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Patentes

  1. Búsqueda avanzada de patentes
Número de publicaciónUSD441348 S1
Tipo de publicaciónConcesión
Número de solicitudUS 29/114,741
Fecha de publicación1 May 2001
Fecha de presentación30 Nov 1999
Fecha de prioridad30 Nov 1999
Número de publicación114741, 29114741, US D441348 S1, US D441348S1, US-S1-D441348, USD441348 S1, USD441348S1
InventoresCraig B. Todd, James E. Yu
Cesionario originalApplied Materials, Inc.
Exportar citaBiBTeX, EndNote, RefMan
Enlaces externos: USPTO, Cesión de USPTO, Espacenet
Process chamber lid
US D441348 S1
Imágenes(6)
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Reclamaciones(1)
  1. The ornamental design for a process chamber lid, as shown and described.
Descripción

FIG. 1 is a top perspective view of a process chamber lid showing our new design;

FIG. 2 is a top plan view thereof;

FIG. 3 is a side elevational view thereof;

FIG. 4 is an opposite side elevational view thereof;

FIG. 5 is an enlarged end elevational view thereof;

FIG. 6 is an enlarged opposite end elevational view thereof; and,

FIG. 7 is a bottom plan view thereof.

Citada por
Patente citante Fecha de presentación Fecha de publicación Solicitante Título
US81619067 Jul 200824 Abr 2012Lam Research CorporationClamped showerhead electrode assembly
US82065067 Jul 200826 Jun 2012Lam Research CorporationShowerhead electrode
US82215827 Jul 200817 Jul 2012Lam Research CorporationClamped monolithic showerhead electrode
US827234610 Abr 200925 Sep 2012Lam Research CorporationGasket with positioning feature for clamped monolithic showerhead electrode
US831380516 Mar 201220 Nov 2012Lam Research CorporationClamped showerhead electrode assembly
US84029187 Abr 200926 Mar 2013Lam Research CorporationShowerhead electrode with centering feature
US841471919 Jun 20129 Abr 2013Lam Research CorporationClamped monolithic showerhead electrode
US841995917 Sep 201016 Abr 2013Lam Research CorporationClamped monolithic showerhead electrode
US853607121 Ago 201217 Sep 2013Lam Research CorporationGasket with positioning feature for clamped monolithic showerhead electrode
US85731523 Sep 20105 Nov 2013Lam Research CorporationShowerhead electrode
Clasificaciones
Clasificación de EE.UU.D13/184, D13/199