DE4201755A1 - Kryopumpe mit einem im wesentlichen topffoermigen gehaeuse - Google Patents
Kryopumpe mit einem im wesentlichen topffoermigen gehaeuseInfo
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Description
Die Erfindung bezieht sich auf eine Kryopumpe mit den Merkmalen
des Oberbegriffs des Patentanspruchs 1.
Bei einer Kryopumpe dieser Art wurde bereits vorgeschlagen, die
Regenerierung der Pumpflächen - vorzugsweise der Pumpflächen der
zweiten Stufe einer zweistufigen Kryopumpe dieser Art - dadurch
zu bewirken, daß die Temperatur der zu regenerierenden Pumpflä
chen und der Druck in der Pumpe auf Werte über den Tripelpunkt
der zu entfernenden Gase erhöht werden und daß die sich von den
Pumpflächen lösenden Kondensate über das Ablaßrohr - flüssig
und/oder gasförmig - entfernt werden. Das vorzugsweise flüssige,
während der Regeneration der Pumpe anfallende Kondensat sammelt
sich im Bodenbereich der vertikal angebauten Pumpe und strömt
durch das Ablaßrohr, dessen Eintrittsöffnung sich im Bodenbereich
des Strahlungsschirmes befindet, nach außen ab. Unter einem
"vertikalen Anbau" soll verstanden werden, daß die Achse der im
wesentlichen topfförmig gestalteten Pumpe im wesentlichen verti
kal angeordnet ist.
Immer häufiger besteht die Notwendigkeit, Kryopumpen der be
schriebenen Art horizontal anzubauen, das heißt, daß sie derart
mit einem Rezipienten verbunden werden muß, daß die Achse des
Pumpengehäuses horizontal liegt. Wird bei einer in dieser Weise
angeordneten Pumpe das oben beschriebene Regenerationsverfahren
durchgeführt, dann sammelt sich das flüssige Kondensat nicht mehr
im Bereich der Eintrittsöffnung des Ablaßrohres. Eine schnelle
Entfernung des Kondensats über das Ablaßrohr ist deshalb nicht
mehr möglich, so daß auf den Vorteil der besonders kurzen Rege
nerierzeit des beschriebenen Regenerierverfahrens verzichtet
werden muß. Da keine klar definierte "tiefste Stelle" vorhanden
ist, bilden sich nur langsam verdampfende Kondensatlachen aus.
Geschieht das im Bereich des Eintrittsflansches, dann besteht
wegen der einwirkenden Kälte die Gefahr einer Beschädigung der
üblicherweise verwendeten O-Ringdichtungen mit der Folge von
Undichtigkeiten.
Der vorliegenden Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine
Kryopumpe mit den Merkmalen des Oberbegriffs des Patentanspruchs
1 derart auszubilden, daß die beschriebenen Nachteile nicht mehr
bestehen.
Erfindungsgemäß wird diese Aufgabe dadurch gelöst, daß der
Kondensatsammelraum derart seitlich angeordnet ist, daß die Pumpe
auch bei horizontalem Anbau regeneriert werden kann, ohne die
Nachteile langer Regenerierzeiten und/oder der Gefahr der Beschä
digung von Dichtungen in Kauf nehmen zu müssen. Da stets eine
definierte "tiefste Stelle" vorhanden ist, an die das Ablaßrohr
angeschlossen ist, hat die erfindungsgemäße Pumpe auch in Bezug
auf ihre Regeneriereigenschaften die gleichen Vorteile wie die
bereits vorgeschlagene Pumpe bei vertikalem Anbau.
Weitere Vorteile und Einzelheiten der Erfindung sollen anhand von
in den Fig. 1 bis 5 dargestellten Ausführungsbeispielen
erläutert werden. In allen Figuren sind die Kryopumpe mit 1, ihr
äußeres Gehäuse mit 2, der Kaltkopf mit 3 und der Strahlungs
schirm mit 4 bezeichnet. Gehäuse 2 und Strahlungsschirm 4 haben
eine im wesentlichen topfförmige Gestaltung und sind konzentrisch
zueinander angeordnet. Ihre Achse ist mit 5 bezeichnet. Die
offenen Seiten von Gehäuse 2 und Strahlungsschirm 4 bilden die
Eintrittsöffnung 6 der Pumpe 1. Zur Befestigung der Pumpe an
einem Rezipienten - vorzugsweise über ein nicht dargestelltes
Ventil - dient der Gehäuseflansch 7. Außerdem befindet sich im
Eintrittsbereich der Pumpe 1 das Baffle 8, das vom Strahlungs
schirm 4 getragen wird.
Der sich seitlich in das Pumpengehäuse 2 und den Strahlungsschirm
4 erstreckende Kaltkopf 3 ist zweistufig ausgebildet (Stufen 11,
12). Die Kälte wird beispielsweise mit Hilfe eines im einzelnen
nicht dargestellten, nach dem Gifford-McMahon-Prinzip arbeitenden
Refrigerators erzeugt. Die erste Stufe 11 des Kaltkopfes 3 ist
mit dem Strahlungsschirm 4 gut wärmeleitend verbunden, so daß der
Strahlungsschirm 4 und auch das Baffle 8 die Temperatur dieser
Stufe 11 annehmen. Die zweite Stufe 12 des Kaltkopfes befindet
sich im Pumpeninnenraum 13. Über einen gut wärmeleitenden Kupfer
block 14 trägt sie die generell mit 15 bezeichneten Pumpflächen
der zweiten Stufe. Diese umfassen äußere Pumpflächen 16, an denen
sich die kondensierbaren Gase Argon, Stickstoff, Sauerstoff usw.
anlagern. Zusätzlich sind innere, mit Adsorptionsmaterial belegte
Flächenbereiche 17 vorgesehen, die der Adsorption leichter Gase
(Wasserstoff, Helium usw.) dienen.
Beim Ausführungsbeispiel nach den Fig. 1 und 2 ist entweder
der Pumpenflansch 7 selbst oder - wie in Fig. 2 dargestellt -
ein Vorsatzflansch 21 mit einer Ausnehmung 22 ausgerüstet, die in
die Innenseite des jeweiligen Flansches eingelassen ist. Die
Ausnehmung 22 ist so angeordnet, daß sie sich grundsätzlich unten
befindet, so daß sich flüssiges Kondensat darin sammelt. Befindet
sich die Ausnehmung 22 im Vorsatzflansch 21, dann kann durch
geeignete Montage dieses Vorsatzflansches die funktionsrichtige
Position der Ausnehmung 22 sichergestellt werden. Der Strahlungs
schirm 4 hat mindestens in seinem unteren Bereich eine Ausguß
stelle 23, die so geformt ist, daß aus dem Schirm ausfließendes
Kondensat in die Ausnehmung 22 fließt. Zweckmäßig weist dazu der
Strahlungsschirm 4 einen sich nach außen erweiternden Randab
schnitt 24 auf.
Um zu verhindern, daß das kalte Kondensat unmittelbar mit den
Flanschen 7 oder 21 in Berührung kommt und damit die Flansch-
Dichtungsringe 25, 26 durch Kälteeinwirkung gefährden würde, ist
eine in die Ausnehmung 22 mit Abstand eingesetzte Auffangwanne 27
vorgesehen. Ein unerwünschtes Kaltwerden der Flansche 7 oder 21
ist dadurch vermieden. Die Auffangwanne 27 selbst sollte eine
möglichst geringe Masse haben, damit sie schnell die Temperatur
des flüssigen Kondensats annimmt. Dadurch wird ein unnötiges
Verdampfen des Kondensats vermieden bzw. ein schneller Abfluß des
Kondensats sichergestellt.
Das der Entfernung des Kondensats dienende Ablaßrohr ist mit 31
bezeichnet. Es mündet unmittelbar in die Ausnehmung 22 oder -
wenn die dargestellte Auffangwanne 27 vorhanden ist - in diese
Auffangwanne. Es ist radial durch den jeweiligen Flansch 7 bzw.
21 herausgeführt. Außerhalb der Pumpe befindet sich das Ventil
32, das zum Ablaß des Kondensats geöffnet wird. Dieses Ventil 32
ist mit einer Heizung 33 ausgerüstet, die die Ventildichtung vor
schädlichen Kälteeinwirkungen durch das Kondensat schützt.
Beim Ausführungsbeispiel nach Fig. 3 ist der Strahlungsschirm 4
mit einer bodenseitigen Durchmessererweiterung versehen, so daß
sich auch bei horizontalem Anbau der Pumpe 1 das Kondensat
seitlich im Bodenbereich des Strahlungsschirmes 4 sammelt. Das
Ablaßrohr 31, das ebenfalls durch eine Bohrung 34 im Flansch 7
herausgeführt ist, ist derart in den Pumpeninnenraum 13 hinein
verlängert, daß seine Eintrittsöffnung sich in dem durch die
Durchmessererweiterung gebildeten Sammelraum befindet. Eine in
dieser Weise ausgebildete Pumpe 1 hat den Vorteil, daß sie sowohl
horizontal als auch vertikal - und in allen Zwischenstellungen -
angebaut werden kann, wenn dafür gesorgt wird, daß der Sammelraum
mit der Eintrittsöffnung des Ablaßrohres 31 jeweils die tiefste
Stelle bildet. Zweckmäßig kann dazu auch noch der Boden des
Strahlungsschirmes 4 nach innen gewölbt sein (vgl. gestrichelt
eingezeichnete Bodenlinie 35).
Bei den Ausführungsbeispielen nach den Fig. 4 und 5 ist ein im
wesentlichen sichelförmiges Abschlußblech 41 vorgesehen, das
zusammen mit dem unten liegenden Teil des Strahlungsschirmes 4
den Sammelraum bildet. Zweckmäßig ist das Abschlußblech 41 lösbar
am Rand des Strahlungsschirmes 4 befestigt, so daß es in ein
facher Weise jeweils in die richtige - untere - Position gebracht
werden kann. Es kann beispielsweise mit einem Träger 42 ausgerü
stet sein, der zwei den Rand des Strahlungsschirmes 4 umfassende
Abschnitte 43 und 44 aufweist, so daß ein sicherer Halt
gewährleistet ist. Das Ablaßrohr 31 kann an beliebiger Stelle aus
der Pumpe 1 herausgeführt sein, beispielsweise - wie dargestellt
- wieder durch eine Radialbohrung im Flansch 7. Wesentlich ist,
daß seine Eintrittsöffnung im Bereich des Abschlußbleches 41
liegt.
Um ein schnelles Auftauen von noch festem Kondensat, das durch
Schwerkraft in den Sammelraum fällt, zu erreichen, ist es zweck
mäßig, im Sammelraum eine Heizung vorzusehen. Beim Ausführungs
beispiel nach Fig. 5 ist diese Heizung (Heizleiter 45) auf dem
inneren Abschnitt 43 des Trägers 42 für das Abschlußblech 41
angeordnet. Es bildet damit eine Einheit mit dem Abschlußblech
41, so daß sich bei korrekter Montage stets Sichel und Heizung im
Sammelraum befinden.
Claims (15)
1. Kryopumpe mit einem im wesentlichen topfförmigen Gehäuse
(2), mit einem im Gehäuse angeordneten, ebenfalls im we
sentlichen topfförmigen Strahlungsschirm (4), mit einer
Eintrittsöffnung (6), mit einem sich in das Gehäuse und in
den Strahlungsschirm erstreckenden Kaltkopf (3), mit am
Kaltkopf gehalterten Pumpflächen (15) für kondensierbare
Gase, mit einem Sammelraum für flüssiges, während der
Regeneration der Pumpe anfallendes Kondensat sowie mit einem
Ablaßrohr (31), das während einer Regeneration der Pumpflä
chen der Entfernung der auf den Pumpflächen niedergeschla
genen Gase dient und dessen Eintrittsöffnung sich im Bereich
des Sammelraumes befindet, dadurch gekennzeichnet, daß der
Kondensatsammelraum derart seitlich angeordnet ist, daß die
Pumpe (1) auch bei horizontalem Anbau regeneriert werden
kann.
2. Pumpe nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß sie mit
einem Einlaßflansch (7, 21) ausgerüstet ist und daß eine
Ausnehmung (22) in der Innenseite des Flansches den Sammel
raum bildet.
3. Pumpe nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die
Ausnehmung wannenförmig ist, daß das Ablaßrohr (31) in den
Boden der Wanne mündet und daß das Ablaßrohr (31) radial
durch den Flansch (7, 21) nach außen geführt ist.
4. Pumpe nach Anspruch 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet, daß
der Rand des topfförmigen Strahlungsschirmes (4) sich bis in
den Bereich der Ausnehmung (22) erstreckt, und daß er derart
mit einer Ausgußstelle (23, 24) ausgerüstet ist, daß aus dem
Strahlungsschirm (4) ausfließendes Kondensat in die Ausneh
mung (22) gelangt.
5. Pumpe nach Anspruch 2, 3 oder 4, dadurch gekennzeichnet, daß
der mit der Ausnehmung (22) versehene Flansch ein separater
Vorsatzflansch (21) ist.
6. Pumpe nach Anspruch 4 und 5, dadurch gekennzeichnet, daß der
Strahlungsschirm (4) einen sich nach außen erweiternden
Randabschnitt (24) aufweist.
7. Pumpe nach einem der Ansprüche 2 bis 6, dadurch gekenn
zeichnet, daß in die Ausnehmung (22) eine Auffangwanne (27)
mit geringer Masse unter Einhaltung eines geringen Abstandes
von der Ausnehmung (22) eingesetzt ist und daß das Ablaßrohr
(31) in den Boden der Auffangwanne (27) mündet.
8. Pumpe nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß sich der
Durchmesser des Strahlungsschirmes (4) derart zum Boden hin
vergrößert, daß sich die Sammelstelle für flüssiges Konden
sat bei den üblichen Einbaulagen der Pumpe (1) im Boden
bereich des Strahlungsschirmes befindet und daß sich das
Ablaßrohr (31) bis in den Bodenbereich des Strahlungs
schirmes erstreckt.
9. Pumpe nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß der Boden
des Strahlungsschirmes (4) nach innen gewölbt ist.
10. Pumpe nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Rand
des Strahlungsschirmes (4) zur Bildung eines Sammelraumes
für flüssiges Kondensat mit einem im wesentlichen
sichelförmigen Abschlußblech (41) ausgerüstet ist und daß
sich das Ablaßrohr (3) bis in den Sammelraum erstreckt.
11. Pumpe nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß das
Abschlußblech (41) lösbar am Strahlungsschirm (4) befestigt
ist.
12. Pumpe nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, daß ein der
Form des Randes des Strahlungsschirmes (4) angepaßter Träger
(42) mit den Rand umfassenden Abschnitten (43, 44) für das
Abschlußblech (41) vorgesehen ist.
13. Pumpe nach einem der Ansprüche 8 bis 12, dadurch gekenn
zeichnet, daß das innerhalb des Strahlungsschirmes (4)
verlaufende Ablaßrohr (31) durch eine Radialbohrung im
Einlaßflansch (7) herausgeführt ist.
14. Pumpe nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch
gekennzeichnet, daß sich im Bereich des Sammelraumes eine
Heizung (45) befindet.
15. Pumpe nach Anspruch 12 und 14, dadurch gekennzeichnet, daß
die Heizung (45) auf dem inneren Abschnitt (43) des Trägers
(42) des Abschlußbleches (41) angeordnet ist.
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DE4201755A DE4201755A1 (de) | 1992-01-23 | 1992-01-23 | Kryopumpe mit einem im wesentlichen topffoermigen gehaeuse |
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DE59207962T DE59207962D1 (de) | 1992-01-23 | 1992-04-18 | Kryopumpe mit einem im wesentlichen topfförmigen gehäuse |
US08/256,796 US5542257A (en) | 1992-01-23 | 1992-04-18 | Cryogenic pump with an essentially cup-shaped housing |
JP4508482A JPH07502793A (ja) | 1992-01-23 | 1992-04-18 | ほぼコップ形のケーシングを有するクライオポンプ |
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Family Applications After (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE59207962T Expired - Fee Related DE59207962D1 (de) | 1992-01-23 | 1992-04-18 | Kryopumpe mit einem im wesentlichen topfförmigen gehäuse |
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US (1) | US5542257A (de) |
EP (1) | EP0608232B1 (de) |
JP (1) | JPH07502793A (de) |
DE (2) | DE4201755A1 (de) |
WO (1) | WO1993015318A1 (de) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO1993023133A1 (en) * | 1992-05-21 | 1993-11-25 | Helix Technology Corporation | Cryogenic waterpump |
DE19632123A1 (de) * | 1996-08-09 | 1998-02-12 | Leybold Vakuum Gmbh | Kryopumpe |
US20110162391A1 (en) * | 2008-07-01 | 2011-07-07 | Ball-Difazio Doreen J | Method and Apparatus for Providing Temperature Control to a Cryopump |
Families Citing this family (20)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5782096A (en) * | 1997-02-05 | 1998-07-21 | Helix Technology Corporation | Cryopump with improved shielding |
US6155059A (en) * | 1999-01-13 | 2000-12-05 | Helix Technology Corporation | High capacity cryopump |
US6272867B1 (en) | 1999-09-22 | 2001-08-14 | The Coca-Cola Company | Apparatus using stirling cooler system and methods of use |
US6532749B2 (en) | 1999-09-22 | 2003-03-18 | The Coca-Cola Company | Stirling-based heating and cooling device |
US6266963B1 (en) | 1999-10-05 | 2001-07-31 | The Coca-Cola Company | Apparatus using stirling cooler system and methods of use |
US6263679B1 (en) | 2000-04-05 | 2001-07-24 | Helix Technology Corporation | Particulate dam for cryopump flange |
US6581389B2 (en) | 2001-03-21 | 2003-06-24 | The Coca-Cola Company | Merchandiser using slide-out stirling refrigeration deck |
US6550255B2 (en) | 2001-03-21 | 2003-04-22 | The Coca-Cola Company | Stirling refrigeration system with a thermosiphon heat exchanger |
US7037083B2 (en) | 2003-01-08 | 2006-05-02 | Brooks Automation, Inc. | Radiation shielding coating |
US20050274128A1 (en) * | 2004-06-10 | 2005-12-15 | Genesis | Cryopump with enhanced hydrogen pumping |
US7313922B2 (en) * | 2004-09-24 | 2008-01-01 | Brooks Automation, Inc. | High conductance cryopump for type III gas pumping |
WO2006085868A2 (en) * | 2005-02-08 | 2006-08-17 | Sumitomo Heavy Industries, Ltd. | Improved cryopump |
KR100914383B1 (ko) * | 2006-06-20 | 2009-08-28 | 주식회사 엘지화학 | 폴리헤테로고리 화합물, 이를 이용한 유기 전자 소자 및 이유기 전자 소자를 포함하는 전자 장치 |
CN101595305B (zh) * | 2007-01-17 | 2013-02-13 | 布鲁克机械公司 | 没有压力爆发的高容量低温泵 |
JP4436863B2 (ja) * | 2007-10-29 | 2010-03-24 | キヤノンアネルバテクニクス株式会社 | 再生構造を備えた冷却トラップユニット |
US9186601B2 (en) * | 2012-04-20 | 2015-11-17 | Sumitomo (Shi) Cryogenics Of America Inc. | Cryopump drain and vent |
US9174144B2 (en) | 2012-04-20 | 2015-11-03 | Sumitomo (Shi) Cryogenics Of America Inc | Low profile cryopump |
JP5570550B2 (ja) * | 2012-05-21 | 2014-08-13 | 住友重機械工業株式会社 | クライオポンプ |
KR101805075B1 (ko) * | 2013-04-24 | 2017-12-05 | 지멘스 헬스케어 리미티드 | 2단 극저온 냉동기 및 관련 장착 설비를 포함하는 조립체 |
JP6659930B2 (ja) * | 2014-03-21 | 2020-03-04 | エドワーズ バキューム リミテッド ライアビリティ カンパニー | クライオポンプ・ハイブリッド前面アレイ |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE8804218U1 (de) * | 1988-03-29 | 1988-05-11 | Leybold Ag, 6450 Hanau, De |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3140820A (en) * | 1962-05-31 | 1964-07-14 | Robert E Clausing | Method for maintaining very high vacuum in a system |
FR2146100B2 (de) * | 1971-07-16 | 1974-03-29 | Air Liquide | |
DE2512235A1 (de) * | 1975-03-20 | 1976-09-23 | Bosch Gmbh Robert | Kuehlfalle fuer vakuumanlagen |
US4719938A (en) * | 1985-01-22 | 1988-01-19 | Helix Technology Corporation | Self-cleaning valve and cryopump utilizing the same |
-
1992
- 1992-01-23 DE DE4201755A patent/DE4201755A1/de not_active Withdrawn
- 1992-04-18 EP EP92909000A patent/EP0608232B1/de not_active Expired - Lifetime
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Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE8804218U1 (de) * | 1988-03-29 | 1988-05-11 | Leybold Ag, 6450 Hanau, De |
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
DE-Buch: WUTZ, ADAM, WALCHER: Theorie und Praxis der Vakuumtechnik, 3. Aufl., 1986, Vieweg, S.373/374 * |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO1993023133A1 (en) * | 1992-05-21 | 1993-11-25 | Helix Technology Corporation | Cryogenic waterpump |
DE19632123A1 (de) * | 1996-08-09 | 1998-02-12 | Leybold Vakuum Gmbh | Kryopumpe |
US6092373A (en) * | 1996-08-09 | 2000-07-25 | Leybold Vakuum Gmbh | Cryopump |
US20110162391A1 (en) * | 2008-07-01 | 2011-07-07 | Ball-Difazio Doreen J | Method and Apparatus for Providing Temperature Control to a Cryopump |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
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WO1993015318A1 (de) | 1993-08-05 |
DE59207962D1 (de) | 1997-03-06 |
US5542257A (en) | 1996-08-06 |
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EP0608232A1 (de) | 1994-08-03 |
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OM8 | Search report available as to paragraph 43 lit. 1 sentence 1 patent law | ||
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Owner name: BALZERS UND LEYBOLD DEUTSCHLAND HOLDING AG, 63450 |
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8141 | Disposal/no request for examination |