DE3514094C2 - - Google Patents

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    • C04B41/50Coating or impregnating, e.g. injection in masonry, partial coating of green or fired ceramics, organic coating compositions for adhering together two concrete elements with inorganic materials
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    • C04B41/88Metals
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    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/02Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which the conductive material is applied to the surface of the insulating support and is thereafter removed from such areas of the surface which are not intended for current conducting or shielding

Description

Die Erfindung hat zur Aufgabe, metallische Strukturen auf anorganischen, nichtleitenden Oberflächen mit physikalischen Methoden, das heißt ohne die Verwendung wäßriger Ätz- und Aktivierungslösungen herzustellen. Dabei ist es ein besonderes Merkmal der Erfindung, daß die Strukturen, die man erhalten will, im Positiv-Druck bzw. als Positiv-Bild auf die Substratoberfläche aufgebracht werden können. Es handelt sich also um ein grundsätzlich anderes Verfahren als bekannte Methoden, bei denen die Oberflächenteile, die einen Metallüberzug erhalten sollen, nicht abgedeckt werden, das Substrat also mit einer Negativ-Maske versehen wird.
Mit Hilfe der Erfindung ergeben sich neue Wege zur Herstellung von gedruckten Schaltungen, insbesondere von Feinleiterschaltungen und Mehrlagenschaltungen in der Elektronik, aber auch von Strukturen, Ornamenten u. ä. für dekorative Zwecke.
Die Durchführung der Erfindung erfolgt in folgenden Schritten:
  • 1. Abdecken des Substrates mit einer Abdeckmaske, mit Fotolacken oder mit Siebdrucklacken im Positiv-Verfahren.
  • 2. Einbringen in eine Glimmentladungszone unter Einwirkung von reaktiven halogenhaltigen Gasen.
  • 3. Entfernen der Abdeckmaske bzw. des Abdecklackes.
  • 4. Metallisieren des Substrates durch übliche Methoden wie Bedampfen, Kathodenzerstäubung (Sputtern), Plasmametallisierung.
  • 5. "Entwickeln" der gewünschten Strukturen durch Tauchen des Substrates in Wasser oder wäßrige Lösungen von Metall-Komplexbildnern bzw. anorganischen und/oder organischen Verbindungen.
Während der Einwirkung von halogenhaltigen Gasen im Plasma entstehen auf den nichtabgedeckten Flächen des Substrates reaktive Halogenverbindungen. Überraschenderweise bilden sie bei der anschließenden physikalischen Metallbeschichtung lösliche Metallhalogenide, die durch einfache Tauchprozesse abgelöst werden können, so daß die Metallisierung nur an den Stellen erhalten bleibt, die bei der Plasmabehandlung abgedeckt waren.
Die reaktiven Halogenverbindungen, die sich während der Plasmabehandlung bilden, sind bemerkenswert stabil. Sie werden zum Beispiel durch das Anlegen eines Vakuums bei einer anschließenden Bedampfung nicht entfernt und sind auch nach tagelanger Lagerung noch voll wirksam, so daß ein sicherer Arbeitsablauf bei der Herstellung von Strukturen nach dem erfindungsgemäßen Verfahren gewährleistet ist.
Die mit dem erfindungsgemäßen Verfahren erhaltenen Strukturen können mit bekannten Methoden verstärkt werden, vorzugsweise durch eine anschließende chemische Verkupferung oder chemische Vernicklung in Bädern zur autokatalytischen Metallabscheidung.
Als Substrat, auf denen die metallischen Strukturen erzeugt werden sollen, kommen alle üblichen anorganischen Nichtleiter in Frage, insbesondere Aluminimoxidkeramiken, Siliziumoxidkeramiken und Glas, aber auch Metalle mit Oxidschichten, wie zum Beispiel Aluminium.
Die am besten geeigneten halogenhaltigen Gase sind Bortrichlorid, Silicium­ tetrachlorid, Bortrifluorid und Tetrachlorkohlenstoff.
Die folgenden Beispiele erläutern die Erfindung:
Beispiel 1 Herstellung von Strukturen auf Aluminiumoxidkeramik durch Bedampfen mit Gold
Auf Keramikplättchen der Größe 50×50×2 m wird das gewünschte Leiterbahnenbild mittels eines Siebdrucklackes oder nach anderen üblichen Verfahren aufgetragen. Die Plättchen werden in einen Plasma-Reaktor einer Plasma-Einwirkung unter folgenden Bedingungen ausgesetzt:
Elektrodentemperatur
150°C
Frequenz 13,56 MHz
Leistungsdichte 1,6 Watt/cm²
Druck im Reaktor 0,5 hPa
Reaktionsglas Bortrichlorid
Trägergas Argon
Einwirkungszeit in Plasma 90 Minuten
Nach Beendigung der Plasmaeinwirkung werden die Keramikplättchen aus dem Reaktor entfernt, der auf ihnen befindliche Siebdrucklack wird durch Tauchen in geeignete organische Lösemittel abgelöst.
Die Plättchen werden nun in einem handelsüblichen Gerät zur Vakuumbedampfung mit Gold bedampft. An den Stellen, die vorher nicht mit Lack abgedeckt, also dem Plasma ausgesetzt waren, wird hierbei das Gold in eine wasserlösliche Verbindung überführt. Nach dem Bedampfen werden die Plättchen in Wasser getaucht, wobei sich die Goldverbindung löst und die gewünschten Strukturen als Goldfilm auf der Oberfläche zurückbleiben.
Beispiel 2 Herstellung von Strukturen auf Siliziumoxidkeramik durch Bedampfen mit Kupfer
Plättchen aus Siliziumkeramik der Abmessungen 80×40×3 mm werden mit Masken der gewünschten Strukturen abgedeckt und einer Plasmaeinwirkung unter gleichen Bedingungen wie in Beispiel 1 ausgesetzt. Danach werden die Plättchen aus dem Reaktor genommen, die Masken werden entfertn.
Durch Kathodenbestäubung werden die Oberflächen auf bekannte Weise mit Kupfer beschichtet.
Danach werden die Plättchen in eine 5%ige Lösung von Ammoniak in Wasser getaucht. Hierbei wird die Kupferschicht an den Stellen, die vorher dem Plasma ausgesetzt waren, entfernt. Auf den Plättchen bleiben die durch die Masken vorgegebenen Strukturen zurück.
Sie können anschließend, wenn gewünscht, in einem chemischen Kupferbad verstärkt werden; hierbei ist keine zusätzliche Aktivierung, zum Beispiel durch Tauchen in edelmetallhaltige Lösungen, erforderlich.
Zu gleichen Ergebnissen kommt man, wenn man die Plättchen statt mit Kupfer mit Silber beschichtet. Auch hier wird das Silber bei der anschließenden Tauchung in Ammoniaklösung an den Stellen als Komplexverbindung entfernt, die während der Plasmaeinwirkung nicht abgedeckt waren.

Claims (5)

1. Verfahren zur Herstellung von metallischen Strukturen auf anorganischen nichtleitenden Oberflächen, dadurch gekennzeichnet, daß
  • - mit Hilfe von Masken, Lacken oder anderen Abdeckmitteln die gewünschten Strukturen auf der Oberfläche erzeugt werden,
  • - die so behandelten Gegenstände in einer Glimmentladungszone der Einwirkung von reaktiven, halogenhaltigen Gasen ausgesetzt werden,
  • - nach Beendigung der Einwirkung das Abdeckmittel entfernt wird,
  • - die Gegenstände mit bekannten physikalischen Methoden metallisiert werden,
  • - die Gegenstände nach dieser Metallisierung zur Herstellung der gewünschten Strukturen in Wasser oder wäßrigen Lösungen von Komplexbildnern, Säuren, Alkalien oder Stoffen, die die entstandene Metallhalogenid-Verbindung lösen, gebracht werden.
2. Verfahren gemäß Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß als halogenhaltiges Gas Bortrichlorid, Siliciumtetrachlorid, Bortrifluorid oder Tetrachlorkohlenstoff benutzt wird.
3. Verfahren gemäß Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Gegenstände durch Bedampfen, Kathodenzerstäubung oder Plasma-Metallabscheidung metallisiert werden.
4. Verfahren gemäß Ansprüchen 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß die metallischen Strukturen durch Behandlung in chemischen (autokatalytischen) Bädern zur Metallabscheidung verstärkt werden.
5. Verfahren gemäß Ansprüchen 1 und 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Strukturen nach dem physikalischen Metallisieren direkt durch Tauchen in das chemische Bad zur Metallabscheidung hergestellt werden.
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