtung 6 erzeugtes Videosignal 8 in eine erfindungsgemäße Vorrichtung 9 zur Positionsabtastung ein, in der eine Videoverarbeitung durchgeführt wird, um ein Signal 10 zu liefern, das repräsentativ für die Positionskoordinaten eines Objektmusters auf dem Objekt ist. Das Signal 10 der Positionskoordinaten wird einer Steuerschaltung 11 zugeführt, von der ein Steuersignal 12 zu einem geeigneten Zeitpunkt für den Betrieb eines Mechanismus geliefert wird, das einem X-Y-Servomechanismus 13 und einerr von diesem getragenen Draht-Bondingmechanismus 14 geliefert wird. Auf diese Weise wird der X-Y-Servomechanismus 13 betätigt und der Draht-Bondingmechanismus 14 in eine vorgegebene Position bewegt. Der Bondingmechanismus 14 ist mit einem Arm 15 versehen, der an seinem vorderen Ende eine Kapillare 16

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trägt. Aufgrund dieser Bewegung wird die Kapillare 16 in eine Position bewegt, die einer gewünschten Position auf der Halbleiterpille 1 gegenüber liegt und das Bonden auf der Halbleiterpille 1 wird auf der Basis des Steuersignals

.5 12 von der Steuerschaltung 11 durchgeführt. Die Steuerschaltung 11 ist aus einer Verarbeitungseinrichtung aufgebaut, z.B. einem elektronischen Computer.

Figur 2 zeigt den Aufbau einer Ausführungsform der erfindungsgemäßen Vorrichtung 9 zur Positionsabtastung, wie sie in Figur 1 verwendet wird.

Wie aus Figur 2 ersichtlich, wird das Videosignal 8 von der Aufnahmeeinrichtung G unter Bezugnahme auf vorher in einem Speicher 31 gespeicherte Standardmuster verarbeitet, und zwar mittels einer Verarbeitungsschaltung 32, die von einem Startsignal von der Steuerschaltung 11 gestartet wird.

Die Verarbeitung in der Verarbeitungsschaltung 32 wird nachstehend näher erläutert.

Figur 3 zeigt ein Beispiel des Musters eines Objektes, wie z.B. einer Halbleiterpille 1. Der gesamte Bereich 20 ist so groß, daß auch dann, wenn ein aufzunehmender Bereich sich bei einer Zuführungsablenkung des Objektes verschiebt, eine ausreichende Abdeckung vorhanden ist. Ein Bereich 21 ist der aufzunehmende Bereich in dem Zustand, bei dem keine Zuführungsablenkung existiert.

Figur 4 zeigt Beispiele von charakteristischen Teilmustern in Figur 3. Diese charakteristischen Teilmuster sind vorher als Standardmuster im Speicher 31 gespeichert.

Figur 6 zeigt ein Beispiel eines Bildmusters innerhalb des Aufnahmebereiches 21 bei einem bestimmten Zuführungszustand des Objektes. Dieses Muster wird in die Vorrichtung 9 zur Positionsabtastung als Videosignal 8 eingegeben.

In der Verarbeitungsschaltung 32 wird der Aufnahmeb^·- reich 21 gemäß Figur 6 in eine Vielzahl-von Abschnitten in jeder horizontalen und vertikalen Richtung unterteilt, d.h.

in den Richtungen der x-Achse und y-Achse gemäß Figur 7, und die Anwesenheit der in Figur 4 dargestellten Standardmuster

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wird in jedem dieser Abschnitte abgetastet. Die Abtastergebnisse sind in Figur 7 eingetragen.

Die Zahlen 1 bis 4 in Figur 7 entsprechen den jeweiligen Standardraustern (1) bis (4) in Figur 4.

Die auf diese Weise in der Verarbeitungsschaltung 32 erhaltenen Ergebnisse werden in einem Speicher 33 in Form der Sorten von Standardmustern, ihren x-Positionskoordinaten und y-Positionskoordinaten sowie den Koordinaten (i, j) der Abschnitte gespeichert, wo die .Standardmuster vorhanden sind. Die erhaltenen Ergebnisse, wenn der gesamte Bereich des in Figur 3 dargestellten Musters in eine Vielzahl von Abschnitten in den jeweiligen Richtungen der X-Achse und Y-Achse unterteilt worden ist und wenn die Positionskoordinaten der Standardmuster (1) bis (4) in Figur 4 in den jeweiligen Abschnitten vorher abgetastet worden sind, sind in Figur 5 dargestellt.

Gemäß der Erfindung wird die Positionsinformation, die in Figur 5 angegeben ist, in einem Speicher 34 in der gleichen Form wie im Speicher 33 gespeichert, d.h. in Form der Sorten 0 der Standardmuster, ihrer X-Positionskoordinaten und Y-Positionskoordinaten, und den Koordinaten (I, J) der Abschnitte, wo die Standardmuster vorhanden sind. Die Bereiche 20' und 21' in Figur 5 entsprechen den Bereichen 20 bzw. 21 in Figur In einer Verarbeitungsschaltung 35 in Figur 2 wird der Teil in Figur 5, der den Positionsrelationen der in Figur7 angegebenen Standardmus hern genügt, abgetastet, um damit die Zuführungsposition des Objektes abzutasten. Das Ergebnis wird in einem Speicher 36 gespeichert. Wenn die Verarbeitung in der Verarbeitungsschatlung 35 beendet ist, wird der Inhalt des Speichers 36 in die Verarbeitungsschaltung 32 geladen und der Steuerschaltung 11 zugeführt.

Nachstehend sollen Einzelheiten der Verarbeitung in der Verarbeitungsschaltung 32 näher erläutert werden.

Figur 8 zeigt ein Beispiel einer konkreten Ausführungsform der Verarbeitungsschaltung 32 in Figur 2.

In Figur 8 bezeichnet das Bezugszeichen 6 eine Aufnahme-

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einrichtung, wie z.B. eine in Figur 1 angegebene Fernsehkamera, während das Bezugszeichen 41 einen Taktgenerator bezeichnet. Ein vom Taktgenerator 41 geliefertes Taktsignal 41S wird an einen X-Y-Zähler 4 2 angelegt. Der X-Y-Zähler 4 besteht aus einem X-tfähler, der die Impulse des Taktsignals 41S zählt, um den X-Äbszissenwert des Aufnahmefeldes zu erhalten, sowie einem Y-Zähler, der ein Übertragssignal 42C des X-Zählers zählt, um die Y-Ordinate des Aufnahmefeldes zu erhalten. Mit dem Bezugszeichen 43 ist ein Synchronisationssignal-Generator bezeichnet, der ein Synchronxsatxonssignal 43S liefert, das zur Feldabtastung der Aufnahmeeinrichtung auf der Basis des Zählwertes des X-Y-Zählers 4 2 erforderlich ist.

Die Aufnahmeeinrichtung 6 nimmt eine Rasterabtastung der Bildebene synchron mit dem Synchronisationssignal 43S vor und liefert das Videosignal 8. Dieses Videosignal 8 wird von einer Schwellwertschaltung 4 4 in ein Binärsignal 4 4S umgewandelt, das angibt, ob das Bild eines Bildelementes "weiß" oder "schwarz" ist, und das einem Bildspeicher 45 zugeführt wird.

Der Bildspeicher 45 und eine Teilmusterausschnittschaltung 46 können beispielsweise Bauformen der Art verwenden, wie es in der JP-OS 46-14112 beschrieben ist.

Genauer gesagt, besteht der Bildspeicher 45 aus (n-1) Schieberegistern, die hintereinander geschaltet sind und die dazu dienen, die binäre Bildinformation zeitweilig zu speichern, die der Anzahl von Abtastzeilen (n-1) entspricht. Die Ausgangssignale dieser Schieberegister entsprechen η BiIdelementen in der Positionsrelation, die in vertikaler Riehtung des Aufnahmefeldes angeordnet ist. Wenn dementsprechend die Signale von η Bildelementen aus dom Bildspeicher 4ί> parallel abgerufen werden, werden sie der Teilmusterausschnittschaltung 46 zugeführt, die aus η Schieberegistern besteht, von denen jedes eine Länge von η Bits besitzt, und sie werden als Parallelinformation von η χ η Bits abgerufen, während die Teilmuster der η χ η Bildelemente, die den Ab-

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tastpositionen des Bildes entsprechen, nacheinander abgerufen werden.

Das Bezugszeichen 47 bezeichnet ein Register, das zum Halten von Standardmustern dient, die mit den Teilmustern verglichen werden und aus Information von n_ χ η Bildelementen bestehen, wobei in diesem Register 47 die Standardmuster gespeichert werden, die selektiv vom Speicher 31 in Figur 2 geliefert werden. Der Inhalt des Registers 47 und die Ausgangssignale der Teilmusterausschnittschaltung 46 werden bei den jeweiligen entsprechenden Bits voneiner Entscheidungsschaltung 48 verglichen, und die Gesamtanzahl von Bits, bei denen Koinzidenz des Inhalts besteht, wird als Signal 48S geliefert, das den Grad der Koinzidenz zwischen den Teilmustern und den Standardmustern angibt. Da der Bildspeicher 45, die Teilmusterausschnittschaltung 46 und die Entscheidungsschaltung 48 synchron mit dem Taktsignal 41S arbeiten, werden derartige Koinzidenzsignale 48S nacheinander geliefert, und zwar parallel mit der Abtastung der Bildebene.

Das Bezugszeichen 50 bezeichnet eine Suchbereich-Teilerschaltung, die synchron mit dem Taktsignal 41S arbeitet und entscheidet, ob der vorliegende Abtastpunkt innerhalb des effektiven Aufnahmebereiches oder Suchbereiches liegt oder nicht, und zwar auf der Basis des Übertragssignals 42C des X-Zählers und des X-Y-Koordinatensignals 49 (49X, 49Y), die vom X-Y-Zähler 4 2 geliefert werden. Wenn der vorliegende Abtastpunkt innerhalb des Suchbereiches liegt, wird ein Koinzidenzvergleich-Befehlssignal 51 geliefert. Außerdem teilt diese Schaltung den Suchbereich in eine Vielzahl von Sektionen oder Abschnitten und erzeugt Adressensignale 52 (52X, 52Y), die angeben, zu welchem Abschnitt oder zu welcher Sektion der Abgastpunkt gehört. Die Adressensignale 52 werden an einen Koinzidenzspeicher 56 und einen Koordinatenspeicher 57 über eine Adressenschaltung 55 angelegt.

l>.:r Koinz i denzapeicher 56 hat Speicherbereiche, die dan

.V) Adrui>i;ens i.gnulon 52 entsprechen und kann darin die maximalen Grade der Koinzidenz bis zum vorliegenden Zeitpunkt zwischen

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den Teilmustern und den Standardmustern bei den entsprechenden Abschnitten oder Sektionen speichern, die den Adressen im Suchbereich entsprechen. Genauer gesagt, der Inhalt der adressierten Speicherbereiche des Koinzidenzspeichers 56 wird in Form von Signalen 56S ausgelesen, und diese werden an einen Komparator 59 zusammen mit den Koinzidenzsignalen 48S angelegt, welche nacheinander von der Entscheidungsschaltxmg 48 geliefert werden. Der Komparator 59 liefert ein Impulssignal 59S, wenn der Grad der neu erhaltenen Koinzidenz gemäß den Koinzidenzsignalen 48S größer ist. Das Impulssignal 59S wird an ein UND-Gatter 54 angelegt, das vom Koinzidenzvergleich-Befehlssignal 51 in die Zustände "Ein" und "Aus" gesteuert wird; vom UND-Gatter 54 wird nur während der Ausgangssignalperiode des Koinzidenzvergleich-Befehlssignals 51 ein Signal in Form eines Impulses 54S geliefert, der es dem Koinzidenzspeicher 56 und dem Koordinatenspeicher 57 ermöglicht, die Daten zu aktualisieren. Der Koinzidenzspeicher 56 kann dementsprechend den neuen Grad der Koinzidenz speichern, der durch das Koinzidenzsignal 48S in seinem Speicherbereich gegeben ist und den Adressensignalen 52 in Abhängigkeit vom Impulssignal 54S entspricht.

In gleicher Weise wie der Koinzidenzspeicher 56 hat der Koordinatenspeicher 57 Koordinaten-Speicherbereiche, die den Adressensignalen 52 entsprechen, und er speichert die Koord-inaten 49 vom X-Y-Zähler 42 in seinem adressierten Speicherbereich, wenn das Impulssignal 54S gegeben ist.

Da die Feldabtastung in einer Weise durchgeführt wire?,, die sich in X-Richtung wiederholt, während eine Verschiebung der Position in der Y-Richtung erfolgt, ändert sich die Adresse des Abschnitts innerhalb des Suchbereiches fortschreitend in Abängigkeit von der Feldabtastung. Bei Beendigung der Abtastung von einem Bildfeld werden dementsprechend die maximalen Grade der Koinzidenz zwischen den Standardmustern und den Teilmustern und die Positionskoordinaten der Teilmuster hinsichtlich sämtlicher Sektionen oder Abschnitte jeweils in den Speichern 56 und 57 gespeichert.

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Das Bezugszeichen 60 bezeichnet eine Steuerung, bei der es sich um eine Einheit handelt, die die Funktionen der Eingabe/Ausgabe von Information, der Ablaufsteuerung, der numerischen Steuerung und der Entscheidung von Daten hat, wie z.B. ein elektronischer Rechner. Beim Empfang eines Startsignals 1OA von einer externen Steuerschaltung 11 startet die Steuerung 60 die Steueroperationen in Abhängigkeit von vorher programmierten Prozeduren. Zunächst liest sie das erforderliche Standardmuster aus dem Speicher 31 aus und gibt ein Mustersignal· 62 an das Register 47, während sie solche Parameter wie die Dimensionen d1 und d2 des Abschnitts in X-Richtung und Y-Richtung, die Anzahl von Teilungen n1 und n2 in X- und Y-Richtung, sowie die Koordinaten Xs und Ys des Startpunkts des Suchbereiches in Form von Signalen 63 an die Suchbereich-Teilerschaltung 50 gibt. Löschsignale 64 und 65 werden jeweils an den Koinzidenzspeicher 56 bzw. den Koordinatenspeicher 57 angelegt, um ihren Inhalt zu löschen, woraufhin ein Schaltsignal 66 geliefert wird, damit· die Adressenschaltung 55 in der Lage ist, die Adressen von der Suchbereich-Teilerschaltung 50 zu liefern.

Wenn diese Vorverarbeitungs-Operationen beendet sind, liefert die Steuerung 60 der Suchbereich-Teilerschaltung 50 ein Start-Befehlssignal 67 für eine Musterabtastungsoperation. Beim Empfang des Start-Befehlssignals 67 startet die Suchbereich-Teilerschaltung 50 die Operation für die Musterabtastung zu einem Zeitpunkt, zu dem die Feldabtastung der Aufnahmeeinrichtung 6 in ihre Ausgangsposition zurückgekehrt ist. Bei Beendigung der Abtastung von einem Bildelement liefert die Suchbereich-Teilerschaltung 50 ein Endsignal 53, um die Steuerung 60 von der Beendigung der Musterabtastoperation zu informieren.

Wenn das Endsignal 53 empfangen worden ist, liefert die Steuerung 60 ein Schaltsignal 66, so daß die Adressenschaltung 55 Zugriff zu den Speichern 56 und 57 nehmen kann, und zwar

}5 auf der P./isis einos von der Steuerung 60 zu liefernden AdressensignaLs 68. Somit liest die Steuerung 60 nacheinander

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die Grade der Koinzidenz der entsprechenden Abschnitt aus, die in dem Koinzidenzspeicher 56 gespeichert sind, und entscheidet, ob sie zumindest gleich einem vorgegebenen Wert sind oder nicht. Wenn irgendeiner der Grade der Koinzidenz gleich oder größer als der vorgegebene Wert ist, werden die Koordinatenwerte aus dem Koordinatenspeicher 57 ausgelesen, und sie werden in den Speicher 33 auf der Seite der Steuerung 60 eingeschrieben, und zwar zusammen mit der Information, welche die Art des Standardmusters und die Koordinaten des Abschnittes- angibt, die dem Adressensignal 68 zu dieser Zeit entsprechen. ·

Wenn die Verarbeitung für ein Standardmuster auf diese Weise beendet worden ist, wird das nächste Standardmuster aus dem Speicher 31 ausgelesen und der gleiche Vorgang_/ wie oben beschrieben, wiederholt.

Wenn die gleichen Operationen für sämtliche Standardmuster durchgeführt worden sind und die Verarbeitung beendeh worden ist, wird ein nachstehend näher beschriebenes Shcirtsignal an die Verarbeitungsschaltung 35 übertragen. Wenn die Verarbeitung in der Verarbeitungsschaltung 35 beendet ist, lädt die Verarbeitungsschaltung 32 den Inhalt des Speichers 36 und überträgt ihn zur Steuerschaltung 11 in Form eines .Signals 10B in Abhängigkeit von einem Endsignal, das von· der Verarbeitungsschaltung 35 geliefert wird.

· Nachstehend wird eine konkrete Ausführungsform der Suchbereich-Teilerschaltung 50 unter Bezugnahme auf Figur 9 näher erläutert.

Die Suchbereich-Teilerschaltung 50 besteht aus einem X-Adressensteuerteil und einem Y-Adressensteuerteil. Die Bezugszeichen 7OY und 7OY bezeichnen Register zum Festhalten der Koordinaten Xs und Ys des Startpunkts der Suche, die Bezugszeichen 71X und 71Y bezeichnen Register zum Festhalten der Dimensionen d2 und d1 von einem unterteilten Abschnitt in X-Richtung und Y-Richtung, und die Bezugszeichen 72X und 72Y bezeichnen Register zum Festhalten der Anzahlen n2 und n1 von Abschnitten in X-Richtung bzw. Y-Richtung. Die in diesen Re-

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gisterh festzuhaltenden Parameter werden von der Steuerung 60 in Form von Signalen 63 geliefert. Die Bezugszeichen 73X, 73Y, 74X, 74Y, 7^rjX und 75Y bezeichnen Koinzidenzabtastschaltungen; die Bezugszeichen 76X, 76Y, 77X und 77Y bezeichnen Zähler; die Bexugszeichen 78X, 78Y und 79 bezeichnen Flip-Flops; die Bezugszeichen 80Χ_Λ 8OY, 81 und 84 bezeichnen UND-Gatter; und die Bezugszeichen 82X, 82Y, 83X und 83Y bezeichnen ODER-Gatter.

Zunächst wird der Betrieb des X-Adressensteuerteils beschrieben. Die Koinzidenzabtastschaltung 73X vergleicht den X-Abszissenwert 49X des vom Koordinatenzähler oder X-Y-Zähler 42 gelieferten Abtastpunktes und den Abszissenwert Xs des im Register 70X gehaltenen Abtastpunktes und liefert ein Impulss.ignal 90X bei Koinzidenz. Dieses Impulssignal 9OX setzt das Flip-Flop 78X, setzt die Werte der Zähler 76X und 77X über die ODER-Gatter 82X bzw. 83X zurück. Wenn das Flip-Flop 78 in den gesetzten Zustand gecjangen ist, so schaltet sein Ausgang day UND-Gatter 80X ein, und die fundamentalen Taktsignale 41S werden nacheinander an den Zähler 76X angelegt, so daß die Zähloperation gestartet wird.

Die Koinzidenzabtastschaltung 74X liefert ein Impulssignal 91X, wenn der Wert des Zählers 76X Koizidenz mit der seitlichen Breite d2 eines geteilten Abschnitts gezeigt hat, der im Register 71X gehalten wird. Dieses Impulssignal 91X wird an den Zähler 77X angelegt,um den Zählwert um 1 (eins) zu erhöhen, und wird an den Riicksetz-Eingang des Zählers 76X über das ODER-Gatter 82X angelegt. Dementsprechend wiederholt der Zähler 76X die Zäh!operation bei jedem Zählwert, der gleich der seitlichen Breite des geteilten Abschnitts ist, und erhöht don Wert des Zählt?r.y 77X jedesmal dann, wenn der Abtastpunkt von einem Abschnitt zum nächsten Abschnitt in X-Richtung übergeht. Der Inhalt des Zählers 77X ist ein Wert, der angibt, welcher Abschnitt in seitlicher Richtung der Abtastung gerade untersucht wird, und dieser Wert wird als Signal 52X

i'i geliefert, das die X-Adresse des Abschnitts angibt.

Die Koinzidenzabtastschaltung 75X vergleicht den Wert

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des Zählers 77X und den im Register 72X gehaltenen Best immun gs wert n2 des Abschnitss in X-Richtung und liefert bei Koinzidenz ein Impulssignal 92X. Das Impulssignal 92X wird über das ODER-Gatter 83X an den Rücksetzeingang des Zählers 77X angelegt, um seinen Wert auf Null zurückzustellen, und es setzt das Flip-Flop 78X zurück, um das UND-Gatter 8OX abzuschalten, und den Eingang der fundamentalen Taktsignale 41S zu sperren. Da diese Operationen bei den entsprechenden horizontalen Abtastzeilen wiederholt werden, werden die Signale 52X zur Bezeichnung der X-Adressen der unterteilten Abschnitte innerhalb des Suchbereiches wiederholt geliefert.

Als nächstes wird der Y-Adressensteuerteil näher erläutert. Wenn beim Y-Adressensteuerteil das Start-Befehlssignal 67 zum Starten der Abtastoperation von der Steuerung 60 geliefert worden ist, wird das Flip-Flop 79 gesetzt, um das UND-Gatter 84 einzuschalten. Die Koinzidenzabtastschaltung 73Y vergleicht die Y-Ordinate 49Y des vom Koordinatenzähler oder X-Y-Zähler 42 gelieferten Äbtastpunktes sowie die Ordinate Ys des im Register 7OY gehaltenen Abtastpunktes und liefert ein Impulssignal 9OY bei Koinzidenz·. Dieses Impulssignal 9OY setzt die Zähler 76Y und 77Y über die ODER-Gatter 82Y bzw. 83Y zurück und setzt das Flip-Flop 78Y über das UND-Gatter 84, wenn dieses UND-Gatter eingeschaltet ist. Somit wird das UND-Gatter 80Y eingeschaltet, und die Übertragsignale 42C, die jeweils .vom Koordinatenzähler oder X-Y-Zähler 42 bei jeder horizontalen Abtastzeile geliefert werden, werden nacheinander an den Zähler 76Y angelegt, so daß die Zähloperation gestartet wird.

Die Koinzidenzabtastscheiltung 74Y liefert ein Iinpulcisignal 91Y, wenn der Wert des Zählers 76Y Koinzidenz mit der vertikalen Länge d1 eines abgeteilten Abschnitts gezeic/t hat, der im Register 71Y festgehalten ist. Dieses Impulssignal wird an den Zähler 77Y angelegt, um sein Zählsignal um 1 (eins) zu erhöhen, und wird über das ODER-Gatter 82Y an den Rücksetzeingang des Zählers 76Y angelegt, um seinen Wert zurückzustellen. Dementsprechend wiederholt der Zähler 76Y die Zähl-

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operation mit einein Zyklus als Zählwert, der gleich der vertikalen Länge des abgeteilten Abschnitts ist, und er sorgt dafür, daß der Zähler 77Y die Zähloperation jedesmal dann ausführt, wenn der Abtastpunkt von einem Abschnitt zum nächsten Abschnitt in Y-Richtung weitergeht. Der Inhalt des Zählers 77Y ist ein Wert, der angibt, welcher Abschnitt in vertikaler Richtung der Abtastung unterliegt, und dieser Wert wird in Form eines Signals 52Y geliefert, das die Y-Adresse des Abschnitts angibt. Das Signal 52Y wird an den Koinzidenzspeicher 5 6 und den Koordinatenspeicher 57 zusammen mit dem Signal 52X angelegt, das die X-Adresse angibt.

Die Koinzidenzabtastschaltuhg 75Y vergleicht den Wert des Zählers 77Y und den im Register 72Y gehaltenen Wert der vertikalen Bestimmungszahl n1 und liefert ein Impulssignal 92Y bei Koinzidenz. Dieses Impulssignal· 92Y setzt den Zähler 7 7Y über das ODER-Gatter 83Y zurück und setzt gleichzeitig die Flip-Flops 78Y und 79 zurück. Das Iinpulssignal 92Y wird auch an die Steuerung 60 übertragen, und zwar in Form eines Endsignals 53 der bestimmten Musterabtastverarbeitung.

Da das Flip-Flop sich im Zustand "Ein" während gerade einer Abtastperiode des Suchbereiches befindet, wird das Koinzidenzvergleich-Befehlssignal 51 erhalten, indem man. vom UND-Gatter 81 die UND-Verknüpfung zwischen dem Ausgangssignal 9 3 des Flip-Flops 78Y und dem Ausgangssignal 94 des 5 UND-Gatters 80X des X-Adresqensteuerteils nimmt.

Nachstehend sollen Einzelheiten des Betriebs der Verarbeitungsschaltung 3 5 in Figur 2 näher erläutert werden.

Figur 10 zeigt ein Ausführungsbeispiel einer konkreten Ausfuhrungsform der Verarbeitungsschaltung 35, wobei das Bezugszeichen 100 einen Bus bezeichnet, um die Verarbeitungsschaltungen 32 und 35 und den Speicher 33 in Figur 2 zu verbinden; das Bezugszeichen 101 bezeichnet eine Treiberschaltung, das Bezugszeichen 102 eine Gatterschaltung, das Bezugszeichen 103 eine Ablaufsteuerung, das Bezugszeichen 104 einen

.5^r> Speicher zum Speichern von Mirkoprogrammen und das Bezugszeichen 105 eine Recheneinheit.

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Wenn bei einem derartigen Aufbau die Treiberschaltung 101 mit dem Startsignal über den Bus 100 bei Beendigung der oben beschriebenen Verarbeitungen in der Verarbeitungsschaltung 32 versorgt wird, schaltet sie die Gatterschaltung 102 ein und trennt die Speicher 33, 34 und 36 vom Bus 100 ab. Andererseits startet-sie die Ablaufsteuerung 103, mit der Mikroprogramme im Speicher 104 nacheinander, ausgelesen und zur Recheneinheit 10'5 übertragen werden. I)Le Recheneinhel I .. 105 führt die nachstehend näher erläuterten Operationen in Abhängigkeit von den Mikroprogrammen aus dem Speicher 104 aus, wobei der Inhalt der Speicher 33, 34 verwendet wird, und speichert die Ergebnisse im Speicher 36.

Bei Beendigung der Verarbeitung in der Rechenschaltung 105 wird ein Endsignäl vom Speicher 104 zur Treiberschaltung 101 übertragen, so daß der Bus 100 und die Speicher 33, 34 und 36 wieder von der Gatterschaltung 102 angeschlossen werden, während die Verarbeitungsschaltung 32 vom Ende der Vorarbeitung in der Verarbeitungsschaltung 35 über den Bus 100 informiert wird. Somit liest dia Verarbioitungsschaltung 32 den Inhalt des Speichers 36 aus und überträgt ihn zur Steuerschaltung 11 gemäß Figur 1.

Nachstehend werden Einzelheiten der Verarbeitung in der Recheneinheit 105 näher erläutert.

Wie bereits erwähnt, speichert der Speicher 33 die Artan der Standardmuster,. die aus dem Muster innerhalb des Aufnahmebereiches von der Aufnahmeeinrichtung 6 gemäß Figur 1 abgetastet werden,, die x- und ^-Positionskoordinaten der Standardmuster, sowie die Koordinaten (i, j) dor Abschnitte, wo die Standardmuster vorhanden sind. Außerdem speichert der Speicher 34 die Arten der Standardmuster, die im Bildmuster des festen Bereiches des Objektes vorhanden sind, wobei dor feste Bereich den Aufnahmebereich auch dann enthält, wenn dieser Aufnahmebereich sich wegen irgendeiner Zuführungsablenkunq bewegt hat; die X-und Y-Po.iitionskoordinaten der Standardmuster, sowie die Koordinaten (X, Y) der Abschnitte, v/o die Standardmuster vorhanden sind.

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In der Recheneinheit 105 werden dementsprechend nach dem Auslesen des Inhalts dieser Speicher 33 und 34 die Positionskoordinaten (i, j) der Abschnitte und die in den Abschnitten vorhandenen Arten der Standardmuster, wie' sie'im Speicher 33 gespeichert sind, mit den Positionskoordinaten (I, J) der Abschnitte und den Arten der Standardmuster, dia in den Abschnitten vorhanden sind, wie sie im Speicher 34 gespeichert sind, verglichen- Die Figuren 11 und 12 zeigen die Arten der Standardmuster, die in den Abschnitten der vorgegebenen Bereiche vorhanden sind und entsprechen den jeweiligen Figuren 5 bzw. 7. Die Nummern innerhalb der Abschnitte in dieseti Figuren bezeichnen die Arten der Standardmuster, die in den speziellen Abschnitten vorhanden sind und entsprechen den Bezeichnungen (1) bis (4) in Figur 4.

Beim Vergleich der Inhalte der Speicher 33 und 34, werden die Positionskoordinaten (i, j)=(1-9, 1-7) der Abschnitte in Figur 12 mit den Positionskoordinaten (I, J) = (1 -9, 1-7) der Abschnitte in Figur 11 verglichen und die Zahlen, bei denen die gleichen Standardmuster in den entsprechenden Abschnitten vorhanden sind, mit anderen Worten die Zahlen, bei denen die Nummern in den entsprechenden Abschnitten Koinzidenz zeigen, werden gezählt. Anschließend werden die bereits erwähnten Positionskoordinaten in Figur mit den Positionskoordinatnn (I, J) = (2 - 10, 1 - 7) ver-

2!3 glichen, indem man eine Verschiebung um einen Abschnitt in Figur 11 nach rechts vornimmt, und die Zahlen, bei denen die Mummer in den entsprechenden Abschnitten Koinzidenz zeigt,werden gezählt.Auf diese Weise wird der Aufnahmebereich in Figur 12 fortschreitend auf den Bereich in Figur 11 übersetzt und die Zahlen der genannten Art gezählt. Wenn dann schließlich die Abschnittskoordinaten (i, j) = (1 - 9, 1 - 7) in Figur 12 mit den Abschnittskoordinaten (I, J) = (10 - 18, 8 - 14) in Figur 11 verglichen worden sind, so sind die koinziden t'.m Abischnitfce in dor Position des Aufnahmebereiches ge—

)", funclf»'i, .in denen der Ziihlwert·. dor Koinzidenz den maximalen Wort IUiI-.

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Beim Beispiel der Figuren 11 und 12 sind die Abschnitte Ai in Figur 11 und die Abschnitte ai in Figur 12. koinzidente Abschnitte, wobei L - 1 - 11, und die Anzahl der koinzidenten Abschnitte erreicht den Maximalwert in ο in ein Abschnittr;bereich, der die obigen Abschni htc cMithäH;, d.h. in einem Abschnittsbereich, dessen AbachnLttskoordLnaten (i, j) und (I, J) die Werte (1, 1) und (4, 7) haben.

Die x~ und γ-Koordinaten und X- und Y-KoordLnaten der koinzidenten Standardmuster in den koinzidenten Abschnitten Ai und ai mit i = 1 - 11, die so erhalten worden sind, werden jeweils aus den Speichern 33 und 34 abgerufen. Hierbei mögen die Positionskoordinaten der Standardmuster in den Abschnitten Ai und ai die Werte (x^, Y-) bzw. (X-, Y..) mit i = 1 - 11 sein.

Im Speicher 34 sind die Koordinaten (Xa, Ya) einer gewünschten vorgegebenen speziellojn Position zur Auswertung der Werte der Zuführungsablenkung neben der erwähnten Informal-lon gespeichert. Die Koordinaten (Xa,Ya) worden auy dem Speicher 3 4 ausgelesen.

Die Werte der Zuführungsablenkung (Ua, Va) in X- und Y-Richtung bei den speziellen PositionskoordLnalen (Xa, Ya) werden durch die nachstehend gegebenen Operationen unter Vorwendung der beiden Sätze von Positionsinformation (x, , y, ) und (X_k, Y,) sowie (x. , y.) und (X·, Y-), wobei k φ j gilt, aus der oben genannten Positionsinformation (x., y.) und (X., Y.) ausgewertet. Dabei gelten folgende Relationen:

- ^X

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Die Werte der so ermittelten Zuführungsablenkung (U , V) werden Im Speicher 36 gespeichert.

Figur 13 zeigt ein Beispiel einer konkreten Ausführungsform der Treiberschaltung 101 gemäß Figur 10. Die Treiberschaltung besteht aus einem Flip-Flop 106. Dieses Flip-Flop 106 wLrd von einem Startsignal 107 vom Bus 100 gesetzt, und sein Sf.¹1:'.-Ausganges igna L 108 schaltet die Gatterschaltung 102 ab und startet di·· Ablaufsteuerung 103. Andererseits wird das Flip-Flop 106 von einem Endsignal 109 zurückgesetzt, das vom Speicher 104 bei Beendigung der Operationen in der Recheneinheit 105 übermittelt wird, wobei sein Rücksetz-Ausgangssignal 110 zum Bus 100 übertragen wird und die Gatterschaltung 102 durch das Setz-Ausgangssignal 108 eingeschaltet wird.

Während beim oben beschriebenen Beispiel ein Fall mit vier Arten von Standardmus tern erläutert worden ist, ist die Erfindung selbstverständlich nicht auf diese Anzahl beschränkt. Es i si 7.. B. auch jntfq Li c.:h, daß nur eine Art ν-·.·:ι S taml urdmuHt'.ir vochamlc!n 1st.

.Cm oben beschrieb »nen Beispiel, ist wie in Figur 5 und 7 dargestellt, jedes Muster des vorher auf das Objekt gesetzten Bereiches und der Aufnahme-Bereich des Objektes in eine Vielzahl von Abschnitten oder Sektionen unterteilt, und die Arten und Positionskoordinaten der Standardmuster, die in den entsprechenden Abschnitten enthalten sind, werden abgetastet. Es ist jedoch auch möglich, eine Maßnahme zu verwenden, bei der ohn·'? Unterteilung der Muster in derartige Abschnitte die Arten und Pos Ltionskoordinaten der StandardniUoter bei den Mus torn abgetastet werden und daß die Positions koordinaten der Standardmustor in einem vorgegebenen Bereich und f! i nein Aufnahfuebetrc-iichmi. to i nandtir/ verglichen werden, um damit die Position d^s Aufneihmeberoi ches im vorgegebenen Bereich zu bestimmen und die Werte; dar Zuführungsablenkung des Ob j ek tes aus ζ uw ar ten.

■!'j Ln diesem Falle kann ohne weiteres eine Maßmüime verwendet werden, mit der die.· Positionskoordinaten der Standard-

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muster im vorgegebenen Bereich mit einer festen Ausdehnung versehen sind, um einen Standardmuster-Existenzbereich vorzugeben, und es werden der Existenzbereich und die Positionskoordinaten der Standardmuster im Aufnahmebereich miteinander verglichen, so daß die winke !mäßige Zuführungsablenkung de.-j Objektes berücksichtigt werden kann. Es Ist auch möglich, daß eine feste Ausdehnung den 1'om Lt i.onykoor; i inaten der Standardmuster im Aufnahmt-iMin· i ch erlaubt: wird odor daß (li.nc ■ feste Ausdehnung don PositionBkoordinaton dot: ,SlandardniuaLcr sowohl im vorgegebenen Bereich a Ls auch Lm Aufniahmebei/eich erlaubt wird.

Wie oben dargelegt wird gemäß der Erfindung ein Bereich einschließlich eines Aufnahmebereiches unter allen angenommenen Zuführungszuständen eines Objektes vorgegeben, die Positionsinformation der Standardmuster im vorgegebenen Bereich vorher gespeichert und die Information und die Positionsinformation der Standardmus her im Aufnahmebereich verglichen, so daß unabhängig davon, welche Zuführungsablenkung das Objekt haben mag, die gelieferte Position des Objektes abgetastet werden kann, ohne die Aufnahme-inrichtung oder das Objekt zu bewegen.

Gemäß ein^r Aus führ un.gs form clcjr Erfindung wird jeder vorgegebene Re reich und der Aufnahmebore ich in ein« VlM '/,ah L von Abschnitten oder Sektionen unterteilt und dio Anwesenheit oder Abwesenheit der Standardmuster in den entsprechenden Abschnitten abgetastet, so deiß auch dann wenn eint¹ gewisse winkelmäßige Zxifuhrungsablenkung beim Objekt vorhanden ist, diese aufgefangen werden kann.

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Leerseite

Claims

PATENTANWÄLTE --

SCHIFF ν. FÜNER STREHL SCHÜBEL-HOPF EBBINGHAUS

MARIAHIUFPLATZ 2 & 3, MÖNCHEN ÖO W I I I V Ä '

POSTADRESSE: POSTFACH 95 OI 6O, D-8OOO MÖNCHEN 95 \

HITACHI, LTD. 20.März 1981

DEA-25 431

Verfahren und Vorrichtung zur Positionsabtastung eines Objektes ·

PATENTANSPRÜCHE

1J Verfahren zur Positionsabtastung, g e k e η η zeichnet durch folgende Verfahrensschritte:

a) vorheriges Speichern der Positionsinformation von mindestens einer Art von Standardmaster, das in einem Muster eines vorgegebenen Gesamtbereiches vorhanden ist, wobei der Gesamtbereich sämtliche Beobachtungsbereiche in allen Positionszuständen eines Objektes enthält,

b) Aufnehmen eines Musters des Beobachtungsbereiches des Objektes,

c) Herausziehen der Positionsinformation des Standardmusters

aus dem beim Schritt b) aufgenommenen Muster, und d) Vergleichen der beim Schritt c) erhaltenen Positionsinformation mit der beim Schritt a) gespeicherten Positionsinformation, um zu entscheiden, in welchem Teil das Gesamtbereiches der Beobachtungsberoich liegt und um die Position des Objektes abzutaj,tong „ . q g ^ g

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2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß als Musterinformation, die aus einem Beobachtungsbereich genommen wird,· ein Bildmuster eines Aufnahmebereiches verwendet wird, die mit einer Aufnahmeeinrichtung aufgenommen wird.
3. Verfahren zur Positionsabtastung, gekennzeichnet durch folgende Verfahrensschritte:

a) Vorgeben eines Gesamtbereiches, der zumindest sämtliche Beobachtungsbereiche in allen Positionszuständen eines Objektes enthält und der in eine Vielzahl von Abschnitten unterteilt ist, wobei die Positionsinformation von mindesten:, einer Art von Standardmuster gespeichert wird, die aus einigen Abschnitten im vorgegebenen Gesamtbereich herausgezogen wird,

b) Herausnehmen eines Musters aus dem Beobachtungsbereich des Objektes, das in eine Vielzahl von Abschnitten unterteilt ist,

c) Abtasten des Vorhandenseins oder Nicht-Vorhandenseins des Standardmusters in jedem Abschnitt des geladenen Musters und Herausziehen der Positionsinformation aus dem Standardmuster, wenn ein solches vorhanden ist, und

d) Vergleichen der Positionsinformation des Standardmusters innerhalb des entsprechenden Abschnitts im Gesamtbereich und im Beobachtungsbereich, um zu entscheiden, welcher Toil des Gesamtbereiches der Beobachtungsbereich ist und um die Position des Objektes aus der Positionsrelation des Stan-

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dardmusters innerhalb der entsprechenden Abschnitt des Gesamtbereiches und des Beobachtungsbereiches in dem Teil abzutasten.
4. Vorrichtung zur' Positionsabtastung, gekennzeichnet durch einen Speicher (31) zur Speicherung der Pqsitionsinformation von mindestens einer Art von Standardmuster (Fig. 4), das in einem Muster eines vorgegebenen Gesamtbereiches (20) vorhanden ist, der sämtliche Beobachtungsbereiche (21) in allen Positionszuständen eines Objektes enthält,

durch eine Aufnahmeeinrichtung (6) zur Aufnahme eines Musters aus dem Beobachtungsbereich (21) des Objektes, und durch eine Abtasteinrichtung (9) zum Herausziehen von Positionsinformation des Standardmusters aus dem von der Aufnahmeeinrichtung (6) aufgenommenen Muster und zum Vergleichen der Positionsinformation des Standardmusters im Gesamtbereich (20) und im Beobachtungsbereich (21), um zu entscheiden, welcher Teil des Gesamtbereiches (20) der Beobachtungsbereich (21) ist, und um die Position des Objektes abzutasten.
5. Vorrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Musterinformation, die aus dem Beobachbungsbereich (21) genommen wird, das Bildmuster eines von der Aufnahmeeinrichtung (6) aufgenommenen Bildmusters ist.

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6. Vorrichtung zur Positionsabtastung, gekennzeichnet durch einen Speicher (31) zur Vorgabe
eines Gesamtbereiches (20), der zumindest die Beobachtungsbereiche (21) in allen Positionszuständen eines Objektes
enthält und der in eine Vielzahl von Abschnitten unterteilt ist, und zur Speicherung der Positionsinformation von mindestens einer Art von Standardmuster (Fig. 4), die aus einigen Abschnitten des vorgegebenen Gesamtbereiches (20) herausgezogen ist,

durch eine Aufnahmeeinrichtung (6)-zur Aufnahme eines Musters vom Beobachtungsbereich (21) des Objektes, das in eine Vielzahl von Abschnitten unterteilt ist,

und durch eine Abtasteinrichtung (9) zur Abtastung der Existenz oder Nicht-Existenz des Standardmusters aus jedem Abschnitt des Musters, der von der Aufnahmeeinrichtung (6) aufgenommen wird, und zum Herausziehen der Positionsinformation des Standardmusters, wenn es vorhanden ist, wobei die Positionsinformation des Standardmusters innerhalb der entsprechenden Abschnitte im Gesamtbereich (20) und im Beobachtungsbereich (21) verglichen wird, um festzustellen, welcher Teil des Gesamtbereiches (20) der Beobachtungsbereich (21) ist, und um die Position des Objektes aus den Positionsrelationen des Standardmusters innerhalb der entsprechenden Abschnitte des Gesamtbereiches (20) und des Beobachtungsbereiches (21) in

5 dem Teil abzutasten.

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