-
Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf eine Vakuumpumpen-Magnetlagervorrichtung, die Magnetlager umfaßt, wobei die Lager ein aktives Magnetlager enthalten und eine Rotorwelle drehbar unterstützen, die von einem Motor mit einer Statorspule angetrieben und gedreht wird, und auf eine Vakuumpumpe, die mit der Magnetlagervorrichtung ausgerüstet ist. Genauer bezieht sich die Erfindung auf die Struktur einer Statorsäulenanordnung, in der ein Elektromagnet des oben erwähnten aktiven Magnetlagers, ein Verschiebungssensor für den Elektromagneten und die oben erwähnte Statorspule in einer zylindrischen Statorsäule angeordnet sind.
-
6 ist eine vertikale Schnittansicht, die eine herkömmliche Statorsäulenanordnung
1 mit einer zylindrischen Statorsäule zeigt. Eine solche Statorsäulenanordnung ist z. B. in
US-A-3747998 offenbart. Diese Statorsäulenanordnung
1 entspricht einer Art, die in einer Magnetlagervorrichtung verwendet wird, in der Magnetlager, die ein erstes aktives Radialmagnetlager, ein zweites aktives Radialmagnetlager und ein nicht gezeigtes Schubmagnetlager umfassen, verwendet werden, um eine Rotorwelle drehbar zu unterstützen, die von einem Motor mit einer Statorspule angetrieben und gedreht wird, d. h. eine Fünf-Achsen-Kontroll-Typ-Magnetlagervorrichtung.
-
In 6 umfasst die Statorsäulenanordnung 1 eine zylindrische Statorsäule 11, in der ein erstes aktives Radialmagnetlager, eine Statorspule 21 eines Motors und ein zweites aktives Radialmagnetlager aufgenommen und an gegebenen Positionen fixiert sind. Die zylindrische Statorsäule 11 ist ein metallisches (z. B. aus Aluminium), zylindrisches Element mit einem darin befindlichen zylindrischen Raum und weist an seiner Oberseite ein Durchgangsloch 11a zum Hindurchführen einer Rotorwelle und an seiner Unterseite eine Öffnung 11b auf. Die Statorspule 21 umfaßt mehrere Magnetkerne 21b (z. B. sind 24 Kerne vorhanden), die jeweils eine darum gewickelte Spule 21a aufweisen und in ein metallisches kreisförmiges Joch 20c eingepreßt sind. Das erste aktive Radialmagnetlager umfaßt einen Elektromagneten 31 und einen Radialverschiebungssensor 32 für den Elektromagneten 31. Der Elektromagnet 31 umfaßt vier Paare von Magnetkernen 31b und Spulen 31a, die um die Magnetkerne 31b gewickelt sind. Der Radialverschiebungssensor 32 umfaßt vier Paare von Magnetkernen 32b und Spulen 32a, die um die Magnetkerne 32b gewickelt sind. Das zweite aktive Radialmagnetlager umfaßt einen Elektromagneten 41 und einen Radialverschiebungssensor 42 für den Elektromagneten 41. Der Elektromagnet 41 umfaßt vier Paare von Magnetkernen 41b und Spulen 41a, die um die Magnetkerne 41b gewickelt sind. Der Radialverschiebungssensor 42 umfaßt vier Paare von Magnetkernen 42b und Spulen 42a, die um die Magnetkerne 42b gewickelt sind.
-
Die Statorsäulenanordnung 1, die in 6 gezeigt ist, wird wie folgt hergestellt. Zuerst werden in einen zylindrischen Raum innerhalb der zylindrischen Statorsäule 11, die auf eine geeignete Temperatur aufgeheizt worden ist, der Radialverschiebungssensor 32 des ersten aktiven Radialmagnetlagers, ein kreisförmiges Abstandhalterelement 30e, der Elektromagnet 31 des ersten aktiven Radialmagnetlagers, ein kreisförmiges Abstandhalterelement 30f, die Statorspule 21, ein kreisförmiges Abstandhalterelement 40e, der Elektromagnet 41 des zweiten Aktivradialmagnetlagers, ein kreisförmiges Abstandhalterelement 40f und der Radialverschiebungssensor 42 des zweiten aktiven Radialmagnetlagers in der genannten Reihenfolge eingepreßt, wobei diese Teile an gegebenen Positionen fixiert werden. Nach Abschluß des Einpressens wird von der Öffnung 11b her eine säulenförmige Buchse eingesetzt und der Raum mit einem thermisch aushärtbaren Epoxidhammaterial gefüllt, wodurch diese Teile mit dem Material beschichtet werden und gleichzeitig eine Innenzylinderoberflache der Kunstharzform innerhalb der zylindrischen Statorsäule 11 gebildet wird. Wenn die Vergußarbeit abgeschlossen ist, wird die Innenzylinderoberfläche der Form einem Schneiden und Schaben unterworfen, um somit die Statormagnetkerne 21b, die Elektromagnetkerne 31b, 41b und die Sensormagnetkerne 32b, 42b freizulegen. Die Herstellung der Statorsäulenanordnung 1 wird durch wenigstens die drei obenbeschriebenen Schritte abgeschlossen. Übrigens bezeichnet das Bezugszeichen 10d einen Formabschnitt.
-
Die in 6 gezeigte herkömmliche Statorsäulenanordnung 1 weist einige Probleme auf. Das erste dieser Probleme ist eine heikle Fertigungsarbeit beim Konstruieren der Statorsäulenanordnung, da die Komponenten unter Verwendung der kreisförmigen Abstandhalter und durch Einpressen der Komponente durch die Schrumpfungspassung in der zylindrischen Statorsäule 11 angeordnet werden. Zweites führt diese heikle Herstellungsarbeit zu mangelhaften Artikeln. Das heißt, jede Komponente weist einen elektrischen Draht für die Verdrahtung auf, weshalb wahrend der Herstellung ein Bruch des Drahtes stattfinden kann. Drittens, wenn ein Artikel sich aufgrund des Bruches eines Drahtes oder anderer Faktoren als mangelhaft herausgestellt hat, ist es nicht möglich, nur die Teile zu ersetzen, an denen der Bruch des Drahtes aufgetreten ist, da die gesamte Anordnung nach der Schrumpfungspassung mit der Kunstharzform beschichtet ist. Dies macht die gesamte Statorsäulenanordnung 1, die fixiert worden ist, zu einem defekten Produkt, was in einer vollständigen Entsorgung des Produkts resultiert. Ferner besteht das Vierte dieser Probleme darin, daß der Formabschnitt 10d mit der zylindrischen Statorsäule 11 integriert ist, was die Gefahr hervorruft, daß der Formabschnitt 10d mit der Rotorwelle in Kontakt kommt, wenn die Magnetlagervorrichtung aufgrund eines mehrstündigen Betriebs des Motors erwärmt wird, wodurch der Formabschnitt 10d in der Statorsäulenanordnung 1 nach innen aufgebläht wird. Wenn dies geschieht, wird eine mit dieser Magnetlagervorrichtung ausgerüstete Vakuumpumpe an einem normalen Betrieb gehindert.
-
Es ist eine erste Aufgabe der vorliegenden Erfindung, die Schwierigkeit bei der Herstellung einer Statorsäulenanordnung in einer Vakuumpumpen-Magnetlagervorrichtung zu beseitigen, die Magnetlager umfaßt, die ein aktives Magnetlager enthalten und eine Rotorwelle drehbar unterstützen, die von einer Motor mit einer Statorspule angetrieben und gedreht wird, wobei die Magnetlagervorrichtung eine Statorsäulenanordnung aufweist, in der Komponenten wie z. B. die Statorspule und Elektromagneten aufgenommen und mit einer Form beschichtet sind. Eine zweite Aufgabe der Erfindung, die zu lösen ist, besteht darin, eine Vakuumpumpen-Statorsäulenanordnung zu schaffen, deren Struktur erlaubt, Ressourcen vollständig und vernünftig zu nutzen. Eine dritte Aufgabe der Erfindung, die zu lösen ist, besteht darin, eine Vakuumpumpen-Magnetlagervorrichtung mit einer Statorsäulenanordnung davor zu bewahren, den normalen Betrieb aufgrund der thermischen Ausdehnung eines Formabschnitts der Statorsäule zu behindern. Eine vierte Aufgabe der Erfindung, die zu lösen ist, besteht darin, eine Vakuumpumpe zu schaffen, die kostengünstiger und leistungsfähiger ist als eine solche des Standes der Technik.
-
Um die obenerwähnten Aufgaben zu lösen, wird eine Vakuumpumpen-Magnetlagervorrichtung, eine Vakuumpumpe und ein Verfahren zur Herstellung einer Vakuumpumpen-Magnetlagervorrichtung angegeben, wie sie in den Ansprüchen definiert sind.
-
Im folgenden werden Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung lediglich beispielhaft und mit Bezug auf die beigefügten Zeichnungen beschrieben, in welchen:
-
1 eine vertikale Schnittansicht ist, die eine Ausführungsform einer Statorsäulenanordnung einer Magnetlagervorrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung zeigt;
-
2 eine Teilschnittansicht ist, die eine Ausführungsform einer Elektromagneteinheit 30 für ein erstes Magnetlager, eine Statorspuleneinheit 20 und eine Elektromagneteinheit 40 für ein zweites Magnetlager zeigt, wobei diese drei die in 1 gezeigte Statorsäulenanordnung bilden;
-
3 eine Teilschnittansicht ist, die eine weitere Ausführungsform der Elektromagneteinheit 30 für das erste Magnetlager, der Statorspuleneinheit 20 und der Elektromagneteinheit 40 für das zweite Magnetlager zeigt, die alle drei die in 1 gezeigte Statorsäulenanordnung bilden;
-
4 eine perspektivische Ansicht ist, die eine Ausführungsform einer Buchse mit drei separaten Teilen zeigt, die verwendet wird, um die Elektromagneteinheit für das in 2 gezeigte erste Magnetlager herzustellen;
-
5 eine vertikale Schnittansicht ist, die eine Ausführungsform einer Vakuumpumpe gemäß der vorliegenden Erfindung zeigt; und
-
6 eine vertikale Schnittansicht ist, die ein Beispiel einer Statorsäulenanordnung einer herkömmlichen Magnetlagervorrichtung zeigt.
-
Gemäß einer Ausführungsform einer Statorsäulenanordnung 1 für die Verwendung in einer Vakuumpumpen-Magnetlagervorrichtung der vorliegenden Erfindung, wie in der Schnittansicht in 1 gezeigt ist, sind eine erste Elektromagneteinheit 30 für ein erstes aktives Radialmagnetlager, eine Statorspuleneinheit 20 und eine zweite Elektromagneteinheit 40 für ein zweites aktives Radialmagnetlager in der genannten Reihenfolge mit einer gegebenen Passungstoleranz mit einer zylindrischen Statorsäule 11 in Eingriff und fixiert.
-
Die erste Elektromagneteinheit 30 ist so konstruiert, daß ein Elektromagnet 31 und ein Radialverschiebungssensor 32 für den Elektromagneten 31 in einem kreisförmigen Halteelement 30c aufgenommen sind, mit einem Kunstharzformelement 30d beschichtet werden und anschließend in eine gegebene Form gegossen werden. Das kreisförmige Halteelement 30c ist ein metallisches kreisförmiges Element (z. B. aus Aluminium) mit einer gestuften Innenumfangsfläche, auf der ein kreisförmiger Vorsprung zum Positionieren an einer gegebenen Position in Axialrichtung ausgebildet ist. Der Elektromagnet 31 umfaßt vier Paare von Magnetkernen 31b und Spulen 31a, die um die Magnetkerne 31b gewickelt sind. Der Radialverschiebungssensor 32 umfaßt vier Paare von Magnetkernen 32b und Spulen 32a, die um die Magnetkerne 32b gewickelt sind.
-
Die Statorspuleneinheit 20 ist so konstruiert, daß mehrere von z. B. 24 Magnetkernen 21b mit darum gewickelten Spulen 21a an einem metallischen kreisförmigen Jochelement 20c angebracht sind, um eine Statorspule 21 zu bilden, die mit einen Kunstharzformelement 20d beschichtet wird und anschließend in eine gegebene Form geformt wird. Das kreisförmige Jochelement 20c dient auch als ein kreisförmiges Halteelement.
-
Die zweite Elektromagneteinheit 40 ist so konstruiert, daß ein Elektromagnet 41 und ein Radialverschiebungssensor 42 für den Elektromagneten 41 in einem kreisförmigen Halteelement 40c aufgenommen werden, mit einem Kunstharzformelement 40d beschichtet werden und anschließend in eine gegebene Form geformt werden. Das kreisförmige Halteelement 40c ist ein metallisches kreisförmiges Element (z. B. aus Aluminium) mit einer gestuften Innenumfangsfläche, auf der ein kreisförmiger Vorsprung zum Positionieren an einer gegebenen Position in Axialrichtung ausgebildet ist. Der Elektromagnet 41 umfaßt vier Paare von Magnetkernen 41b und Spulen 41a, die um die Magnetkerne 41b gewickelt sind. Der Radialverschiebungssensor 42 umfaßt vier Paare von Magnetkernen 42b und Spulen 42a, die um die Magnetkerne 42b gewickelt sind.
-
Mit Bezug auf 4 folgt eine Beschreibung eines Verfahrens zum Herstellen der ersten Elektromagneteinheit 30. Zuerst werden der Radialverschiebungssensor 32 und der Elektromagnet 31 in das kreisförmige Halteelement 30c eingesetzt und in vorgegebenen Positionen angeordnet. Diese halbfertige Anordnung für den Elektromagneten 30 nimmt eine Buchse 50 für die Kunstharzform auf und wird mit einem thermisch aushärtbaren Epoxidharzmaterial gefüllt, das diese Komponenten beschichtet. Die Buchse 50 für die Kunstharzform ist eine mehrteilige Buchse, wie in 4 gezeigt ist, und umfaßt: ein erstes Buchsenelement 51, das kreisförmig ist und eine flache äußere Umfangsflache 51a aufweist; ein zweites Buchsenelement 52, das kreisförmig ist und eine äußere Umfangsfläche 52a aufweist, auf der vier Paare von Kerben 52b für die Elektromagnetkerne längs dessen Axialrichtung ausgebildet sind, wobei die Kerben 52b mit den Magnetkernen 31b des Elektromagneten 31 in Eingriff gelangen; und ein drittes Buchsenelement 53, das kreisförmig ist und einen Basisabschnitt 53c und eine Außenumfangsfläche 53a aufweist, auf der vier Paare von Kerben 53b für die Sensormagnetkerne auf dessen Oberkante ausgebildet sind, wobei die Kerben 53b mit den Magnetkernen 32b des Radialverschiebungssensors 32 in Eingriff gelangen.
-
Die Buchse 50 mit drei getrennten Teilen, die wie oben erwähnt aufgebaut sind, wird in die halbfertige Anordnung für die Elektromagneteinheit 30 eingesetzt, um sie mit dem thermisch aushärtbaren Epoxidharzmaterial zu füllen. Nachdem das eingefüllte Epoxydharz ausgehärtet ist, wird die mehrteilige Buchse 50 zerlegt und entnommen, um das Formen der ersten Elektromagneteinheit 30 abzuschließen, was die Herstellung der ersten Magneteinheit 30 abschließt. Die erste Elektromagneteinheit 30, die so geformt worden ist, weist eine flache Harzformoberfläche auf, mit Ausnahme ihrer inneren Umfangsfläche, wo die Magnetkerne 31b des Elektromagneten 31 und die Magnetkerne 32b des Radialverschiebungssensors 32 oberflächlich freiliegen. Dies stellt somit einen Vorteil dar, da es nicht erforderlich ist, zum Freilegen der Magnetkerne eine Schneid- und Schab-Bearbeitung durchzuführen.
-
Die zweite Elektromagneteinheit 40 wird in einer Weise ähnlich zur Herstellung der ersten Elektromagneteinheit 30 hergestellt. Die Buchse, die für den Kunstharzverguß in der Herstellung der Einheit 40 zu verwenden ist, ist eine Buchse mit drei separaten Teilen, wie in 4 gezeigt ist. Die Statorspuleneinheit 20 wird ebenfalls in der gleichen Weise wie diese Elektromagneteinheiten hergestellt. Die für den Kunstharzverguß zu verwendende Buchse ist jedoch hierbei eine Buchse mit zwei separaten Teilen. Weder die zweite Elektromagneteinheit 40 noch die Statorspuleneinheit 20, die so geformt werden, erfordern für ihre Innenumfangsflächen eine Schneid- und Schab-Bearbeitung, um die Magnetkerne freizulegen.
-
Die erste Elektromagneteinheit 30, die Statorspuleneinheit 20 und die zweite Elektromagneteinheit 40, die mittels der obigen Konstruktion und Formung hergestellt werden, werden in der genannten Reihenfolge mit einer gegebenen Passungstoleranz mit der zylindrischen Statorsäule 11 in Eingriff gebracht, um somit die Statorsäulenanordnung 1 entsprechend der vorliegenden Erfindung fertigzustellen.
-
Wie oben beschrieben worden ist, sind die erste Elektromagneteinheit 30, die Statorspuleneinheit 20 und die zweite Elektromagneteinheit 40 nicht durch Preßpassung sondern durch Eingriff in der zylindrischen Statorsäule 11 aufgenommen und befestigt. Dementsprechend ist die Statorsäulenanordnung der vorliegenden Erfindung frei von der obenerwähnten Schwierigkeit bei der Herstellungsarbeit, was eine deutliche Verbesserung darstellt. Die Komponenten verlieren so kaum ihre Drähte für die Verdrahtung durch Bruch während der Herstellung. Selbst wenn ein Bruch eines Drahtes oder andere Faktoren auftreten und einen Defekt hervorrufen, erfordert dies einfach den Austausch der defekten Einheit, um zu verhindern, daß die gesamte Statorsäulenanordnung ein defekter Artikel ist und entsorgt wird, im Gegensatz zu den herkömmlichen Vorrichtungen. Dies liegt auch daran, daß die Komponenteneinheiten nicht durch Preßpassung sondern durch Eingriff in der zylindrischen Statorsäuleneinheit 11 aufgenommen und fixiert sind.
-
Die herkömmliche Statorsäulenanordnung 1 wird konstruiert durch Preßpassen und Fixieren der Komponenten an der zylindrischen Statorsäule 11, woraufhin sie zu einer Einheit vergossen werden. Wenn daher aufgrund eines Bruchs eines Drahtes oder anderer Faktoren ein Defekt auftritt, muß die herkömmliche Statorsäulenanordnung 1 entsorgt werden. Im Gegensatz hierzu umfaßt die Statorsäulenanordnung 1 der vorliegenden Erfindung Komponenteneinheiten, in denen jeweils elektromagnetische Komponenten (ein Elektromagnet und ein Radialverschiebungssensor für den Elektromagnet oder eine Statorspule) in einem kreisförmigen Halteelement aufgenommen werden, um vergossen zu werden, wobei die Komponenteneinheiten in der genannten Reihenfolge separat mit einer zylindrischen Statorsäule in Eingriff gebracht und fixiert werden. Somit ist es möglich, nur eine defekte Komponenteneinheit in der vorliegenden Erfindung zu entsorgen. Diese separate Entsorgung und die obenerwähnte Verbesserung und Erleichterung der Herstellungsarbeit reduzieren die Kosten für die Herstellung der Magnetlagervorrichtung. Auch bei der Rückgewinnung von Ressourcen ist die Statorsäulenanordnung 1, in der das Vergießen separat für jede Einheit durchgeführt wird, viel einfacher zu verarbeiten als eine einteilig vergossene.
-
Eine Vakuumpumpe, die mit der Magnetlagervorrichtung der vorliegenden Erfindung ausgestattet ist, ist z. B. eine bekannte Verbund-Turbomolekularpumpe, die mit einer 5-Achsen-Kontroll-Typ-Magnetlagervorrichtung ausgestattet ist, wie in einer vertikalen Schnittansicht in 5 gezeigt ist. In 5 bezeichnet das Bezugszeichen 1 die in 1 gezeigte Statorsäulenanordnung; 2 ein Schubmagnetlager; 3 eine Rotorwelle; 4 einen Rotorzylinderkörper mit einem zylindrischen Abschnitt, der viele Rotorblätter aufweist, die an seiner Oberseite angebracht sind, und eine flache Außenumfangsfläche an seiner unteren Seite aufweist; 5 einen Statorzylinderkörper, mit dem der Rotorzylinderkörper in Eingriff ist und in welchem ein zylindrischer Abschnitt ausgebildet ist, wobei der zylindrische Abschnitt viele Statorblätter aufweist, die an seiner Oberseite angebracht sind, und an seiner Unterseite eine Innenumfangsfläche aufweist, die für eine Schraube ausgekehlt ist; 6 ein Gehäuse; und 7 eine Pumpenbasis.
-
In einer solchen Vakuumpumpe erreichen das Innere der Pumpe, insbesondere die Rotorwelle 3 und ihre Umgebung, eine sehr hohe Temperatur aufgrund der Hitze, die durch den Strom erzeugt wird, der durch die Spulen der Komponenten fließt. Somit bestand herkömmlicherweise die Gefahr, daß sich die Kunstharzvergußbeschichtung der Komponenten aufbläht, um mit der Außenumfangsfläche der Rotorwelle 3 in Kontakt zu kommen. In der Struktur der herkömmlichen Statorsäulenanordnung 1 sind die Komponenten in die Zylinderstatorsäule 11 eingepreßt und fixiert, so daß die Komponenten und die Säule anschließend einteilig vergossen werden, wobei das Aufblähen der Kunstharzform in Richtung der Radialrichtung statt in Axialrichtung hervorgerufen wird.
-
Die vorliegende Erfindung verwendet dann einen kleinen Spielraum δ an den Enden der kreisförmigen Halteelemente vor dem Vergießen. Wie z. B. in 3 gezeigt ist, ist ein kleiner Zwischenraum δ am unteren Ende des kreisförmigen Halteelements 30c in der ersten Elektromagneteinheit 30 ausgebildet, während ein kleiner Spielraum δ jeweils an den oberen und unteren Enden des kreisförmigen Halteelements 40c in der zweiten Elektromagneteinheit 40 ausgebildet wird, bevor die jeweiligen Einheiten vergossen werden. Jede Maßnahme wird leicht verwirklicht, indem die Form der Buchse 50 teilweise verändert wird. Im übrigen kann der kleine Spielraum δ nicht nur am unteren Ende des kreisförmigen Halteelements 300, sondern an dessen beiden Enden ausgebildet werden, und kann an einem oder an beiden Enden des kreisförmigen Jochelements 20c in der Statorspuleneinheit 20 ausgebildet werden.
-
Die obige Beschreibung bezieht sich auf eine Ausführungsform, in der die vorliegende Erfindung auf eine 5-Achsen-Kontroll-Typ-Vakuumpumpen-Magnetlagervorrichtung angewendet wird. Die vorliegende Erfindung kann jedoch auf andere 5-Achsen-Kontroll-Typ-Magnetlagervorrichtungen mit anderen Strukturen und auf 3-Achsen-Kontroll-Typ-Magnetlagervorrichtungen angewendet werden. Ferner ist eine Vakuumpumpe, auf die die vorliegende Erfindung anwendbar ist, nicht auf die Turbomolekularpumpe beschränkt, vielmehr kann sie auf verschiedene anders strukturierte Vakuumpumpen angewendet werden.
-
Zusammengefaßt schafft die vorliegende Erfindung eine Vakuumpumpen-Magnetlagervorrichtung mit einer Statorsäulenanordnung und einer Vakuumpumpe, die mit der Vakuumpumpen-Magnetlagervorrichtung ausgestattet ist, wobei die Anordnung Komponenteneinheiten umfaßt, in denen jeweils elektromagnetische Komponenten (ein Elektromagnet und ein Radialverschiebungssensor für den Elektromagneten, oder eine Statorspule) in einem kreisförmigen Halteelement aufgenommen werden, um vergossen und fixiert zu werden, wobei die Komponenteneinheiten in der genannten Reihenfolge separat mit der zylindrischen Statorsäule in Eingriff gebracht und fixiert werden. Die Herstellungsarbeit der Statorsäulenanordnung wird somit deutlich erleichtert. Ferner wird ein Fehler während der Herstellung, bei dem Drähte der Komponenten brechen, in der Häufigkeit deutlich reduziert, wobei dann, wenn ein Fehler wie z. B. ein Bruch eines Drahtes auftritt, die Erfindung ermöglicht, nur eine defekte Komponenteneinheit separat zu entsorgen. Die Ressourcen-Rückgewinnungsarbeit wird ebenfalls erleichtert, da die Erfindung es leicht macht, jede Komponenteneinheit von der zylindrischen Statorsäule zu entfernen.
-
Ferner weist die Statorsäulenanordnung, die durch Eingreifen und Fixieren der Komponenteneinheiten konstruiert worden ist, Mittel auf, um die Kunstharzformaufblähung, die durch eine hohe Temperatur hervorgerufen wird, in Axialrichtung und nicht in Radialrichtung zu lenken. Der Kontaktfehler zwischen der Kunstharzform und der Rotorwelle aufgrund des thermischen Aufblähens wird somit verhindert, was die Leistungsfähigkeit der mit dieser Magnetlagervorrichtung ausgestatteten Vakuumpumpe verbessert.
-
Außerdem reduzieren das oben erwähnte separate Entsorgen und die Verbesserung und Erleichterung der Herstellungsarbeit die Kosten für die Herstellung der Magnetlagervorrichtung, wodurch es möglich wird, eine Vakuumpumpe mit geringeren Kosten und höherer Leistungsfähigkeit als im Stand der Technik zu schaffen.
