DE4318978A1 - Piezoelektrischer Aktuator - Google Patents
Piezoelektrischer AktuatorInfo
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- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/02—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing linear motion, e.g. actuators; Linear positioners ; Linear motors
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- H02N2/043—Mechanical transmission means, e.g. for stroke amplification
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- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Description
Die Erfindung betrifft einen piezoelektrischen Aktuator mit
mindestens einem piezoelektrischen Element, dem Elektroden
zum Anlegen einer Ansteuerspannung zugeordnet sind.
Aus der deutschen Offenlegungsschrift 41 16 990 ist ein
piezoelektrisch bewegter Linearaktuator bekannt, der mehrere
Piezoelemente aufweist, die zur Erzielung eines möglichst
großen Stellbereichs in besonderer Weise zueinander
angeordnet sind. In Abhängigkeit von einer Ansteuerspannung
läßt sich der Stellweg des Aktuators variieren, wobei die
Auslegung auf einen besonders großen Stellweg dazu führt, daß
nur relativ geringe Stellkräfte aufgebracht werden können.
Aus dem Stand der Technik sind ferner Konstruktionsprinzipien
für piezoelektrische Aktuatoren bekannt, die der Erzeugung
möglichst großer Stellkräfte dienen, dann jedoch nur relativ
geringe Stellwege ermöglichen.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, einen
piezoelektrischen Aktuator der eingangs genannten Art zu
schaffen, der sowohl relativ große Stellkräfte als auch große
Verstellwege ermöglicht. Ferner soll er auch sehr schnelle
Stellbewegungen zulassen. Überdies soll die Möglichkeit
bestehen, bei einfacher Herstellung und Konstruktion durch
simple Maßnahmen den maximalen Stellweg vorgeben zu können.
Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß das
piezoelektrische Element derart einem mittels mindestens
einer elastischen Membran abgeschlossenen und mit einer
inkompressiblen Flüssigkeit gefüllten Hohlkörper zugeordnet
ist, daß sich bei der Ansteuerung des piezoelektrischen
Elements das Hohlraumvolumen des Hohlkörpers unter von der
Flüssigkeit erfolgenden Verformung der Membran ändert. Diese
Verformung der Membran entspricht dem Stellweg, das heißt,
eine sich beispielsweise durch Herauswölben der Membran
einstellende Längenänderung ist als Stellweg nutzbar.
Aufgrund der verwendeten inkompressiblen Flüssigkeit erfolgt
beim Gegenstand der Erfindung eine Kraft- und
Volumenänderungstransformation. Das piezoelektrische Element
wirkt auf die Flüssigkeit, die ungerichtet (also in alle
Richtungen) die Krafteinwirkung weiterleitet, so daß an der
Membran die Verformung eintritt. Der Hohlkörper ist
vorzugsweise derart dimensioniert, daß an ihm durch die
Kraftbeaufschlagung keine oder nur unwesentliche Verformungen
auftreten, so daß nur bzw. im wesentlichen nur die Membran
auslenkt. Auf diese Art und Weise sind schnelle
Stellbewegungen mit großen Kräften und auch großen
Verstellwegen, beispielsweise < 100 µm, möglich.
Nach einer Weiterbildung der Erfindung ist vorgesehen, daß
das piezoelektrische Element zumindest einen Abschnitt der
Hohlraum-Wandung bildet. Wird es mittels der Ansteuerspannung
aktiviert, so verändert der Abschnitt seine Position, das
heißt, es ergibt sich in diesem Bereich eine Änderung der
Hohlraum-Wandung. Dadurch tritt eine Volumenveränderung des
Hohlkörpers ein, so daß aufgrund des konstant bleibenden
Volumens der Flüssigkeit die Membran ausgelenkt wird. Durch
das Wort "zumindest" ist im Anspruch 2 angedeutet, daß es
auch möglich ist, daß das piezoelektrische Element die
gesamte Hohlraum-Wandung bildet. Es ist auch möglich, daß der
gesamte Hohlkörper von dem piezoelektrischen Element gebildet
wird. Vorzugsweise besteht in einem solchen Falle der
Hohlkörper aus einem piezoelektrischen Material. Zumindest
einige Bereiche der Hohlkörperinnen- und/oder -außenfläche
weist Elektroden auf, die zum Anlegen der Ansteuerspannung
dienen. Vorzugsweise ist zumindest der Abschnitt oder aber
auch die gesamte Hohlraum-Wandung mit einer der Elektroden
beschichtet.
Vorzugsweise befindet sich die andere Elektrode an einem
anderen Bereich des piezoelektrischen Elements. Das
piezoelektrische Element kann vorzugsweise zumindest einen
Bereich der Außenmantelfläche des Hohlraums bilden, wobei
dieser Bereich mit der anderen Elektrode versehen,
insbesondere mit dieser beschichtet, ist.
Nach einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung ist der
Hohlkörper als Röhrchen ausgebildet.
Vorzugsweise handelt es sich um ein Piezoröhrchen, also um
ein Röhrchen aus piezoelektrischem Material. Wird ein
derartiges Röhrchen, das die eine Elektrode auf der
Mantelaußenfläche und die andere Elektrode auf der
Mantelinnenfläche aufweist, elektrisch angesteuert, so
verändern sich Längen- und Durchmesserverhältnisse, das
heißt, wird die Längenerstreckung größer, so wird der
Durchmesser kleiner; wird die Längenabmessung kleiner, so
wird der Durchmesser größer. Durch einfache
Längendimensionierung und Durchmesserdimensionierung sowie
auch Flächendimensionierung der Membran kann somit der
gewünschte Stellweg des Aktuators festgelegt werden.
Vorzugsweise ist dem einen Ende des Röhrchens die Membran
zugeordnet. Dies kann direkt erfolgen, indem sie quasi die
Stirnfläche des Röhrchens bildet oder aber indirekt unter
Verwendung eines Zwischenstückes. Das Zwischenstück
ermöglicht es, die Stellbewegungsrichtung gegenüber der
Hauptachse des Aktuators, also der Röhrchenlängsachse, in
gewünschter Weise zu verändern, indem das Zwischenstück
kommunizierend mit dem Hohlraum des Hohlkörpers verbunden und
ebenfalls mit inkompressibler Flüssigkeit gefüllt ist. An
geeigneter Stelle, also auch unter einem Winkel zur
Hauptachse des Aktuators versetzt, ist die Membran
angeordnet, so daß die gewünschte Stellbewegungsrichtung
erzielt werden kann. Dabei ist von Vorteil, daß die
"Kraftrichtungsumlenkung" aufgrund der inkompressiblen
Flüssigkeit völlig unproblematisch ist.
Nach einem besonders bevorzugten Ausführungsbeispiel ist der
Hohlkörper von zwei vorzugsweise koaxial ineinandergreifenden
Röhrchen gebildet. Der Hohlraum erstreckt sich im
wesentlichen zwischen der Außenmantelfläche des inneren
Röhrchens und der Innenmantelfläche des äußeren Röhrchens.
Beide Röhrchen bestehen aus piezoelektrischem Material und
weisen an ihren Innenmantelflächen sowie Außenmantelflächen
die Elektroden zum Anlegen der Ansteuerspannung auf.
Vorzugsweise ist das innere Röhrchen kürzer als das äußere
Röhrchen ausgebildet, wobei das eine, erste Ende des inneren
Röhrchens verschlossen ist und die so ausgebildete
Schließfläche einen Abschnitt der Hohlraum-Wandung bildet.
Die beiden anderen Enden der ineinander greifenden Röhrchen
fluchten miteinander. Dem ersten Ende des inneren Röhrchens,
also der Schließfläche, liegt die Membran mit Abstand
gegenüber, welche an dem zugeordneten ersten Ende des äußeren
Röhrchens angebracht oder diesem Ende zugeordnet ist.
Zugeordnet bedeutet, daß auch hier - sofern erforderlich -
ein Zwischenstück vorgesehen sein kann, welches die Membran
trägt.
Den erwähnten beiden anderen Enden der beiden Röhrchen, die
vorzugsweise miteinander fluchten, ist ein Dichtring
zugeordnet. Dieser erstreckt sich zwischen der
Außenmantelfläche des inneren Röhrchens und der
Innenmantelfläche des äußeren Röhrchens und dichtet so den
Hohlraum zwischen den beiden Röhrchen ab. Der Dichtring
bildet vorzugsweise ein elektrisches Anschlußelement für die
Elektroden, von denen sich eine auf der Außenmantelfläche des
inneren Röhrchens und eine andere auf der Innenmantelfläche
des äußeren Röhrchens befindet.
Eine weitere Elektrode befindet sich auf der
Außenmantelfläche des äußeren Röhrchens und eine vierte
Elektrode auf der Innenmantelfläche des inneren Röhrchens.
Nach einem weiteren Ausführungsbeispiel ist vorgesehen, daß
dem Hohlkörper mehrere, vorzugsweise zwei, Membranen
zugeordnet sind. Die Membranen sind bevorzugt derart am
Hohlkörper angeordnet, daß sich ihre Verformungsauslenkungen
addieren bzw. etwa addieren, sofern sie unter einem Winkel
zueinander liegen. Liegen sich zwei Membranen diametral
gegenüber, so erfolgt eine Addition ihrer Auslenkungen. Der
Vorteil dieser Konstruktion liegt in einer weniger großen
Dehnung der einzelnen Membran, wobei jedoch dennoch ein
entsprechend großer Gesamtstellweg des Aktuators erzielt ist.
Die Zeichnungen veranschaulichen die Erfindungen anhand von
Ausführungsbeispielen und zwar zeigt:
Fig. 1 einen piezoelektrischen Aktuator (Aktor,
insbesondere Linearaktor), der als Röhrchen
ausgebildet ist,
Fig. 2 einen piezoelektrischen Aktuator nach einem weiteren
Ausführungsbeispiel, der zwei koaxiale Röhrchen
aufweist,
Fig. 3 einen piezoelektrischen Aktuator gemäß dem
Ausführungsbeispiel der Fig. 2, jedoch mit einem
Wirkrichtungs-Umlenk-Adapter und
Fig. 4 einen piezoelektrischen Aktuator mit zwei Membranen
nach einem weiteren Ausführungsbeispiel.
Die Fig. 1 zeigt einen piezoelektrischen Aktuator, der als
Linearaktor ausgebildet ist. Er weist einen Hohlkörper 1 auf,
der als Röhrchen 2 mit kreisförmigem Querschnitt ausgebildet
ist. Das Röhrchen 2 besteht aus piezoelektrischem Material,
so daß es ein piezoelektrisches Element 3 bildet. Auf der
Außenmantelfläche 4 des Röhrchens 2 ist eine Elektrode 5
angeordnet, die über eine elektrische Leitung 6 an den einen
Pol einer Ansteuerspannung (nicht dargestellt) anschließbar
ist. An dem einen, ersten Ende 7 des Röhrchens 2 ist ein
Membranträger 8 angeordnet. Dieser ist als Ringkörper
ausgebildet, wobei er in das Innere des Röhrchens 2 dichtend
eingesteckt ist und einen mittleren Durchbruch 9 aufweist
Er trägt eine elastische Membran 10, die das Röhrchen 2
dichtend im Bereich des ersten Endes 7 verschließt. Am
anderen, zweiten Ende 11 des Röhrchens 3 ist ein Dichtkörper
12 angeordnet, der das Röhrchen 2 verschließt, so daß
innerhalb des Röhrchens 2 ein Hohlraum 13 ausgebildet wird.
Dieser Hohlraum 13 ist mit einer inkompressiblen Flüssigkeit
14 gefüllt. Die Innenmantelfläche 15 ist mit einer Elektrode
16 versehen, die in elektrischer Verbindung mit dem
Dichtkörper 12 steht, der an eine elektrische Leitung 17
angeschlossen ist, welche mit dem anderen Pol der bereits
erwähnten Ansteuerspannung verbunden werden kann.
Wird eine Ansteuerspannung an die beiden Elektroden 5 und 16
gelegt, so wird aufgrund des piezoelektrischen Effekts die
Geometrie des Röhrchens 2 derart verändert, daß sich das
Volumen des Hohlraums 13 verkleinert. Da der Hohlraum 13 mit
der inkompressiblen Flüssigkeit 14 gefüllt ist und somit das
Flüssigkeitsvolumen konstant bleibt, wird die Membran 10
ausgelenkt, wie dies in der Fig. 1 gestrichelt dargestellt
ist. Die Membran 10 wölbt sich also nach außen, so daß sich
die Gesamtlänge des Aktuators vergrößert. Je nach Größe der
Auslenkung der Membran 10 stellt sich ein entsprechender
Stellweg des piezoelektrischen Aktuators ein. Die Größe der
Auslenkung ist von der Höhe der angelegten Ansteuerspannung
abhängig. Wird die Ansteuerspannung ausgeschaltet, so nimmt
der Hohlkörper 1 wieder seine ursprüngliche Form an, das
heißt, die Membran 10 tritt in ihre Ursprungs Lage zurück.
Die Fig. 2 zeigt ein anderes Ausführungsbeispiel eines
piezoelektrischen Aktuators, das im wesentlichen dem
Ausführungsbeispiel der Fig. 1 entspricht. Insoweit wird auf
die vorstehenden Ausführungen bezug genommen. Zusätzlich
weist der Aktuator des Ausführungsbeispiels der Fig. 2
jedoch ein weiteres Röhrchen 18 auf, das ein inneres Röhrchen
bildet, während das Röhrchen 2 ein äußeres Röhrchen
darstellt. Die Röhrchen 2 und 18 sind koaxial ineinander
angeordnet, wobei das innere Röhrchen 18 kürzer als das
äußere Röhrchen 2 ausgebildet ist. Auch das Röhrchen 18
besteht - ebenso wie das Röhrchen 2 - aus piezoelektrischem
Material. Das erste Ende 7 des äußeren Röhrchens 2 ist -
ebenso wie bei dem Ausführungsbeispiel der Fig. 1 - mit
einem Membranträger 8 sowie einer Membran 10 versehen. Dem
Membranträger 8 liegt mit Abstand das erste Ende 19 des
inneren Röhrchens 18 gegenüber, wobei dieses Ende mittels
eines Schließkörpers 20 verschlossen ist. Das zweite Ende 11
des äußeren Röhrchens 2 fluchtet mit dem zweiten Ende 21 des
inneren Röhrchens 18. Zwischen der Innenmantelfläche 15 des
äußeren Röhrchens 2 und der Außenmantelfläche 22 des inneren
Röhrchens 18 befindet sich im Bereich der Enden 11 und 21 ein
zwischen den Röhrchen 2 und 18 gebildeten Hohlraum 13
abschließender Dichtring 23.
Die Außenmantelfläche 22 des inneren Röhrchens 18 ist mit
einer Elektrode 24 und die Innenmantelfläche 25 des inneren
Röhrchens 18 mit einer Elektrode 26 versehen. Der Dichtring
23 ist elektrisch leitend und an eine elektrische Leitung 27
angeschlossen. Eine weitere elektrische Leitung 28 steht mit
der Elektrode 26 in Verbindung. Insofern führt eine Leitung 6
zur Elektrode 5 an der Außenmantelfläche 4 des äußeren
Röhrchens 2; die Leitung 27 führt über den elektrisch
leitenden Dichtring zur Elektrode 16 an der Innenmantelfläche
15 des äußeren Röhrchens 2 und auch zur Elektrode 24 an der
Außenmantelfläche 22 des inneren Röhrchens 18; und die
Leitung 28 führt zur Elektrode 26 an der Innenmantelfläche 25
des inneren Röhrchens 18. Die im Zuge dieser Anmeldung
genannten Elektroden können beispielsweise als metallische
Beschichtungen auf die piezoelektrischen Elemente aufgebracht
sein.
An die Leitungen 6, 27 und 28 wird eine Ansteuerspannung
derart angelegt, daß sich das Volumen des im wesentlichen
zwischen den Röhrchen 2 und 18 befindlichen Hohlraums 13
verkleinert, wodurch die in dem Hohlraum 13 befindliche
inkompressible Flüssigkeit 14 die Membran 10 - wie in der
Fig. 2 gestrichelt angedeutet - auslenkt. Vorzugsweise wird
die Ansteuerspannung derart gepolt, daß sich der Durchmesser
des äußeren Röhrchens 2 verkleinert, wobei sich gleichzeitig
der Durchmesser des inneren Röhrchens 18 vergrößert. Dies
führt zu einer relativ großen Volumenverkleinerung des
Hohlraums 13 und somit zu einem relativ großen Stellweg, da
sich die Membran 10 entsprechend weit nach außen durchwölbt.
Die Fig. 3 zeigt ein weiteres Ausführungsbeispiel, das im
wesentlichen in dem Ausführungsbeispiel der Fig. 3
entspricht, so daß auf die vorstehenden Ausführungen bezug
genommen wird. Unterschiedlich zum Ausführungsbeispiel der
Fig. 2 ist jedoch die Ausgestaltung im Bereich des ersten
Endes 7. Hier ist ein spezieller Membranträger verwendet, der
als Wirkrichtungs-Umlenk-Adapter 29 ausgebildet ist. Er weist
einen Stutzen 30 auf, mit dem er dichtend in das Ende 7 des
äußeren Röhrchens 2 eingreift. Ferner ist er mit einem
Winkelkanal 31 versehen, wobei der eine Schenkel 32 des
Winkelkanals 31 in Richtung der Längsachse 33 der Röhrchen 2,
18 verläuft und der andere Schenkel 34 in einem Winkel zu der
Längsachse 33 steht. Im gezeigten Ausführungsbeispiel beträgt
dieser Winkel 90°; er kann jedoch - nach anderen, nicht
dargestellten Ausführungsbeispielen - auch von 90° abweichend
sein. Am Ende des Schenkels 34 des Winkelkanals 31 ist die
Membran 10 angeordnet, das heißt, ihre Membranfläche liegt in
einem Winkel zur Stirnfläche des äußeren bzw. inneren
Röhrchens 2, 18. Damit ist ein Aktor mit einer
Stellbewegungsrichtung geschaffen, die senkrecht zur
Hauptachse (Längsachse 33) des von den Röhrchen 2 und 18
gebildeten Hohlkörpers 1 verläuft. Die Funktionsweise
entspricht der zur Fig. 2 beschriebenen Funktionsweise, so
daß hierauf nicht nochmals eingegangen zu werden braucht.
Die Fig. 4 zeigt ein Ausführungsbeispiel, das dem
Ausführungsbeispiel der Fig. 1 entspricht. Es gelten daher
die Ausführungen der Fig. 1 entsprechend. In Abweichung von
dem Ausführungsbeispiel der Fig. 1 ist beim
Ausführungsbeispiel der Fig. 4 vorgesehen, daß nicht nur das
erste Ende 7 mit einer Membran 10, sondern daß auch das
zweite Ende 11 mit einer weiteren Membran 10 versehen ist.
Anstelle des Dichtkörpers 12 (Fig. 1) ist am zweiten Ende 11
ein Membranträger 8 im Röhrchen 2 angeordnet, der die weitere
Membran 10 aufweist. Die Ausführungsform der Fig. 4 hat den
Vorteil, daß bei gleichem Stellweg, wie bei dem
Ausführungsbeispiel der Fig. 1, die beiden Membranen 10 nur
jeweils eine geringere Auslenkung, vorzugsweise nur den
halben Auslenkweg, aufweisen müssen, so daß die Dehnung der
einzelnen Membran 10 nicht so groß sein muß.
Die Hohlkörper 1 der beschriebenen Ausführungsbeispiele sind
derart dimensioniert, daß durch den erzeugten
Flüssigkeitsdruck im wesentlichen nur eine Verformung der
Membran 10, nicht jedoch des Gehäuses stattfindet. Durch
einfache Vorgabe der Längen- und Durchmesserdimensionierung
des Röhrchens 2 bzw. der Röhrchen 2 und 18 und/oder einer
entsprechenden Flächendimensionierung der Membran 10 kann der
gewünschte maximale Verstellweg vorgegeben werden. Es ist
ohne weiteres möglich, mittels des Erfindungsgegenstandes
Verstellwege zu erzielen, die größer als 100 µm sind. Durch
geringe konstruktive Änderungen, beispielsweise mittels des
in der Fig. 3 beschriebenen Wirkrichtungs-Umlenk-Adapters,
ist es möglich, daß die Verstellbewegungsrichtung beliebig
zur Hauptachse des Aktors veränderbar ist. Der
erfindungsgemäße Aktor erfordert nur geringe
Herstellungskosten und ermöglicht einen breiten Einsatz.
Insbesondere ist es möglich, ihn als Verstellelement bei
Druckmaschinen einzusetzen. Beispielsweise können mit ihm
Farbzonendosierungen vorgenommen werden. Es lassen sich also
die Farbzonen einer Druckmaschine mittels erfindungsgemäß
gestalteter Aktuatoren fernverstellen. Ferner ist auch der
Einsatz derartiger Aktoren als Bewegungsantrieb für Greifer
bei Druckmaschinen, beispielsweise für den Papiertransport
vornehmenden Greifern derartiger Druckmaschinen, möglich.
Claims (17)
1. Piezoelektrischer Aktuator mit mindestens einem
piezoelektrischen Element, dem Elektroden zum Anlegen
einer Ansteuerspannung zugeordnet sind,
dadurch gekennzeichnet,
daß das piezoelektrische Element (3) derart einem mittels
mindestens einer elastischen Membran (10)
abgeschlossenen und mit einer inkompressiblen Flüssigkeit
(14) gefüllten Hohlkörper (1) zugeordnet ist, daß sich
bei der Ansteuerung des piezoelektrischen Elements (3)
das Hohlraumvolumen des Hohlkörpers (1) unter von der
Flüssigkeit erfolgenden Verformung der Membran (10)
verändert.
2. Aktuator nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet,
daß das piezoelektrische Element (3) zumindest einen
Abschnitt der Hohlraum-Wandung bildet.
3. Aktuator nach einem der vorhergehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet,
daß das piezoelektrische Element (3) den Hohlkörper (1)
bildet.
4. Aktuator nach einem der vorhergehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet,
daß zumindest der Abschnitt der Hohlraum-Wandung mit
einer der Elektroden (16, 24) beschichtet ist.
5. Aktuator nach dem der vorhergehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet,
daß das piezoelektrische Element (3) zumindest einen
Bereich der Außenmantelfläche (4) des Hohlraums (13)
bildet und daß dieser Bereich mit der anderen Elektrode
(5) beschichtet ist.
6. Aktuator nach einem der vorhergehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet,
daß der Hohlkörper (1) als Röhrchen (2; 2, 18)
ausgebildet ist.
7. Aktuator nach einem der vorhergehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet,
daß dem einen Ende (7) des Röhrchens (2) die Membran (10)
zugeordnet ist.
8. Aktuator nach einem der vorhergehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet,
daß der Hohlkörper (1) von zwei vorzugsweise koaxial
ineinander greifenden Röhrchen (2, 18) gebildet ist.
9. Aktuator nach einem der vorhergehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet,
daß das Röhrchen (2) bzw. die Röhrchen (2, 18) aus
piezoelektrische. Material bestehen.
10. Aktuator nach einem der vorhergehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet,
daß zwischen der Außenmantelfläche (22) des inneren
Röhrchens (18) und der Innenmantelfläche (15) des äußeren
Röhrchens (2) zumindest ein Teil des Hohlraums (13)
ausgebildet ist.
11. Aktuator nach einem der vorhergehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet,
daß das innere Röhrchen (18) kürzer als das äußere
Röhrchen (2) ausgebildet ist und daß das eine, erste Ende
(19) des inneren Röhrchens (18) verschlossen ist, wobei
die Schließfläche einen Abschnitt der Hohlraum-Wandung
bildet.
12. Aktuator nach einem der vorhergehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet,
daß dem ersten Ende (19) des inneren Röhrchens (18) die
Membran (10) mit Abstand gegenüberliegt, welche an einem
ersten Ende (7) des äußeren Röhrchens (2) angeordnet oder
diesem ersten Ende (7) zugeordnet ist.
13. Aktuator nach einem der vorhergehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet,
daß im Bereich der beiden anderen, zweiten Enden (11, 21)
der beiden vorzugsweise koaxialen Röhrchen (2, 18) ein
den Hohlraum (13) absperrender Dichtring (23) angeordnet
ist, der sich zwischen der Außenmantelfläche (22) des
inneren Röhrchens (18) und der Innenmantelfläche (15) des
äußeren Röhrchens (2) befindet.
14. Aktuator nach einem der vorhergehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet,
daß der Dichtring (23) ein elektrisches Anschlußelement
für die sich auf der Außenmantelfläche (22) des Inneren
Röhrchens (18) und der Innenmantelfläche (15) des äußeren
Röhrchens (2) befindlichen Elektroden (24, 16) bildet.
15. Aktuator nach einem der vorhergehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet,
Wirkrichtungs-Umlenk-Adapter (29), der die Membran (10)
aufweist und derart am Hohlkörper (1) befestigt ist, daß
er mit dem Hohlraum (13) kommunizierend in Verbindung
steht.
16. Aktuator nach einem der vorhergehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet,
daß dem Hohlkörper (1) mehrere, insbesondere zwei,
Membranen (10) zugeordnet sind.
17. Aktuator nach Anspruch 16,
dadurch gekennzeichnet,
daß die Membranen (10) derart am Hohlkörper (1)
angeordnet sind, daß sich ihre Verformungsauslenkungen
zumindest etwa addieren.
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