DE3545366A1

DE3545366A1 - Messvorrichtung zur optischen bestimmung der dicke eines wasserfilmes

Info

Publication number: DE3545366A1
Application number: DE19853545366
Authority: DE
Inventors: Takao Ebina Kanagawa Hida; Mitsuru Yokohama Mitamura; Suzuo Ayase Kanagawa Odasima
Original assignee: Toshiba Machine Co Ltd; Toshiba Electronic Systems Co Ltd
Current assignee: Toshiba Electro Wave Products Co Ltd; Shibaura Machine Co Ltd
Priority date: 1984-12-28
Filing date: 1985-12-20
Publication date: 1986-07-03
Also published as: JPS61155804A; DE3545366C2; US4687333A

Description

Meissner, Boltf & Partner

Patentanwälte · European l'a'.enl Attorney;» München · Bremen

. Bolic & !'.inner. Postfach KMX- 24. 15-8000 München 86 Dr. Eugen Popp Uipl.-lng.. Dipl.-Wirisch.-Ιηκ Wolf E. Sajda Dipi.-i'in·.

Dr. Ulrich Hrabal Dipi.-Chcm.

Hans Meissner nipi.-ing.ibis 19X0) Erich BoItC Dipl.-Ing.

BÜRO MÜNCHEN/MUNICH OFFICE:

Widenmayerstraße 48 Posifach/P.O. Box 860624 D-8000 München 86 Telefon: (089) 222631 Telex: 5213 222 epod Telekopierer: (089) 221721

Ihr Zeichen
Yuur rcf.

Ihr Schreiben vom
Your letter of

Unser Zeichen Our ref.

M/SUS-50-DE Datum
Date

2o. Dezember 1985 Sj/tl

TOSHIBA ELECTRONIC SYSTEMS CO., LTD.

5-1, 2-chome, Akasaka

Minato-ku

Tokyo

Japan

TOSHIBA MACHINE CO., LTD.

2-11, 4-chome, Ginza Chuo-ku

Tokyo

Japan

Meßvorrichtung zur optischen Bestimmung der Dicke eines

Wasserfilmes

Beschreibung

Die Erfindung betrifft eine Meßvorrichtung zur optischen Bestimmung der Dicke eines Wasserfilmes, der sich auf der Oberfläche einer Substanz oder eines Materials wie zum Beispiel Metall befindet.

Herkömmliche Vorrichtungen zur Messung der Dicke eines Wasserfilmes auf der Oberfläche von Metall oder dergleichen sind nicht tragbar. Aufgrund der Schwierigkeiten bei der Installation und der Durchführung der Meßverfahren ist es schwierig, die Vorrichtung an einen gewünschten Meßort zu bringen.

Aufgabe der Erfindung ist es daher, eine Meßvorrichtung zur optischen Bestimmung der Dicke eines Wasserfilmes anzugeben, mit der sich einerseits die Dicke des Wasserfilmes leicht messen läßt und die sich ohne weiteres an die gewünschten Orte transportieren läßt.

Gemäß der Erfindung wird eine Meßvorrichtung zur optischen Bestimmung der Dicke eines dünnen Wasserfilmes auf der Oberfläche einer Substanz, wie zum Beispiel Metall, angegeben, die folgende Baugruppen aufweist: eine Meßeinrichtung mit einer Lichtausstrahlungseinrichtung zum Ausstrahlen von Licht auf die Oberfläche eines Wasserfilmes und mit einer Einrichtung zur Umwandlung des von der Oberfläche des Wasserfilmes reflektierten Lichtes in ein elektrisches Signal;

eine in der Meßeinrichtung angeordnete Anzeige; eine Verarbeitungseinheit, die über ein Kabel an die Meßeinrichtung angeschlossen ist, um das über das Kabel zugeführte elektrische Signal zu verarbeiten, die Dicke des Wasserfilmes zu berechnen und die berechnete Dicke auf der Anzeige anzuzeigen; und
eine Einrichtung zur Aufrechterhaltung eines geeigneten Abstandes zwischen der Meßeinrichtung und der Oberfläche des Wasserfilmes.

Die Erfindung wird nachstehend, auch hinsichtlich weiterer Merkmale und Vorteile, anhand der Beschreibung von Ausführungsbeispielen und unter Bezugnahme auf die beiliegende Zeichnung näher erläutert. Die Zeichnung zeigt in:

Fig. 1 eine perspektivische Darstellung zur Erläuterung der Anordnung einer Meßvorrichtung zur optischen Bestimmung der Dicke eines Wasserfilmes gemäß einer Ausführungsform der Erfindung;

Fig. 2 ein Blockschaltbild zur Erläuterung von Einzelheiten der Anordnung der Meßvorrichtung;

Fig. 3 ein Zeitablaufdiagramm zur Erläuterung des Zusammenhanges zwischen den elektrischen Signalen der Meßvorrichtung; und in

Fig. 4 ein Flußdiagramm zur Erläuterung der Signalverarbeitung im Rechner der Meßvorrichtung.

Bei der nachstehenden Beschreibung der Erfindung wird zunächst auf Fig. 1 Bezug genommen, die eine perspektivische Darstellung der Meßvorrichtung zeigt. Wie aus Fig. 1 ersichtlich, weist die Meßvorrichtung zur optischen Bestimmung der Dicke eines Wasserfilmes gemäß der Erfindung eine Meßeinrichtung 100 und eine Verarbeitungseinheit 200 auf.

Zur Messung der Dicke eines dünnen Wasserfilmes auf der Oberfläche einer Substanz, wie zum Beispiel Metall, strahlt die Meßeinrichtung 100 Licht auf die Oberfläche 300 des Wasserfilmes aus, nachstehend auch kurz als Wasserfilmoberfläche 300 bezeichnet. Das von der Oberfläche 300 reflektierte Licht wird von der Meßeinrichtung 100 empfangen und in ein elektrisches Signal umgewandelt. Die Verarbeitungseinheit 200 verarbeitet das von der Meßeinrichtung 100 umgewandelte elektrische Signal, um die Filmdicke zu ermitteln. In diesem Falle wird das elektrische Signal von der Meßeinrichtung 100 über ein Leitungskabel 400 der Verarbeitungseinheit 200 zugeführt.

Fig. 2 zeigt die Anordnung der Meßeinrichtung 100 und der Verarbeitungseinheit 200 gemäß Fig. 1 im einzelnen. Die Meßeinrichtung 100 weist eine Lichtquelle 102, zum

\ Beispiel eine Glühlampe, auf.Das von der Lichtquelle 102 emittierte Licht geht durch ein Referenzsignalfilter 106 oder ein Meßsignalfilter 108, das auf einer Filterscheibe 104 angeordnet ist, oder durch ein Durchgangsloch 110 in der Filterscheibe 104 hindurch und bestrahlt die Oberfläche 300. Die Filter 106 und 108 sowie das Durchgangsloch 110 sind konzentrisch angeordnet.

Die Filterscheibe 104 wird von einem Motor 112 mit vorgegebener Geschwindigkeit gedreht. Der Außenumfang der Filterscheibe 104 wird mit einem Synchronisationssignaldetektor 114, zum Beispiel einem Photokoppler, abgetastet. Das Meßsignal vom Detektor 114 wird als Positionsmeßsignal über eine Leitung 402 des Leitungskabels 400 einem Ig Zeitimpulsgenerator 201 zugeführt. Der Zeitimpulsgenerator 201 mißt einen Zeitimpuls in Abhängigkeit vom Positionsmeßsignal. Der Zeitimpuls wird einem Mikrocomputer 202, nachstehend auch kurz als CPU 202 bezeichnet, und einem DunkelStromdetektor 122 zugeführt. Somit wird das 2Q Licht, das beide Filter 106 und 108 passiert, die zusammen mit der Filterscheibe 104 gedreht werden, auf die Wasserfilmoberfläche 300 ausgestrahlt, woraufhin es abgetastet oder gemessen werden kann.

Das von der Wasserfilmoberfläche 300 reflektierte Licht wird mit einer Konvergenzlinse 116 fokussiert oder gebündelt und von einem Meßfühler 118, zum Beispiel einer Photodiode, zur photoelektrischen Umwandlung empfangen. Das Ausgangssignal vom Meßfühler 118 wird mit einem Ver-

„Q stärker 120 verstärkt und dann einem ersten Verstärker 204 in der Verarbeitungseinheit 200 über eine Leitung 4 04 des Leitungskabels 4 00 zur weiteren Verstärkung zugeführt. Das Ausgangssignal vom Meßfühler 118 wird außerdem von dem DunkelStromdetektor 122 in eine Gleichspannung um-

gg gewandelt und dann einem zweiten Verstärker 206 über eine Leitung 406 des Leitungskabels 400 zur weiteren Verstärkung zugeführt. In letzterem Falle arbeitet der Dunkelstromdetektor 122 in Abhängigkeit vom Zeitimpuls vom

Zeitimpulsgenerator 201, der über eine Leitung 407 des Leitungskabels 400 angelegt wird.

Eine Anzeige 124 der Meßeinrichtung 100 zeigt die FiImdicke an, die von der CPU 20 2 in der Verarbeitungseinheit 200 berechnet und über eine Leitung 408 des Leitungskabels 4 00 zugeführt wird.

Das Ausgangssignal des ersten Verstärkers 204 in der Ver-XO arbeitungseinheit 200 wird mit einer Pegelvorgabeschaltung 2 08 auf einen bestimmten Pegel gesetzt und einem Analogschalter 210 zugeführt. Der Analogschalter 210 erhält außerdem das Ausgangssignal vom zweiten Verstärker 206. Der Analogschalter 210 versorgt selektiv einen Analog/ Digital-Wandler 212 mit dem Ausgangssignal von der Pegelvorgabeschaltung 208 oder dem Verstärker 206. Die Umschaltsteuerung wird mit der Zentraleinheit oder der CPU 202 vorgenommen. Das Digital-Signal vom Analog/Digital-Wandler 212 wird der CPU 202 zugeführt. Die CPU 202 steuert die Pegelvorgabeschaltung 208, den Analog/Digital-Wandler 212 sowie eine Schallerzeugungsschaltung 214 zusätzlich zum Analog-Schalter 210.

Die Energie für die Komponenten in der Meßeinrichtung 100 und der Verarbeitungseinheit 200 wird von einer Batterie 216 in der Verarbeitungseinheit 200 geliefert, die in Fig. 2 nur allgemein angedeutet ist.

Die Wirkungsweise der Meßvorrichtung zur optischen Bestim-QQ. mung der Dicke eines Wasserfilmes mit einer Anordnung der oben beschriebenen Art wird nachstehend unter Bezugnahme auf Fig.3 und 4 näher erläutert. Wie in dem Flußdiagramm gemäß Fig. 4 dargestellt, wird die Lichtquelle 102 eingeschaltet, und der Motor 112 wird erregt (Schritt 1).

In diesem Zustand strahlt die Meßeinrichtung 100 von der Lichtquelle 102 emittiertes Licht auf die Wasserfilmoberfläche 300 alternativ durch Filter 106 und 108, die

auf der Filterscheibe 104 montiert sind, welche an dem Motor 112 befestigt sind. Das Filter 106 sendet einen Referenzstrahl mit einer Wellenlänge, die von der Wasserfilmoberfläche 300 nicht absorbiert werden kann. Das FiI-ter 108 sendet demgegenüber einen Meßstrahl mit einer Wellenlänge, die von dem Wasserfilm absorbiert wird. Die Filterscheibe 104 hat ein Durchgangsloch 110, durch welches sichtbares Licht hindurchgehen kann, um die bestrahlte Position der Referenz- und Meßstrahlen anzugeben. Falls erwünscht, kann ein Farbfilter oder ein Neutraldichtefilter auf dem Durchgangsloch 110 angebracht sein.

Die reflektierten Referenz- und Meßstrahlen von der Wasserfilmoberfläche 300 werden mit der Konvergenzlinse 116 konvergent gemacht und von dem Meßfühler 118 in ein elektrisches Signal umgewandelt. Das elektrische Signal wird vom Verstärker 120 verstärkt, und zur gleichen Zeit wird ein Dunkelstrompegel vom DunkelStromdetektor 122 gemessen.

^In der Verarbeitungseinheit 200 wird das vom Verstärker 120 verstärkte elektrische Signal mit dem ersten Verstärker 204 weiter verstärkt. Der vom Dunkelstromdetektor 122 abgetastete Dunkelstrompegel wird vom zweiten Verstärker 206 verstärkt. Das Ausgangssignal vom ersten Verstärker 204 wird einer Pegelkorrektur mit der Pegelvorgabeschaltung 208 unterworfen. Das korrigierte Signal wird dann vom Analog/Digital-Wandler 212 in ein digitales Signal umgewandelt, und zwar durch den Analog-Schalter 210 gemäß einem Signal von der CPU 202, und das umgewandelte Signal wird der CPU 202 zugeführt. In gleicher Weise wird das Ausgangssignal vom zweiten Verstärker 206 durch den Analog/Digital-Wandler 212 sowie den Analog-Schalter 210 in Abhängigkeit von einem Signal von der CPU 202 in ein digitales Signal umgewandelt und dann der CPU 20 2 zugeführt.

Fig.3 zeigt die vom Meßfühler 118 umgewandelten elektrischen Signale. Ein elektrisches Signal 510, das vom Meßfühler 118 umgewandelt worden ist, besteht aus einem

Referenzsignal 512, das auf dem Referenzstrahl mit einer Wellenlänge basiert, die von dem Wasserfilm nicht absorbiert werden kann, einem Meßsignal 514, das auf dem Meßstrahl mit einer Wellenlänge basiert, die von dem Wasserfilm absorbiert werden kann, und einem Basispegelsignal 516.

Wie aus Fig. 3 ersichtlich, bezeichnet das Bezugszeichen 520 ein Motor-Synchronisationssignal, das synchron mit IQ der Rotation des Motors 112 erhalten wird. Das Signal wird zum Zeitpunkt T1 von dem Synchronisationssignaldetektor 114 erzeugt.

Um das Signal 510, das aus den Signalen 512, 514 und 516 ₁g besteht, in ein Digitalsignal umzuwandeln, erzeugt die CPU 202 ein Analog/Digital-Umwandlungssteuersignal 530 zum Zeitpunkt T2 auf der Basis des Signals 520. Das Digitalsignal 510, das heißt, der Pegelwert des Signals 512 zum Zeitpunkt T3, der Pegelwert des Signals 514 zum Zeit-2Q punkt T4, und der Wert des Basispegelsignals 516, werden dann der CPU 202 zugeführt.

Es darf darauf hingewiesen werden, daß die Pegelvorgabeschaltung 208 von einem Steuersignal von der CPU 202 2g gesteuert wird, so daß ihr Ausgangssignal innerhalb eines vorgegebenen Eingangspegelbereiches konstant gehalten wird.

Um einen geeigneten Abstand zwischen der Meßeinrichtung ₃Q 100 und der Wasserfilmoberfläche 3 00 beizubehalten, wenn der Eingangssignalpegel zur Pegelvorgabeschaltung 208 einen vorgegebenen Wert überschreitet, treibt die CPU eine Schallerzeugungsschaltung 214, um einen Alarmton zu erzeugen. Beispielsweise wird ein Signal erzeugt, das entweder _Of- die Lautstärke oder die Frequenz des Tones ändert, wenn

der tatsächliche Abstand außerhalb eines vorgegebenen Bereiches liegt, und dieses Signal wird einem Schallerzeuger, zum Beispiel einem Kopfhörer, zugeführt, um in

■««ο-Ι einfacher Weise die Beibehaltung eines geeigneten Abstandes zu gewährleisten (Schritt 2) .

Wie bereits erwähnt, wird sichtbares Licht ausgestrahlt, um die bestrahlte Position der Lichtstrahlen anzugeben.

Sobald die bestrahlte oder angestrahlte Position bestätigt ist, beginnt die Messung. Mit anderen Worten, die Temperatur-Korrekturverarbeitung des Meßfühlers 118 wird auf der Basis des Pegels des Ausgangssignals vom zweiten Verstärker 206 durchgeführt (Schritt 3). Ausgehend von dem Signal 512 werden von der CPU 202 die Pegel genau gesetzt (Schritt 4) und die Dateneingabeverarbeitung vorgenommen (Schritt 5).

Außerdem werden die Signale 512, 514 und 516 N-mal eingegeben (Schritt 6), und diese Eingabesignale werden beim Schritt 5 verarbeitet. Dann wird der Durchschnittswert von jedem dieser Signale erhalten (Schritt 7). Die Durchschnittswerte ändern sich in Abhängigkeit von der Wasserfilmdicke. Somit kann unter Verwendung der nachstehenden Gleichung ein Wert aus diesen Durchschnittswerten oder Mittelwerten erhalten werden, der proportional zur Wasserfilmdicke ist (Schritt 8):

(Ausgangssignal proportional zur Wasserfilmdicke) =

((durchschnittlicher Meßsignalpegel) / (durchschnittlicher Referenzsignalpegel) ) χ (Temperaturkorrekturkoeffizient) .

Das erhaltene Ausgangssignal wird von der CPU 202 in die für den Benutzer erforderlichen Anzeigedaten umgewandelt und von der Anzeige 124 in der Meßeinrichtung 100 angezeigt.

Da gemäß der Erfindung die Meßeinrichtung und die Verarbeitungseinheit separat vorgesehen sind, kann die Meßvorrichtung in einfacher Weise an einen gewünschten Ort

l gebracht und dort verwendet werden, so daß eine verbesserte Meßvorrichtung zur optischen Bestimmung der Dicke eines Wasserfilmes zur Verfügung steht, die sich leicht messen läßt.

-is-

Leerseite -

Claims

Meissner, Boltc ä. Partner

Paiemanwalie - Kuropean l'aU'iu AUonics München ■ Bremen

Meissner. Bolte & !'armer. I'oslfach 8606 24, U-8U00 München 86

Dr. Eugen Popp i>ipi-ing. Dini ·\νιπ*.-ΐι -ins Wolf E. Sajda »ipi.-i'hyv Dr. Ulrich Hrahal nipi -Chcm Hans Meissner Oipllni; ibis wsoi Erich Bolle Du>i -Ing

Ihr Schreiben vom • BÜRO MUNCHEN7MUNICH OFMCl Your letter of Unser Zeichen Widenmaverstraße 48 Ourrcf. Poslfach/P.O. Box 860624 M/SUS-50-DE D-8000 München 86 Telefon: (089) 222631 Telex: 5213222 epod • Telekopierer: (089) 2217 21 Ihr Zeichen Datum Yourrel". Date 2o. Dezember 1985
Si/ti

TOSHIBA ELECTRONIC SYSTEMS CO., LTD. TOSHIBA MACHINE CO., LTD.

5-1, 2-chome, Akasaka 2-11, 4-chome, Ginza

Minato-ku Chuo-ku

Tokyo Tokyo

Japan Japan

Meßvorrichtung zur optischen Bestimmung der Dicke eines

Wasserfilmes

Patentansprüche

1 .\ Meßvorrichtung zur optischen Bestimmung der Dicke eines ^- Wasserfilmes auf der Oberfläche einer Substanz, wie zum Beispiel Metall,
gekennzeichnet durch

- eine Meßeinrichtung (100) mit einer Lichtausstrahlungseinrichtung, um die Oberfläche (3 00) des Wasserfilmes mit Licht zu bestrahlen, und mit einer photoelektrischen

Umwandlungseinrichtung (118), um das von der Oberfläche (300) des Wasserfilmes reflektierte Licht in ein elektrisches Signal (510) umzuwandeln;

- eine Verarbeitungseinheit (200), die an die Meßeinrichtung (100) über ein Kabel (400) angeschlossen ist und das zugeführte elektrische Signal (510) verarbeitet, um die Dicke des Wasserfilmes zu berechnen; und

- eine Anzeige (124), die in der Meßeinrichtung (100) vorgesehen ist und die berechnete Dicke des Wasser-

^q filmes anzeigt.

2. Vorrichtung nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet,

daß die Lichtausstrahlungseinrichtung mindestens einen , P- Referenz strahl, der von dem Wasserfilm nicht absorbiert werden kann, und einen Meßstrahl ausstrahlt, der von dem Wasserfilm absorbiert wird.
3. Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet,

daß die Lichtausstrahlungseinrichtung eine Lichtquelle (102), ein Referenzsignalfilter (106) zur Umwandlung von Licht von der Lichtquelle (102) in den Referenzstrahl, ein Meßsignalfilter (108) zur Umwandlung von ₉c Licht von der Lichtquelle (102) in den Meßstrahl, sowie eine Strahlungswähleinrichtung aufweist, um das Licht abwechselnd durch die Filter (106, 108) auf die Oberfläche (300) des Wasserfilmes auszustrahlen.

_on
4. Vorrichtung nach Anspruch 3,

dadurch gekennzeichnet,

daß die Strahlungswähleinrichtung eine Filterscheibe (104), auf der das Referenzsignalfilter (106) und das Meßsignalfilter (108) konzentrisch montiert sind, sowie einen Motor (112) aufweist, um die Filterscheibe db

(104) mit vorgegebener Geschwindigkeit zu drehen.
5. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet,

daß die Verarbeitungseinheit (200) einen Positionsdetektor (114) aufweist, der die Positionen der Referenzund Meßsignalfilter (106, 108) mißt und in der Nähe des Außenumfanges der Filterscheibe (104) vorgesehen ist, wobei ein von dem Positionsdetektor (114) gemessenes Positionsmeßsignal (520) der Verarbeitungseinheit (200) zugeführt wird.
10
6. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet,

daß die reflektierten Strahlen von einer Konvergenzlinse (116) gebündelt oder konvergent gemacht werden und dann von der photoelektrischen Umwandlungseinrichtung (118) empfangen werden.
7. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet,

daß das elektrische Signal von einem Verstärker (120) verstärkt und über die Leitung (400) der Verarbeitungseinheit (200) zugeführt wird, während zur gleichen Zeit das elektrische Signal von einem DunkelStromdetektor (122) in eine Gleichspannung umgewandelt und der Verarbeitungseinheit (200) zugeführt wird.
8. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet,

daß in der Filterscheibe (104) der Meßeinrichtung (100) ein Durchgangsloch (110) konzentrisch ausgebildet ist, durch welches sichtbares Licht hindurchgehen kann.
9. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet,

daß die Verarbeitungseinheit (200) das elektrische Signal (510), das aus Referenz- und Meßsignalen (512, 514) besteht und durch Umwandlung der reflektierten Referenz- und Meßstrahlen erhalten wird, N-mal abruft und die

Dicke des Wasserfilmes aus den durchschnittlichen Pegelwerten der Referenz- und Meßsignale berechnet.
10. Vorrichtung nach Anspruch 9,
dadurch gekennzeichnet,

daß die Berechnung zur Ermittlung eines Ausgangswertes, der proportional zur Dicke des Wasserfilmes ist, in der Weise erfolgt, daß der durchschnittliche Wert der Meßsignale durch den durchschnittlichen Wert der Referenzsignale geteilt wird, wobei der resultierende Wert dann mit einem Temperatur-Korrekturkoeffizienten multipliziert wird.
11. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 10, dadurch gekennzeichnet,

daß das elektrische Signal (510) zusätzlich zu den Referenz- und Meßsignalen (512, 514) ein Basispegelsignal umfaßt.
12. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 11, dadurch gekennzeichnet,

daß die Verarbeitungseinheit (200) einen Analog/Digital-Wandler (212) , um das verstärkte oder gleichspannungsmäßig umgewandelte elektrische Signal, das aus den Referenz-, Meß- und Basispegelsignalen besteht, in ein Digital-Signal umzuwandeln, sowie einen Mikrocomputer (202) aufweist, um die Dicke des Wasserfilmes zu berechnen.
13. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 12, dadurch gekennzeichnet,

daß die Verarbeitungseinheit (200) eine von dem Mikrocomputer (202) gesteuerte Einrichtung (210) aufweist, um dem Analog/Digital-Wandler (212)selektiv die verstärkten und in Gleichspannung umgewandelten elektrischen Signale zuzuführen.
14. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 13, dadurch gekennzeichnet, daß der Mikrocomputer (202) die Referenz-, Meß- und Basispegelsignale in Abhängigkeit von dem Positionsmeßsignal vom Positionsdetektor (114) abruft.
15. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 14, dadurch gekennzeichnet, daß die Verarbeitungseinheit (200) eine Einrichtung (214) aufweist, um einen geeigneten Abstand zwischen der Meßeinrichtung (100) und der Oberfläche (300) des Wasserfilmes aufrecht zu erhalten.
16. Vorrichtung nach Anspruch 15, dadurch gekennzeichnet, daß die Einrichtung (214) den geeigneten Abstand dadurch signalisiert, daß es einen dem tatsächlichen Abstand entsprechenden Ton erzeugt.
17. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 16, dadurch gekennzeichnet, daß die Verarbeitungseinheit (200) eine Batterie (216) aufweist, um die jeweiligen Komponenten der Meßeinrichtung (100) und der Verarbeitungseinheit (200) mit Energie zu versorgen.
18. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 17, dadurch gekennzeichnet, daß das Ausgangssignal der photoelektrischen Umwandlungseinrichtung (118) unter Verwendung des Basispegelsignals einer Temperaturkorrektur unterzogen wird.