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Patentes

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Número de publicaciónDE69826804 D1
Tipo de publicaciónConcesión
Número de solicitudDE1998626804
Fecha de publicación11 Nov 2004
Fecha de presentación13 Oct 1998
Fecha de prioridad14 Oct 1997
También publicado comoCA2248386A1, CA2248386C, DE69826804T2, EP0909610A2, EP0909610A3, EP0909610B1, US6019250
Número de publicación1998626804, 98626804, DE 69826804 D1, DE 69826804D1, DE-D1-69826804, DE1998626804, DE69826804 D1, DE69826804D1, DE98626804
InventoresPeter M Pozniak, Benjamin R Roberts
SolicitanteBoc Group Inc
Exportar citaBiBTeX, EndNote, RefMan
Flüssigkeitverteilvorrichtung und Verfahren
DE 69826804 D1
Resumen  disponible en
Descripción  disponible en
Reclamaciones  disponible en
Clasificaciones
Clasificación internacionalB24B37/04, B24B57/02, H01L21/306, F17D1/14, B67D7/72, B67D7/36
Clasificación cooperativaB24B37/04, B24B57/02
Clasificación europeaB24B37/04, B24B57/02
Eventos legales
FechaCódigoEventoDescripción
24 Nov 20058364No opposition during term of opposition
2 Abr 20098327Change in the person/name/address of the patent owner
Owner name: EDWARDS VACCUM.INC. (N. D. GES. D. STAATES DEL, US
20 Ago 20098339Ceased/non-payment of the annual fee