DE69102151T2 - Durch ultraviolette Strahlung löschbare, nichtflüchtige Halbleiterspeichervorrichtung mit einer asymmetrischen Feldoxid-Struktur. - Google Patents

Durch ultraviolette Strahlung löschbare, nichtflüchtige Halbleiterspeichervorrichtung mit einer asymmetrischen Feldoxid-Struktur.

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Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5790452A (en) * 1996-05-02 1998-08-04 Integrated Device Technology, Inc. Memory cell having asymmetrical source/drain pass transistors and method for operating same
KR100227625B1 (ko) * 1996-11-04 1999-11-01 김영환 반도체 소자의 테스트 패턴 제조방법
JP3742069B2 (ja) 2003-05-16 2006-02-01 沖電気工業株式会社 半導体素子の製造方法
KR100579127B1 (ko) 2003-11-19 2006-05-12 한국전자통신연구원 다중 빔 통신을 위한 위성 중계기용 스위치 제어 장치 및그 방법
KR102109462B1 (ko) * 2013-06-13 2020-05-12 에스케이하이닉스 주식회사 비휘발성 메모리 장치 및 그 제조방법
US9691776B2 (en) 2013-06-13 2017-06-27 SK Hynix Inc. Nonvolatile memory device

Family Cites Families (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4317272A (en) * 1979-10-26 1982-03-02 Texas Instruments Incorporated High density, electrically erasable, floating gate memory cell
JPS56108259A (en) * 1980-02-01 1981-08-27 Hitachi Ltd Semiconductor memory device
US4608751A (en) * 1980-04-07 1986-09-02 Texas Instruments Incorporated Method of making dynamic memory array
JPS5898978A (ja) * 1981-12-08 1983-06-13 Matsushita Electronics Corp 不揮発性メモリ
JPS5922358A (ja) * 1982-07-28 1984-02-04 Toshiba Corp 半導体記憶装置
DE3482847D1 (de) * 1983-04-18 1990-09-06 Toshiba Kawasaki Kk Halbleiterspeichervorrichtung mit einem schwebenden gate.
JPH07120716B2 (ja) * 1985-03-30 1995-12-20 株式会社東芝 半導体記憶装置
JPS62163376A (ja) * 1986-01-14 1987-07-20 Fujitsu Ltd 半導体記憶装置の製造方法
JPH0815206B2 (ja) * 1986-01-30 1996-02-14 三菱電機株式会社 半導体記憶装置
JPS63150971A (ja) * 1986-12-13 1988-06-23 Nec Corp 不揮発性メモリ
US4766473A (en) * 1986-12-29 1988-08-23 Motorola, Inc. Single transistor cell for electrically-erasable programmable read-only memory and array thereof
US4829351A (en) * 1987-03-16 1989-05-09 Motorola, Inc. Polysilicon pattern for a floating gate memory
IT1217403B (it) * 1988-04-12 1990-03-22 Sgs Thomson Microelectronics Matrice di memoria a tovaglia con celle eprom sfalsate
JP2886183B2 (ja) * 1988-06-28 1999-04-26 三菱電機株式会社 フィールド分離絶縁膜の製造方法
IT1228720B (it) * 1989-03-15 1991-07-03 Sgs Thomson Microelectronics Matrice a tovaglia di celle di memoria eprom con giunzioni sepolte, accessibili singolarmente mediante decodifica tradizionale.

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