DE69127680D1 - Verfahren zur Herstellung einer länglichen integrierten optischen Vorrichtung mit wenigstens einem seitlich begrenzten Wellenleiter darin - Google Patents

Verfahren zur Herstellung einer länglichen integrierten optischen Vorrichtung mit wenigstens einem seitlich begrenzten Wellenleiter darin

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Families Citing this family (33)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB9105436D0 (en) * 1991-03-14 1991-05-01 Bicc Plc An improved optical waveguide component
JPH04287010A (ja) * 1991-03-15 1992-10-12 Furukawa Electric Co Ltd:The 導波路型光切替器
US5200029A (en) * 1991-04-25 1993-04-06 At&T Bell Laboratories Method of making a planar optical amplifier
US5308656A (en) * 1991-07-16 1994-05-03 Adc Telecommunications, Inc. Electroformed mask and use therefore
US5253319A (en) * 1992-02-24 1993-10-12 Corning Incorporated Planar optical waveguides with planar optical elements
EP0631159A1 (de) * 1993-06-18 1994-12-28 Siemens Aktiengesellschaft Anordnung zur optischen Kopplung eines planaren optischen Wellenleiters und einer optischen Faser und Verfahren zur Herstellung eines für eine solche Anordnung geeigneten planaren Wellenleiters
EP0782713B1 (de) * 1994-09-23 2000-07-12 BRITISH TELECOMMUNICATIONS public limited company Planare wellenleiter
KR100251341B1 (ko) * 1995-05-08 2000-05-01 오카노 사다오 광도파로의 제조방법
US5703191A (en) * 1995-09-01 1997-12-30 Corning Incorporated Method for purifying polyalkylsiloxanes and the resulting products
US5879649A (en) * 1995-12-19 1999-03-09 Corning Incorporated Method for purifying polyalkylsiloxanes and the resulting products
US5798174A (en) * 1996-02-05 1998-08-25 Aep Industries, Inc. Biaxially and monoaxially oriented polypropylene cold seal release film
US5792549A (en) * 1996-05-30 1998-08-11 Aep Industries, Inc. Biaxially oriented polypropylene cold seal release films
US5909529A (en) * 1996-10-10 1999-06-01 Corning Incorporated Method of manufacturing planar gradient-index waveguide lenses
US6982996B1 (en) * 1999-12-06 2006-01-03 Weatherford/Lamb, Inc. Large diameter optical waveguide, grating, and laser
US6810178B2 (en) * 1998-12-04 2004-10-26 Cidra Corporation Large diameter optical waveguide having blazed grating therein
US6996316B2 (en) * 1999-09-20 2006-02-07 Cidra Corporation Large diameter D-shaped optical waveguide and coupler
US7386204B1 (en) 2000-08-26 2008-06-10 Cidra Corporation Optical filter having a shaped filter function
US6594410B2 (en) 2000-08-26 2003-07-15 Cidra Corporation Wide range tunable optical filter
US20040028336A1 (en) * 2001-09-04 2004-02-12 Feuer Mark D. Method for fabricating optical devices by assembling multiple wafers containing planar optical waveguides
JP4288841B2 (ja) * 2000-09-21 2009-07-01 ソニー株式会社 光バス部材の製造方法及び光バス装置
FR2816716B1 (fr) * 2000-11-10 2003-10-31 Opsitech Optical System Chip Dispositif de transmission d'une onde optique dans une structure munie d'une fibre optique et procede pour sa fabrication
US7087179B2 (en) * 2000-12-11 2006-08-08 Applied Materials, Inc. Optical integrated circuits (ICs)
AU2002308572A1 (en) * 2001-05-04 2002-11-18 L3 Optics, Inc. Method for separating silica waveguides
US6947653B2 (en) * 2001-10-12 2005-09-20 Jds Uniphase Corporation Waveguide stress engineering and compatible passivation in planar lightwave circuits
US20030077060A1 (en) * 2001-10-23 2003-04-24 Datong Chen Planar lightwave circuit optical waveguide having a circular cross section
US20040005108A1 (en) * 2002-07-02 2004-01-08 Kjetil Johannessen Thermal compensation of waveguides by dual material core having negative thermo-optic coefficient inner core
US6987895B2 (en) * 2002-07-02 2006-01-17 Intel Corporation Thermal compensation of waveguides by dual material core having positive thermo-optic coefficient inner core
US7079740B2 (en) * 2004-03-12 2006-07-18 Applied Materials, Inc. Use of amorphous carbon film as a hardmask in the fabrication of optical waveguides
US7907801B2 (en) * 2007-01-17 2011-03-15 Ibiden Co., Ltd. Optical element, package substrate and device for optical communication
DE102009034532A1 (de) 2009-07-23 2011-02-03 Msg Lithoglas Ag Verfahren zum Herstellen einer strukturierten Beschichtung auf einem Substrat, beschichtetes Substrat sowie Halbzeug mit einem beschichteten Substrat
US10185084B2 (en) 2016-02-23 2019-01-22 Corning Incorporated Layered glass structures
EP3337768A1 (de) * 2015-08-21 2018-06-27 Corning Incorporated Geschichtete glasstrukturen
US10094980B2 (en) * 2016-01-12 2018-10-09 King Saud University Three-dimensional space-division Y-splitter for multicore optical fibers

Family Cites Families (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3022541A (en) * 1960-02-05 1962-02-27 Phillips Petroleum Co Producing indicia in film by modification of film opacity
US3663194A (en) * 1970-05-25 1972-05-16 Ibm Method for making monolithic opto-electronic structure
US3794536A (en) * 1972-01-31 1974-02-26 Bell Telephone Labor Inc Dielectric circuit forming process
US3934061A (en) * 1972-03-30 1976-01-20 Corning Glass Works Method of forming planar optical waveguides
US3806223A (en) * 1972-03-30 1974-04-23 Corning Glass Works Planar optical waveguide
US3873339A (en) * 1972-03-30 1975-03-25 Corning Glass Works Method of forming optical waveguide circuit path
US4425146A (en) * 1979-12-17 1984-01-10 Nippon Telegraph & Telephone Public Corporation Method of making glass waveguide for optical circuit
US4504341A (en) * 1982-09-20 1985-03-12 Ppg Industries, Inc. Fabricating shaped laminated transparencies
JPS59192225A (ja) * 1983-04-15 1984-10-31 Hitachi Ltd 光回路
JPS60256101A (ja) * 1984-06-01 1985-12-17 Hitachi Ltd ガラス部材への光学素子形成方法
FR2574950B1 (fr) * 1984-12-18 1987-09-25 Corning Glass Works Composants optiques integres en verre et leur fabrication
JPS62204207A (ja) * 1986-03-05 1987-09-08 Sumitomo Electric Ind Ltd 石英系平板光回路の製造方法
EP0271095A3 (de) * 1986-12-12 1989-07-12 Nippon Steel Corporation Verfahren zur Herstellung von Formkörpern aus Pulvern, Folien oder feinen Drähten
JPS63206709A (ja) * 1987-02-23 1988-08-26 Nippon Sheet Glass Co Ltd 埋込み型シングルモ−ド光導波路の製造方法
FR2623915B1 (fr) * 1987-11-26 1990-04-13 Corning Glass Works Procede de production d'un composant optique integre en verre comprenant des tranchees de positionnement et de fixation de fibres optiques en alignement avec des guides d'ondes et composants ainsi produits

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EP0490095A3 (en) 1992-09-02
AU7448094A (en) 1995-01-19
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JPH06342110A (ja) 1994-12-13

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