DE3413837A1

DE3413837A1 - Verpackung fuer halbleiterscheiben

Info

Publication number: DE3413837A1
Application number: DE19843413837
Authority: DE
Inventors: Otto Dipl.-Ing. 8347 Kirchdorf Dombkowski; Walter Dipl.-Ing. 8263 Burghausen Kudlich; Jan 8261 Tittmoning Stodulka; Jürgen Dipl.-Chem. Dr. 8263 Burghausen Voß
Original assignee: Wacker Siltronic AG
Current assignee: Siltronic AG
Priority date: 1984-04-12
Filing date: 1984-04-12
Publication date: 1985-10-17
Also published as: DK163885A; EP0159416A2; DK163885D0; EP0159416A3; US4555024A; JPS60217973A

Description

Verpackung für Halbleiterscheiben

Die Erfindung betrifft eine Verpackung für Halbleiterscheiben in der Art des Ober-begrif f es des Anspruches 1.

An Verpackungen für Halbleiterscheiben werden besonders hohe Anforderungen gestellt. Es wird verlangt, daß sie zuverlässigen Schutz der Scheiben gegen Verunreinigungen, z. B. durch Staub, Luftfeuchtigkeit, oder das Verpackungsmaterial selbst gewährleisten. Sie müssen weiterhin wegen der Empfindlichkeit der Scheiben gegenüber Bruch und Oberflächenbeschädigungen mechanische Beanspruchungen weitestgehend verhindern. Daneben wird von einer solchen Verpackung geringes Gewicht und niedriger Platzbedarf erwartet, um kostengünstigen Transport und raumsparende Lagerung zu ermöglichen. Zunehmend wichtig ist schließlich die Forderung, daß solche Verpackungen automatenkompatibel sind, d.. h. daß die Scheiben direkt und ohne vorheriges , langwieriges Umpacken in eigene Prozeßhorden aus der Verpackung in den jeweils vorgesehenen, in der Regel automatisierten Weiterverarbeitungsschritt eingeschleust werden können.

Insbesondere aufgrund der letztgenannten Forderung hat sich für die gebräuchlichen Verpackungen von Halbleiterscheiben meist ein Aufbau aus drei Teilen durchgesetzt, wobei in der Regel ein aus Boden und Deckel bestehender Außenbehälter einen

die Scheiben aufnehmenden Scheibenträger umschließt. Um die
universelle Einsetzbarkeit solcher Scheibenträger zu gewährleisten, wurde vom "Semiconductor Equipment and Materials Institute (SEMI)" eine Norm erarbeitet, welche charakteristische Größen der Scheibenträger festlegt (vgl. E 1 SEMI Specification for Wafer Carriers, Published: January 1981, Revised: August 1981). Beispielsweise wird durch diese Norm die Form der
Ober- und Stirnseite des Scheibenträgers oder die Anzahl und der durch Führungsrippen bestimmte Abstand der Scheiben im
Träger vorgegeben.-

Die bekannten, der SEMI-Norm entsprechenden Verpackungen weisen allerdings schwerwiegende Nachteile auf, wie z. B. hohes Gewicht, fehlende Stapelbarkeit, fehlende Kontrollmöglichkeit des Inhalts bei geschlossener Verpackung, mangelhafte Fixierung
der Scheiben oder Verunreinigungen, insbesondere durch Abrieb an den Kontaktflächen zwischen Scheiben und Verpackung. Das letztgenannte Problem tritt vor allem in den Fällen auf, wo die Scheiben durch zu den Führungsrippen annähernd parallele Federzungen gehalten werden. Dabei ergibt sich beim Einlegen der Scheiben eine weite Auslenkung der Federzungen und ein dementsprechend starker Abrieb.

Aufgabe der Erfindung war es daher, eine Verpackung für Halbleiterscheiben anzugeben, die die Anforderungen der SEMI-Norm
erfüllt und zugleich die Nachteile der bekannten Verpackungen vermeidet.

Gelöst wird diese Aufgabe durch eine Verpackung in der Art des kennzeichnenden Teils des Anspruchs 1.

Als Werkstoffe für die Herstellung der beiden Außenteile der

Verpackung eignen sich allgemein Thermoplaste, also feste, nicht homogen vernetzte, überwiegend lineare Hochpolymere, die bei höheren Temperaturen reversibel weich und formbar werden und keine Zusatzstoffe enthalten, die bei Migration aus dem Material zu einer Qualitätsminderung der verpackten Scheiben führen können. Geeignet sind daher beispielsweise Polyolefine, Polyamide, lineare Polyester, Polyurethane, Polystyrol und insbesondere Polyvinylchlorid, vorzugsweise in der Form von beispielsweise schlagzähem, sog. Hart-PVC.

Zweckmäßig werden die Außenteile aus einer 1,0 bis 2,0 mm dicken Folie hergestellt, wobei in der Regel das Spritzgußoder, günstiger, das Thermoformverfahren infrage kommen. Dabei wird zumindest die Abdeckung, im allgemeinen aber der gesamte Außenbehälter aus transparentem Kunststoff gefertigt, um die Kontrolle des Verpackungsinhalts zu erleichtern.

Für den am günstigsten nach dem Spritzgußverfahren gefertigten Scheibenträger kommen als Werkstoffe allgemein gegenüber den Scheiben chemisch inerte, thermoplastische, vorzugsweise teilkristalline Kunststoffe infrage. Solche Kunststoffe stehen beispielsweise in Form von Polytetrafluorethylen,Polytrifluorchlorethylen , oder·Polypropylen bzw. Polyethylen zur Verfügung, welche bevorzugt zum Einsatz kommen.

Im folgenden wird die Erfindung anhand der Figuren 1 bis näher erläutert.

Fig. 1 zeigt die Verpackung von der Stirnseite (rechte Hälfte) und im Querschnitt (linke Hälfte)

Fig. 2 zeigt die Verpackung von der Längsseite, wobei ein Aus-

-y-

schnitt am linken Rand im Querschnitt dargestellt ist.

Fig. 3 bis Fig. 10 zeigen konstruktive Einzelheiten, wie Eckengestaltung, Auflagepunkte, Führungsrippen, Federzungen und Haltekegel.

Einander entsprechende Elemente sind in den verschiedenen Figuren mit den gleichen Bezugszeichen versehen.

In Fig. 1 ist, von "der Stirnseite ,die erfindungsgemäße Verpackung dargestellt, die aus dem Boden 1 und dem Deckel 2 besteht, welche den Scheibenträger 3 mit einer nur angedeuteten Halbleiterscheibe 4 umgeben. Der Boden 1 besitzt sich nach oben erweiternde, zweckmäßig leicht geknickte Längsseitenwände 5, welche vorzugsweise hohlzylinderförmige Einbuchtungen 6 besitzen, die das seitliche Spiel des Scheibenträgers 3 begrenzen. Die ebene Standfläche 7 des Bodens 1 umgibt in Längsrichtung eine polygonartig nach innen gewölbte Einbuchtung 8. In die Standfläche 7 sind seitlich nach innen gezogene Auflageflächen 9 eingearbeitet, auf welche der Scheibenträger 3 zu stehen kommt. An seinem oberen Rand geht der Boden 1 in die vorzugsweise abgeflachte Bodenoberkante 10 und schließlich in den rinnenartig nach unten gezogenen Außenrand 11 über. Dieser besitzt im Bereich der, vorteilhaft gerundeten,Ecken an jeder Seitenfläche nach innen gewölbte Schnappkalotten 12 .

Paßgerecht zum oberen Rand des Bodens 1 besitzt der Deckel 2 an seinem unteren Rand eine im allgemeinen ebene Auflagekante 13, an die sich die Umrandung 14 mit den nach innen gewölbten Schnappwülsten 15 im Eckenbereich anschließt. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung sind in die Bodenoberkante 10 hier nicht dargestellte Vertiefungen eingearbeitet,

so daß Boden 1 und Deckel 2 nicht völlig dicht aufeinander sitzen, sondern Zwischenräume entstehen, welche den Druckausgleich zwischen dem Innenraum der Verpackung und der Umgebung erleichtern. Etwa auf halber Höhe umgibt den in seiner polygonartigen Wölbung der Scheibenkrümmung angepaßten Deckel 2 ein treppenartiger Absatz 16, der zur Höhenfixierung des Scheibenträgers 3 dient. Die diagonal in die Ecken weisenden Erhöhungen 17 sind wegen eines der SEMI-Norm entsprechenden Führungsstiftes am Scheibenträger 3 erforderlich. Eine weitere, zweckmäßig nur an den Längsseiten des Deckels angeordnete Stufe 18 vergrößert die Auflagefläche, wenn die Verpackungen aufeinander gestapelt werden und jeweils die Einbuchtung 8 des Bodens auf der paßgerecht gearbeiteten Deckelwölbung zu liegen kommt. Zwischen der Stufe 18 und der S :heitellinie des Deckels 2 ragen schließlich noch die Haltekegel 19 nach innen, die die Aufgabe haben, die Scheiben von oben her zu fixieren. Die Position der Haltekegel wird bevorzugt so gewählt, daß ihre Ansatzpunkte am Scheibenrand zur Scheibenmitte einen Winkel von 30" bis 50° bilden. Grundsätzlich sind jedoch auch kleinere Winkel ,bis zum Grenzfall einer einzigen Halbkegelreihe entlanq der Scheitellinie ,möglich.

Der Scheibenträger 3 ist in Formgebung, z. B. in bezug auf die Gestaltung der Oberkante, und Ausstattung, z. B. in bezug auf Führungsrippen für die Scheiben und einen als "crossbar" bezeichneten Verbindungssteg an einer Schmalseite, weitgehend durch die SEMI-Norm vorgegeben. Erfindungsgemäß erfolgt die Fixierung der Halbleiterscheiben in ihm-durch zwei Reihen von Federzungen 20, welche zwischen den Führungsrippen in der Weise angebracht sind, daß sie von einem bei einem Fünftel bis einem Drittel, vorzugsweise etwa einem Viertel der Seitenhöhe gelegenen Ansatzpunkt ausgehen. Zweckmäßig sind die Federzungen bereits in unbelastetem Zustand leicht, d. h. um 0" bis 30°, vorzugsweise 5° bis 10° , von der Waagerechten abweichend

nach unten geneig Ihre Länge wird so gewählt, daß die Auflagepunkte - streng genommen handelt es sich dabei natürlich um Auflageflächen - der Scheiben mit dem Scheibenmittelpunkt einen Winkel von 75° bis 120° bilden.

Die Fig. 2 macht beispielhaft deutlich, wie der Scheibenträger 3 im Boden 1 und Deckel 2 fixiert wird. Dies geschieht in Querrichtung durch die Einbuchtungen 6 an den Längsseiten und in Längsrichtung durch einen flächenförmigen Einzug 21 an den Schmalseiten. Die Höhenfixierung erfolgt zum einen über die Auflageflächen 9 im Boden 1, zum anderen über den Absatz 16 im Deckel. Scheibenträger 3, Boden 1 und Deckel 2 werden damit in einer Position gehalten, in der jeweils einander entsprechende Führungsrippen, welche hier nicht dargestellt sind, und Haltekegel 19 in einer Ebene liegen.

Fig. 3 zeigt in einer Draufsicht, wie zur Erleichterung des Öffnens bei einer günstigen Ausführungsform der erfindungsgemäßen Verpackung an mindestens einer Ecke der in Fig. 1 und Fig. 2 mit der Bezugsziffer 22 bezeichnete Bereich gestaltet wird. Dabei läuft die Umrandung 14 des Deckels 2 in einer oberen Lasche 23, der Außenrand 11 des Bodens 1 in einer unteren Lasche 24 aus. Beide Laschen sind um 90° versetzt angeordnet und erlauben durch eine einfache mit Daumen und Zeigefinger ausgeführte Drehbewegung, den Schnappverschluß an der Ecke zu entriegeln.

In Fig. 4 ist an einem Einzelbeispiel in einer Draufsicht dargestellt, wie sich bei geschlossener Verpackung die Halbleiterscheiben 4 zwischen den Führungsrippen 25 des Scheibenträgers anordnen, wobei sie, ansonsten völlig freistehend, lediglich am Kopfende 26 der Federzunge 20 in Kontakt mit dem Scheibenträger kommen. Der Winkel der Flanken 2 7 der Führungsrippen

zueinander beträgt 5° bis 15^e, vorzugsweise etwa 7° und gewährleistet, daß beim Befüllen des Scheibenträgers 3 nur die verrundete Kante 28 der Scheibe mit diesem in Kontakt kommen kann. Die Federzungen 20 sind über den Federzungenschaft 29 mit den Führungsrippen 25 verbunden.

Die Federzungen werden günstig wie in Fig. 5 und Fig. 6 dargestellt gestaltet. Gemäß Fig. 5 geht die Federzunge aus dem zwischen den Führungsrippen 25 angeordneten Federzungenschaft 29 in den flachen Federzungenhals 30 über und endet in dem Federzungenkopf 26. Dieser besteht aus der konvexen Auflagefläche 31 und den zu deren beiden Seiten angeordneten, gerundeten Führungselementen 32. Fig. 6 zeigt den Federzungenhals und den Federzungenkopf 26 im Querschnitt. Im Federzungenkopf 26 fallen die heckerartigen Führungselemente 32 steil nach innen zu der konvexen Auflagefläche 31 ab; die Neigung wird günstig so steil gewählt, daß aufgrund der Schwerkraft der Scheibenrand stets nach unten rutscht und auf der Auflagefläche zu liegen kommt. Auf diese Weise ergibt sich eine minimale Kontaktfläche 33 zwischen Scheibe 4 und Federzungenkopf 26 und wegen der tangentialen Anordnung der Federzungen 20 auch eine minimale Relativbewegung zwischen beiden, wenn die Scheiben eingelegt oder entnommen werden. Damit kann die Gefahr von Abrieb besonders gering gehalten werden. Zweckmäßig werden die Federzungenköpfe 26 so gestaltet, daß bei der Anordnung in einer Reihe ihre Abstände voneinander so gering sind,"daß die Scheiben beim Einlegen nicht in die Zwischenräume geraten können.

Fig. 7 zeigt die Punkte, an denen bei geschlossener Verpackung Kräfte an einer Scheibe 4 angreifen und an denen gleichzeitig überhaupt ein Kontakt Scheibe-Verpackung stattfindet. Die Scheibe 4 liegt an den Kontaktflächen 33 auf den Federzungen

• *

auf, wobei zum Scheibenmittelpunkt ein Winkel von 75° bis 120" entsteht. Die Kräfte, mit der die Scheiben an die Federzungen 20 gedrückt werden, greifen an den Punkten 34 an, wo der Scheibenrand im Bereich der nach innen ragenden Haltekegel 19 am Deckel 2 anliegt. Gemäß der bevorzugten Ausführungsform bilden diese Punkte 34 zum Scheibenmittelpunkt einen Winkel von 30° bis 50", so daß ihre Entfernung voneinander im allgemeinen größer ist als der sog. "Scheibenfiat¹¹, eine vielfach übliche, zur Kennzeichnung der Orientierung am Scheibenumfang angebrachte Abflachung. Gleichfalls möglich sind kleinere Winkel, d. h. geringere Entfernungen der Punkte 34 voneinander bis hin zu dem Grerzfall, daß bei 0" beide Punkte 34 zusammenfallen. Bei solchen Ausführungsformen ist jedoch beim Einlegen der Scheiben darauf zu achten, daß der Scheibenfiat stets neben den Punkten 34 zu liegen kommt. Die Fixierung durch die Reihe(n) der Haltekegel 19 ist in den Figuren 8, 9 und 10 näher erläutert.

Gemäß Fig. 8 erfolgt der Kontakt der Scheibe 4 mit den Haltekegeln 19 an den Punkten 34 in der Art, daß der Scheibenrand an der Stelle den Deckel berührt, wo zwei benachbarte Haltekegel 19, deren Mantelfläche in einem Winkel von 60° bis 90° zueinander stehen, aneinander stoßen. Dadurch wird, wie auch aus Fig. 9 deutlich wird, erreicht, daß der äußere Rand der Scheibe 4 durch einen Zwischenraum 35 von der Deckelwandung 36 getrennt bleibt.

Fig. 10 zeigt in einer Draufsicht eine Reihe von Haltekegeln mit dazwischen befindlichen Scheiben 4. Der Abstand der Kegelmittelpunkte ist dabei gleich dem gewünschten Abstand der Scheiben voneinander und dem der Führungsrippen im Scheibenträger

In der erfindungsgemäßen Verpackung werden die Scheiben damit durch die Federwirkung des Deckels im Bereich der Haltekegelreihen,durch die Federwirkung der Federzungen,sowie letztlich

durch die Haltekräfte der Schnappverschlüsse gehalten. Die Fixierung hängt damit ausschließlich von den mechanischen und Elastizitätseigenschaften des Verpackungsmaterials ab und nicht von Druckdifferenzen zwischen Verpackungsxnnenraum und der Umgebungsatmosphäre. Ohne Einfluß bleiben auch Schwankungen der Scheibendurchmesser, sofern die üblichen Toleranzwerte nicht überschritten werden.

Durch die Geometrie der gesamten Verpackung wird bei der bevorzugten Ausführungsform eine definierte Vierpunktauflage der Scheiben 4 im Deckel 2 und im Scheibenträger 3 erreicht. Auch in dem Fall, daß der Scheibenfiat bei einem der Kontaktpunkte 34 zu liegen kommt, ist immer noch eine Fixierung mit Hilfe von drei verbleibenden Haltepunkten gegeben. Selbst bei der Ausführungsform mit nur einer Haltekegelreihe entlang der Scheitellinie des Deckels 2 ist stets eine definierte Dreipunktauflage gewährleistet, wenn beim Einlegen der Scheiben eine Position des Scheibenfiats an einem der Punkte 34 oder 35 verhindert wird.

Die Verpackung wird nach dem Befüllen mit Halbleiterscheiben zum Schutz von Verunreinigungen in einen zumeist mehrschichtigen Schutzfolienbeutel mit möglichst geringer Gas-, Luftbzw. Wasserdampfpermeabilität gegeben und, gegebenenfalls auch nach Zufuhr von Schutzgas, bei in der Regel auf etwa 50 bis 50OhPa vermindertem Druck hermetisch versiegelt. Dadurch wird das Aufblähen oder die Zerstörung des Schutzfoliensackes beim Transport in Flugzeugen mit nur teilweisem Druckausgleich der Frachtkabinen vermieden.

- 10 -

Ein besonderer Vorteil der Verpackung liegt neben dem geringen Gewicht und den vergleichsweise niedrigen Kosten darin, daß sowohl die einzelnen Außenteile als auch die komplette Verpackung stapelbar sind. Darüber hinaus kann der Scheibenträger nicht nur bei der Lagerung, sondern auch bei manchen Weiterverarbeitungsschritten, z. B. gewissen Reinigungsprozessen, als Prozeßhorde eingesetzt werden. Diese zusätzliche Einsatzmöglichkeit wird dadurch begünstigt, daß wegen der Fixierung der Scheiben mit Federzungen eine sehr offene Bauweise des Scheibenträgers mit nahezu senkrecht abfallenden Führungsrippen und Seitenwänden möglich ist.

- Leersei te

Claims

Patentansprüche

1.1 Verpackung für Ha >leiterscheiben, welche aus einem die Scheiben aufnehmenden, an der Ober- und Unterseite offenen, m beiden Längsseiten mit Führungsrippen und an der offenen Stirnseite mit einem Quersteg versehenen Scheibenträger, einem wannenförmigen, den Scheibenträger aufnehmenden Bodenteil sowie einem dem Scheibenumfang angepaßten, polygonartig gewölbten Deckel mit Vorsprüngen besteht, die mit Halteelementen im Scheibenträger formangepaßt zusammenwirken können, dadurch gekennzeichnet,

a) daß sie aus einem Scheibenträger besteht, der an beiden Längsseiten auf gleicher Höhe, die einem Fünftel bis einem Drittel der Seitenhöhe entspricht, jeweils zwischen den Führungsrippen Federzungen besitzt, welche mit einem von der Waagerechten um 0^β bis 30° abweichenden Winkel nach unten ins Innere des Scheibenträgers weisen und deren Länge so gewählt wird, daß die Auflagepunkte der Scheiben mit dem Scheibenmittelpunkt einen Winkel von 75° bis 120" einschließen ,

b) daß im Deckel in Reihe und spiegelsymmetrisch zur Scheitellinie einander an der Basis berührende, nach innen weisende Haitekegel angeordnet sind, deren Ansatzpunkte am Scheibenrand zur Scheibenmitte einen Winkel von 0° bis 50°, vorzugsweise 30° bis 50° bilden, wobei innerhalb der Reihe der Abstand der Mittelpunkte der Basisflächen benachbarter Haltekegel gleich dem Abstand der Führungsrippen im Scheibenträger ist und die Mantelflächen benachbarter Haltekegel zueinander einen Winkel von 60° bis bilden,

c) daß die Seitenflächen des Bodens Formelemente aufweisen, welche den Scheibenträger in Längs- und Querrichtung nahezu spielfrei fixieren,

d) daß Deckel und Boden mittels Schnappverschluß miteinander verbunden werden, wobei der Deckel mittels einer zur Scheibenträgeroberkante paßgerechten, treppenartigen Ausbuchtung den Scheibenträger in der Weise fixiert, daß einander entsprechende Führungsrippen und Führungskegel jeweils in einer Ebene angeordnet werden, so daß die Scheiben nur mit den Mantelflächen benachbarter Haltekegel und dem Vorderende der Federzunge in Kontakt kommen.

2. Verpackung nach"Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet , daß zumindest der Deckel aus transparentem Kunststoff gefertigt ist.

3. Verpackung nach den Ansprüchen 1 und 2, dadurch gekennzeichnet , daß die Federzungen an ihrem Ende zwei halbzylinderförmige Hocker aufweisen, die durch einen in Längsrichtung verlaufenden, V-förmigen Einschnitt, dessen Grundfläche konvex gekrümmt ist, getrennt werden.

4. Verpackung nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet , daß an der Kontaktfläche zwischen Boden und Deckel Ausnehmungen vorgesehen sind, die den Druckausgleich zwischen dem Innenraum der Verpackung und der Umgebung gestatten.

5. Verpackung nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet , daß an mindestens einer Ecke die Umrandung des Deckels und der Außenrand des Bodens in um 90° gegeneinander versetzten Laschen auslaufen.