DE3643723A1 - Method and arrangement for optical measurement of the rolling angle of a moving machine part - Google Patents
Method and arrangement for optical measurement of the rolling angle of a moving machine partInfo
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Abstract
Description
Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Anordnung zur opti schen Messung des Rollwinkels eines bewegten Maschinenteils nach dem Oberbegriff der Ansprüche 1 und 3.The invention relates to a method and an arrangement for opti measurement of the roll angle of a moving machine part the preamble of claims 1 and 3.
Ein Verfahren und eine zur Durchführung dieses Verfahrens geeigne te Vorrichtung sind aus der DE-PS 33 22 713 bekannt. Dieses Ver fahren arbeitet mit einem linear polarisierten Lichtstrahlenbün del, das durch einen mit dem bewegten Maschinenteil fest verbun denen Analysator hindurchgeleitet wird. Durch periodische Verände rung der Richtung der Polarisationsebene entsteht hinter dem Ana lysator ein periodisch wechselndes Lichtintensitätssignal, das durch einen fotoelektrischen Detektor gemessen wird. Bei einer Drehung des Maschinenteils um eine parallel zur Verfahrlinie lie gende Drehachse wird die Phase des Lichtintensitätssignals ent sprechend dem Drehwinkel des Analysators verschoben. Aus der ge messenen Phasendifferenz läßt sich der Rollwinkel ableiten. A method and one suitable for carrying out this method te device are known from DE-PS 33 22 713. This ver driving works with a linearly polarized light beam del, which is firmly connected to the moving machine part which analyzer is passed through. Through periodic changes The direction of the polarization plane arises behind the ana lysator a periodically changing light intensity signal, the is measured by a photoelectric detector. At a Rotation of the machine part by a line parallel to the travel line axis of rotation becomes the phase of the light intensity signal speaking shifted the angle of rotation of the analyzer. From the ge measured phase difference, the roll angle can be derived.
Ein anderes, aus der DE-OS 23 29 483 und der DE-OS 34 05 886 be kanntes Verfahren nutzt die Eigenschaft aus, daß das durch den Analysator hindurchtretende Licht bei von 90° abweichender Stel lung zwischen der Polarisationsrichtung des Meßstrahles und der Polarisationsrichtung des Analysators elliptisch polarisiert ist. Aus dem Verhältnis der beiden darin enthaltenen linear polarisier ten Komponenten kann der Drehwinkel des Analysators und damit der Rollwinkel bestimmt werden.Another, from DE-OS 23 29 483 and DE-OS 34 05 886 be Known method takes advantage of the property that the Light passing through the analyzer when the position deviates from 90 ° tion between the polarization direction of the measuring beam and the Polarization direction of the analyzer is elliptically polarized. From the ratio of the two linearly polarized contained therein components, the angle of rotation of the analyzer and thus the Roll angle can be determined.
Beide Verfahren sind nur dazu geeignet, einen einzigen Rollwinkel zu bestimmen, nämlich den um die Verfahrlinie, deren Richtung mit der des Meßstrahlenbündels parallel ist. Bei der Vermessung eines in drei Koordinatenrichtungen bewegbaren Maschinenteils ist das Verfahren daher sehr aufwendig. Bei der Auswertung elliptisch po larisierter Lichtanteile entstehen darüber hinaus Schwierigkeiten aus der im allgemeinen unterschiedlichen Empfindlichkeit der Lichtdetektoren für die beiden Polarisationskomponenten; denn die Genauigkeit der Winkelbestimmung hängt direkt ab von einer korrek ten Messung der Intensitätsverhältnisse beider Komponenten.Both methods are only suitable for a single roll angle to determine, namely the one around the traversing line and its direction with that of the measuring beam is parallel. When measuring a This is the machine part that can be moved in three coordinate directions The process is therefore very complex. When evaluating elliptically po Larized light components also cause difficulties from the generally different sensitivity of the Light detectors for the two polarization components; because that The accuracy of the angle determination depends directly on a correct one measurement of the intensity ratios of both components.
Der Erfindung lag daher die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren zur Rollwinkelmessung anzugeben, bei dem in einem einzigen Aufbau die Rollwinkel in zueinander senkrechten Verfahrrichtungen gemessen werden können. Eine zur Durchführung dieses Verfahrens geeignete Anordnung sollte einen möglichst einfachen Aufbau besitzen, leicht zu justieren sein, unabhängig von relativen Intensitätsmessungen und ohne großen Aufwand zur Messung des Rollwinkels in einer drit ten Koordinatenrichtung umrüstbar sein.The invention was therefore based on the object of a method for Specify roll angle measurement, in which the Roll angle measured in mutually perpendicular travel directions can be. A suitable one for performing this procedure Arrangement should be as simple as possible, light to be adjusted, regardless of relative intensity measurements and without much effort to measure the roll angle in a third ten coordinate direction can be converted.
Diese Aufgabe wird bei einem Verfahren der eingangs genannten Art erfindungsgemäß durch die kennzeichnenden Merkmale des Anspruchs 1 gelöst. Eine vorteilhafte Weiterbildung ergibt sich aus den Merk malen des Anspruchs 2. This task is carried out in a method of the type mentioned at the beginning according to the invention by the characterizing features of claim 1 solved. An advantageous further development results from the note paint of claim 2.
Eine geeignete Anordnung zur Durchführung des Verfahrens weist erfindungsgemäß die im kennzeichnenden Teil des Anspruchs 3 ange gebenen Maßnahmen auf. Vorteilhafte Ausgestaltungen ergeben sich aus den Ansprüchen 4 bis 10.A suitable arrangement for performing the method has according to the invention in the characterizing part of claim 3 given measures. Advantageous configurations result from claims 4 to 10.
Die Erfindung nutzt die Möglichkeit, ein räumlich geometrisches Problem mit Hilfe eines Zylinders in eine Ebene zu übertragen. Hierzu wird aus einer zum Verfahrweg senkrechten Position ein Lichtspalt parallel zum Verfahrweg auf die Mantelfläche eines Zylinders projiziert. Das Projektionsstrahlenbündel erzeugt eine zum Verfahrweg parallel liegende Lichtebene.The invention uses the possibility of a spatially geometric Problem using a cylinder to transfer to a plane. For this purpose, a position perpendicular to the travel path is used Light gap parallel to the travel on the lateral surface of a Cylinder projected. The projection beam generates one Light plane parallel to the travel path.
Der verspiegelte Zylinder wirft als Reflexionsbild den Lichtspalt in die Richtung des Projektionsgerätes zurück. Die Position des reflektierten Spaltbildes wird durch Fotodioden ermittelt. Der Zy linderspiegel bewegt sich längs des Verfahrweges in der durch die Spaltprojektion erzeugten Lichtebene.The mirrored cylinder casts the light gap as a reflection image back in the direction of the projection device. The position of the reflected slit image is determined by photodiodes. The Zy Linderspiegel moves along the travel path in the through the Slit projection generated light plane.
Wird die durch die Spaltprojektion erzeugte Lichtebene so gelegt, daß in ihr auch noch der Verfahrweg in Projektionsrichtung liegt, dann kann die Rotation des Zylinderspiegels um diesen Verfahrweg mit demselben Aufbau gemessen werden. Bei Rotation um den Verfahr weg senkrecht zur Spaltprojektion ergibt sich eine Parallelver schiebung des Reflexions-Spaltbildes, bei Rotation um den Verfahr weg in Richtung der Spaltprojektion wird das Reflexions-Spaltbild gegenüber der Ausgangsstellung geneigt. Aus den jeweiligen Ver fahr-Positionen von Zylinderspiegel und Reflexions-Spaltbild läßt sich die Rotation (Rollwinkel) berechnen, wobei der Abstand zwi schen Zylinderspiegel und den Fotodioden die Meßbasis darstellt. If the light plane created by the slit projection is placed that it also contains the travel path in the projection direction, then the rotation of the cylinder mirror around this travel path be measured with the same structure. When rotating around the travel parallel to the slit projection results in a parallel ver shift of the reflection slit image when rotating around the travel the reflection slit image becomes away in the direction of the slit projection inclined towards the starting position. From the respective ver driving positions of cylinder mirror and reflection slit leaves calculate the rotation (roll angle), the distance between rule cylinder mirror and the photodiodes represents the measurement base.
Führt der Zylinderspiegel beim Verfahren längs der Richtung senk recht zur Spaltprojektion auch noch eine Nick-Bewegung aus, so re sultiert daraus eine Neigung des Reflexions-Spaltbildes. Eine Nick-Bewegung beim Verfahren in Richtung der Spaltprojektion er zeugt dagegen eine Parallelverschiebung des Reflexions-Spaltbil des. Bei bekannter Verfahrrichtung kann daher aus der Lage des Reflexions-Spaltbildes sowohl der Rollwinkel, als auch ein Nick- Winkel getrennt ermittelt werden. In der Literatur werden die genannten Nick-Winkel häufig auch dem übergeordneten Begriff "Rollwinkel" zugeordnet. Er wird dann als Winkel mit zwei Indizes angegeben, von denen der erste z. B. die Verfahrachse und der zweite die Rollachse angibt.When moving, the cylinder mirror moves along the vertical direction right to the slit projection also a pitch movement, so right results in an inclination of the reflection slit image. A Nick movement when moving in the direction of the slit projection on the other hand, shows a parallel shift of the reflection gap bil If the direction of travel is known, the position of the Reflection slit image of both the roll angle and a pitch Angles can be determined separately. In the literature, the Nick angle often referred to the parent term "Roll angle" assigned. It is then called an angle with two indices specified, of which the first z. B. the traversing axis and second indicates the roll axis.
Die Erfindung wird nachfolgend anhand von schematisch darge stellten Ausführungsbeispielen noch näher erläutert. Es zeigtThe invention is illustrated schematically below with reference to presented embodiments explained in more detail. It shows
Fig. 1 die Meßanordnung in einer 3-Koordinaten-Meßmaschine, Fig. 1, the measuring arrangement in a 3-coordinate measuring machine,
Fig. 2 die Veränderung des Reflexions-Spaltbildes bei Mes sung des Rollwinkels um die y-Achse, und Fig. 2 shows the change in the reflection slit image when measuring the roll angle around the y axis, and
Fig. 3 die Veränderung des Reflexions-Spaltbildes bei Mes sung des Rollwinkels um die x-Achse. Fig. 3 shows the change in the reflection slit image when measuring the roll angle around the x axis.
Fig. 1 zeigt in schematischer Darstellung eine 3-Koordinaten-Meß maschine mit einer Pinole 1, an der üblicherweise austauschbare Meßtaster befestigt werden. Die Pinole 1 ist in einem Schlitten 2 in z-Richtung verschieblich gelagert. Der Schlitten 2 ist auf ei ner Brücke 3 in y-Richtung verfahrbar. Die Brücke 3 ist Teil eines Portals 4, das auf einem Grundgestell 5 in x-Richtung verfahrbar ist. Die jeweiligen Führungselemente für die Verfahrwege x, y, z sind im einzelnen nicht dargestellt. Sie sind so ausgebildet, daß eine ausreichend geradlinige Führung erreicht wird. Trotzdem ist nicht auszuschließen, daß geringfügige Drehungen des Portals 4 um die x-Achse, des Schlittens 2 um die y-Achse und der Pinole 1 um die z-Achse auftreten. Fig. 1 shows a schematic representation of a 3-coordinate measuring machine with a quill 1 to which usually replaceable probes are attached. The sleeve 1 is slidably mounted in a carriage 2 in the z direction. The carriage 2 is movable on a bridge 3 in the y direction. The bridge 3 is part of a portal 4 , which can be moved in the x direction on a base frame 5 . The respective guide elements for the travel paths x, y, z are not shown in detail. They are designed so that a sufficiently straight-line guidance is achieved. Nevertheless, it cannot be ruled out that slight rotations of the portal 4 about the x axis, of the carriage 2 about the y axis and of the sleeve 1 about the z axis occur.
Zur Messung dieser Rollwinkel ist an der Pinole 1 ein Zylinder spiegel 6 befestigt, dessen Längsachse mit der z-Achse überein stimmt. Eine Drehung des Zylinderspiegels 6 um die x- und y-Achse verändert die Reflexionswinkel für auf die Spiegelfläche auftref fende Lichtstrahlen, während eine Drehung um die z-Achse die Re flexionen unbeeinflußt läßt. Um den Rollwinkel um die z-Achse mes sen zu können, muß der Zylinderspiegel 6 zunächst so an der Pinole 1 befestigt werden, daß seine Längsachse mit der y-Achse überein stimmt.To measure this roll angle, a cylinder mirror 6 is attached to the quill 1 , the longitudinal axis of which coincides with the z axis. A rotation of the cylinder mirror 6 about the x - and y- axis changes the reflection angle for light rays incident on the mirror surface, while a rotation about the z- axis leaves the reflections unaffected. In order to be able to measure the roll angle around the z axis, the cylinder mirror 6 must first be attached to the quill 1 in such a way that its longitudinal axis coincides with the y axis.
Auf dem Meßtisch 7 der Meßmaschine ist eine Projektionseinrichtung 8 ortsfest angeordnet. Diese kann einen Spaltprojektor oder eine Scanningeinrichtung enthalten mit der eine optische Referenzebene 9 erzeugt werden kann. Die Projektionseinrichtung 8 ist so ju stiert, daß die Referenzebene 9 parallel zur x-y-Ebene der Meßma schine liegt. Der Zylinderspiegel 6 durchstößt die Referenzebene 9, so daß auf seiner Mantelfläche ein Spaltbild 10 entsteht.A projection device 8 is arranged in a stationary manner on the measuring table 7 of the measuring machine. This can contain a slit projector or a scanning device with which an optical reference plane 9 can be generated. The projection device 8 is so ju stiert that the reference plane 9 is parallel to the xy plane of the measuring machine. The cylinder mirror 6 penetrates the reference plane 9 , so that a gap image 10 is formed on its lateral surface.
Zentralsymmetrisch zur in dieser Figur nicht sichtbaren Lichtaus trittsöffnung der Projektionseinrichtung 8 sind vier fotoelektri sche Empfänger 11, 12, 13, 14 der Lichtdetektoranordnung 15 vorge sehen. Die Empfängerebene der Detektoranordnung 15 steht senkrecht auf der Referenzebene 9 und der Reflektionsfläche des Zylinder spiegels 6 gegenüber. Dieser erzeugt aus dem Spaltbild 10 ein Re flexions-Spaltbild 16 auf der Detektoranordnung 15, das einer Schnittlinie der reflektierten Lichtebene 17 entspricht. Centrally symmetrical to the light outlet opening of the projection device 8 which is not visible in this figure, four photoelectric receivers 11, 12, 13, 14 of the light detector arrangement 15 are provided. The receiver plane of the detector arrangement 15 is perpendicular to the reference plane 9 and the reflection surface of the cylinder mirror 6 . From the slit image 10, this produces a reflection slit image 16 on the detector arrangement 15 , which corresponds to a cutting line of the reflected light plane 17 .
Die von den fotoelektrischen Empfängern 11, 12, 13, 14 abgegebenen Signale werden über eine Leitung 18 einer Auswerteeinrichtung 19 zugeführt, der außerdem auch die x, y, z-Positionssignale für die Stellung des Zylinderspiegels 6 zugeleitet werden. Die Auswerte einrichtung 19 enthält geeignete Verstärker, Rechner, Speicher usw., um aus den Meßwerten die Rollwinkel zu berechnen, anzuzeigen oder zu speichern.The signals emitted by the photoelectric receivers 11, 12, 13, 14 are fed via a line 18 to an evaluation device 19 , to which the x, y, z position signals for the position of the cylinder mirror 6 are also fed. The evaluation device 19 contains suitable amplifiers, computers, memories etc. in order to calculate, display or save the roll angle from the measured values.
Zur Messung des Rollwinkels um die z-Achse und eines längs dieses Verfahrweges evtl. auftretenden Nickwinkels braucht die Projek tionseinrichtung 8 zusammen mit der Detektoranordnung 15 lediglich um 90° gedreht zu werden. Die projizierte Referenzebene 9 ist dann so einzujustieren, daß in ihr die Verfahrachsen z und x liegen.To measure the roll angle about the z- axis and a pitch angle that may occur along this travel path, the projection device 8 together with the detector arrangement 15 only needs to be rotated by 90 °. The projected reference plane 9 is then to be adjusted so that the travel axes z and x lie in it.
Fig. 2 zeigt im Detail die Veränderung der reflektierten Lichtebe ne und die Veränderung der Lage des Reflexions-Spaltbildes in der Detektorebene bei einem Rollwinkel um die y-Achse. Dargestellt sind zwei Stellungen z, z′ des Zylinders 6, die einen Drehwinkel ϕ y einschließen und die dazugehörigen reflektierten Lichtebenen 17, 17′ der Reflexions-Spaltbilder 16, 16′ in der Ebene der Detektor anordnung 15 mit den Empfängern 11, 12, 13, 14. Die Referenzebene zur Erzeugung des Spaltbildes 10 auf der Mantelfläche des Zylin ders 6 ist nicht dargestellt. Sie wird durch Beleuchtung des zen tral in der Detektorebene liegenden Spalts 20 mit einem parallelen Lichtstrahlenbündel 21 erzeugt. Fig. 2 shows in detail the change in the reflected light level ne and the change in the position of the reflection slit image in the detector plane at a roll angle around the y axis. Shown are two positions z, z 'of the cylinder 6 , which include an angle of rotation ϕ y and the associated reflected light planes 17, 17' of the reflection slit images 16, 16 ' in the plane of the detector arrangement 15 with the receivers 11, 12, 13th , 14 The reference plane for generating the gap image 10 on the lateral surface of the cylinder 6 is not shown. It is generated by illuminating the central gap 20 lying in the detector plane with a parallel light beam 21 .
Bei bekanntem Abstand zwischen der y-Achse und der Detektorebene kann aus dem fotoelektrisch gemessenen Abstand der Reflexions- Spaltbilder 16, 16′ der Rollwinkel ϕ y bestimmt werden. Für diese Messung ist es zweckmäßig, daß die Breite der Reflexions-Spaltbil der und der Empfängerelemente in etwa gleich sind. Durch Diffe renzschaltung der Empfängerelemente 11, 12 und 13, 14 kann die Parallelverschiebung der Reflexions-Spaltbilder sehr genau be stimmt werden. Durch zusätzliche Differenzschaltung der Empfänger elemente 11, 13 und 12, 14 kann außerdem festgestellt werden, ob die Reflexions-Spaltbilder zusätzlich eine Neigung erhalten haben, die in diesem Fall einer Nick-Bewegung in Richtung der y-Achse entsprechen würde.With a known distance between the y axis and the detector plane , the roll angle ϕ y can be determined from the photoelectrically measured distance of the reflection slit images 16, 16 ' . For this measurement, it is appropriate that the width of the reflection gap and the receiver elements are approximately the same. By diffe rential circuit of the receiver elements 11, 12 and 13, 14 , the parallel displacement of the reflection slit images can be determined very accurately be. By additional differential switching of the receiver elements 11, 13 and 12, 14 can also be determined whether the reflection slit images have also received an inclination, which in this case would correspond to a pitch movement in the direction of the y axis.
In Fig. 3 sind im Detail die Verhältnisse bei der Messung des Rollwinkels um die x-Achse dargestellt. Der Zylinderspiegel 6 wird hier also in Richtung der x-Achse verschoben und kann dabei mit seiner Längsachse z eine Drehung ϕ x um die x-Achse ausführen. Es wird dieselbe Detektoranordnung 15 mit zentral liegendem Spalt 20 verwendet wie in Fig. 2. Zur Erzeugung der Referenzebene soll hier jedoch ein Laser 22 dienen, dessen paralleles Lichtstrahlenbündel 23 mit Hilfe eines Spiegelscanners 24 eine Ebene überstreicht, in der die Verfahrwege x, y der Pinole 1 aus Fig. 1 liegen.In Fig. 3, the conditions in the measurement of the roll angle represented by the x axis in detail. The cylinder mirror 6 is thus shifted in the direction of the x axis and can thereby perform a rotation ϕ x about the x axis with its longitudinal axis z . The same detector arrangement 15 with a central gap 20 is used as in FIG. 2. However, a laser 22 is to be used here to generate the reference plane, the parallel light beam 23 of which, with the aid of a mirror scanner 24, sweeps over a plane in which the travel paths x, y Quill 1 from Fig. 1 lie.
Bei einer Drehung der Längsachse des Zylinderspiegels 6 von der Stellung z in die Stellung z′ dreht sich die reflektierte Licht ebene 17 in die Lage der Ebene 17′. Das Reflexions-Spaltbild 16′ ist also auch gegenüber dem Bild 16 geneigt. Diese Neigung kann durch Abfrage der auf die Empfängerelemente 11, 12, 13, 14 fallen den Lichtintensitäten ermittelt werden. Hierzu ist die bereits in Fig. 2 erläuterte Differenzschaltung der Empfängerelemente geeig net.When the longitudinal axis of the cylinder mirror 6 rotates from the position z to the position z ' , the reflected light plane 17 rotates into the position of the plane 17' . The reflection slit image 16 ' is also inclined relative to the image 16 . This inclination can be determined by querying the light intensities falling on the receiver elements 11, 12, 13, 14 . For this purpose, the differential circuit of the receiver elements already explained in FIG. 2 is suitable.
Claims (10)
- a) der Querschnitt des Lichtstrahlenbündels so geformt wird, daß dadurch eine optische Referenzebene (9) gebildet wird, in der zwei zueinander senkrechte Verfahrlinien (x, y; z, y; x, z) des bewegten Maschinenteils (1) liegen,
- b) durch Reflektion des Lichtstrahlenbündels an einem das op tische Element bildenden Zylinderspiegel (6), dessen Längsachse in der Grundstellung senkrecht zur optischen Referenzebene (9) ausgerichtet wird, eine weitere optische Ebene (17; 17′) erzeugt wird und
- c) aus den Neigungswinkeln dieser Ebene gegenüber der Refe renzebene die Rollwinkel bezüglich der beiden in der Re ferenzebene liegenden Verfahrlinien bestimmt werden.
- a) the cross section of the light beam is shaped in such a way that an optical reference plane ( 9 ) is formed, in which two mutually perpendicular travel lines (x, y; z, y; x, z) of the moving machine part ( 1 ) lie,
- b) by reflection of the light beam on an optical element forming cylinder mirror ( 6 ), the longitudinal axis of which is oriented perpendicular to the optical reference plane ( 9 ) in the basic position, a further optical plane ( 17; 17 ' ) is generated and
- c) the roll angles with respect to the two travel lines lying in the reference plane are determined from the inclination angles of this plane with respect to the reference plane.
- a) die Vorrichtung zur Aussendung eines Lichtstrahlenbündels eine Projektionseinrichtung (8) zur Erzeugung einer opti schen Referenzebene (9) enthält,
- b) die Projektionseinrichtung (8) so angeordnet ist, daß in der Referenzebene (9) zwei senkrecht zueinander stehende Verfahrlinien (x, y; z, y) des bewegten Maschinenteils lie gen,
- c) das optische Element als Zylinderspiegel (6) ausgebildet ist, dessen Längsachse in der Grundstellung senkrecht zur Referenzebene (9) ausgerichtet ist, und
- d) in der Nähe der Projektionseinrichtung (8) eine Lichtde tektoreinrichtung (15) angeordnet ist, die mehrere sym metrisch zueinander liegende Empfängerelemente (11, 12, 13, 14) enthält und deren Empfängerebene dem Zylinderspiegel (6) zugewandt zumindest angenähert senkrecht zur Referenz ebene (9) steht.
- a) the device for emitting a light beam contains a projection device ( 8 ) for generating an optical reference plane ( 9 ),
- b) the projection device ( 8 ) is arranged such that in the reference plane ( 9 ) two mutually perpendicular traverse lines (x, y; z, y) of the moving machine part lie,
- c) the optical element is designed as a cylindrical mirror ( 6 ), the longitudinal axis of which in the basic position is oriented perpendicular to the reference plane ( 9 ), and
- d) in the vicinity of the projection device ( 8 ) a light detector device ( 15 ) is arranged, which contains a plurality of symmetrically mutually located receiver elements ( 11, 12, 13, 14 ) and whose receiver plane faces the cylinder mirror ( 6 ) at least approximately perpendicular to the reference level ( 9 ) stands.
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