DE602004023179D1 - Halbleiter strahlungsbild-erfassungsvorrichtung - Google Patents
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JP5004848B2 (ja) * | 2007-04-18 | 2012-08-22 | キヤノン株式会社 | 放射線検出装置及び放射線検出システム |
JP5406473B2 (ja) * | 2007-07-19 | 2014-02-05 | キヤノン株式会社 | 放射線検出装置 |
JP5171431B2 (ja) * | 2008-06-26 | 2013-03-27 | 株式会社ジャパンディスプレイウェスト | 光電変換装置、放射線撮像装置及び放射線検出装置 |
WO2010026977A1 (ja) * | 2008-09-05 | 2010-03-11 | コニカミノルタホールディングス株式会社 | 画像入出力装置 |
KR102437444B1 (ko) | 2008-11-21 | 2022-08-30 | 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 | 표시 장치 |
KR101109579B1 (ko) * | 2009-01-12 | 2012-02-06 | (주)세현 | 엑스레이 검출기용 박막 트랜지스터 기판 및 이의 제조 방법 |
KR102007134B1 (ko) | 2009-11-27 | 2019-08-02 | 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 | 반도체 장치 및 반도체 장치의 제작방법 |
KR101924318B1 (ko) * | 2010-02-12 | 2018-12-03 | 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 | 반도체 장치 및 그 구동 방법 |
JP5562134B2 (ja) | 2010-06-17 | 2014-07-30 | キヤノン株式会社 | 放射線検出装置、その製造方法及び放射線撮像システム |
JP2012146805A (ja) * | 2011-01-12 | 2012-08-02 | Sony Corp | 放射線撮像装置、放射線撮像表示システムおよびトランジスタ |
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KR20130049076A (ko) | 2011-11-03 | 2013-05-13 | 삼성디스플레이 주식회사 | 광검출 화소, 광검출 장치, 및 그 구동방법 |
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JP5963551B2 (ja) * | 2012-06-06 | 2016-08-03 | キヤノン株式会社 | アクティブマトリクスパネル、検出装置、及び、検出システム |
JP5974654B2 (ja) * | 2012-06-13 | 2016-08-23 | ソニー株式会社 | 撮像装置および撮像表示システム |
CN102790063B (zh) * | 2012-07-26 | 2017-10-17 | 北京京东方光电科技有限公司 | 一种传感器及其制造方法 |
CN103972249B (zh) * | 2013-02-05 | 2017-04-12 | 群创光电股份有限公司 | 主动矩阵式影像感测面板及装置 |
JP6126470B2 (ja) * | 2013-06-12 | 2017-05-10 | ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 | 放射線撮像装置および放射線撮像表示システム |
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JP6463136B2 (ja) | 2014-02-14 | 2019-01-30 | キヤノン株式会社 | 放射線検出装置及び放射線検出システム |
US9985061B2 (en) | 2014-03-20 | 2018-05-29 | Sharp Kabushiki Kaisha | Light detection device with integrated photodiode and thin film transistor |
WO2015151961A1 (ja) * | 2014-04-03 | 2015-10-08 | シャープ株式会社 | X線撮像装置 |
US9881954B2 (en) * | 2014-06-11 | 2018-01-30 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Imaging device |
JP6378573B2 (ja) | 2014-08-06 | 2018-08-22 | キヤノン株式会社 | 放射線撮像装置及び放射線撮像システム |
KR102273876B1 (ko) * | 2014-12-04 | 2021-07-06 | 엘지디스플레이 주식회사 | 박막 트랜지스터 어레이 기판의 제조 방법 |
US10890761B2 (en) * | 2015-04-24 | 2021-01-12 | University-Industry Cooperation Group Of Kyung Hee University | Photoreactive sensor including optical amplification phototransistor, and display panel and vehicle control system including photoreactive sensor |
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WO2019148474A1 (en) * | 2018-02-03 | 2019-08-08 | Shenzhen Xpectvision Technology Co., Ltd. | Methods of recovering radiation detector |
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Family Cites Families (22)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6069393A (en) * | 1987-06-26 | 2000-05-30 | Canon Kabushiki Kaisha | Photoelectric converter |
JPH02260460A (ja) * | 1989-03-31 | 1990-10-23 | Casio Comput Co Ltd | 薄膜トランジスタ |
JP3265676B2 (ja) | 1993-01-18 | 2002-03-11 | カシオ計算機株式会社 | フォトセンサシステム |
DE69511292T2 (de) * | 1995-04-28 | 1999-12-02 | Sunnybrook Hospital North York | Aktive röntgenbildmatrix |
JP4255527B2 (ja) * | 1997-10-20 | 2009-04-15 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 半導体装置 |
US6486470B2 (en) * | 1998-11-02 | 2002-11-26 | 1294339 Ontario, Inc. | Compensation circuit for use in a high resolution amplified flat panel for radiation imaging |
KR100311495B1 (ko) | 1999-07-05 | 2001-10-18 | 김영환 | 반도체소자의 절연막 평탄화방법 |
JP3581073B2 (ja) * | 2000-03-07 | 2004-10-27 | シャープ株式会社 | イメージセンサおよびその製造方法 |
KR100618681B1 (ko) | 2000-05-31 | 2006-09-06 | 주식회사 하이닉스반도체 | 버츄얼 채널 디램의 채널 구조 |
JP2002124655A (ja) * | 2000-10-17 | 2002-04-26 | Canon Inc | 電磁波電気信号変換システム及びイメージセンサ |
KR100763137B1 (ko) * | 2000-12-29 | 2007-10-02 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | 엑스-선 검출소자 및 그의 제조방법 |
JP2002368202A (ja) * | 2001-06-07 | 2002-12-20 | Canon Inc | 半導体装置、撮像装置、放射線検出装置及び放射線検出システム |
US7214945B2 (en) * | 2002-06-11 | 2007-05-08 | Canon Kabushiki Kaisha | Radiation detecting apparatus, manufacturing method therefor, and radiation image pickup system |
JP4183990B2 (ja) * | 2002-07-11 | 2008-11-19 | シャープ株式会社 | 薄膜フォトトランジスタ及びそれを用いたアクティブマトリクス基板並びにそれを用いた画像読み取り装置。 |
US7148487B2 (en) * | 2002-08-27 | 2006-12-12 | Canon Kabushiki Kaisha | Image sensing apparatus and method using radiation |
US7541617B2 (en) | 2003-02-14 | 2009-06-02 | Canon Kabushiki Kaisha | Radiation image pickup device |
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JP4266656B2 (ja) * | 2003-02-14 | 2009-05-20 | キヤノン株式会社 | 固体撮像装置及び放射線撮像装置 |
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US7208810B2 (en) * | 2004-07-01 | 2007-04-24 | Varian Medical Technologies, Inc. | Integrated MIS photosensitive device using continuous films |
US7557355B2 (en) | 2004-09-30 | 2009-07-07 | Canon Kabushiki Kaisha | Image pickup apparatus and radiation image pickup apparatus |
US7317434B2 (en) * | 2004-12-03 | 2008-01-08 | Dupont Displays, Inc. | Circuits including switches for electronic devices and methods of using the electronic devices |
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