EP0037044A1 - Verfahren zum Sichtbarmachen von Ladungsbildern und eine hierfür geeignete Vorrichtung - Google Patents
Verfahren zum Sichtbarmachen von Ladungsbildern und eine hierfür geeignete Vorrichtung Download PDFInfo
- Publication number
- EP0037044A1 EP0037044A1 EP81102135A EP81102135A EP0037044A1 EP 0037044 A1 EP0037044 A1 EP 0037044A1 EP 81102135 A EP81102135 A EP 81102135A EP 81102135 A EP81102135 A EP 81102135A EP 0037044 A1 EP0037044 A1 EP 0037044A1
- Authority
- EP
- European Patent Office
- Prior art keywords
- image
- liquid
- charge image
- charge
- carrier
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03G—ELECTROGRAPHY; ELECTROPHOTOGRAPHY; MAGNETOGRAPHY
- G03G16/00—Electrographic processes using deformation of thermoplastic layers; Apparatus therefor
Definitions
- the invention relates to a method for making an electrostatic charge image visible by deforming the surface of a liquid on a carrier to form a reversible, optically readable relief image, and to a device suitable therefor.
- thermoplastic layer By means of informational electrostatic charging or with the aid of an additional photoconductor layer by means of electrostatic charging and exposure.
- the surface of the thermoplastic layer deforms into a relief image, which is made optically visible.
- heating is a very critical process step because the optimal temperature range of such a layer is very small.
- the relief image is stable depending on the prevailing temperature. It can be thermally deleted. The number of recording cycles for photothermoplastics has been determined, however, is limited.
- a conductive carrier contains a photoconductor and an elastomer layer.
- the recording material is first charged homogeneously electrostatically or it is provided with a flexible, conductive layer to which a potential is applied.
- the elastomer layer then reversibly deforms into a relief image as long as potential differences in image distribution are maintained by exposure.
- a disadvantage of this method is that the image lifetimes are relatively short and are not sufficiently practical.
- the multilayer structure of the recording material also proves to be complex.
- the eidophor method is also known for the temporary reversible deformation of a dielectric liquid (E.I. Sponable, JSMPTE 60 (1953), No. 4, 337).
- a dielectric liquid E.I. Sponable, JSMPTE 60 (1953), No. 4, 337.
- an oil film on a conductive base is sprayed with charges that cause surface deformation. It has proven to be disadvantageous here that, due to the outflow of charge through the oil film, only a very limited service life of the relief image can be achieved. Accordingly, charge images are only generated continuously on the oil film.
- the object is achieved by a method of the type mentioned, which is characterized in that one to about 1000 / um from the liquid surface for the time of visualizing contactless arranging the relief image generating electrostatic charge image at a distance of about 10 from the liquid surface.
- the electrostatic charge image is preferably arranged under the liquid layer on the back of its dielectric carrier.
- the relief image is easily and reversibly erasable by removing the charge image or by neutralizing it, and the layer can be used to display a new relief image without any signs of fatigue.
- An ionization chamber is a plate capacitor filled with a gas, such as xenon, that absorbs the X-rays.
- a charge image proportional to the X-ray intensity is formed on a dielectric layer over one of the electrode plates.
- This charge pattern must be used for evaluation optical image can be transformed.
- the visual representation should take place without opening the ionization chamber if possible.
- the relief image must be erasable, ie reversible.
- a charge image once generated with the lowest possible X-ray dose remains for the evaluation for a sufficiently long time. Without being limited to this application, it follows that there is a need for electro-optical image converters to optically display a charge pattern with high charge sensitivity for a predetermined time.
- Liquids such as silicone oil or liquid poly-alpha-methylstyrene are suitable as liquids which can be deformed by a charge pattern. They can preferably be used for reversible relief image display.
- dielectric liquids they are good insulators with specific resistances in the range from 1 0 12 - 10 16 ohm cm and have a relatively high polarizability with about 10-23 cm3.
- the chemical constitution only seems to be influenced by the physical properties, because similarly good results can be achieved with liquid resins such as coumarone-indene resin or with chlorinated diphenyl resin. It has been shown that, for example, aliphatic liquid hydrocarbons are also suitable for the relief image display depending on the charge sensitivity. It turns out that water can also be used as a liquid, because even on water surfaces, deformations can be carried out according to the invention and made visible by external charge patterns.
- the viscosities of the liquids primarily affect the time it takes for the relief to form. With viscosities of 4,000 mPa s or 36,000 mPa s, this results in formation or smoothing times for the relief images of a few 10 seconds. In contrast, the formation times for viscosities of around 100 mPa s are a few seconds.
- liquids are suitable according to the invention which have a specific resistance in the range from about 10 6 to about 10 16 ohm-cm and more.
- Liquids are preferably used which have resistivities in the range from 10 10 -10 16 Ohm cm and polarizabilities in the range from about 5 10 -24 to about 20. 10 - 24 cm 3 .
- the thickness of the fluid layers is generally in a range from about 10 microns to about 100 / um.
- the liquid layers are preferably used in the thickness range from approximately 20 to approximately 50 ⁇ m.
- Such metallic and dielectric types can be used as carriers. If metallic carriers are used, however, the charge pattern must be above the liquid layer; dielectric carriers are generally used. They are the ones that have been used for appropriate purposes. Rigid glass plates or flexible foils can be used. Transparent polyester films are preferably used. The thickness of the carriers should be taken into account because, if necessary, the charge image should not be too far from the liquid surface. Accordingly, preferably the carrier with thicknesses in the range of about 30 to to about 70 / um used, but also stronger carrier are possible.
- the electrostatic charge images that cause the deformation of the liquid surface can be of different origins.
- the electrostatic charge image can be formed by electrostatic charging and photoconductivity, or it can also have been produced by imagewise charging of a dielectric carrier.
- the charge image can have been generated by electrically controllable electrodes.
- the charge images that are to be made visible can be generated on a separate dielectric carrier, for example by corona discharge through masks, by writing electrodes, electron beams, by X-ray radiation in ionization chambers or by transferring charge images.
- photoconductive recording materials with charge images can also be applied to the supports of the liquid layer.
- the charge images do not have to be brought close to the surface of the dielectric liquid by means of a separate dielectric carrier.
- the charge images can also be applied directly to the back using one of the techniques mentioned, for example of the carrier for the liquid are generated.
- charge patterns are also structured electrodes to which a potential is applied, ie to which charges are applied. If such electrodes are at earth potential, then an electrode with a non-zero potential must be arranged accordingly over the liquid layer.
- the distance between the charge and the surface of the liquid is small and of the order of about 100 ⁇ m .
- the distance may in use thinner support, for example of polyester films of 35 / um, further reduced in size and thereby to increase the charge sensitivity of the system.
- Electrodes that can be contacted separately are electrode matrices made of fine wires in a tight arrangement vertically in an insulator plate. In such arrangements, where a dielectric liquid contacts the charge structure, poly-alpha-methylstyrene has proven particularly useful as a dielectric, viscous liquid.
- the invention also relates to a device for making an electrostatic charge image visible by deforming the surface of a liquid into a reversible, optically readable relief image. It is characterized by a housing, with at least one partially optically transparent or open side, in which a carrier provided with a liquid layer is associated with an electrostatic charge image on a second carrier without contact, by an optical device with which the resulting relief image on the liquid surface passes through Irradiation of light, which is modified by the relief image in the transmission or reflection, is made visible and by an arrangement for deleting or removing the charge image.
- the charge image can be generated by radiation or electrostatographically in the housing, or a generated charge image can be introduced into the housing on a dielectric carrier using a device. It has proven advantageous to provide only one carrier for the liquid layer and the electrostatic charge image.
- a device For medical X-ray image display, for example, a device has proven particularly useful in which the charge image is made visible in an ionization chamber. A corresponding device is described in more detail with the aid of FIG. 5.
- the ionization chamber 10 with a display layer made of a dielectric liquid 2 consists of the bottom 11, the lid 12 and the side walls 13.
- the chamber is approximately 30 cm in size and the lid and side walls are made of centimeter-thick plexiglass.
- the bottom and the lid are provided with conductive, transparent layers 14.
- a 50 ⁇ m thick polyester film 1 is stretched tightly over a 2 mm high support body 15.
- the polyester film 1 is covered with an approximately 20 ⁇ m thick layer 2 of liquid poly-alpha-methylstyrene.
- the chamber itself was filled with xenon gas under a slight positive pressure, a voltage of 8 kV being applied to the electrodes 14, which were 15 mm apart.
- a relief image is created which is retained even after the X-ray radiation has ended and which can be optically projected through the transparent ionization chamber.
- the charge image 4 is neutralized with a movable AC corona 16, whereupon the relief image 5 is also reversibly smoothed.
- Another dielectric carrier 3 for example again a polyester film, with an electrostatic charge image 4 is placed on the free side of the polyethylene terephthalate film 1.
- the electrostatic charge image 4 on carrier 3 was previously generated under a slit mask from a block with 1 mm wide slits by corona discharge in any polarity.
- a relief image 5 corresponding to the slit pattern is formed on the surface of the silicone oil layer 2.
- the relief image 5 is stable over time. The relief only smoothes when the charged film 3 is removed. Any residual charges on the back of foil 1 must be removed with an earthed discharge comb or with an AC corona. In this way, numerous relief images can be created and erased without observing signs of fatigue.
- a glass plate with a conductive, transparent layer of tin oxide is about / coated with an approximately 10 / um thick photoconductor layer of equal parts by weight of poly-N-vinylcarbazole / trinitrofluorenone and a 7 um thick insulating layer of polystyrene.
- the layer package is negatively charged under a corona, exposed imagewise, in the present case with a typeface, and again negatively charged.
- a relief image is created according to the typeface, which is reinforced by applying a negative potential to the tin oxide layer. When the polyester film is peeled off, the relief image is reversibly smoothed.
- a 50 / coated micron thick polyethylene terephthalate film 1 ( Figure 3) on the back with a vapor-deposited aluminum layer 9 with an approximately 30 micron thick layer 2 of silicone oil.
- the silicone oil layer 2 is sprayed homogeneously with charges 8 under a corona, the polarity of which is opposite to the polarity of the charges 4 to be displayed.
- a 90 .mu.m thick polyester film 3 with a charge pattern 4 is arranged.
- a relief image 5 is formed on the surface of the silicone oil layer 2. When the charge image carrier 3 with the charge image 4 is removed, the relief image 5 smoothes out reversibly.
- a polyester sheet of 50 / um thickness is coated on the top with a 40 micron thick layer of silicone oil.
- a transparent electrode about 1 mm above the silicone oil layer, to which a voltage of -1 kV is applied.
- a dielectric carrier with a charge image of positive polarity is applied to the underside of this polyester film.
- the dielectric carrier consists of a 190 ⁇ m thick polyester film with stripe-shaped, approximately 1 mm wide charge images, which were generated by corona discharge through a metal mask. With a small area E lektrometersonde the respective surface charge is measured while changing the charging conditions for each trial before. The smallest area load at which a relief image visible to the unarmed eye was 2. 10 10 As / cm 2 . - Without an electrode above the dielectric liquid layer, 8-10-10 As / cm 2 is required for relief formation .
- a polyester film of 50 .mu.m thickness is coated with an approximately 20 / um thick layer of liquid poly-alpha-methyl styrene.
- Another polyester film with a charge pattern is placed on the free back of the coated polyester film.
- the charge pattern consisted of line groups of different line numbers / mm. This high resolution charge pattern was created by contacting an electrode.
- the electrode consisted of conductively connected line groups of different line widths made of aluminum on polyester film, which were produced there by coating with copy lacquer, exposure, development, vapor deposition with aluminum and decoating. Strong relief images are observed up to the line group 8.98 lines / mm, the group with 10.1 lines / mm is still visible. When removing. NEN of the charge image carrier reversibly smoothes the relief image.
- the relief image display on liquids by external charge structures also allows an overlaid display of charge structures.
- a 50 ⁇ m thick polyester film 1 (FIG. 4) with a grounded lattice structure made of evaporated aluminum 6 on the top side of 10 lines / mm is provided with a 20 ⁇ m thick layer 2 made of poly-alpha-methylstyrene.
- a rastered relief image 5 is created corresponding to the charge image 4.
- a strong grid structure outside the image area is generated by homogeneous positive charging 8 of the deformable layer by corona discharge.
- a negative image is obtained in the 0th order undiffracted light, in which the charge areas are shown bright. If the deformable layer 2 is charged homogeneously before contacting the charge pattern 4, the strongest screened relief structures arise in the area of the charge pattern. Conversely, when projecting, the area of the charge image is shown dark.
- Example 7 The procedure is as in Example 7, with the difference that a liquid coumarone indene resin is used instead of the poly-alpha-methylstyrene.
- the resin has a resistivity of 5 - 10 13 ohms. cm, a polarizability of 18 10 -24 cm and a viscosity of about 6,000 mPa s.
- the quality of the relief image is comparable to that of Example 7.
- Example 7 The procedure is as in Example 7, with the difference that chlorinated diphenyl resin is used as the liquid.
- the resin has a resistivity of 2.5 x 10 15 ohms. cm, a polarizability of about 17 10-24 cm 3 and a viscosity of about 42,000 mPa s.
- the relief image obtained is qualitatively similar to that of Example 7.
- a 50 ⁇ m thick polyester film is mechanically supported by a corona discharge under a metal stencil, supported mechanically by an underlying glass plate.
- This charged substrate is placed with the charge pattern downward at a distance of approximately 500 .mu.m over a layer of water relaxed by wetting agents.
- the approximately 30 ⁇ m thick water layer is distributed on a polyester film, which lies on a grounded metal plate. The water surface deforms into a relief according to the template pattern within a few seconds. When the charge pattern is removed, the surface reversibly smoothes in about five seconds.
Abstract
Verfahren und Vorrichtung zum Sichtbarmachen eines elektrostatischen Ladungsbildes, in dem man die Oberfläche einer Flüssigkeit, zum Beispiel mit einem spezifischen Widerstand im Bereich von etwa 10¹° bis 10¹<6> Ohm. cm und eine Polarisierbarkeit im Bereich von etwa 5 . 10<->²<4> bis 20 . 10 <->²<4> cm, auf einem Träger zu einem reversiblen, optisch auslesbaren Reliefbild verformt, wobei man das Reliefbild erzeugende elektrostatische Ladungsbild im Abstand von etwa 10 bis etwa 1000 µm von der Flüssigkeitsoberfläche für die Zeit des Sichtbarmachens berührungsfrei anordnet.
Description
- Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zum Sichtbarmachen eines elektrostatischen Ladungsbildes durch Verformen der Oberfläche einer Flüssigkeit auf einem Träger zu einem reversiblen, optisch auslesbaren Reliefbild und auf eine hierfür geeignete Vorrichtung.
- Es ist bekannt (US-PS 3,560,205), direkt auf einer thermoplastischen Schicht durch informationsmäßige elektrostatische Aufladung oder mit Hilfe einer zusätzlichen Photoleiterschicht durch elektrostatische Aufladung und Belichtung ein Ladungsbild zu erzeugen. Beim Erwärmen verformt sich die Oberfläche der thermoplastischen Schicht in ein Reliefbild, welches optisch sichtbar gemacht wird. Es hat sich jedoch gezeigt, daß das Erwärmen ein sehr kritischer Verfahrensschritt ist, weil der optimale Temperaturbereich einer solchen Schicht sehr klein ist. Das Reliefbild ist in Abhängigkeit von der herrschenden Temperatur stabil. Es kann thermisch wieder gelöscht werden. Die Anzahl der Aufzeichnungscyclen bei Photothermoplasten, so konnte festgestellt werden, ist jedoch begrenzt.
- Es ist auch bekannt, zum Sichtbarmachen von Ladungsbildern Aufzeichnungsmaterialien mit elastomeren Schichten zu verwenden (DE-OS 25 54 205), bei welchen ohne den Verfahrensschritt des Erwärmens gearbeitet wird. Auf einem leitfähigen Träger befinden sich eine Photoleiter-und eine Elastomerschicht. Das Aufzeichnungsmaterial wird zunächst homogen elektrostatisch aufgeladen oder man versieht es mit einer flexiblen, leitfähigen Schicht, an welche ein Potential angelegt wird. Die Elastomerschicht verformt sich dann reversibel zu einem Reliefbild, solange durch Belichten Potentialunterschiede in bildmäßiger Verteilung aufrecht erhalten werden. Nachteilig an diesem Verfahren ist jedoch, daß die Bildstandzeiten relativ kurz sind und nicht genügend praxisnah sind. Andererseits erweist sich auch der mehrschichtige Aufbau des Aufzeichnungsmaterials als aufwendig.
- Zur vorübergehenden reversiblen Verformung einer dielektrischen Flüssigkeit ist auch das Eidophor-Verfahren bekannt (E. I. Sponable, JSMPTE 60 (1953), Nr. 4, 337). Hierbei wird in einer Vakuumröhre ein Ölfilm auf einer leitfähigen Unterlage bildmäßig mit Ladungen besprüht, die eine Oberflächenverformung bewirken. Es hat sich hier als nachteilig erwiesen, daß infolge Ladungsabflusses durch den Ölfilm nur eine sehr begrenzte Standzeit des Reliefbildes erzielt werden kann. Dementsprechend werden auch nur auf dem Ölfilm Ladungsbilder durchlaufend erzeugt.
- Es war Aufgabe der Erfindung, ein Verfahren zum Sichtbarmachen von elektrostatischen Ladungsbildern in Form eines Reliefbildes zu schaffen, welches die beschriebenen Nachteile vermeidet und bei guter Bildstandzeit einfach handhabbar ist unter Verwendung einer Schicht, die nur geringe Ermüdungserscheinungen und eine gute Ladungsempfindlichkeit aufweist.
- Die Aufgabe wird durch ein Verfahren der eingangs genannten Art gelöst, welches dadurch gekennzeichnet ist, daß man das Reliefbild erzeugende elektrostatische Ladungsbild im Abstand von etwa 10 bis etwa 1000 /um von der Flüssigkeitsoberfläche für die Zeit des Sichtbarmachens berührungsfrei von der Flüssigkeitsoberfläche anordnet. Vorzugsweise wird das elektrostatische Ladungsbild unter der Flüssigkeitsschicht auf der Rückseite ihres dielektrischen Trägers angeordnet.
- Hierdurch wird erreicht, daß das elektrostatische Ladungsbild optimal in ein Reliefbild transformiert werden kann und bis zum gezielten Abruf erhalten bleibt, solange man nur das Ladungsbild aufrecht erhält. Das Reliefbild ist leicht und reversibel durch Entfernen des Ladungsbildes oder durch dessen Neutralisation löschbar und die Schicht kann zur Anzeige eines neuen Reliefbildes ohne Anzeichen von Ermüdungserscheinungen weiterverwendet werden.
- Ein überzeugendes Beispiel für diese Anzeigeart ist die Röntgenbildaufzeichnung in einer Ionisationskammer bei medizinischer Anwendung. Eine Ionisationskammer ist ein Plattenkondensator, der mit einem die Röntgenstrahlen absorbierenden Gas wie Xenon gefüllt ist. Auf einer dielektrischen Schicht über einer der Elektrodenplatten entsteht ein der Röntgenintensität proportionales Ladungsbild. Dieses Ladungsbild muß zur Auswertung in ein optisches Bild transformiert werden. Die optische Darstellung soll möglichst ohne Öffnen der Ionisationskammer erfolgen. Für die nächste Aufzeichnung muß das Reliefbild löschbar, d.h. reversibel sein. Gerade bei medizinischer Anwendung ist es evident, daß ein mit möglichst geringer Röntgendosis einmal erzeugtes Ladungsbild für die Auswertung ausreichend lange stehen bleibt. Ohne auf diese Anwendung beschränkt zu werden, ergibt sich daraus, daß ein Bedarf an elektrooptischen Bildwandlern besteht, um ein Ladungsmuster mit großer Ladungsempfindlichkeit für eine vorgegebene Zeit optisch zur Anzeige zu bringen.
- Als durch ein Ladungsbild oberflächenverformbare Flüssigkeiten sind solche geeignet, wie Silikonöl oder flüssiges Poly-alpha-methylstyrol. Sie sind bevorzugt für die reversible Reliefbilddarstellung einsetzbar. Sie sind als dielektrische Flüssigkeiten gute Isolatoren mit spezifischen Widerständen im Bereich von 10 12 - 10 16 Ohm cm und besitzen relativ große Polarisierbarkeit mit etwa 10-23 cm3. Die chemische Konstitution scheint nur über die physikalischen Stoffwerte von Einfluß zu sein, denn ähnlich gute Ergebnisse erzielt man mit flüssigen Harzen wie etwa Cumaron-Inden-Harz oder mit chloriertem Diphenylharz. Es hat sich gezeigt, daß für die Reliefbilddarstellung in Abhängigkeit von der Ladungempfindlichkeit zum Beispiel auch aliphatische flüssige Kohlenwasserstoffe geeignet sind. Es zeigt sich, daß auch Wasser als Flüssigkeit einsetzbar ist, denn auch an Wasseroberflächen kann durch externe Ladungsbilder eine Verformung erfindungsgemäß vorgenommen und sichtbar gemacht werden.
- Die Viskositäten der Flüssigkeiten beeinflussen in erster Linie die Reliefbild-Bildungszeit. So ergeben sich bei Viskositäten von 4.000 mPa s bzw. 36.000 mPa s Bildungs- bzw. Glättungszeiten für die Reliefbilder von einigen 10 Sekunden. Dagegen belaufen sich die Bildungszeiten bei Viskositäten von etwa 100 mPa s auf wenige Sekunden.
- Dementsprechend sind erfindungsgemäß Flüssigkeiten geeignet, welche einen,spezifischen Widerstand im Bereich von etwa 106 bis etwa 1016 Ohm - cm und mehr besitzen. Vorzugsweise werden Flüssigkeiten eingesetzt, welche spezifische Widerstände im Bereich von 1010 - 1016 Ohm cm und Polarisierbarkeiten im Bereich von etwa 5 10-24 bis etwa 20 . 10-24 cm3 aufweisen.
- Die Dicke der Flüssigkeitsschichten liegt im allgemeinen in einem Bereich von etwa 10 µm bis zu etwa 100 /um. Vorzugsweise werden die Flüssigkeitsschichten im Dickenbereich von etwa 20 bis etwa 50 ,um eingesetzt.
- Als Träger sind solche metallischer und dielektrischer Art einsetzbar. Bei Verwendung metallischer Träger muß sich das Ladungsbild jedoch über der Flüssigkeitsschicht befinden, im allgemeinen werden dielektrische Träger eingesetzt. Es sind solche, die auch bisher für entsprechende Zwecke verwendet wurden. So können starre Glasplatten oder flexible Folien eingesetzt werden. Vorzugsweise verwendet man transparente Folien aus Polyester. Die Dicken der Träger sind deswegen zu beachten, weil gegebenenfalls ein nicht zu großer Abstand des Ladungsbildes von der Flüssigkeitsoberfläche erreicht werden soll. Dementsprechend werden vorzugsweise Träger mit Stärken im Bereich von etwa 30 bis etwa 70 /um eingesetzt, doch sind auch stärkere Träger möglich.
- Die elektrostatischen Ladungsbilder, die die Verformung der Flüssigkeitsoberfläche bewirken, können verschiedener Herkunft sein. So kann das elektrostatische Ladungsbild durch elektrostatische Aufladung und Photole-itung gebildet oder es kann auch durch bildmäßige Aufladung eines dielektrischen Trägers hergestellt worden sein. Weiterhin kann das Ladungsbild durch elektrisch ansteuerbare Elektroden erzeugt worden sein.
- Die Ladungsbilder, die sichtbar gemacht werden sollen, können auf einem separaten dielektrischen Träger etwa durch Coronaentladung durch Masken, durch Schreibelektroden, Elektronenstrahlen, durch Röntgenbestrahlung in Ionisationskammern oder durch Übertragung von Ladungsbildern erzeugt werden. Es können zum Beispiel auch photoleitende Aufzeichnungsmaterialien mit Ladungsbildern an den Trägern der Flüssigkeitsschicht angelegt werden.
- Andererseits müssen die Ladungsbilder nicht mittels eines separaten dielektrischen Trägers bis dicht an die Oberfläche der dielektrischen Flüssigkeit herangebracht werden. Die Ladungsbilder können auch nach einer der genannten Techniken direkt zum Beispiel auf der Rückseite des Trägers für die Flüssigkeit erzeugt werden. Ladungsbilder sind in diesem Sinne auch strukturierte Elektroden, an die ein Potential angelegt wird, d.h., denen man Ladungen zuführt. Liegen solche Elektroden auf Erdpotential, so muß entsprechend über der Flüssigkeitsschicht eine Elektrode mit einem von Null verschiedenen Potential angeordnet werden.
- Wie schon ausgeführt, sind Anordnungen, bei denen sich die Ladungsbilder unter der Flüssigkeitsschicht und auf der Rückseite des Trägers befinden, bevorzugt, weil der Abstand zwischen Ladung und Oberfläche der Flüssigkeit klein und in einer Größenordnung von etwa 100 /um ist. Der Abstand kann bei Verwendung dünnerer Träger, beispielsweise von Polyesterfolien von 35 /um, weiter verkleinert und dadurch die Ladungsempfindlichkeit des Systems gesteigert werden.
- Der Trägereinfluß kann dann vollständig eliminiert werden, wenn man das Ladungsbild zwischen der Flüssigkeit und ihrem Träger erzeugt, beispielsweise durch Elektrodenstrukturen auf dem Träger. Mit getrennt kontaktierbaren Elektroden können variable Reliefbilder erzeugt werden. Von besonderem Interesse als getrennt kontaktierbare Elektroden sind dabei Elektrodenmatrizen aus feinen Drähten in dichter Anordnung senkrecht in einer Isolatorplatte. Bei solchen Anordnungen, wo eine dielektrische Flüssigkeit die Ladungsstruktur berührt, hat sich als dielektrische, viskose Flüssigkeit Poly-alpha-methylstyrol besonders bewährt.
- Auch Ladungsmuster über der Flüssigkeitsoberfläche, durch einen Luftspalt von dieser getrennt, erzeugen Reliefbilder. Es ist jedoch schwierig, ein Ladungsmuster in gleichmäßig dichtem Abstand über der Flüssigkeit anzuordnen. Bei engem Abstand von einigen 10 /um können die Erhebungen der Reliefbilder den Träger mit dem Ladungsmuster berühren. Bei einem Sicherheitsabstand von beispielsweise 500 µm ist dagegen die Reliefbildung nicht sehr ausgeprägt. Durch homogenes Aufladen der Flüssigkeit mit zum Ladungsbild entgegengesetzter Polarität kann die Reliefbildung in diesem Fall jedoch verstärkt werden.
- Das erfindungsgemäße Verfahren zum Sichtbarmachen von Ladungsbildern ist sehr empfindlich. Dies kann zum Beispiel wie folgt bewiesen werden:
- Für ionographische Röntgenaufzeichnungen in der medizinischen Versorgung benötigt man eine Dosis von etwa 1 mR, wodurch Ladungsbilder von 10 9 As/cm2 erzeugt werden, die durch Tonerentwicklung sichtbar gemacht werden. Mit der erfindungsgemäßen Technik können jedoch noch Ladungsbilder der Größenordnung 10-10 As/cm2 durch Reliefbildung angezeigt werden. Damit wird der Anschluß an das empfindlichste Röntgenbildanzeigesystem erreicht, den Röntgenfernsehverstärker. Die Auflösung, d.h. die Bildqualität dürfte bei der Reliefbildtechnik besser sein. Der Röntgenfernsehverstärker löst nur etwa 2 - 3 Linien/mm auf, nach der erfindungsgemäßen Reliefbildtechnik mit dielektrischen Flüssigkeitsschichten werden dagegen bis zu 10 Linien/mm aufgelöst.
- Die Erfindung betrifft auch eine Vorrichtung zum Sichtbarmachen eines elektrostatischen Ladungsbildes durch Verformen der Oberfläche einer Flüssigkeit zu einem reversiblen, optisch auslesbaren Reliefbild. Sie ist durch ein Gehäuse gekennzeichnet, mit wenigstens einer teilweise optisch transparenten oder offenen Seite, in welchem ein mit einer Flüssigkeitsschicht versehener Träger einem elektrostatischen Ladungsbild auf einem zweiten Träger berührungsfrei zugeordnet ist, durch eine optische Einrichtung, mit welcher das resultierende Reliefbild auf der Flüssigkeitsoberfläche durch Einstrahlen von Licht, das bei der Durchstrahlung oder Reflexion von dem Reliefbild bildmäßig modifiziert wird, sichtbar gemacht wird und durch eine Anordnung zum Löschen oder Entfernen des Ladungsbildes. Das Ladungsbild kann dabei durch Strahlung oder elektrostatographisch im Gehäuse erzeugt werden oder mit Hilfe einer Vorrichtung ein erzeugtes Ladungsbild auf einem dielektrischen Träger in das Gehäuse eingeführt werden. Es hat sich als günstig erwiesen, für die Flüssigkeitsschicht und das elektrostatische Ladungsbild nur einen Träger vorzusehen.
- Für die medizinische Röntgenbilddarstellung hat sich beispielsweise eine Vorrichtung ganz besonders bewährt, bei welcher das Sichtbarmachen des Ladungsbildes in einer Ionisationskammer erfolgt. Eine entsprechende Vorrichtung wird mit Hilfe der Figur 5 näher beschrieben.
- Die Ionisationskammer 10 mit einer Anzeigeschicht aus einer dielektrischen Flüssigkeit 2 besteht aus dem Boden 11, dem Deckel 12 sowie den Seitenwänden 13. Die Kammer ist ca. 30 cm groß und Deckel und Seitenwände bestehen aus zentimeterdickem Plexiglas. Der Boden und der Deckel sind mit leitfähigen, transparenten Schichten 14 versehen. über einen 2 mm hohen Stützkörper 15 ist eine 50 µm dicke Polyesterfolie 1 straff ausgespannt. Auf der Unterseite ist die Polyesterfolie 1 mit einer etwa 20 µm dicken Schicht 2 aus flüssigem Poly-alpha-methylstyrol bedeckt. Die Kammer selbst wurde mit Xenongas unter leichtem Überdruck gefüllt, wobei an die Elektroden 14, die einen Abstand von 15 mm aufwiesen, eine Spannung von 8 kV angelegt wurde. Bei Röntgeneinstrahlung entsteht ein Reliefbild, das auch nach Beendigen der Röntgeneinstrahlung erhalten bleibt und das optisch durch die transparente Ionisationskammer projiziert werden kann. Nach Abschalten der Elektrodenspannung wird mit einer beweglichen Wechselstromcorona 16 das Ladungsbild 4 neutralisiert, worauf sich auch das Reliefbild 5 reversibel glättet.
- Die Erfindung wird anhand der folgenden Beispiele in Verbindung mit den beigefügten Figuren näher erläutert, ohne sie auf diese zu beschränken:
- Wie in Figur 1 gezeigt, wird eine Polyäthylenterephthalatfolie von 70 µm Stärke als dielektrischer Träger 1 mit einer Schicht 2 aus einem Silikonöl mit einem spezifischen Widerstand von etwa 3 1012 Ohm - cm und einer Polarisierbarkeit von etwa 13 10-24 cm3 und einer Viskosität von etwa 4000 mPa s in etwa 40 /um Dicke belegt.
- Ein weiterer dielektrischer Träger 3, zum Beispiel wieder eine Polyesterfolie, mit einem elektrostatischen Ladungsbild 4 wird an die freie Seite der Polyäthylenterephthalatfolie 1 angelegt. Das elektrostatische Ladungsbild 4 auf Träger 3 wurde vorher unter einer Schlitzmaske aus einem Block mit 1 mm breiten Schlitzen durch Coronaentladung in beliebiger Polarität erzeugt.
- Auf der Oberfläche der Silikonölschicht 2 bildet sich ein dem Schlitzmuster entsprechendes Reliefbild 5. Das Reliefbild 5 ist zeitlich stabil. Erst beim Abziehen der aufgeladenen Folie 3 glättet sich das Relief. Eventuelle Restladungen auf der Rückseite der Folie 1 müssen mit einem geerdeten Entladungskamm oder mit einer Wechselspannungscorona entfernt werden. In dieser Weise können zahlreiche Reliefbilder erzeugt und gelöscht werden, ohne daß Ermüdungserscheinungen beobachtet werden.
- Eine Glasplatte mit einer leitfähigen, transparenten Schicht aus Zinnoxid wird mit einer etwa 10 /um dicken Photoleiterschicht aus gleichen Gewichtsteilen Poly-N-Vinylcarbazol/Trinitrofluorenon und einer etwa 7 /um dicken isolierenden Deckschicht aus Polystyrol beschichtet. Das Schichtpaket wird unter einer Corona negativ aufgeladen, bildmäßig belichtet, im vorliegenden Fall mit einem Schriftbild, und nochmals negativ aufgeladen. Dann wird auf die Polystyrolschicht eine 50 µm dicke Polyesterfolie mit einer etwa 20 /um dicken Flüssigkeitsschicht aus Poly-alpha-methylstyrol mit einem spezifischen Widerstand von etwa 1,4 1016 Ohm cm, einer Polarisierbarkeit von etwa 15- 10-24 cm3 und einer Viskosität von 36.000 mPa s aufgelegt. Es entsteht ein Reliefbild gemäß dem Schriftbild, das durch Anlegen eines negativen Potentials an die Zinnoxidschicht verstärkt wird. Beim Abziehen der Polyesterfolie glättet sich das Reliefbild reversibel.
- Ein dielektrischer Träger 1 gemäß Figur 2, wie eine Polyesterfolie von 70 µm Dicke, trägt auf einer Seite eine strukturierte Elektrode 6, beispielsweise aus aufgedampftem Aluminium, die geerdet ist. Auf der anderen Seite ist eine Silikonölschicht 2 von etwa 30 µm Dicke aufgetragen. Etwa 1 mm über der Silikonölschicht ist eine flächige Elektrode 7 angebracht, beispielsweise aus leitfähigem Glas. Beim Anlegen einer Spannung von 1 kV beliebiger Polarität an die Elektrode 7 entsteht ein der strukturierten Elektrode 6 entsprechendes Reliefbild 5. Beim Erden der Elektrode 7 bildet sich das Relief zurück. Der Vorgang kann ohne Ermüdungserscheinungen wiederholt werden.
- Eine 50 /um dicke Polyäthylenterephthalatfolie 1 (Figur 3) mit einer aufgedampften Aluminiumschicht 9 auf der Rückseite wird mit einer etwa 30 µm dicken Schicht 2 aus Silikonöl beschichtet. Die Silikonölschicht 2 wird unter einer.Corona homogen mit Ladungen 8 besprüht, deren Polarität entgegengesetzt ist zu der Polarität der anzuzeigenden Ladungen 4. Etwa 1 mm über dem Silikonöl wird eine 90 .um dicke Polyesterfolie 3 mit einem -Ladungsbild 4 angeordnet. Auf der Oberfläche der Silikonölschicht 2 bildet sich ein Reliefbild 5. Beim Entfernen des Ladungsbildträgers 3 mit dem Ladungsbild 4 glättet sich das Reliefbild 5 reversibel.
- Eine Polyesterfolie von 50 /um Dicke wird auf der Oberseite mit einer 40 µm dicken Schicht aus Silikonöl beschichtet. In etwa 1 mm Abstand über der Silikonölschicht befindet sich eine transparente Elektrode, an die eine Spannung von -1 kV angelegt wird. An die Unterseite dieser Polyesterfolie wird ein dielektrischer Träger mit einem Ladungsbild positiver Polarität angelegt. Der dielektrische Träger besteht aus einer 190 µm dicken Polyesterfolie mit streifenförmigen, etwa 1 mm breiten Ladungsbildern, die durch Coronaentladung durch eine Metallmaske erzeugt wurden. Mit einer kleinflächigen Elektrometersonde wird bei jedem Einzelversuch vorher die jeweilige Flächenladung bei Veränderung der Aufladebedingungen gemessen. Die kleinste Flächenladung, bei der ein für das unbewaffnete Auge sichtbares Reliefbild entstand, war 2. 10 10 As/cm2. - Ohne Elektrode über der dielektrischen Flüssigkeitsschicht benötigt man für eine Reliefbildung 8 - 10-10 As/cm 2 .
- Eine Polyesterfolie von 50 µm Dicke wird mit einer etwa 20 /um dicken Schicht aus flüssigem Poly-alpha-methylstyrol belegt. Eine andere Polyesterfolie mit einem Ladungsmuster wird an die freie Rückseite der beschichteten Polyesterfolie angelegt. Das Ladungsmuster bestand aus Strichgruppen unterschiedlicher Linienzahlen/mm. Dieses hoch auflösende Ladungsmuster war durch Kontaktieren mit einer Elektrode erzeugt worden. Die Elektrode bestand aus leitend verbundenen Liniengruppen unterschiedlicher Linienbreiten aus Aluminium auf Polyesterfolie, die dort durch Beschichten mit Kopierlack, Belichten, Entwickeln, Bedampfen mit Aluminium und Entschichten erzeugt wurden. Es werden kräftige Reliefbilder bis zu der Liniengruppe 8,98 Linien/mm beobachtet, die Gruppe mit 10,1 Linien/mm ist noch sichtbar. Beim Entfer- . nen des Ladungsbildträgers glättet sich das Reliefbild reversibel.
- Die Reliefbildanzeige auf Flüssigkeiten durch externe Ladungsstrukturen gestattet auch eine überlagernde Anzeige von Ladungsstrukturen. Dadurch ist es beispielsweise möglich, auch homogene Bildflächen, jedoch unterschiedlicher Ladungsbelegung, durch Überlagerung mit Gitterstrukturen über entsprechend gerasterte Reliefbilder optisch differenziert zu projizieren.
- Eine 50 µm dicke Polyesterfolie 1 (Figur 4) mit einer geerdeten Gitterstruktur aus aufgedampftem Aluminium 6 auf der Oberseite von 10 Linien/mm wird mit einer 20 µm dicken Schicht 2 aus Poly-alpha-methylstyrol versehen. Bei Kontaktierung der Unterseite der Polyesterfolie 1 mit einem dielektrischen Träger 3 mit einem Ladungsbild 4 negativer Polarität entsteht ein gerastertes Reliefbild 5 entsprechend dem Ladungsbild 4. Durch homogene positive Aufladung 8 der verformbaren Schicht durch Coronaentladung wird eine kräftige Rasterstruktur außerhalb des Bildbereiches erzeugt. Bei Projektion durch eine Optik erhält man im ungebeugten Licht 0. Ordnung ein negatives Bild, bei dem die Ladungsbereiche hell dargestellt sind. Wird die verformbare Schicht 2 vor der Kontaktierung mit dem Ladungsbild 4 homogen aufgeladen, so entstehen die kräftigsten gerasterten Reliefstrukturen im Bereich des Ladungsbildes. Bei der Projektion wird umgekehrt der Bereich des Ladungsbildes dunkel angezeigt.
- Es wird wie in Beispiel 7 verfahren, nur mit dem Unterschied, daß anstelle des Poly-alpha-methylstyrols ein flüssiges Cumaron-Indenharz eingesetzt wird. Das Harz hat einen spezifischen Widerstand von 5 - 1013 Ohm. cm, eine Polarisierbarkeit von 18 10 -24 cm und eine Viskosität von etwa 6.000 mPa s. Das Reliefbild ist in der Qualität dem des Beispiels 7 vergleichbar.
- Es wird wie in Beispiel 7 verfahren, mit dem Unterschied, daß als Flüssigkeit chloriertes Diphenylharz eingesetzt wird. Das Harz hat einen spezifischen Widerstand von 2,5 ·1015 Ohm. cm, eine Polarisierbarkeit von etwa 17 10-24 cm3 und eine Viskosität von etwa 42.000 mPa s. Das erhaltene Reliefbild ist qualitativ dem des Beispiels 7 ähnlich.
- Eine 50 µm dicke Polyesterfolie wird, durch eine untergelegte Glasplatte mechanisch unterstützt, unter einer Metallschablone durch eine Coronaentladung bildmäßig aufgeladen. Dieses aufgeladene Substrat wird mit dem Ladungsmuster nach unten in etwa 500 um Abstand über eine durch Netzmittel entspannte Wasserschicht gelegt. Die etwa 30 µm dicke Wasserschicht ist auf einer Polyesterfolie verteilt, die auf einer geerdeten Metallplatte liegt. Die Wasseroberfläche verformt sich innerhalb weniger Sekunden zu einem Relief entsprechend dem Schablonenmuster. Beim Entfernen des Ladungsmusters glättet sich die Oberfläche in etwa fünf Sekunden reversibel.
Claims (9)
1. Verfahren zum Sichtbarmachen eines elektrostatischen Ladungsbildes durch Verformen der Oberfläche einer Flüssigkeit auf einem Träger zu einem reversiblen, optisch auslesbaren Reliefbild, dadurch gekennzeichnet, daß man das das Reliefbild erzeugende elektrostatische Ladungsbild im Abstand von etwa 10 bis etwa 1000 µm von der Flüssigkeitsoberfläche für die Zeit des Sichtbarmachens berührungsfrei anordnet.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß man das elektrostatische Ladungsbild unter der Flüssigkeitsschicht auf der Rückseite ihres dielektrischen Trägers anordnet.
3. Verfahren nach Ansprüchen 1 und 2, dadurch gekennzeichnet, daß man das elektrostatische Ladungsbild auf einem separaten Träger erzeugt und anordnet.
4. Verfahren nach Ansprüchen 1 und 3, dadurch gekennzeichnet, daß man als oberflächlich verformbare Flüssigkeit eine solche verwendet, die einen spezifischen Widerstand im Bereich von etwa 1010 bis 1016 Ohm cm und eine Polarisierbarkeit im Bereich von etwa 5 . 10-24 bis 20 10-24 cm3besitzt.
5. Verfahren nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß man als Flüssigkeit Poly-alpha-methylstyrol mit einer Viskosität im Bereich von 10.000 bis 50.000 mPa s einsetzt.
6. Verfahren nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß man als Flüssigkeit ein Silikonöl mit einer Viskosität von etwa 1.000 bis 10.000 mPa s einsetzt.
7. Vorrichtung zum Sichtbarmachen eines elektrostatischen Ladungsbildes durch Verformen der Oberfläche einer Flüssigkeit zu einem reversiblen, optisch auslesbaren Reliefbild gemäß dem Verfahren nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch ein Gehäuse mit wenigstens einer teilweise optisch transparenten oder offenen Seite, in welchem ein mit einer Flüssigkeitsschicht versehener Träger einem elektrostatischen Ladungsbild auf einem zweiten Träger berührungsfrei zugeordnet ist, durch eine optische Einrichtung, mit welcher das resultierende Reliefbild auf der Flüssigkeitsoberfläche durch Einstrahlen von Licht, das bei der Durchstrahlung oder Reflexion von dem Reliefbild bildmäßig modifiziert wird, sichtbar gemacht wird, und durch eine Anordnung zum Löschen oder Entfernen des Ladungbildes.
8. Vorrichtung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß für die Flüssigkeitsschicht und für das elektrostatische Ladungsbild nur ein und derselbe Träger vorgesehen ist.
9. Vorrichtung nach den Ansprüchen 7 und 8, dadurch gekennzeichnet, daß das Ladungsbild in einer Ionisationskammer (10) sichtbar gemacht wird.
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE3012253 | 1980-03-28 | ||
DE19803012253 DE3012253A1 (de) | 1980-03-28 | 1980-03-28 | Verfahren zum sichtbarmaschen von ladungsbildern und eine hierfuer geeignete vorichtung |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
EP0037044A1 true EP0037044A1 (de) | 1981-10-07 |
Family
ID=6098734
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
EP81102135A Withdrawn EP0037044A1 (de) | 1980-03-28 | 1981-03-21 | Verfahren zum Sichtbarmachen von Ladungsbildern und eine hierfür geeignete Vorrichtung |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4392711A (de) |
EP (1) | EP0037044A1 (de) |
JP (1) | JPS56150758A (de) |
AU (1) | AU6866781A (de) |
DE (1) | DE3012253A1 (de) |
Families Citing this family (112)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7830587B2 (en) | 1993-03-17 | 2010-11-09 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Method and device for modulating light with semiconductor substrate |
US6674562B1 (en) * | 1994-05-05 | 2004-01-06 | Iridigm Display Corporation | Interferometric modulation of radiation |
US5447147A (en) * | 1993-06-30 | 1995-09-05 | Stirbl; Robert C. | Solar radiation concentrator and related method |
US7138984B1 (en) | 2001-06-05 | 2006-11-21 | Idc, Llc | Directly laminated touch sensitive screen |
US7738157B2 (en) | 1994-05-05 | 2010-06-15 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | System and method for a MEMS device |
US7852545B2 (en) * | 1994-05-05 | 2010-12-14 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Method and device for modulating light |
US7123216B1 (en) | 1994-05-05 | 2006-10-17 | Idc, Llc | Photonic MEMS and structures |
US7550794B2 (en) | 2002-09-20 | 2009-06-23 | Idc, Llc | Micromechanical systems device comprising a displaceable electrode and a charge-trapping layer |
US7297471B1 (en) | 2003-04-15 | 2007-11-20 | Idc, Llc | Method for manufacturing an array of interferometric modulators |
US7839556B2 (en) * | 1994-05-05 | 2010-11-23 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Method and device for modulating light |
US8014059B2 (en) | 1994-05-05 | 2011-09-06 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | System and method for charge control in a MEMS device |
US6680792B2 (en) | 1994-05-05 | 2004-01-20 | Iridigm Display Corporation | Interferometric modulation of radiation |
US7808694B2 (en) | 1994-05-05 | 2010-10-05 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Method and device for modulating light |
US6710908B2 (en) * | 1994-05-05 | 2004-03-23 | Iridigm Display Corporation | Controlling micro-electro-mechanical cavities |
US7800809B2 (en) * | 1994-05-05 | 2010-09-21 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | System and method for a MEMS device |
US7826120B2 (en) * | 1994-05-05 | 2010-11-02 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Method and device for multi-color interferometric modulation |
US20010003487A1 (en) * | 1996-11-05 | 2001-06-14 | Mark W. Miles | Visible spectrum modulator arrays |
US8081369B2 (en) * | 1994-05-05 | 2011-12-20 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | System and method for a MEMS device |
US7619810B2 (en) * | 1994-05-05 | 2009-11-17 | Idc, Llc | Systems and methods of testing micro-electromechanical devices |
US7460291B2 (en) * | 1994-05-05 | 2008-12-02 | Idc, Llc | Separable modulator |
US7776631B2 (en) | 1994-05-05 | 2010-08-17 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | MEMS device and method of forming a MEMS device |
US7898722B2 (en) * | 1995-05-01 | 2011-03-01 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Microelectromechanical device with restoring electrode |
DE19624276C2 (de) * | 1996-06-18 | 1999-07-08 | Fraunhofer Ges Forschung | Phasenmodulierende Mikrostrukturen für höchstintegrierte Flächenlichtmodulatoren |
US5755217A (en) * | 1996-09-05 | 1998-05-26 | Stirbl; Robert C. | Solar radiation concentrator and related method |
US7929197B2 (en) * | 1996-11-05 | 2011-04-19 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | System and method for a MEMS device |
US7830588B2 (en) * | 1996-12-19 | 2010-11-09 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Method of making a light modulating display device and associated transistor circuitry and structures thereof |
US7471444B2 (en) | 1996-12-19 | 2008-12-30 | Idc, Llc | Interferometric modulation of radiation |
US8928967B2 (en) | 1998-04-08 | 2015-01-06 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Method and device for modulating light |
KR100703140B1 (ko) | 1998-04-08 | 2007-04-05 | 이리다임 디스플레이 코포레이션 | 간섭 변조기 및 그 제조 방법 |
US7532377B2 (en) | 1998-04-08 | 2009-05-12 | Idc, Llc | Movable micro-electromechanical device |
WO2003007049A1 (en) | 1999-10-05 | 2003-01-23 | Iridigm Display Corporation | Photonic mems and structures |
US6639710B2 (en) * | 2001-09-19 | 2003-10-28 | Lucent Technologies Inc. | Method and apparatus for the correction of optical signal wave front distortion using adaptive optics |
US6794119B2 (en) | 2002-02-12 | 2004-09-21 | Iridigm Display Corporation | Method for fabricating a structure for a microelectromechanical systems (MEMS) device |
US6574033B1 (en) | 2002-02-27 | 2003-06-03 | Iridigm Display Corporation | Microelectromechanical systems device and method for fabricating same |
US20040001733A1 (en) * | 2002-06-28 | 2004-01-01 | Dean Richtsmeier | Print medium transport path for a printing device |
US7781850B2 (en) | 2002-09-20 | 2010-08-24 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Controlling electromechanical behavior of structures within a microelectromechanical systems device |
TW200413810A (en) | 2003-01-29 | 2004-08-01 | Prime View Int Co Ltd | Light interference display panel and its manufacturing method |
TW570896B (en) * | 2003-05-26 | 2004-01-11 | Prime View Int Co Ltd | A method for fabricating an interference display cell |
US7221495B2 (en) * | 2003-06-24 | 2007-05-22 | Idc Llc | Thin film precursor stack for MEMS manufacturing |
TWI231865B (en) | 2003-08-26 | 2005-05-01 | Prime View Int Co Ltd | An interference display cell and fabrication method thereof |
TW593126B (en) * | 2003-09-30 | 2004-06-21 | Prime View Int Co Ltd | A structure of a micro electro mechanical system and manufacturing the same |
US7161728B2 (en) | 2003-12-09 | 2007-01-09 | Idc, Llc | Area array modulation and lead reduction in interferometric modulators |
US7119945B2 (en) * | 2004-03-03 | 2006-10-10 | Idc, Llc | Altering temporal response of microelectromechanical elements |
US7476327B2 (en) | 2004-05-04 | 2009-01-13 | Idc, Llc | Method of manufacture for microelectromechanical devices |
CA2575314A1 (en) | 2004-07-29 | 2006-02-09 | Idc, Llc | System and method for micro-electromechanical operating of an interferometric modulator |
US7527995B2 (en) | 2004-09-27 | 2009-05-05 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Method of making prestructure for MEMS systems |
US7808703B2 (en) | 2004-09-27 | 2010-10-05 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | System and method for implementation of interferometric modulator displays |
US7405861B2 (en) | 2004-09-27 | 2008-07-29 | Idc, Llc | Method and device for protecting interferometric modulators from electrostatic discharge |
US7327510B2 (en) | 2004-09-27 | 2008-02-05 | Idc, Llc | Process for modifying offset voltage characteristics of an interferometric modulator |
US7893919B2 (en) | 2004-09-27 | 2011-02-22 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Display region architectures |
US8008736B2 (en) | 2004-09-27 | 2011-08-30 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Analog interferometric modulator device |
US7535466B2 (en) | 2004-09-27 | 2009-05-19 | Idc, Llc | System with server based control of client device display features |
US7429334B2 (en) | 2004-09-27 | 2008-09-30 | Idc, Llc | Methods of fabricating interferometric modulators by selectively removing a material |
US7586484B2 (en) | 2004-09-27 | 2009-09-08 | Idc, Llc | Controller and driver features for bi-stable display |
US7583429B2 (en) | 2004-09-27 | 2009-09-01 | Idc, Llc | Ornamental display device |
US7420725B2 (en) | 2004-09-27 | 2008-09-02 | Idc, Llc | Device having a conductive light absorbing mask and method for fabricating same |
US7130104B2 (en) | 2004-09-27 | 2006-10-31 | Idc, Llc | Methods and devices for inhibiting tilting of a mirror in an interferometric modulator |
US7417783B2 (en) | 2004-09-27 | 2008-08-26 | Idc, Llc | Mirror and mirror layer for optical modulator and method |
US7554714B2 (en) | 2004-09-27 | 2009-06-30 | Idc, Llc | Device and method for manipulation of thermal response in a modulator |
US20060176241A1 (en) * | 2004-09-27 | 2006-08-10 | Sampsell Jeffrey B | System and method of transmitting video data |
US7920135B2 (en) | 2004-09-27 | 2011-04-05 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Method and system for driving a bi-stable display |
US7630119B2 (en) | 2004-09-27 | 2009-12-08 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Apparatus and method for reducing slippage between structures in an interferometric modulator |
US7553684B2 (en) | 2004-09-27 | 2009-06-30 | Idc, Llc | Method of fabricating interferometric devices using lift-off processing techniques |
US7289259B2 (en) | 2004-09-27 | 2007-10-30 | Idc, Llc | Conductive bus structure for interferometric modulator array |
US7161730B2 (en) * | 2004-09-27 | 2007-01-09 | Idc, Llc | System and method for providing thermal compensation for an interferometric modulator display |
US7719500B2 (en) | 2004-09-27 | 2010-05-18 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Reflective display pixels arranged in non-rectangular arrays |
US7492502B2 (en) | 2004-09-27 | 2009-02-17 | Idc, Llc | Method of fabricating a free-standing microstructure |
US7304784B2 (en) | 2004-09-27 | 2007-12-04 | Idc, Llc | Reflective display device having viewable display on both sides |
US7372613B2 (en) | 2004-09-27 | 2008-05-13 | Idc, Llc | Method and device for multistate interferometric light modulation |
US7460246B2 (en) | 2004-09-27 | 2008-12-02 | Idc, Llc | Method and system for sensing light using interferometric elements |
US7936497B2 (en) | 2004-09-27 | 2011-05-03 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | MEMS device having deformable membrane characterized by mechanical persistence |
US7302157B2 (en) | 2004-09-27 | 2007-11-27 | Idc, Llc | System and method for multi-level brightness in interferometric modulation |
US7684104B2 (en) | 2004-09-27 | 2010-03-23 | Idc, Llc | MEMS using filler material and method |
US7317568B2 (en) | 2004-09-27 | 2008-01-08 | Idc, Llc | System and method of implementation of interferometric modulators for display mirrors |
US7369296B2 (en) | 2004-09-27 | 2008-05-06 | Idc, Llc | Device and method for modifying actuation voltage thresholds of a deformable membrane in an interferometric modulator |
US7653371B2 (en) | 2004-09-27 | 2010-01-26 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Selectable capacitance circuit |
US7944599B2 (en) | 2004-09-27 | 2011-05-17 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Electromechanical device with optical function separated from mechanical and electrical function |
US7369294B2 (en) | 2004-09-27 | 2008-05-06 | Idc, Llc | Ornamental display device |
US7564612B2 (en) | 2004-09-27 | 2009-07-21 | Idc, Llc | Photonic MEMS and structures |
US7321456B2 (en) | 2004-09-27 | 2008-01-22 | Idc, Llc | Method and device for corner interferometric modulation |
US7349136B2 (en) | 2004-09-27 | 2008-03-25 | Idc, Llc | Method and device for a display having transparent components integrated therein |
TW200628877A (en) | 2005-02-04 | 2006-08-16 | Prime View Int Co Ltd | Method of manufacturing optical interference type color display |
EP1910216A1 (de) | 2005-07-22 | 2008-04-16 | QUALCOMM Incorporated | Stützstruktur für eine mikroelektromechanische vorrichtung und verfahren dazu |
US7630114B2 (en) | 2005-10-28 | 2009-12-08 | Idc, Llc | Diffusion barrier layer for MEMS devices |
US7795061B2 (en) * | 2005-12-29 | 2010-09-14 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Method of creating MEMS device cavities by a non-etching process |
US7916980B2 (en) | 2006-01-13 | 2011-03-29 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Interconnect structure for MEMS device |
US7382515B2 (en) | 2006-01-18 | 2008-06-03 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Silicon-rich silicon nitrides as etch stops in MEMS manufacture |
US7582952B2 (en) | 2006-02-21 | 2009-09-01 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Method for providing and removing discharging interconnect for chip-on-glass output leads and structures thereof |
US7547568B2 (en) | 2006-02-22 | 2009-06-16 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Electrical conditioning of MEMS device and insulating layer thereof |
US7550810B2 (en) | 2006-02-23 | 2009-06-23 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | MEMS device having a layer movable at asymmetric rates |
US7450295B2 (en) | 2006-03-02 | 2008-11-11 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Methods for producing MEMS with protective coatings using multi-component sacrificial layers |
US20070228156A1 (en) * | 2006-03-28 | 2007-10-04 | Household Corporation | Interoperability facilitator |
US7643203B2 (en) * | 2006-04-10 | 2010-01-05 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Interferometric optical display system with broadband characteristics |
US7903047B2 (en) | 2006-04-17 | 2011-03-08 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Mode indicator for interferometric modulator displays |
US7527996B2 (en) | 2006-04-19 | 2009-05-05 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Non-planar surface structures and process for microelectromechanical systems |
US7417784B2 (en) * | 2006-04-19 | 2008-08-26 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Microelectromechanical device and method utilizing a porous surface |
US7711239B2 (en) * | 2006-04-19 | 2010-05-04 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Microelectromechanical device and method utilizing nanoparticles |
US7623287B2 (en) | 2006-04-19 | 2009-11-24 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Non-planar surface structures and process for microelectromechanical systems |
US7369292B2 (en) | 2006-05-03 | 2008-05-06 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Electrode and interconnect materials for MEMS devices |
US7649671B2 (en) | 2006-06-01 | 2010-01-19 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Analog interferometric modulator device with electrostatic actuation and release |
US7321457B2 (en) * | 2006-06-01 | 2008-01-22 | Qualcomm Incorporated | Process and structure for fabrication of MEMS device having isolated edge posts |
US7405863B2 (en) | 2006-06-01 | 2008-07-29 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Patterning of mechanical layer in MEMS to reduce stresses at supports |
US7471442B2 (en) | 2006-06-15 | 2008-12-30 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Method and apparatus for low range bit depth enhancements for MEMS display architectures |
US7385744B2 (en) | 2006-06-28 | 2008-06-10 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Support structure for free-standing MEMS device and methods for forming the same |
US7835061B2 (en) | 2006-06-28 | 2010-11-16 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Support structures for free-standing electromechanical devices |
US7527998B2 (en) | 2006-06-30 | 2009-05-05 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Method of manufacturing MEMS devices providing air gap control |
US7566664B2 (en) | 2006-08-02 | 2009-07-28 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Selective etching of MEMS using gaseous halides and reactive co-etchants |
US7763546B2 (en) | 2006-08-02 | 2010-07-27 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Methods for reducing surface charges during the manufacture of microelectromechanical systems devices |
US7719752B2 (en) | 2007-05-11 | 2010-05-18 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | MEMS structures, methods of fabricating MEMS components on separate substrates and assembly of same |
KR20130100232A (ko) | 2010-04-09 | 2013-09-10 | 퀄컴 엠이엠에스 테크놀로지스, 인크. | 전기 기계 디바이스의 기계층 및 그 형성 방법 |
US8963159B2 (en) | 2011-04-04 | 2015-02-24 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Pixel via and methods of forming the same |
US9134527B2 (en) | 2011-04-04 | 2015-09-15 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Pixel via and methods of forming the same |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3281856A (en) * | 1961-04-10 | 1966-10-25 | Litton Systems Inc | Microwave recording upon a deformable medium |
DE1253581B (de) * | 1962-06-07 | 1967-11-02 | Rank Xerox Ltd | Verfahren zur Herstellung eines Deformationsbildes |
GB1122001A (en) * | 1964-08-07 | 1968-07-31 | Rank Xerox Ltd | Deformation image reproduction |
DE1472959A1 (de) * | 1963-02-26 | 1969-05-08 | Gen Electric | Verfahren zur Herstellung von Bildern auf einem Aufzeichnungsmaterial mit einer thermoplastischen und einer elektrisch leitenden Schicht |
DE2061417B2 (de) * | 1970-12-14 | 1978-03-23 | Hoechst Ag, 6000 Frankfurt | Vorrichtung zur Erzeugung und Löschung von Deformationsbildern |
CH611727A5 (de) * | 1976-03-12 | 1979-06-15 | Agfa Gevaert Ag |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US2896507A (en) * | 1952-04-16 | 1959-07-28 | Foerderung Forschung Gmbh | Arrangement for amplifying the light intensity of an optically projected image |
US3001447A (en) * | 1957-08-29 | 1961-09-26 | Zeiss Ikon A G Stuttgart | Image reproducing device for visible and invisible radiation images |
CH443717A (de) * | 1964-06-25 | 1967-09-15 | Gretag Ag | Einrichtung zur Sichtbarmachung von Infrarotstrahlen |
US3560205A (en) * | 1966-01-20 | 1971-02-02 | Xerox Corp | Method of forming a phase modulating hologram on a deformable thermoplastic |
-
1980
- 1980-03-28 DE DE19803012253 patent/DE3012253A1/de not_active Withdrawn
-
1981
- 1981-03-20 US US06/245,720 patent/US4392711A/en not_active Expired - Fee Related
- 1981-03-21 EP EP81102135A patent/EP0037044A1/de not_active Withdrawn
- 1981-03-24 AU AU68667/81A patent/AU6866781A/en not_active Abandoned
- 1981-03-25 JP JP4258481A patent/JPS56150758A/ja active Pending
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3281856A (en) * | 1961-04-10 | 1966-10-25 | Litton Systems Inc | Microwave recording upon a deformable medium |
DE1253581B (de) * | 1962-06-07 | 1967-11-02 | Rank Xerox Ltd | Verfahren zur Herstellung eines Deformationsbildes |
DE1472959A1 (de) * | 1963-02-26 | 1969-05-08 | Gen Electric | Verfahren zur Herstellung von Bildern auf einem Aufzeichnungsmaterial mit einer thermoplastischen und einer elektrisch leitenden Schicht |
GB1122001A (en) * | 1964-08-07 | 1968-07-31 | Rank Xerox Ltd | Deformation image reproduction |
DE2061417B2 (de) * | 1970-12-14 | 1978-03-23 | Hoechst Ag, 6000 Frankfurt | Vorrichtung zur Erzeugung und Löschung von Deformationsbildern |
CH611727A5 (de) * | 1976-03-12 | 1979-06-15 | Agfa Gevaert Ag |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US4392711A (en) | 1983-07-12 |
JPS56150758A (en) | 1981-11-21 |
AU6866781A (en) | 1981-10-01 |
DE3012253A1 (de) | 1981-10-15 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
EP0037044A1 (de) | Verfahren zum Sichtbarmachen von Ladungsbildern und eine hierfür geeignete Vorrichtung | |
EP0011203B1 (de) | Vorrichtung zum elektrostatischen Aufladen einer dielektrischen Schicht | |
CH493868A (de) | Verfahren zur Erzeugung eines Bildes und Mittel zur Ausführung des Verfahrens | |
DE2431770C3 (de) | Elektrofotografisch es Aufzeichnungsmaterial | |
DE1597905A1 (de) | Vorrichtung zur Elektrofotografie | |
DE1597844B2 (de) | Verfahren zur Umkehrentwicklung eines elektrostatischen Ladungsbildes | |
DE2511896C2 (de) | Röntgenelektrophotographisches Bilderzeugungsverfahren | |
DE2617857A1 (de) | Maske fuer eine vorrichtung zum anbringen einer gleichmaessigen elektrostatischen ladung an einem elektrofotografischen film | |
DE2212968C3 (de) | Verfahren zum Aufzeichnen eines Deformationsbildes | |
DE2242134A1 (de) | Vorrichtung und verfahren zur bildwiedergabe | |
DE2600279C2 (de) | Verfahren zur elektrophotographischen Herstellung eines Bildschirmes einer Farbfernsehbildröhre | |
DE2312516A1 (de) | Verfahren zum erhoehen des beugungsvermoegens eines deformationsbildes | |
DE2427626A1 (de) | Abbildungsverfahren | |
DE2843516A1 (de) | Elektrographische platte | |
DE1907903C3 (de) | Photoelektrophoretische Abbbildungsvorrichtung | |
DE2400269A1 (de) | Verfahren und vorrichtung zum ausbilden eines latent elektrostatischen bildes | |
DE1622349A1 (de) | Verfahren zur Entwicklung eines latenten elektrostatischen Bildes | |
DE2233538B2 (de) | Verfahren und Vorrichtung zum Entwickeln eines elektrostatischen Ladungsbildes | |
DE2431772C3 (de) | Elektrophotografisches Aufzeichnungsmaterial | |
DE2929986A1 (de) | Verfahren und vorrichtung fuer die elektrostatische aufzeichnung | |
DE1522627C (de) | Vorrichtung zur Herstellung eines elektrofotografischen Emulsionsentwicklers | |
DE2029505B2 (de) | Verfahren zur Erzeugung eines Ladungsbildes auf einem isolierenden Bildempfangsmaterial | |
EP0501325B1 (de) | Reversible oder irreversible Erzeugung einer Abbildung | |
AT293874B (de) | Abbildungsverfahren mit einer photoelektrophoretischen Bildstoffsuspension und Einrichtung zur Durchführung des Verfahrens | |
DE2725681A1 (de) | Lichtempfindlicher schirm fuer eine elektrografische vorrichtung |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
PUAI | Public reference made under article 153(3) epc to a published international application that has entered the european phase |
Free format text: ORIGINAL CODE: 0009012 |
|
AK | Designated contracting states |
Designated state(s): DE |
|
17P | Request for examination filed |
Effective date: 19820227 |
|
RBV | Designated contracting states (corrected) |
Designated state(s): DE |
|
STAA | Information on the status of an ep patent application or granted ep patent |
Free format text: STATUS: THE APPLICATION HAS BEEN WITHDRAWN |
|
18W | Application withdrawn |
Withdrawal date: 19830428 |
|
RIN1 | Information on inventor provided before grant (corrected) |
Inventor name: MORAW, ROLAND, DR. Inventor name: SCHAEDLICH, GUENTHER |