DE69823235T2

DE69823235T2 - Linearschrittmotor

Info

Publication number: DE69823235T2
Application number: DE69823235T
Authority: DE
Inventors: E. Walter HINDS
Original assignee: Northern Magnetics Inc
Current assignee: Northern Magnetics Inc
Priority date: 1998-02-20
Filing date: 1998-11-03
Publication date: 2005-04-14
Anticipated expiration: 2018-11-04
Also published as: EP1057244B1; AU1376699A; CA2321779A1; ATE264563T1; KR20010041125A; JP2002504798A; CA2321779C; US5965962A; DE69823235D1; EP1057244A1; WO1999043073A1; US6016021A

Description

HINTERGRUND DER ERFINDUNG
Diese Erfindung bezieht sich auf Linearschrittmotoren. Insbesondere betrifft die Erfindung ein System zum Bilden von Komponenten des Linearschrittmotors und zum Verbessern der Betriebsleistung solcher Motoren.
Linearschrittmotoren werden zum Positionieren in Anwendungen verwendet, die Bewegungen mit schneller Beschleunigung und hoher Geschwindigkeit bei niedrigen Massenutzlasten erfordern. Die mechanische Einfachheit und der präzise Betrieb mit offener Schleife sind weitere Merkmale von Schritt-Linearmotorsystemen.
Ein Linearschrittmotor arbeitet gemäß den gleichen elektromagnetischen Prinzipien wie ein Drehschrittmotor. Der stationäre Teil oder die Platte ist ein passiver gezahnter Stahlstab, der sich über die gewünschte Bewegungslänge erstreckt. In die sich bewegenden Elemente oder den Treiber sind Permanentmagneten, Elektromagneten mit Zähnen und Lager eingebaut. Der Treiber bewegt sich längs der Platte in zwei Richtungen und stellt in Reaktion auf den Zustand der Ströme in den Feldwicklungen diskrete Orte sicher. Im Allgemeinen ist der Motor zweiphasig, eine größere Anzahl von Phasen kann jedoch verwendet werden.
Ein Linearschrittmotor unterliegt nicht denselben Beschränkungen hinsichtlich der Lineargeschwindigkeit und der Linearbeschleunigung, die Systemen eigentümlich sind, die eine Drehbewegung in eine geradlinige Bewegung umsetzen. Bei Linearmotoren wird die von dem Motor erzeugte Kraft effizient direkt auf die Last ausgeübt, wobei die Länge keine Auswirkung auf die Systemträgheit hat. Weitere Vorteile von Linearschrittmotoren umfassen:

1. Die Motoren erreichen Geschwindigkeiten von 2,54 m/s (100 Zoll pro Sekunde) und der Treiber mit niedriger Masse ermöglicht eine hohe Beschleunigung.
2. Der Bedarf an Verstellschraubenspindeln oder Riemen und Riemenschei ben ist beseitigt.
3. Die Bewegungslänge ist durch die Länge der Platte begrenzt, wobei eine Verlängerung der Platte keine Leistungsverschlechterung zur Folge hat.
4. Ein präziser Betrieb mit offener Schleife ist möglich, ferner ist die unidirektionale Wiederholbarkeit bis auf 2,5 Mikrometer ohne zusätzlichen Aufwand an Rückkopplungsvorrichtungen möglich.
5. Ein Linearmotor ist gewöhnlich in allen drei Dimensionen kleiner als vergleichbare Systeme, in denen eine Drehbewegung in eine geradlinige Bewegung umgesetzt wird.
6. Es können mehr als ein Treiber an derselben Platte arbeiten, wobei ihre Trajektorien überlappen können.

Ein Beispiel eines Linearmotors ist in dem Patent US 4.860.183 offenbart, das einen Linearmotor beschreibt, der eine erste Baueinheit (die Platte) und eine zweite Baueinheit (den Treiber) umfasst. Die Platte umfasst eine Gruppe von Zähnen, die mit einer bestimmten Schrittweite in einer Reihe längs einer Linie parallel zur axialen Bewegungslinie angeordnet sind. Der Treiber enthält ebenfalls Gruppen von Zähnen mit derselben bestimmten Schrittweite. Die Gruppen von Zähnen des Treibers befinden sich jeweils gegenüber der Gruppe von Zähnen der parallelen Platten und sind von jenen Zähnen der Platte durch einen schmalen Spalt getrennt.
Eine kritische Forderung zur Sicherstellung der Genauigkeit der Schrittmotoren besteht darin, dass die Positionen der Zähne in der Platte und der Zähne im Treiber genau sein müssen. Herkömmlicherweise ist es möglich, die Zähne in einer Platte durch einen Ätzprozess auszubilden, wobei die Ätzung derart ist, dass diese Zähne genau positioniert werden können. Es ist jedoch nicht möglich gewesen, die Zähne in den Polflächen in den Elektromagneten, die einen Teil des Treibers bilden, genau auszubilden. Daher besteht hinsichtlich der Genauigkeit von Linearschrittmotoren aufgrund dieser Eigenschaft eine Beschränkung.
Es besteht folglich ein Bedarf an der Schaffung eines Schrittmotors, bei dem es eher möglich ist, die Zähne im Treiber genau zu positionieren. Darüber hinaus ist es wünschenswert, Systeme zu schaffen, um die Dichte des magnetischen Flusses sowohl in der Platte als auch in den Zähnen im Treiber zu erhöhen.
ZUSAMMENFASSUNG DER ERFINDUNG
Erfindungsgemäß wird ein Linearmotor geschaffen, der einen Treiber umfasst, der über eine Platte bewegbar ist. Zwischen der Platte und dem Treiber sind Lagermittel vorgesehen, außerdem weist die Platte Zähne auf, die quer zur Bewegungsrichtung des Treibers über die Platte ausgerichtet sind. Der Treiber besitzt eine Reihe von Zähnen, die zu der Platte gerichtet sind und für eine im Wesentlichen parallele Anordnung mit den Zähnen in der Platte vorgesehen sind. Die Zähne in dem Treiber sind durch eine Platte gebildet, die geschlitzt und an dem Treiber befestigt ist.
Gemäß einer weiteren Ausführungsform der Erfindung besitzt das Material der Platte eine wesentlich höhere magnetische Dichte als die Polflächen, die die Elektromagneten bilden. Die Zähne der Platte können ebenfalls eine magnetische Dichte besitzen, die wesentlich höher als die magnetische Dichte des Materials ist, das als Basis für die Platte dient. Die Zähne der Platte könnten aus einer Platte ausgebildet sein, die über der Basis liegt.
Die Erfindung betrifft Schrittmotoren, die in der x-Achse und auch in der x- und der y-Achse orientiert sind. Ein Verfahren zum Herstellen eines Treibers gemäß der Erfindung ist in Anspruch 14 offenbart.
Die Erfindung wird weiterhin mit Bezug auf die beigefügten Zeichnungen beschrieben.
KURZBESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN
1 ist eine perspektivische Ansicht, in der Teile eines Treibers, der sich auf einer Platte eines Schrittmotors befinden, der in x-Richtung betreibbar ist, gestrichelt gezeigt sind.
2a–2d sind diagrammartige Darstellungen des Treibers eines Schrittmotors in seiner Beziehung zu den Zähnen auf einer Platte.
3 ist eine perspektivische Ansicht einer Platte und eines Gehäuses für vier Treiber eines Schrittmotors, der in x- und y-Richtung arbeitet.
4a ist eine Teilexplosionsunteransicht eines Gehäuses, wobei ein Teil der Basisplatte weggebrochen ist und vier Treiber gezeigt sind, die den Schrittmotor bilden, der in x- und in y-Richtung arbeitet.
4b ist eine Unteransicht der Basisplatte für das Gehäuse der vier Treiber, die den Schrittmotor bilden, der in x- und in y-Richtung arbeitet. Für jeden Treiber sind zwischen Schlitzen und Zähnen Materialstreifen vorhanden.
5 ist eine Explosionsansicht eines Treibers, in der der Körper, Permanentmagneten, Polstücke und die geschlitzte Platte für die Bildung der Zähne auf dem Treiber gezeigt sind.
6a–6c sind diagrammartige Querschnittsansichten von Treibern, die unterschiedliche Beziehungen zwischen der geschlitzten Platte und dem Körper des Treibers zeigen.
GENAUE BESCHREIBUNG DER ERFINDUNG
Wie in 1 gezeigt ist, ist eine Platte 10 durch einen Stahlstab gegeben, der auf einer ebenen Oberfläche Zähne 11 aufweist. Die Zähne 11 sind im Wesentlichen quer zur Bewegungsrichtung eines Treibers 12 orientiert, der sich in x-Richtung bewegt, wie durch den Pfeil 13 angegeben ist. Die Zähne 11 auf der Oberfläche sind zueinander und zu Zähnen 14, die auf der Unterseite von Polflächen 15 ausgebildet sind, die einen Teil des Treibers 12 bilden, parallel.
Die Zähne 14 des Treibers 12 sind zu den Zähnen 11 der Platte 10 gerichtet und stehen zu den Zähnen 11 der Platte 10 in einer im Wesentlichen parallelen Beziehung. Die Zähne 14 sind in der Fläche der Polflächen 15 in einer Weise ausgebildet, die im Folgenden weiter beschrieben wird. Der Treiber 12 umfasst ein Körperelement 16 für den Treiber 12, in dem sich Feldwicklungen 17 und Permanentmagneten 18 befinden.
Der Schrittmotor, der in 1 gezeigt ist, umfasst außerdem Lager 19, die an dem Gehäuse angebracht sind, durch das der Treiber 12 befestigt ist. Diese Lager 19 können entweder mechanische Wälzlager oder aber Luftlager sein. Mechanische Lager sind einfach, außerdem reduziert die Steifheit des Lagers das Stampfen und Rollen des Treibers 12. Luftlager sind ohne mechanische Reibung und arbeiten, indem der Treiber 12 auf hohem Druck schwebt, der durch Öffnungen in der Nähe der Polflächen 15 des Treibers 12 eingeleitet wird. Die gezeigte Darstellung stellt mechanische Lager 19 dar.
Der Betrieb des Linearschrittmotors wird nun mit Bezug auf den Betrieb des Motors beschrieben, bei dem es sich um zwei Elektromagneten in einem Zweiphasenmotor handelt. Die 2a–2d veranschaulichen nicht die Erfindung. Der Linearschrittmotor wird in Mikroschritten angetrieben, indem der Strom in die zwei Phasen des Treibers 12 in einer Weise ähnlich jener von Drehschrittmotoren unterteilt wird. Der Treiber 12 besteht aus zwei oder vier Elektromagneten (A und B) und aus einem starken Seltenerd-Permanentmagneten 18. In einem Zweiphasenmotor sind zwei Elektromagneten vorhanden; in einem Vierphasenmotor sind vier Magneten vorhanden; in einem Sechsphasenmotor sind sechs Magneten vorhanden, usw. Die 2a–2b veranschaulichen zwei der Elektromagneten 18, um die Darstellung zu vereinfachen. Die zwei Polflächen 15 jedes Elektromagneten sind gezahnt, um den magnetischen Fluss zu konzentrieren. Vier Gruppen von Zähnen 14 am Treiber 12 sind um 90° versetzt, so dass zu einem Zeitpunkt nur eine Gruppe auf die Plattenzähne 11 ausgerichtet sein kann.
Der magnetische Fluss, der zwischen dem Treiber 12 und der Platte 10 verläuft, verursacht zwischen den beiden Teilen eine starke Anziehungsnormalkraft. Diese Anziehungskraft kann bis zu der zehnfachen Spitzenhaltekraft des Motors betragen. Dies erfordert eine Lageranordnung, die einen präzisen Zwischenraum zwischen den Polflächen 15 und den Plattenzähnen 11 aufrechterhält.
Wenn der Strom in einer Feldwicklung 17 fließt, ist das resultierende Magnetfeld bestrebt, den Permanentmagnetfluss an einer Polfläche 15 zu verstärken und ihn bei der anderen aufzuheben. Durch Umkehrung des Stroms werden Verstärkung und Aufhebung vertauscht. Die Wegnahme des Stroms teilt den Permanentmagnetfluss gleichmäßig zwischen den Polflächen 15 auf. Durch wahlweises Anlegen des Stroms an die Phase A und an die Phase B ist es mög lich, den Fluss an irgendeiner der vier Polflächen 15 des Treibers zu konzentrieren. Die Fläche 15, die die höchste Flusskonzentration aufnimmt, ist bestrebt, ihre Zähne auf die Platte 10 auszurichten. Die 2a–2d zeigen unterschiedliche Flusspfade und stellen vier Zustände oder vollständige Schritte des Treibers 12 dar. Die vier Schritte haben eine Bewegung um ein Zahnintervall nach rechts zur Folge. Die Umkehrung der Folge bewegt den Treiber 12 nach links.
Das Wiederholen der Folge bewirkt, dass der Treiber 12 seine Bewegung fortsetzt. Wenn die Folge angehalten wird, hält der Treiber 12 an, wobei eine entsprechende Zahngruppe ausgerichtet ist. In Ruhe entwickelt der Treiber 12 eine Wiederherstellungs- oder Haltekraft, die sich jedem Versuch widersetzt, ihn aus dem Gleichgewicht zu verlagern. Die Wiederherstellungskraft nimmt zu, bis die Verlagerung ein Viertel eines Zahnintervalls erreicht.
In 3 ist ein Motorgehäuse 20 veranschaulicht, das sowohl in x-Richtung 21 als auch in y-Richtung 22 arbeitet. Das Gehäuse 20 besitzt vier Motoren 23, 24, 25 und 26, um sich über eine Platte 27 zu bewegen, die aus magnetischem Werkstoff wie etwa Eisen gebildet ist. Es sind zwei Gruppen paralleler Nuten 28 und 29 vorhanden. Die Nuten 28 sind in x-Achsenrichtung orientiert, während die Nuten 29 in y-Achsenrichtung orientiert sind. Die beiden Gruppen von Nuten 28 und 29 schaffen daher magnetische Zähne 30, die einen quadratischen Querschnitt haben. Die außenstehenden Zähne 30 und die Nuten 28 und 29 schaffen eine Konfiguration der magnetischen Energie, die in Zusammenwirkung mit den elektromagnetischen Mitteln im Gehäuse 30, wie es durch die vier Treiber 23, 24, 25 und 26 gebildet ist, genutzt wird. Dadurch schaffen sie eine Bewegung des Kopfes oder Gehäuses 20 in Richtung der x-Achse 21 bzw. der y-Achse 22.
4a veranschaulicht die Unterseite des Kopfes oder Gehäuses 20. Es sind mehrere Treiber 23, 24, 25 und 26 zu sehen, die in einer Grundfläche 70 angebracht sind. Jeder Treiber ist wie der Treiber 12 beschaffen. Die Treiber 23, 24, 25 und 26 sind gemeinsam in Bezug auf eine einzige Platte 71 angebracht, so dass sie mit der Platte 27 zusammenwirken. Die elektromagnetischen Mittel sind hier so unterteilt, dass sie die vier Polflächen A, B, C und D besitzen, die die A-, B-, C- und D-Magnetphasen repräsentieren, die in jedem der vier Paare von Elektromagneten, die in 1 gezeigt sind, genauer gezeigt sind. Durch diese Anordnung kann sich das Gehäuse oder der Kopf 20 über die Platte 27 entsprechend dem Betrieb der jeweiligen Treiber 23, 24, 25 und 26 in ähnlicher Weise wie mit Bezug auf die 2a–2d beschrieben bewegen.
In 4b ist eine einzelne Platte 71 gezeigt, die auf der Grundfläche 70 anzuordnen ist. Es kann ein geeignetes Befestigungsmittel vorgesehen sein, um die Platte 71 an der Grundfläche 70 zu befestigen. Da alle Zähne 14 durch Materialschlitze 51 gebildet sind, die in die einzige Platte 71 geschnitten sind, anstatt dass die Zähne einzeln für jeden der vier Treiber aufgebaut sind, ist es einfacher, die relative Ausrichtung der vier Treiber zueinander zu erhalten. In einigen anderen Fällen können für jeden der Treiber einzelne Platten vorgesehen sein. Jeder Treiber 23, 24, 25 und 26 besitzt eine Anordnung von Zähnen 14, die zwischen Schlitzen 51 und zwischen Material 52 in einer Weise ausgebildet sind, die jener, die in den 5, 6a, 6b oder 6c gezeigt ist, ähnlich ist.
5 veranschaulicht einen Aspekt des erfindungsgemäßen Konzepts der Herstellung des Treibers 12. Damit entweder ein Linearschrittmotor in der x-Richtung 21 arbeitet oder mehrere Treiber einen Linearschrittmotor in x-Richtung 21 und in y-Richtung 22 betreiben, besitzt der Treiber 12 ein Körperelement 16 mit vier Fächern 40, 41, 42 bzw. 43. In jedem dieser Fächer ist eine elektromagnetische Konfiguration vorhanden, die vier Polstücke 44 besitzt, die vom Fach 40 nach außen gerichtet sind, so dass Polflächen 45 im Wesentlichen bündig mit der oberen Phase 46 des Körpers 16 sind. In dem Raum 47 ist eine geeignete Feldwicklung 17 vorhanden, die sich zwischen den zwei Gruppen von Polstücken 44 befindet. In jedem der Fächer ist ein Permanentmagnet 18 vorhanden. Vier dieser Konstruktionen sind im Körperelement 16 ausgebildet, um den Treiber 12 zu erzeugen.
Die herkömmliche Praxis hat darin bestanden, in den Polflächen 45 Zähne auszubilden, die zu den Zähnen in einer Platte im Wesentlichen parallel sind. Durch die Erfindung wird jedoch eine getrennte Platte 50 geschaffen, in der beabstandete Schlitze vorgesehen sind, die in Vierergruppen angeordnet sind, die den Flächen 45 jedes der Polstücke 44 entsprechen. Die Polstücke 44 selbst sind eben und nicht mit Zähnen versehen. Die Zähne 14 sind tatsächlich durch Materialstreifen 52 zwischen jedem der Schlitze 51 gebildet. Um die Schlitze 51 ist ein Materialumfang 53 vorhanden, wobei dieses Material an der Fläche 46 auf der Oberseite des Körpers 16 verankert ist.
Durch diese Anordnung wird die Platte 50 durch einen Photoätzprozess geeignet geätzt, so dass die Schlitze 51 in der Fläche 46 der Platte 50 äußerst genau ausgebildet werden können. Auf diese Weise wird ein System zum Bilden genau beabstandeter Zähne geschaffen, um die Polflächen 44 des Treibers 12 zu bilden. Statt durch Ätzen kann dies auch durch maschinelles Bearbeiten, nämlich durch Schneiden oder Stanzen erfolgen.
Um die Konstruktion der Fläche, die an die Zähne der Platte angrenzt, abzuschließen, werden die Schlitze 51 mit Epoxid gefüllt. Die freiliegende Fläche der Platte 50 wird einem Schleifvorgang unterworfen, um eine glatte Oberfläche zu schaffen. Danach kann ein Polieren mittels Diamant vorgesehen sein, um dem Produkt eine endgültige Gestalt hoher Qualität zu verleihen.
Das Material, aus dem die Platte 50 gebildet ist, kann Vanadium Permidor^TM mit hoher Flussdichte sein, das eine maximale Flussdichte von etwa 21000 Gauß besitzt. Dies wäre mit dem herkömmlichen Stahl zu vergleichen, der eine Flussdichte von etwa 14000 Gauß hat und der den üblichen Werkstoff darstellt, aus dem ein Polstück hergestellt ist. Die Zahnflussdichte ist doppelt so groß wie jene der Pole und von Bandstahl. Da Vanadium Permidor^TM erheblich teurer als Stahl ist, ist es nun möglich, Zähne mit höherer Flussdichte zu schaffen und dabei einen effektiven Treiber mit einer effektiven hohen Flussdichtekonzentration zu schaffen, wo dies notwendig ist, nämlich in den Zonen der Zähne, nicht jedoch in den Polstücken selbst. Obwohl Vanadium Permidor^TM ein erheblich teurerer Werkstoff ist, ist dennoch das Nettoergebnis ein Kombinationsprodukt, das eine hohe Qualität, eine hohe Leistung und erheblich geringere Kosten besitzt als wenn das gesamte Produkt aus einem Werkstoff mit höherer magnetischer Dichte hergestellt würde. Die Motorkraft ist zu dem Quadrat der Zahnflussdichte proportional.
Damit der Motor in der Betriebsart mit hoher Kraft arbeitet, sind sowohl die Platte als auch die Treiberzähne aus einem Werkstoff mit hoher Flussdichte wie etwa Vanadium Permidor^TM hergestellt. Da in einem Motor mit einer Schrittweite von 0,1016 cm (0,040 Zoll) die geätzten Platten sowohl des Treibers als auch der Platte eine Dicke von weniger als 0,0508 cm (0,020 Zoll) besitzen, sind die Kosten bei der Verwendung von Vanadium Permidor^TM verhältnismäßig gering.
Ebenso können die Zähne 30 der Platte 27 oder die Zähne 11 der Platte 10 aus einem Werkstoff mit hoher magnetischer Flussdichte hergestellt sein, während die entsprechenden Basen aus einem Werkstoff mit einer geringeren Flussdichte hergestellt sein können. Insgesamt wird daher ein System geschaffen, das eine Wechselwirkung zwischen einem Treiber und einer Platte bewirkt und das Komponenten mit einer hohen Flussdichtecharakteristik in einer Weise besitzt, die bisher nicht in Betracht gezogen worden ist. Die Zähne für die Platte können in einer Platte ausgebildet werden, die dann an das Basiselement geklebt wird.
Die 6a, 6b und 6c veranschaulichen drei der verschiedenen Ausführungsformen, durch die die Platte 50 relativ zu der Fläche 46 am Treiber 12 ausgebildet werden kann.
In 6a sind Streifen 52 mit dem Epoxidätzmaterial gezeigt, wo andernfalls Schlitze 51 gewesen wären. Die in 6b gezeigte Ausführungsform zeigt eine teilweise geätzte Platte mit Epoxid 60, das die Zwischenräume zwischen den Zähnen 52 füllt. Unter jedem der Schlitze 51, der mit Epoxid 60 gefüllt ist, ist eine dünne Materialscheibe 61 befestigt. Der Vorteil dieser Anordnung besteht darin, dass eine Faltenbildung der dünnen Streifen 52 in der Platte verhindert wird, insbesondere dann, wenn die Platte in die Nähe von Elementen in dem Treiberkörper 12, die ein hohes Magnetfeld aufbauen, gebracht wird. In 6c ist eine Anordnung gezeigt, bei der eine Materialscheibe befestigt ist. Die Materialscheibe 62 befindet sich auf der Oberseite der Zähne. Alle Materialstreifen 52 weisen nach unten. Die Scheibe 62 wird anschließend abgeschliffen, wodurch die Materialstreifen 52 und das Epoxid 60 zurückbleiben.
Es gibt viele Formen der Erfindung, die sich voneinander unterscheiden. Die Erfindung soll nur durch die folgenden Ansprüche bestimmt sein.

Claims

Linearmotor mit: – einem Treiber (12) der über eine Platte (10) bewegbar ist, – Lagermitteln (19) zwischen der Platte und dem Treiber, – die Platte weist Zähne (11) auf, die quer zur Bewegungsrichtung des Treibers über die Platte ausgerichtet sind, und – der Treiber weist eine Reihe von Zähnen auf, die gegen die Platte gerichtet und für eine im Wesentlichen parallele Anordnung mit den Zähnen (11) in der Platte vorgesehen sind, dadurch gekennzeichnet, dass die Zähne (14) in dem Treiber durch eine Platte (50) gebildet sind, die geschlitzt und an dem Treiber (12) befestigt ist.
Motor nach Anspruch 1, wobei die Zähne (14) in dem Treiber durch einen Ätzprozess erzeugt sind.
Motor nach Anspruch 2, wobei die Zähne (14) in dem Treiber teilweise geätzt sind.
Motor nach Anspruch 3, wobei die Schlitze (51) in der Platte (50) durch zumindest teilweises Ätzen gebildet sind.
Motor nach Anspruch 4, wobei die Schlitze (51) in die Platte (50) geätzt sind, um so Schlitze durch die Platte zu bilden.
Motor nach Anspruch 2, wobei die Zähne (14) in dem Treiber zumindest vollständig in die Platte (50) geätzt sind, um so Schlitze durch die Platte zu bilden.
Motor nach einem der Ansprüche 1 bis 6, wobei die Platte (50) an einer Fläche (46) eines Körperelements (16) des Treibers zum Unterbringen von Feldwicklungen (17), Elektromagneten (44) und einem Permanentmagneten (18), und wobei die Elektromagneten Polflächen (45) bilden und die Schlitze (51) der Platte (50) mit den Polflächen (45) ausgerichtet sind.
Motor nach einem der Ansprüche 1 bis 7, wobei die Platte (50) aus einem Material mit magnetischer Dichte gebildet ist, die wesentlich höher als die magnetische Dichte der Polflächen (45) ist.
Motor nach einem der Ansprüche 1 bis 8, wobei die Platte (10) eine Basis umfasst, und die Zähne (11) in der Platte aus einem Material mit einer magnetischen Dichte gebildet sind, die wesentlich höher als die magnetische Dichte der Basis ist.
Motor nach einem der Ansprüche 1 bis 9 mit einem Füllmaterial in den Schlitzen (51) zwischen den Zähnen (14) in dem Treiber.
Motor nach Anspruch 1, der in einem Gehäuse (20) montiert ist und der zumindest einen anderen Treiber (12) umfasst, der in dem Gehäuse montiert ist, wodurch eine Bewegung des Gehäuses in einer x-Richtung (21) bewirkt wird.
Motor nach Anspruch 11 mit zumindest mehreren anderen Treibern, die in dem Gehäuse (20) montiert sind, wodurch eine Bewegung des Gehäuses in einer x-Richtung (21) und einer y-Richtung (22) bewirkt wird, wenn die Platte (10) Zähne (11) aufweist, die quer in den x- und y-Richtungen ausgerichtet sind.
Motor nach Anspruch 1, wobei die Zähne (14) in dem Treiber wahlweise durch einen Ätzprozess oder eine maschinelle Bearbeitung erzeugt werden.
Verfahren zum Herstellen eines Treibers (12) für einen Linearmotor mit: Bereitstellen einer Platte (50) mit Schlitzen (51) zum Bilden von Zähnen (14) zwischen den Schlitzen, Befestigen der Platte an einer Fläche (46) eines Körperelements (16) zum Unterbringen von Feldwicklungen (17), Elektromagneten (44) und einem Permanentmagneten (18), wobei die Elektromagnete Polstücke (41) formen, und Ausrichten der Schlitze (51) der Platte mit Flächen (45) der Polstücke.
Verfahren nach Anspruch 14, wobei die Platte (50) aus einem Material mit magnetischer Dichte gebildet ist, die wesentlich höher als die magnetische Dichte der Polstücke (44) ist.
Verfahren nach Anspruch 14, mit Anordnen eines Füllmaterials in den Schlitzen (51) zwischen den Zähnen (14).
Verfahren nach einem der Ansprüche 14 bis 16, wobei die Zähne teilweise in die Platte geätzt sind.
Verfahren nach einem der Ansprüche 14 bis 16, wobei die Zähne (14) zumindest vollständig in die Platte (50) geätzt sind, um so Schlitze (51) durch die Platte zu bilden.
Verfahren nach Anspruch 14, mit dem Schritt der Herstellung einer Platte (10) für einen Linearmotor mit: Herstellen der Platte mit einer Basis und Zähnen (11), wobei die Zähne in der Platte aus einem Material mit einer magnetischen Dichte hergestellt sind, die wesentlich höher als die magnetische Dichte des Materials der Basis ist.
Verfahren nach Anspruch 19, wobei die Platte (10) Zähne (11) aufweist, die quer in der x-Richtung gerichtet sind.
Verfahren nach Anspruch 19, wobei die Platte (10) Zähne (11) aufweist, die quer in den x- und y-Richtungen (21, 22) ausgerichtet sind.