DE3901546A1 - Position measuring device having a plurality of scanning points - Google Patents

Position measuring device having a plurality of scanning points

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DE3901546A1 DE19893901546 DE3901546A DE3901546A1 DE 3901546 A1 DE3901546 A1 DE 3901546A1 DE 19893901546 DE19893901546 DE 19893901546 DE 3901546 A DE3901546 A DE 3901546A DE 3901546 A1 DE3901546 A1 DE 3901546A1
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Abstract

The invention relates to a position measuring device in which a dividing (index) plate (disc) (3) is scanned by a plurality of scanning devices (1, 2). A test circuit (P) is provided for the purpose of checking the phase angle (relation) between the scanning signals (U1, U2, U3, U4) of the scanning devices (1, 2). The differential signal (U6) of the 0@ scanning signals (U1, U3) and the differential signal (U8) of the 90@ scanning signals (U2, U4) are formed in the test circuit (P). The test circuit (P) further produces the aggregate signal (U9) of the 0@ scanning signals (U1, U3) as well as the aggregate signal (U10) of the 90@ scanning signals (U2, U4). An error signal (G1, G2) is formed in each case from the differential signals (U6, U8) and the aggregate signals (U9, U10). A control signal (SS) which results from comparing the error signals (G1, G2) is used to influence the scanning signals (U1, U2, U3, U4) (Figure 1). <IMAGE>

Description

Die Erfindung betrifft eine Positionsmeßeinrichtung nach Hauptpatent P 37 26 260.2-52.The invention relates to a position measuring device according to main patent P 37 26 260.2-52.

Im Hauptpatent ist bereits eine Positionsmeßeinrich­ tung beschrieben, bei der die Maßverkörperung an mehreren Abtaststellen abgetastet wird, ohne daß es zu Fehlzählungen bei Erschütterungen kommen kann.A position measuring device is already in the main patent tion described in which the measuring standard several sampling points is scanned without it incorrect shocks can occur.

Bei dieser Positionsmeßeinrichtung ist eine Prüf­ schaltung zur Überprüfung der Phasenlage zwischen den Abtastsignalen der verschiedenen Abtaststellen und/oder der Amplituden der Summensignale vorgese­ hen. Wenn festgestellt wird, daß eine unzulässige Überschreitung eines vorgegebenen Toleranzbereiches vorliegt, werden die Abtastsignale der verschiede­ nen Abtaststellen ungleich gewichtet addiert.With this position measuring device there is a test circuit for checking the phase position between the scanning signals of the different sampling points and / or the amplitudes of the sum signals hen. If it is determined that an illegal Exceeding a specified tolerance range is present, the scanning signals of the different NEN sampling points added unequally weighted.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, bei einer Positionsmeßeinrichtung der genannten Gattung die Phasenlage zwischen den Abtastsignalen der verschie­ denen Abtaststellen sicher zu erkennen und daraus ein Steuersignal für die Wichtung der Abtastsignale zu erzeugen, das eine möglichst geringe Welligkeit aufweist.The invention has for its object in a Position measuring device of the type mentioned Phase position between the scanning signals of the various which sampling points can be reliably recognized and from them a control signal for the weighting of the scanning signals to generate the lowest possible ripple having.

Diese Aufgabe wird durch eine Positionsmeßeinrich­ tung mit den Merkmalen des Anspruches 1 gelöst.This task is accomplished by a position measuring device tion solved with the features of claim 1.

Vorteilhafte Ausbildungen entnimmt man den Unteran­ sprüchen.Advantageous training can be found in the Unteran sayings.

Ausführungsbeispiele der Erfindung werden nachste­ hend anhand der Zeichnungen näher erläutert.Embodiments of the invention are next Based on the drawings.

Es zeigtIt shows

Fig. 1 ein Blockschaltbild einer Posi­ tionsmeßeinrichtung mit zwei Abtasteinrichtungen und Fig. 1 is a block diagram of a Posi tion measuring device with two scanning devices and

Fig. 2 ein Blockschaltbild einer Posi­ tionsmeßeinrichtung mit vier Abtasteinrichtungen. Fig. 2 is a block diagram of a Posi tion measuring device with four scanning devices.

Die in Fig. 1 dargestellte Positionsmeßeinrichtung weist eine Teilscheibe 3 mit einer inkrementalen Teilung 5 auf, die von zwei Abtasteinrichtungen 1 und 2 abgetastet wird. Die Teilscheibe 3 ist auf einer Welle 4 eines nicht näher dargestellten Dreh­ gebers befestigt. Jede der beiden Abtasteinrichtun­ gen 1 und 2 erzeugt zwei um 90° gegeneinander pha­ senverschobene Abtastsignale U 1, U 2 und U 3, U 4. Die beiden Abtasteinrichtungen 1 und 2 sind diametral gegenüberliegend angeordnet, dabei spricht man auch von räumlich um 180° zueinander versetzten Abtast­ stellen.The position measuring device shown in FIG. 1 has a graduated disk 3 with an incremental graduation 5 , which is scanned by two scanning devices 1 and 2 . The index plate 3 is mounted on a shaft 4 of a rotary encoder, not shown. Each of the two scanning devices 1 and 2 generates two scanning signals U 1 , U 2 and U 3 , U 4 which are shifted by 90 ° relative to one another. The two scanning devices 1 and 2 are arranged diametrically opposite one another, one speaks also of spatially offset scanning positions by 180 °.

Zur Messung des Drehwinkels der Teilscheibe 3 wer­ den die Abtastsignale U 1, U 2, U 3, U 4 so beeinflußt, daß sich bei der Addition der Abtastsignale U 1 und U 3 sowie U 2 und U 4 keine Signalauslöschung und somit keine Fehlzählung ergibt. Diese Beeinflussung der Abtastsignale U 1, U 2, U 3 und U 4 erfolgt durch unter­ schiedliche Wichtung in einem Steuerglied S. Im Steuerglied S ist für jedes Abtastsignal U 1, U 2, U 3 und U 4 ein Steuerelement S 10, S 20, S 30 und S 40 vor­ gesehen. An diesen Steuerelementen S 10, S 20, S 30 und S 40 liegt ein von einer Prüfschaltung P erzeug­ tes Steuersignal SS an. Die gewichteten Signale U 10 und U 30 werden im Summierglied S 1 und die gewichte­ ten Signale U 20 und U 40 im Summierglied S 2 analog addiert und dadurch gemittelt. Am Ausgang des Sum­ miergliedes S 1 steht das Summensignal U 5 der gewich­ teten Signale U 10 und U 30, d.h., die gewichtete Summe der 0°- Abtastsignale U 1 und U 3 an. Am Aus­ gang des Summiergliedes S 2 steht das Summensignal U 7 der gewichteten Signale U 20 und U 40, d.h., die gewichtete Summe der 90°- Abtastsignale U 2 und U 4 an. Beide Summensignale U 5 und U 7 sind wiederum um 90° gegeneinander phasenverschoben und können nach bekannten Verfahren weiter ausgewertet und interpo­ liert werden.To measure the angle of rotation of the indexing disk 3, who affects the scanning signals U 1 , U 2 , U 3 , U 4 so that when the scanning signals U 1 and U 3 as well as U 2 and U 4 are added, there is no signal cancellation and therefore no incorrect counting . This influencing of the scanning signals U 1 , U 2 , U 3 and U 4 takes place by under different weighting in a control element S. In the control element S a control element S 10 , S 20 , S 30 and S 40 is seen for each scanning signal U 1 , U 2 , U 3 and U 4 . A control signal SS generated by a test circuit P is present at these control elements S 10 , S 20 , S 30 and S 40 . The weighted signals U 10 and U 30 are added in the summing element S 1 and the weighted signals U 20 and U 40 in the summing element S 2 are analog and thereby averaged. The sum signal U 5 of the weighted signals U 10 and U 30 , that is, the weighted sum of the 0 ° scanning signals U 1 and U 3, is present at the output of the summing element S 1 . At the output of the summing element S 2 is the sum signal U 7 of the weighted signals U 20 and U 40 , that is, the weighted sum of the 90 ° scanning signals U 2 and U 4 . Both sum signals U 5 and U 7 are in turn 90 ° out of phase with each other and can be further evaluated and interpolated according to known methods.

An der bereits erwähnten Prüfschaltung P zur Bil­ dung des Steuersignals SS liegen die Abtastsignale U 1, U 2, U 3 und U 4 an. Das 0°-Abtastsignal U 1 der ersten Abtasteinrichtung 1 und das 0°-Abtastsignal U 3 der zweiten Abtasteinrichtung 2 werden einem Differenzbildungs-Baustein D 1 zugeführt, in dem aus den beiden 0°- Abtastsignalen U 1 und U 3 ein Diffe­ renzsignal U 6 gebildet wird.The scanning signals U 1 , U 2 , U 3 and U 4 are present at the test circuit P already mentioned for forming the control signal SS . The 0 ° scanning signal U 1 of the first scanning device 1 and the 0 ° scanning signal U 3 of the second pickup 2 are supplied to a difference-forming block D fed 1, wherein from the two 0 ° - scanning signals U 1 and U 3 is a Diffe rence signal U 6 is formed.

In gleicher Weise wird in einem Differenzbildungs- Baustein D 2 ein Differenzsignal U 8 aus den beiden 90°- Abtastsignalen U 2 und U 4 gebildet.Similarly, a difference signal U 8 from the two 90 ° in a Differenzbildungs- block D 2 - scanning signals U 2 and U 4 are formed.

Die beiden Differenzsignale U 6 und U 8, die wiederum gegeneinander um 90° phasenverschoben sind, werden Betragsbildungs-Bausteinen B 6 und B 8 zugeführt. Betragsbildungs-Bausteine sind allgemein bekannt und sind beispielsweise als Vollweggleichrichter­ schaltungen ausgeführt.The two difference signals U 6 and U 8 , which in turn are phase-shifted from one another by 90 °, are supplied with amount-building blocks B 6 and B 8 . Amount building blocks are generally known and are designed for example as full-wave rectifier circuits.

Die Ausgangssignale U 60 und U 80 der Betragsbil­ dungs-Bausteine B 6 und B 8 werden im Summierglied SV 10 zusammengefaßt. Man erhält dabei ein oberwel­ lenbehaftetes Fehlersignal G 1, das von der Exzen­ trizität abhängig ist.The output signals U 60 and U 80 of the Amount forming blocks B 6 and B 8 are summarized in the summer SV 10 . One obtains an error signal G 1 which is affected by harmonics, which is dependent on the excentricity.

Um diese Welligkeit des Fehlersignals G 1 zu verrin­ gern wird mittels der Abtastsignale U 1, U 2, U 3 und U 4 ein weiteres Fehlersignal G 2 erzeugt. Hierzu wird das 0°- Abtastsignal U 1 der ersten Abtastein­ richtung 1 und das 0°- Abtastsignal U 3 der zweiten Abtasteinrichtung 2 einem Summierglied SV 1 zuge­ führt. Ebenso wird in einem Summierglied SV 2 die Summe des 90°- Abtastsignals U 2 und des 90°- Ab­ tastsignals U 4 gebildet. Beide Summensignale U 9 und U 10 der Summierglieder SV 1 und SV 2 werden je einem Betragsbildungs-Baustein B 9 und B 10 zugeführt. Die Ausgangssignale U 90 und U 100 der Betragsbildungs- Bausteine B 9 und B 10 werden im Summierglied SV 20 zusammengefaßt. Dadurch erhält man das ebenfalls von der Exzentrizität abhängige und oberwellen­ behaftete Fehlersignal G 2.In order to reduce this ripple of the error signal G 1 , a further error signal G 2 is generated by means of the scanning signals U 1 , U 2 , U 3 and U 4 . For this purpose, the 0 ° scanning signal U 1 of the first scanning device 1 and the 0 ° scanning signal U 3 of the second scanning device 2 leads to a summing element SV 1 . Likewise, the sum of the 90 ° scanning signal U 2 and the 90 ° scanning signal U 4 is formed in a summing element SV 2 . Both sum signals U 9 and U 10 of the summing elements SV 1 and SV 2 are each supplied to an amount building block B 9 and B 10 . The output signals U 90 and U 100 of the amount building blocks B 9 and B 10 are combined in the summing element SV 20 . This gives the error signal G 2 , which is also dependent on the eccentricity and has harmonics.

Die Fehlersignale G 1 und G 2 werden einem Differenz­ bildungs-Baustein D 10 zugeführt und aus beiden Feh­ lersignalen G 1 und G 2 das Steuersignal SS erzeugt. Dabei ist kein zusätzliches Referenzsignal notwen­ dig, mit dem das Fehlersignal G 1 verglichen wird. Als Referenzsignal dient das Fehlersignal G 2. Da die Fehlersignale G 1 und G 2 aus den Abtastsignalen U 1, U 2, U 3 und U 4 gebildet werden, verringert sich die Welligkeit des Steuersignals SS durch die Dif­ ferenzbildung der Fehlersignale G 1 und G 2.The error signals G 1 and G 2 are supplied to a difference-forming module D 10 and the control signal SS is generated from both error signals G 1 and G 2 . No additional reference signal is necessary with which the error signal G 1 is compared. The error signal G 2 serves as the reference signal. Since the error signals G 1 and G 2 are formed from the scanning signals U 1 , U 2 , U 3 and U 4 , the ripple of the control signal SS is reduced by the difference formation of the error signals G 1 and G 2 .

Die Welligkeit des Steuersignals SS ist am gering­ sten, wenn die Phasenverschiebung (Fehlerwinkel durch die Exzentrizität) der beiden 0°-Abtastsi­ gnale U 1 und U 3 90° beträgt. Durch Beeinflussung der Fehlersignale G 1 und G 2 ist es möglich, daß die Welligkeit des Steuersignals SS bereits bei etwa 60° am geringsten ist. Diese Beeinflussung kann durch bekannte Maßnahmen erfolgen, wie z.B. durch Multiplikation des Fehlersignals G 1 oder G 2 mit einem vorgegebenen Faktor.The ripple of the control signal SS is at its lowest when the phase shift (error angle due to the eccentricity) of the two 0 ° scanning signals U 1 and U 3 is 90 °. By influencing the error signals G 1 and G 2 , it is possible that the ripple of the control signal SS is already the lowest at approximately 60 °. This influencing can take place by known measures, such as by multiplying the error signal G 1 or G 2 by a predetermined factor.

In der Fig. 2 ist eine Positionsmeßeinrichtung mit vier Abtasteinrichtungen 101, 102, 103 und 104 ge­ zeigt. Wegen der Übersichtlichkeit wird nur die Bildung des Steuersignals SS aufgezeigt. In nicht gezeigter Weise werden die Abtastsignale U 101, U 102, U 103, U 104, U 105, U 106, U 107 und U 108 in Ab­ hängigkeit des Steuersignals SS unterschiedlich gewichtet. Nach bekannter Art werden die 0°- Ab­ tastsignale U 101, U 103, U 105 und U 107 nach der Wichtung addiert und somit gemittelt. Ebenso werden die 90°- Abtastsignale U 102, U 104, U 106 und U 108 nach der Wichtung addiert und damit gemittelt. Am Ausgang eines nicht gezeigten Steuergliedes stehen dann zwei um 90° gegeneinander phasenverschobene Signale zur weiteren Verarbeitung an.In FIG. 2 is a position measuring system with four scanning devices 101, 102, displays 103 and 104 ge. For the sake of clarity, only the formation of the control signal SS is shown. In a manner not shown, the scanning signals U 101 , U 102 , U 103 , U 104 , U 105 , U 106 , U 107 and U 108 are weighted differently depending on the control signal SS . In a known manner, the 0 ° scanning signals U 101 , U 103 , U 105 and U 107 are added after the weighting and thus averaged. Likewise, the 90 ° scanning signals U 102 , U 104 , U 106 and U 108 are added after the weighting and thus averaged. At the output of a control element, not shown, two signals are then phase-shifted by 90 ° relative to one another for further processing.

Zur Überprüfung der Phasenlage der Abtastsignale U 101, U 103, U 105, U 107 und U 102, U 104, U 106, U 108 ist eine Prüfschaltung P vorgesehen. In der Prüf­ schaltung P ist ein Differenzbildungs-Baustein D 101 enthalten, in dem die Differenz der beiden 0°- Ab­ tastsignale U 101 und U 103 der räumlich um 180° zu­ einander versetzten Abtasteinrichtungen 101 und 102 gebildet wird. In einem weiteren Differenzbildungs- Baustein D 102 wird die Differenz der beiden Abtast­ signale U 102 und U 104 gebildet. Ebenso dienen die zwei Differenzbildungs-Bausteine D 103 und D 104 zur Bildung der Differenz der Abtastsignale U 105 und U 107 sowie U 106 und U 108. Die so erzeugten Diffe­ renzsignale U 111, U 112, U 113 und U 114 werden mit­ tels Betragsbildungs-Bausteinen B 111, B 112, B 113 und B 114 vollweggleichgerichtet und die Ausgangs­ signale U 121, U 122, U 123 und U 124 addiert. Das so entstehende oberwellenbehaftete Fehlersignal G 10 liegt an einem Differenzbildungs-Baustein D 110 an.A test circuit P is provided to check the phase position of the scanning signals U 101 , U 103 , U 105 , U 107 and U 102 , U 104 , U 106 , U 108 . In the test circuit P , a difference-forming module D 101 is included, in which the difference between the two 0 ° - scanning signals U 101 and U 103 of the scanning devices 101 and 102 , which are spatially offset by 180 °, is formed. The difference between the two scanning signals U 102 and U 104 is formed in a further difference-forming module D 102 . Likewise, the two difference building blocks D 103 and D 104 serve to form the difference between the scanning signals U 105 and U 107 and U 106 and U 108 . The difference signals U 111 , U 112 , U 113 and U 114 generated in this way are rectified with means of absolute value building blocks B 111 , B 112 , B 113 and B 114 and the output signals U 121 , U 122 , U 123 and U 124 are added . The resulting harmonic error signal G 10 is applied to a difference building block D 110 .

Zur Bildung eines weiteren oberwellenbehafteten Fehlersignals G 20, das auch von der Exzentrizität der Teilscheibe 3 abhängig ist, sind zwei Summier­ glieder SV 101 und SV 102 vorgesehen. In dem Summier­ glied SV 101 werden alle 90°- Abtastsignale U 102, U 104, U 106 und U 108 der vier Abtasteinheiten 101, 102, 103 und 104 addiert. In dem Summierglied SV 102 werden alle 0°-Abtastsignale U 101, U 103, U 105 und U 107 addiert. Die somit erzeugten Summensignale U 131 und U 132 werden mittels der Betragsbildungs- Bausteine B 131 und B 132 vollweggleichgerichtet. Die Ausgangssignale U 141 und U 142 der Betragsbildungs- Bausteine B 131 und B 132 werden addiert und somit das Fehlersignal G 20 erzeugt. Dieses oberwellenbe­ haftete Fehlersignal G 20 wird mit dem ebenfalls oberwellenbehafteten Fehlersignal G 10 mittels eines Differenzbildungs-Bausteins D 110 verglichen und das Steuersignal SS gebildet. Durch die Differenzbil­ dung der Abtastsignale U 101, U 102, U 103, U 104, U 105, U 106, U 107 und U 108 sowie die Summenbildung verrin­ gert sich der Oberwellengehalt des Steuersignals SS.To form a further harmonic error signal G 20 , which is also dependent on the eccentricity of the index plate 3 , two summers SV 101 and SV 102 are provided. All 90 ° scanning signals U 102 , U 104 , U 106 and U 108 of the four scanning units 101 , 102 , 103 and 104 are added in the summing element SV 101 . All 0 ° scanning signals U 101 , U 103 , U 105 and U 107 are added in the summing element SV 102 . The sum signals U 131 and U 132 thus generated are fully rectified by means of the amount building blocks B 131 and B 132 . The output signals U 141 and U 142 of the absolute value building blocks B 131 and B 132 are added and thus the error signal G 20 is generated. This harmonic error signal G 20 is compared with the harmonic error signal G 10 by means of a subtraction module D 110 and the control signal SS is formed. The harmonic content of the control signal SS is reduced by the difference formation of the scanning signals U 101 , U 102 , U 103 , U 104 , U 105 , U 106 , U 107 and U 108 and the summation.

Bei der in Fig. 2 gezeigten Ausführung benötigt man nur zwei Summierglieder SV 101 und SV 102. In nicht gezeigter Weise können mittels mehrerer Sum­ mierglieder jeweils die 0°- Abtastsignale zweier um 180° zueinander versetzter Abtasteinrichtungen se­ parat summiert werden und die Summensignale mittels Betragsbildungs-Bausteine gleichgerichtet werden. Ebenso können die 90°-Abtastsignale jeweils zweier um 180° zueinander versetzter Abtasteinrichtungen separat summiert werden und die Summensignale eben­ falls gleichgerichtet werden. Alle gleichgerichte­ ten Summensignale werden zum Fehlersignal zusammen­ gefaßt. Bei vier Abtasteinrichtungen sind dies vier gleichgerichtete Summensignale.In the embodiment shown in FIG. 2, only two summing elements SV 101 and SV 102 are required. In a manner not shown, the 0 ° scanning signals of two scanning devices offset by 180 ° relative to one another can be summed separately by means of a plurality of sum elements, and the sum signals can be rectified by means of absolute value building blocks. Likewise, the 90 ° scanning signals each of two scanning devices offset by 180 ° to one another can be summed separately and the sum signals can also be rectified if they are rectified. All rectified th sum signals are combined to form the error signal. With four sampling devices, these are four rectified sum signals.

Die Wichtung kann in Stufen oder stufenlos erfolgen. Die Wichtung beinhaltet auch die Möglichkeit der Abschaltung einer Abtasteinrichtung, wobei die Ab­ tastsignale der gegenüberliegenden Abtasteinrich­ tung dann vorteilhafterweise maximal gewichtet wer­ den. Die Beeinflussung bzw. Wichtung der Abtastsi­ gnale kann auch durch eine unterschiedliche Energie­ versorgung der Abtasteinrichtungen erfolgen.The weighting can be done in steps or continuously. The weighting also includes the possibility of Switching off a scanner, the Ab tactile signals of the opposite scanner tion then advantageously weighted to a maximum the. The influencing or weighting of the scanning si gnale can also come from a different energy  supply of the scanning devices.

Die Erfindung ist bei lichtelektrischen Positions­ meßeinrichtungen, aber auch bei magnetischen, induk­ tiven oder kapazitiven Positionsmeßeinrichtungen einsetzbar.The invention is at photoelectric positions measuring devices, but also for magnetic, induc tive or capacitive position measuring devices applicable.

Claims (4)

1. Positionsmeßeinrichtung mit einer Maßverkörpe­ rung und mehreren Abtasteinrichtungen zur Er­ zeugung von zueinander phasenverschobenen Ab­ tastsignalen sowie mit einer Prüfschaltung zur Überprüfung der Phasenlage zwischen den Abtast­ signalen der verschiedenen Abtasteinrichtungen nach Hauptpatent ... (Patentanmeldung P 37 26 260.2-52), dadurch gekennzeichnet, daß von jeder Abtasteinrichtung (1, 2; 101, 102, 103, 104) ein 0°- Abtastsignal (U 1, U 3; U 101, U 103, U 105, U 107) und ein 90°-Abtastsignal (U 2, U 4; U 102, U 104, U 106, U 108) gebildet wird, daß in der Prüfschaltung (P) Differenzsignale (U 6; U 111, U 113) der 0°-Abtastsignale (U 1, U 3; U 101, U 103, U 105, U 107) je zweier um 180° räumlich zueinan­ der versetzter Abtasteinrichtungen (1, 2; 101, 102, 103, 104) sowie Differenzsignale (U 8; U 112, U 114) der 90°-Abtastsignale (U 2, U 4; U 102, U 104, U 106, U 108) je zweier um 180° räumlich zueinander versetzter Abtasteinrichtungen (1, 2; 101, 102, 103, 104) erzeugt werden, daß die Differenzsignale (U 6, U 8; U 111, U 112, U 113, U 114) zur Bildung eines Fehlersignals (G 1; G 10) verwendet werden, daß weiterhin in der Prüf­ schaltung (P) aus den Abtastsignalen (U 1, U 2, U 3, U 4; U 101, U 102, U 103, U 104, U 105, U 106, U 107, U 108) Summensignale (U 9, U 10; U 131, U 132) gebildet werden, die zur Bildung eines weiteren Fehlersignals (G 2; G 20) verwendet wer­ den, und daß aus beiden Fehlersignalen (G 1, G 2; G 10, G 20) ein Steuersignal (SS) zur ungleichen Wichtung der Abtastsignale (U 1, U 2, U 3, U 4; U 101, U 102, U 103, U 104, U 105, U 106, U 107, U 108) gebildet wird.1. Position measuring device with a Maßverkörpe tion and several scanning devices for generating He phase shifted from scanning signals and with a test circuit for checking the phase position between the scanning signals of the various scanning devices according to the main patent ... (patent application P 37 26 260.2-52), characterized that of each scanning means (1, 2; 101, 102, 103, 104) a 0 ° - sampling signal (U 1, U 3, U 101, U 103, U 105, U 107), and a 90 ° scanning signal (U 2, U 4, U 102, U 104, U 106 is formed, U 108) that in the test circuit (P) difference signals (U 6, U 111, U 113) of the 0 ° -Abtastsignale (U 1, U 3; U 101 , U 103 , U 105 , U 107 ) each two scanning devices ( 1 , 2 ; 101 , 102 , 103 , 104 ) spatially offset from one another by 180 °, as well as difference signals ( U 8 ; U 112 , U 114 ) of 90 ° -Sampling signals ( U 2 , U 4 ; U 102 , U 104 , U 106 , U 108 ) each offset by two by 180 ° ter scanning devices ( 1 , 2 ; 101 , 102 , 103 , 104 ) are generated so that the difference signals ( U 6 , U 8 ; U 111 , U 112 , U 113 , U 114 ) are used to form an error signal ( G 1 ; G 10 ) that continues in the test circuit ( P ) from the scanning signals ( U 1 , U 2 , U 3 , U 4 ; U 101 , U 102 , U 103 , U 104 , U 105 , U 106 , U 107 , U 108 ) sum signals ( U 9 , U 10 ; U 131 , U 132 ) are formed, which are used to form a further error signal ( G 2 ; G 20 ), and that from both error signals ( G 1 , G 2 ; G 10 , G 20 ) is a control signal ( SS ) for unequal weighting of the scanning signals ( U 1 , U 2 , U 3 , U 4 ; U 101 , U 102 , U 103 , U 104 , U 105 , U 106 , U 107 , U 108 ) is formed. 2. Positionsmeßeinrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Beträge der Differenzsi­ gnale (U 6, U 8; U 111, U 112, U 113, U 114) zur Bil­ dung des Fehlersignals (G 1; G 10) verwendet wer­ den, und daß weiterhin in der Prüfschaltung (P) alle 0°-Abtastsignale (U 1, U 3; U 101, U 103, U 105, U 107) zu einem Summensignal (U 9; U 132) und alle 90°- Abtastsignale (U 2, U 4; U 102, U 104, U 106, U 108) zu einem Summensignal (U 10; U 131) zusammen­ gefaßt werden, und daß die Beträge der Summensi­ gnale (U 9, U 10; U 131, U 132) zur Bildung des Feh­ lersignals (G 2; G 20) zusammengefaßt werden.2. Position measuring device according to claim 1, characterized in that the amounts of the difference signals ( U 6 , U 8 ; U 111 , U 112 , U 113 , U 114 ) for forming the error signal ( G 1 ; G 10 ) who used the , and that furthermore in the test circuit ( P ) all 0 ° scanning signals ( U 1 , U 3 ; U 101 , U 103 , U 105 , U 107 ) to form a sum signal ( U 9 ; U 132 ) and all 90 ° scanning signals ( U 2 , U 4 ; U 102 , U 104 , U 106 , U 108 ) can be combined to form a sum signal ( U 10 ; U 131 ), and that the amounts of the sum signals ( U 9 , U 10 ; U 131 , U 132 ) to form the error signal ( G 2 ; G 20 ) can be summarized. 3. Positionsmeßeinrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Beträge der Differenzsi­ gnale (U 6, U 8) zur Bildung des Fehlersignals (G 1) verwendet werden, und daß weiterhin in der Prüfschaltung (P) aus den 0°-Abtastsignalen (U 1, U 3) je zweier um 180° räumlich zueinander versetzter Abtasteinrichtungen (1, 2) sowie aus den 90°-Abtastsignalen (U 2, U 4) je zweier um 180° räumlich zueinander versetzter Abtastein­ richtungen (1, 2) ein Summensignal (U 9, U 10) erzeugt wird, und daß die Beträge dieser Summen­ signale (U 9, U 10) zur Bildung des Fehlersignals (G 2) zusammengefaßt werden.3. Position measuring device according to claim 1, characterized in that the amounts of the difference signals ( U 6 , U 8 ) are used to form the error signal ( G 1 ), and that furthermore in the test circuit ( P ) from the 0 ° scanning signals ( U 1 , U 3 ) each of two scanning devices ( 1 , 2 ) spatially offset by 180 ° and from the 90 ° scanning signals ( U 2 , U 4 ) each of two scanning devices ( 1 , 2 ) spatially offset by 180 ° Sum signal ( U 9 , U 10 ) is generated, and that the amounts of these sums signals ( U 9 , U 10 ) are combined to form the error signal ( G 2 ). 4. Positionsmeßeinrichtung nach einem der vorherge­ henden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die gewichteten 0°-Abtastsignale (U 10, U 30) zu einem Ausgangssignal (U 5) und die gewichteten 90°- Abtastsignale (U 20, U 40) zu einem Ausgangs­ signal (U 7) zusammengefaßt werden.4. Position measuring device according to one of the preceding claims, characterized in that the weighted 0 ° scanning signals ( U 10 , U 30 ) to an output signal ( U 5 ) and the weighted 90 ° scanning signals ( U 20 , U 40 ) to one Output signal ( U 7 ) can be summarized.
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