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Patentes

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Número de publicaciónDE4446297 A1
Tipo de publicaciónSolicitud
Número de solicitudDE19944446297
Fecha de publicación27 Jun 1996
Fecha de presentación23 Dic 1994
Fecha de prioridad23 Dic 1994
También publicado comoUS5852275
Número de publicación19944446297, 944446297, DE 4446297 A1, DE 4446297A1, DE-A1-4446297, DE19944446297, DE4446297 A1, DE4446297A1, DE944446297
InventoresHans Signer
SolicitanteBalzers Hochvakuum
Exportar citaBiBTeX, EndNote, RefMan
Enlaces externos: DPMA, Espacenet
Heizanordnung, Vakuumprozeßkammer mit einer solchen und Betrieb einer derartigen Vakuumprozeßkammer
DE 4446297 A1
Descripción  disponible en alemán
Reclamaciones(9)  disponible en alemán
Clasificaciones
Clasificación internacionalH01J37/32
Clasificación cooperativaH01J37/32431
Clasificación europeaH01J37/32O
Eventos legales
FechaCódigoEventoDescripción
17 May 20018127New person/name/address of the applicant
Owner name: UNAXIS BALZERS AG, BALZERS, LI
21 Mar 20028141Disposal/no request for examination