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Patentes

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Número de publicaciónDE602005004949 D1
Tipo de publicaciónConcesión
Número de solicitudDE200560004949
Fecha de publicación10 Abr 2008
Fecha de presentación15 Mar 2005
Fecha de prioridad29 Mar 2004
También publicado comoCN1677246A, CN1677246B, DE602005004949T2, EP1582928A1, EP1582928B1, US7561251, US8502954, US20050213067, US20100014059
Número de publicación0560004949, 200560004949, DE 2005/60004949 D1, DE 602005004949 D1, DE 602005004949D1, DE-D1-602005004949, DE0560004949, DE2005/60004949D1, DE200560004949, DE602005004949 D1, DE602005004949D1
InventoresDer Feltz Gustaaf Willem Van, Johan Christiaan Ge Hoefnagels, Cheng-Qun Gui
SolicitanteAsml Netherlands Bv
Exportar citaBiBTeX, EndNote, RefMan
Lithographischer Apparat und Methode zur Herstellung einer Vorrichtung
DE 602005004949 D1
Resumen  disponible en
Descripción  disponible en
Reclamaciones  disponible en
Clasificaciones
Clasificación internacionalH01L21/027, G03F7/20
Clasificación cooperativaG03F7/70875, G03F7/705
Clasificación europeaG03F7/70L2B, G03F7/70P6B2
Eventos legales
FechaCódigoEventoDescripción
16 Abr 20098364No opposition during term of opposition
20 Ene 20118339Ceased/non-payment of the annual fee