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Patentes

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Número de publicaciónDE69513330 D1
Tipo de publicaciónConcesión
Número de solicitudDE1995613330
Fecha de publicación23 Dic 1999
Fecha de presentación26 May 1995
Fecha de prioridad27 May 1994
También publicado comoDE69513330T2, EP0685885A1, EP0685885B1, US5461003, US5668398, US5936295
Número de publicación1995613330, 95613330, DE 69513330 D1, DE 69513330D1, DE-D1-69513330, DE1995613330, DE69513330 D1, DE69513330D1, DE95613330
InventoresRobert H Havemann, Shin-Puu Jeng
SolicitanteTexas Instruments Inc
Exportar citaBiBTeX, EndNote, RefMan
Verbesserungen in Bezug auf die Herstellung von Halbleitervorrichtungen
DE 69513330 D1
Resumen  disponible en
Descripción  disponible en
Reclamaciones  disponible en
Clasificaciones
Clasificación internacionalH01L21/316, H01L23/522, H01L21/768
Clasificación cooperativaH01L2924/0002, H01L21/02203, H01L21/7682, H01L21/02337, H01L21/02304, H01L21/02282, H01L21/02362, H01L21/02126, H01L21/31695, H01L23/5222
Clasificación europeaH01L21/768B6, H01L23/522C, H01L21/02K2C5, H01L21/02K2T2F, H01L21/02K2T8U, H01L21/02K2C1L1, H01L21/316P, H01L21/02K2T8H, H01L21/02K2E3L
Eventos legales
FechaCódigoEventoDescripción
7 Dic 20008364No opposition during term of opposition