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Patentes

  1. Búsqueda avanzada de patentes
Número de publicaciónUSD363464 S
Tipo de publicaciónConcesión
Número de solicitudUS 29/005,246
Fecha de publicación24 Oct 1995
Fecha de presentación26 Feb 1993
Fecha de prioridad27 Ago 1992
Número de publicación005246, 29005246, US D363464 S, US D363464S, US-S-D363464, USD363464 S, USD363464S
InventoresKazuo Fukasawa
Cesionario originalTokyo Electron Yamanashi Limited
Exportar citaBiBTeX, EndNote, RefMan
Enlaces externos: USPTO, Cesión de USPTO, Espacenet
Electrode for a semiconductor processing apparatus
US D363464 S
Resumen  disponible en
Imágenes(2)
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Reclamaciones(1)
  1. The ornamental design for an electrode for a semiconductor processing apparatus, as shown and described.
Descripción

FIG. 1 is a front elevational view of an electrode for a semiconductor processing apparatus showing my new design;

FIG. 2 is a right side elevational view thereof; a left side elevational view being a mirror image thereof;

FIG. 3 is a top plan view thereof; a bottom plan view being a mirror image thereof;

FIG. 4 is a rear elevational view thereof;

FIG. 5 is an enlarged cross-sectional view taken along line 5--5 of FIG. 1; and,

FIG. 6 is an enlarged cross-sectional view taken along line 6--6 of FIG. 1.

Citada por
Patente citante Fecha de presentación Fecha de publicación Solicitante Título
US81619067 Jul 200824 Abr 2012Lam Research CorporationClamped showerhead electrode assembly
US82065067 Jul 200826 Jun 2012Lam Research CorporationShowerhead electrode
US82215827 Jul 200817 Jul 2012Lam Research CorporationClamped monolithic showerhead electrode
US827234610 Abr 200925 Sep 2012Lam Research CorporationGasket with positioning feature for clamped monolithic showerhead electrode
US831380516 Mar 201220 Nov 2012Lam Research CorporationClamped showerhead electrode assembly
US84029187 Abr 200926 Mar 2013Lam Research CorporationShowerhead electrode with centering feature
US841471919 Jun 20129 Abr 2013Lam Research CorporationClamped monolithic showerhead electrode
US841995917 Sep 201016 Abr 2013Lam Research CorporationClamped monolithic showerhead electrode
US84701276 Ene 201125 Jun 2013Lam Research CorporationCam-locked showerhead electrode and assembly
US853607121 Ago 201217 Sep 2013Lam Research CorporationGasket with positioning feature for clamped monolithic showerhead electrode
US85731523 Sep 20105 Nov 2013Lam Research CorporationShowerhead electrode
US879615311 Mar 20135 Ago 2014Lam Research CorporationClamped monolithic showerhead electrode
Clasificaciones
Clasificación de EE.UU.D13/182