DE3324176C2 - - Google Patents

Info

Publication number
DE3324176C2
DE3324176C2 DE3324176A DE3324176A DE3324176C2 DE 3324176 C2 DE3324176 C2 DE 3324176C2 DE 3324176 A DE3324176 A DE 3324176A DE 3324176 A DE3324176 A DE 3324176A DE 3324176 C2 DE3324176 C2 DE 3324176C2
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
magnetic
plate
coding
edge
coding units
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired
Application number
DE3324176A
Other languages
English (en)
Other versions
DE3324176A1 (de
Inventor
Kiyoshi Tokio/Tokyo Jp Inoue
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
INOUE-JAPAX RESEARCH Inc YOKOHAMA KANAGAWA JP
Original Assignee
INOUE-JAPAX RESEARCH Inc YOKOHAMA KANAGAWA JP
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by INOUE-JAPAX RESEARCH Inc YOKOHAMA KANAGAWA JP filed Critical INOUE-JAPAX RESEARCH Inc YOKOHAMA KANAGAWA JP
Publication of DE3324176A1 publication Critical patent/DE3324176A1/de
Application granted granted Critical
Publication of DE3324176C2 publication Critical patent/DE3324176C2/de
Granted legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01DMEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D5/00Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
    • G01D5/12Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means
    • G01D5/14Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage
    • G01D5/142Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage using Hall-effect devices
    • G01D5/145Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage using Hall-effect devices influenced by the relative movement between the Hall device and magnetic fields
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01DMEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D5/00Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
    • G01D5/12Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means
    • G01D5/14Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage
    • G01D5/20Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage by varying inductance, e.g. by a movable armature
    • G01D5/2006Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage by varying inductance, e.g. by a movable armature by influencing the self-induction of one or more coils
    • G01D5/2033Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage by varying inductance, e.g. by a movable armature by influencing the self-induction of one or more coils controlling the saturation of a magnetic circuit by means of a movable element, e.g. a magnet
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01DMEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D5/00Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
    • G01D5/12Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means
    • G01D5/244Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing characteristics of pulses or pulse trains; generating pulses or pulse trains
    • G01D5/245Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing characteristics of pulses or pulse trains; generating pulses or pulse trains using a variable number of pulses in a train
    • G01D5/2451Incremental encoders

Description

Die Erfindung betrifft eine magnetische Codiervorrichtung, wie sie im Oberbegriff des Patentanspruchs 1 im einzelnen angegeben ist.
Drehbare magnetische Codiervorrichtungen stellen nützliche Geräte für die Messung einer Winkel- oder Linearverschiebung eines bewegten Teils, beispielsweise in einer Werkzeug­ maschine, dar. Dabei liefert die präzise Erfassung einer solchen Bewegung die Grundlage für eine genaue Positionie­ rung eines bewegten Teils, z. B. eines Werkzeugs oder eines Werkstücks in einer Werkzeugmaschine.
Bekannte Codiervorrichtungen weisen magnetische Platten bzw. Scheiben mit einer gemeinsamen Teilung auf, wobei die aufeinanderfolgenden magnetischen Codier- bzw. Teilungsein­ heiten entlang einem Kreis auf einer Oberfläche der Platte koaxial dazu so angeordnet sind, daß die entgegengesetzten Magnetpole, die jeweils eine Codiereinheit bilden, in der Rotationsrichtung der Platte verlaufen. Der magnetische Abtastkopf ist dabei der einen Oberfläche mit Abstand ge­ genüberliegend angeordnet, so daß nacheinander die Codier­ einheiten abtastet, die während der Rotationsbewegung der Platte auf dem Kreis vorbeilaufen. Ein derartiger Magnet­ plattenaufbau gestattet jedoch nur eine relativ geringe Dichte für die magnetischen Codiereinheiten pro Flächen- bzw. Winkeleinheit, so daß sich insgesamt ein nur unbefrie­ digendes Auflösungsvermögen bei der magnetischen Abtastung ergibt. Bei anderen bekannten drehbaren Magnetplatten mit einer Skalenanordnung sind die Platten über ihre Dicke magnetisiert, so daß magnetische Codiereinheiten, deren jede senkrecht zu den Seitenflächen der Platte verläuft, aufeinanderfolgend jeweils parallel zueinander entlang einer kreisförmigen Zone koaxial zu der Platte entstehen. Der zugehörige magnetische Abtastkopf ist C- oder U-förmig ausgebildet, wobei die umlaufende Platte zwischen den bei­ den Abtastarmen des Magnetkopfes liegt. Um einen ausrei­ chend starken Magnetfluß für jede Codiereinheit zu erhal­ ten, muß eine derartige Platte eine beachtliche Dichte auf­ weisen, was zu einem hohen Plattengewicht führt, aus dem sich eine übermäßige Belastung für den Drehantrieb der Platte bei deren Abtastbewegung ergeben kann. Bei beiden Arten bekannter magnetischer Codiervorrichtungen besteht außerdem die Gefahr, daß am Rande insbesondere einer dünnen Platte eine Wellen- oder Schwingungsbewegung auftritt, die zu einer ungewollten Berührung zwischen der umlaufenden Platte und dem Abtastkopf führen kann, was naturgemäß mit unerwünschtem Verschleiß der Abtastkopfoberfläche verbunden ist. Selbst ohne eine solche Berührung treten auf jeden Fall erhebliche Änderungen im Abstand der Platte von dem Magnetkopf auf, und diese Änderungen des wirksamen Magnet­ spaltes sind naturgemäß die Quelle für Abtastfehler.
Aus der DE-AS 12 97 657 ist weiter eine magnetische Codier­ vorrichtung der eingangs erwähnten Art bekannt, bei der ein mit Magnetmaterial belegter Drehkörper mit seinem das Ma­ gnetmaterial tragenden und den entsprechenden Code enthal­ tenden Bereich an einem feststehenden Abtastkopf vorbeige­ führt wird, der auf die dem jeweiligen Code entsprechenden Unterschiede im magnetischen Verhalten der verschiedenen Teilstücke des Drehkörpers im Zuge von dessen Vorbeibewe­ gung an dem Magnetkopf anspricht und damit die jeweilige Drehstellung des Drehkörpers erfaßt. Dabei ist der Drehkör­ per in Form eines Topfes aus ferromagnetischem Material ausgeführt, der auf einem Teil seines Umfanges ebenfalls aus weichmagnetischem Material bestehende Codierringe trägt, die bei der Drehbewegung des Topfes an dem Magnet­ kopf vorbeilaufen. Die Codierung wird dabei durch eine entsprechende Zahnung der Codierringe realisiert, die zu einer entsprechenden Änderung der wirksamen Luftspaltlänge führt. Die sich auf diese Weise ergebenden Magnetfeldände­ rungen werden mit Hilfe eines Widerstandes mit magnetfeld­ abhängigem Widerstandswert erfaßt. Das Meßprinzip beruht also auf der Ausbildung des Codes mit Hilfe von Unstetig­ keiten in der Formgebung des Drehkörpers, was wiederum der erzielbaren Abtastgenauigkeit Grenzen setzt.
Das gleiche Prinzip einer Codeausbildung mit Unstetigkeiten in der Formgebung eines Drehkörpers liegt weiter auch einem aus der DE-AS 28 34 616 bekannten Impulsgenerator zur Abtastung der Winkelstellung einer sich drehenden Welle zugrunde, bei dem eine mit einer Codierung in Form radialer Schlitze versehene Drehplatte zwischen zwei einander gegen­ überstehenden Elektroden hindurchläuft, zwischen denen es bei Durchgang eines Schlitzes in der Platte zu einer Co­ rona-Entladung kommen kann, die das Abtastsignal für die Drehwinkelerfassung liefert.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine magnetische Codiervorrichtung der eingangs erwähnten Art zu schaffen, die sich durch eine erhöhte Genauigkeit bei der Codeerfas­ sung auszeichnet, indem sie mit einem im Zuge der Drehbewe­ gung des Drehkörpers unverändert bleibenden effektiven Luftspalt für den Abtastkopf arbeitet.
Die gestellte Aufgabe wird gemäß der Erfindung gelöst, durch eine magnetische Codiervorrichtung, wie sie im Pa­ tentanspruch 1 angegeben ist. Vorteilhafte Ausgestaltungen und Weiterbildungen der Erfindung ergeben sich aus den Unteransprüchen.
Bei der erfindungsgemäß ausgebildeten magnetischen Codier­ vorrichtung ist jede magnetische Codiereinheit länglich ausgebildet und umfaßt zwei entgegengesetzte Magnetpols, die in Radialrichtung der Drehplatte orientiert sind. Der magnetische Abtastkopf steht dem Plattenrand unter Ausbil­ dung eines gleichförmigen Magnetspalts mit Abstand gegen­ über, und er liegt bevorzugt im wesentlichen in der glei­ chen Ebene wie die Drehplatte.
Anhand der Zeichnung wird die Erfindung beispielsweise näher erläutert. Es zeigt
Fig. 1 eine Schnittansicht, die die magnetische dreh­ bare Codiervorrichtung nach der Erfindung darstellt;
Fig. 2 eine Draufsicht auf eine Anordnung magnetischer Codier- bzw. Teilungseinheiten oder Markierungen auf einer Magnetplatte nach der Erfindung;
Fig. 3 eine größere Ansicht, die einen Teil der magne­ tischen Codiereinheiten nach Fig. 2 in einer bestimmten Anordnung zusammen mit einem Teil eines Abtastkopfs der Codiervorrichtung nach der Erfindung zeigt;
Fig. 4 eine Draufsicht auf einen Teil der magnetischen Codiereinheiten, die in anderer Weise angeordnet sind; und
Fig. 5 eine Schnittansicht, die ein Verfahren zum Ausbilden der magnetischen Codiereinheiten bei einer Drehplatte nach der Erfindung zeigt.
Nach Fig. 1 umfaßt die magnetische Codiervorrichtung 1 eine Magnetplatte 2 und einen Abtastkopf 3. Die Magnetplatte 2 ist fest auf einer Tragplatte 2′ gesichert, die z. B. aus einem Kunststoff besteht, so daß eine umlaufende Einheit 4 gebildet ist. Im vorliegenden Fall ist die Tragplatte 2′ fakultativ und kann angewandt werden, wenn die Magnetplatte 2 nur eine Dicke von 1 mm oder weniger aufweist, so daß sie während der Drehbewegung hinreichend starr gehalten ist. Die drehbare Einheit 4, die im vorliegenden Fall aus der Trag­ platte 2′ mit der darauf angeordneten Magnetplatte 2 besteht, ist auf einer Welle 5 gesichert, die in zwei Lagern 6 und 7 drehbar ist. Das Lager 7 ist in einem Gehäuse 8 mittels eines Gewindebolzens 9 gehalten, und das Lager 6 ist in einer Abdeckplatte 10 gehalten, die mittels Schrauben am Gehäuse 8 gesichert ist. Die Welle 5 trägt ein Rad 11, mit dem ein bewegtes Organ bzw. eine solche Fläche 12 antriebs­ mäßig gekoppelt ist zum Drehen der drehbaren Einheit 4 und damit der Magnetplatte 2, so daß eine Bewegung der Fläche 12 als eine entsprechende Winkelverschiebung der Magnetplatte erfaßt werden kann. Der magnetische Abtastkopf 3 liegt dem Rand der Magnetplatte 2 an einem Luftspalt gegenüber. Die Magnetplatte 2 ist in Radialrichtung magnetisiert.
Die Magnetplatte 2 ist mit magnetischen Codier- bzw. Tei­ lungseinheiten bzw. Markierungen 2 a versehen, die nacheinan­ der auf einer ringförmigen Zone 2 b angrenzend an den Rand 2 c der Magnetplatte 2, dem der Abtastkopf 3 gegenüberliegt, angeordnet sind. Jede Codiereinheit 2 a ist über die Zone 2 b langgestreckt und besteht aus zwei Magnetpolen N und S, die mit einer Radialrichtung der Magnetplatte 2 ausgerichtet sind, wie aus den Fig. 2 und 3 deutlich zu sehen ist. Die Ringzone, über die sich jede Codiereinheit 2 a erstreckt, verläuft in Radialrichtung der Magnetplatte 2 mit gleichmä­ ßiger Breite d. Aneinandergrenzende Codiereinheiten 2 a sind voneinander gleichbeabstandet, und bei dem Ausführungs­ beispiel nach Fig. 3 haben sie abwechselnd aufeinanderfol­ gende Polaritäten, so daß die N- und S-Pole abwechselnd aufeinanderfolgend auf dem Rand 2 c der Magnetplatte 2 auftreten. Bei dem Ausführungsbeispiel nach Fig. 4 haben aneinandergrenzende Codiereinheiten 2 a gleiche magnetische Polaritäten; ihre voneinander beabstandeten N-Pole weisen zum Rand der Magnetplatte 2 und haben einen gemeinsamen S-Pol, der in Radialrichtung innen liegt. Ferner sind bei dem Ausführungsbeispiel von Fig. 3 die aneinandergrenzenden magnetischen Codiereinheiten 2 a an ihren innen liegenden Enden in Richtung zur Mitte der Magnetplatte 2 miteinander verbunden.
Die Magnetplatte 2 kann in zu erläuternder Weise magneti­ siert werden zur Ausbildung der magnetischen Codiereinheiten 2 a. Dabei kann die zu magnetisierende Platte 2 eine Schicht Magnetpulver, z. B. eines Ferrits, sein, die auf die Trag­ platte 2′ aufgestrichen oder anderweitig auf diese aufge­ bracht ist, oder sie kann eine Dünnschicht aus nichtmagneti­ schem Werkstoff, z. B. ein Kunstharz, sein, das dann auf der Tragplatte 2′ befestigbar ist. Anstatt einer solchen konti­ nuierlichen Schicht können auch voneinander getrennte feine Streifen von den Codiereinheiten 2 a entsprechender Größe auf einem dünnen Kunstharzträgerfilm oder der Tragplatte 2′ ausgebildet und dann zur Bildung der Codiereinheiten 2 a magnetisiert werden. Alternativ kann die Platte 2 vorteil­ hafterweise eine homogen aus einem Magnetwerkstoff (z. B. einer Magnetlegierung vom spinodalen Zersetzungstyp auf Eisen-Chrom-Basis) zusammengesetzte Platte mit gleichmäßiger Dicke zwischen 0,5 und 3 mm sein, die auf der Tragplatte 2′ befestigt ist. Eine dünne, gleichmäßige Schicht oder Masse eines Magnetpulvrs oder -werkstoffs kann ebenfalls gebildet und selektiv auf der Ringzone 2 b des Trägerfilms oder der Tragplatte 2′ befestigt sein.
Der magnetische Abtastkopf 3 kann aus einem einzigen ein­ heitlichen Magnetkern (Fig. 1) bestehen, bevorzugt besteht er jedoch aus einer Mehrzahl von Teilkernen aus einem Magnetwerkstoff 3 a, die durch ein nichtmagnetisches Ab­ standselement 3 b voneinander getrennt und miteinander durch ein Joch 3 c verbunden sind (vgl. Fig. 3). Eine Abtastwick­ lung 3 d ist auf die Teilkern- oder Magnetstücke (Fig. 1) gewickelt und kann über einen Verstärker und einen Signal­ former mit einer Zähl- und Verarbeitungseinheit (nicht gezeigt) in einer konventionellen Anordnung verbunden sein. Der Abtastkopf 3 ist in der gleichen Ebene wie die Platte 2 positioniert und liegt deren Rand an einem Magnetspalt D gegenüber, so daß er die magnetischen Codiereinheiten 2 a abtasten kann. Bei dem Ausführungsbeispiel nach Fig. 3 entspricht der Abstand zwischen den Teilkernen 3 a dem Abstand zwischen den Codiereinheiten 2 a. Die Jochelemente 3 c können Hall-Effekt-Elemente, magnetische Widerstandselemente oder ähnliche Abtastelemente sein.
Bei der speziellen Ausbildung der Magnetplatte 2, bei der jede magnetische Codiereinheit 2 a, die aufeinanderfolgend entlang der Drehrichtung der Platte in einer an deren Rand 2 c angrenzenden Zone ausgebildet sind, mit einer Radialrich­ tung der Platte ausgerichtet ist, ist zu beachten, daß sich aufgrund eines zunehmenden Zwischenpolabstands jeder Codier­ einheit 2 a eine erhebliche Steigerung der Intensität der Codierausgänge einstellt. Ferner kann die Dichte der Codier­ einheiten 2 a pro Rotationswinkel der Platte 2 maximiert werden, so daß die Ausbildung von Codierausgängen mit sehr hohem Auflösungsvermögen möglich ist. Ferner ist es dabei möglich, den Abtastkopf 3 im wesentlichen in derselben Ebene wie die Drehplatte 2 so anzuordnen, daß er ihrem Rand 2 c eng beabstandet gegenüberliegt. Infolgedessen hat jede etwaige Wellenbewegung, die in der umlaufenden Platte 2 erzeugt wird, keine wesentliche Änderung des Magnetspaltabstands D zur Folge. Dadurch kann dieser Abstand D minimiert werden, wobei einerseits keine Gefahr eines etwaigen Gleitkontakts der umlaufenden Platte 2 mit dem Abtastkopf und eines daraus resultierenden Verschleißes eintritt und andererseits kein Abtastfehler auftritt, und ferner werden die Codierausgänge maximiert.
Die Welle 15 trägt ferner eine Originalplatte 22, die in dem Gehäuse 21 drehbar ist. Die Welle 15 steht mit einem Motor 23 über ein Zahnradstufengetriebe 24 in Antriebsverbindung, so daß die Originalplatte 22 und die Dreheinheit 4 drehbar sind.
Im vorliegenden Fall besteht die Originalplatte 22 aus einer Glasplatte oder einer ähnlichen lichtdurchlässigen Platte, die auf ihrer Randzone lichtundurchlässige Markierungen trägt, die z. B. durch Fotoätzen in einem Muster entspre­ chend den magnetischen Codiereinheiten 2 a, die auf die entsprechende Randzone 2 b der Magnetplatte 2 aufzubringen sind, ausgebildet sind. Eine Lichtquelle 25 ist auf einer Seite der drehbaren Originalplatte 22 angeordnet und schickt einen Lichtstrahl durch die Randzone, der von einer Fotodi­ ode 26 aufgefangen wird, die auf der gegenüberliegenden Seite der drehbaren Platte 22 angeordnet ist. Die Fotodiode 26 ist an eine Steuerschaltung 27 angeschlossen, die als Stromversorgung 28 zum Erregen eines Paars von Magnetisier­ köpfen 29 und 30 dient.
Der Magnetisierkopf 29 besteht aus einem Kern 29 a und einer darauf gewickelten Feldspule 29 b. Der Magnetisierkopf 30 besteht aus einem Kern 30 a und einer darauf gewickelten Feldspule 30 b. Die Feldspulen 29 b und 30 b sind in Reihen­ schaltung miteinander an die Magnetisierungs-Stromversorgung 28 angeschlossen. Die Kerne 29 a und 30 a sind bevorzugt über ein Joch 31 aus einem Werkstoff hoher Permeabilität mitein­ ander verbunden, wodurch ein Austritt von durch das Joch hindurch erzeugten Magnetkräften bei der Erregung der Feldspulen 29 b und 30 b minimierbar ist. Der mit der Platte 2 in der gleichen Ebene liegende und in bezug auf den Plattenrand 2 c in nahem Abstand diesem gegenüber angeordnete Kern 29 a kann ein Einzelkern sein, der zum Rand 2 c hin spitz oder konisch zuläuft; bevorzugt handelt es sich aber um einen Verbundkern, dessen Aufbau im wesentlichen demjenigen des Abtastkopfs 3 nach Fig. 3 entspricht. Bevorzugt verläuft ein solcher Kern zu dem Ende hin konisch, an dem der Magnet­ spalt D mit der Drehplatte 2 gebildet ist. Der Kern 30 a kann säulenförmig bzw. zylindrisch sein und eine Endfläche aufweisen, deren Durchmesser der Breite jeder Codiereinheit 2 a, die auf der Platte 2 auszubilden sind, entspricht; er ist in engem Abstand zu einer Seitenfläche der Platte 2 dieser gegenüber in einem Abstand d vom Plattenrand 2 c angeordnet.
Bei der Magnetisierung werden die Dreheinheit 4 und die auf der Welle 15 angeordnete Originalplatte 22 durch den Motor 24 gedreht. Der Lichtstrahl von der Lichtquelle 25, der die umlaufende Originalplatte 22 durchsetzt und auf die Foto­ diode 26 auftrifft, wird aufeinanderfolgend durch eine Serie von lichtundurchlässigen Markierungen, die auf der Original­ platte 22 gebildet sind, unterbrochen. Dadurch wird eine Serie von Unterbrechungssignalen in der Schaltung 27 auf­ grund der Fotodiode 26 erzeugt, wodurch die Stromversorgung 28 selektiv aktiviert wird. Die Magnetisierköpfe 29 und 30 werden intermittierend erregt unter Ausbildung einer Folge von magnetischen Codiereinheiten auf der Drehplatte 2. Die Originalplatte 22 braucht nicht den gleichen Durchmesser wie die Magnetplatte aufzuweisen, bevorzugt hat sie größeren Durchmesser als die Platte 2, so daß die Magnetmarkierungs- Genauigkeit verbessert wird. Eine Folge magnetischer Markie­ rungen bzw. Codiereinheiten 2 a mit abwechselnd aufeinander­ folgenden Polaritäten nach Fig. 3 kann auf der Platte 2 ausgebildet werden, indem die Stromversorgung 28 ihre Magnetisierausgangs-Polaritäten abwechselnd nacheinander ändert.

Claims (6)

1. Magnetische Codiervorrichtung mit
  • - einem auf einer Drehachse umlaufenden Drehkörper, der auf einem Randbereich entsprechend einer Codefolge al­ ternierend mit einer Folge von magnetischem und nicht- magnetischem Material versehen ist, und
  • - einem Abtastkopf, der auf den Vorbeigang magnetischen Materials im Zuge der Drehbewegung des Drehkörpers an­ spricht und damit dessen Winkelverschiebung um seine Drehachse erfaßt,
dadurch gekennzeichnet,
daß der Drehkörper eine Drehplatte (2) ist, in deren Peri­ pherie eine Folge von jeweils in Form radial verlaufender länglicher Magnete mit je zwei entgegengesetzten Magnet­ polen (N, S) ausgebildeten Codiereinheiten (2 a) angeordnet ist, und
daß der Abtastkopf (3) in Form eines dem Außenrand (2 c) der Drehplatte (2) mit einem gleichförmigen radialen Luftspalt gegenübergestellten Magnetkopfes (3 a, 3 b) ausgebildet ist.
2. Magnetische Codiervorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Codiereinheiten (2 a) auf der Drehplatte (2) in einer Drehrichtung derselben aufeinanderfolgend ausgebildet sind.
3. Magnetische Codiervorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Codiereinheiten (2 a) auf der Drehplatte (2) nach­ einander in einer dazu koaxialen und an den Plattenrand (2 c) angrenzenden Ringzone (2 b) ausgebildet sind.
4. Magnetische Codiervorrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Codiereinheiten (2 a) so magnetisiert sind, daß entlang dem Plattenrand (2 c) abwechselnde Magnetpole (N, S) aufeinander folgen.
5. Magnetische Codiervorrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß der Abtastkopf (3) im wesentlichen in derselben Ebene wie die Drehplatte (2) angeordnet ist.
DE19833324176 1982-07-05 1983-07-05 Magnetische codiervorrichtung Granted DE3324176A1 (de)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP57115355A JPS597213A (ja) 1982-07-05 1982-07-05 エンコ−ダ

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE3324176A1 DE3324176A1 (de) 1984-01-05
DE3324176C2 true DE3324176C2 (de) 1989-03-09

Family

ID=14660471

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE19833324176 Granted DE3324176A1 (de) 1982-07-05 1983-07-05 Magnetische codiervorrichtung

Country Status (6)

Country Link
US (1) US4646088A (de)
JP (1) JPS597213A (de)
DE (1) DE3324176A1 (de)
FR (1) FR2529666B1 (de)
GB (1) GB2123562B (de)
IT (1) IT1170425B (de)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE19601674A1 (de) * 1996-01-18 1997-07-24 Teves Gmbh Alfred Nach dem Differenzmeßprinzip arbeitender Lenkwinkelgeber für Kraftfahrzeuge

Families Citing this family (50)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3416091A1 (de) * 1984-04-30 1985-10-31 Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München Einrichtung zur massstabskorrektur bei einer numerisch gesteuerten werkzeugmaschine
US4719419A (en) * 1985-07-15 1988-01-12 Harris Graphics Corporation Apparatus for detecting a rotary position of a shaft
FR2599794B1 (fr) * 1986-06-10 1991-06-07 Roulements Soc Nouvelle Palier ou roulement a capteur d'informations
ES2017697B3 (es) * 1986-12-22 1991-03-01 Siemens Ag Transmisor de la posicion angular con disco de transmision explorable fotoelectricamente y eje de transmision situado doble.
US4851752A (en) * 1987-03-26 1989-07-25 Yamaha Corporation Magnetic encoder and a method for producing the same
JPH07113555B2 (ja) * 1987-04-17 1995-12-06 株式会社日立製作所 磁気エンコ−ダ装置
GB2205406A (en) * 1987-06-04 1988-12-07 Spectrol Reliance Ltd Encoder apparatus
US4875785A (en) * 1987-11-13 1989-10-24 The Torrington Company Thrust bearing with a magnetic field detector
US4990909A (en) * 1988-09-30 1991-02-05 Yokogawa Electric Corporation Revolution counter using a magnetic bubble device for multi-turn absolute encoder
SE462698B (sv) * 1988-10-07 1990-08-13 Swedish Airport Technology Han Faeltljusanlaeggning foer flygplats
DE59004386D1 (de) * 1989-07-21 1994-03-10 Kromer Theodor Gmbh & Co Kg Permutationsschloss mit einer Nockenscheibe und Zuhaltungsscheiben.
DE9000605U1 (de) * 1990-01-20 1991-05-29 Univam Peter Janssen-Weets Kg, 2878 Wildeshausen, De
GB9006774D0 (en) * 1990-03-27 1990-05-23 Loughran Peter J Transducers/encoders
FR2661246B1 (fr) * 1990-04-20 1994-08-05 Roulements Soc Nouvelle Dispositif de mesure d'un couple sur un arbre.
JPH04351667A (ja) * 1991-05-29 1992-12-07 Shin Etsu Chem Co Ltd 硬化性樹脂組成物及び電子部品用保護膜
US5200697B1 (en) * 1991-11-27 1996-06-18 Ntn Toyo Bearing Co Ltd Hub and bearing assembly with integrated rotation sensor including a tone ring and annular transducer
DE4211704A1 (de) * 1992-04-08 1993-10-14 Elster Produktion Gmbh Meßanordnung zur berührungslosen Drehzahlerfassung
US5485151A (en) * 1993-05-06 1996-01-16 Adb-Alnaco, Inc. Airfield lighting system
US5381125A (en) * 1993-07-20 1995-01-10 At&T Corp. Spinodally decomposed magnetoresistive devices
US5998989A (en) * 1993-12-22 1999-12-07 Itt Automotive Europe Gmbh Device including magnet-biased magnetoresistive sensor and rotatable, magnetized encoder for detecting rotary movements
DE4413496C1 (de) * 1994-04-19 1995-09-28 Helag Electronic Gmbh Winkelsensor
US5638057A (en) * 1994-05-09 1997-06-10 Adb-Alnaco, Inc. Ground fault detection and measurement system for airfield lighting system
US5648723A (en) * 1994-05-09 1997-07-15 Adb-Alnaco, Inc. Method and apparatus for separating and analyzing composite AC/DC waveforms
US5514960A (en) * 1994-05-24 1996-05-07 Taverner; Charles T. Electromagnetic drive device having a plurality of sinusoidal coils
CA2175946A1 (en) * 1995-06-06 1996-12-07 Brian G. Babin Apparatus for sensing the speed of a rotating element
DE19533120A1 (de) * 1995-09-07 1997-03-13 Interelectric Ag Magnetischer Positionsgeber
US5926115A (en) * 1996-06-21 1999-07-20 Adb Alnaco, Inc. Airfield series circuit communications lighting system and method
US5850141A (en) * 1997-06-13 1998-12-15 Ntn Corporation Annular speed sensor with a tone ring having both axial and radial magnetic fields
JPH11178303A (ja) * 1997-12-09 1999-07-02 Sankyo Seiki Mfg Co Ltd エンコーダ装置及びそのパラメータ設定装置
US7126690B2 (en) * 2002-09-23 2006-10-24 Therma-Wave, Inc. Modulated reflectance measurement system using UV probe
US7280215B2 (en) * 2003-09-24 2007-10-09 Therma-Wave, Inc. Photothermal system with spectroscopic pump and probe
WO2005052518A1 (en) * 2003-11-26 2005-06-09 International Business Machines Corporation Magnetic encoder
US7141965B2 (en) * 2003-11-26 2006-11-28 International Business Machines Corporation Magnetic encoder system
US7403022B2 (en) * 2005-01-21 2008-07-22 Kla-Tencor, Inc. Method for measuring peak carrier concentration in ultra-shallow junctions
GB0512045D0 (en) * 2005-06-14 2005-07-20 Equipmake Ltd Rotation sensing
DE102005042932A1 (de) * 2005-09-09 2007-03-22 Man Roland Druckmaschinen Ag Druckmaschine, insbesondere Rollendruckmaschine
ATE407346T1 (de) * 2005-09-12 2008-09-15 Austriamicrosystems Ag Magnetisches sensorsystem zur messung eines drehwinkels und verfahren zur iterativen ausrichtung des magneten relativ zu den magnetischen sensoren des systems
US7499168B2 (en) * 2006-02-14 2009-03-03 Kla-Tencor Corp. Combined modulated optical reflectance and electrical system for ultra-shallow junctions applications
US20080074668A1 (en) * 2006-09-21 2008-03-27 Alex Salnik Modulated optical reflectance measurement system with enhanced sensitivity
US7705977B2 (en) * 2006-12-21 2010-04-27 Kla-Tencor Corporation Methods for depth profiling in semiconductors using modulated optical reflectance technology
EP2028449A1 (de) * 2007-08-24 2009-02-25 Carl Freudenberg KG Magnetischer Multipolencoder
US7660686B1 (en) 2008-04-07 2010-02-09 Kla-Tencor Corporation Ion implant metrology system with fault detection and identification
US7755752B1 (en) 2008-04-07 2010-07-13 Kla-Tencor Corporation Combined modulated optical reflectance and photoreflectance system
DE102009021081B4 (de) * 2008-07-18 2017-07-06 Asm Automation Sensorik Messtechnik Gmbh Magnetischer Winkelsensor
DE102010035773A1 (de) * 2010-08-26 2012-03-01 Dunkermotoren Gmbh Elektromotor und Verfahren zu dessen Herstellung
DE102013211797A1 (de) * 2013-06-21 2014-12-24 Schaeffler Technologies Gmbh & Co. Kg Polrad mit verbesserter Feldwinkeländerung
CN105043601B (zh) * 2015-05-28 2017-07-11 河海大学常州校区 一种适用于大幅度变载荷的串联式全量程拉力传感装置
DE102016204729B4 (de) * 2016-03-22 2018-10-31 TE Connectivity Sensors Germany GmbH Permanentmagnetischer Maßstab
DE102016015850B3 (de) 2016-03-22 2022-12-01 TE Connectivity Sensors Germany GmbH Permanentmagnetischer Maßstab
FR3118159B1 (fr) * 2020-12-23 2022-12-30 Commissariat Energie Atomique Dispositif de détection de dérive de position pour élément mobile animé d’un mouvement cyclique

Family Cites Families (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
NL101638C (de) * 1957-04-05 1900-01-01
GB977411A (en) * 1959-10-16 1964-12-09 Electraulic Presses Ltd A system for automatically controlling the operation of a forging press and manipulator
GB943856A (en) * 1961-08-30 1963-12-11 Gen Electric Co Ltd Improvements in or relating to electrical position-encoders
US3293636A (en) * 1963-07-22 1966-12-20 Unimation Inc Magnetic flux responsive sensing device
US3371336A (en) * 1964-07-02 1968-02-27 Ibm Hermetically sealed coded rotary switch
CH448168A (de) * 1966-11-09 1967-12-15 Dixi S A Machines Outils Codegeber
US3685041A (en) * 1970-05-12 1972-08-15 Burroughs Corp Decimal to binary encoder for generating decimal point position and round-off information in a calculator
DE2147516A1 (de) * 1971-09-23 1973-03-29 Carl Ullrich Dr Peddinghaus Impulsgebervorrichtung
US3855525A (en) * 1973-10-05 1974-12-17 Illinois Tool Works Angular velocity sensor
IT1020448B (it) * 1974-09-04 1977-12-20 Solari E C Udine Spa Dispositivo di controllo di posi zione per organi rotanti passo passo
GB1549204A (en) * 1976-07-15 1979-08-01 Bosch Gmbh Robert Position detecting devises
DE2707082C3 (de) * 1977-02-18 1980-08-28 Ackeret Design & Engineering, Maur (Schweiz) Digitale optische Anzeigeeinrichtung
US4231331A (en) * 1977-08-08 1980-11-04 Nissan Motor Company, Limited Pulse generator of the corona discharge type for sensing engine crankshaft angle on an engine control system
JPS5448575A (en) * 1977-09-26 1979-04-17 Sony Corp Magnetic head
JPS54143665A (en) * 1978-04-28 1979-11-09 Nippon Denso Co Ltd Rotation information detector of engines

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE19601674A1 (de) * 1996-01-18 1997-07-24 Teves Gmbh Alfred Nach dem Differenzmeßprinzip arbeitender Lenkwinkelgeber für Kraftfahrzeuge
DE19601674B4 (de) * 1996-01-18 2005-08-04 Valeo Schalter Und Sensoren Gmbh Nach dem Differenzmeßprinzip arbeitender Lenkwinkelgeber für Kraftfahrzeuge

Also Published As

Publication number Publication date
IT8348605A0 (it) 1983-06-30
GB2123562B (en) 1986-09-10
JPS597213A (ja) 1984-01-14
FR2529666A1 (fr) 1984-01-06
GB8318108D0 (en) 1983-08-03
GB2123562A (en) 1984-02-01
IT1170425B (it) 1987-06-03
DE3324176A1 (de) 1984-01-05
US4646088A (en) 1987-02-24
FR2529666B1 (fr) 1988-06-03

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE3324176C2 (de)
DE3311204C2 (de)
DE2650499C2 (de) Vorrichtung zur Bestimmung der Lage bewegbarer Teile unter Zuhilfenahme eines Kristalls mit Halleffekt
DE2647687A1 (de) Elektromotor mit frequenzgenerator
DE2924590A1 (de) Vorrichtung und verfahren zum erfassen der drehzahl und winkellage einer rotierenden welle
DE102008042912A1 (de) Sensoreinrichtung zum Erfassen der Drehlage eines rotierenden Bauteils
EP1475604A2 (de) Induktiver Drehwinkelsensor
DE2817169C2 (de) Einrichtung zur Abgabe von Impulsen
DE3502899C2 (de)
EP1510787B1 (de) Verfahren und Winkelgeber zur Messung der absoluten Winkelposition
EP0715151A1 (de) Massverkörperung und Verfahren zur Herstellung dieser Massverkörperung
DE19581628C2 (de) Winkelpositionssensor
DE102008059774A1 (de) Magnetischer Encoder
DE2852167C2 (de) Abtasteinrichtung in einem Magnetbandgerät zur Aufzeichnung und/oder Wiedergabe breitbandiger Signale
DE2521163C2 (de) Einrichtung zur ermittlung einer der drehzahl oder dem drehwinkel einer achse entsprechenden groesse
DE19504307A1 (de) Einrichtung zur Erfassung von Position und/oder Geschwindigkeit eines beweglichen Geräteteils
DE10309027A1 (de) Absolut messende Winkelmeßeinrichtung
DE3439341C2 (de)
DE4103561C2 (de) Drehstellungsgeber für die Erfassung einer Rotorposition
WO1991002220A1 (de) Vorrichtung zum messen von längen, winkeln und dergleichen
DE3348495C2 (de) Antriebsanordnung für Speichermedien mit einem kollektorlosen Gleichstrommotor
DE3223924C2 (de) Zündgeber
DE19705835A1 (de) Drehwinkelsensor mit in einem Ringjoch angeordneten Hall-Elementen
DE2418917C2 (de) Meßumformer
EP0762083A1 (de) Magnetischer Positionsgeber

Legal Events

Date Code Title Description
8110 Request for examination paragraph 44
8125 Change of the main classification

Ipc: H03M 1/24

D2 Grant after examination
8364 No opposition during term of opposition
8339 Ceased/non-payment of the annual fee