DE4103914C2 - Interferometer - Google Patents
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Description
Die Erfindung betrifft ein Interferometer.
Aus der US-A-4,744,661 ist ein integriert-optisches Inter
ferometer mit einer Laserlichtquelle, einem Strahlteiler bzw.
Strahlvereiniger, Meß- und Referenzarmen sowie Wellenleitern
zum Führen des Lichtes hin zum Strahlteiler und Zurückführen
des Lichtes hin zu Photodetektoren bekannt, wobei einem Refe
renzarm ein Phasenmodulator zugeordnet ist.
Aus der DE-36 09 507 A1 ist ein faseroptisches Mach-Zehnder-
Interferometer mit zwei lichtleitenden Fasern bekannt, die
mit einer kohärenten Lichtquelle verbunden sind. Nach Ände
rung der Länge des optischen Pfades in eine Lichtfaser werden
die Phasenwinkel für die Lichtwellen in den Fasern miteinan
der verglichen und ein entsprechendes Ausgangssignal wird
rückgekoppelt. Bei diesem Interferometer gibt es nur einen
Meßarm und einen Referenzarm.
Aus der US-A-4,865,453 ist ein integriert-optisches Inter
ferometer mit Meßarmen und Referenzarmen bekannt, wobei eine
Phasendifferenz in einem der Meßarme erzeugt wird.
Aus der DE-AS-11 54 646 ist ein Interferometer zur kontinu
ierlichen Längenmessen in einem über die Kohärenzlänge hin
ausgehenden Meßbereich bekannt. Es handelt sich dabei um ein
optisches System mit komplexem Aufbau.
Aus der GB-2 009 396 A ist ein interferometrischer Lasergyro
meter bekannt, der eine Laserquelle, eine Spule aus einer Mo
nomodenfaser und einen Detektor aufweist, um das Licht zu er
fassen, das aus der Faser und einem Richtkoppler austritt,
die durch Wellenleiter auf einem integriert-elektrooptischen
Substrat ausgebildet sind.
Aus der DE 36 15 916 A1 ist ein Lasergyroskop mit passivem
Ringresonator bekannt, das eine Halbleiter-Laserdiode auf
weist, deren Ausgang in einen Verzweigungswellenleiter gekop
pelt wird. Der Laserausgang wird zwischen den Resonanz
frequenzen der beiden Fortpflanzungsrichtungen im Ring umge
schaltet. Auch hier fehlt ein zweiter Referenzarm.
Ein Michelson-Interferometer, welches integriert-optisch auf
gebaut ist, ist in der DE-OS 38 25 606 beschrieben. Dieses
Interferometer besteht aus einer monochromatischen Laser
lichtquelle, einem Strahlteiler, einem Referenzspiegel und
einem Meßspiegel sowie Lichtleitfasern zum Führen des Lichtes
hin zum Strahlteiler und zur Rückführung des das Meßsignal
tragenden Lichts zu einem Detektor. Dabei ist der Strahltei
ler durch einen integriert-optischen, symmetrischen Koppler
in einem Glassubstrat gebildet, in dem durch strukturierten
Ionenaustausch erzeugte Wellenleiter angeordnet sind, die
zum einen den Meßarm und zum anderen den Referenzarm des In
terferometers bilden.
Der Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, ein Interfe
rometer so auszugestalten, daß es auf einfache und sichere
Weise optische Weglängenänderungen mit hoher Auflösung und
richtungsbestimmt nachweisen kann.
Die Erfindung löst diese Aufgabe mit Hilfe der Merkmale des
kennzeichnenden Teils des Anspruchs 1. Vorteilhafte Ausfüh
rungsformen der Erfindung sind Gegenstand der Unteransprüche.
Mit Hilfe des erfindungsgemäßen Interferometers können somit
sehr exakt hoch auflösende Positionsmessungen sowie Brech
zahländerungen im Meßobjekt festgestellt werden.
Bei einer vorteilhaften Ausführungsform der Erfindung können
durch die Kombination von Zählverfahren und Einseitenbandmo
dulation auch große Weglängenänderungen richtungsbestimmt
schnell angezeigt werden (Zählverfahren) und der genaue Wert
der optischen Weglängenänderung bzw. Brechzahländerung kann
erkannt werden (Einseitenbandverfahren).
Ausführungsbeispiele der Erfindung werden nun anhand der bei
liegenden Zeichnungen beschrieben. Es zeigen:
Fig. 1 den schematischen Aufbau eines integriert-opti
schen Michelson-Interferometers;
Fig. 2 das Schaltschema der Auswertelektronik;
Fig. 3 eine Variante eines Michelson-Interferometers mit
direkter Beleuchtung;
Fig. 4 eine Variante eines Michelson-Interferometers mit
passivem Phasenmodulator;
Fig. 5 ein Michelson-Interferometer mit Bragg-Reflektoren;
Fig. 6 ein Interferometer als Gassensor;
Fig. 7 ein Michelson-Interferometer mit Auskoppelgitter
in Seitenansicht;
Fig. 8 ein Michelson-Interferometer mit Auskoppelgitter
in Draufsicht;
Fig. 9 ein Refraktometer in Seitenansicht;
Fig. 10 ein Refraktometer in Draufsicht;
Fig. 11 ein Doppel-Mach-Zehnder-Interferometer als Sen
sor;
Fig. 12 ein Doppel-Mach-Zehnder-Interferometer zur Weg
messung in Seitenansicht;
Fig. 13 ein Doppel-Mach-Zehnder-Interferometer zur Weg
messung in Draufsicht.
Im folgenden wird zunächst ganz allgemein ein Ausführungsbei
spiel eines erfindungsgemäßen Michelson-Interferometers be
schrieben. Bei diesem Interferometer sind im Glassubstrat
mehrere Strahlteiler vorgesehen, so daß sich ein gemeinsamer
Arm als Meßarm und zwei Arme als Referenzarme ergeben. In dem
gemeinsamen Arm wird beispielsweise das Licht eines Helium-
Neon-Lasers über einen Wellenleiter, vorzugsweise eine Glas
faser, eingekoppelt. Hinter der Einkoppelstelle teilt sich
der Meßarm in zwei auf die Referenzarme zulaufende Wellenlei
terstrukturen auf, die im weiteren Verlauf wieder zusammenge
führt werden. Somit ergeben sich zwei Y-förmige Weichen, in
denen das Licht aufgeteilt bzw. zusammengeführt wird. Es ent
stehen somit zwei Richtkoppler (3 dB), die als Strahlteiler
dienen. Das reflektierte Licht der Referenzspiegel, die z. B.
aus auf die Wellenleiterendflächen aufgedampftem Aluminium
bestehen, interferiert mit dem vom Objektspiegel zurückgewor
fenen Licht. Die Interferenzsignale werden über an die Stirn
flächen gekoppelte Mehrmodenfasern zwei Detektoren zugeführt.
Ein thermo-optischer Modulator auf einem der beiden Refe
renzarme ermöglicht die Einstellung von 90° Phasendifferenz
zwischen beiden Referenzarmen, womit eine schnelle Vorwärts-
/Rückwärts-Erkennung erfolgt. Zur Einstellung einer 90°-Pha
senverschiebung in dem Referenzarm bieten sich mehrere Metho
den an. Eine Methode besteht darin, den thermo-optischen Mo
dulator gleichspannungsmäßig anzusteuern. Bei einer anderen
passiven Methode werden die Eigenschaften des Wellenleiters
durch gezieltes Aufbringen von Schichten, sogenannten Over
layern, beeinflußt. Das geschieht durch Auftragen von ge
eigneten Substanzen, wie z. B. Klebstoffen, oder durch Auf
dampfen bzw. Aufsputtern von z. B. Siliciumoxidschichten.
Hierdurch wird bereits bei der Herstellung des Chips die ge
wünschte Phasenverschiebung eingestellt. Bei einer weiteren
passiven Methode wird eine dünne Schicht über dem Wellenlei
ter abgetragen, um die Eigenschaften des Wellenleiters zu be
einflussen. Desweiteren können die Eigenschaften des Wellen
leiters durch Dimensionierung (Breite, Dichte) beeinflußt
werden.
Die so manipulierten Signale werden von den Detektoren zur
Auswertung der später beschriebenen Auswertelektronik zuge
führt. Dabei werden zwei Auswertungsverfahren parallel be
trieben. Das "Streifenzählen" mit orthogonalen Detektorsigna
len ist mit einer Phasenmessung durch optischen Überlage
rungsempfang kombiniert. Wegänderungen mit einer Auflösung
entsprechend einem Bruchteil der Wellenlänge (λ/n) und Rich
tungserkennung werden mit dem Quadratursignal und dem Zähl
verfahren ermittelt. Hochauflösende (z. B. λ/100) Phasen
detektion wird mit der Einseitenbandmodulation durchgeführt.
Um schnelle Bewegungen des Objektspiegels erfassen zu können,
werden die Extrema eines Detektorsignals gezählt. Dieser
Zählmodus entspricht dem Ringezählen bei einem Interferome
ter. Bei einem klassischen Aufbau ist die Bewegungsrichtung
durch das Zusammen- oder Auseinanderlaufen der Ringe bzw.
durch den Signalverlauf zweier um 1/2-Ringbreite versetzte
Detektoren zu erkennen. Bei dem integriert-optischen Aufbau
sind einmodige Wellenleiter eingesetzt und es gibt nur eine
Intensitätsmodulation. Die oben genannte passive Meßmethode
mit Richtungserkennung wird durch den einen Referenzarm er
zielt, der um 90° phasenverschoben gegenüber dem anderen ist.
Ein Detektorsignal liefert die Zählimpulse für den Zähler,
das zweite Detektorsignal ist orthogonal dazu und bestimmt
die Zählrichtung, die sich aus der Bewegungsrichtung des Meß
spiegels ergibt.
Die hochauflösende Auswertung der Spiegelposition erfolgt
mittels Einseitenbandmodulation über den thermo-optischen Mo
dulator im Meßarm des Interferometers. Durch das optische
Überlagerungsverfahren wird die optische Phasendrehung, die
proportional zur Abstandsänderung ist, in eine niederfre
quente elektrische Phasendrehung umgewandelt. Die mit einem
kommerziellen Phasenmeßgerät ermittelte Phase kann auf etwa
1° gemessen werden. Dies entspricht einer Auflösung in der
Abstandsänderung von etwa 1 nm je nach Wellenlänge.
Es wird nun genauer auf das Zählverfahren eingegangen.
Eine schnelle Vor-/Rückwärtserkennung (Richtungsdiskriminie
rung) und Meßwerterfassung wird mit dem Zählverfahren er
zielt. Vorausgesetzt wird, daß die Detektorsignale um 90°
phasenverschoben zueinander sind. Auf dem integriert-opti
schen Chip werden direkt zwei Detektorsignale erzeugt. Um de
ren Leistungskurve auf 90° Phasendifferenz zueinander zu
bringen, wird ein thermo-optischer Modulator, z. B. mit einer
Gleichleistung, betrieben. Mit einem Oszilloskop wird die
Phasendifferenz eingeregelt. Die somit orthogonal eingestell
ten Detektorsignale dienen zur Vor-/Rückerkennung bzw. Rich
tungsdiskriminierung. Das Richtungssignal wird als TTL-Signal
an den Zähler übergeben. Das Signal eines Detektors wird in
Form von Nadelimpulsen auf den Zähler gegeben. Ohne Einsei
tenbandmodulation ist diese Ausführungsform ausreichend. Wird
der Phasenschieber im oberen Referenzarm durch die oben ange
gebene passive Abstimmung ersetzt, so ist der interferometri
sche Sensor, wie bereits erwähnt, ganz ohne elektrische Zu
leitung zu betreiben.
Für die höhere Auflösung wird der Phasenschieber im Meßarm
über einen Funktionsgenerator und Verstärker angesteuert. Die
Modulation geschieht in diesem Fall mit einer Frequenz von 1
kHz. Da der Phasenschieber auf dem Meßarm des Interferometers
liegt, wirkt sich die Phasenmodulation auf beide Referenzarme
gleich aus. Der Zähler folgt dieser kHz-Modulation problem
los. Dabei werden stetig in Bruchteilen der Wellenlänge (λ/n)
entsprechenden Einheiten entsprechend der 2π-Phasenmodulation
für das Einseitenbandverfahren auf und ab gezählt. Somit
springen die letzten Digits der Anzeige des Zählers und sind
mit dem Auge nicht ablesbar. Für die Meßwertdarstellung auf
der digitalen Anzeige mit z. B. λ/n Auflösung werden die
unteren Digits getriggert von dem Funktionsgenerator in einen
Speicher geschrieben. Somit ist die Anzeige an eine defi
nierte Phase des dynamischen Phasenschiebers im Meßarm gekop
pelt.
In der Auswertungseinheit wird die Bewegungsrichtung des Meß
spiegels zusätzlich mit Leuchtdioden angezeigt, die an der
Vor-/Rückerkennung angeschlossen sind. Dieses Signal erlaubt,
in einfacher Weise Schwingungsamplitudenmessungen durchzufüh
ren, indem es auf das Gate eines Zählers gegeben wird.
Bei Einseitenbandverfahren transferiert die phasenmodulierte
Einseitenbanddetektion Amplitude und Phase eines optischen
Signals linear in eine niederfrequente Amplitude und Phase,
die getrennt voneinander gemessen werden. Bei einer ausrei
chenden Einseitenbandmodulation gibt es eine strenge Fre
quenzversetzung. Dem optischen Träger wird eine Modulation
aufgeprägt, so daß ein Seitenband gerade verschwindet. Damit
ist es möglich, die optische Phase in eine einfacher meßbare
elektrische Phase umzuwandeln.
Da die Phasenverschiebung eines thermo-optischen Modulators
nicht linear mit dem Regelsignal zusammenhängt, ist die Mög
lichkeit einer elektrischen Phasennachstellung im Meßarm des
Interferometers nicht realisiert. Nachteilig wirken sich auch
die 2π-Diskontinuitäten auf den Regler aus. Da es sich hier
um leistungsgesteuerte thermo-optische Modulatoren handelt,
ist eine Phasennachführung zu träge und die im Chip einge
brachte thermische Belastung wäre abhängig von der Meßphase.
Aus den oben genannten Gründen ist eine Auswertung der Pha
senbeziehung zwischen Meß- und Referenzarm so konzeptioniert,
daß der Einseitenbandmodulator stetig mit der gleichen An
steuerfunktion durchläuft, den Zählmodus des Interferometers
nicht stört und aufgrund der mit jeder Modulationsperiode
konstanten elektrischen Leistung das Interferometer im ther
mischen Gleichgewicht beläßt. Das Phasenmeßgerät vergleicht
die Phase des Lichts im Meßarm mit dem des Referenzarms und
zeigt dieses digital an.
Das Einseitenbandverfahren erfordert bei der angestrebten
Meßgenauigkeit eine exakte Einstellung des Phasenhubs. Bei
thermo-optischen Phasenmodulatoren muß die Modulatorkennlinie
in die Ansteuerfunktion mit eingerechnet werden.
Bei der Einseitenbandunterdrückung gibt es analoge und digi
tale Modulationsfunktionen. Auf analoge Weise läßt sich die
Einseitenbandmodulation durch eine sägezahnförmige Ansteue
rung des Modulators bewerkstelligen. Das eine Seitenband läßt
sich damit vollständig unterdrücken. Mit einem dem Detektor
nachgeschalteten Bandpaßfilter wird die zugehörige Frequenz
ausgefiltert. Ist die Einseitenbandunterdrückung nicht voll
ständig, so verringert dies die Genauigkeit der Phasenmes
sung. Bei diesem analogen Verfahren muß der Spitzenphasenhub
sehr genau eingehalten werden, um eine ausreichend hohe Ein
seitenbandunterdrückung einzuhalten und damit eine hohe Ge
nauigkeit zu erzielen.
Diese sägezahnförmige Modulationsfunktion kann aber auch
durch eine treppenförmige digitale Modulationsfunktion mit
einer 2π-Phasendrehung innerhalb einer Periode ersetzt wer
den. Digitale Ansteuerfunktionen haben den Vorteil, mit Pro
zessorsteuerungen realisierbar zu sein.
Darüberhinaus gibt es digitale Modulationsfunktionen, die mä
anderförmig um eine Sägezahnkurve verlaufen und somit Abwei
chungen des Spitzenphasenhubs vom Optimalwert tolerieren.
Diese Funktion ist deutlich unempfindlicher gegenüber Abwei
chungen vom optimalen Funktionsverlauf.
In der Auswertelektronik sind die Modulationsspannungen der
einzelnen Stufen einstellbar, die dann alternierend auf den
Phasenmodulator geschaltet werden. Die Wiederholfrequenz be
trägt dabei 1 kHz. Eine freie Einstellbarkeit der Ansteuer
stufen für die thermo-optischen Modulatoren geschieht entwe
der durch einen Potentiometerabgleich für jede Stufe und den
entsprechenden Phasenhub oder durch einen Prozessor mit D/A-
Wandler und software-gesteuerter Stufenfunktion. Damit wird
man dem Verhalten des thermo-optischen Modulators gerecht.
Zum einen ist die optische Phasendrehung proportional zur
eingespeisten elektrischen Leistung und damit proportional
zum Quadrat der angelegten Spannung, zum anderen kann der Wi
derstand der Heizelektrode temperaturunabhängig sein. Mit
einstellbaren Stufen können geeignet vorverzerrte Signale des
Funktionsgenerators herangezogen werden.
Im folgenden werden die in den Figuren gezeigten Ausführungs
beispiele im einzelnen beschrieben.
Die Ausführungsform des Interferometers nach Fig. 1 weist ein
Glassubstrat 1 auf. Auf die Stirnseite 2 des Substrats 1 sind
drei Lichtleitfasern 3, 4 und 5 angekoppelt, z. B. aufgeklebt,
wobei die Lichtleitfaser 4 als Einkoppelfaser für das von ei
nem Laser stammende Licht dient und die Lichtleitfasern 3 und
5 zu je einem Photodetektor führen. Im Substrat 1 wird das
Licht in Wellenleitern 6, 7 und 8 geführt, die durch einen
feldunterstützten Kalium-Ionenaustausch hergestellt wurden.
Der Ionenaustausch wird mit einem unterstützenden elektri
schen Feld von z. B. 50 V/mm und bei einer Temperatur von
450°C durchgeführt. Der Ionenaustausch mit typischen Aus
tauschzeiten von 10 sec verläuft ladungskontrolliert, um
eine reproduzierbare Wellenleiterherstellung zu gewährlei
sten. Die Streifenwellenleiter sind für den einwelligen Be
trieb bei der Wellenlänge = 0,633 µm ausgelegt. Der Wellen
leiter 7 teilt sich bei 9 in zwei Arme, die sich bei 10 und
11 den Wellenleitern 6 und 8 nähern und bei 12 wieder zusam
mengeführt werden. Der Meßarm 7₁ des Wellenleiters 7 endet
an der Stirnfläche 13 des Substrats 1 vor einer Gradienten-
Indexlinse 14, die direkt auf die Endfläche des Meßarms 7₁
geklebt ist, um das Licht zu kollimieren. Im Abstand von der
Linse ist der Objektspiegel 15 aufgestellt. Die Wellenleiter
6 und 8 nähern sich bei 10 und 11 dem Wellenleiter 7. Die Re
ferenzarme 6₁ und 8₁ der Wellenleiter 6 und 8 enden an der
Stirnfläche 13 des Substrats 1 vor auf die Stirnfläche 13
aufgedampften Referenzspiegeln 16 und 17. Das vom Laser kom
mende, durch die Lichtleitfaser 4 in den Wellenleiter 7 ein
gekoppelte Licht wird in den beiden Richtkopplern 10 und 11
geteilt. Das reflektierte Licht der Referenzspiegel 16 und 17
interferiert mit dem vom Objektspiegel zurückgeworfenen
Licht. Die Interferenzsignale werden über die an die Stirn
fläche gekoppelten Mehrmodenfasern den beiden Photodetektoren
zugeführt. Ein thermo-optischer Modulator 18 auf dem Refe
renzarm 6₁ ermöglicht die Einstellung von 90° Phasendifferenz
zwischen den beiden Referenzarmen 6₁ und 8₁, womit eine
schnelle Vorwärts-/Rückwärts-Erkennung erfolgen kann. Auf dem
Meßarm 7₁ ist in Höhe des thermo-optischen Modulators 18 ein
weiterer thermo-optischer Modulator 19 für hochauflösende
Messungen mittels Phasenmodulation und Einseitenbanddetektion
aufgebracht. Die Heizelektroden der thermo-optischen Modula
toren 18 und 19 bestehen aus einer 400 nm dicken, aufge
dampften Aluminiumschicht. Die Elektroden werden photolitho
graphisch strukturiert mit einer Leiterbreite von 4 µm, einer
Länge von 7 mm und einem Abstand von 6 µm zueinander.
Die von den Lichtleitphasern 3 und 5 den Photodetektoren 20
und 21 zugeführten Signale werden mit Hilfe einer Auswert
elektronik, die in Fig. 2 schematisch dargestellt ist, weiter
verarbeitet. Beide Detektorsignale werden in den Verstärkern
22 und 23 vorverstärkt und auf je einen Impulsformer 24, 25
(Schmitt-Trigger) gegeben, in denen die ankommenden Signale
in Rechteckimpulse umgeformt werden. In einem Richtungsdis
kriminator 27 wird das Signal von einem der beiden Impulsfor
mer 24, 25 in Nadelimpulse umgewandelt und auf einen Zähler
28 gegeben. Durch Vergleich der Signale der beiden Impulsfor
mer 24, 25 bestimmt der Richtungsdiskriminator 27, ob es sich
bei der Verschiebung des Spiegels um eine Vor- oder Rückbewe
gung handelt, und gibt ein Signal V/R an den Zähler 28.
Für die höhere Auflösung wird der thermo-optische Modulator
19 über einen Funktionsgenerator 29 und einen nachgeschalte
ten Verstärker 30 angesteuert. Da der Modulator 19 auf dem
Meßarm 7₁ des Interferometers liegt, wirkt sich die Phasenmo
dulation auf beide Referenzarme 6₁, 8₁ gleich aus. Die Modu
lation geschieht in diesem Falle mit einer Frequenz von 1
kHz, der der Zähler 28 problemlos folgen kann. Dabei wird
stetig λ/n Einheiten entsprechend der 2π-Phasenmodulation
für das Einseitenbandverfahren auf- und abgezählt.
Für die Meßwertdarstellung auf einer digitalen Anzeige 31 mit
λ/n Auflösung werden die beiden unteren Digits getriggert vor
dem Funktionsgenerator 29 in einen Speicher 32 geschrieben.
Somit ist die Anzeige an eine definierte Phase des dynami
schen Phasenschiebers, d. h. des thermo-optischen Modulators,
19 gekoppelt. Die Frequenzversetzung im Meßarm 7₁ geschieht
mit Hilfe des thermo-optischen Modulators 19 mittels Einsei
tenbandmodulation. Die Modulation erfolgt derart, daß in dem
erzeugten Spektrum um die Trägerfrequenz herum von einem Sei
tenbandpaar eines verschwindet. Dabei gibt es für die Einsei
tenbandunterdrückung analoge und digitale Modulationsfunk
tionen. Auf analoge Weise läßt sich die Einseitenbandmodula
tion durch eine sägezahnförmige Ansteuerung des Modulators 19
bewerkstelligen. Ein Seitenband läßt sich damit vollständig
unterdrücken. Mit einem dem Detektor 21 nachgeschalteten
Bandpaßfilter 33 wird die zugehörige Frequenz ausgefiltert.
Die sägezahnförmige Modulationsfunktion kann aber auch durch
eine treppenförmige digitale Modulationsfunktion mit einer
2π-Phasendrehung innerhalb einer Periode ersetzt werden.
In der Auswertelektronik sind die Modulationsspannungen der
einzelnen Stufen einstellbar, die dann alternierend auf den
Phasenmodulator 19 geschaltet werden. Die Wiederholfrequenz
beträgt dabei 1 kHz. Ein Phasenmeßgerät 34, das ebenfalls mit
dem Funktionsgenerator 29 verbunden ist, vergleicht die Phase
des Lichts im Meßarm 7₁ mit der des Referenzarms 8₁ und
zeigt diese digital in der Anzeigeeinrichtung 35 an.
Die in Fig. 2 dargestellte Regelung 36 dient bei dem Einsei
tenbandverfahren dazu, exakte Rechteckimpulse zu erzeugen,
indem sie die Impulsformer bzw. Verstärker nachregelt.
Die Anzeige 31 zeigt somit richtungsbestimmt die Veränderung
des optischen Wegs in λ/n Genauigkeit an, während die An
zeige 35 den genauen Zwischenwert hinzufügt. Durch einen Mi
kroprozessor können die beiden Anzeigen 31 und 35 zu einer
einzigen Anzeige kombiniert werden.
Eine weitere Ausgestaltung der Erfindung ergibt sich, wenn
auf dem Meßarm 7₁ ein Fenster ausgebildet ist, das eine
Schicht trägt, welche chemisch beeinflußbar ist. Hierdurch
gelingt der direkte Nachweis bestimmter Gase. Eine derartige
Anordnung ist zwar bei einem Mach-Zehnder-Interferometer
schon bekannt, bei dieser Vorrichtung besteht jedoch der
Nachteil, daß nicht zu sehen ist, ob der Brechungsindex zu-
oder abnimmt. Mit Hilfe des beschriebenen Aufbaus des Inter
ferometers ist es jedoch möglich, auch dies genau zu bestim
men.
Fig. 3 zeigt eine Variante des erfindungsgemäßen Interferome
ters. Im Gegensatz zur Ausführung nach Fig. 1 sind eine
Lichtquelle 50 und die Photodetektoren 21, 21 direkt an der
Stirnseite 2 des Substrats 1 angebracht.
Im Ausführungsbeispiel nach Fig. 4 erfolgt die Einstellung
der Phasendifferenz zwischen den beiden Referenzarmen 6₁, 8₁
passiv durch eine auf den Referenzarm 6₁ aufgebrachte trans
parente Schicht 51. Hierfür kommen z. B. aufgedampfte oder
aufgesputterte anorganische Schichten, wie SiO₂, MgF₂, ebenso
in Frage wie Polymere. Den gleichen Effekt erzielt man durch
Abtragen einer definierten Schicht 51 über dem Referenzarm
6₁.
Fig. 5 zeigt ein weiteres Ausführungsbeispiel eines Michel
son-Interferometers, bei dem statt der stirnseitigen Spiegel
16, 17 an den Referenzarmen 6₁, 8₁ sogenannte Bragg-Gitter
52, 53, wie sie z. B. auch in Laserdioden Verwendung finden,
auf die Referenzarme 6₁, 8₁ aufgebracht sind. Die gewünschte
Phasendifferenz zwischen den Referenzarmen 6₁, 8₁ wird hier
bei über die unterschiedlichen Positionen der Bragg-Gitter
52, 53 und damit über die unterschiedliche Länge der Refe
renzarme 6₁, 8₁ eingestellt.
Eine unterschiedliche optische Länge der beiden Referenzarme
6₁, 8₁ läßt sich, wie in Fig. 6 schematisch dargestellt, auch
über eine unterschiedliche Breite der Referenzarme 6₁, 8₁ er
reichen. Der Referenzarm 6₁ ist in dem Beispiel von Fig. 6
breiter als der Referenzarm 8₁. Da der für die Lichtausbrei
tung im Wellenleiter maßgebliche effektive Brechungsindex
von der Breite der Wellenleiter abhängt, haben die beiden Re
ferenzarme 6₁, 8₁ trotz gleicher geometrischer Längen unter
schiedliche optische Längen. Fig. 6 zeigt außerdem die Ver
wendung eines Ausführungsbeispiels des erfindungsgemäßen In
terferometers vom Michelson-Typ als Sensor, z. B. für Gas. Die
geometrische Länge des Meßarms 7₁ bleibt hier konstant. Der
bei dem oben beschriebenen Ausführungsbeispiel verwendete Re
flektor am Ende des Meßarms 7₁ ist ein feststehendes Bragg-
Gitter 55 auf dem Meßarm 7₁ ersetzt. Eine auf den Meßarm 7₁
aufgebrachte Sensorschicht 54 verändert je nach Konzentration
eines zu messenden Gases oder einer zu messenden Flüssigkeit
ihren Brechungsindex und verursacht somit eine Änderung der
optischen Weglänge im Meßarm 7₁, die detektiert wird.
Fig. 7 und 8 zeigen eine weitere Ausführungsform für ein In
terferometer vom Michelson-Typ. Die Laser-Lichtquelle 50 wird
über eine Gradientenindexlinse 56 (sog. GRIN-Linse) in den
Wellenleiter 7 eingekoppelt. Die Photodetektoren 20, 21 sind
in diesem Fall nicht an der Stirnseite 2 des Substrats 1 an
geklebt, sondern flächig auf die Wellenleiter 6, 8 aufge
bracht. Die Auskopplung des Lichts in die von dem Substrat 1
und dem Reflektor 15 begrenzte Meßstrecke erfolgt hier nicht
über eine stirnseitig angebrachte Kollimatoroptik 14, sondern
mit Hilfe eines planaren fokussierenden Gitters 57. Dieses
Gitter 57, das z. B. aus TiO₂ gebildet ist, formt das aus dem
Meßarm 7₁ austretende Licht in ein kollimiertes Lichtbündel
um, das nach Reflexion am Meßspiegel 15 über das gleiche Git
ter 57 wieder in den Meßarm 7₁ eingekoppelt wird.
Fig. 9 und 10 zeigen eine Anwendung einer Ausführungsform des
erfindungsgemäßen Interferometers als Refraktometer, mit dem
der Brechungsindex der umgebenden Luft gemessen werden kann.
Die geometrische Länge der Meßstrecke, die aus dem Meßarm 7₁,
der Kollimatorlinse 14, einer Luftstrecke und einem festen
Endspiegel 58 besteht, bleibt konstant. Der Endspiegel 58 er
streckt sich über die Enden der Reflektorarme 6₁ und 8₁. Eine
Änderung des Brechungsindex der Luft führt zu einer Änderung
der optischen Weglänge im Meßarm 7₁, ohne die Referenzarme
6₁, 8₁ zu beeinflussen. Mit der gemessenen Änderung der opti
schen Weglänge kann eindeutig die Änderung des Brechungsindex
der Luft bestimmt werden.
Fig. 11 zeigt eine Ausführung des erfindungsgemäßen Interfe
rometers als Mach-Zehnder-Interferometer mit zwei Referenzar
men 6₁, 8₁. In einem Strahlteiler 59 wird das Licht auf den
Meßarm 7₁ und die beiden Referenzarme 6₁, 8₁ aufgeteilt. Auch
hier wird die Phasendifferenz zwischen den beiden Referenzar
men 6₁, 8₁ wieder mit Hilfe eines aktiven (z. B. thermo-opti
schen) oder passiven (transparente Schicht) Phasenmodulators
18 eingestellt. Die zu messende Größe, wie z. B. die Gaskon
zentration bei Verwendung als Gassensor, wirkt über die Sen
sorschicht 54 auf die optische Weglänge des mittleren Meßarms
7₁. Das Licht des Meßarms 7₁ wird durch einen Strahlteiler 60
aufgespalten und interferiert mit je einem Richtkoppler 61,
62 mit dem Licht des entsprechenden Referenzarms 6₁, 8₁. Je
der Richtkoppler 61, 62 weist zwei Ausgänge auf, deren Licht
Photodetektoren 63, 64, 65, 66 zugeführt wird. Auf diese Wei
se erhält man Gegentaktsignale, die (durch Subtraktion) vor
teilhaft zur Unterdrückung eines Gleichlichtanteils genutzt
werden können. Genauso ist aber auch statt dieser beiden
Richtkoppler 61, 62 je ein einfacher Strahlvereiniger für den
Meßarm 7₁ und die Referenzarme 6₁, 8₁ in Verbindung mit nur
einem Photodetektor möglich.
Fig. 12 und 13 zeigen ein Doppel-Mach-Zehnder-Interferometer
ähnlich zu Fig. 11, das aber in diesem Fall zur Wegmessung
dient. Ein erstes Koppelgitter 57 formt das Licht des Meßarms
7₁ in ein kollimiertes Strahlenbündel um, das von einem Meß
reflektor 15 seitlich versetzt reflektiert wird und über ein
zweites fokussierendes Gitter 67 wieder in den Meßarm 7₁ ein
gekoppelt wird. Auf diese Weise kann die Position des Meßre
flektors 15 bestimmt werden.
Die Erfindung ist in mehrfacher Hinsicht nicht auf die spe
ziellen technischen Mittel beschränkt, die im Zusammenhang
mit den Ausführungsbeispielen beschrieben wurden. So muß für
die Lichtquelle des Interferometers nicht unbedingt eine La
serlichtquelle verwendet werden. Bekanntlich besteht eine Be
ziehung zwischen der durch das Interferometer zu messenden
Weglänge und der Koherenzlänge des Lichts der verwendeten
Lichtquelle. In vielen Anwendungsfällen hat daher beispiels
weise das Licht von sogenannten Superlumineszenzdioden eine
ausreichend lange Koherenzlänge, um die Messung durchführen
zu können. Je nach Anwendungsfall können auch andere Licht
quelle mit einem Licht mit hinreichender Koherenzlänge ver
wendet werden. Für das Substrat und die daran ausgebildeten
Wellenleiter können auch andere Materialien als Glas mit
durch Ionenaustausch hergestellten Wellenleitern verwendet
werden. Beispielsweise können Lithiumniobat als Substrat, wo
bei die Wellenleiter in diesem Kristallen durch Titan-Eindif
fusion oder Protonenaustausch erzeugt worden sind, III-V-
Halbleiter als Substrat, in denen die Wellenleiter, ein
schließlich sogenannter Reb-Waveguides, durch Dotierung her
gestellt worden sind, oder Halbleitersubstrate, beispielswei
se aus Silizium, als Substrat verwendet werden, auf dem die
Wellenleiter über einer Oxidschicht, beispielsweise Silizium
oxid, durch Glas oder ein organisches Material gebildet sind.
Anstelle der im Zusammenhang mit den Ausführungsbeispielen
erwähnten thermo-optischen Phasenmodulatoren können auch
elektro-optische Phasenmodulatoren verwendet werden, wenn das
Material des zu beeinflussenden Wellenleiters elektro-optisch
aktiv ist, d. h. einen für die Phasenmodulation hinreichenden
elektro-optischen Effekt zeigt, wenn ein elektrisches Feld an
den Wellenleiter angelegt wird. Das elektrische Feld wird in
diesen Fällen durch zwei Elektroden erzeugt, zwischen denen
der Wellenleiter verläuft und die an einer Spannungsquelle
angeschlossen sind. Derartige elektro-optische Phasenmodula
toren eignen sich beispielsweise mit den vorstehend erwähnten
Wellenleitern, die durch Titan-Eindiffusion oder Protonenaus
tausch an Lithiumniobat-Kristallen oder durch die Dotierung
von III-V-Halbleitern erzeugt worden sind. Schließlich wurden
insbesondere im Zusammenhang mit dem ersten Ausführungsbei
spiel Lichtleitfasern als Wellenleiter zwischen dem Interfe
rometer und den Photodetektoren beschrieben. Zu diesem Zweck
können jedoch auch Wellenleiter, wie sie im Zusammenhang mit
dem Interferometer-Chip beschrieben wurden, verwendet werden.
Claims (35)
1. Interferometer mit einer Lichtquelle, vorzugsweise
einer monochromatischen Laserlichtquelle, mit einem
Strahlteiler und einem Strahlvereiniger, mit einem in
Richtung des von der Lichtquelle ausgehenden Lichtes
gesehen hinter dem Strahlteiler liegenden Meßarm, mit
Photodetektoren sowie mit Wellenleitern zum Führen
des Lichts der Lichtquelle hin zum Strahlteiler und
zum Führen des Lichts hin zu den Photodetektoren, wo
bei der Strahlteiler und der Strahlvereiniger durch
integriert-optische Elemente an einem Substrat gebil
det sind, wobei auf dem Meßarm ein am Substrat vorge
sehener, ansteuerbarer Phasenmodulator angeordnet
ist, der die Phase des im Meßarm geführten Lichtes
beeinflußt, wobei neben dem Meßarm (7₁) wenigstens
zwei Referenzarme (6₁, 8₁) vorgesehen sind, die in
Richtung des von der Lichtquelle ausgehenden Lichtes
gesehen hinter dem Strahlteiler liegen, und wobei
durch unterschiedliche optische Längen der Refe
renzarme eine Phasendifferenz zwischen den beiden Re
ferenzarmen eingestellt ist, und wobei an den
Photodetektoren (20, 21) eine Auswertelektronik zur
vorzeichenrichtigen Bestimmung der Änderung der opti
schen Weglänge im Meßarm (7₁) angeschlossen ist, und
wobei sowohl der Meßarm als auch die Referenzarme
Wellenleiter aufweisen.
2. Interferometer nach Anspruch 1, dadurch gekennzeich
net, daß der Phasenmodulator ein thermo-optischer
oder elektro-optischer Modulator ist.
3. Interferometer nach Anspruch 1, dadurch gekennzeich
net, daß auf zumindest einem der Referenzarme (6₁
oder 8₁) ein weiterer Phasenmodulator angeordnet ist.
4. Interferometer nach Anspruch 1 oder 2, dadurch ge
kennzeichnet, daß ein Phasenmodulator durch eine
Gleichspannung oder einen Gleichstrom betrieben wird.
5. Interferometer nach Anspruch 4, dadurch gekennzeich
net, daß die Spannungs- oder Stromversorgung des wei
teren Phasenmodulators zur Erzielung einer konstanten
Phasenverschiebung zwischen den Referenzarmen (6₁,
8₁) regelbar ist.
6. Interferometer nach einem der Ansprüche 1 bis 5, da
durch gekennzeichnet, daß das Licht der Lichtquelle
unter Verwendung von Lichtleitfasern zum Strahlteiler
und/oder Licht unter Verwendung von Lichtleitfasern
zu den Photodetektoren geführt ist.
7. Interferometer vom Typ eines Michelson-Interferometers
nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Meß
arm (7₁) und die Referenzarme (6₁, 8₁) jeweils durch
einen Reflektor (15, 16, 17; 52, 53, 55; 58) begrenzt
sind.
8. Interferometer nach Anspruch 7, dadurch gekennzeich
net, daß die Reflektoren im Meß- und Referenzarm
durch Spiegel (15, 16, 17, 58) gebildet sind.
9. Interferometer nach Anspruch 7, dadurch gekennzeich
net, daß die Reflektoren im Meß- und Referenzarm
durch Bragg-Gitterreflektoren (52, 53, 55) gebildet
sind.
10. Interferometer nach einem der Ansprüche 1 bis 9, da
durch gekennzeichnet, daß die Wellenleiter durch
strukturierten Ionenaustausch in einem Substrat aus
Glas gebildet sind.
11. Interferometer nach Anspruch 1 und 10, dadurch ge
kennzeichnet, daß zur Einstellung der Phasendifferenz
von der Glassubstratschicht über einem zu einem Refe
renzarm gehörenden Wellenleiter eine Schicht de
finierter Dicke abgetragen ist.
12. Interferometer nach einem der Ansprüche 1 bis 9, da
durch gekennzeichnet, daß die Wellenleiter durch Ti
tan-Eindiffusion oder Protonenaustausch auf einem
kristallinen Lithiumniobat-Substrat ausgebildet sind.
13. Interferometer nach einem der Ansprüche 1 bis 9, da
durch gekennzeichnet, daß die Wellenleiter durch Do
tierung auf einem III-V-Halbleitersubstrat ausgebil
det sind.
14. Interferometer nach einem der Ansprüche 1 bis 9, da
durch gekennzeichnet, daß Wellenleiter aus Glas oder
einem organischen Material auf einem Halbleitersub
strat, ggf. unter Einfügung einer Zwischen-Oxid-
Schicht, ausgebildet sind.
15. Interferometer nach Anspruch 1, dadurch gekennzeich
net, daß auf dem Substrat im Bereich eines zu einem
Referenzarm gehörenden Wellenleiters ein den Bre
chungsindex änderndes Material in Form einer Schicht
aufgetragen ist.
16. Interferometer nach Anspruch 15, dadurch gekennzeich
net, daß das den Brechungsindex ändernde Material ein
organisches Material ist.
17. Interferometer nach Anspruch 16, dadurch gekennzeich
net, daß die Schicht aus aufgedampftem und/oder auf
gesputtertem anorganischem Material besteht.
18. Interferometer nach Anspruch 15 oder 17, dadurch ge
kennzeichnet, daß das Material eine Siliziumoxid-
Schicht ist.
19. Interferometer nach Anspruch 1, dadurch gekennzeich
net, daß das aus dem Wellenleiter des Meßarms (7₁)
austretende Licht mittels einer Linse (14) kollimiert
und auf einen Reflektor (15) am zu messenden Objekt
gerichtet wird.
20. Interferometer nach Anspruch 19, dadurch gekennzeich
net, daß die Linse (14) eine Gradienten-Index-Linse
ist.
21. Interferometer nach Anspruch 1, dadurch gekennzeich
net, daß das aus dem Wellenleiter des Meßarms (7₁)
austretende Licht mittels eines fokussierenden Git
ters kollimiert ausgekoppelt und auf einen Reflektor
(15) am zu messenden Objekt gerichtet ist.
22. Interferometer nach Anspruch 1, dadurch gekennzeich
net, daß für den Meßarm und die Referenzarme ein ge
meinsamer Reflektor (58) an der Stirnseite des Sub
strats angebracht ist.
23. Interferometer nach Anspruch 1, dadurch gekennzeich
net, daß das Interferometer ein Mach-Zehnder-
Interferometer ist, und daß die Wellenleiter der Re
ferenzarme und des Meßarms in Form von Mehrfach-Kopp
lern enden, wobei an deren Ausgängen zueinander pha
senverschobene Signale detektierbar sind.
24. Interferometer nach Anspruch 23, dadurch gekennzeich
net, daß die Koppler als Zweifach-Richtkoppler (61,
62) ausgebildet sind, und daß an deren Ausgängen um
etwa 180° zueinander phasenverschobene Signale detek
tierbar sind.
25. Interferometer nach Anspruch 1, dadurch gekennzeich
net, daß im Meßarm das Licht mittels eines ersten fo
kussierenden Gitters (57) kollimiert ausgekoppelt und
auf einen Reflektor (15) am zu messenden Objekt ge
richtet, dort reflektiert und mittels eines zweiten
fokussierenden Gitters (67) wiederum in den Wellen
leiter des Meßarms (7₁) eingekoppelt wird.
26. Interferometer nach Anspruch 25, dadurch gekennzeich
net, daß der Reflektor am zu messenden Objekt ein re
tro-reflektierendes Element (15) ist.
27. Interferometer nach einem der Ansprüche 1 bis 26, ge
kennzeichnet durch den Photodetektoren nachgeschal
tete Vorverstärker (22, 23), den Vorverstärkern nach
geschaltete Impulsformer (24, 25), eine Ansteuerein
heit (30) für den Phasenmodulator (19), einen
Richtungsdiskriminator (27), einen diesem nachge
schalteten Zähler (28) und durch eine erste Anzeige
einrichtung (31).
28. Interferometer nach Anspruch 27, dadurch gekennzeich
net, daß zur Ansteuerung des thermo-optischen oder
elektro-optischen Modulators (19) ein Funktionsgene
rator (29) vorgesehen ist, welcher mit einem Phasen
meßgerät (34) verbunden ist, in welches das von einem
Photodetektor (21) kommende und in einem Bandpaßfil
ter (33) ausgefilterte Signal gelegt ist und welches
mit einer zweiten Anzeigeeinrichtung (35) verbunden
ist.
29. Interferometer nach Anspruch 28, dadurch gekennzeich
net, daß der Funktionsgenerator (29) mit einem Spei
cher (32) verbunden ist, der zwischen dem Zähler (28)
und der ersten Anzeigeeinrichtung (31) liegt.
30. Interferometer nach einem der Ansprüche 27 bis 29,
dadurch gekennzeichnet, daß zur Einseitenbandmodula
tion des Phasenmodulators (19) durch von dem Funkti
onsgenerator (29) erzeugte, sägezahnförmige Signale
angesteuert ist, und daß die Phase zwischen den säge
zahnförmigen Signalen und dem in einem Bandpaßfilter
(33) gefilterten Signal eines Photodetektors (21) ge
messen und angezeigt wird.
31. Interferometer nach Anspruch 27 oder 28, dadurch ge
kennzeichnet, daß der Modulator (19) von einer trep
penförmigen, digitalen Modulationsfunktion mit einer
2π-Phasendrehung innerhalb einer Periode angesteuert
wird.
32. Interferometer nach Anspruch 27 oder 28, dadurch ge
kennzeichnet, daß der Modulator (19) von einer digi
talen Funktion angesteuert wird, die mäanderförmig um
eine Sägezahnkurve verläuft.
33. Interferometer nach einem der Ansprüche 27 bis 29,
dadurch gekennzeichnet, daß die Wiederholfrequenz der
den Modulator (19) ansteuernden Funktion 1 kHz be
trägt.
34. Interferometer nach einem der vorhergehenden Ansprü
che, dadurch gekennzeichnet, daß das im Meßarm ge
führte Licht mittels des Phasenmodulators periodisch
in der Phase beeinflußt wird.
35. Interferometer nach Anspruch 34, dadurch gekennzeich
net, daß die Einstellung von Einsteuerstufen für den
Phasenmodulator entweder durch einen Potentiometerab
gleich für jede Stufe und den entsprechenden Phasen
hub oder durch einen Mikroprozessor mit Digi
tal/Analog-Wandler und software-gesteuerter Stufen
funktion erfolgt.
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