DE3413704A1

DE3413704A1 - Optical power divider

Info

Publication number: DE3413704A1
Application number: DE19843413704
Authority: DE
Inventors: Manfred Dipl.-Phys. 7150 Hemmingen Kaiser
Original assignee: Standard Elektrik Lorenz AG
Current assignee: Alcatel Lucent Deutschland AG
Priority date: 1984-04-12
Filing date: 1984-04-12
Publication date: 1985-10-24
Also published as: AU575143B2; AU4072685A; ES542196A0; ES8704010A1

Abstract

The power divider consists of a plurality of mutually cemented elements (105, 106, 107, 108) made from an optically transparent material, on which elements partially transmitting layers (101, 102, 103, 104) are applied. The transmittance of the individual layers is selected such that the light beam is subdivided into component beams having the desired intensities. <IMAGE>

Description

Optischer Leistungsteiler Optical power splitter

Die Erfindung geht aus von einem optischen Leistungsteiler.The invention is based on an optical power splitter.

Solche Leistungsteiler sind an sich bekannt.Such power dividers are known per se.

Aufgabe der Erfindung ist es, einen einfach zu realisierenden Leistungsteiler anzugeben.The object of the invention is to provide a power divider that is easy to implement to specify.

Die Lösung dieser Aufgabe erfolgt mit den im Anspruch 1 angegebenen Mitteln. Vorteilhafte Weiterbildungen sind den Ansprüchen 2 bis 4 zu entnehmen. Im Anspruch 5 ist ein Verfahren zur Herstellung eines solchen Leistungsteilers angegeben. Die Ansprüche 6 bis 8 geben Weiterbildungen dieses Verfahrens an.This problem is solved with those specified in claim 1 Means. Advantageous further developments can be found in claims 2 to 4. In claim 5, a method for producing such a power splitter is specified. Claims 6 to 8 indicate developments of this method.

Der neue Leistungsteiler weist nur geringe Verluste auf. Er ist sehr flexibel hinsichtlich der Ankopplung an Lichtwellenleiter, Sender und Empfänger und leicht an ein gewünschtes Z anpaßbar, wobei Z die Anzahl der miteinander zu vereinigenden oder der aus einem Lichtstrahl zu erzeugenden Teilstrahlen ist.The new power splitter has only low losses. He is very flexible in terms of coupling to fiber optic cables, transmitters and receivers and easily adaptable to a desired Z, where Z is the number of each other unifying or the partial beams to be generated from a light beam.

Im Anspruch 6 und seinen Weiterbildungen ist ein Verfahren angegeben, mit dem solche Leistungsteiler besonders kostengünstig hergestellt werden können.In claim 6 and its developments, a method is specified, with which such power dividers can be manufactured particularly inexpensively.

Der neue Leistungsteiler ist nicht nur dazu geeignet, einen Lichtstrahl in Teilstrahlen mit gleichen oder unterschiedlichen Intensitäten aufzuteilen, sondern es k8nnen mit ihm auch mehrere Teilstrahlen zu einem einzigen Lichtstrahl zusammengefaßt werden. Bei dieser Anwendung treten zwar an den teildurchlässigen Schichten Verluste auf, welche jedoch für zahlreiche Anwendungsfälle in Kauf genommen werden können.The new power splitter is not only suitable for a beam of light split into partial beams with the same or different intensities, but rather It can also be used to combine several partial beams into a single light beam will. In this application, losses occur in the partially permeable layers which, however, can be accepted for numerous applications.

Die Erfindung wird anhand der Zeichnungen beispielsweise näher erläutert. Es zeigen: Fig. 1 einen Längsschnitt durch einen Leistungsteiler und den Strahlengang des Lichts, und Fig. 2a Skizzen zur Erläuterung des Herstellungsverfahrens.The invention is explained in more detail with reference to the drawings, for example. 1 shows a longitudinal section through a power splitter and the beam path of the light, and FIG. 2a sketches to explain the manufacturing process.

bis 2d Der neue Leistungsteiler wird anhand der Fig. 1 erläutert.to 2d The new power splitter is explained with reference to FIG.

Er teilt einen Lichtstrahl in mehrere Teilstrahlen auf oder vereinigt mehrere Lichtstrahlen zu einem gemeinsamen Lichtstrahl und ist somit ein reziprokes Bauelement. Der aus einem Lichtwellenleiter 23 austretende Lichtstrahl wird einer Linse 11 zugeführt und diese erzeugt einen parallelen Lichtstrahl. Dieser Lichtstrahl wird in den Leistungsteiler eingekoppelt.It splits or combines a light beam into several partial beams several light rays to a common light ray and is thus a reciprocal one Component. The light beam emerging from an optical waveguide 23 becomes one Lens 11 fed and this generates a parallel light beam. This ray of light is coupled into the power splitter.

Der Leistungsteiler hat die Form eines Parallelepipeds. In der Fig. 1 ist ein Längsschnitt durch das Parallelepiped dargestellt und zwar in einer solchen Richtung, daß der Längsschnitt die Form eines Parallelogramms hat. Der Leistungsteiler setzt sich aus mehreren Elementen 105, 106, 107, 108 und 109 zusammen. Diese Elemente (mit Ausnahme des in Richtung des Hauptstrahlengangs letzten Elements 109) sind auf ihrer dem Strahleneintritt abgewandten Seite mit einer teildurchlässigen Schicht 101, 102, 103 und 104 belegt.The power divider has the shape of a parallelepiped. In Fig. 1 shows a longitudinal section through the parallelepiped, specifically in one such Direction that the longitudinal section has the shape of a parallelogram. Of the Power divider consists of several elements 105, 106, 107, 108 and 109. These elements (with the exception of the last element 109 in the direction of the main beam path) on the side facing away from the entrance of the radiation with a partially transparent layer 101, 102, 103 and 104 occupied.

Diese Schichten sind so aufgebaut, daß sie einen Teil des auf sie auftreffenden Lichtstrahls reflektieren und den restlichen Teil durchlassen. Sie wirken also als Strahlteiler. Im Längsschnitt haben die einzelnen Elemente die Form eines Parallelogramms und die jeweils langen Seiten der Parallelogramme sind gegenüber der Haupstrahlrichtung, die weiter unten noch näher erläutert wird, geneigt.These layers are built up so that they are part of the on top of them reflect the incident light beam and let the rest of the light through. she So act as a beam splitter. In the longitudinal section, the individual elements have the shape of a parallelogram and the respective long sides of the parallelograms are opposite the main beam direction, which will be explained in more detail below, inclined.

Die halbkugelförmige Linse 11 ist auf der oberen Seite 32 des Leistungsteilers angeordnet. Sie macht, wie bereits erwähnt, den aus dem Lichtwellenleiter 23 austretenden Lichtstrahl zu einem parallelen Lichtstrahl, der in den Leistungsteiler eintritt und zwar senkrecht zu der Oberfläche 32, und der nach seinem Eintritt in den Leistungsteiler um 90° umgelenkt wird und zwar an der linken Seite 4 (linkes Element 105) des Leistungsteilers. Dies geschieht entweder durch Totalreflexion oder durch eine auf die Fläche 4 aufgebrachte Spiegelschicht. Nach seiner Umlenkung breitet sich der Lichtstrahl 30 in einer Richtung aus, die als Hauptstrahlrichtung bezeichnet wird. Der Lichtstrahl trifft nacheinander auf die einzelenen Strahlteiler auf. Die Strahlteiler sind um 45° gegenüber der Hauptstrahlrichtung geneigt. Am ersten Strahlteiler 101 wird ein Teil (Teilstrahl) des Lichtstrahls refelektiert und der restliche Teil wird durchgelassen. DieserTeilstrahl wird um 900 in Richtung auf die der ersten Seite 32 gegenüberliegende andere Seite 31 des Leistungsteilers abgelenkt. Er tritt auf dieser Seite 31 aus dem Leistungsteiler aus, wird von einer halbkugelförmigen Linse 12 fokusiert und in einen Lichtwellenleiter 24 ein- gekoppelt. Entsprechendes geschieht für den verbleibenden Lichtstrahl an den anderen Strahlteilern. An jedem der Strahlteiler wird jeweils ein Teilstrahl reflektiert und diese gelangen über Linsen 13, 14, 15, 16 zu weiteren Lichtwellenleitern 25, 26, 27, 28.The hemispherical lens 11 is on the upper side 32 of the power splitter arranged. As already mentioned, it makes the one emerging from the optical waveguide 23 Light beam to a parallel light beam that enters the power splitter namely perpendicular to the surface 32, and that after its entry into the power splitter is deflected by 90 ° on the left side 4 (left element 105) of the power divider. This is done either by total reflection or by an applied to the surface 4 Mirror layer. After its deflection, the light beam 30 spreads in one direction which is referred to as the main beam direction. The light beam hits one after the other on the individual beam splitters. The beam splitters are 45 ° opposite the Main beam direction inclined. At the first beam splitter 101, a part (partial beam) of the light beam is refelected and the remaining part is transmitted. This partial beam becomes 900 towards the other side opposite the first side 32 31 of the power splitter deflected. He steps out of the power splitter on this page 31 off, is focused by a hemispherical lens 12 and into an optical waveguide 24 a coupled. The same happens for the remaining ones Light beam at the other beam splitters. At each of the beam splitters is respectively a partial beam is reflected and these reach others via lenses 13, 14, 15, 16 Optical fibers 25, 26, 27, 28.

Die Anzahl der Strahlteiler ist um die Zahl eins geringer als die Anzahl der Teilstrahlen, in die der auf den Leistungsteiler auftreffende Lichtstrahl aufgeteilt wird. Nach dem Passieren des letzten Strahlteilers 104 ist nur noch der letzte der Teilstrahlen des Lichtstrahls, der auf den Leistungsteiler auftrifft, vorhanden, da die übrigen Teilstrahlen bereits durch die übrigen Strahlteiler in Richtung der Seite 31 des Leistungsteilers abgelenkt wurden. Deshalb reicht es aus, den letzten Teilstrahl lediglich um 90° abzulenken, was an der rechten Seite 5 des Leistungsteilers geschieht. Dieser letzte Teilstrahl gelangt dann ebenfalls über eine halbkugeförmige Linse 16 auf einen Lichtwellenleiter 28.The number of beam splitters is one less than that Number of partial beams into which the light beam striking the power splitter is divided. After passing the last beam splitter 104, only that is left last of the partial beams of the light beam that hits the power splitter, present, since the remaining partial beams have already passed through the remaining beam splitters in Direction of the side 31 of the power splitter were deflected. Therefore it is enough deflect the last partial beam only by 90 °, which is on the right side 5 of the Power divider happens. This last partial beam then also passes over a hemispherical lens 16 onto an optical waveguide 28.

Der Leistungsteiler wurde hier in seiner Verwendung als Leistungsteiler beschrieben, da der einfallende Lichtstrahl, der über den Lichtwellenleiter 23 der Einrichtung zugeführt wird, in mehrere Teilstrahlen aufgeteilt wird Bei der Betriebsart, bei der mehrere Lichstrahlen zu einem gemeinsamen Lichtstrahl vereinigt werden sollen, werden der Einrichtung über die Lichtwellenleiter 24, 25, 26, 27 und 28 mehrere Lichtstrahlen zugeführt. Diese Lichtstrahlen werden an den einzelnen Strahlteilern 101, 102, 103, 104 und an der rechten Seite 5 der Einrichtung um 900 abgelenkt und somit in der Hauptstrahlrichtung einander überlagert. Der Lichtstrahl, der an der linken Seite 4 des Multiplexers austritt, enthält bereits alle Lichtstrahlen und wird an dieser linken Seite 4 um 900 zu der halbkugelförmigen Linse 11 abgelenkt und gelangt über diese zu dem Lichtwellenleiter 23.The power divider was used here as a power divider described, since the incident light beam, which via the optical waveguide 23 of Device is supplied, is divided into several partial beams In the operating mode, in which several rays of light are to be combined into a common ray of light, the device via the optical waveguides 24, 25, 26, 27 and 28 several Light beams fed. These light beams are sent to the individual beam splitters 101, 102, 103, 104 and on the right side 5 of the device deflected by 900 and thus superimposed on one another in the main beam direction. The ray of light that passes through the left side 4 of the multiplexer already contains all light beams and is deflected on this left side 4 by 900 to the hemispherical lens 11 and via this arrives at the optical waveguide 23.

Bei dem Ausführungsbeispiel wird davon ausgegangen, daß die einzelnen Elemente und somit auch die einzelnen Strahlteiler um 45° gegenüber der Hauptstrahlrichtung geneigt sind. Dies ist jedoch nicht erforderlich, sondern es sind auch andere Neigungen möglich. Es muß dann lediglich dafür Sorge getragen werden, daß die einzelnen von den Strahlteilern reflektierten Teilstrahlen nach dem Verlassen des Leistungsteilers in geeigneter Weise in die einzelnen Lichtwellenleiter eingekoppelt werden. Es ist weiterhin auch nicht notwendig, daß die einzelnen Strahlteiler zueinander parallel angeordnet sind. Eine parallele Anordnung ermöglicht jedoch eine besonders einfache Herstellung des neuen Leistungsteilers.In the embodiment it is assumed that the individual Elements and thus also the individual beam splitters at 45 ° in relation to the main beam direction are inclined. However, this is not required, there are other inclinations as well possible. It then only has to be ensured that the individual of the beam splitters reflected partial beams after leaving the power splitter be coupled in a suitable manner into the individual optical waveguides. It is nor is it necessary for the individual beam splitters to be parallel to one another are arranged. However, a parallel arrangement enables a particularly simple one Manufacture of the new power splitter.

Bei dem Ausführungsbeispiel wird ein Lichtstrahl in fünf Teilstrahlen aufgeteilt. Wenn der Lichtstrahl mit der Intensität JO 0 in fünf Teilstrahlen mit den Intensitäten J1 , J2 J3, J4 und J5 mit J 1 = 2 = 3 = 4 = J 5 aufgeteilt wird, dann müssen die Strahlteiler die nachfolgend angegebenen Anteile der auf sie auftreffenden Lichtstrahlen reflektieren und den Rest des Lichts durchlassen.In the exemplary embodiment, a light beam is divided into five partial beams divided up. If the light beam with the intensity JO 0 is divided into five partial beams with the intensities J1, J2 J3, J4 and J5 are divided with J 1 = 2 = 3 = 4 = J 5, then the beam splitters must have the proportions specified below for those incident on them Reflect light rays and let the rest of the light through.

Strahlteiler 101 1/5 Strahlteiler 102 1/4 Strahlteiler 103 1/3 Strahlteiler 104 1/2.Beam splitter 101 1/5 beam splitter 102 1/4 beam splitter 103 1/3 beam splitter 104 1/2.

Ist ein Leistungsteiler mit Z Auskoppelstellen (und somit Z-1 Strahlteilern) vorhanden, dann weisen die einzelnen Strahlteiler die nachfolgenden Reflexionsgrade auf: erster Strahlteiler 1/Z zweiter Strahiteiler 1/Z-1 (Z-1)ter Strahlteiler 1/2.Is a power splitter with Z decoupling points (and thus Z-1 beam splitters) present, then the individual beam splitters have the following degrees of reflection on: first beam splitter 1 / Z second beam splitter 1 / Z-1 (Z-1) ter Beam splitter 1/2.

Es wurde oben davon ausgegangen, daß der Lichstrahl in Teilstrahlen gleicher Intensität aufgeteilt wird. Dies ist jedoch nicht notwendig, sondern es ist durch geeignete Wahl des Durchlaßverhaltens der einzelnen Strahlteiler jede gewünschte Intensitätsverteilung auf die einzelnen Teilstrahlen möglich.It was assumed above that the light beam is divided into partial beams equal intensity. However, this is not necessary, it is is each one through a suitable choice of the transmission behavior of the individual beam splitters desired intensity distribution on the individual partial beams possible.

Die reziproke Verwendung des Leflstungsteilers zur Kombination von einzelnen Lichtstrahlen zu einem gemeinsamen Lichtstrahl wird hier nicht erläutert, da es fachmännisches Wissen ist, den Leistungsteiler sinngemaß einzusetzen, wenn der Leistungsteiler und seine Funktionsweise an sich bekannt sind.The reciprocal use of the solution divider to combine individual light beams to a common light beam is not explained here, since it is professional knowledge to use the power divider appropriately if the power splitter and its mode of operation are known per se.

Ein besonders vorteilhaftes Herstel lungsverfahren wird nachfolgend anhand der Fig. 2 erläutert.A particularly advantageous manufacturing method is described below explained with reference to FIG. 2.

Im ersten Arbeitsgang wird ein Plättchen 50 aus einem optisch transparenten Material mit einer teildurchlässigen Schicht 60 beschichtet, was beispielsweise durch Aufdampfen erfolgen kann. Dieser Vorgang wird für mehrere Plättchen so durchgeführt, daß die Durchlässigkeit der Schicht für jedes Plättchen anders ist. Welche Durchlässigkeit zu wählen ist, ist der obigen Beschreibung zu entnehmen. Danach werden die einzelnen beschichteten Plättchen 51, 52, 53, 54 und 55 übereinander gestapelt und miteinander verkittet. Hierbei braucht das oberste Plättchen 55 nicht mit einer teildurchlässigen Schicht versehen zu sein, da ein Teil der Oberseite dieses Plättchens 55 im fertigen Zustand des Leistungsteilers die in der Fig. 1 rechte Seite 5 der Einrichtung darstellt, an der eine Totalreflexion erfolgt.In the first step, a plate 50 is made from an optically transparent one Material coated with a partially permeable layer 60, what for example can be done by vapor deposition. This process is carried out for several platelets in such a way that that the permeability of the layer is different for each platelet. What permeability is to be selected, can be found in the description above. After that, the individual coated platelets 51, 52, 53, 54 and 55 stacked on top of one another and with one another cemented. Here, the uppermost plate 55 does not need to be partially permeable layer to be provided, as part of the top of this plate 55 in the finished state of the power splitter represents the right side 5 of the device in FIG. 1, at which a total reflection takes place.

Es ist natürlich auch möglich, dieses Plättchen mit einer Spiegelschicht zu versehen. In der Fig. 2b sind die Schichten der Plättchen mit den Bezugszeichen 61, 62, 63 und 64 versehen. Bei dem Auführungsbeispiel sind die einzelnen beschichteten Plättchen so übereinander gestapelt, daß sich in einem Querschnitt ein Parallelogramm ergibt. Die Gerade, die die Kanten der einzelnen Plättchen miteinander verbindet,ist gegen die Senkrechte 57 auf den Plättchen um einen Winkel von 45° geneigt. Dieser Neigungswinkel ist gleich dem Winkel, um den beim fertigen Leistungsteiler die Strahlteiler gegenüber der Hauptstrahirichtung geneigt sein sollen. Von diesem Stapel werden mehrere Scheibchen abgetrennt. Die Trennflächen sind bestimmt durch eine Gerade, die parallel ist zu der Geraden, die die Kanten der einzelnen Plättchen miteinander verbindet, und durch eine Längsseite 56 der Plättchen. In der Fig. 2b sind drei Trennlinien I-I, II-II und III-III eingezeichnet. Dadurch, daß man die Plättchen mit der Neigung übereinander stapelt, in deren Richtung später die Abtrennung der einzelnen Scheibchen erfolgt, wird der Abfall gering gehalten. In der Fig. 2c ist ein einzelnes Scheibchen 17 dargestellt. Es hat die Form eines Parallelepipeds und setzt sich aus den von den einzelnen Plättchen abgeschnittenen Teilen zusammen. In der Fig. 2c sind die Teile der Plättchen mit ihren Beschichtungen, die von den gemäß Fig. 2b übereinander gestapelten Plättchen abgeschnitten worden sind, mit denselben Bezugszeichen wie die Plättchen der Fig. 2b bezeichnet. Das Material, mit dem die Plättchen miteinander verkittet sind, ist so gewählt, daß es sich optisch nicht störend bemerkbar macht und deshalb sind die Verkittungs- stellen auch nicht im einzelnen dargestellt. Von diesen Scheibchen 70 wiederum werden mehrere Stücke abgetrennt.It is of course also possible to have this plate with a mirror layer to provide. In Fig. 2b, the layers of the platelets with the reference numerals 61, 62, 63 and 64 provided. In the example, the individual are coated Platelets stacked on top of each other so that a parallelogram appears in a cross-section results. The straight line that connects the edges of the individual platelets is inclined to the vertical 57 on the plate by an angle of 45 °. This The angle of inclination is the same as the angle at which the beam splitters in the finished power splitter should be inclined in relation to the main jet direction. Be from this pile severed several slices. The dividing surfaces are determined by a straight line, which is parallel to the straight line that connects the edges of the individual platelets connects, and through a longitudinal side 56 of the plate. In Fig. 2b there are three Dividing lines I-I, II-II and III-III are shown. By having the platelets with the inclination stacked on top of each other, in the direction of which later the separation of the If there is a single slice, the waste is kept to a minimum. In Fig. 2c is a single disc 17 is shown. It has the shape of a parallelepiped and is composed of the parts cut off from the individual platelets. In Fig. 2c, the parts of the platelets with their coatings, which are from the 2b stacked platelets have been cut off with denotes the same reference numerals as the platelets of Fig. 2b. The material, with which the platelets are cemented together, is chosen so that it is optically not noticeable in a disturbing way and therefore the cementing place also not shown in detail. There are in turn several of these disks 70 Pieces severed.

Dies geschieht in einer Richtung, die senkrecht zu den einzelnen teildurchlässigen Schichten 64, 63, 62, 61 ist. In der Fig. 2c sind zwei solcher Trennlinien eingezeichnet, nämlich die Trennlinien IV-IV und V-V.This is done in a direction that is perpendicular to the individual partially permeable Layers 64, 63, 62, 61 is. In Fig. 2c two such dividing lines are drawn, namely the dividing lines IV-IV and V-V.

Die einzelnen abgetrennten Stückchen sind die Leistungsteiler 80. Im oberen Teil der Fig. 2d ist ein solcher Leistungsteiler in der Weise dargestellt wie er von dem Scheibchen 70 in der Fig. 2d abgeschnitten wird. Im unteren Teil der Fig. 2d ist ein einzelner Leistungsteiler im Längsschnitt dargestellt, der dem Längsschnitt bei der Darstellung der Fig. 1 entspricht. Der Leistungsteiler setzt sich aus einzelnen Elementen 81, 82, 83, 84, 85 zusammen, wobei die Elemente bis auf das letzte Element 85 jeweils aus einem optisch transparenten Material (Plättchen 50, Fig. 2a) und einer darauf befindlichen teildurchlässigen Schicht (60, Fig. 2a) besteht. Die Elemente 81 bis 85 entsprechen den Elementen 105 bis 109 in der Fig 1.The individual separated pieces are the power dividers 80. Such a power splitter is shown in the upper part of FIG. 2d as it is cut off from the disc 70 in FIG. 2d. In the lower part Fig. 2d is a single power splitter shown in longitudinal section, the Longitudinal section in the illustration of FIG. 1 corresponds. The power splitter sets are made up of individual elements 81, 82, 83, 84, 85, the elements to on the last element 85 each made of an optically transparent material (plate 50, Fig. 2a) and a partially permeable layer located thereon (60, Fig. 2a) consists. Elements 81 to 85 correspond to elements 105 to 109 in FIG 1.

Vor dem Abtrennen der einzelnen Stückchen aus einem Scheibchen 70 werden die großen Oberflächen der Scheibchen 70 geschliffen und poliert.Before separating the individual pieces from a disc 70 the large surfaces of the discs 70 are ground and polished.

Es ist ohne weiteres möglich, die Größe der einzelnen Plättchen und den Plättchenstapel so zu wählen, daß man aus einem Plättchenstapel ca. 100 Leistungsteiler erhält. Würden die Leistungsteiler einzeln hergestellt, dann müßten jeweils, verglichen mit dem beschriebenen Herstellungsverfahren, hundertmal mehr teildurchlässige Schichten auf Substrate aufgebracht werden. Der Aufwand beim Aufdampfen der Schichten auf die Substrate wird somit wesentlich reduziert. Eine weitere wesentliche Reduzierung des Arbeitsaufwandes erhält man beim Schleifen und Polieren. Geht man davon aus, daß man aus einem Plättchenstapel 10 Scheibchen erhält und daß man aus jedem Scheibchen 10 Leistungsteiler gewinnt, dann erhält man eine Reduzierung des Aufwandes beim Polieren und Schleifen um den Faktor 10, denn hier werden gewissermaßen 10 Leistungsteiler in einem Arbeitsgang geschliffen und poliert. Stellt man die einzelnen Leistungsteiler einzeln her und möchte man kontrollieren, ob die Schichten auch so aufgebracht sind, daß sie jeweils exakt den vorgeschriebenen Reflexionsgrad aufweisen, dann muß jeder einzelne Leistungsteiler geprüft werden. Bei diesem Herstellungsverfahren hingegen reicht es aus, nur einen Leistungsteiler zu prüfen, um sicherzustellen, daß die aufgedampften Schichten die vorgeschriebenen Werte haben, denn man kann davon ausgehen, daß die Aufdampfung auf einem Plättchen gleichmäßig erfolgt. Dadurch wird bei neuen Herstellungsverfahren auch der Prüfaufwand wesentlich reduziert.It is easily possible to change the size of the individual platelets and to choose the stack of platelets in such a way that approx. 100 power dividers can be obtained from a stack of platelets receives. If the power dividers were to be produced individually, then each would have to be compared with the manufacturing process described, a hundred times more partially permeable layers be applied to substrates. The effort involved in vapor deposition of the layers the substrates are thus significantly reduced. Another significant reduction of the workload you when grinding and polishing. Goes it is assumed that 10 discs are obtained from a stack of platelets and that one 10 power dividers are obtained from each slice, then a reduction is obtained the effort involved in polishing and grinding by a factor of 10, because here, to a certain extent, 10 power dividers ground and polished in one operation. If you put the individual power splitter individually and you want to check whether the shifts are also applied in such a way that they each have exactly the prescribed degree of reflection then each individual power splitter must be checked. In this manufacturing process however, it is sufficient to check only one power splitter to ensure that the vapor-deposited layers have the prescribed values, because one can assume that vapor deposition occurs evenly on a wafer. Through this the testing effort is also significantly reduced with new manufacturing processes.

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Claims

Claims 1. Optical power splitter, d a d u r c h g e -k It is noted that the component that forms the power splitter is in the Main beam direction (30) has more than one beam splitter (101, 102, 103, 104), that each beam splitter a part of the light beam impinging on it into a reflected from the direction of incidence different direction, this reflected Light beam is one of the partial beams into which the power splitter converts a light beam divides, and lets through the remaining part to the next beam splitter, and that the The degrees of reflection of the individual beam splitters are chosen so that the partial beams have the desired intensities.

2. Optical power splitter according to claim 1, characterized in that that the component consists of several similarly interconnected optically transparent Elements (105, 106, 107, 108, 109), on each of which one surface one partially permeable layer is applied

3. Power divider after Claim 2, characterized in that the elements that are geometrically identical to one another are inclined at a certain angle against the main beam direction, and that the boundary surfaces (31, 32) of the component consisting of the elements plane Are surfaces that are parallel to each other.

4. Power divider according to claim 3, characterized in that on the light entry and exit points in the flat boundary surfaces of the component at least approximately hemispherical lenses (12, 13, 14, 15, 16) are present.

5. A method for producing a power splitter according to claim 3, characterized in that plates provided with partially permeable layers (50) made of an optically transparent material stacked on top of one another and with one another cemented (Fig. 2b), that slices are separated from this stack (I-I, II-II, III-III) are in such a way that the parting surfaces parallel the stack with the platelets to a plate side (56) and inclined to the vertical (57) on a plate cuts, and that of these slices (70) pieces (80), which the power divider are to be separated.

6. The method according to claim 5, characterized in that the stacked Platelets are each offset from one another by a constant value, so that a crooked pile is formed.

7. The method according to claim 5 or 6, characterized in that the The upper and lower sides of the discs (70) are ground before they are further processed and be polished.

8. The method according to claim 5, 6 or 7, characterized in that the platelets are stacked so that the straight line that the platelets ends connects, is parallel to the separation direction (I-I).