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Patentes

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Número de publicaciónDE4315240 A1
Tipo de publicaciónSolicitud
Número de solicitudDE19934315240
Fecha de publicación11 Nov 1993
Fecha de presentación7 May 1993
Fecha de prioridad7 May 1992
También publicado comoUS5578360
Número de publicación19934315240, 934315240, DE 4315240 A1, DE 4315240A1, DE-A1-4315240, DE19934315240, DE4315240 A1, DE4315240A1, DE934315240
InventoresVeli-Pekka Viitanen
SolicitanteOutokumpu Instr Oy Espoo
Exportar citaBiBTeX, EndNote, RefMan
Enlaces externos: DPMA, Espacenet
Verstärkungsstruktur für dünne Filme und Verfahren zu deren Herstellung
DE 4315240 A1
Resumen  disponible en
Descripción  disponible en alemán
Reclamaciones(11)  disponible en alemán
Clasificaciones
Clasificación internacionalH01J5/18, G03F7/09, G03F7/00, H01J47/00
Clasificación cooperativaY10T428/31721, Y10T428/26, Y10T428/24331, Y10T428/24273, Y10T428/266, G03F7/09, H01J47/004, Y10T428/24298, G03F7/0005, H01J5/18
Clasificación europeaG03F7/09, H01J47/00A2C, G03F7/00B, H01J5/18
Eventos legales
FechaCódigoEventoDescripción
3 Ago 20008141Disposal/no request for examination
5 Oct 20008110Request for examination paragraph 44
5 Oct 20008170Reinstatement of the former position
18 Mar 20048139Disposal/non-payment of the annual fee