EP0498931A1 - Single crystal silicon nozzle plate - Google Patents

Single crystal silicon nozzle plate Download PDF

Info

Publication number
EP0498931A1
EP0498931A1 EP91119200A EP91119200A EP0498931A1 EP 0498931 A1 EP0498931 A1 EP 0498931A1 EP 91119200 A EP91119200 A EP 91119200A EP 91119200 A EP91119200 A EP 91119200A EP 0498931 A1 EP0498931 A1 EP 0498931A1
Authority
EP
European Patent Office
Prior art keywords
perforated plate
opening
face
atomizing
recess
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
EP91119200A
Other languages
German (de)
French (fr)
Other versions
EP0498931B1 (en
Inventor
Jiri Dr.-Ing. Marek
Martin Dipl.-Ing. Maier
Hans-Peter Dipl.-Min. Trah
Juergen Dipl.-Ing. Buchholz (Fh)
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Robert Bosch GmbH
Original Assignee
Robert Bosch GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Robert Bosch GmbH filed Critical Robert Bosch GmbH
Publication of EP0498931A1 publication Critical patent/EP0498931A1/en
Application granted granted Critical
Publication of EP0498931B1 publication Critical patent/EP0498931B1/en
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05B—SPRAYING APPARATUS; ATOMISING APPARATUS; NOZZLES
    • B05B1/00—Nozzles, spray heads or other outlets, with or without auxiliary devices such as valves, heating means
    • B05B1/02—Nozzles, spray heads or other outlets, with or without auxiliary devices such as valves, heating means designed to produce a jet, spray, or other discharge of particular shape or nature, e.g. in single drops, or having an outlet of particular shape
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05B—SPRAYING APPARATUS; ATOMISING APPARATUS; NOZZLES
    • B05B1/00—Nozzles, spray heads or other outlets, with or without auxiliary devices such as valves, heating means
    • B05B1/02—Nozzles, spray heads or other outlets, with or without auxiliary devices such as valves, heating means designed to produce a jet, spray, or other discharge of particular shape or nature, e.g. in single drops, or having an outlet of particular shape
    • B05B1/04—Nozzles, spray heads or other outlets, with or without auxiliary devices such as valves, heating means designed to produce a jet, spray, or other discharge of particular shape or nature, e.g. in single drops, or having an outlet of particular shape in flat form, e.g. fan-like, sheet-like
    • B05B1/048—Nozzles, spray heads or other outlets, with or without auxiliary devices such as valves, heating means designed to produce a jet, spray, or other discharge of particular shape or nature, e.g. in single drops, or having an outlet of particular shape in flat form, e.g. fan-like, sheet-like having a flow conduit with, immediately behind the outlet orifice, an elongated cross section, e.g. of oval or elliptic form, of which the major axis is perpendicular to the plane of the jet
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05B—SPRAYING APPARATUS; ATOMISING APPARATUS; NOZZLES
    • B05B1/00—Nozzles, spray heads or other outlets, with or without auxiliary devices such as valves, heating means
    • B05B1/02—Nozzles, spray heads or other outlets, with or without auxiliary devices such as valves, heating means designed to produce a jet, spray, or other discharge of particular shape or nature, e.g. in single drops, or having an outlet of particular shape
    • B05B1/04—Nozzles, spray heads or other outlets, with or without auxiliary devices such as valves, heating means designed to produce a jet, spray, or other discharge of particular shape or nature, e.g. in single drops, or having an outlet of particular shape in flat form, e.g. fan-like, sheet-like
    • B05B1/042—Outlets having two planes of symmetry perpendicular to each other, one of them defining the plane of the jet
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F02—COMBUSTION ENGINES; HOT-GAS OR COMBUSTION-PRODUCT ENGINE PLANTS
    • F02M—SUPPLYING COMBUSTION ENGINES IN GENERAL WITH COMBUSTIBLE MIXTURES OR CONSTITUENTS THEREOF
    • F02M61/00—Fuel-injectors not provided for in groups F02M39/00 - F02M57/00 or F02M67/00
    • F02M61/16—Details not provided for in, or of interest apart from, the apparatus of groups F02M61/02 - F02M61/14
    • F02M61/166—Selection of particular materials
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F02—COMBUSTION ENGINES; HOT-GAS OR COMBUSTION-PRODUCT ENGINE PLANTS
    • F02M—SUPPLYING COMBUSTION ENGINES IN GENERAL WITH COMBUSTIBLE MIXTURES OR CONSTITUENTS THEREOF
    • F02M61/00—Fuel-injectors not provided for in groups F02M39/00 - F02M57/00 or F02M67/00
    • F02M61/16—Details not provided for in, or of interest apart from, the apparatus of groups F02M61/02 - F02M61/14
    • F02M61/18—Injection nozzles, e.g. having valve seats; Details of valve member seated ends, not otherwise provided for
    • F02M61/1853—Orifice plates
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10S239/00—Fluid sprinkling, spraying, and diffusing
    • Y10S239/19—Nozzle materials

Definitions

  • EP 0 354 659 A2 discloses a fuel injector with a silicon nozzle plate arranged downstream of a valve seat, which has an atomizing opening that widens in the direction of flow having. A line jet with a relatively poor atomization of the fuel is generated through this atomization opening, so that the formation of a largely homogeneous fuel-air mixture is not guaranteed.
  • the perforated plate according to the invention with the characterizing features of claim 1 has the advantage, on the other hand, of enabling the formation of flat jets due to the at least one elongated recess of the perforated plate opening into a metering opening and thus achieving a substantially better atomization of the fuel dispensed.
  • the formation of the elongated recesses and the atomizing openings in the silicon perforated plate by etching enables high manufacturing accuracy.
  • the perforated plate according to the invention can be produced in a simple and inexpensive manner, since the production outlay is low even with the required narrow manufacturing tolerances. In the manufacturing process common in semiconductor technology, the batch process, many perforated plates can be produced at the same time.
  • the size of the jet and atomizing angle can be influenced.
  • the fuel injector according to the invention with the characterizing features of claim 11 has the advantage of dispensing the fuel in a particularly finely atomized manner and thus enabling the formation of a particularly homogeneous fuel-air mixture.
  • the formation of the at least one elongate recess and the respective atomization opening by etching the silicon perforated plate allows the fuel injector to be manufactured simply and inexpensively.
  • the at least one elongate recess is formed starting from the upper end face and the at least one atomizing opening is formed from the lower end face of the perforated plate by anisotropic etching on both sides.
  • the at least one elongate recess has two opposing longitudinal surfaces which extend in the direction of the atomization opening, the longitudinal edges of which are formed with the upper end face of the perforated plate and run parallel to one another and to a longitudinal axis of the elongate recess which have at least one atomization opening in the shape of a square is and the longitudinal axis of the elongated recess runs parallel to a diagonal of the square atomizing opening connecting two opposite corners of the atomizing opening.
  • the fuel is discharged from the atomizing opening in a flat jet and particularly finely atomized.
  • the two opposing longitudinal surfaces of the elongated recess run parallel to one another and perpendicular to the upper end face of the perforated plate and the longitudinal edges of the two longitudinal surfaces have the greatest length of all the edges of the elongated recess formed with the upper end face of the perforated plate.
  • the perforated plate has two elongated recesses arranged next to one another, each with an atomizing opening.
  • Such a perforated plate is particularly well suited for fuel injection valves for fuel injection systems of internal combustion engines with two intake valves.
  • FIG. 1 shows a partially illustrated fuel injector with a perforated plate designed according to a first embodiment
  • FIG. 2 shows a plan view of the perforated plate according to the first embodiment in the direction of arrow X in FIG. 1
  • FIG. 3 shows a section along the line III-III in FIG. 2
  • FIG 4 shows a plan view of a perforated plate according to a second exemplary embodiment
  • FIG. 5 shows a section along the line VV
  • FIG. 6 shows a section along the line VI-VI in FIG. 4, the flow course of the fuel and the jet formation being indicated in FIGS.
  • FIG. 4 to 6, 7 shows a plan view of a perforated plate according to a third exemplary embodiment, in which the flow pattern and the jet formation of the fuel are indicated
  • FIG. 8 shows a section along the line VIII-VIII in FIG. 7
  • FIG. 9 shows a plan view of a perforated plate according to a fourth exemplary embodiment
  • FIG. 10 a section along the line XX in Figure 9
  • Fi 11 shows a section along the line XI-XI in FIG. 9
  • FIG. 12 shows a section along the line XII-XII in FIG. 9
  • FIG. 13 shows a section along the line XIII-XIII in FIG. 9.
  • FIG. 1 shows a partially illustrated fuel injector with a perforated plate according to a first exemplary embodiment, which can be used, for example, for injection systems of mixed-compression spark-ignition internal combustion engines.
  • a nozzle body 3 of the fuel injector Concentric to a longitudinal valve axis 1, a nozzle body 3 of the fuel injector has a stepped through opening 7.
  • a valve closing body 9 is arranged in the through opening 7. With its downstream end, which, for example, tapers conically downstream Sealing area 11 is formed, the valve closing body 9 cooperates with a valve seat surface 13 of the stepped through opening 7 of the nozzle body 3, which tapers conically in the flow direction, for example.
  • a guide section 15 of the through opening 7 formed upstream of the valve seat surface serves to guide the valve closing body 9 on its at least one guide region 16.
  • valve closing body 9 The axial movement of the valve closing body 9 and thus the opening and closing of the valve takes place, for example, mechanically or electromagnetically in a known manner.
  • the valve seat surface 13 is connected in the downstream direction, e.g. cylindrical flow section 17, a transition section 19 widening radially outward in the flow direction and a receiving section 21 of the through opening 7, the wall of which runs parallel to the longitudinal valve axis 1.
  • a perforated plate 23 is arranged so that the perforated plate 23 is closely surrounded by the wall of the receiving section 21.
  • a protective cap 25 is arranged at the downstream end of the nozzle body 3, which surrounds the circumference of the nozzle body 3 in the region of its downstream end with a cylinder section 27 and with a radial section pointing radially inward downstream of the perforated plate 23 29 bears against a lower end face 31 of the perforated plate 23 facing away from the valve seat surface 13.
  • the protective cap 25 is held on the circumference of the nozzle body 3 by a snap connection 33.
  • a metal protective cap 25 it is also possible for a metal protective cap 25 to be attached to the circumference of the nozzle body 3 by means of laser welding.
  • the perforated plate 23 With its upper end face 35 facing the valve seat surface 13, the perforated plate 23 bears against a holding shoulder 37 of the stepped through-opening 7 of the nozzle body 3 that faces the perforated plate and extends radially inward from the receiving section 21.
  • the perforated plate 23 is made of monocrystalline silicon.
  • FIG. 2 shows a top view of the perforated plate 23 in the direction of the arrow X in FIG. 1 and FIG. 3 shows a section along the line III-III in FIG. 2.
  • the elongated recess 39 for example, partially overlaps with an atomizing opening 41, which extends to the lower end face 31 of the perforated plate 23, so that the recess 39 and the atomizing opening 41 together form a flow channel penetrating the perforated plate 23.
  • the atomization opening 41 is formed, for example, starting from the lower end face 31 of the perforated plate 23 by anisotropic etching. To reduce the manufacturing costs of such a perforated plate 23, it is possible to form the elongated recess 39 and the atomizing opening 41 in a common operation by anisotropic etching on both sides. This results in identical etching depths for the elongated recess 39 and for the atomization opening 41 and thus identical extensions in the direction of the longitudinal valve axis 1.
  • the elongated recess 39 has a rectangular opening cross section on the upper end 35, which tapers towards the lower end 31 of the perforated plate 23 and tapers to the bottom 43 of the elongated recess 39.
  • the wall of the elongated recess 39 is formed in each case by two longitudinal surfaces 45 and transverse surfaces 47 which are inclined to the longitudinal axis 1 of the valve.
  • the longitudinal surfaces 45 each form a longitudinal edge 49 and the transverse surfaces 47 each form a transverse edge 51 with the upper end face 35 of the perforated plate 23, the two longitudinal edges 49 running parallel to one another and the two transverse edges 51 running parallel to one another.
  • the elongated recess 39 has a longitudinal axis 53 and perpendicular to it a parallel to the transverse edges 51 extending transverse axis 55, both the longitudinal axis 53 and the transverse axis 55 running like axes of symmetry of the elongated recess and the longitudinal axis 53 and the transverse axis 55 intersect, for example, at a point on the valve longitudinal axis 1.
  • the, for example, rectangular atomizing opening 41 extends, for example, concentrically to the elongated recess 39 in the direction of the lower end face 31 of the perforated plate 23.
  • the cross section of the atomizing opening 41 widens in the direction of flow.
  • the atomization opening 41 has two opposing longitudinal surfaces 58 which each form a longitudinal edge 57 with the lower end face 31 of the perforated plate 23.
  • the longitudinal edges 57 of the atomization opening 41 run parallel to the longitudinal axis 53 of the elongate recess 39 and have a substantially shorter edge length than the longitudinal edges 49 of the elongate recess 39, the ratio of the edge lengths of the longitudinal edges 49 of the elongate recess 39 to the longitudinal edges 57 of the atomization opening 41 is approximately 1.5: 1 to 10: 1.
  • a transverse edge 60 of a transverse surface 61 of the atomizing opening 41 formed with the lower end face 31 runs perpendicular to the longitudinal edges 57.
  • the transverse edges 60 also have a slightly longer edge length, for example, by 5 to 30 ⁇ m than the transverse edges 51 of the elongated recess 39.
  • the transverse edges 60 of the atomization opening 41 can have an edge length that is up to twice as long as the transverse edges 51.
  • FIGS. 4 to 6 show a second exemplary embodiment according to the invention, in which the same and equivalent parts are identified with the same reference numerals as in FIGS. 1 to 3.
  • the perforated plate 23 has two elongated recesses 39 which are spaced apart from one another, each of which is partially with a Overlap atomization opening 41.
  • the two elongate recesses 39 are arranged so that their two longitudinal axes 53 run parallel to one another on a common line.
  • the elongated recesses 39 and the atomizing openings 41 are designed in exactly the same way as in the first exemplary embodiment illustrated in FIGS. 1 to 3.
  • the flow pattern of the fuel is indicated by arrows 56 in order to clarify the functioning of the perforated plate according to the invention.
  • the geometry of the elongated recess 39 and the atomization opening 41, as shown in FIGS. 4 to 6, causes a deflection of the flow 56 of the fuel.
  • the flow 56 is deflected in the direction of the base 43, so that two flow halves of the fuel, which flow towards one another in the direction of the longitudinal axis 53, collide with one another via the atomization opening 41.
  • the fuel flow 56 is expanded and atomized in the form of a flat jet in the direction of the transverse axis 55 as it exits the atomizing opening 41 as indicated by dashed line 59.
  • This fuel stream which is indicated by the dashed line 59 and is emitted in a flat jet, has the advantage of particularly fine atomization.
  • the shape of the flat jet identified by the broken line 59 and the size of the atomizing angle can be influenced.
  • the width 65 of the flat jet identified by the broken line 59 also changes in the direction of the transverse axis 55 of the perforated plate 23 and thus the size of the atomization angle.
  • the perforated plate shown in FIGS. 4 to 6 according to the second exemplary embodiment is particularly suitable for use in fuel injection valves for internal combustion engines with two intake valves per cylinder, each flat jet corresponding to an intake valve in accordance with the broken line 59.
  • the perforated plate 23 according to the third exemplary embodiment shown in FIGS. 7 and 8, which shows a section along the line VIII-VIII in FIG. 7, as well as the perforated plate according to the second exemplary embodiment, has two rectangular elongate recesses 39 lying next to one another, each of which is partially divided with a rectangular atomizing opening 41.
  • the same and equivalent parts are identified by the same reference numerals as in FIGS. 1 to 6.
  • the elongated recess 39 and the atomizing opening 41 are not formed concentrically with one another.
  • the atomization opening 41 of the left elongate recess 39 is shifted to the left and the atomization opening 41 of the right elongate recess 39 to the right.
  • the flat jet is deflected away from the transverse axis 55 towards the side of the elongated recess 39, towards which the atomizing opening 41 is displaced along the longitudinal axis 53.
  • This embodiment with the two diverging flat jets has proven to be advantageous since mixing of the two flat jets of fuel and thus mutual influencing is effectively avoided.
  • FIGS. 9 to 13 A fourth exemplary embodiment of a perforated plate according to the invention is shown in FIGS. 9 to 13.
  • the same and equivalent parts are identified by the same reference numerals as in FIGS. 1 to 8.
  • FIG. 9 shows a perforated plate 23 made of monocrystalline silicon with, for example, two geometrically identical elongate recesses 39, which are spaced apart and the lower end face 31 of FIG Perforated plate 23 facing each other partially overlap with a rectangular atomizing opening 41, the two atomizing openings 41 also having geometrically identical dimensions.
  • Figure 10 shows a section along the line XX in Figure 9
  • Figure 11 shows a section along the line XI-XI in Figure 9
  • Figure 12 shows a section along the line XII-XII in Figure 9
  • the figure 13 shows a section along the line XIII-XIII in FIG. 9.
  • the two elongate recesses 39 have a hexagonal opening cross section on the upper end face 35, which crosses in the direction of the bottom 43 tapers towards the elongated recess 39 of the lower end face 31 of the perforated plate 23.
  • the wall of the elongated recess 39 is formed by two longitudinal surfaces 45 extending perpendicular to the upper end face 35 of the perforated plate 23 and four transverse surfaces 47 inclined to the longitudinal axis 1 of the valve, two transverse surfaces 47 adjoining each other.
  • the longitudinal surfaces 45 each form a longitudinal edge 49 with the upper end face 35 of the perforated plate 23 and the transverse surfaces 47 each form a transverse edge 51.
  • the two longitudinal edges 49 and two opposite transverse edges 51 each run parallel to one another.
  • the longitudinal edges 49 have a substantially greater edge length than the transverse edges 51.
  • the two transverse edges 51 of the mutually adjoining transverse surfaces 47 form a right angle to one another and have the same length.
  • transverse edges 51 are at an obtuse angle to the longitudinal edges 49 of the elongated recess 39.
  • the elongated recesses 39 Parallel to the longitudinal edges 49, the elongated recesses 39 have a longitudinal axis 53 and perpendicular to them a transverse axis 55 which run like axes of symmetry of the elongated recess 39.
  • the longitudinal axis 53 and the transverse axis 55 intersect at the center of the elongated recess 39.
  • the quadrangular, for example rectangular or square, atomizing opening 41 extends concentrically to the elongated recess 39 in the direction of the lower end face 31 of the perforated plate 23.
  • the cross section of the atomizing opening 41 widens in the direction of flow.
  • the elongated recess 39 and the atomizing opening 41 are arranged so that the longitudinal axis 53 of the elongated recess 39 runs parallel to and, for example, congruently with a diagonal 67 of the square atomizing opening 41 connecting two opposite corners of the atomizing opening 41.
  • the design of the elongated recess 39 and the atomization opening 41 causes a deflection of the fuel flow on the oblique transverse surfaces 47 and the bottom 43.
  • two deflection halves of the fuel flowing towards one another in the direction of the longitudinal axis 53 collide with one another due to the deflection at the bottom 43.
  • the shape and direction of the flat jet and the size of the atomizing angle of the fuel can also be influenced in the fourth exemplary embodiment by changing the geometry of the elongated recesses 39 and the atomizing openings 41 and their position relative to one another.
  • the perforated plate 23 according to the invention or the fuel injection valve with a perforated plate 23 according to the invention enables the dispensed fuel to be atomized very finely. Through the formation of the elongated recess 39 and the atomization opening 41 in the silicon perforated plate by etching, high manufacturing accuracy is achieved with little manufacturing effort.

Abstract

Bekannt ist ein Brennstoffeinspritzventil mit einer stromabwärts eines Ventilsitzes angeordneten Silizium-Lochplatte, die eine sich in Strömungsrichtung erweiternde Zerstäubungsöffnung aufweist. Durch diese Zerstäubungsöffnung wird ein Schnurstrahl mit einer relativ schlechten Zerstäubung des Brennstoffs erzeugt, so daß die Bildung eines weitestgehend homogenen Brennstoff-Luft-Gemisches nicht gewährleistet ist. Die neue Silizium-Lochplatte (23) weist an einer der Ventilsitzfläche (13) zugewandten oberen Stirnseite (35) zumindest eine längliche Ausnehmung (39) auf, die sich jeweils teilweise mit einer sich bis zu einer unteren Stirnseite (31) der Lochplatte (23) erstreckenden Zumeßöffnung (41) überschneidet. Die erfindungsgemäße Lochplatte (23) ermöglicht die Bildung von Flachstrahlen, so daß eine sehr feine Zerstäubung des abgegebenen Brennstoffs erzielt wird. Die Ausbildung der länglichen Ausnehmungen (39) und Zerstäubungsöffnungen (41) durch Ätzen ermöglicht eine hohe Fertigungsgenauigkeit bei geringem Fertigungsaufwand. Die Lochplatte und das Brennstoffeinspritzventil eignen sich besonders für Einspritzanlagen von gemischverdichtenden fremdgezündeten Brennkraftmaschinen. <IMAGE>A fuel injection valve is known with a silicon perforated plate arranged downstream of a valve seat and having an atomizing opening that widens in the direction of flow. A line jet with a relatively poor atomization of the fuel is generated through this atomization opening, so that the formation of a largely homogeneous fuel-air mixture is not guaranteed. The new silicon perforated plate (23) has at least one elongated recess (39) on an upper end face (35) facing the valve seat surface (13), each of which is partially aligned with an up to a lower end face (31) of the perforated plate (23 ) extending metering opening (41) overlaps. The perforated plate (23) according to the invention enables the formation of flat jets so that the dispensed fuel is atomized very finely. The formation of the elongated recesses (39) and atomization openings (41) by etching enables high manufacturing accuracy with little manufacturing effort. The perforated plate and the fuel injection valve are particularly suitable for injection systems of mixed-compression spark-ignition internal combustion engines. <IMAGE>

Description

Stand der TechnikState of the art

Die Erfindung geht aus von einer Lochplatte bzw. einem Brennstoffeinspritzventil mit einer Lochplatte nach der Gattung des Anspruches 1 bzw. 11. Aus der EP O 354 659 A2 ist ein Brennstoffeinspritzventil mit einem stromabwärts eines Ventilsitzes angeordneten Siliziumdüsenplättchen bekannt, das eine sich in Strömungsrichtung erweiternde Zerstäubungsöffnung aufweist. Durch diese Zerstäubungsöffnung wird ein Schnurstrahl mit einer relativ schlechten Zerstäubung des Brennstoffs erzeugt, so daß die Bildung eines weitestgehend homogenen Brennstoff-Luft-Gemisches nicht gewährleistet ist.The invention is based on a perforated plate or a fuel injector with a perforated plate according to the preamble of claims 1 and 11, respectively. EP 0 354 659 A2 discloses a fuel injector with a silicon nozzle plate arranged downstream of a valve seat, which has an atomizing opening that widens in the direction of flow having. A line jet with a relatively poor atomization of the fuel is generated through this atomization opening, so that the formation of a largely homogeneous fuel-air mixture is not guaranteed.

Die Erzeugung von Flachstrahlen oder Fächerstrahlen, die eine bessere Zerstäubung des Brennstoffs ermöglichen, ist aus der DE 39 04 446 A1 bekannt. Dort ist in der Lochplatte zumindest eine längliche Einprägung vorgesehen, die in jeweils eine Zerstäubungsöffnung mündet. Der Fertigungsaufwand für die möglichst enge Maßtoleranzen aufweisenden Einprägungen ist jedoch sehr groß, so daß die Herstellung einer solchen Lochplatte mit hohen Kosten verbunden ist. Zudem bereitet die Einhaltung der engen Fertigungstoleranzen der Einprägungen bei einer Serienfertigung Schwierigkeiten.The generation of flat jets or fan jets, which enable better atomization of the fuel, is known from DE 39 04 446 A1. There, at least one elongated indentation is provided in the perforated plate, each of which opens into an atomization opening. The production effort for the smallest possible dimensional tolerances impressions is however very large, so that the production of such a perforated plate is associated with high costs. In addition, compliance with the tight manufacturing tolerances of the embossing is difficult in series production.

Vorteile der ErfindungAdvantages of the invention

Die erfindungsgemäße Lochplatte mit den kennzeichnenden Merkmalen des Anspruches 1 hat demgegenüber den Vorteil, aufgrund der zumindest einen in jeweils eine Zumeßöffnung mündenden länglichen Ausnehmung der Lochplatte die Bildung von Flachstrahlen zu ermöglichen und so eine wesentlich bessere Zerstäubung des abgegebenen Brennstoffs zu erzielen. Die Ausbildung der länglichen Ausnehmungen und der Zerstäubungsöffnungen in der Silizium-Lochplatte durch Ätzen ermöglicht eine hohe Fertigungsgenauigkeit. Die erfindungsgemäße Lochplatte ist auf einfache und kostengünstige Art und Weise herstellbar, da der Fertigungsaufwand auch bei den geforderten engen Fertigungstoleranzen gering ist. Bei dem in der Halbleitertechnik üblichen Fertigungsverfahren, dem Batchverfahren, können viele Lochplatten gleichzeitig hergestellt werden.The perforated plate according to the invention with the characterizing features of claim 1 has the advantage, on the other hand, of enabling the formation of flat jets due to the at least one elongated recess of the perforated plate opening into a metering opening and thus achieving a substantially better atomization of the fuel dispensed. The formation of the elongated recesses and the atomizing openings in the silicon perforated plate by etching enables high manufacturing accuracy. The perforated plate according to the invention can be produced in a simple and inexpensive manner, since the production outlay is low even with the required narrow manufacturing tolerances. In the manufacturing process common in semiconductor technology, the batch process, many perforated plates can be produced at the same time.

Durch eine Variation der Geometrie der länglichen Ausnehmungen und der Zerstäubungsöffnungen, also z.B. durch eine Veränderung der Querschnitte und/oder der Ätztiefen der länglichen Ausnehmungen und der Zerstäubungsöffnungen lassen sich die Größe des Strahl- und des Zerstäubungswinkels beeinflussen.By varying the geometry of the elongated recesses and the atomizing openings, e.g. By changing the cross sections and / or the etching depths of the elongated recesses and the atomizing openings, the size of the jet and atomizing angle can be influenced.

Das erfindungsgemäße Brennstoffeinspritzventil mit den kennzeichnenden Merkmalen des Anspruches 11 hat den Vorteil, den Brennstoff besonders fein zerstäubt abzugeben und so die Bildung eines besonders homogenen Brennstoff-Luft-Gemisches zu ermöglichen. Die Ausbildung der zumindest einen länglichen Ausnehmung und der jeweiligen Zerstäubungsöffnung durch Ätzen der Silizium-Lochplatte erlaubt eine einfache und kostengünstige Herstellung des Brennstoffeinspritzventils.The fuel injector according to the invention with the characterizing features of claim 11 has the advantage of dispensing the fuel in a particularly finely atomized manner and thus enabling the formation of a particularly homogeneous fuel-air mixture. The formation of the at least one elongate recess and the respective atomization opening by etching the silicon perforated plate allows the fuel injector to be manufactured simply and inexpensively.

Durch die in den Unteransprüchen aufgeführten Maßnahmen sind vorteilhafte Weiterbildungen und Verbesserungen der im Anspruch 1 angegebenen Lochplatte und des im Anspruch 11 angegebenen Brennstoffeinspritzventils möglich.The measures listed in the subclaims provide advantageous developments and improvements to those specified in claim 1 Perforated plate and the fuel injector specified in claim 11 possible.

Für eine besonders einfache und kostengünstige Herstellung der Lochplatte bzw. des Brennstoffeinspritzventils ist es vorteilhaft, wenn die zumindest eine längliche Ausnehmung ausgehend von der oberen Stirnseite und die zumindest eine Zerstäubungsöffnung ausgehend von der unteren Stirnseite der Lochplatte durch zweiseitiges anisotropes Ätzen ausgeformt sind.For a particularly simple and inexpensive manufacture of the perforated plate or of the fuel injector, it is advantageous if the at least one elongate recess is formed starting from the upper end face and the at least one atomizing opening is formed from the lower end face of the perforated plate by anisotropic etching on both sides.

Es ist besonders vorteilhaft, wenn die zumindest eine längliche Ausnehmung zwei einander gegenüberliegende, sich in Richtung der Zerstäubungsöffnung erstreckende Längsflächen hat, deren mit der oberen Stirnseite der Lochplatte gebildeten Längskanten parallel zueinander und zu einer Längsachse der länglichen Ausnehmung verlaufen, die zumindest eine Zerstäubungsöffnung viereckförmig ausgebildet ist und die Längsachse der länglichen Ausnehmung parallel zu einer zwei gegenüberliegende Ecken der Zerstäubungsöffnung miteinander verbindenden Diagonalen der viereckförmigen Zerstäubungsöffnung verläuft. Hierdurch wird der Brennstoff flachstrahlförmig und besonders fein zerstäubt aus der Zerstäubungsöffnung abgegeben.It is particularly advantageous if the at least one elongate recess has two opposing longitudinal surfaces which extend in the direction of the atomization opening, the longitudinal edges of which are formed with the upper end face of the perforated plate and run parallel to one another and to a longitudinal axis of the elongate recess which have at least one atomization opening in the shape of a square is and the longitudinal axis of the elongated recess runs parallel to a diagonal of the square atomizing opening connecting two opposite corners of the atomizing opening. As a result, the fuel is discharged from the atomizing opening in a flat jet and particularly finely atomized.

Zu diesem Zweck ist es vorteilhaft, wenn die beiden einander gegenüberliegenden Längsflächen der länglichen Ausnehmung parallel zueinander und senkrecht zu der oberen Stirnseite der Lochplatte verlaufen und die Längskanten der beiden Längsflächen die größte Länge aller mit der oberen Stirnseite der Lochplatte gebildeten Kanten der länglichen Ausnehmung aufweisen.For this purpose, it is advantageous if the two opposing longitudinal surfaces of the elongated recess run parallel to one another and perpendicular to the upper end face of the perforated plate and the longitudinal edges of the two longitudinal surfaces have the greatest length of all the edges of the elongated recess formed with the upper end face of the perforated plate.

Vorteilhaft ist es, wenn die Lochplatte zwei nebeneinander angeordnete längliche Ausnehmungen mit je einer Zerstäubungsöffnung hat. Eine solche Lochplatte eignet sich besonders gut für Brennstoffeinspritzventile für Brennstoffeinspritzanlagen von Brennkraftmaschinen mit zwei Einlaßventilen.It is advantageous if the perforated plate has two elongated recesses arranged next to one another, each with an atomizing opening. Such a perforated plate is particularly well suited for fuel injection valves for fuel injection systems of internal combustion engines with two intake valves.

Zeichnungdrawing

Ausführungsbeispiele der Erfindung sind in der Zeichnung vereinfacht dargestellt und in der nachfolgenden Beschreibung näher erläutert. Figur 1 zeigt ein teilweise dargestelltes Brennstoffeinspritzventil mit einer gemäß eines ersten Ausführungsbeispiels ausgebildeten Lochplatte, Figur 2 eine Draufsicht der Lochplatte gemäß des ersten Ausführungsbeispiels in Richtung des Pfeiles X in Figur 1, Figur 3 einen Schnitt entlang der Linie III-III in Figur 2, Figur 4 eine Draufsicht einer Lochplatte gemäß eines zweiten Ausführungsbeispiels, Figur 5 einen Schnitt entlang der Linie V-V und Figur 6 einen Schnitt entlang der Linie VI-VI in Figur 4, wobei in den Figuren 4 bis 6 der Strömungsverlauf des Brennstoffs und die Strahlbildung angedeutet sind, Figur 7 eine Draufsicht einer Lochplatte gemäß eines dritten Ausführungsbeispiels, in der der Strömungsverlauf und die Strahlbildung des Brennstoffs angedeutet sind, Figur 8 einen Schnitt entlang der Linie VIII-VIII in Figur 7, Figur 9 eine Draufsicht einer Lochplatte gemäß eines vierten Ausführungsbeispiels, Figur 10 einen Schnitt entlang der Linie X-X in Figur 9, Figur 11 einen Schnitt entlang der Linie XI-XI in Figur 9, Figur 12 einen Schnitt entlang der Linie XII-XII in Figur 9 und Figur 13 einen Schnitt entlang der Linie XIII-XIII in Figur 9.Embodiments of the invention are shown in simplified form in the drawing and explained in more detail in the following description. 1 shows a partially illustrated fuel injector with a perforated plate designed according to a first embodiment, FIG. 2 shows a plan view of the perforated plate according to the first embodiment in the direction of arrow X in FIG. 1, FIG. 3 shows a section along the line III-III in FIG. 2, FIG 4 shows a plan view of a perforated plate according to a second exemplary embodiment, FIG. 5 shows a section along the line VV and FIG. 6 shows a section along the line VI-VI in FIG. 4, the flow course of the fuel and the jet formation being indicated in FIGS. 4 to 6, 7 shows a plan view of a perforated plate according to a third exemplary embodiment, in which the flow pattern and the jet formation of the fuel are indicated, FIG. 8 shows a section along the line VIII-VIII in FIG. 7, FIG. 9 shows a plan view of a perforated plate according to a fourth exemplary embodiment, FIG. 10 a section along the line XX in Figure 9, Fi 11 shows a section along the line XI-XI in FIG. 9, FIG. 12 shows a section along the line XII-XII in FIG. 9, and FIG. 13 shows a section along the line XIII-XIII in FIG. 9.

Beschreibung der AusführungsbeispieleDescription of the embodiments

Die Figur 1 zeigt ein teilweise dargestelltes, beispielsweise für Einspritzanlagen von gemischverdichtenden fremdgezündeten Brennkraftmaschinen verwendbares Brennstoffeinspritzventil mit einer Lochplatte gemäß eines ersten Ausführungsbeispiels. Konzentrisch zu einer Ventillängsachse 1 weist ein Düsenkörper 3 des Brennstoffeinspritzventils eine abgestufte Durchgangsöffnung 7 auf. In der Durchgangsöffnung 7 ist ein Ventilschließkörper 9 angeordnet. Mit seinem stromabwärtigen Ende, das z.B. als stromabwärts sich konisch verjüngender Dichtbereich 11 ausgebildet ist, wirkt der Ventilschließkörper 9 mit einer sich beispielsweise in Strömungsrichtung konisch verjüngenden Ventilsitzfläche 13 der abgestuften Durchgangsöffnung 7 des Düsenkörpers 3 zusammen. Ein stromaufwärts der Ventilsitzfläche ausgebildeter Führungsabschnitt 15 der Durchgangsöffnung 7 dient zur Führung des Ventilschließkörpers 9 an dessen zumindest einem Führungsbereich 16.FIG. 1 shows a partially illustrated fuel injector with a perforated plate according to a first exemplary embodiment, which can be used, for example, for injection systems of mixed-compression spark-ignition internal combustion engines. Concentric to a longitudinal valve axis 1, a nozzle body 3 of the fuel injector has a stepped through opening 7. A valve closing body 9 is arranged in the through opening 7. With its downstream end, which, for example, tapers conically downstream Sealing area 11 is formed, the valve closing body 9 cooperates with a valve seat surface 13 of the stepped through opening 7 of the nozzle body 3, which tapers conically in the flow direction, for example. A guide section 15 of the through opening 7 formed upstream of the valve seat surface serves to guide the valve closing body 9 on its at least one guide region 16.

Die Axialbewegung des Ventilschließkörpers 9 und damit das Öffnen und Schließen des Ventils erfolgt beispielsweise in bekannter Weise mechanisch oder elektromagnetisch.The axial movement of the valve closing body 9 and thus the opening and closing of the valve takes place, for example, mechanically or electromagnetically in a known manner.

An die Ventilsitzfläche 13 schließen sich in stromabwärtiger Richtung ein z.B. zylinderförmiger Strömungsabschnitt 17, ein sich in Strömungsrichtung radial nach außen erweiternder Übergangsabschnitt 19 sowie ein Aufnahmeabschnitt 21 der Durchgangsöffnung 7 an, dessen Wandung parallel zu der Ventillängsachse 1 verläuft. In dem Aufnahmeabschnitt 21 ist eine Lochplatte 23 so angeordnet, daß die Lochplatte 23 durch die Wandung des Aufnahmeabschnittes 21 eng umgeben ist.The valve seat surface 13 is connected in the downstream direction, e.g. cylindrical flow section 17, a transition section 19 widening radially outward in the flow direction and a receiving section 21 of the through opening 7, the wall of which runs parallel to the longitudinal valve axis 1. In the receiving section 21, a perforated plate 23 is arranged so that the perforated plate 23 is closely surrounded by the wall of the receiving section 21.

Um die Lochplatte 23 vor Beschädigungen zu schützen, ist an dem stromabwärtigen Ende des Düsenkörpers 3 eine Schutzkappe 25 angeordnet, die mit einem Zylinderabschnitt 27 den Umfang des Düsenkörpers 3 im Bereich seines stromabwärtigen Endes umgibt und mit einem stromabwärts der Lochplatte 23 radial nach innen weisenden Radialabschnitt 29 an einer der Ventilsitzfläche 13 abgewandten unteren Stirnseite 31 der Lochplatte 23 anliegt. Die Schutzkappe 25 wird durch eine Rastverbindung 33 an dem Umfang des Düsenkörpers 3 gehalten. Es ist aber auch möglich, daß eine metallene Schutzkappe 25 mittels einer Laserschweißung an dem Umfang des Düsenkörpers 3 befestigt ist.In order to protect the perforated plate 23 from damage, a protective cap 25 is arranged at the downstream end of the nozzle body 3, which surrounds the circumference of the nozzle body 3 in the region of its downstream end with a cylinder section 27 and with a radial section pointing radially inward downstream of the perforated plate 23 29 bears against a lower end face 31 of the perforated plate 23 facing away from the valve seat surface 13. The protective cap 25 is held on the circumference of the nozzle body 3 by a snap connection 33. However, it is also possible for a metal protective cap 25 to be attached to the circumference of the nozzle body 3 by means of laser welding.

Mit ihrer der Ventilsitzfläche 13 zugewandten oberen Stirnseite 35 liegt die Lochplatte 23 an einem der Lochplatte zugewandten, in radialer Richtung ausgehend von dem Aufnahmeabschnitt 21 nach innen verlaufenden Halteabsatz 37 der abgestuften Durchgangsöffnung 7 des Düsenkörpers 3 an.With its upper end face 35 facing the valve seat surface 13, the perforated plate 23 bears against a holding shoulder 37 of the stepped through-opening 7 of the nozzle body 3 that faces the perforated plate and extends radially inward from the receiving section 21.

Die Lochplatte 23 ist aus monokristallinem Silizium ausgebildet. Die Figur 2 zeigt eine Draufsicht der Lochplatte 23 in Richtung des Pfeiles X in Figur 1 und die Figur 3 einen Schnitt entlang der Linie III-III in Figur 2. Ausgehend von der oberen Stirnseite 35 ist in der Lochplatte 23 beispielsweise durch anisotropes Ätzen zumindest eine längliche Ausnehmung 39 ausgebildet, die sich in Richtung zur unteren Stirnseite 31 hin in die Lochplatte 23 bis zu einem ebenen Boden 43 erstreckt. Die beispielsweise eine längliche Ausnehmung 39 überschneidet sich zum Teil mit einer Zerstäubungsöffnung 41, die sich bis zu der unteren Stirnseite 31 der Lochplatte 23 erstreckt, so daß die Ausnehmung 39 und die Zerstäubungsöffnung 41 zusammen einen die Lochplatte 23 durchdringenden Strömungskanal bilden. Die Zerstäubungsöffnung 41 ist beispielsweise ausgehend von der unteren Stirnseite 31 der Lochplatte 23 durch anisotropes Ätzen ausgebildet. Zur Reduzierung der Herstellkosten einer solchen Lochplatte 23 ist es möglich, die längliche Ausnehmung 39 und die Zerstäubungsöffnung 41 in einem gemeinsamen Arbeitsgang durch beidseitiges anisotropes Ätzen auszubilden. Dadurch ergeben sich für die längliche Ausnehmung 39 und für die Zerstäubungsöffnung 41 identische Ätztiefen und damit identische Erstreckungen in Richtung der Ventillängsachse 1.The perforated plate 23 is made of monocrystalline silicon. FIG. 2 shows a top view of the perforated plate 23 in the direction of the arrow X in FIG. 1 and FIG. 3 shows a section along the line III-III in FIG. 2. Starting from the upper end face 35 there is at least one in the perforated plate 23, for example by anisotropic etching elongated recess 39 formed, which extends in the direction of the lower end face 31 in the perforated plate 23 to a flat bottom 43. The elongated recess 39, for example, partially overlaps with an atomizing opening 41, which extends to the lower end face 31 of the perforated plate 23, so that the recess 39 and the atomizing opening 41 together form a flow channel penetrating the perforated plate 23. The atomization opening 41 is formed, for example, starting from the lower end face 31 of the perforated plate 23 by anisotropic etching. To reduce the manufacturing costs of such a perforated plate 23, it is possible to form the elongated recess 39 and the atomizing opening 41 in a common operation by anisotropic etching on both sides. This results in identical etching depths for the elongated recess 39 and for the atomization opening 41 and thus identical extensions in the direction of the longitudinal valve axis 1.

Die längliche Ausnehmung 39 weist an der oberen Stirnseite 35 einen rechteckförmigen Öffnungsquerschnitt auf, der sich der unteren Stirnseite 31 der Lochplatte 23 zugewandt bis zu dem Boden 43 der länglichen Ausnehmung 39 verjüngt. Die Wandung der länglichen Ausnehmung 39 wird durch jeweils zwei zu der Ventillängsachse 1 geneigt verlaufende Längsflächen 45 und Querflächen 47 gebildet. Die Längsflächen 45 bilden mit der oberen Stirnseite 35 der Lochplatte 23 je eine Längskante 49 und die Querflächen 47 je eine Querkante 51 aus, wobei die beiden Längskanten 49 parallel zueinander und die beiden Querkanten 51 parallel zueinander verlaufen. Die Längskanten 49 weisen bei dem ersten, in den Figuren 1 bis 3 dargestellten Ausführungsbeispiel eine größere Kantenlänge auf als die Querkanten 51 der länglichen Ausnehmung 39. Parallel zu den Längskanten 49 weist die längliche Ausnehmung 39 eine Längsachse 53 und senkrecht dazu eine parallel zu den Querkanten 51 verlaufende Querachse 55 auf, wobei sowohl die Längsachse 53 als auch die Querachse 55 wie Symmetrieachsen der länglichen Ausnehmung verlaufen und sich die Längsachse 53 und die Querachse 55 beispielsweise in einem Punkt der Ventillängsachse 1 schneiden. Vom Boden 43 der länglichen Ausnehmung 39 ausgehend erstreckt sich die beispielsweise rechteckförmige Zerstäubungsöffnung 41 z.B. konzentrisch zu der länglichen Ausnehmung 39 in Richtung zur unteren Stirnseite 31 der Lochplatte 23. Dabei erweitert sich der Querschnitt der Zerstäubungsöffnung 41 in Strömungsrichtung.The elongated recess 39 has a rectangular opening cross section on the upper end 35, which tapers towards the lower end 31 of the perforated plate 23 and tapers to the bottom 43 of the elongated recess 39. The wall of the elongated recess 39 is formed in each case by two longitudinal surfaces 45 and transverse surfaces 47 which are inclined to the longitudinal axis 1 of the valve. The longitudinal surfaces 45 each form a longitudinal edge 49 and the transverse surfaces 47 each form a transverse edge 51 with the upper end face 35 of the perforated plate 23, the two longitudinal edges 49 running parallel to one another and the two transverse edges 51 running parallel to one another. The longitudinal edges 49 in the first exemplary embodiment shown in FIGS. 1 to 3 have a greater edge length than the transverse edges 51 of the elongated recess 39. In parallel to the longitudinal edges 49, the elongated recess 39 has a longitudinal axis 53 and perpendicular to it a parallel to the transverse edges 51 extending transverse axis 55, both the longitudinal axis 53 and the transverse axis 55 running like axes of symmetry of the elongated recess and the longitudinal axis 53 and the transverse axis 55 intersect, for example, at a point on the valve longitudinal axis 1. Starting from the bottom 43 of the elongated recess 39, the, for example, rectangular atomizing opening 41 extends, for example, concentrically to the elongated recess 39 in the direction of the lower end face 31 of the perforated plate 23. The cross section of the atomizing opening 41 widens in the direction of flow.

Die Zerstäubungsöffnung 41 weist zwei einander gegenüberliegende Längsflächen 58 auf, die mit der unteren Stirnseite 31 der Lochplatte 23 jeweils eine Längskante 57 bilden. Die Längskanten 57 der Zerstäubungsöffnung 41 verlaufen parallel zu der Längsachse 53 der länglichen Ausnehmung 39 und weisen eine wesentlich kürzere Kantenlänge auf als die Längskanten 49 der länglichen Ausnehmung 39, wobei das Verhältnis der Kantenlängen der Längskanten 49 der länglichen Ausnehmung 39 zu den Längskanten 57 der Zerstäubungsöffnung 41 etwa 1,5 : 1 bis 10 : 1 beträgt. Senkrecht zu den Längskanten 57 verläuft jeweils eine mit der unteren Stirnseite 31 gebildete Querkante 60 einer Querfläche 61 der Zerstäubungsöffnung 41. Die Querkanten 60 haben auch aus Fertigungsgründen eine etwas, beispielsweise um 5 bis 30 µm größere Kantenlänge als die Querkanten 51 der länglichen Ausnehmung 39. Die Querkanten 60 der Zerstäubungsöffnung 41 können eine bis zu zweimal größere Kantenlänge aufweisen als die Querkanten 51. Hierdurch wird die Erstreckung der Längsflächen 45 der länglichen Ausnehmung 39 in Richtung der Ventillängsachse 1 beim teilweisen Überschneiden der länglichen Ausnehmung 39 und der Zerstäubungsöffnung 41 im Bereich der Längsflächen 58 der Zerstäubungsöffnung 41 verringert und so die Ablenkung des Brennstoffstrahls beim Austritt aus der Zerstäubungsöffnung 41 in Richtung der Querachse 55 verkleinert.The atomization opening 41 has two opposing longitudinal surfaces 58 which each form a longitudinal edge 57 with the lower end face 31 of the perforated plate 23. The longitudinal edges 57 of the atomization opening 41 run parallel to the longitudinal axis 53 of the elongate recess 39 and have a substantially shorter edge length than the longitudinal edges 49 of the elongate recess 39, the ratio of the edge lengths of the longitudinal edges 49 of the elongate recess 39 to the longitudinal edges 57 of the atomization opening 41 is approximately 1.5: 1 to 10: 1. A transverse edge 60 of a transverse surface 61 of the atomizing opening 41 formed with the lower end face 31 runs perpendicular to the longitudinal edges 57. The transverse edges 60 also have a slightly longer edge length, for example, by 5 to 30 μm than the transverse edges 51 of the elongated recess 39. The transverse edges 60 of the atomization opening 41 can have an edge length that is up to twice as long as the transverse edges 51. As a result, the extent of the longitudinal surfaces 45 of the elongated recess 39 in the direction of the longitudinal valve axis 1 is reduced when the elongated recess 39 and the atomizing opening 41 partially overlap in the region of the longitudinal surfaces 58 of the atomizing opening 41 and so the deflection of the fuel jet upon exit from the atomization opening 41 in the direction of the transverse axis 55 is reduced.

Die Figuren 4 bis 6 zeigen ein zweites erfindungsgemäßes Ausführungsbeispiel, bei dem gleiche und gleichwirkende Teile mit den gleichen Bezugszeichen gekennzeichnet sind wie in den Figuren 1 bis 3. Die Lochplatte 23 weist zwei mit Abstand nebeneinanderliegende längliche Ausnehmungen 39 auf, die sich jeweils teilweise mit einer Zerstäubungsöffnung 41 überschneiden. Die beiden länglichen Ausnehmungen 39 sind dabei so angeordnet, daß ihre beiden Längsachsen 53 parallel zueinander auf einer gemeinsamen Linie verlaufen. Die länglichen Ausnehmungen 39 und die Zerstäubungsöffnungen 41 sind dabei genauso ausgebildet wie bei dem in den Figuren 1 bis 3 dargestellten ersten Ausführungsbeispiel. In den Figuren 4 bis 6 ist der Strömungsverlauf des Brennstoffs durch Pfeile 56 angedeutet, um die Funktionsweise der erfindungsgemäßen Lochplatte zu verdeutlichen. Die Geometrie der länglichen Ausnehmung 39 und der Zerstäubungsöffnung 41 bewirkt, wie in den Figuren 4 bis 6 dargestellt, eine Umlenkung der Strömung 56 des Brennstoffs. Im Bereich der länglichen Ausnehmung 39 wird die Strömung 56 in Richtung des Bodens 43 umgelenkt, so daß zwei Strömungshälften des Brennstoffs, die in Richtung der Längsachse 53 aufeinander zuströmen, über der Zerstäubungsöffnung 41 aufeinander prallen. Durch den Übergang der länglichen Ausnehmung 39 in die einen engen Querschnitt aufweisende Zerstäubungsöffnung 41 und den Aufprall der Strömungshälften aufeinander wird die Brennstoffströmung 56 beim Austritt aus der Zerstäubungsöffnung 41 in Richtung der Querachse 55 flachstrahlförmig aufgeweitet und zerstäubt, wie es die gestrichelte Linie 59 andeutet. Dieser durch die gestrichelte Linie 59 angedeutete, flachstrahlförmig abgegebene Brennstoffstrom hat den Vorteil einer besonders feinen Zerstäubung.FIGS. 4 to 6 show a second exemplary embodiment according to the invention, in which the same and equivalent parts are identified with the same reference numerals as in FIGS. 1 to 3. The perforated plate 23 has two elongated recesses 39 which are spaced apart from one another, each of which is partially with a Overlap atomization opening 41. The two elongate recesses 39 are arranged so that their two longitudinal axes 53 run parallel to one another on a common line. The elongated recesses 39 and the atomizing openings 41 are designed in exactly the same way as in the first exemplary embodiment illustrated in FIGS. 1 to 3. In FIGS. 4 to 6, the flow pattern of the fuel is indicated by arrows 56 in order to clarify the functioning of the perforated plate according to the invention. The geometry of the elongated recess 39 and the atomization opening 41, as shown in FIGS. 4 to 6, causes a deflection of the flow 56 of the fuel. In the area of the elongated recess 39, the flow 56 is deflected in the direction of the base 43, so that two flow halves of the fuel, which flow towards one another in the direction of the longitudinal axis 53, collide with one another via the atomization opening 41. As a result of the transition of the elongate recess 39 into the atomizing opening 41 having a narrow cross section and the impact of the flow halves on one another, the fuel flow 56 is expanded and atomized in the form of a flat jet in the direction of the transverse axis 55 as it exits the atomizing opening 41 as indicated by dashed line 59. This fuel stream, which is indicated by the dashed line 59 and is emitted in a flat jet, has the advantage of particularly fine atomization.

Durch die Veränderung der Geometrie der Ausnehmungen 39 und der Zerstäubungsöffnungen 41, also z.B. durch eine Variation der Ätztiefen und der Querschnittsgrößen der länglichen Ausnehmungen 39 und der Zerstäubungsöffnungen 41 läßt sich die Form des durch die gestrichelte Linie 59 gekennzeichneten Flachstrahls und die Größe des Zerstäubungswinkels beeinflussen.By changing the geometry of the recesses 39 and the atomizing openings 41, e.g. by varying the etching depths and the cross-sectional sizes of the elongated recesses 39 and the atomizing openings 41, the shape of the flat jet identified by the broken line 59 and the size of the atomizing angle can be influenced.

Wird z.B. die Erstreckung 63 des Bodens 43 der länglichen Ausnehmung 39 in Richtung der Längsachse 53 der Lochplatte 23 verändert, so verändert sich auch die Weite 65 des durch die gestrichelte Linie 59 gekennzeichneten Flachstrahls in Richtung der Querachse 55 der Lochplatte 23 und damit die Größe des Zerstäubungswinkels.E.g. If the extent 63 of the bottom 43 of the elongated recess 39 changes in the direction of the longitudinal axis 53 of the perforated plate 23, the width 65 of the flat jet identified by the broken line 59 also changes in the direction of the transverse axis 55 of the perforated plate 23 and thus the size of the atomization angle.

Die in den Figuren 4 bis 6 dargestellte Lochplatte gemäß des zweiten Ausführungsbeispiels eignet sich besonders für die Verwendung in Brennstoffeinspritzventilen für Brennkraftmaschinen mit zwei Einlaßventilen je Zylinder, wobei jeder Flachstrahl entsprechend der gestrichelten Linie 59 jeweils einem Einlaßventil zugeordnet ist.The perforated plate shown in FIGS. 4 to 6 according to the second exemplary embodiment is particularly suitable for use in fuel injection valves for internal combustion engines with two intake valves per cylinder, each flat jet corresponding to an intake valve in accordance with the broken line 59.

Es ist aber auch möglich, in der Lochplatte 23 drei oder mehr längliche Ausnehmungen 39 und Zerstäubungsöffnungen 41 vorzusehen.However, it is also possible to provide three or more elongate recesses 39 and atomizing openings 41 in the perforated plate 23.

Die in den Figuren 7 und 8, die einen Schnitt entlang der Linie VIII-VIII in Figur 7 zeigt, dargestellte Lochplatte 23 gemäß des dritten Ausführungsbeispiels weist ebenso wie die Lochplatte gemäß des zweiten Ausführungsbeispiels zwei nebeneinanderliegende rechteckförmige längliche Ausnehmungen 39 auf, die sich jeweils teilweise mit einer rechteckigen Zerstäubungsöffnung 41 überscheiden. Gleiche und gleichwirkende Teile sind durch die gleichen Bezugszeichen gekennzeichnet wie in den Figuren 1 bis 6. Im Gegensatz zu dem ersten und dem zweiten Ausführungsbeispiel sind bei dem dritten Ausführungsbeispiel die längliche Ausnehmung 39 und die Zerstäubungsöffnung 41 nicht konzentrisch zueinander ausgeformt. Die Zerstäubungsöffnung 41 der linken länglichen Ausnehmung 39 ist nach links verschoben und die Zerstäubungsöffnung 41 der rechten länglichen Ausnehmung 39 nach rechts. Hierdurch wird erreicht, daß die beiden aus den asymmetrisch zu den länglichen Ausnehmungen 39 liegenden zwei Zerstäubungsöffnungen 41 abgegebenen Flachstrahlen, wie in der Figur 7 durch die gestrichelten Linien 59 angedeutet, ebenfalls in voneinander abgewandter Richtung asymmetrisch zur jeweiligen Querachse 55 versetzt sind. Wie durch die gestrichelte Linie 59 angedeutet, erfolgt die Ablenkung des Flachstrahles von der Querachse 55 weg zu der Seite der länglichen Ausnehmung 39 hin, zu der hin die Zerstäubungsöffnung 41 entlang der Längsachse 53 verschoben ist. Diese Ausführungsform mit den beiden divergierenden Flachstrahlen hat sich als vorteilhaft erwiesen, da so ein Vermischen der beiden Flachstrahlen des Brennstoffs und damit eine gegenseitige Beeinflussung wirkungsvoll vermieden wird.The perforated plate 23 according to the third exemplary embodiment, shown in FIGS. 7 and 8, which shows a section along the line VIII-VIII in FIG. 7, as well as the perforated plate according to the second exemplary embodiment, has two rectangular elongate recesses 39 lying next to one another, each of which is partially divided with a rectangular atomizing opening 41. The same and equivalent parts are identified by the same reference numerals as in FIGS. 1 to 6. In contrast to the first and the second exemplary embodiment, in the third exemplary embodiment the elongated recess 39 and the atomizing opening 41 are not formed concentrically with one another. The atomization opening 41 of the left elongate recess 39 is shifted to the left and the atomization opening 41 of the right elongate recess 39 to the right. This ensures that the two flat jets emitted from the two atomizing openings 41 which are asymmetrical with respect to the elongated recesses 39, as indicated by the dashed lines 59 in FIG. 7, are also offset asymmetrically to the respective transverse axis 55 in the direction facing away from one another. As indicated by the dashed line 59, the flat jet is deflected away from the transverse axis 55 towards the side of the elongated recess 39, towards which the atomizing opening 41 is displaced along the longitudinal axis 53. This embodiment with the two diverging flat jets has proven to be advantageous since mixing of the two flat jets of fuel and thus mutual influencing is effectively avoided.

Ein viertes erfindungsgemäßes Ausführungsbeispiel eines Lochplättchens ist in den Figuren 9 bis 13 dargestellt. Gleiche und gleichwirkende Teile sind durch die gleichen Bezugszeichen gekennzeichnet wie in den Figuren 1 bis 8. In der Figur 9 ist eine aus monokristallinem Silizium ausgebildete Lochplatte 23 mit beispielsweise zwei geometrisch identischen länglichen Ausnehmungen 39 dargestellt, die zueinander beabstandet sind und der unteren Stirnseite 31 der Lochplatte 23 zugewandt sich jeweils zum Teil mit einer rechteckförmigen Zerstäubungsöffnung 41 überschneiden, wobei auch die beiden Zerstäubungsöffnungen 41 geometrisch identische Abmessungen haben. Die Figur 10 zeigt einen Schnitt entlang der Linie X-X in Figur 9, die Figur 11 einen Schnitt entlang der Linie XI-XI in Figur 9, die Figur 12 einen Schnitt entlang der Linie XII-XII in Figur 9 und die Figur 13 einen Schnitt entlang der Linie XIII-XIII in Figur 9. Die beiden länglichen Ausnehmungen 39 weisen, wie aus der Draufsicht der Lochplatte 23 in Figur 9 zu erkennen, an der oberen Stirnseite 35 einen sechseckigen Öffnungsquerschnitt auf, der sich in Richtung des Bodens 43 der länglichen Ausnehmung 39 der unteren Stirnseite 31 der Lochplatte 23 zugewandt verjüngt.A fourth exemplary embodiment of a perforated plate according to the invention is shown in FIGS. 9 to 13. The same and equivalent parts are identified by the same reference numerals as in FIGS. 1 to 8. FIG. 9 shows a perforated plate 23 made of monocrystalline silicon with, for example, two geometrically identical elongate recesses 39, which are spaced apart and the lower end face 31 of FIG Perforated plate 23 facing each other partially overlap with a rectangular atomizing opening 41, the two atomizing openings 41 also having geometrically identical dimensions. Figure 10 shows a section along the line XX in Figure 9, Figure 11 shows a section along the line XI-XI in Figure 9, Figure 12 shows a section along the line XII-XII in Figure 9 and the figure 13 shows a section along the line XIII-XIII in FIG. 9. As can be seen from the top view of the perforated plate 23 in FIG. 9, the two elongate recesses 39 have a hexagonal opening cross section on the upper end face 35, which crosses in the direction of the bottom 43 tapers towards the elongated recess 39 of the lower end face 31 of the perforated plate 23.

Die Wandung der länglichen Ausnehmung 39 wird durch zwei senkrecht zu der oberen Stirnseite 35 der Lochplatte 23 verlaufende Längsflächen 45 und vier geneigt zu der Ventillängsachse 1 verlaufenden Querflächen 47 gebildet, wobei jeweils zwei Querflächen 47 aneinander grenzen. Die Längsflächen 45 bilden mit der oberen Stirnseite 35 der Lochplatte 23 je eine Längskante 49 und die Querflächen 47 je eine Querkante 51 aus. Die beiden Längskanten 49 und jeweils zwei gegenüberliegende Querkanten 51 verlaufen parallel zueinander. In dem dargestellten vierten Ausführungsbeispiel weisen die Längskanten 49 eine wesentlich größere Kantenlänge auf als die Querkanten 51. Die beiden Querkanten 51 der aneinander grenzenden Querflächen 47 bilden einen rechten Winkel zueinander und weisen die gleiche Länge auf. Mit ihren anderen Enden grenzen diese Querkanten 51 stumpfwinklig an die Längskanten 49 der länglichen Ausnehmung 39. Parallel zu den Längskanten 49 weisen die längliche Ausnehmungen 39 eine Längsachse 53 und senkrecht dazu eine Querachse 55 auf, die wie Symmetrieachsen der länglichen Ausnehmung 39 verlaufen. Die Längsachse 53 und die Querachse 55 schneiden sich in dem Mittelpunkt der länglichen Ausnehmung 39.The wall of the elongated recess 39 is formed by two longitudinal surfaces 45 extending perpendicular to the upper end face 35 of the perforated plate 23 and four transverse surfaces 47 inclined to the longitudinal axis 1 of the valve, two transverse surfaces 47 adjoining each other. The longitudinal surfaces 45 each form a longitudinal edge 49 with the upper end face 35 of the perforated plate 23 and the transverse surfaces 47 each form a transverse edge 51. The two longitudinal edges 49 and two opposite transverse edges 51 each run parallel to one another. In the fourth exemplary embodiment shown, the longitudinal edges 49 have a substantially greater edge length than the transverse edges 51. The two transverse edges 51 of the mutually adjoining transverse surfaces 47 form a right angle to one another and have the same length. With their other ends, these transverse edges 51 are at an obtuse angle to the longitudinal edges 49 of the elongated recess 39. Parallel to the longitudinal edges 49, the elongated recesses 39 have a longitudinal axis 53 and perpendicular to them a transverse axis 55 which run like axes of symmetry of the elongated recess 39. The longitudinal axis 53 and the transverse axis 55 intersect at the center of the elongated recess 39.

Vom Boden 43 der länglichen Ausnehmung 39 ausgehend erstreckt sich die viereckförmige, beispielsweise rechteckförmige oder quadratische Zerstäubungsöffnung 41 konzentrisch zu der länglichen Ausnehmung 39 in Richtung der unteren Stirnseite 31 der Lochplatte 23. Dabei erweitert sich der Querschnitt der Zerstäubungsöffnung 41 in Strömungsrichtung. Die längliche Ausnehmung 39 und die Zerstäubungsöffnung 41 sind dabei so zueinander angeordnet, daß die Längsachse 53 der länglichen Ausnehmung 39 parallel zu und beispielsweise deckungsgleich mit einer zwei gegenüberliegende Ecken der Zerstäubungsöffnung 41 miteinander verbindenden Diagonalen 67 der quadratischen Zerstäubungsöffnung 41 verläuft.Starting from the bottom 43 of the elongated recess 39, the quadrangular, for example rectangular or square, atomizing opening 41 extends concentrically to the elongated recess 39 in the direction of the lower end face 31 of the perforated plate 23. The cross section of the atomizing opening 41 widens in the direction of flow. The elongated recess 39 and the atomizing opening 41 are arranged so that the longitudinal axis 53 of the elongated recess 39 runs parallel to and, for example, congruently with a diagonal 67 of the square atomizing opening 41 connecting two opposite corners of the atomizing opening 41.

Durch das Zusammenwirken der länglichen Ausnehmung 39 mit der zum Boden 43 nur teilweise offenen quadratischen Zerstäubungsöffnung 41 ergibt sich ein sechseckförmiger Öffnungsquerschnitt der Lochplatte 23.The interaction of the elongated recess 39 with the square atomizing opening 41, which is only partially open to the bottom 43, results in a hexagonal opening cross section of the perforated plate 23.

Die Gestaltung der länglichen Ausnehmung 39 und der Zerstäubungsöffnung 41 bewirkt an den schrägen Querflächen 47 und dem Boden 43 eine Umlenkung der Brennstoffströmung. Im Bereich der länglichen Ausnehmung 39 prallen durch die Umlenkung am Boden 43 zwei in Richtung der Längsachse 53 aufeinander zuströmende Strömungshälften des Brennstoffs aufeinander. Durch den Übergang der länglichen Ausnehmung 39 im Bereich ihres Bodens 43 in die Zerstäubungsöffnung 41 und das Aufeinanderprallen der beiden Strömungshälften wird die Brennstoffströmung flachstrahlförmig aufgeweitet und so eine besonders feine Zerstäubung des Brennstoffs erzielt.The design of the elongated recess 39 and the atomization opening 41 causes a deflection of the fuel flow on the oblique transverse surfaces 47 and the bottom 43. In the region of the elongated recess 39, two deflection halves of the fuel flowing towards one another in the direction of the longitudinal axis 53 collide with one another due to the deflection at the bottom 43. Due to the transition of the elongated recess 39 in the region of its bottom 43 into the atomization opening 41 and the collision of the two flow halves, the fuel flow is expanded in a flat jet shape and thus a particularly fine atomization of the fuel is achieved.

Wie bei den ersten drei Ausführungsbeispielen läßt sich auch bei dem vierten Ausführungsbeispiel durch eine Veränderung der Geometrie der länglichen Ausnehmungen 39 und der Zerstäubungsöffnungen 41 sowie deren Lage zueinander die Form und die Richtung des Flachstrahls und die Größe des Zerstäubungswinkels des Brennstoffs beeinflussen.As in the first three exemplary embodiments, the shape and direction of the flat jet and the size of the atomizing angle of the fuel can also be influenced in the fourth exemplary embodiment by changing the geometry of the elongated recesses 39 and the atomizing openings 41 and their position relative to one another.

Die erfindungsgemäße Lochplatte 23 bzw. das Brennstoffeinspritzventil mit einer erfindungsgemäßen Lochplatte 23 ermöglicht eine sehr feine Zerstaubung des abgegebenen Brennstoffs. Durch die Ausbildung der länglichen Ausnehmung 39 und der Zerstäubungsöffnung 41 in der Silizium-Lochplatte durch Ätzen wird eine hohe Fertigungsgenauigkeit bei dennoch geringem Fertigungsaufwand erreicht.The perforated plate 23 according to the invention or the fuel injection valve with a perforated plate 23 according to the invention enables the dispensed fuel to be atomized very finely. Through the formation of the elongated recess 39 and the atomization opening 41 in the silicon perforated plate by etching, high manufacturing accuracy is achieved with little manufacturing effort.

Claims (17)

Lochplatte aus monokristallinem Silizium mit zumindest einer Zerstäubungsöffnung, dadurch gekennzeichnet, daß die Lochplatte (23) an einer oberen Stirnseite (35) zumindest eine durch Ätzen ausgebildete längliche Ausnehmung (39) hat, die sich zum Teil mit jeweils einer bis zu einer unteren Stirnseite (31) der Lochplatte (23) erstreckenden, durch Ätzen ausgeformten Zerstäubungsöffnung (41) überschneidet.Perforated plate made of monocrystalline silicon with at least one atomization opening, characterized in that the perforated plate (23) has at least one elongated recess (39) formed by etching on an upper end face (35), which is in part each with one to a lower end face ( 31) of the perforated plate (23) extending, shaped by etching atomizing opening (41) overlaps. Lochplatte nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die zumindest eine längliche Ausnehmung (39) ausgehend von der oberen Stirnseite (35) und die zumindest eine Zerstäubungsöffnung (41) ausgehend von der unteren Stirnseite (31) der Lochplatte (23) durch zweiseitiges anisotopes Ätzen ausgeformt sind.Perforated plate according to claim 1, characterized in that the at least one elongate recess (39) starting from the upper end face (35) and the at least one atomizing opening (41) starting from the lower end face (31) of the perforated plate (23) by anisotope etching on both sides are formed. Lochplatte nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die zumindest eine längliche Ausnehmung (39) zwei einander gegenüberliegende, sich in Richtung der Zerstäubungsöffnung (41) erstreckende Längsflächen (45) hat, deren mit der oberen Stirnseite (35) der Lochplatte (23) gebildeten Längskanten (49) parallel zueinander und zu einer Längsachse (53) der Ausnehmung (39) verlaufen, daß die zumindest eine Zerstäubungsöffnung (41) viereckförmig ausgebildet ist und daß die Längsachse (53) der länglichen Ausnehmung (39) parallel zu einer zwei gegenüberliegende Ecken der Zerstäubungsöffnung (41) miteinander verbindenden Diagonalen (67) der viereckförmigen Zerstäubungsöffnung (41) verläuft.Perforated plate according to claim 1, characterized in that the at least one elongated recess (39) has two opposing longitudinal surfaces (45) which extend in the direction of the atomizing opening (41), the longitudinal surfaces (45) of which are formed with the upper end face (35) of the perforated plate (23) Longitudinal edges (49) run parallel to one another and to a longitudinal axis (53) of the recess (39), that the at least one atomizing opening (41) is square and that the longitudinal axis (53) of the elongate recess (39) is parallel to one of two opposite corners of the atomizing opening (41) connecting diagonals (67) of the square atomizing opening (41). Lochplatte nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die beiden einander gegenüberliegenden Längsflächen (45) der länglichen Ausnehmung (39) parallel zueinander und senkrecht zu der oberen Stirnseite (35) der Lochplatte (23) verlaufen.Perforated plate according to claim 3, characterized in that the two opposing longitudinal surfaces (45) of the elongated recess (39) run parallel to one another and perpendicular to the upper end face (35) of the perforated plate (23). Lochplatte nach Anspruch 3 oder 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Längskanten (49) der Längsflächen (45) die größte Länge aller mit der oberen Stirnseite (35) der Lochplatte (23) gebildeten Kanten der länglichen Ausnehmung (39) aufweisen.Perforated plate according to claim 3 or 4, characterized in that the longitudinal edges (49) of the longitudinal surfaces (45) have the greatest length of all edges of the elongated recess (39) formed with the upper end face (35) of the perforated plate (23). Lochplatte nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß sich die zumindest eine längliche Ausnehmung (39) in Richtung zur Zerstäubungsöffnung (41) hin verjüngt.Perforated plate according to one of the preceding claims, characterized in that the at least one elongate recess (39) tapers in the direction of the atomizing opening (41). Lochplatte nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die zumindest eine Zerstäubungsöffnung (41) sich zur unteren Stirnseite (31) der Lochplatte (23) hin erweitert.Perforated plate according to one of the preceding claims, characterized in that the at least one atomizing opening (41) widens towards the lower end face (31) of the perforated plate (23). Lochplatte nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Lochplatte (23) zwei nebeneinander angeordnete längliche Ausnehmungen (39) mit einer Zerstäubungsöffnung (41) hat.Perforated plate according to one of the preceding claims, characterized in that the perforated plate (23) has two elongated recesses (39) arranged next to one another with an atomizing opening (41). Lochplatte nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die längliche Ausnehmung (39) und die Zerstäubungsöffnung (41) konzentrisch zueinander ausgebildet sind.Perforated plate according to one of the preceding claims, characterized in that the elongate recess (39) and the atomizing opening (41) are formed concentrically to one another. Lochplatte nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die längliche Ausnehmung (39) und die Zerstäubungsöffnung (41) asymmetrisch zueinander ausgebildet sind.Perforated plate according to one of the preceding claims, characterized in that the elongate recess (39) and the atomizing opening (41) are asymmetrical to one another. Brennstoffeinspritzventil für Brennstoffeinspritzanlagen von Brennkraftmaschinen mit einer Lochplatte, die stromabwärts einer Ventilsitzfläche eines Düsenkörpers des Brennstoffeinspritzventils angeordnet ist, zumindest eine Zerstäubungsöffnung aufweist und aus monokristallinem Silizium ausgebildet ist, dadurch gekennzeichnet, daß die Lochplatte (23) an einer der Ventilsitzfläche (13) zugewandten oberen Stirnseite (35) zumindest eine durch Ätzen ausgebildete längliche Ausnehmung (39) hat, die sich zum Teil mit jeweils einer sich bis zu einer unteren Stirnseite (31) der Lochplatte (23) erstreckenden, durch Ätzen ausgeformten Zerstäubungsöffnung (41) überschneidet.Fuel injection valve for fuel injection systems of internal combustion engines with a perforated plate, which is arranged downstream of a valve seat surface of a nozzle body of the fuel injector, has at least one atomization opening and is made of monocrystalline silicon, characterized in that the perforated plate (23) on an upper end face facing the valve seat surface (13) (35) has at least one elongated recess (39) formed by etching, which partially overlaps with an atomization opening (41) which extends to a lower end face (31) of the perforated plate (23) and is formed by etching. Ventil nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, daß die zumindest eine längliche Ausnehmung (39) der Lochplatte (23) zwei einander gegenüberliegende, sich in Richtung der Zerstäubungsöffnung (41) erstreckende Längsflächen (45) hat, deren mit der oberen Stirnseite (35) der Lochplatte (23) gebildeten Längskanten (49) parallel zueinander und zu einer Längsachse (53) der länglichen Ausnehmung (39) verlaufen, daß die Zerstäubungsöffnung (41) viereckförmig ausgebildet ist und daß die Längsachse (53) der länglichen Ausnehmung (39) parallel zu einer zwei gegenüberliegende Ecken der Zerstäubungsöffnung (41) miteinander verbindenden Diagonalen (67) der viereckförmigen Zerstäubungsöffnung (41) verläuft.Valve according to claim 11, characterized in that the at least one elongate recess (39) of the perforated plate (23) has two mutually opposite, longitudinal surfaces (45) extending in the direction of the atomizing opening (41), the upper surface (35) of which Perforated plate (23) formed longitudinal edges (49) parallel to each other and to a longitudinal axis (53) of the elongated recess (39), that the atomizing opening (41) is square and that the longitudinal axis (53) of the elongated recess (39) parallel to a diagonals (67) of the square atomization opening (41) connecting two opposite corners of the atomization opening (41) to one another. Ventil nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, daß die beiden einander gegenüberliegenden Längsflächen (45) der länglichen Ausnehmung (39) parallel zueinander und senkrecht zu der oberen Stirnseite (35) der Lochplatte (23) verlaufen.Valve according to claim 12, characterized in that the two opposing longitudinal surfaces (45) of the elongate recess (39) run parallel to one another and perpendicular to the upper end face (35) of the perforated plate (23). Ventil nach Anspruch 12 oder 13, dadurch gekennzeichnet, daß die Längskanten (49) der Längsflächen (45) die größte Länge aller mit der oberen Stirnseite (35) der Lochplatte (23) gebildeten Kanten der länglichen Ausnehmung (39) aufweisen.Valve according to claim 12 or 13, characterized in that the longitudinal edges (49) of the longitudinal surfaces (45) have the greatest length of all edges of the elongate recess (39) formed with the upper end face (35) of the perforated plate (23). Ventil nach einem der Ansprüche 11 bis 14, dadurch gekennzeichnet, daß die Lochplatte (23) zwei nebeneinander angeordnete längliche Ausnehmungen (39) mit einer Zerstäubungsöffnung (41) hat.Valve according to one of claims 11 to 14, characterized in that the perforated plate (23) has two elongated recesses (39) arranged next to one another with an atomizing opening (41). Ventil nach einem der Ansprüche 11 bis 15, dadurch gekennzeichnet, daß die längliche Ausnehmung (39) und die Zerstäubungsöffnung (41) der Lochplatte (23) konzentrisch zueinander ausgebildet sind.Valve according to one of claims 11 to 15, characterized in that the elongated recess (39) and the atomizing opening (41) of the perforated plate (23) are formed concentrically to one another. Ventil nach einem der Ansprüche 11 bis 15, dadurch gekennzeichnet, daß die längliche Ausnehmung (39) und die Zerstäubungsöffnung (41) der Lochplatte (23) asymmetrisch zueinander ausgebildet sind.Valve according to one of claims 11 to 15, characterized in that the elongate recess (39) and the atomizing opening (41) of the perforated plate (23) are formed asymmetrically to one another.
EP91119200A 1991-02-09 1991-11-12 Single crystal silicon nozzle plate Expired - Lifetime EP0498931B1 (en)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE4104019 1991-02-09
DE4104019A DE4104019C1 (en) 1991-02-09 1991-02-09

Publications (2)

Publication Number Publication Date
EP0498931A1 true EP0498931A1 (en) 1992-08-19
EP0498931B1 EP0498931B1 (en) 1995-09-20

Family

ID=6424758

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
EP91119200A Expired - Lifetime EP0498931B1 (en) 1991-02-09 1991-11-12 Single crystal silicon nozzle plate

Country Status (7)

Country Link
US (1) US5244154A (en)
EP (1) EP0498931B1 (en)
JP (1) JPH04303172A (en)
KR (1) KR100235126B1 (en)
BR (1) BR9200428A (en)
DE (2) DE4104019C1 (en)
ES (1) ES2077767T3 (en)

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0611886A1 (en) * 1993-02-17 1994-08-24 Nippondenso Co., Ltd. Fluid injection nozzle
WO1995009053A1 (en) * 1993-09-30 1995-04-06 Parker-Hannifin Corporation Spray nozzle and method of manufacturing same
EP1353062A2 (en) * 2002-03-15 2003-10-15 Siemens VDO Automotive Corporation Fuel injector having an orifice plate with offset coining angled orifices
US6945478B2 (en) 2002-03-15 2005-09-20 Siemens Vdo Automotive Corporation Fuel injector having an orifice plate with offset coining angled orifices
EP1978241A1 (en) * 2007-04-05 2008-10-08 Robert Bosch GmbH Atomiser device for producing a finely atomised fluid

Families Citing this family (61)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2583593Y2 (en) * 1993-01-14 1998-10-22 株式会社ゼクセル Fuel injection nozzle
US5353992A (en) * 1993-08-30 1994-10-11 Chrysler Corporation Multi-hole injector nozzle tip with low hydraulic plume penetration and large cloud-forming properties
DE4331851A1 (en) * 1993-09-20 1995-03-23 Bosch Gmbh Robert Perforated body and valve with a perforated body
JP3440534B2 (en) * 1994-03-03 2003-08-25 株式会社デンソー Fluid injection nozzle
US5570841A (en) * 1994-10-07 1996-11-05 Siemens Automotive Corporation Multiple disk swirl atomizer for fuel injector
US5622489A (en) * 1995-04-13 1997-04-22 Monro; Richard J. Fuel atomizer and apparatus and method for reducing NOx
US5623904A (en) * 1995-05-16 1997-04-29 Yamaha Hatsudoki Kabushiki Kaisha Air-assisted fuel injection system
DE19535047A1 (en) * 1995-09-21 1997-03-27 Bosch Gmbh Robert Fuel injector
JP3750126B2 (en) * 1996-03-26 2006-03-01 株式会社デンソー Fuel injection valve
JP3369418B2 (en) * 1996-11-25 2003-01-20 大日本スクリーン製造株式会社 Ultrasonic vibrator, ultrasonic cleaning nozzle, ultrasonic cleaning device, substrate cleaning device, substrate cleaning processing system, and ultrasonic cleaning nozzle manufacturing method
DE19700054C1 (en) * 1997-01-02 1998-04-30 Hartmann Kulba Bauchemie Gmbh Jet nozzle for equipment used to remove coatings on surfaces
JP3039510B2 (en) * 1998-03-26 2000-05-08 トヨタ自動車株式会社 Fuel injection valve for internal combustion engine
JP2002517700A (en) * 1998-06-04 2002-06-18 シーメンス アクチエンゲゼルシヤフト Fuel injection nozzle
JP2976973B1 (en) * 1998-09-29 1999-11-10 トヨタ自動車株式会社 Fuel injection valve for internal combustion engine
US6102299A (en) * 1998-12-18 2000-08-15 Siemens Automotive Corporation Fuel injector with impinging jet atomizer
AU5758000A (en) * 1999-06-22 2001-01-09 Daniel Preston Improved burners and process of making
US6742727B1 (en) * 2000-05-10 2004-06-01 Siemens Automotive Corporation Injection valve with single disc turbulence generation
US6360960B1 (en) * 2000-05-17 2002-03-26 Siemens Automotive Corporation Fuel injector sac volume reducer
JP3629698B2 (en) * 2000-10-03 2005-03-16 株式会社デンソー Fluid injection nozzle injection hole processing apparatus and fluid injection nozzle injection hole processing method
EP1392968B1 (en) 2001-06-06 2005-02-09 Siemens VDO Automotive Corporation Spray pattern control with non-angled orifices in fuel injection metering disc
US6817545B2 (en) 2002-01-09 2004-11-16 Visteon Global Technologies, Inc. Fuel injector nozzle assembly
US6845930B2 (en) 2002-06-28 2005-01-25 Siemens Vdo Automotive Corp. Spray pattern and spray distribution control with non-angled orifices in fuel injection metering disc and methods
US6966505B2 (en) * 2002-06-28 2005-11-22 Siemens Vdo Automotive Corporation Spray control with non-angled orifices in fuel injection metering disc and methods
US6820826B2 (en) * 2002-09-25 2004-11-23 Siemens Vdo Automotive Corp. Spray targeting to an arcuate sector with non-angled orifices in fuel injection metering disc and method
US6929197B2 (en) * 2002-09-25 2005-08-16 Siemens Vdo Automotive Corporation Generally circular spray pattern control with non-angled orifices in fuel injection metering disc and method
US6789754B2 (en) * 2002-09-25 2004-09-14 Siemens Vdo Automotive Corporation Spray pattern control with angular orientation in fuel injector and method
JP2006515402A (en) * 2003-01-09 2006-05-25 シーメンス　ヴィディーオー　オートモーティヴ　コーポレイション Control of the spray pattern by non-beveled orifices formed on a substantially flat fuel injection metering disk and then reoriented on a raised metering disk
DE102004005526B4 (en) * 2003-02-05 2022-03-31 Denso Corporation Fuel injector of an internal combustion engine
JP4154317B2 (en) * 2003-04-25 2008-09-24 トヨタ自動車株式会社 Fuel injection valve
JP2006526738A (en) * 2003-06-03 2006-11-24 シーメンス ヴィディーオー オートモティヴ コーポレイション Method for reducing hydrocarbon emissions in fuel injection systems
KR100468207B1 (en) * 2003-08-14 2005-01-26 곽쌍신 fuel injection apparatus
DE10360773A1 (en) * 2003-12-23 2005-07-28 Robert Bosch Gmbh Fuel injector
US7201329B2 (en) * 2004-04-30 2007-04-10 Siemens Vdo Automotive Corporation Fuel injector including a compound angle orifice disc for adjusting spray targeting
US7086615B2 (en) 2004-05-19 2006-08-08 Siemens Vdo Automotive Corporation Fuel injector including an orifice disc and a method of forming an oblique spiral fuel flow
JP4310402B2 (en) * 2004-06-16 2009-08-12 株式会社デンソー Fuel injection valve
US20060010886A1 (en) * 2004-07-14 2006-01-19 Clamage Eric D Liquid cryogen dosing system with nozzle for pressurizing and inerting containers
DE102004049280A1 (en) * 2004-10-09 2006-04-13 Robert Bosch Gmbh Fuel injector
US7124963B2 (en) * 2004-11-05 2006-10-24 Visteon Global Technologies, Inc. Low pressure fuel injector nozzle
US7198207B2 (en) * 2004-11-05 2007-04-03 Visteon Global Technologies, Inc. Low pressure fuel injector nozzle
US7168637B2 (en) * 2004-11-05 2007-01-30 Visteon Global Technologies, Inc. Low pressure fuel injector nozzle
US7185831B2 (en) * 2004-11-05 2007-03-06 Ford Motor Company Low pressure fuel injector nozzle
US7438241B2 (en) * 2004-11-05 2008-10-21 Visteon Global Technologies, Inc. Low pressure fuel injector nozzle
US7051957B1 (en) * 2004-11-05 2006-05-30 Visteon Global Technologies, Inc. Low pressure fuel injector nozzle
US7104475B2 (en) * 2004-11-05 2006-09-12 Visteon Global Technologies, Inc. Low pressure fuel injector nozzle
US7137577B2 (en) * 2004-11-05 2006-11-21 Visteon Global Technologies, Inc. Low pressure fuel injector nozzle
US20060157595A1 (en) * 2005-01-14 2006-07-20 Peterson William A Jr Fuel injector for high fuel flow rate applications
JP2006214292A (en) * 2005-02-01 2006-08-17 Hitachi Ltd Fuel injection valve
US20060192036A1 (en) * 2005-02-25 2006-08-31 Joseph J M Fuel injector including a multifaceted dimple for an orifice disc with a reduced footprint of the multifaceted dimple
US7793859B2 (en) * 2006-04-11 2010-09-14 Stone & Webster Process Technology, Inc. Fluidized catalytic cracking feed nozzle
WO2007149076A1 (en) * 2006-06-19 2007-12-27 Norgren, Inc. A fluid control device with a non-circular flow area
EP2067982B1 (en) * 2006-09-25 2013-01-16 Hitachi Ltd. Fuel injection valve
GB0801997D0 (en) * 2007-05-01 2008-03-12 Delphi Tech Inc Fuel injector
AU2008202678A1 (en) * 2007-08-01 2009-02-19 Aristocrat Technologies Australia Pty Ltd Gaming machine with two-stage feature determination
DE102008039947A1 (en) * 2008-08-27 2010-03-04 Bayer Materialscience Ag Method for dividing fluid streams
JP5730024B2 (en) * 2011-01-12 2015-06-03 三菱日立パワーシステムズ株式会社 Spray nozzle and combustion apparatus having spray nozzle
JP5949908B2 (en) * 2012-05-11 2016-07-13 トヨタ自動車株式会社 Fuel injection valve and fuel injection device provided with the same
JP6429461B2 (en) * 2013-05-13 2018-11-28 株式会社エンプラス Nozzle plate for fuel injector
JP6289143B2 (en) * 2013-07-23 2018-03-07 株式会社エンプラス Nozzle plate for fuel injector
JP6168914B2 (en) * 2013-08-22 2017-07-26 三菱日立パワーシステムズ株式会社 Spray nozzle and combustion device
EP2884090B1 (en) 2013-12-11 2018-02-21 Continental Automotive GmbH Nozzle body and fuel injection valve
JP6305119B2 (en) 2014-03-07 2018-04-04 株式会社エンプラス Nozzle plate for fuel injector

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2918737A1 (en) * 1978-05-10 1979-11-15 Hitachi Ltd NOZZLE HEAD DEVICE FOR A COLOR JET PRINTING DEVICE
US4357614A (en) * 1980-10-07 1982-11-02 Fuji Xerox Co., Ltd. Ink particle jetting device for multi-nozzle ink jet printer
EP0197723A2 (en) * 1985-04-03 1986-10-15 Xerox Corporation Thermal ink jet printhead and process therefor
US4828184A (en) * 1988-08-12 1989-05-09 Ford Motor Company Silicon micromachined compound nozzle
DE3801778A1 (en) * 1988-01-22 1989-07-27 Vdo Schindling Orifice plate for an electromagnetically actuated fuel injection valve and a method for its production
EP0328281A2 (en) * 1988-02-05 1989-08-16 Ford Motor Company Limited Directable aperture etched in silicon
DE3904446A1 (en) * 1989-02-15 1990-08-16 Bosch Gmbh Robert PERFORATED PLATE FOR A FUEL INJECTION VALVE

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3921916A (en) * 1974-12-31 1975-11-25 Ibm Nozzles formed in monocrystalline silicon
US4733823A (en) * 1984-10-15 1988-03-29 At&T Teletype Corporation Silicon nozzle structures and method of manufacture
US4647013A (en) * 1985-02-21 1987-03-03 Ford Motor Company Silicon valve
US4907748A (en) * 1988-08-12 1990-03-13 Ford Motor Company Fuel injector with silicon nozzle

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2918737A1 (en) * 1978-05-10 1979-11-15 Hitachi Ltd NOZZLE HEAD DEVICE FOR A COLOR JET PRINTING DEVICE
US4357614A (en) * 1980-10-07 1982-11-02 Fuji Xerox Co., Ltd. Ink particle jetting device for multi-nozzle ink jet printer
EP0197723A2 (en) * 1985-04-03 1986-10-15 Xerox Corporation Thermal ink jet printhead and process therefor
DE3801778A1 (en) * 1988-01-22 1989-07-27 Vdo Schindling Orifice plate for an electromagnetically actuated fuel injection valve and a method for its production
EP0328281A2 (en) * 1988-02-05 1989-08-16 Ford Motor Company Limited Directable aperture etched in silicon
US4828184A (en) * 1988-08-12 1989-05-09 Ford Motor Company Silicon micromachined compound nozzle
DE3904446A1 (en) * 1989-02-15 1990-08-16 Bosch Gmbh Robert PERFORATED PLATE FOR A FUEL INJECTION VALVE

Non-Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
IBM TECHNICAL DISCLOSURE BULLETIN Bd. 19, Nr. 6, November 1976, Seiten 2311 - 2312; E.BASSOUS AND R.KURTH: 'Fabricating long arrays of nozzles in large diameter wafers' *
IBM TECHNICAL DISCLOSURE BULLETIN Bd. 21, Nr. 6, November 1978, Seiten 2585 - 2586; T.S.KUAN ET AL.: 'Two-sided groove etching method to produce silicon ink jet nozzles' *
PATENT ABSTRACTS OF JAPAN vol. 6, no. 126 (M-142)10. Juli 1982 & JP-A-57 053 366 ( RICOH ) 30. März 1982 *
PATENT ABSTRACTS OF JAPAN vol. 6, no. 7 (C-087)16. Januar 1982 & JP-A-56 130 252 ( RICOH ) 13. Januar 1981 *

Cited By (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0611886A1 (en) * 1993-02-17 1994-08-24 Nippondenso Co., Ltd. Fluid injection nozzle
US5492277A (en) * 1993-02-17 1996-02-20 Nippondenso Co., Ltd. Fluid injection nozzle
WO1995009053A1 (en) * 1993-09-30 1995-04-06 Parker-Hannifin Corporation Spray nozzle and method of manufacturing same
US5740967A (en) * 1993-09-30 1998-04-21 Parker-Hannifin Corporation Spray nozzle and method of manufacturing same
US5951882A (en) * 1993-09-30 1999-09-14 Parker Intangibles Inc. Spray nozzle and method of manufacturing same
EP1369180A3 (en) * 1993-09-30 2004-03-10 Parker Hannifin Corporation Spray nozzle and method of manufacturing the same
EP1353062A2 (en) * 2002-03-15 2003-10-15 Siemens VDO Automotive Corporation Fuel injector having an orifice plate with offset coining angled orifices
EP1353062A3 (en) * 2002-03-15 2003-10-22 Siemens VDO Automotive Corporation Fuel injector having an orifice plate with offset coining angled orifices
US6945478B2 (en) 2002-03-15 2005-09-20 Siemens Vdo Automotive Corporation Fuel injector having an orifice plate with offset coining angled orifices
EP1978241A1 (en) * 2007-04-05 2008-10-08 Robert Bosch GmbH Atomiser device for producing a finely atomised fluid

Also Published As

Publication number Publication date
DE59106545D1 (en) 1995-10-26
KR100235126B1 (en) 1999-12-15
EP0498931B1 (en) 1995-09-20
ES2077767T3 (en) 1995-12-01
DE4104019C1 (en) 1992-04-23
US5244154A (en) 1993-09-14
JPH04303172A (en) 1992-10-27
KR920016149A (en) 1992-09-24
BR9200428A (en) 1992-10-13

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP0498931B1 (en) Single crystal silicon nozzle plate
EP2745003B1 (en) Valve for a flowing fluid
EP0476298B1 (en) Fuel injector to supply an internal combustion engine with a fuel/gas mixture
DE60106668T2 (en) Fuel injection valve for generating turbulence by a single plate
DE10300313B4 (en) injector assembly
DE4331851A1 (en) Perforated body and valve with a perforated body
DE60202951T2 (en) SHAPING THE INJECTION JET WITH NON-SKEWING OPENINGS IN THE INJECTION NOZZLE
DE19739850A1 (en) Electromagnetically actuated valve
WO2002029242A2 (en) Fuel injection valve
WO1998011341A1 (en) Valve, in particular fuel injection valve
DE19623713B4 (en) Injection valve, in particular for the direct injection of fuel into a combustion chamber of an internal combustion engine
DE19958126B4 (en) fuel Injector
EP2521853A1 (en) Fuel injection valve
EP1407137B1 (en) Fuel injection valve for internal combustion engines
DE4131499C1 (en) IC engine fuel injection valve - has ring gap between downstream continuation of sealing and seating surfaces of nozzle
DE10123859B4 (en) Fuel injector
DE4333519A1 (en) Perforated body
WO2000014400A1 (en) Fuel injector for internal combustion engines
WO2002084112A1 (en) Fuel injection valve
WO1992003651A1 (en) Fuel-injection valve
WO2002031350A2 (en) Fuel injection valve
DE102019207697A1 (en) Injection module for a reducing agent
WO2018153741A1 (en) Nozzle body for a fuel injector, and fuel injector
WO2012084836A1 (en) Nozzle assembly for an injection valve and injection valve
DE102018221833A1 (en) Valve for metering a fluid, in particular a fuel injection valve

Legal Events

Date Code Title Description
PUAI Public reference made under article 153(3) epc to a published international application that has entered the european phase

Free format text: ORIGINAL CODE: 0009012

AK Designated contracting states

Kind code of ref document: A1

Designated state(s): DE ES FR GB IT

17P Request for examination filed

Effective date: 19930415

17Q First examination report despatched

Effective date: 19930625

GRAA (expected) grant

Free format text: ORIGINAL CODE: 0009210

AK Designated contracting states

Kind code of ref document: B1

Designated state(s): DE ES FR GB IT

ET Fr: translation filed
REF Corresponds to:

Ref document number: 59106545

Country of ref document: DE

Date of ref document: 19951026

REG Reference to a national code

Ref country code: ES

Ref legal event code: FG2A

Ref document number: 2077767

Country of ref document: ES

Kind code of ref document: T3

ITF It: translation for a ep patent filed

Owner name: STUDIO JAUMANN

GBT Gb: translation of ep patent filed (gb section 77(6)(a)/1977)

Effective date: 19951127

PLBE No opposition filed within time limit

Free format text: ORIGINAL CODE: 0009261

STAA Information on the status of an ep patent application or granted ep patent

Free format text: STATUS: NO OPPOSITION FILED WITHIN TIME LIMIT

26N No opposition filed
PGFP Annual fee paid to national office [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: DE

Payment date: 20011227

Year of fee payment: 11

REG Reference to a national code

Ref country code: GB

Ref legal event code: IF02

PGFP Annual fee paid to national office [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: GB

Payment date: 20021023

Year of fee payment: 12

PGFP Annual fee paid to national office [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: FR

Payment date: 20021123

Year of fee payment: 12

PGFP Annual fee paid to national office [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: ES

Payment date: 20021127

Year of fee payment: 12

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: DE

Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES

Effective date: 20030603

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: GB

Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES

Effective date: 20031112

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: ES

Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES

Effective date: 20031113

GBPC Gb: european patent ceased through non-payment of renewal fee

Effective date: 20031112

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: FR

Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES

Effective date: 20040730

REG Reference to a national code

Ref country code: FR

Ref legal event code: ST

REG Reference to a national code

Ref country code: ES

Ref legal event code: FD2A

Effective date: 20031113

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: IT

Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES;WARNING: LAPSES OF ITALIAN PATENTS WITH EFFECTIVE DATE BEFORE 2007 MAY HAVE OCCURRED AT ANY TIME BEFORE 2007. THE CORRECT EFFECTIVE DATE MAY BE DIFFERENT FROM THE ONE RECORDED.

Effective date: 20051112