WO1993016489A1 - Procede pour mesurer la temperature d'une jonction de semi-conducteurs - Google Patents

Description

明 細 書

接 合部温度の 測定方法

技 術分野

本髡 明 は 、 半導体装置 の 接合部温度の 測定方法 に 関 し 、 よ り 詳細 に は シ ョ ッ ト キ ダ イ ォ ー ド の 電流電圧特性か ら 接合部温度 を 測 定す る 方法 に 関 す る 。 背 景技 術

接合部温度 と は 、 半導体装 置 に 各種設 け ら れ る 接 合部 (例え ば P N 接 合 な ど） の 温度を い い 、 環境温度 と 、 接 合部の ジ ュ ー ル 発熱 に よ る 温度上昇 と の 和 と し て 与え ら れ る 。 接合部温 度 は半導体装置 の定格 の一つ で あ り 、 接 合部温度が定格 を 越え る と 、 リ ー ク 電流 の増大、 長期信 頼性の 低下、 あ る い は ブ レ ー ク ダ ウ ン が生ず る 。 こ の た め接合部温度 の 測定は 、 I c を設計す る 際や 、 あ る い は 実際 に I C を 使 っ て シ ス テ ム を構築す る 際 に 、 必須で あ る

こ れ ら 半導体装置 の接合部温度を 測定す る 方法 と し て、 ダ イ ォ ー ド法 力く知 ら れて い る 。 例え ば L E D ド ラ イ バ 1 C の故 障解 折 を 進 め る 際 に 必要な接合部温度 の 測定で は 、 I C の パ タ ー ン 内 の 各所 に 温度 モ ニ タ 用 の シ ョ ッ ト キ一 ダ ィ ォ ー ド が設 け ら れ る 。 こ れ は ダ イ ォ ー ド の 順方向電 圧が接合 部温度 の 変 化 に 対 し て非常 に 敏感で あ り 、 かつ 再現性良 く 規 則 的 に 変 化す る た め で あ る 。 こ の 特 徴 を 生

新たな用紙 か し て 、 一部 の ダ イ オ ー ド は 温度セ ン サ に も 使用 さ れ て

い る 。 下記 の 数式 1 は 、 シ ョ ッ ト キ ダ イ オ ー ド の 順方向 の 電 流電圧 特性 を表 す式で あ る 。 }

I p = SAT " exp卜 exp I

k T nkT

な お 、 上記 の 数式 1 に お い て 、 I _P 順方 向電流 、 s

は 接 合 部面積、 A は 有効 リ チ ャ ー ド ソ ン 定数、 T は 絶対 温度、 q は 電子 の電荷、 Φ B は シ ョ ッ ト キ バ リ ア 高 さ

k は ボ ノレ ッ マ ン 定数、 V p は 順方向電圧 、 n は 理想 因子 ¾r 衣 す o

式

こ の 数式 1 を 変形す る と

一 . ί

nkj IF

VF •In 式 2

SAT²

と な る 。 こ の 数式 2 に お い て 、 k 、 q 、 A は 定数で あ り

Φ B > S 、 n は 個 々 の ダ イ オ ー ド に 特有の 定数 で あ る 。 厳密 に は Φ s 、 π に は温度依存性が あ る が 、 通 常我 々 が 必要 と す る 室温 か ら 〗 5 0 °C付近 で は 、 ほ ほ'定数 と み な せ る 。 つ ま り 数式 2 に お い て 、 絶対温度 T 以 外 は ほ ぼ定 新た な用鉞 数 と み な す こ と がで き る の で 、 順方向電圧 V p か ら 絶対 温度 （接 合部温 度） τ を 知 る こ と がで き る 。 一般 に 、 G a A s 等の 化 合物半導体装置 で は 、 金属電 極 と 半導体 の 接触部 に 生ず る ポ テ ン シ ャ ルバ リ ア を 利用 し た シ ョ ッ ト キ バ リ ア ダ イ オ ー ドが広 く H い ら れ て い る 。 し 力、 し こ の シ ョ ッ ト キ バ リ ア ダ イ オ ー ド の 特性 は 、 金 属 電極 と 半導体の 界面の 状態 に 大 き く 依存 し 、 し か も 化 合 物半導体基板の 均一性が シ リ コ ン ほ ど良好 と は 言 え な い た め 、 ば ら つ き 力く大 き い。 こ の 界面 の 状態 は 、 数式 2 で は理想因子 n に 反映 さ れ る 。 数式 2 に お い て n は す べ て の 項 に 係 っ て お り 、 こ の n の ば ら つ き は そ の ま ま 順方 向電圧 V に 反映 さ れ る 。 こ れ を わ か り や す く す る た め に 数式 2 を 絶対温度 T で微 分す る と 、

(SA係数） T. C. = - - nk /, 、 ，

と な る 。 数式 3 で の理想因子 π の 変化 は そ の ま ま 順方向 電圧 V _F の 温度係数 丁 . C . に 反映 さ れ る 。 つ ま り 何 ら か の理 由 に よ り 界面 の 状況が違 い 、 理想 因子 n の 値が ダ ィ オ ー ド 毎 に 異 な る と 、 そ れ ぞれ順方向電圧 V F の 温度 係数 T . C . 力く異 な る こ と に な る 。 そ し て こ の よ う な こ と は 珍 し い こ と で は な く 、 ご く 普通 に 起 こ っ て い る こ と 新た な用紙 1 で あ る 。

図 1 は 、 同 一 ウ ェ ハ 力、 ら と っ た 3 つ の シ ョ ッ ト キ ダ イ ォ ー ド に つ い て 、 順方 向電圧 V p の 温度 依 存性 を 測定 し た グ ラ フ で あ る 。 こ の順方向電圧 V _P の 温度依存性 は 、 ダ イ ォ 一 ド 1 〜 3 で微妙 に 異 な っ て お り 、 こ れ は 上述 し た ば ら つ き に よ る も の で あ る 。

こ の よ う に 順方 向 電圧 V _P の 温度依存性が ま ち ま ち で あ る た め 、 測定の つ ど周 囲温度 を 変 化 さ せ て順方 向 電圧 V F の 温度依 存性 を 測定 し 、 改 め て 接合 部温度 T の 測定 を 行 う 必要力く あ っ た 。

こ の 順方 向電圧 V p の 温度依存性測定 は 非常 に 時 間を 要す る た め 、 接 合 部温度測定 の 効率化 の 妨 げ と な っ て い た 。 発 明 の 開示

本発 明 の 目 的 は 以上の よ う な 従来の 課題 を 解決す る こ と に よ り 、 効率 の良 い接合部温度の 測定方法 を 得 る こ と で あ る 。

即 ち 、 本 発 明 に 係 る 接合部温度の 測定方法 は 、 測定す る ダイ ォ 一 ド の 室温 での 電流電圧測定 を 行 い 、 ダ イ ォ ー ド の 室温 で の 理想 因子、 及 び順方向電圧 を求 め た 後 、 理 想 因子 と 順方 向電圧 の 時 間的 変 化 を 示す温度係数 と の 関 係 を 示 す チ ヤ 一 ト か ら 、 理想 因子の 値 に 対応す る 温 度係 数 を 読 み 取 る 測定準備段階 と 、 ダ イ オ ー ド を 、 実 際 に 接 合 部温 度 を 設定 し た い 状況下 に お い て 順 方 向 圧 を 測 定

新たな用紙 し 、 順方 向電圧 の 値 と 先 に 室温で求 め た順方 向電圧 の 値、 及 び前記温 度係数か ら 、 接合 部温度 を 求 め る 本測定段階 と を 有す る こ と を 特徴 と す る 。

な お 、 上述 の チ ャ ー ト は 、 室温 で測定 し た ダ イ オ ー ド の電流電圧特性 か ら 得 ら れ る 理想 因子 と 、 実 際 に 周 囲温 度 を 変化 さ せ て 測定 し た順方向電圧 の 温度係数 を 直線近 似 し た 値 と の 相 関 を と つ て作成 さ れ た も の で あ る 。

上記 の 測定手順 に 従 う こ と に よ り 、 測定準備段階 に お い て 、 ダ イ オ ー ド の理想因子 、 及 び そ れ に 対応す る 温度 係数を推定 す る こ と がで き 、 さ ら に そ れ ら の 値""を も と に し て 、 本測定段階で接合部温度 を算 出 す る こ と がで き る 。 従 っ て 、 実 測す る こ と な く 順方向電圧 の 温度依存性を予 測で き 、 接合部温度 を算 出 す る こ と がで き る 。

ま た 、 理想 因子 と 温度係数 と の 相関 を と つ て作成 し た チ ャ ー ト を 用 い る こ と に よ り 、 実測せず に ダ イ オ ー ド毎 の温度係数 を推定す る こ と がで き る 。 図面 の 簡単 な 説明

図 1 は 従来 の 測定方法 に お い て 、 理想 因子 の ば ら つ き に よ り 順方 向電圧 の温度依存性がば ら つ く こ と を 示 し た 図で あ り 、

図 2 は 本発明 に 係 る 接合部温度測定方法 の フ ロ ー チ ヤ — ト で あ り 、

図 3 は 室温 で の 理想因子 と 実 測 の温度係数 と の 相関 を 示す 図 で あ り 、

新た な用紙 図 4 は 本発 明 に 係 る 接合部温度測定方法 に よ り 求 め た 順方 向 電圧 の 温 度依存性 と 実 測 し た 温度依存性 の 一致 を 示 す 図 で あ り 、

図 5 は 本実験 に 用 い た チ ッ プの パ タ ー ン を 示 す 図 で あ 0 、

図 6 は 上記 チ ッ プパ タ ー ン 上 の シ ョ ッ ト キ ダ イ ォ 一 ド の 構成 を 示す 図 で あ り 、

図 7 は 測定系 の 概略 を 示す 図 で あ り 、

図 8 は シ ョ ッ ト キ一ダ イ オ ー ド の V F の 温度依存性 を 示す 図 で あ り 、

図 9 は 順方 向 特性の 温度依存性 を 示す 図 で あ り 、 図 1 0 は シ ョ ッ ト キ一ダ イ オ ー ド の n 値及 び _β の 温 度依存性 を 示す 図で あ り 、

図 1 1 は シ ョ ッ ト キ一ダ イ ォ ー ド の V さ の 温度依存性 を 示す 図 で あ る 。 発 明 を 実施す る た め の最良の 形態

以下 、 本発 明 に 係 る 接合部温度 の 測定方法 に つ い て説 明す る 。

図 2 は 、 本発 明 に 係 る 接合部温度測定法の フ ロ ー チ ヤ 一 ト で あ る 。 ま ず始め に 測定す る ダ イ ォ 一 ド の 室温 で の 電流電圧 測 定 を 行 い 、 室温 での理想 因子 π 及 び順方 向電 圧 V (= を 求 め る 。 次 に 、 予 め 準備 し て あ る 理想 因子 η と 温度係 数 T . C . の 関 係 を 示す チ ャ ー ト （ 図 3 図 示 ） か ら 、 今 求 め た 理想 因子 π の 値 に 対 応す る 温 度 係 数 Τ . C 新た な用紙 を 読み 取 る 。 以上 が測定準備 段階 で あ る 。

次 に 、 本 測定段階 に 入 る 。 ダ イ オ ー ド を 実際 に 接合部 温度を 設定 し た い 状況下 に お き 、 順方向電圧 V F を 測定 す る 。 こ の と き の 順方向電圧 v_F の 値 と 、 先 の 測定準備 段階 に お い て 、 室温 で求 め た 順方向電圧 V F の 値 、 及 び 推定 し た 温度係数 T . C . か ら 、 数式 3 に よ っ て 目 的 と す る 接合部温度 を 求 め る こ と がで き る 。

( 度 1^)T.C. =

= -ΐ(^1π "-²) . 数式 3 を 詳細 に 検討 し た 結果、 測定 し た い 温度範囲で あ る 室温 か ら 1 5 0 て程度 で は 、 数式 3 の 括弧 内 の 変 化 は 小 さ く 、 ほ ぼ一定 と み な し て も 大 き な 誤差 は 生 じ な い。 さ ら に 、 括弧内 が一定 と み な せ る の で あ れ ば、 数式 3 に お け る 温度係数 Τ . C . は理想因子 η に 比例す る こ と に な り 、 こ の 理想 因子 η を室温 で測定す る こ と に よ っ て温 度係数 Τ . C . が推定で き る 。 そ こ で、 実際 に 室温で測 定 し た 理想 因子 n と 、 実際 に 周 囲温度を 0 か ら 1 5 0 て ま で変 化 さ せ て 順方向電圧 V _P の温度係数 T . C . を 直線近 似 し た 値 の 相関 を 調査 し た と こ ろ 、 図 3 に 示す よ う に 相関係数 0 . 9 8 8 と 強 い 相関があ る こ と が確認 さ れ た 。 こ の 相関 図 力く 、 前述の チ ャ ー ト で あ る 。

そ こ で 、 今度 は 別 の ダ イ ォ 一 ド を ffl い 、 ¾ 温 に お け る 新た な用紙 理想 因子 n の ½ を 求 め 、 そ の 値 と 図 3 の チ ャ ー ト を 使 つ て温度 係 数 T . C . を推定 し た 。 次 に 、 実 際 に そ の ダ イ ォ ー ド の 周 囲温 度 を 変 化 さ せ て順方向電圧 V fr の 温 度依 存性を 測定 し た 。 そ の 結果 を 示 し た の が 図 4 で あ る 。

図 4 に お い て 、 実線 は 室温 で の 理想 因子 n の 値 か ら 推 定 し た 順方 向電圧 V j: の 温度依存性で あ り 、 プ ロ ッ ト は 実 際 に 周 囲温度 を 変化 さ せ て 測定 し た 温度依存性 で あ る こ の と き の 推 定 値 と 実測値 と の 差 は 、 最 大 で も 二 1 て 以 内 で あ っ た 。

^上 が 、 本 発 明 に 係 る 測定方法 で あ る 。

^ に 、 上还 の 測 定方法 に 先立 ち 、 本 癸 明 者 ら は 、 シ ョ. ッ ト キ ダ イ ォ 一 ド の 温度特性 に つ い て 調べ た の で 、 そ の 実験方法 及 び結杲 に つ い て詳细 に 説明 す る 。

実験 に は 、 信 頼性試験用 マ ス ク R X — A 中 の D R V 2 S を 、 1 8 ピ ン L C C に 実装 し た も の を 用 い た （ リ ツ ド 無 し ） 。

新た な ¾紙 は 、 L E D を ド ラ イ ブす る 回 を G a A s チ ッ プ に 形成 し 、 こ こ 本 発明 に ^ る シ ョ ッ ト キ ー ダ イ オ ー ド D 1 一 D 5 を 組込 ん だパ タ ー ン を 示 し て い る 。 チ ッ プ上 に は M E S F E 丁 か ら な る if 号入力 回路 1 0 2 、 ダ イ ォ ー ドカ、 ら な る レ べ ゾレ シ フ ト 回路 1 0 3 、 M E S F E 丁 力、 ら な る ア ン プ 1 0 4 、 M E S F E T 力、 ら な る i 号 出 力 回 SS 1 0 5 、 1 0 6 、 1 0 7 が形 成 さ れ て い る 。 ま た 、 メ タ ル パ タ ー ン 1 0 1 は ア ー ス さ れ て い る 。

チ ッ プ上 の 電 Sパ ッ ド M 1 — M 6 は ffl度 モ ニ タ ー S シ ョ ッ ト キ一 ダ イ オ ー ド D 1 — D 5 の ア ノ ー ド及 び 力' ソ ー ド に 铳 さ れ て い る 。 す な わ ち 、 パ ッ ド Μ 1 — Μ 2 で ダ ィ 才 一 ド D 1 、 パ ッ ド Μ 2 、 Μ 3 で ダ イ オ ー ド D 2 、 パ つ ド Μ 3 、 Μ 4 で ダ イ オ ー ド Μ 3 、 パ ッ ド Μ 4 、 Μ 5 で ダ イ ォ ー ド Μ 4 、 パ ッ ド Μ 5 、 Μ 6 で ダ イ オ ー ド D 5 が モ ニ タ 一 さ れ る 。 パ ッ ド I Ν は ド ラ イ ブ用 の パ ル ス を 入 力 す る た め 、 パ ッ ド 0 U 丁 は L E D へ の ド ラ イ ブ電流 を 出力 す る た め の も の で あ る 。 ま た パ ッ ド V C 1 、 V C 2 に は 、 電源が 供袷 さ れ る 。

図 り は 図 《5の 温度モ ニ タ ー 用 シ ョ ッ 卜 キ ー ダ イ ォ ー ド の 上 面図及 び断 面図 を示 し て い る 。 活 性 層 （ A L ) に は ア ノ ー ド用 メ タ ノレ 力く シ ョ ッ ト キ 一 接触 し て お り 、 π ⁺ 頭 域 に は ォ ー ミ ッ ク 金 JSを挟ん で カ ソ ー ド 用 メ タ ル が 形成 さ れ て い る 。

図 7 は 、 上 記 I C の温度特性測定系 の稷 を 示す も の

新た な用 J8R で あ る 。 チ ッ プが搭載 さ れ た パ ッ ケ ー ジ 2 は ソ ケ ッ ト 3 に 載置 さ れ て お り 、 そ れ ら は 急速温 度可変炉 3 内 に 設 置 さ れ る 。 こ の 急速温度可変炉 3 は 、 炉内 の 温 度 を 制 御 す る 制御 部 3 1 の 接続 さ れ て お り 、 さ ら に 、 パ ッ ケ ー ジ 2 と ソ ケ ッ 卜 3 は そ れ ぞれがデ ジ タ ル温度計 4 、 定電流電 源及 び電圧 モ ニ タ 5 に 接続 さ れ て い る 。 本実験で は 、 チ ッ プ の 表 面 温度 は 、 急遠温度 可変炉 3 内 で制 御部 3 1 に よ り 変 化 さ せ た 。 温度 の モ ニ タ は 、 そ の 制御部 3 1 力、 ら 延設 さ れ て い る 制御用 熱 伝対 3 2 と 、 上記 デ ジ タ ル温度 計 4 力、 ら 延設 さ れ て い る リ ボ ン 状 の 熟 ί云対 3 3 の 二つ を パ ッ ケ ー ジ 2 の 極 く 近 傍 に 配 置 し て 行 っ た 。 ま た 定電流 電源及 び電圧 モ ニ タ 5 に は 、 Η Ρ 4 1 4 5 Β パ ラ メ ー タ ア ナ ラ イ ザ を 用 い た。

こ れ ら の サ ン プ ル及 び実験系 に よ り 、 2 5 〜 1 5 0 V の範囲 で 温度を 変 化 さ せ て 、 順方 向 に 一定電 流 （ I - ) を 流す の に 必要 な 順方向電圧 （ V F ) の 変化 に つ い て 測 定 し た 。

図 8 に 測定結果 を 示す。 横軸 は 温度 （て ） 、 縱紬 は 順 方向電圧 （ V F ) で あ り 、 順方 向電流 （ I F ) の 値 が 1 U A , 1 0 A 、 l O O ^ A そ れぞれの 場 合 に つ い て 変 化 を 測定 し た 。 な お 、 I F の 値 は 、 図 9 に 示 す よ う に 、 2 5 で 1 _F - V F 特性を 片 対数 プ ロ ッ —卜 し た 際 の 、 直 線 領域 中 央付近 、 直線 領域上 限付近 、 非 直線 領域 か ら そ れ ぞれ 1 点ずつ 選 ん だ も の で あ る 。 ま た こ の 範 囲 で は 、 顺方 向 ^ 流 印 加 時 の 顧方向 Γ± の 経時 変 化 は 無 く 、 顧 方

新たな用紙 向電流印 加 に よ る 発熱 は'無視で き る 。 ま た 、 温度 の 掃引 方向 に よ る ヒ ス テ リ シ ス も 観測 さ れ な 力、 つ た 。

図 8 中 の 実線 は 、 前述 し た 数式 1

を 示す。 ま た 、 破線 は 、 l j= 力く 1 0 0 /z A の 場 合 の 、 直 列抵抗 と I F と の 積で表 さ れ る V _S を 考慮 に 入れ た 値を 示 し た も の で あ る 。 な お 後 に 述べ る よ う に 、 こ の 温 度範囲で は n 値 、 φ 3の 温度依存性 は小 さ か っ た の で ( 図 1 0 図示） こ れ を無視 し た。 さ ら に Rf? の 温 度依存 性 に よ る V の 変化 は 、 V ,=； " の 値 に比 べて 小 さ く 、 こ れ も 無視 し た （図 1 1 図示） 。

さ て 、 図 8 に 示す通 り 、 室温〜 1 5 0 °C程度 の 温度範 囲で は T — V f= の 関係 は ほ ぼ直線で表す こ と がで き 、 理 論値 と 良 い一致 を見せ る 。 厳密 に は理論値 は 直線で は な い 力く、 こ の範囲で は ほ ぼ直線 と 見 な せ る 。 ま た 、 図 中 に 記 し た 温度係数 T . C . は 、 下記の表 1 に 示す実験デ ー 夕 の 一次回帰の 結果 に よ る も の で あ る 。

新た な 用紙 Ai. ¾ 亍，

表 1 に 示 し た 一次回帰の 詰杲 を 見 る と 、 寄 与率 （ R * R ) は I _F < 1 0 A の と き に 9 9 . 9 3 % で最 も 大 き く 、 こ れ に よ り 温度推定誤差 も ± 3 . 5 °C と 最 も 小 さ い こ れ は 1 A で は 電流が小 さ い 為、 測定系等周 囲 の 影響 を受 け や す く 、 1 0 0 ^ A で は 直列抵抗 の 寄与が入 っ て く る 為 と 推 測 し て い る 。

図 9 は 、 2 5 〜 1 5 0 °Cで の シ ョ ッ 卜 キ ー ダ イ ォ 一 ド の 順方 向 特性で あ る 。 温度 の 上昇 に 伴 い カ ー ブ は 同 図の 左側 に シ フ ト し 、 V F が減少 し て い く 様子が わ か る 。 ま た I _F 力く 1 A の 場合 は 、 こ の温度範囲 の 全領域 で 、 片 対数 プ ロ ッ 卜 の 直線部分 中央付近 を 推移す る 。 一方 1 0 A の 場 合 は 直 線部分の 上限 付近 を推移 し 、 1 0 0 A で は 非線 形 領域 を 推 移 す る 。 こ の 三 つ の I (= に つ い て 、

V p の 温 度 依 存 性 を 測定 し た こ と は 先 に 述 べ た 。 ま た こ の 様 な グ ラ フ 力、 ら 求 め た 、 π 値、 φ の 温度 依 存性 を ！ ¾ 断たな用紙 1 0 に 、 V B の 温度依存性 を 図 1 1 に 示 し た。

図 1 0 よ り 、 2 5 〜 1 2 0 て 程度 の 15囲 で は π 値 、 φ g の 温度依存性 は ほ と ん ど無 く 、 1 3 0 て 位カヽ ら π 値 は 増加、 Φ s は 弒 少す る 傾向 に あ る 。 U 9 の 片対数 プ ロ ッ 卜 で は 、 高温 、 小電流領域で の テ ー ルが見 ら れ て い る こ と 力、 ら 、 こ れ は シ ョ ッ ト キ ー コ ン タ ク ト 界 面 で の リ ー ク 電流の 增 加 に よ る も の と 推察 さ れ る 。 ま た ！ H 1 1 に 示 し た V の 温度依 存性 は 、 度の温度依存性及 び基板 リ ー ク 電流 を 考慮 し た計算結果 と 同 様 な 傾 向 を 示す。

次 に 、 実験の 写現性の 確認 と 推定誤差 の 把握 の た め に 、 サ ン プ ル 5 つ に つ い て 同様の 実 を 行 っ た。 た だ し 先の 実験 は 測定温度 間隔が 1 0 て で あ つ た が、 こ の 場合 は 5 °C 間隔 で あ る 。 先 と 同様 に 、 V F と 温度 丁 （て ） に つ い て一次回帰 し た 結果が下記の 表 2 で あ る 。

m定温 度 Γ«] 隔 を 小 さ く し た こ と か ら 、 ^ 与 m は 9 9

新た な用紙

温度依存性 の 增 加が起 こ り （図 9 〜 図 1 1 図示） 、 回帰 式か ら の ず れが大 き く な る 為、 2 5 〜 ； 1 2 5 て と 1 2 5 〜 1 5 0 °C の 二 つ の 温度範囲 に つ い て見積 も っ て み た 。 こ の 表 よ り 2 5 〜 1 2 5 。C で ± 3 程度、 1 2 5 〜 1 5 0 て で 土 5 °C 程度 の 誤差で測定が行え る こ と が わ か る 。

以上述 べ て き た シ ョ ッ ト キ ダ イ ォ ー ドの 温度特性測定 結果 よ り 、 前述 し た よ う に 本発明者 ら は さ ら に 誤差の 少 な い 測定を 効率 的 に 行 う た め 、 上記実験方法 に 基づ い て . 温度係数 T . C . と 理想因子 n と の相 関 を 示す チ ャ ー ト を 予 め 作成 し た 。 こ の チ ヤ 一 ト を 用 い る こ と に よ っ て 、 個 々 の ダ イ オ ー ド に つ い て温度係数 T . C . 等を 測定す る 必要が な く 、 先 に述べ た接合部温度の 浏定方法 を効率 的 に行 う こ と が で き る 。 産業上 の 利 用可能性

本発明 に よ る 接合部温度測定方法 に よ れば、 非常 に 簡 単 な 室温での理想 因子の 測定結果か ら 順方向電圧 の.温度 依存性が予 測で き る 。 そ の結果、 従来必要だ っ た順方向 電圧 の 温度依存性の 測定が不用 と な り 、 接合部温度測定 が、 僅 か の 時間 で効率的 に 行え る よ う に な る 。

ま た 、 個 々 の ダ イ ォ ー ド に つ い て温度係数等を 実測 に よ り 求 め る 必要が な く 、 一層 効率的 な 接合部 の 温度測定 を行 う こ と 力くで き る 。

新たな用紙

Claims

請求の範囲

1 . 測定す る ダイ オ ー ドの室温での電流電圧潮定 を行い 当該ダイ オ ー ド の室温での理想因子、 及び顧方向罨圧 を 求め た後、 前記理想因子 と 31方向電圧の時間的変化を示 す温度係数 と の関係を示すチ ャ ー ト か ら 、 当該理想因子 の値の対応す る 溫度係数を読み取 る 測定準備段階 と 、 前記ダイ ォ ー ドを実際に接合部温度を 測定 し た い状況 下に お い て顥方向電圧を測定 し 、 当該顧方向電圧の値 と 先に室温で求め た顒方向電圧の値、 及び前記温度係数か ら 、 前記接合部温度を求め る 本測定段階 と

を有す る こ と を特徴 と す る 接合部温度の測定方法。

2 . 前記チ ャ ー ト は、 室温で測定 し た前記 ダイ オ ー ド の 電流電圧特性か ら 得 ら れ る理想因子 と 、 実際 に周 囲温度 を変化 さ せて測定 し た順方向電圧の温度係数を 直線近似 し た値 と の相関を と つ て作成 さ れた請求項 1 記載の接合 部混度の 測定方法。

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