DE3522779A1 - Thickness measuring instrument with a stationary specimen observing mirror - Google Patents
Thickness measuring instrument with a stationary specimen observing mirrorInfo
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Abstract
Description
Dickenmeßinstrument mit stationärem Thickness gauge with stationary
Probenbeobachtungsspiegel Die vorliegende Erfindung betrifft Meßgeräte zur Bestimmung einer Eigenschaft, d.h. der Uberzugsdicke und der Zusammensetzung einer Probe, mit Hilfe der Röntgen-Fluoreszenz-Analyse. Das Meßinsfrument umfaßt Einrichtungen zur Beobachtung der Probe und betrifft genauer gesagt ein Röntgen-Fluoreszenz-Meßinstrument, das einen Spiegel aufweist. Bei dem Meßinstrument handelt es sich normalerweise um ein Uberzugsdickenmeßinstrument. Sample Observation Mirrors The present invention relates to meters to determine a property, i.e. the coating thickness and the composition of a sample, with the help of X-ray fluorescence analysis. The measuring instrument includes Devices for observing the sample and, more precisely, relates to an X-ray fluorescence measuring instrument, which has a mirror. The measuring instrument is usually a coating thickness gauge.
Röntgen-Fluores zen z -F ilm-Dickenmeßinstrumente, bei denen ein Spiegel zur Beobachtung eines Abschnittes einer mit hilfe von Röntgenstrahlen anzustrahlenden Probe Verwendung findet, gehören zum Stand der Technik. Ein derartiges Instrument ist beispielsweise in der US-PS 4 406 015 beschrieben. Ein solches Instrument arbeitet so, daß es die Fluoreszenz oder den Streubereich von einer Fläche erfaßt, die über Hochenergiestrahlung, wie beispielsweise Röntgenstrahlen, angestrahlt wird. Die Fluoreszenz schwankt in Abhängigkeit von Dickenänderungen des speziellen Uberzuges, d.h.X-ray fluorescent film thickness gauges that use a mirror for observing a section of a beam to be illuminated with the aid of X-rays Sample uses belong to the state of the art. Such an instrument is described, for example, in U.S. Patent No. 4,406,015. Such an instrument works so that it detects the fluorescence or scatter from an area which is about High energy radiation such as X-rays is irradiated. the Fluorescence fluctuates depending on changes in the thickness of the particular coating, i.e.
einer auf der Probe befindlichen Plattierung. Derartige Dickenmeßinstrumente des Standes der Technik, die einen Spiegel aufweisen, der einen Abschnitt der anzustrahlenden Probe reflektiert, besitzen einige schwerwiegende Nachteile. Insbesondere macht es ein solches Instrument, wie es in der US-PS 4 406 015 beschrieben ist, erforderlich, daß der Spiegel beweglich ist, so daß er während der Bestrahlung aus der Bahn der auf die Probe gerichteten Röntgenstrahlen entfernt werden kann. Eine solche Entfernung wird als erforderlich angesehen, um eine Dämpfung der Röntgenstrahlen zu vermeiden.a plating on the sample. Such Thickness gauges of the prior art, which have a mirror that a portion of the to be illuminated Specimen reflect have some serious drawbacks. In particular makes an instrument such as that described in US Pat. No. 4,406,015 is required, that the mirror is movable, so that it during the irradiation out of the path of the X-rays directed at the sample can be removed. Such a distance is considered necessary to avoid attenuation of the X-rays.
Diese Entfernung des Spiegels hat zur Folge, daß die Probe nicht beobachtet werden kann, wenn Röntgenstrahlen auf die Probe auftreffen. Diese Unfähigkeit der Beobachtung einer Probe während des Tests bringt schwerwiegende Nachteile mit sich. Beispielsweise ist es nicht möglich, eine kontinuierliche oder gemittelte Dickenablesung von zahlreichen Stellen durchzuführen, während diese Stellen der Probe, von denen die Ablesungen durchgeführt werden, kontinuierlich beobachtet werden. Beim Stand der Technik werden daher bedeutend längere Zeiträume benötigt, um eine ausreichende Zahl von Dickenwerten von bekannten Stellen zu ermitteln, um dadurch einen aussagefähigen Durchschnittswert zu erhalten.This removal of the mirror results in the sample not observing when X-rays impinge on the sample. This inability of Observing a sample during the test has serious disadvantages. For example, it is not possible to take a continuous or averaged thickness reading from numerous bodies to perform during these bodies of the sample, of which the readings are taken, monitored continuously. At the stand of the technology are therefore required significantly longer periods of time to achieve a sufficient Determine the number of thickness values of known points, thereby making a meaningful one Get average value.
Aufgrund der Bewegung des Spiegels beim Stand der Technik besteht ferner immer ein Risiko, daß sich die Probe von der Stelle, an der sie ursprünglich beobachtet wurde, wegbewegen kann. Eine solche Bewegung wird während der Bestrahlung nicht erfaßt da sich der Beobachtungsspiegel nicht in Betrieb befindet. Darüberhinaus wird durch die konstante Bewegung des Spiegels zuerst in eine Beobachtungsstellung, um die Beobachtung eines Abschnittes der anzustrahlenden Probe zu ermöglichen, und dann in eine von der Beobachtungsstellung entfernte Stellung, um die Probe mit Röntgenstrahlen zu bestrahlen, und dann zurück zur Beobachtungsstellung, um eine weitere Beobachtung der Probe durchzuführen, die Wahrscheinlichkeit des Auftretens von Fehlern bei der Beobachtung des entsprechenden Abschnittes der zu testenden Probe erhöht, da der Spiegel zu allen Zeitpunkten genau in die gleiche Beobachtungsstellung gebracht werden muß, damit er zu dem entsprechenden Abschnitt der anzustrahlenden Probe ausgerichtet ist. Eine solche Bewegung trägt selbst weiter zu möglichen Fehlern bei der Beobachtung des entsprechenden Abschnittes der zu untersuchenden Probe bei, da bei den sich bewegenden Teilen Verschleiß auftritt und eine solche Bewegung Vibrationen bzw.Because of the movement of the mirror in the prior art Furthermore, there is always a risk that the sample will move from the point at which it was originally observed, can move away. Such movement occurs during irradiation not recorded because the observation mirror is not in operation is located. In addition, the constant movement of the mirror first brings you into an observation position, to enable the observation of a section of the sample to be irradiated, and then to a position remote from the observation position to X-ray the sample to irradiate, and then back to the observation position for another observation to perform the sample, the likelihood of errors occurring in the Increased observation of the corresponding section of the sample to be tested, since the Mirror placed in exactly the same observation position at all times must be aligned so that it is aligned with the corresponding section of the sample to be irradiated is. Such movement itself contributes to possible errors in the observation of the corresponding section of the sample to be examined, since the moving parts wear occurs and such movement vibrates or
Schockeinwirkungen verursacht. Ein solcher Verschleiß bzw. solche Vibrationen oder Schockeinwirkungen können zu einer Fehlausrichtung des Spiegels führen. Vibrationen und Schockeinwirkungen können ferner eine Bewegung der Probe bewirken, nachdem diese beobachtet worden ist.Causes shock effects. Such wear and tear or such Vibration or shock can cause the mirror to be misaligned to lead. Vibrations and shocks can also cause movement of the sample effect after this has been observed.
Darüberhinaus bringt die Montage eines Spiegels, der bewegt werden muß, mit der erforderlichen Präzision eine unerwünschte Komplexität der Maschine und Herstellungsprobleme mit sich.It also brings the assembly of a mirror that can be moved must, with the required precision, an undesirable complexity of the machine and manufacturing problems with them.
Es ist bekannt, daß eine Vorrichtung zur Abgabe von Strahlen zum Messen einer physikalischen Eigenschaft, d.h. des spezifischen Gewichtes durch den Durchgang von Röntgenstrahlen durch eine Probe, verwendet werden kann, wobei ein Spiegel, der ein zu einer Strahlungsbahn ausgerichtetes Loch besitzt, zur Beleuchtung und Beobachtung der Probe eingesetzt werden kann. Ein Beispiel einer solchen Vorrichtung ist in der US-PS 4 262 201 beschrieben. Eine solche Vorrichtung besitztkeinen Kollimator zur Erzeugung eines auf die Probe Berichteten Röntgenstrahles, wonach eine Erfassung der von der Probe reflektierten Fluoreszenz erfolgt, sondern hängt von Kollimatoren hinter der Probe ab, die die die Probe vollständig durchdringende Strahlung parallel ausrichten. Das auf der Probe befindliche Strahlungsfeld, das auf die anfangs auf die Probe treffende nichtparallele Strahlung zurückgeht, ist daher im Vergleich zu dem schmalen Röntgegenstrahl, der normalerweise für die Messung einer Eigenschaft, beispielsweise der Dicke, durch Röntgenstrahl-Fluoreszenz eingesetzt wird, groß.It is known that a device for emitting beams for measurement a physical property, i.e. the specific weight by the passage of X-rays through a sample, can be used wherein a mirror, which has a hole aligned with a radiation path, can be used to illuminate and observe the sample. An example of one such a device is described in U.S. Patent 4,262,201. Such a device does not have a collimator to generate an X-ray beam that is directed onto the specimen, after which the fluorescence reflected from the sample is detected, but depends on collimators behind the sample, the one that completely penetrates the sample Align radiation parallel. The radiation field on the sample, the is due to the non-parallel radiation initially striking the sample therefore compared to the narrow X-ray counter-beam that is normally used for the measurement a property such as thickness is used by X-ray fluorescence becomes big.
Folglich wird daher in der genannten US-PS 4 262 201 keine genaue Lage des Loches im Spiegel und kein Loch mit einer geringen Größe vorgeschlagen bzw.Consequently, no precise information is given in said US Pat. No. 4,262,201 Location of the hole in the mirror and no small sized hole suggested respectively.
es wird keine derartige Forderung erhoben.no such request is made.
Erfindungsgemäß wird ein Instrument zum Messen einer Eigenschaft, d.h. der Dicke eines Uberzuges, mittels Röntgen-Fluoreszenz zur Verfügung gestellt, das eine Einrichtung zur Abgabe von Röntgenstrahlen und eine Einrichtung zur Erfassung und zur Analyse der Fluoreszenz einer Probe, die mit den Röntgenstrahlen bestrahlt wird, aufweist. Es ist ferner eine Einrichtung zum Parallelrichten eines Röntgenstrahles zu einem schmalen Strahl vorgesehen, der auf die Probe gerichtet wird. Eine bewegliche Blende dient dazu, die Abgabe von Röntgenstrahlen von der Abgabeeinrichtung zur Probe zu unterbrechen, wenn dies wünschenswert ist, wenn sich die Blende zwischen der Probe und der Abgabeeinrichtung befindet, um den Strahl aufzufangen. Wenn die Blende vom Strahl wegbewegt wird, können die Röntgenstrahlen wieder auf die Probe auftreffen.According to the invention, an instrument for measuring a property i.e. the thickness of a coating, provided by means of X-ray fluorescence, a device for emitting X-rays and a device for detection and for analyzing the fluorescence of a sample irradiated with the X-rays will have. It is also a device for collimating an X-ray beam provided in a narrow beam which is directed onto the sample. A movable one The cover serves to the delivery of x-rays from the delivery device to interrupt the test, if this is desirable, when the diaphragm is between the sample and the dispenser to collect the beam. If the If the diaphragm is moved away from the beam, the X-rays can return to the sample hit.
Es ist ferner eine Reflektionseinrichtung vorgesehen, die einen Spiegel umfaßt, welcher ein Loch aufweist, durch das Röntgenstrahlen dringen und auf die Probe treffen können. Das im Spiegel befindliche Loch ist groß genug ausgebildet, um den gewünschten Teil des schmalen Strahles durchzulassen und um-eine Unschärfe des vom Spiegel reflektierten Probenbildes zu verhindern. Der Spiegel ist so angeordnet, daß er ein Bild des Abschnittes der von dem schmalen Röntgenstrahl anzustrahlenden Probe reflektiert. Eine Beobachtungseinrichtung ist vorgesehen, die das vom Spiegel reflektierte Bild beobachtet.There is also a reflection device is provided, which is a mirror which has a hole through which X-rays penetrate and onto which Can meet sample. The hole in the mirror is large enough to to let the desired part of the narrow beam through and to - a blur of the specimen image reflected by the mirror. The mirror is arranged so that he has an image of the portion to be illuminated by the narrow X-ray beam Specimen reflected. An observation device is provided that the mirror reflected image observed.
Der hier verwendete Begriff "überzug" soll Uberzüge, Filme und Folien abdecken, ob sie nun durch galvanisches Abscheiden, stromloses Abscheiden oder in anderer Weise hergestellt sind, unabhängig davon, ob solche Ueberzüge, Filme und Folien nun immer tatsächlich ein Substrat abdecken.As used herein, "coating" is intended to mean coatings, films, and foils cover whether they are by galvanic deposition, electroless deposition or in are made in any other way, regardless of whether such coatings, films and Foils always actually cover a substrate.
Der hier verwendete Begriff "Röntgenstrahlen" soll jede beliebige Hochenergiestrahlung umfassen, die eine ausreichende Fluoreszenz bewirkt, mittels der die zu testende Eigenschaft bestimmt werden kann.As used herein, the term "x-rays" is intended to be any Include high-energy radiation that causes sufficient fluorescence by means of which the property to be tested can be determined.
Die so definierten Röntgenstrahlen können von einer Röntgenröhre abgegeben werden, die Form von Gammastrahlen besitzen oder auf andere Quellen zurückgehen, beispielsweise radioaktive Isotope. Normalerweise umfaßt die Strahlungsabgabeeinrichtung eine Röntgenröhre. Bei der zu bestimmenden Eigenschaft kann es sich um irgendeine beliebige Eigenschaft handeln, die durch Röntgen-Fluoreszenz ermittelt werden kann, beispielsweise die Dicke, Zusammensetzung und Dichte eines überzuges, wobei die Erfindung jedoch nicht hierauf beschränkt ist.The X-rays defined in this way can be emitted by an X-ray tube be in the form of gamma rays or go back to other sources, for example radioactive isotopes. Typically the radiation delivery device comprises an x-ray tube. The property to be determined can be any act any property that can be determined by X-ray fluorescence, for example the thickness, composition and density of a coating, the However, the invention is not limited to this.
Die Einrichtung zur Erfassung und Analyse umfaßt einen Detektor zur Erfassung der Fluoreszenz der Probe und eine Einrichtung zur Umwandlung des vom Detektor abgegebenen Signales in einen Meßwert der entsprechenden Eigenschaft, beispielsweise der Überzugsdicke. Bei der Umwandlungseinrichtung handelt es sich normalerweise um einen Computer.The device for detection and analysis comprises a detector for Detection of the fluorescence of the sample and a device for converting the from Detector emitted signal into a measured value of the corresponding property, for example the coating thickness. The conversion facility is usually to a computer.
Die Kollimationseinrictng umfaßt einen Kollimator, der einen schmalen Röntgenstrahl mit einem Querschnittsbereich von etwa 0,0025 mm2 bis 0,3 mm2 erzeugt. Der Kollimator besteht normalerweise aus einem dichten Material, beispielsweise Stahl oder Blei und manchmal Glas, und ist mit einem Loch versehen. Das Loch besitzt die Größe des gewünschten Parallelstrahles. Der Spiegel und die Kollimationseinrichtung können einstücki ausgebildet sein, d.h. der mit einem Loch versehene Spiegel kann allein als Kollimator oder in Verbindung mit weiteren Kollimatoren wirken.The collimating device includes a collimator, which is a narrow one X-ray generated with a cross-sectional area of about 0.0025 mm2 to 0.3 mm2. The collimator is usually made of a dense material, for example Steel or lead, and sometimes glass, and has a hole in it. The hole owns the size of the desired parallel beam. The mirror and the collimation device can be formed in one piece, i.e. the mirror provided with a hole can act alone as a collimator or in conjunction with other collimators.
Die Blende kann irgendeine geeignete Farm besitzen, beispielsweise die eines Stabes mit einem geeigneten Querschnitt, d.h. rechteckig oder kreisförmig.The shutter can be of any suitable shape, for example that of a rod with a suitable cross-section, i.e. rectangular or circular.
Bei dem Material der Blende kann es sich um irgendein Material handeln, das Röntgenstrahlen auffängt und unterbricht. Dieses Material ist normalerweise ein dichtes Material, wie beispielsweise Stahl oder Blei. The material of the bezel can be any material that intercepts and interrupts X-rays. This stuff is usually a dense material such as steel or lead.
Die Reflektionseinrichtung ist so angeordnet, daß sie ein Bild eines Abschnittes der durch den schmalen Röntgenstrahl anzustrahlenden Probe reflektiert. The reflecting device is arranged to take an image of a Section of the specimen to be irradiated by the narrow X-ray beam is reflected.
Normalerweise bleibt der Spiegel während der Beobachtung der Probe und während der Anstrahlung derselben in der gleichen Position und wird nicht bewegt, mit der Ausnahme, wenn ein Austausch von Teilen, d.h. von Kollimatoren, in der Vorrichtung wünschenswert ist. Die Beobachtungseinrichtung ist daher in der Lage, ein Bild vor der Bestrahlung der Probe mit Röntgenstrahlen, während dieser Bestrahlung und danach zu empfangen. Die genaue Stelle auf der Probe, auf die der Röntgenstrahl gerichtet wird, kann zu jeder Zeit beobachtet werden und nicht zur,vor oder nach der Bestrahlung,wie dies beim Stand der Technik der Fall ist. Es sind daher kontinuierliche Ablesungen von zahlreichen Stellen möglich, während die Probe beobachtet wird. Durchschnittliche Ablesewerte von bekannten Stellen der Probe können daher bedeutend einfacher erhalten werden. Normally, the mirror remains while the sample is being observed and while illuminating the same in the same position and is not moved, except when there is an exchange of parts, i.e. collimators, in the device is desirable. The observation device is therefore able to present an image the exposure of the sample to X-rays, during and after that exposure to recieve. The exact location on the sample that the X-ray beam is aimed at can be observed at any time and not for, before or after the irradiation, such as this is the case with the prior art. They are therefore continuous readings from numerous locations while the sample is being observed. Average Readings from known locations on the sample can therefore be obtained much more easily will.
Das sich durch den Spiegel erstreckende Loch besitzt eine Größe, die ausreicht, um den Durchgang eines Röntgenstrahles zu gestatten, der auf den gewünschten Querschnittsbereich parallel gerichtet worden ist. The hole extending through the mirror is of a size which is sufficient to pass a To allow the X-ray to which has been directed parallel to the desired cross-sectional area.
In jedem Fall wird das Loch klein genug gehalten, um eine signifikante Unschärfe des vom Spiegel reflektierten Probenbildes zu verhindern. Mit dem Begriff "signifikante Unschärfe" ist eine Unschärfe gemeint, die in einfacher Weise visuell im Vergleich zu dem gleichen Bild, das von einem .massiven Spiegel ohne Loch reflektiert wird, erfaßt werden kann. Die Achse des Loches ist normalerweise unter einem Winkel von etwa 15bis etwa 45O zur Reflektionsfläche des Spiegels angeordnet und normalerweise zu der Geraden der Strahlungsachse von der Strahlungsabgabeeinrichtung zur Probe ausgerichtet. Die Achse des Loches kann jedoch auch senkrecht zur Reflektionsfläche des Spiegels verlaufen, wenn das Loch groß genug ist, um den Durchgang von Köntgenstrahlen in einer geeigneten Säule entlang der Strahlungsachse zur Probe zu gestatten, ohne daß nicht wünschenswerte Interferenzerscheinungen, wie beispielsweise eine Dämpfung, auftreten. Der Spiegel kann aus irgendeinem geeigneten Material, beispielsweise Metall, Glas oder Kunststoff, bestehen, das mit einer reflektierenden Fläche versehen ist.In either case, the hole is kept small enough to be significant To prevent blurring of the specimen image reflected by the mirror. With the term "Significant blurring" is a blurring that is meant in a simple visual manner compared to the same image that reflected from a .assive mirror without a hole can be detected. The axis of the hole is usually at an angle from about 15 to about 450 to the reflecting surface of the mirror and normally to the straight line of the radiation axis from the radiation emitting device to the sample aligned. However, the axis of the hole can also be perpendicular to the reflection surface of the mirror if the hole is large enough to allow the passage of X-rays to allow in a suitable column along the radiation axis to the sample without that undesirable interference phenomena, such as damping, appear. The mirror can be made of any suitable material, for example Metal, glass or plastic, are made with a reflective surface is.
Die Beobachtungseinrichtung umfaßt normalerweise eine optische oder elektronische Beobachtungsvorrichtung, beispielsweise ein Mikroskop oder eine Videokamera und CRT.The observation device normally comprises an optical or electronic observation device, for example a microscope or a video camera and CRT.
In der Zeichnung ist eine schematische Ansicht eines Röntgen-Fluoreszenz-Film-Dickenmeßinstrumentes 10 dargestellt, das eine Einrichtung zur Abgabe eines Röntgenstrahles 12 auf eine Probe 16 aufweist, bei der es sich normalerweise um eine Röntgenröhre handelt. Ein Detektor und eine Analysereinrichtung 14 sind zur Erfassung und Analyse der Fluoreszenz der Probe 16, die mit dem Röntgenstrahl 18 bestrahlt wird, vorgesehen. Ferner ist eine Einrichtung zum Parallelrichten des Röntgenstrahles zu einem schmalen Strahl 18, der auf die Probe 16 gerichtet wird, vorhanden. Bei dieser Kollimationseinrichtung handelt es sich üblicherweise um einen Kollimator 20. Eine bewegliche Blende 22 dient dazu, die Röntgenstrahlen auf ihrem Wege von der Abgabeeinrichtung 12 zur Probe 16 zu stoppen bzw. zu unterbrechen, wenn die Blende 22 zwischen die Probe 16 und die Abgabeeinrichtung 12 bewegt wird und dabei den Röntgenstrahl 18 auffängt, und das Auftreffen der Röntgenstrahlen auf die Probe 16 zu ermöglichen, wenn die Blende 22 aus der Strahlenbahn 18 herausbewegt worden ist.In the drawing is a schematic view of a X-ray fluorescent film thickness gauge 10 shown that a device for emitting an X-ray beam 12 on a Sample 16, which is usually an X-ray tube. A Detector and an analyzer 14 are used to detect and analyze the fluorescence the sample 16 which is irradiated with the X-ray beam 18 is provided. Furthermore is means for collimating the x-ray beam into a narrow beam 18, which is aimed at the sample 16, is present. With this collimation device it is usually a collimator 20. A movable diaphragm 22 is used to the X-rays on their way from the delivery device 12 to Sample 16 to stop or interrupt when the diaphragm 22 is between the sample 16 and the delivery device 12 is moved and thereby intercepts the X-ray beam 18, and to allow the X-rays to impinge on the sample 16 when the Aperture 22 has been moved out of beam path 18.
Es ist ferner eine Reflektionseinrichtung vorgesehen, die einen Spiegel 24 umfaßt, der ein Loch 26 aufweist, das den Durchgang der Röntgenstrahlen 18 entlang der Strahlenachse zur Probe 16 gestattet.There is also a reflection device is provided, which is a mirror 24 which has a hole 26 which defines the passage of the x-rays 18 along the beam axis to the sample 16 allowed.
Der Spiegel 24 ist so angeordnet, daß er ein Bild eines Abschnittes der zu bestrahlenden Probe reflektiert. Es ist ferner eine Beobachtungseinrichtung 28 vorgesehen, die das vom Spiegel 24 reflektierte Bild erfaßt. Normalerweise ist die Größe des Lochs 26 im Spiegel 24 so ausgewählt, daß das Loch groß genug ist, um den schmalen Röntgenstrahl 18 vollständig hindurchzulassen. Wie vorstehend erläutert, kann jedoch der Spiegel auch als Teil oder als gesamte Kollimationseinrichtung wirken. Allgemein gesagt, bleibt der Spiegel 24 während der Beobachtung und der Bestrahlung der Probe 16 in der gleichen Position.The mirror 24 is arranged to have an image of a section of the sample to be irradiated. It is also an observation device 28 is provided, which captures the reflected image from the mirror 24. Usually is the size of the hole 26 in the mirror 24 selected so that the hole is large enough to allow the narrow x-ray beam 18 to pass completely through. As As explained above, however, the mirror can also be used as part or as a whole of the collimation device works. Generally speaking, the mirror 24 remains during observation and the Irradiate sample 16 in the same position.
Die Achse des Lochs 26 bildet normalerweise mit der Reflektionsfläche 32 des Spiegels 24 einen Winkel von etwa lS°bis etwa 45".The axis of the hole 26 normally forms with the reflective surface 32 of the mirror 24 forms an angle of approximately 15 ° to approximately 45 ".
Die Beobachtungseinrichtung 28 umfaßt üblicherweise mindestens eine Linse 30. Wahlweise kann die Beobachtungseinrichtung 26 ein Mikroskop enthalten, um eine Bildreflektion vom Spiegel 24 zu empfangen, oder einen Detektor zum Empfang einer Reflektion vom Spiegel 24 in Verbindung mit einer Einrichtung zur Umwandlung des vom Detektor abgegebenen Signales in eine Abbildung auf einer Kathodenstrahlröhre. Es kann auch irgendeine andere bekannte geeignete Beobachtungseinrichtung Verwendung finden.The observation device 28 typically includes at least one Lens 30. Optionally, the observation device 26 can contain a microscope, to receive an image reflection from mirror 24, or a detector to receive it a reflection from the mirror 24 in connection with a device for conversion of the signal emitted by the detector into an image on a cathode ray tube. Any other known suitable observation device may also be used Find.
Es versteht sich, daß die vorstehend beschriebene bevorzugte Ausführungsform der Erfindung nur beispielhaft ist und in keiner Weise die Erfindung beschränkt.It will be understood that the preferred embodiment described above of the invention is only exemplary and in no way limits the invention.
Die vorliegende Erfindung umfaßt desweiteren ein Verfahren zur Bestimmung einer Eigenschaft, beispielsweise der Dicke eines Uberzuges, mittels Röntgen-Fluoreszenz-Analyse, bei dem die Probe mit Hilfe eines Spielgels, der ein Loch aufweist, beobachtet wird, um eine Dämpfung oder andere Interferenzerscheinungen mit dem gewünschten Röntgenstrahl zu verhindern.The present invention further encompasses a method of determination a property, for example the thickness of a coating, by means of X-ray fluorescence analysis, in which the sample is observed with the aid of a play gel that has a hole, attenuation or other interference phenomena with the desired X-ray beam to prevent.
Speziell umfaßt dieses Verfahren die folgenden Schritte: Beobachten des Abschnittes einer zu testenden Probe mit Hilfe eines Spiegels, Abgabe eines Röntgenstrahles auf die Probe, Erzeugen eines parallel gerichteten schmalen Röntgenstrahles, der auf die Probe gerichtet wird, und Erfassung der Fluoreszenz der Probe infolge der Bestrahlung. Die Fluoreszenz wird danach analysiert, um die Eigenschaft, d.h. die Uberzugsdicke, zu bestimmen. Bei dem Verfahren findet zur Beobachtung der Probe insbesondere ein Spiegel Verwendung, der mit einem Loch versehen ist, das den Mritritt des schmalen Röntgenstrahles auf die Probe gestattet.Specifically, this method includes the following steps: Observe of the section of a sample to be tested with the help of a mirror, delivery of a X-ray beam on the sample, generating a parallel, narrow X-ray beam, directed at the sample, and detecting the fluorescence of the sample as a result of irradiation. The fluorescence is then analyzed to determine the property, i. the coating thickness. The procedure takes place to observe the sample in particular a mirror use which is provided with a hole that the Mritritt of the narrow X-ray beam on the sample.
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Claims (14)
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US62742484A | 1984-07-03 | 1984-07-03 |
Publications (1)
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|---|---|
| DE3522779A1 true DE3522779A1 (en) | 1986-01-09 |
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ID=24514588
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| DE19853522779 Withdrawn DE3522779A1 (en) | 1984-07-03 | 1985-06-26 | Thickness measuring instrument with a stationary specimen observing mirror |
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| DE (1) | DE3522779A1 (en) |
Cited By (1)
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- 1985-06-26 DE DE19853522779 patent/DE3522779A1/en not_active Withdrawn
- 1985-07-03 JP JP14644985A patent/JPS6125006A/en active Pending
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Also Published As
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|---|---|
| JPS6125006A (en) | 1986-02-03 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| OP8 | Request for examination as to paragraph 44 patent law | ||
| 8130 | Withdrawal |