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Patentes

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Número de publicaciónDE69823283 T2
Tipo de publicaciónConcesión
Número de solicitudDE1998623283
Fecha de publicación28 Abr 2005
Fecha de presentación11 Ago 1998
Fecha de prioridad12 Ago 1997
También publicado comoCN1203163C, CN1210886A, DE69823283D1, EP0897975A1, EP0897975B1, US6080709
Número de publicación1998623283, 98623283, DE 69823283 T2, DE 69823283T2, DE-T2-69823283, DE1998623283, DE69823283 T2, DE69823283T2, DE98623283
InventoresHidemitsu Minato-ku Aoki, Norio Soka-shi Ishikawa, Kiyoto Soka-shi Mori
SolicitanteKanto Kagaku K.K., Nec Electronics Corp., Kawasaki
Exportar citaBiBTeX, EndNote, RefMan
Enlaces externos: DPMA, Espacenet
Reinigungszusammensetzung
DE 69823283 T2
Resumen  disponible en
Descripción  disponible en alemán
Reclamaciones(8)  disponible en alemán
Clasificaciones
Clasificación internacionalH05K3/26, H01L21/02, H01L21/306, C11D7/32, C11D7/26, C11D11/00
Clasificación cooperativaC11D7/3245, C11D11/0047, H05K3/26, H01L21/02074, C11D7/265
Clasificación europeaC11D7/26E, C11D7/32E, H01L21/02F4D4, C11D11/00B2D8