DE4138020A1 - Microscope system for increasing light transmission through grid - has lens raster projecting congruent light source raster in intermediate image raster to improve contrast - Google Patents

Microscope system for increasing light transmission through grid - has lens raster projecting congruent light source raster in intermediate image raster to improve contrast

Info

Publication number
DE4138020A1
DE4138020A1 DE19914138020 DE4138020A DE4138020A1 DE 4138020 A1 DE4138020 A1 DE 4138020A1 DE 19914138020 DE19914138020 DE 19914138020 DE 4138020 A DE4138020 A DE 4138020A DE 4138020 A1 DE4138020 A1 DE 4138020A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
grid
arrangement according
lens
light source
light
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
DE19914138020
Other languages
German (de)
Inventor
Burkhard Dr Neumann
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Individual
Original Assignee
Individual
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Individual filed Critical Individual
Priority to DE19914138020 priority Critical patent/DE4138020A1/en
Publication of DE4138020A1 publication Critical patent/DE4138020A1/en
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B21/00—Microscopes
    • G02B21/06—Means for illuminating specimens
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B19/00—Condensers, e.g. light collectors or similar non-imaging optics
    • G02B19/0004—Condensers, e.g. light collectors or similar non-imaging optics characterised by the optical means employed
    • G02B19/0009—Condensers, e.g. light collectors or similar non-imaging optics characterised by the optical means employed having refractive surfaces only
    • G02B19/0014—Condensers, e.g. light collectors or similar non-imaging optics characterised by the optical means employed having refractive surfaces only at least one surface having optical power
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B19/00—Condensers, e.g. light collectors or similar non-imaging optics
    • G02B19/0033—Condensers, e.g. light collectors or similar non-imaging optics characterised by the use
    • G02B19/0047—Condensers, e.g. light collectors or similar non-imaging optics characterised by the use for use with a light source

Abstract

The system measures light transmission through a perforated grid (7) for optical contrast. The grid (7) is arranged in an intermediate image plane of an optical beam path of a microscope and is illuminated such that a greater proportion of light from a light source (1) can pass through the perforated screen of the grid plate (7). A lens grid (3) with a lens system is accurately aligned with the grid (7). The lens grid (3) depicts a light source frame from the source (1) which is congruent with the screen. A lens system (5) aligns the source frame with the grid (7) so the light beams from the lenses are accurately guided through the holes. The light source (1) may be a high pressure Hg-, Xe- or Hg-Xe lamp and the intermediate images in the binocular tube are evaluated electronically using a video camera (34). USE/ADVANTAGE - Achieves high quality results for probes, flourescence and polarising microscopes. Can be easily integrated into known optical instruments.

Description

Ein in der Zwischenbildebene eines Mikroskops angeordnetes Lochraster soll derart beleuchtet werden, daß ein möglichst hoher Lichtanteil einer Lichtquelle durch die Lochblenden der Lochrasterscheibe hindurchtreten kann, daß die Lochblenden innerhalb des Leuchtfeldes jeweils mit der gleichen Bestrahlungsstärke beleuchtet werden, daß die jeder einzelnen Lochblende zugeordneten Hauptstrahlen auf den Mittelpunkt der Eintrittspupille des Mikroskopobjektivs gerichtet sind.One arranged in the intermediate image plane of a microscope Hole pattern should be illuminated in such a way that a possible high proportion of light from a light source through the pinhole can pass through the perforated screen that the pinhole within the illuminated field with the same Irradiance levels are illuminated that each one Pinhole assigned main rays to the center the entrance pupil of the microscope objective.

Es ist bekannt, zur Erfüllung dieser Erfordernisse die Lochrasterscheibe homogen auszuleuchten. Hierzu wird vorgeschlagen (DE-OS 23 60 197) die von einer Lichtquelle ausgehende Strahlung zunächst mit einer Linse in die Öffnung einer Lochblende zu fokussieren und mittels einer weiteren Linse in eine auf der Objektivlinse konvergierende Strahlung umzuwandeln. Die Abtastlochblende liegt bei dieser Anordnung zwischen der zweiten Linse und der Objektivlinse, so daß die Strahlung die Abtastlochblende homogen ausleuchtet.It is known to meet these requirements, the perforated grid illuminate homogeneously. This is suggested (DE-OS 23 60 197) the outgoing from a light source radiation first with a lens in the opening of a pinhole focus and by means of another lens into one on the Converting objective lens converging radiation. The In this arrangement, the scanning pinhole is between second lens and the objective lens so that the radiation homogeneously illuminates the scanning pinhole.

Auch in anderen bekannten Mikroskopanordnungen mit Lochblendenraster (DE-OS 38 21 648 A1, EP 03 20 760 A2, US 48 06 004, Firmenschrift "Confocal 2002", Fa. Strojimport, Erscheinungsjahr 1988, CSFR, Seite 4, sowie Firmenschrift "TSM confocal light microscop", Fa. Tracor Northern, USA, Seite 4) wird die Beleuchtung der Lochrasterscheibe nach dem Köhlerschen Beleuchtungsverfahren durchgeführt, so daß auch bei diesen Ausführungen die Abtastlochblende gleichmäßig über das gesamte Leuchtfeld beleuchtet wird und daher der größte Lichtanteil nicht für die Ausleuchtung der einzelnen Lochblenden genutzt wird. Wenn beispielsweise das Verhältnis Öffnungsfläche zu abgedeckter Fläche der Lochrasterscheibe 1 : 100 beträgt, was durchaus realistischen Verhältnissen entspricht, um das Übersprechen des Lichtes von einer Blendenöffnung zu einer Nachbarblendenöffnung möglichst gering zu halten, so wird nur 1% des einfallenden Lichtes für die Abbildung nutzbar gemacht. Hierin ist eine wesentliche Einschränkung des ansonsten sehr wertvollen Kontrastverfahrens zu sehen. Über die Eigenschaften des konfokalen Kontrastes geben z. B. die folgenden Zitatstellen nähere Auskünfte: C. J. R. Sheppard, T. Wilson, Image formation in confocal scanning microscopes.. Optik 55, No. 4 (1980) 331-342, sowie C. J. R. Sheppard, T. Wilson, The theory of the direct-view confocal microscope. Journal of Microscopy, Vol. 124, Pt2 (1981) 107-117. Insbesondere bei sehr schwach reflektierenden Auflicht- bzw. gering transmittierenden Durchlichtproben kann ein derart hoher Lichtverlust nicht mehr akzeptiert werden. Für die Fluoreszenzmikroskopie ist diese Beleuchtung erst recht nicht einsetzbar, weil die Fluoreszenzausbeute in der Regel sehr gering ist.Also in other known microscope arrangements with pinhole grids (DE-OS 38 21 648 A1, EP 03 20 760 A2, US 48 06 004, Company font "Confocal 2002", Strojimport, year of publication 1988, CSFR, page 4, as well as company lettering "TSM confocal light microscop ", from Tracor Northern, USA, page 4) is the illumination of the perforated grid after the Koehler Illumination process carried out, so that at these versions evenly over the scanning pinhole the entire illuminated field is illuminated and therefore the largest Light component not for the illumination of the individual pinholes is being used. For example, if the ratio Opening area to covered area of the perforated screen Is 1: 100, which is quite realistic, about the crosstalk of light from an aperture to a neighboring aperture opening as little as possible hold, so only 1% of the incident light is used for imaging harnessed. Here is a major limitation of the otherwise very valuable contrast method to see. About the properties of confocal contrast give z. B. the following quotations for more information: C.J.R. Sheppard, T. Wilson, Image formation in confocal scanning microscopes .. Optik 55, No. 4 (1980) 331-342, and C.J.R. Sheppard, T. Wilson, The theory of the direct view confocal microscope. Journal of Microscopy, Vol. 124, Pt2 (1981) 107-117. Especially with very weakly reflecting Incident light or low-transmitted transmitted light samples Such a high loss of light can no longer be accepted will. This lighting is for fluorescence microscopy Certainly not usable because of the fluorescence yield is usually very low.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, trotz Verwendung einer Lochrasterscheibe in einer Zwischenbildebene des Mikroskopstrahlenganges zur Gewinnung eines speziellen optischen Kontrastes die Lichttransmission entscheidend zu erhöhen, so daß dieses Kontrastverfahren sowohl für schwach reflektierende bzw. gering transmittierende Proben als auch für die Fluoreszenz- und Polarisationsmikroskopie mit großem Erfolg eingesetzt werden kann. The invention has for its object, despite use a perforated screen in an intermediate image plane of the Microscope beam path to obtain a special optical Contrast significantly increase the light transmission, so this contrast method for both weak reflective or low-transmission samples as well for fluorescence and polarization microscopy with large Success can be used.  

Diese Aufgabe wird bei einer gattungsgemäßen Einrichtung durch die kennzeichnenden Merkmale des Anspruchs 1 gelöst. Vorteilhafte Weiterbildungen sind in den Unteransprüchen 2 bis 19 angegeben.This task is carried out in a generic facility solved by the characterizing features of claim 1. Advantageous further developments are in subclaims 2 to 19 specified.

Die erfindungsgemäße Anordnung ist einfach in bekannte optische Instrumente zu integrieren.The arrangement according to the invention is simple in known optical Integrate instruments.

Um einen möglichst großen Anteil des Lichtes aus dem Beleuchtungsstrahlenbündel für die Abbildung nutzen zu können, wird ein Linsenraster (3) benötigt, das aus dicht aneinanderliegenden Linsen (13) besteht. Bei nicht zu großer Emissionsfläche der Lichtquelle (1) werden von den einzelnen Linsen (13) des Linsenrasters diskrete Lichtquellenbilder in der Ebene (17) erzeugt.In order to be able to use the largest possible proportion of the light from the illuminating beam for imaging, a lenticular grid ( 3 ) is required, which consists of lenses ( 13 ) lying close together. If the emission area of the light source ( 1 ) is not too large, discrete light source images are generated in the plane ( 17 ) by the individual lenses ( 13 ) of the lenticular screen.

Die Lichtquellenbilder (12) werden mit einer Linse bzw. Linsensystem (5) auf ein Lochraster (7) abgebildet, wobei die Lochblendenanordnung genau der geometrischen Anordnung der Lichtquellenbilder entspricht, so daß der Lichtstrom gezielt durch die Lochblenden geführt wird. Damit eine möglichst homogene Objektausleuchtung erhalten wird, müssen die Lichtquellenbilder sehr genau auf die Blenden abgebildet werden. Aus diesem Grund sind hohe Anforderungen an die Abbildungsleistung des Linsensystems (5) zu stellen.The light source images ( 12 ) are imaged on a hole pattern ( 7 ) with a lens or lens system ( 5 ), the pinhole arrangement corresponding exactly to the geometric arrangement of the light source images, so that the luminous flux is guided through the pinhole in a targeted manner. In order to achieve the most homogeneous object illumination possible, the light source images must be imaged very precisely on the diaphragms. For this reason, high demands must be placed on the imaging performance of the lens system ( 5 ).

Außerdem ist durch einen geeigneten Herstellungsprozeß dafür zu sorgen, daß die Lichtquellenbilder exakt auf die Lochblenden passen. Diese hohe Anforderung kann z. B. dadurch erreicht werden, daß die Anordnung selbst für die Erzeugung des exakten Lochrasters verwendet wird. Anstelle des Lochrasters wird zunächst eine für den lithographischen Prozeß vorbereitete Scheibe angebracht und mit den Lichtquellenbildern des zugeordneten Linsenrasters belichtet.It is also through a suitable manufacturing process for this to ensure that the light source images exactly on the pinhole fit. This high requirement can e.g. B. thereby achieved that the arrangement itself for generation of the exact hole pattern is used. Instead of the hole pattern first becomes one for the lithographic process prepared disc attached and with the light source images of the associated lenticular grid.

Die Ausbildung einer exakten Kongruenz zwischen dem Lichtquellenraster und dem Lochblendenraster wird durch dieses Verfahren dann gewährleistet, wenn beide Komponenten als eine Einheit in der Anordnung erhalten bleiben.The formation of an exact congruence between the light source grid and the pinhole grid is through this Procedure then guaranteed if both components as one unit remains in the arrangement.

An das Linsenraster, das durch einen Prägeprozeß, einen Ätzprozeß, einen Diffusionsprozeß oder im Fall holographischer Linsen durch einen lithographischen Prozeß mit kohärentem Licht hergestellt werden kann, sind eine Reihe von Anforderungen zu stellen, damit eine gute Abbildungsqualität erzielt werden kann.To the lenticular grid, which is produced by an embossing process, an etching process, a diffusion process or in the case of holographic Lenses by a lithographic process with coherent Light can be made are a number of requirements to provide a good image quality can be.

Beispielsweise ist die Linsenanordnung so zu gestalten, daß der Zeilenabstand des daraus resultierenden Abtastrasters höchstens halb so groß ist wie das Auflösungsvermögen der optischen Anordnung.For example, the lens arrangement should be designed such that the line spacing of the resulting scanning grid is at most half the resolution of the optical arrangement.

Die Abstände zwischen den Linsen müssen so klein wie irgend möglich gehalten werden, damit der Lichtverlust gering ist.The distances between the lenses must be as small as possible be kept possible so that the loss of light is low.

Die Flächen der Eintrittspupillen der Linsen (13) müssen gleich groß sein, um eine homogene Bildfeldausleuchtung garantieren zu können.The areas of the entrance pupils of the lenses ( 13 ) must be of the same size in order to be able to guarantee homogeneous image field illumination.

Die Erzeugung eines Objektbildes in der Auswerteebene (20) ist bei der erfindungsgemäßen Anordnung Fig. 1 dadurch möglich, daß das Lichtquellenbildraster (12) und das Lochblendenraster (7) räumlich voneinander getrennt sind. Erst hierdurch ist mit einfachen Mitteln, nämlich mit einem Strahlteiler (6), die Ausspiegelung des Zwischenbildes (16) in Richtung auf die Auswerteebene (20) möglich. Die räumliche Trennung der beiden Komponenten hat allerdings zur Folge, daß höhere Anforderungen an die Ausrichtgenauigkeit und mechanische Stabilität gestellt werden müssen. The creation of an object image in the evaluation plane ( 20 ) is possible in the arrangement according to the invention in FIG. 1 in that the light source image raster ( 12 ) and the pinhole raster ( 7 ) are spatially separated from one another. Only in this way is it possible to mirror the intermediate image ( 16 ) in the direction of the evaluation plane ( 20 ) with simple means, namely with a beam splitter ( 6 ). However, the spatial separation of the two components means that higher requirements must be placed on the alignment accuracy and mechanical stability.

Da in einer praktischen Ausführung des Linsenrasters (3) die Linsen (13) hinsichtlich chromatischer Aberation wohl nicht korrigiert sind, weisen sie eine chromatische Fokusdifferenz auf. Durch die Fokussierbarkeit des Linsensystems (5) (mit einem Doppelpfeil angedeutet) ist man in die Lage versetzt, auf die chromatisch differenzierten Fokusebenen des Linsenrasters (3) scharf einzustellen und mithin das spektrale Transmissionsverhalten der erfindungsgemäßen Anordnung zu beeinflussen. Im Fall einer Fluoreszenzanwendung wird vorzugsweise auf die von dem kurzwelligen Licht hervorgerufenen Lichtquellenbilder fokussiert, so daß die für die Fluoreszenzanregung verwendete Strahlung über eine geeignete spektrale Zusammensetzung verfügt.Since the lenses ( 13 ) are probably not corrected with regard to chromatic aberation in a practical embodiment of the lens grid ( 3 ), they have a chromatic focus difference. The focusability of the lens system ( 5 ) (indicated by a double arrow) enables one to focus on the chromatically differentiated focal planes of the lens grid ( 3 ) and thus to influence the spectral transmission behavior of the arrangement according to the invention. In the case of a fluorescence application, the focus is preferably on the light source images caused by the short-wave light, so that the radiation used for the fluorescence excitation has a suitable spectral composition.

Ein Qualitätsmerkmal für die Abbildung stellt die homogene Bildfeldausleuchtung dar. Damit sie in der erfindungsgemäßen Anordnung erreicht wird, muß möglichst in der Nähe der Ebene (17) eine Feldlinse (4) angeordnet sein, die in Kombination mit dem Linsensystem (5) die Hauptstrahlen (14) der einzelnen Strahlenbüschel in die Mitte der Eintrittspupille der Objektivlinse (8) richtet.A homogeneous image field illumination represents a quality feature for the image. In order for it to be achieved in the arrangement according to the invention, a field lens ( 4 ) must be arranged as close as possible to the plane ( 17 ) which, in combination with the lens system ( 5 ), the main rays ( 14 ) of the individual bundles of rays in the middle of the entrance pupil of the objective lens ( 8 ).

Ein weiteres Qualitätsmerkmal einer Abbildung stellt der Kontrast dar, der beispielsweise durch Übersprechen von Licht aus dem Beleuchtungsstrahlengang in den Abbildungsstrahlengang verringert werden kann. Dieses Übersprechen wird durch einige Maßnahmen drastisch herabgesetzt. Man kann beispielsweise in die Ebene (17) ein weiteres zum Lichtquellenrasterbild kongruentes Lochraster anordnen. Hierdurch werden etwaige Lichtquellenbilder, die größer als die Lochblenden sind, auf passende Größe ausgeblendet und somit vermieden, daß mehr Licht als unbedingt nötig auf das Lochraster (7) auftrifft. Eine weitere Reduktion des Streulichtanteiles bewirkt eine Streulichtblende (22) im bildseitigen Strahlengang des Mikroskops. Die Streulichtblende (22) muß genau in Höhe des Objektivpupillenzwischenbildes angeordnet werden, um Vignettierungen im Objektbild zu vermeiden.Another quality feature of an image is the contrast, which can be reduced, for example, by crosstalk of light from the illuminating beam path into the imaging beam path. This crosstalk is drastically reduced by some measures. One can, for example, arrange another hole grid congruent with the light source grid image in the plane ( 17 ). As a result, any light source images that are larger than the pinhole diaphragms are faded out to a suitable size and thus avoid that more light than absolutely necessary strikes the pinhole pattern ( 7 ). A further reduction in the proportion of stray light is caused by a stray light diaphragm ( 22 ) in the beam path of the microscope on the image side. The lens hood ( 22 ) must be arranged exactly at the level of the intermediate lens pupil image in order to avoid vignetting in the object image.

Bei der erfindungsgemäßen Anordnung werden die Bilder durch Abtastbewegungen des Lochblendenrasters (7) erzeugt. Damit die Blenden (11) des Lochblendenrasters auch während des Abtastvorganges stets mit Licht konstanter Betrahlungsstärke beaufschlagt werden, sind die Bewegungen des Linsenrasters mit denen des Lochrasters zu synchronisieren.In the arrangement according to the invention, the images are generated by scanning movements of the pinhole screen ( 7 ). So that the diaphragms ( 11 ) of the pinhole screen are always exposed to light of constant irradiance even during the scanning process, the movements of the lens screen must be synchronized with those of the pinhole screen.

Der Bewegungsgleichlauf kann im Falle einer rotatorischen Abtastbewegung mit einer gemeinsamen Drehachse (27) auf einfachste Weise hergestellt werden.In the case of a rotary scanning movement with a common axis of rotation ( 27 ), the synchronous movement can be established in the simplest way.

Im Falle einer Schwingbewegung soll das Linsenraster mit dem Lochblendenraster als eine starre Einheit ausgeführt sein, welche über exakte Führungen verfügt. Durch Ankopplung eines Schwingers kann die gewünschte Abtastbewegung mit den geforderten Eigenschaften erhalten werden.In the case of a swinging movement, the lenticular grid should be with the Pinhole grid to be designed as a rigid unit, which has precise guides. By coupling one Schwingers can perform the required scanning movement with the required Properties are obtained.

Da die erfindungsgemäße Anordnung über eine sehr hohe Lichtstärke verfügt, ist die Realisierung von lichtschwachen Kontrastarten möglich geworden.Since the arrangement according to the invention has a very high light intensity is the realization of faint contrast types become possible.

Der Fluoreszenzkontrast läßt sich mit der erfindungsgemäßen Anordnung durch die Verwendung eines geeigneten Fluoreszenzstrahlteilers anstelle des Neutralstrahlteilers erzeugen. The fluorescence contrast can be with the invention Arrangement through the use of a suitable fluorescent beam splitter generate instead of the neutral beam splitter.  

Bekanntlich besteht der Fluoreszenzstrahlteiler aus einem Anregungsfilter (23), einem dichromatischen Strahlteiler (in diesem Zusammenhang auch mit (6) bezeichnet), der kurzwelliges Licht transmittiert und langwelliges Licht reflektiert, sowie einem Sperrfilter (25), der nur für Fluoreszenzlicht transparent ist.As is known, the fluorescent beam splitter consists of an excitation filter ( 23 ), a dichromatic beam splitter (also referred to in this context as ( 6 )) which transmits short-wave light and reflects long-wave light, and a blocking filter ( 25 ) which is only transparent for fluorescent light.

Alle drei optischen Komponenten sind bekanntermaßen in einem Strahlteilerwürfel zusammengefaßt, weil sie in ihrem spektralen Verhalten genau aufeinander abgestimmt sein müssen und nur so ein leichter Wechsel der Strahlteiler möglich ist.As is well known, all three optical components are in one Beam splitter cubes grouped together because of their spectral Behavior must be precisely coordinated and this is the only way to easily change the beam splitter is.

Damit auch die erfindungsgemäße Anordnung bequem an die unterschiedlichen Fluoreszenzfarbstoffe angepaßt werden kann, ist ein entsprechender Wechsler für verschiedene Fluoreszenzstrahlteiler vorgesehen.So that the arrangement according to the invention convenient to the different fluorescent dyes can be adapted is a corresponding changer for different fluorescent beam splitters intended.

Bekanntlich wird Fluoreszenz mit kurzwelligem Licht angeregt, so daß alle optischen Komponenten im Beleuchtungsteil einer fluoreszenztauglichen erfindungsgemäßen Anordnung aus Materialien bestehen müssen, die kurzwellige Strahlung gut transmittieren.As is known, fluorescence is excited with short-wave light, so that all optical components in the lighting part an arrangement according to the invention suitable for fluorescence Materials must exist that are shortwave radiation well transmit.

Für die Fluoreszenzmikroskopie ist diese Anordnung im besonderen Maße geeignt, weil durch die konfokale Abbildung bekanntermaßen nur Licht aus einer bestimmten Tiefenebene des Objekts, der momentanen Fokusebene, zur Abbildung gelangt und daher unscharf abgebildete Objektebenen auf elegante Weise optisch diskriminiert werden. Dicke Proben können so Schicht für Schicht abgebildet und später zu einem dreidimensionalen Bild rekonstruiert werden (T. Wilson, Depth response of scanning microscopes. Optik 81, No. 3 (1989) 113-118. C. J. R. Sheppard, X. Q. Mao, Three-dimensional imaging in a microscope. J. Opt. Soc. Am. A, Vol. 6, No. 9 (1989) 1260-1269 und Shigeharu Kiruma, Chusuke Munakata, Depth resolution of the fluorecent confocal scanning optical microscope. Applied Optics, Vol. 29, No. 4 (1990) 489-501).This arrangement is special for fluorescence microscopy Dimensions suitable because of the confocal image as is known, only light from a certain depth level of the object, the current focal plane, is displayed and therefore out of focus object levels on elegant Way optically discriminated. Thick samples can mapped layer by layer and later into one three-dimensional image can be reconstructed (T. Wilson, Depth response of scanning microscopes. Optics 81, No. 3rd (1989) 113-118. C.J.R. Sheppard, X.Q. Mao, Three-dimensional imaging in a microscope. J. Opt. Soc. At the. A, Vol. 6, No. 9 (1989) 1260-1269 and Shigeharu Kiruma, Chusuke Munakata, Depth resolution of the fluorecent confocal scanning optical microscope. Applied Optics, Vol. 29, No. 4 (1990) 489-501).

Die erfindungsgemäße Anordnung kann auch leicht in ein Polaritsationsmikroskop eingebaut werden.The arrangement according to the invention can also easily be placed in a polarization microscope to be built in.

Hierzu werden der Polarisator zweckmäßig zwischen dem Kollektor (2) und dem Linsenraster (3), sowie der Analysator zwischen dem Neutralstrahlraster (6) und der Beobachtungsebene (20) angeordnet.For this purpose, the polarizer is expediently arranged between the collector ( 2 ) and the lens grid ( 3 ), and the analyzer between the neutral beam grid ( 6 ) and the observation plane ( 20 ).

Bekanntermaßen sind die spezifischen Vorteile des Konfokalkontrastes dann gegeben, wenn die Lochblenden (11) einen möglichst kleinen Durchmesser aufweisen (T. Wilson, Three-dimensional imaging in confocal systems. Journal of Microscopy, Vol. 153, Pt 2 (1989) 161-169). Dadurch werden aber auch die Randbereiche der Lichtquellenbilder ausgeblendet, so daß in einem bestimmten Umfang die Lichtstärke verringert wird.As is known, the specific advantages of confocal contrast are given when the pinholes ( 11 ) have the smallest possible diameter (T. Wilson, Three-dimensional imaging in confocal systems. Journal of Microscopy, Vol. 153, Pt 2 (1989) 161-169 ). However, this also fades out the edge areas of the light source images, so that the light intensity is reduced to a certain extent.

Der Einsatz von Lichtquellen mit kleinen Emissionsflächen kann aber diesen Nachteil beseitigen. Hierzu zählen beispielsweise die Feinfokushöchstdrucklampen, die mit einem Hg-, Xe- oder Hg/Xe-Plasma betrieben werden. Eine besonders kleine Emissionsfläche stellt auch der Brennpunkt eines Laserstrahles dar, so daß sich Laser für den Einsatz in der erfindungsgemäßen Anordnung sehr gut eignen.The use of light sources with small emission areas but can eliminate this disadvantage. These include, for example the fine focus ultra-high pressure lamps with a Hg, Xe or Hg / Xe plasma can be operated. A special one small emission area also represents the focal point of a laser beam, so that lasers for use in the Arrangement according to the invention are very suitable.

Die bisherigen Beschreibungen beziehen sich auf die Einbindung der erfindungsgemäßen Anordnung in einen Auflichtstrahlengang. Natürlich kann die Anordnung mit den gleichen Vorteilen auch in einem Durchlichtstrahlengang integriert werden. The previous descriptions refer to the integration the arrangement according to the invention in an incident light beam path. Of course, the arrangement can be the same Advantages also integrated in a transmitted light beam path will.  

In diesem Fall ist keine Ausspiegelung nötig. Das von dem Objekt (9) transmittierte Licht wird mit einer weiteren Objektivlinse auf die dem Objekt rückwärtige Zwischenbildebene abgebildet. Genau hier befindet sich auch in diesem Fall die Lochrasterscheibe (7).In this case, no reflection is necessary. The light transmitted by the object ( 9 ) is imaged with a further objective lens on the intermediate image plane rearward of the object. In this case, too, the perforated grid disc ( 7 ) is located exactly here.

Natürlich kann die erfindungsgemäße Anordnung bei entsprechender geometrischer Auslegung als Modul an ein geeignetes Mikroskopstativ angeriegelt werden. Eine entsprechende Ausführungsform ist für ein Auflichtstativ in der Fig. 2 abgebildet. Neben den bereits bekannten Komponenten wird für das Modul (28) ein Spiegel (29) benötigt, der den Strahlengang in Richtung auf das Objektiv umlenkt, um den geometrischen Gegebenheiten des Stativs Rechnung zu tragen. Das Zwischenbild in der Auswerteebene (20) kann dann mit einem geeigneten, aufriegelbaren Binokulartubus (35) mit dem Auge betrachtet oder mit einer optoelektrischen Bildabtastung (34) weiter verarbeitet werden.Of course, the arrangement according to the invention can be attached to a suitable microscope stand with a corresponding geometric design as a module. A corresponding embodiment is shown for an incident light stand in FIG. 2. In addition to the already known components, a mirror ( 29 ) is required for the module ( 28 ), which deflects the beam path in the direction of the objective in order to take into account the geometric conditions of the stand. The intermediate image in the evaluation plane ( 20 ) can then be viewed with the eye using a suitable, lockable binocular tube ( 35 ) or processed further with an optoelectric image scanner ( 34 ).

Ausführungsbeispiele der Erfindung sind in den Zeichnungen dargestellt und werden im folgenden näher beschrieben.Embodiments of the invention are in the drawings are shown and are described in more detail below.

Es zeigtIt shows

Fig. 1 eine schematische Darstellung der Erfindung in einem Auflichtmikroskop, Fig. 1 is a schematic representation of the invention in a light microscope,

Fig. 2 die Erfindung als Teil eines Moduls ausgebildet und an einem Mikroskopstativ angeriegelt. Fig. 2 formed the invention as part of a module and locked on a microscope stand.

In der Fig. 1 fällt ein von der Lichtquelle (1) und dem Kollektor (2) gebildetes, annähernd paralleles Strahlenbündel auf das Linsenraster (3), das hier speziell als eine rotierende Linsenrasterscheibe dargestellt ist. Die Linsen (13) sind dicht an dicht auf der Scheibe angeordnet, um möglichst wenig Licht zu verlieren. Sie fokussieren die auftreffende Strahlung, so daß sich in der Fokusebene (17) des Linsenrasters (3) ein Lichtquellenraster (12) abbildet. Von den vielen Lichtquellenbildern in der Ebene (17), ist in der Fig. 1 der Übersichtlichkeit nur ein Lichtquellenbild (19) mit dem dazugehörenden fortgesetzten Strahlengang eingezeichnet. Mit den Linsen (4) und (5) werden die Lichtquellenbilder exakt auf die entsprechenden Lochblenden (11) der Lochrasterscheibe (7) abgebildet, von wo aus eine Abbildung der Löcher mit der Objektivlinse (8) auf das Objekt (9) erfolgt. Wenn sich der beleuchtete Objektpunkt genau in der Schärfeebene des Objektivs befindet, wird das von ihm remittierte Licht genau wieder auf die Lochblende (11) zurück abgebildet. Die derart beleuchtete Blende (11) wird dann mit dem teiltransparenten Teilerspiegel (6) sowie der Linse (10) in die Auswerteebene (20) abgebildet. Eine genau in der Zwischenbildebene der Eintrittspupille angeordnete Blende (22) sorgt für zusätzliche Kontrasterhöhung durch Streulichtunterdrückung. Mit Hilfe einer gemeinsamen Achse (27), die von einem Motor (15) angetrieben wird, werden die beiden erfindungsgemäß zusammenwirkenden Scheiben (3) und (7) synchron in eine rotatorische Abtastbewegung versetzt.In Fig. 1, an approximately parallel beam of light formed by the light source ( 1 ) and the collector ( 2 ) falls on the lenticular screen ( 3 ), which is shown here specifically as a rotating lenticular disk. The lenses ( 13 ) are arranged close together on the pane in order to lose as little light as possible. They focus the incident radiation so that a light source raster ( 12 ) is imaged in the focal plane ( 17 ) of the lens grid ( 3 ). Of the many light source images in the plane ( 17 ), only one light source image ( 19 ) with the associated continued beam path is shown in FIG. 1 for clarity. With the lenses ( 4 ) and ( 5 ), the light source images are imaged exactly on the corresponding aperture plates ( 11 ) of the perforated screen ( 7 ), from where the holes are imaged with the objective lens ( 8 ) onto the object ( 9 ). If the illuminated object point is exactly in the focal plane of the lens, the light that it remits is imaged back onto the pinhole ( 11 ). The diaphragm ( 11 ) illuminated in this way is then imaged with the partially transparent divider mirror ( 6 ) and the lens ( 10 ) in the evaluation plane ( 20 ). A diaphragm ( 22 ) arranged exactly in the intermediate image plane of the entrance pupil ensures additional contrast increase by suppressing stray light. With the help of a common axis ( 27 ), which is driven by a motor ( 15 ), the two disks ( 3 ) and ( 7 ) interacting according to the invention are synchronously set into a rotary scanning movement.

Anhand gestrichelt eingezeichneter Zusatzkomponenten können unterschiedliche zusätzliche Kontraste erzeugt werden. Beispielsweise kann durch Ausgestaltung des Strahlteilers (6) zu einem Fluoreszenzstrahlteiler Fluoreszenzkontrast erzeugt werden. Hierzu werden beleuchtungsseitig ein Anregungsfilter (23), bildseitig ein Sperrfilter (25) und ein dichromatischer Teiler (hier auch mit (6) bezeichnet) benötigt. Various additional contrasts can be generated using dashed-line additional components. For example, fluorescent contrast can be generated by designing the beam splitter ( 6 ) to form a fluorescent beam splitter. For this purpose, an excitation filter ( 23 ), a blocking filter ( 25 ) and a dichromatic divider (also denoted here by ( 6 )) are required on the lighting side.

Der Doppelpfeil an der Linse (5) weist auf die Fokussierbarkeit hin. Für bestimmte Anwendungen kann es sich als nützlich erweisen, die Lichttransmission für einen speziellen Spektralbereich durch exakte Fokussierung der Linse (5) auf das Lochraster (7) zu optimieren.The double arrow on the lens ( 5 ) indicates focusability. For certain applications it can prove useful to optimize the light transmission for a specific spectral range by precisely focusing the lens ( 5 ) on the hole pattern ( 7 ).

Die ebenfalls gestrichelt eingezeichneten Polfilter (25) und (26) erzeugen bei richtiger Stellung zusammen mit einem Neutralstrahlteiler (6) einen Polarisationskontrast.The polarizing filters ( 25 ) and ( 26 ), also drawn in dashed lines, produce a polarization contrast in the correct position together with a neutral beam splitter ( 6 ).

In herkömmliche Mikroskopstative (31) kann die erfindungsgemäße Anordnung integriert werden, wenn sie als Modul (28) konzipiert wird. Die Einspiegelung in den Mikroskopstrahlengang übernimmt dabei ein Spiegel (29). Die Auswertung des Zwischenbildes in der Ebene (20) geschieht mit einem Binokulartubus (35), der das Licht je nach Einstellung eines optischen Umlenkelementes (32) zum Okular (33) oder aber zu einer optoelektronischen Bilderfassung, etwa einer Videokamera (34), führt.The arrangement according to the invention can be integrated into conventional microscope stands ( 31 ) if it is designed as a module ( 28 ). A mirror ( 29 ) takes care of the reflection in the microscope beam path. The evaluation of the intermediate image in the plane ( 20 ) takes place with a binocular tube ( 35 ) which, depending on the setting of an optical deflecting element ( 32 ), leads the light to the eyepiece ( 33 ) or to an optoelectronic image acquisition, for example a video camera ( 34 ) .

Claims (22)

1. Anordnung zur Erhöhung der Lichttransmission durch eine Lochrasterscheibe für einen optischen Kontrast
  • - mit einer Lochrasterscheibe,
  • - mit einer Projektionsanordnung zur Erzeugung eines Bildes des Lochrasters in einer Objektebene,
  • - mit einer Einrichtung zur Erzeugung einer Relativbewegung senkrecht zur optischen Achse zwischen dem Lochrasterbild und dem Objekt,
  • - mit einer Anordnung zur Abbildung des Objektzwischenbildes am Ort des Lochrasters in eine Auswerteebene,
1. Arrangement for increasing the light transmission through a perforated screen for an optical contrast
  • - with a perforated grid,
  • with a projection arrangement for generating an image of the hole pattern in an object plane,
  • with a device for generating a relative movement perpendicular to the optical axis between the grid pattern and the object,
  • with an arrangement for mapping the intermediate object image at the location of the hole pattern in an evaluation plane,
dadurch gekennzeichnet, daß
  • - ein Linsenraster (3) vorgesehen ist, welches sich in einem annähernd parallelen Beleuchtungsstrahlenbündel befindet und in einer Zwischenbildebene (17) ein zum Lochraster (7) kongruentes Lichtquellenraster (12) entwirft und das Lichtquellenraster durch die Linsen (4, 5) kongruent auf das Lochraster (7) abbildet, wobei der zu jeder Linse (13) des Linsenrasters (3) zugeordnete Hauptstrahl (14) bei der Abbildung auf den Mittelpunkt der Eintrittspupille der Objektivlinse (8) gerichtet ist, daß eine Einrichtung (15) vorgesehen ist, die eine synchrone, das Objekt abtastende Bewegung von Linsenraster (3) mit dem dazugehörenden Fokusraster (12) und dem Lochraster (7) erzeugt.
 characterized in that
  • - A lens grid ( 3 ) is provided, which is located in an approximately parallel illumination beam and in an intermediate image plane ( 17 ) designs a light source grid ( 12 ) congruent to the hole grid ( 7 ) and the light source grid through the lenses ( 4 , 5 ) congruently on that Hole pattern ( 7 ) depicts, wherein the main beam ( 14 ) assigned to each lens ( 13 ) of the lens pattern ( 3 ) is directed at the center of the entrance pupil of the objective lens ( 8 ), that a device ( 15 ) is provided which generates a synchronous, object-scanning movement of the lens grid ( 3 ) with the associated focus grid ( 12 ) and the hole grid ( 7 ).
2. Anordnung zur Erhöhung der Lichttransmission durch eine Lochrasterscheibe für einen optischen Bildkontrast nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch ihre Verwendung in einem Mikroskop.2. Arrangement to increase the light transmission through a Perforated screen for an optical image contrast Claim 1, characterized by their use in one Microscope. 3. Anordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Linsenraster (3) aus konvexen oder konkaven Mikrolinsen besteht.3. Arrangement according to claim 1, characterized in that the lens grid ( 3 ) consists of convex or concave microlenses. 4. Anordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Linsenraster (3) aus Grinlinsen (Gradientenindex-Linsen) oder holographischen Linsen besteht.4. Arrangement according to claim 1, characterized in that the lenticular screen ( 3 ) consists of grin lenses (gradient index lenses) or holographic lenses. 5. Anordnung nach den Ansprüchen 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Linsen (13) des Linsenrasters (3) und die Lochblenden (11) des Lochrasters (7) in Form von sich wiederholenden Nipkowspiralen angeordnet sind.5. Arrangement according to claims 1 to 4, characterized in that the lenses ( 13 ) of the lenticular grid ( 3 ) and the perforated diaphragms ( 11 ) of the perforated grid ( 7 ) are arranged in the form of repeating Nipkow spirals. 6. Anordnung nach den Ansprüchen 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß das Linsenraster (3) und das Lochraster (7) als Scheiben ausgeführt sind und die Scheiben mittels einer Antriebsvorrichtung (15) eine zueinander starr gekoppelte Drehbewegung ausführen. 6. Arrangement according to claims 1 to 5, characterized in that the lens grid ( 3 ) and the hole pattern ( 7 ) are designed as disks and the disks perform a rotationally rigidly coupled rotary movement by means of a drive device ( 15 ). 7. Anordnung nach den Ansprüchen 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß das Linsenraster (3) und das Lochraster (7) mittels einer Antriebsvorrichtung (15) eine zueinander starr gekoppelte zeilenweise Rasterbewegung ausführen.7. Arrangement according to claims 1 to 4, characterized in that the lenticular grid ( 3 ) and the hole grid ( 7 ) by means of a drive device ( 15 ) perform a mutually rigidly coupled line-wise grid movement. 8. Anordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Lochraster (7) durch einen paarweise lithographischen Prozeß mit dem Linsenraster (3) erzeugt wird.8. Arrangement according to claim 1, characterized in that the hole pattern ( 7 ) is produced by a pairwise lithographic process with the lens pattern ( 3 ). 9. Anordnung nach den Ansprüchen 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß sich zwischen Linsenraster (3) und Lochraster (7) ein Strahlteiler (6) befindet.9. Arrangement according to claims 1 to 7, characterized in that there is a beam splitter ( 6 ) between the lens grid ( 3 ) and hole pattern ( 7 ). 10. Anordnung nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß der Strahlteiler ein Neutralstrahlteiler ist.10. The arrangement according to claim 9, characterized in that the beam splitter is a neutral beam splitter. 11. Anordnung nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß der Strahlteiler als Fluoreszenzstrahlteiler (dichromatischer Strahlteiler) ausgebildet ist.11. The arrangement according to claim 9, characterized in that the beam splitter as a fluorescence beam splitter (dichromatic Beam splitter) is formed. 12. Anordnung nach einem oder mehreren Ansprüchen 1 bis 11, dadurch gekennzeichnet, daß sich im beleuchtungsseitigen Strahlenbündel ein Polarisationsfilter (26) und im Abbildungsstrahlengang zwischen dem Strahlteiler (6) und der Beobachtungsebene (20) ein Analysator befinden.12. The arrangement according to one or more claims 1 to 11, characterized in that a polarization filter ( 26 ) and in the imaging beam path between the beam splitter ( 6 ) and the observation plane ( 20 ) are an analyzer in the illumination beam. 13. Anordnung nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß der Strahlteiler auswechselbar gestaltet wird.13. The arrangement according to claim 9, characterized in that the beam splitter is designed to be exchangeable. 14. Anordnung nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis 13, dadurch gekennzeichnet, daß die Linse (5) von außen in Richtung zur optischen Achse verstellbar ausgeführt ist.14. Arrangement according to one or more of claims 1 to 13, characterized in that the lens ( 5 ) is designed to be adjustable from the outside in the direction of the optical axis. 15. Anordnung nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis 14, dadurch gekennzeichnet, daß ein zum Fokusraster (12) zusätzliches kongruentes Lochraster in der Fokusebene des Linsenrasters (3) angeordnet ist.15. The arrangement according to one or more of claims 1 to 14, characterized in that an additional congruent hole pattern for the focus pattern ( 12 ) is arranged in the focal plane of the lens pattern ( 3 ). 16. Anordnung nach den Ansprüchen 1 bis 15, dadurch gekennzeichnet, daß die Lichtquelle (1) ein Laserlichtpunkt ist.16. Arrangement according to claims 1 to 15, characterized in that the light source ( 1 ) is a laser light spot . 17. Anordnung nach den Ansprüchen 1 bis 15, dadurch gekennzeichnet, daß die Lichtquelle (1) eine Weißlichtquelle ist.17. Arrangement according to claims 1 to 15, characterized in that the light source ( 1 ) is a white light source. 18. Anordnung nach den Ansprüchen 1 bis 15, dadurch gekennzeichnet, daß die Lichtquelle (1) eine Hochdrucklampe (z. B. Hg- oder Xe- oder Hg-Xe-Hoch- bzw. Höchstdrucklampe) ist.18. Arrangement according to claims 1 to 15, characterized in that the light source ( 1 ) is a high pressure lamp (z. B. Hg or Xe or Hg-Xe high or ultra-high pressure lamp). 19. Anordnung nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis 18, dadurch gekennzeichnet, daß bei einer Durchlichtvariante das Lochraster in dem dort vorliegenden Zwischenbild angeordnet ist.19. Arrangement according to one or more of claims 1 to 18, characterized in that in a transmitted light variant the grid of holes is arranged in the intermediate image there is. 20. Anordnung nach Anspruch 19, dadurch gekennzeichnet, daß die Durchlichtvariante ein Durchlichtmikroskop ist.20. The arrangement according to claim 19, characterized in that the transmitted light variant is a transmitted light microscope. 21. Anordnung nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis 20, dadurch gekennzeichnet, daß sie als ein an ein Mikroskopstativ anriegelbares Modul (28) ausgeführt ist.21. The arrangement according to one or more of claims 1 to 20, characterized in that it is designed as a module ( 28 ) which can be locked onto a microscope stand.
DE19914138020 1991-11-19 1991-11-19 Microscope system for increasing light transmission through grid - has lens raster projecting congruent light source raster in intermediate image raster to improve contrast Withdrawn DE4138020A1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19914138020 DE4138020A1 (en) 1991-11-19 1991-11-19 Microscope system for increasing light transmission through grid - has lens raster projecting congruent light source raster in intermediate image raster to improve contrast

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19914138020 DE4138020A1 (en) 1991-11-19 1991-11-19 Microscope system for increasing light transmission through grid - has lens raster projecting congruent light source raster in intermediate image raster to improve contrast

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE4138020A1 true DE4138020A1 (en) 1992-04-16

Family

ID=6445127

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE19914138020 Withdrawn DE4138020A1 (en) 1991-11-19 1991-11-19 Microscope system for increasing light transmission through grid - has lens raster projecting congruent light source raster in intermediate image raster to improve contrast

Country Status (1)

Country Link
DE (1) DE4138020A1 (en)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6262423B1 (en) 1996-12-22 2001-07-17 Max-Planck-Gesellschaft Zur Forderung Der Wissenschaften E. V. Scanning microscope in which a sample is simultaneously and optically excited at various points
EP1429169A1 (en) * 2002-12-13 2004-06-16 Commissariat A L'Energie Atomique Optical microscope with modifiable lighting and method of operation thereof

Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB825684A (en) * 1956-07-26 1959-12-16 Askania Werke Ag Optical projection apparatus
DE2360197A1 (en) * 1973-12-03 1975-06-05 Ibm Deutschland PROCESS FOR INCREASING THE DEPTH OF FOCUS AND / OR THE RESOLUTION OF LIGHT MICROSCOPES
US4323299A (en) * 1980-07-03 1982-04-06 Roberts Calvin W Wide field specular scanning device
US4540247A (en) * 1981-06-26 1985-09-10 Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha Hologram scanner
US4621892A (en) * 1982-11-10 1986-11-11 Hitachi, Ltd. Light scanning device using lenses
US4640573A (en) * 1982-02-24 1987-02-03 Hitachi, Ltd. Lens-on-disc type optical scanning apparatus
SU1425574A2 (en) * 1987-02-17 1988-09-23 Предприятие П/Я А-1705 Lighting fixture
US4802748A (en) * 1987-12-14 1989-02-07 Tracor Northern, Inc. Confocal tandem scanning reflected light microscope

Patent Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB825684A (en) * 1956-07-26 1959-12-16 Askania Werke Ag Optical projection apparatus
DE2360197A1 (en) * 1973-12-03 1975-06-05 Ibm Deutschland PROCESS FOR INCREASING THE DEPTH OF FOCUS AND / OR THE RESOLUTION OF LIGHT MICROSCOPES
US4323299A (en) * 1980-07-03 1982-04-06 Roberts Calvin W Wide field specular scanning device
US4540247A (en) * 1981-06-26 1985-09-10 Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha Hologram scanner
US4640573A (en) * 1982-02-24 1987-02-03 Hitachi, Ltd. Lens-on-disc type optical scanning apparatus
US4621892A (en) * 1982-11-10 1986-11-11 Hitachi, Ltd. Light scanning device using lenses
SU1425574A2 (en) * 1987-02-17 1988-09-23 Предприятие П/Я А-1705 Lighting fixture
US4802748A (en) * 1987-12-14 1989-02-07 Tracor Northern, Inc. Confocal tandem scanning reflected light microscope

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
MÜTZE, Karl: ABC der Optik, Verlag Werner Dausien,Hanau/Main 1972, S.600 *

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6262423B1 (en) 1996-12-22 2001-07-17 Max-Planck-Gesellschaft Zur Forderung Der Wissenschaften E. V. Scanning microscope in which a sample is simultaneously and optically excited at various points
DE19653413C2 (en) * 1996-12-22 2002-02-07 Stefan Hell Scanning microscope, in which a sample is simultaneously optically excited in several sample points
EP1429169A1 (en) * 2002-12-13 2004-06-16 Commissariat A L'Energie Atomique Optical microscope with modifiable lighting and method of operation thereof
FR2848682A1 (en) * 2002-12-13 2004-06-18 Commissariat Energie Atomique LIGHTING OPTICAL MICROSCOPE MODIFIABLE STRUCTURE
US7064893B2 (en) 2002-12-13 2006-06-20 Commissariat A L'energie Atomique Optical microscope with modifiable lighting and operating process of such a microscope

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE102006027836B4 (en) Microscope with auto focus device
EP0730181B1 (en) Method of producing a stereoscopic image from an object and device for stereoscopic viewing
EP0167877B1 (en) Apparatus for imaging sections of the human eye
DE10105391B4 (en) Scanning microscope and module for a scanning microscope
DE69728572T2 (en) MICRO IMAGE SYSTEM
EP1307774B1 (en) Assembly for increasing the depth discrimination of an optical imaging system
DE69629877T2 (en) Confocal microscope
DE102006034908B4 (en) Laser Scanning Microscope
DE3610165A1 (en) OPTICAL SCAN MICROSCOPE
DE102007055530A1 (en) laser beam machining
DE102015112960B3 (en) Device for the confocal illumination of a sample
DE19942998B4 (en) Microscope for incident and transmitted light microscopy
DE102019008304B3 (en) Fluorescence microscope with stabilized adjustment and use of an assembly to upgrade a fluorescence microscope
DE102005037818A1 (en) microscope
WO2020001938A1 (en) Method for generating an overview image using a large-aperture lensobjective
DE102020209889A1 (en) Microscope and method for microscopic imaging with variable illumination
EP1882970A1 (en) Laser scanning microscope for fluorescence analysis
DE4331570A1 (en) Method and device for optically exciting an energy state in a sample at a sample point with high positional resolution
DE10120424A1 (en) Scanning microscope and decoupling element
LU93022B1 (en) Method and microscope for examining a sample
DE102013005563A1 (en) LIGHT MICROSCOPE AND METHOD FOR EXAMINING A MICROSCOPIC SAMPLE
DE19606424A1 (en) Stereoscopic imaging system for surgical microscope
DE4138020A1 (en) Microscope system for increasing light transmission through grid - has lens raster projecting congruent light source raster in intermediate image raster to improve contrast
WO2008043459A2 (en) System for detection light division
DE102014222271A1 (en) Mask inspection system for inspection of lithographic masks

Legal Events

Date Code Title Description
OAV Applicant agreed to the publication of the unexamined application as to paragraph 31 lit. 2 z1
OR8 Request for search as to paragraph 43 lit. 1 sentence 1 patent law
8122 Nonbinding interest in granting licenses declared
8105 Search report available
8139 Disposal/non-payment of the annual fee