DE69213094T2 - Verfahren zur Herstellung einer Halbleiteranordnung mit einem Kondensator mit einem ferroelektrischen Dieletrikum und Halbleiteranordnung mit einem derartigen Kondensator - Google Patents

Verfahren zur Herstellung einer Halbleiteranordnung mit einem Kondensator mit einem ferroelektrischen Dieletrikum und Halbleiteranordnung mit einem derartigen Kondensator

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