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Patentes

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Número de publicaciónDE60232356 D1
Tipo de publicaciónConcesión
Número de solicitudDE2002632356
Fecha de publicación25 Jun 2009
Fecha de presentación24 Sep 2002
Fecha de prioridad24 Oct 2001
También publicado comoCN1575325A, CN100425666C, EP1448736A1, EP1448736B1, US6705926, US7001253, US20030077985, US20040180612, WO2003035782A1
Número de publicación02632356, 2002632356, DE 60232356 D1, DE 60232356D1, DE-D1-60232356, DE02632356, DE2002632356, DE60232356 D1, DE60232356D1
InventoresRenjie Zhou, Steven K Grumbine, Isaac K Cherian
SolicitanteCabot Microelectronics Corp
Exportar citaBiBTeX, EndNote, RefMan

DE 60232356 D1
Resumen  disponible en
Descripción  disponible en
Reclamaciones  disponible en
Clasificaciones
Clasificación internacionalB24B37/24, H01L21/321, C09K3/14, C09G1/02, H01L21/304
Clasificación cooperativaY10T156/1051, H01L21/3212, C09K3/1463, C09G1/02, B24B37/245, B24B37/24
Clasificación europeaB24B37/24F, B24B37/24, C09G1/02, H01L21/321P2, C09K3/14D2
Eventos legales
FechaCódigoEventoDescripción
2 Jun 20108364No opposition during term of opposition