WO2000034764A1 - Messsonde und verfahren zur messung der konzentration von agenzien in gasen und/oder flüssigkeiten - Google Patents

Messsonde und verfahren zur messung der konzentration von agenzien in gasen und/oder flüssigkeiten Download PDF

Info

Publication number
WO2000034764A1
WO2000034764A1 PCT/DE1999/003547 DE9903547W WO0034764A1 WO 2000034764 A1 WO2000034764 A1 WO 2000034764A1 DE 9903547 W DE9903547 W DE 9903547W WO 0034764 A1 WO0034764 A1 WO 0034764A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
measuring
measuring probe
agents
concentration
gases
Prior art date
Application number
PCT/DE1999/003547
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
Gerlinde Bischoff
Robert Bischoff
Original Assignee
Gerlinde Bischoff
Robert Bischoff
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Gerlinde Bischoff, Robert Bischoff filed Critical Gerlinde Bischoff
Priority to US09/806,736 priority Critical patent/US6767747B1/en
Priority to EP99959234A priority patent/EP1141687A1/de
Priority to EA200100648A priority patent/EA003262B1/ru
Priority to CA002348505A priority patent/CA2348505C/en
Priority to APAP/P/2001/002127A priority patent/AP1310A/en
Publication of WO2000034764A1 publication Critical patent/WO2000034764A1/de
Priority to GR20010300066T priority patent/GR20010300066T1/el

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N27/00Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
    • G01N27/02Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance
    • G01N27/04Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance
    • G01N27/12Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance of a solid body in dependence upon absorption of a fluid; of a solid body in dependence upon reaction with a fluid, for detecting components in the fluid
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T436/00Chemistry: analytical and immunological testing
    • Y10T436/11Automated chemical analysis

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Electrochemistry (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Electric Means (AREA)
  • Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Fluid Adsorption Or Reactions (AREA)

Abstract

Die Erfindung beschreibt eine empfindliche Messsonde (1) und ein zugeordnetes Messverfahren zur Detektion von Agenzien und deren Konzentration in Gasen und/oder Flüssigkeiten, die unter verschiedensten realen Messbedingungen ohne zusätzlichen Aufwand einsetzbar ist und kein Heizelement benötigt. Erfindungsgemass wird die Aufgabe dadurch gelöst, dass sich über der sensoraktiven Schicht einer Messsonde (1) ein Deckfilm (7) aus einer Flüssigkeit befindet, der in die aktive Zone der Messsonde (1) einbezogen wird und die Kombination verschiedener Teilleitwerte, insbesondere der Substanz (4), des Deckfilms (7) und der sich zwischen beiden ausbildenden aktiven Oberfläche (8), in die Ermittlung des Gesamtleitwertes ohne Kompensation eingehen.

Description

Meßsonde und Verfahren zur Messung der Konzentration von Agenzien in Gasen und/oder Flüssigkeiten
Die Erfindung bezeichnet eine Meßsonde einer Meßvorrichtung und ein zugehöriges Meßverfahren zur Messung der Konzentra- tion von Agenzien in Gasen und/oder Flüssigkeiten. Dabei nutzt die Meßvorrichtung die Veränderung von elektrischen Eigenschaften. Zur Messung werden die zu untersuchenden Substanzen mit der Oberfläche der Meßvorrichtung in Verbindung gebracht . Die aufgebrachte Substanz verändert in Ab- hängigkeit ihrer Konzentration die Leitfähigkeit der Oberfläche der Meßvorrichtung.
Es ist bekannt, daß mit Hilfe von Widerstandsmessung die Konzentration verschiedener Agenzien bestimmt werden. So wird bsw. in der IPC (Internationale Patentklassifikation) G01N 27/00 die Analyse von Stoffen durch Anwendung elektrischer Methoden beschrieben. Unter G01N 27/12 werden speziell Widerstandsuntersuchungen betrachtet, die den Widerstand eines festen Körpers in Abhängigkeit der Absorption einer Flüssigkeit verändern. Verwendet werden dazu Meßson- den mit Elektroden, die in G01N 27/07 betrachtet werden.
Es ist weiter bekannt, daß derartige Meßsonden der Meßvorrichtungen aus zwei geeignet geformten Elektroden, die auf einem Träger befestigt sind, bestehen und die Leitf higkeit einer geeigneten Substanz zwischen diesen als mittelbare Meßgröße zur Bestimmung der Konzentration der zu untersuchenden Agenzien bestimmt wird. Abhängig von den zu untersuchenden Agenzien werden verschiedene, meist speziell optimierte, Substanzen verwendet, an welche sich die zu un- tersuchenden Agenzien adsorbieren. Dabei weist die Substanz selbst eine gewisse elektrische Leitfähigkeit auf, die sich durch die Aufnahme und physikalische Bindung der als Adsor- bat dienenden Agenzien verändert . Geeignete Substanzen stellen dabei organische und anorganische halbleitende Stoffe dar, deren relative Änderung der Leitfähigkeit durch Adsorption dieser Agenzien hinreichend groß ist. Bezüglich unterschiedlicher Agenzien sind sowohl schmalbandig als auch breitbandig selektiv wirkende Substanzen bekannt . Die Veränderung der elektrischen Leitfähigkeit dient zur Bestimmung der Konzentration, da im verwendeten Meßbereich ein monotoner Zusammenhang dieser mit der Konzentration gegeben ist. Es ist möglich, zur Messung der Veränderung der elektrischen Leitfähigkeit ein Wechselfeld zu benutzen und deren weitere Kennwerte, bsw. spezifischer komplexer Verlustwinkel, zusätzlich zur Auswertung heranzuziehen.
Durch eine geeignete Gestaltung der Elektroden läßt sich der nutzbare Leitfähigkeitsbereich in einem geeigneten Leitwert der Meßsonde abbilden. Durch eine geeignete Ge- staltung der Oberfläche, beispielsweise Poren, zwischen den Elektroden läßt sich der anteilige Einfluß der Adsorption auf dem zur Messung genutzten Teil der Substanz verändern. Die Adsorptionszeit wird insbesondere durch die Art der Substanzschicht und der Substanztemperatur bestimmt.
Eine Vielzahl von derartigen Meßsonden zur Bestimmung der Konzentration verschiedener Agenzien in Gasen werden mit organisch halbleitenden Substanzen, vorzugsweise Polymeren, auf Keramikträgern gefertigt. Bedingt durch die hohe Luftfeuchtigkeit und die hohe Oberflächenspannung von Wasser sind die Substanzen derartiger Meßsonden im Normklima mit einem dünnen Wasserfilm versehen. Daraus resultiert aufgrund seiner eigenen Leitfähigkeit eine Gesamtleitfähigkeit der Meßvorrichtung, die ca. eine Größenordnung über jener der verwendeten Substanzen liegt. Um das Meßergebnis nicht durch die Feuchtigkeitsaufnahme zu verfälschen, sind derartige Meßsonden mit einem Heizelement oder einer separaten Temperierung versehen, welche die Substanz derart aufheizen, daß der Feuchtigkeitsfilm vollständig verdunstet. Die- se Meßsonden arbeiten dadurch notwendig bei gegenüber der
Umgebung höheren Temperaturen, vorzugsweise oberhalb von
150°C. Der nutzbare Meßbereich erstreckt sich bezüglich der
Konzentration der Agenzien zumeist von mindestens 1 ppm
(parts per million) bis zu einer Sättigungskonzentration des bestimmten Agens. In diesem Meßbereich liegt mit zunehmender Konzentration ein monoton wachsender Leitwert der Meßsonde vor, welcher durch eine vorherige Eichung in die Konzentration des zu bestimmenden Agens umrechenbar ist. Der Nachteil derartiger Sensoren ist einerseits die relativ geringe Empfindlichkeit gegenüber nachzuweisenden geringsten Konzentrationen bestimmter Agenzien in Gasen und andererseits die Notwendigkeit der Aufheizung. Dadurch werden derartige Meßsonden komplexer und teurer in der Herstellung sowie im Betrieb. Des weiteren ist der Einsatz im Umge- bungstemperaturbereich, beispielsweise bei Normklima, nur eingeschränkt möglich.
Die Druckschrift EP 0 328 108 A3 beschreibt einen elektrochemischen Sensor zur Messung der Konzentration einer chemischen Substanz in einer Lösung, wobei auf einem Substrat zwei Feldeffekttransistoren sowie eine Referenzelektrode angeordnet sind. Über dem Bereich des Kanals eines der beiden FET und der Referenzelektrode ist ein Hydrogel als „Elektrode" angeordnet, zur Stoffdetektion werden Enzyme genutzt, die den FET durch Veränderung der Leitfähigkeit in der Elektrode ansteuern. Die Detektion der Art und Konzentration der Substanz in der Lösung erfolgt mittels Auswertung des Signals vom FET.
Dieser Sensor ist nur zur Bestimmung relativ hoher Konzentrationen im Bereich von einigen ppm von Substanzen in Lö- sungen geeignet, Agenzien in Gasen sind damit nicht hinreichend bestimmbar. Es lassen sich Konzentrationen nur weniger, ausgewählter Stoffe bestimmen. Zudem ist das Hydrogel des Sensors mit störenden Substanzen leicht irreversibel kontaminierbar, wodurch der Sensor unbrauchbar wird. Zur Herstellung des Sensors sind aufgrund der Mikrostruktu- ren aufwendige Technologien der Mikroelektronik erforderlich.
In der Bekanntmachung der PCT-Anmeldung mit der Nummer WO 89/08713 wird eine Methode und ein Apparat zur Bestimmung der Konzentration von bestimmten Körperflüssigkeiten offenbart. Eine Flüssigkeitsprobe wird in eine Probenzelle mit zwei Elektroden eingebracht und mit einem Oxidantium sowie einem Puffer als Redox-System, gemischt und anschließend die Leitfähigkeit amperometrisch ausgelesen sowie mittels einer Auswerteeinheit und Anzeigeeinheit die Konzentration der bestimmten Substanz der Körperflüssigkeit angezeigt. Die Leitfähigkeit der Probenflüssigkeit wird außerdem zum Einschalten des Meßgeräts genutzt. Nachteilig an dieser Lösung ist die Anwendbarkeit nur für Flüssigkeiten, die rela- tive Unempfindlichkeit mit einer unteren Nachweisgrenze im Konzentrationsbereich von ppm sowie die Anordnung einer Referenzelektrode in der Probenzelle. Es handelt sich um eine weiterentwickelte Meßanordnung zur Bestimmung der Leitfähigkeit von Flüssigkeiten.
Die Aufgabe der Erfindung besteht darin, eine Meßsonde und ein zugeordnetes Meßverfahren zu entwickeln, welches bei Überwindung obiger Nachteile eine empfindliche Meßsonde zur Detektion von Agenzien und deren Konzentration in Gasen und/oder Flüssigkeiten realisiert, wobei diese unter ver- schiedensten realen Meßbedingungen ohne zusätzlichen Aufwand einsetzbar ist und kein Heizelement benötigt.
Die Aufgabe wird durch die im Patentanspruch 1 und im Patentanspruch 7 aufgeführten Merkmale gelöst. Bevorzugte Weiterbildungen ergeben sich aus den Unteransprüchen.
Das Wesen der Erfindung liegt darin begründet, daß eine Meßsonde in Form eines Zweipols zur Ermittlung des elektrischen Widerstands einer sensoraktiven Schicht verwendet wird, bei der gezielt ein Deckfilm aus einer Flüssigkeit, beispielsweise Wasser, der über der Substanz der sensorak- tiven Schicht ausbildet wird, in die aktive Zone der Meßsonde einbezogen wird. Durch den Deckfilm liegt somit eine Kombination verschiedener Teilleitwerte vor, insbesondere der Substanz, des Deckfilms und der sich zwischen beiden ausbildenden aktiven Oberfläche. Moleküle des Deckfilms stehen zusätzlich zur Substanz als Adsorbat für das zu bestimmende Agens eines Gases oder einer Flüssigkeit zur Verfügung. Mit der gezielten Auswahl der Flüssigkeit für den Deckfilm sind die Adsorbtionseigenschaften für bestimmte Agenzien optimierbar.
Das erfindungsgemäße Meßverfahren ist speziell für die erfindungsgemäße Meßsonde ausgelegt. Diese wird grundsätzlich bezüglich der Adsorption der Flüssigkeit in der Diffusionsschicht in Sättigung betrieben. Im Grundzustand (0% Agens + Flüssigkeit in Sättigung) liegt ein vergleichsweise hoher Leitwert vor. Bei Anwesenheit bestimmter Agenzien bewirken diese je nach Art eine Behinderung/Förderung der bewegli- chen Ladungsträger, bzw. reduzieren/erhöhen die Zahl der beweglichen Ladungsträger. Auf diese Weise haben auch geringste Spuren des zu detektierenden Gases einen potenzierten Einfluß auf die elektrische Leitf higkeit der Meßsonde und reduzieren/erhöhen die Leitfähigkeit drastisch, es tritt der Effekt einer reversiblen Dotierung an der Oberfläche der Meßsonde auf. Dieser Effekt wirkt bereits bei relativ geringen Konzentrationen der zu bestimmenden Agenzien und verstärkt sich mit zunehmender Konzentration des Agens. Das Resultat ist bei zunehmender Konzentration der bestimmten Agenzien ein bezüglich des Grundzustandes fallender/steigender differentieller Leitwert des Meßsonde. Dieser kann erfindungsgemäß nach einer vorhergehenden Eichung zur Berechnung der Konzentration der bestimmten Agenzien verwendet werden. Dazu wird vorteilhaft ein Ersatz- Schaltbild dieses Sensors verwendet, welches diesen als elektrischen Zweipol darstellt. Die zur Beschreibung im Meßfenster benötigten komplexen Ersatzgrößen korrelieren vorzugsweise mit den Widerständen und den Dicken der einzelnen Schichten. Die Vorteile der Erfindung bestehen insbesondere in der gegenüber Meßsonden ohne Deckfilm über der Substanz höheren Empfindlichkeit des Meßverfahrens um mindestens zwei Zehnerpotenzen, die Nachweisgrenze für zu bestimmende Agenzien liegt damit im ppt (parts per trillion) Bereich der Konzentration des Agens. Es besteht die Möglichkeit Messungen unter realen Bedingungen ohne zusätzlichen Aufwand, beispielsweise bei Raumtemperatur in üblicher Atmosphäre oder auch im Körperinneren von Lebewesen durchzuführen. Lang- Zeitmessungen zur kontinuierlichen Überwachung von Konzentrationen bestimmter Agenzien sind ohne komplizierten apparativen Aufwand realisierbar.
Für den Sensor ist kein Heizelement erforderlich, ebenso keine Temperierung oder andere spezielle Meßbedingungen.
Es ist weiterhin vorstellbar, daß derartige Meßsonden mit anderen Meßsonden kombiniert werden, um beispielsweise durch die Bestimmung der Temperatur und/oder der Feuchtigkeit den Einfluß dieser Parameter bei der Berechnung in dem erfindungsgemäßen Verfahren berücksichtigen zu können.
Des weiteren ist es vorstellbar, daß mehrere derartige Meßsonden zum Beispiel in einem Array mit unterschiedlichen Strukturdimensionen und/oder Substanzen kombiniert werden, um die selektiven Eigenschaften der Substanzen bezüglich bestimmter Agenzien in die Analyse mit einzubeziehen.
Eine andere mögliche Weiterbildung besteht darin, daß derartige Sensoren auf dem Träger direkt in den Stromkreis eines steuerbaren Halbleiterelements, wie beispielsweise den Basis- oder Gate- Stromkreis integriert werden. Weitere Möglichkeiten zur Nutzung der Meßergebnisse von Konzentrationen bestimmter Agenzien entstehen bei Weitergabe über EDV-Netzwerke oder fernmeldetechnische Einrichtungen an autorisierte Empfänger.
Die Erfindung wird als Ausführungsbeispiel an Hand von Fig. 1 als Prinzipaufbau der Meßsonde Fig. 2 als Ersatzschaltbild der Meßsonde näher erläutert.
Nach Figur 1 besteht eine Meßsonde 1 für Agenzien in Gasen aus einem Paar Elektroden 2, die partiell auf einem Träger 3 aufgebracht sind, wobei diese als eine Oberflächenüberhö- hung ausgebildet sein können. Über dieser Oberflächenstruktur befindet sich schichtförmig eine geeignete feste Substanz 4, insbesondere ein organischer Halbleiter in der Form eines Polymeren, der auf die Adsorption bestimmter Agenzien 5 mit einer hinreichenden Veränderung der Leitfähigkeit reagiert. Die zu analysierenden Agenzien 5 befinden sich in einer Gasphase 6, die sich als Umgebung der Meßsonde über der Oberfläche der Meßsonde 1 ausbreitet. Zwischen der Oberflächenstruktur der Meßsonde 1 und der Gasphase 6 befindet sich weiterhin ein Deckfilm 7 aus Wasser, der sich durch die endliche Luftfeuchtigkeit der Gasphase 6 ausbildet. Durch die gegenseitige Beeinflussung zwischen der Substanz 4 und dem Deckfilm 7 aus Wasser bildet sich eine be- züglich der Veränderung der Leitfähigkeit wirksame aktive Oberfläche 8 aus. Moleküle des zu bestimmenden Agens 5 werden an der Oberfläche der Substanz 4 sowie den Molekülen des Deckfilm 7 adsorbiert, verdrängen an diesen Stellen Wassermoleküle und verändern die Gesamtleitfähigkeit des Sensors .
Nach Figur 2 kann ein Ersatzschaltbild für die einzelnen Schichten und Dicken der Meßsonde in Form eines Wider- Standsnetzwerks angenommen werden, welches die Meßsonde als elektrischen Zweipol im zulässigen Meßfenster abbildet. Ein derartiges Ersatzschaltbild wird vorzugsweise als Grundlage für die Eichung der Meßsonde 1 und der darauf basierenden Bestimmung der Konzentration der zu analysierenden Agenzien 5 verwendet. Dadurch wird insbesondere eine nichtlineare Abbildung auf im wesentlichen voneinander unabhängigen und stark mit der geometrischen Gestaltung der Meßsonde korre- lierenden Basiswerten ermöglicht. Durch die Verwendung komplexer Ersatzgrößen in Form von Widerständen wird zusätz- lieh das Verhalten im elektrischen Wechselfeld beschrieben. Eine Parallelschaltung zwischen jeweils einem Wirk- und einem Blindwiderstand kennzeichnet die Schichtwiderstände für den Träger 3, die Substanz 4, die aktive Oberfläche 8, den Deckfilm 7 aus Wasser und die Gasphase 6 sowie einen Er- satzwiderstand I 9, wesentlich abhängig von den Dicken der Elektroden 2 und der Substanz 4, einen Ersatzwiderstand II 10, wesentlich abhängig von der Dicke der aktiven Oberfläche 8 und einen Ersatzwiderstand III 11, wesentlich abhängig von Eigenschaften des Deckfilms 7. Die Dicke des Deck- films 7 aus beispielsweise Wasser ist im wesentlichen von der Temperatur abhängig. Die einzelnen Schichtwiderstände sind jeweils parallel geschaltet, wobei die Ersatzwiderstände [9, 10, 11] jeweils beidseitig zwischen den Schichtwiderständen der Substanz 4, der aktiven Oberfläche 8, des Deckfilms 7 und der Gasphase 6 angeordnet sind. Mittels üblicher Meß- und Auswerteeinheiten wird über Leitungen von den Elektroden 2 die Veränderung der Gesamtleit- fahigkeit des Sensors registriert und zur Bestimmung der Konzentration des Agens aufgezeichnet sowie ausgewertet.
Verwendete Bezugszeichen
1 Meßsonde
2 Elektroden
3 Träger 4 Substanz
5 Agens
6 Gasphase
7 Deckfilm
8 aktive Oberfläche 9 Ersatzwiderstand I
10 Ersatzwiderstand II
11 Ersatzwiderstand III

Claims

Patentansprüche
1. Meßsonde (1) mit einer sensoraktiven Schicht in Form eines elektrischen Zweipols zur Detektion von Agenzien sowie deren Konzentration in Gasen und/oder Flüssigkeiten, dadurch gekennzeichnet, daß sich über der sensoraktiven Schicht einer Meßsonde (1) ein Deckfilm (7) aus einer Flüssigkeit befindet.
2. Meßsonde (1) mit einer sensoraktiven Schicht in Form ei- nes elektrischen Zweipols zur Detektion von Agenzien sowie deren Konzentration in Gasen und/oder Flüssigkeiten nach
Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Deckfilm (7) aus Wasser besteht.
3. Meßsonde (1) mit einer sensoraktiven Schicht in Form ei- nes elektrischen Zweipols zur Detektion von Agenzien sowie deren Konzentration in Gasen und/oder Flüssigkeiten nach Anspruch 1 und 2, dadurch gekennzeichnet, daß der Deckfilm (7) aus der zu analysierenden Flüssigkeit besteht .
4. Meßsonde (1) mit einer sensoraktiven Schicht in Form eines elektrischen Zweipols zur Detektion von Agenzien sowie deren Konzentration in Gasen und/oder Flüssigkeiten nach Anspruch 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß mehrere Meßsonden (1) in einem Array mit unterschiedli- chen Strukturdimensionen kombiniert sind, und daß die einzelnen Strukturen unterschiedliche Substanzen (4) aufweisen.
5. Meßsonde (1) mit einer sensoraktiven Schicht in Form eines elektrischen Zweipols zur Detektion von Agenzien sowie deren Konzentration in Gasen und/oder Flüssigkeiten nach Anspruch 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß Meßsonden (1) mit anderen Meßsonden zur Bestimmung verschiedener physikalischer Parameter kombiniert sind.
6. Meßsonde (1) mit einer sensoraktiven Schicht in Form eines elektrischen Zweipols zur Detektion von Agenzien sowie deren Konzentration in Gasen und/oder Flüssigkeiten nach Anspruch 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Meßsonde (1) direkt in den Steuerstromkreis eines Halbleiterbauelements implementiert ist.
7. Meßverfahren zur Detektion von Agenzien sowie deren Konzentration in Gasen und/oder Flüssigkeiten mittels einer Meßsonde (1) nach den Ansprüchen 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß ein Deckfilm (7) aus einer Flüssigkeit, der sich über der Substanz (4) der sensoraktiven Schicht befindet, in die aktive Zone der Meßsonde (1) einbezogen wird, und daß die Kombination verschiedener Teilleitwerte, insbesondere der Substanz (4) , des Deckfilms (7) und der sich zwischen beiden ausbildenden aktiven Oberfläche (8) in die Ermittlung des Gesamtleitwertes ohne Kompensation eingehen.
8. Meßverfahren zur Detektion von Agenzien sowie deren Kon- zentration in Gasen und/oder Flüssigkeiten mittels einer
Meßsonde (1) nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß Meßwerte über EDV-Netzwerke oder/und fernmeldetech- nische Einrichtungen an autorisierte Empfänger weitergeleitet werden.
HIERZU ZWEI SEITEN ZEICHNUNGEN
PCT/DE1999/003547 1998-12-10 1999-10-30 Messsonde und verfahren zur messung der konzentration von agenzien in gasen und/oder flüssigkeiten WO2000034764A1 (de)

Priority Applications (6)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US09/806,736 US6767747B1 (en) 1998-12-10 1999-10-30 Measuring probe and method for measuring the concentration of agents in gases and/or liquids
EP99959234A EP1141687A1 (de) 1998-12-10 1999-10-30 Messsonde und verfahren zur messung der konzentration von agenzien in gasen und/oder flüssigkeiten
EA200100648A EA003262B1 (ru) 1998-12-10 1999-10-30 Измерительный зонд и способ измерения концентрации реагентов в газах и/или жидкостях
CA002348505A CA2348505C (en) 1998-12-10 1999-10-30 Measuring probe and method for measuring the concentration of agents in gases and/or liquids
APAP/P/2001/002127A AP1310A (en) 1998-12-10 1999-10-30 Measuring probe and method for measuring the concentration of agents in gases and/or liquids.
GR20010300066T GR20010300066T1 (en) 1998-12-10 2001-11-30 Measuring probe and method for measuring the concentration of agents in gases and/or liquids

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19856885A DE19856885C2 (de) 1998-12-10 1998-12-10 Meßsonde und Verfahren zur Messung der Konzentration von Agenzien in Gasen und/oder Flüssigkeiten
DE19856885.1 1998-12-10

Publications (1)

Publication Number Publication Date
WO2000034764A1 true WO2000034764A1 (de) 2000-06-15

Family

ID=7890555

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/DE1999/003547 WO2000034764A1 (de) 1998-12-10 1999-10-30 Messsonde und verfahren zur messung der konzentration von agenzien in gasen und/oder flüssigkeiten

Country Status (10)

Country Link
US (1) US6767747B1 (de)
EP (1) EP1141687A1 (de)
AP (1) AP1310A (de)
CA (1) CA2348505C (de)
DE (1) DE19856885C2 (de)
EA (1) EA003262B1 (de)
ES (1) ES2161206T1 (de)
GR (1) GR20010300066T1 (de)
OA (1) OA11800A (de)
WO (1) WO2000034764A1 (de)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7534034B2 (en) * 2000-12-08 2009-05-19 Polyic Gmbh & Co. Kg Device for detecting at least one environmental influence

Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2003089915A2 (en) * 2002-04-15 2003-10-30 E.I. Du Pont De Nemours And Company Method for restoring the sensitivity, speed or stability of a gas-sensitive material
JP2005038729A (ja) * 2003-07-16 2005-02-10 Sanyo Electric Co Ltd El表示装置
US7183779B2 (en) * 2004-12-28 2007-02-27 Spectrum Technologies, Inc. Soil probe device and method of making same
WO2006112837A1 (en) * 2005-04-17 2006-10-26 Janusz Michal Buchert Thermal emission non-invasive analyte monitor
KR20200141114A (ko) 2019-06-10 2020-12-18 삼성전자주식회사 케미컬들의 치환 감지 센서 및 이를 이용한 반도체 장치의 제조 방법

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB2204408A (en) * 1987-03-04 1988-11-09 Plessey Co Plc Biosensor device
GB2208006A (en) * 1987-08-11 1989-02-15 Emi Plc Thorn Gas sensing device
EP0328108A2 (de) * 1988-02-10 1989-08-16 Nec Corporation Elektrochemischer Detektor zur Erleichterung wiederholter Messungen
DE4437274A1 (de) * 1994-10-18 1996-04-25 Inst Chemo Biosensorik Analytselektiver Sensor

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5128015A (en) * 1988-03-15 1992-07-07 Tall Oak Ventures Method and apparatus for amperometric diagnostic analysis
DE4232532A1 (de) * 1992-09-29 1994-04-28 Ct Fuer Intelligente Sensorik Anordnung und Verfahren zur Erhöhung der Zuverlässigkeit von ionensensitiven Feldeffekttransistoren
US5572027A (en) * 1995-01-12 1996-11-05 Saint-Gobain/Norton Industrial Ceramics Corp. Integrated dosimeter for simultaneous passive and active dosimetry
DE19612680C2 (de) * 1996-03-29 2000-02-03 Inst Chemo Biosensorik Kationselektiver Sensor

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB2204408A (en) * 1987-03-04 1988-11-09 Plessey Co Plc Biosensor device
GB2208006A (en) * 1987-08-11 1989-02-15 Emi Plc Thorn Gas sensing device
EP0328108A2 (de) * 1988-02-10 1989-08-16 Nec Corporation Elektrochemischer Detektor zur Erleichterung wiederholter Messungen
DE4437274A1 (de) * 1994-10-18 1996-04-25 Inst Chemo Biosensorik Analytselektiver Sensor

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7534034B2 (en) * 2000-12-08 2009-05-19 Polyic Gmbh & Co. Kg Device for detecting at least one environmental influence

Also Published As

Publication number Publication date
AP1310A (en) 2004-09-16
GR20010300066T1 (en) 2001-11-30
ES2161206T1 (es) 2001-12-01
US6767747B1 (en) 2004-07-27
EA200100648A1 (ru) 2001-12-24
EP1141687A1 (de) 2001-10-10
EA003262B1 (ru) 2003-02-27
CA2348505C (en) 2005-11-22
CA2348505A1 (en) 2000-06-15
DE19856885C2 (de) 2001-03-15
AP2001002127A0 (en) 2001-06-30
OA11800A (en) 2005-08-10
DE19856885A1 (de) 2000-06-29

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US10352726B2 (en) Thin-film resistive-based sensor
EP0890096B1 (de) Kationselektiver sensor
EP1786927A1 (de) Vorrichtung und verfahren zum nachweis von geladenen makromolekülen
DE10245947B4 (de) Mikrogasanalysesystem mit beheizbarem Filter und Verfahren zur Gasanalyse
DE102010001624A1 (de) Verfahren zur Detektion von zwei oder mehr Gasspezies
DE102005033226A1 (de) Verfahren zur gleichzeitigen Detektion mehrerer unterschiedlicher Luftbelastungen
WO2000034764A1 (de) Messsonde und verfahren zur messung der konzentration von agenzien in gasen und/oder flüssigkeiten
DE102009001249A1 (de) Festelektrolytgassensor für die Messung diverser Gasspezies (I)
DE102009047299A1 (de) Gassensor zur Erfassung eines Gases in einer Flüssigkeit
DE19828093C2 (de) Einrichtung zum Messen physikalischer Größen von ein- oder mehrkomponentigen Flüssigkeiten
Ingleby et al. Effect of micro-electrode geometry on response of thin-film poly (pyrrole) and poly (aniline) chemoresistive sensors
DE10208767C1 (de) Meßanordnung und Verfahren zur Bestimmung der Permeabilität einer Schicht für eine korrodierende Substanz sowie Bauelemente mit dieser Meßanordnung
DE10243510B4 (de) Vorrichtung zur Zustandsbestimmung von Öl
EP1602924B1 (de) Vorrichtung und Verfahren zur Detektion von leichtflüchtigen Organischen Verbindungen
DE102015200217A1 (de) Sensorvorrichtung und Verfahren zum Erfassen zumindest eines gasförmigen Analyten sowie Verfahren zum Herstellen einer Sensorvorrichtung
DE19615061C2 (de) Verfahren zur Messung der Schadstoffausbreitung im Grundwasser und Analysenanordnung zur Durchführung des Verfahrens
DE19924083C2 (de) Leitfähigkeitssensor zur Detektion von Ozon
Falconi et al. 1/f noise and its unusual high-frequency deactivation at high biasing currents in carbon black polymers with residual 1/fγ (γ= 2.2) noise and a preliminary estimation of the average trap energy
EP1191332B1 (de) Suspended Gate Field Effect Transistor (SGFET) mit Polymerbeschichtung als Feuchtesensor
DE19628033C1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Driftkompensation bei chemischen Sensoren
Knake et al. Portable instrument for electrochemical gas sensing
US20050019215A1 (en) Measuring probe for detecting agents and the measurement of their concentrations
DE102004060101B4 (de) Anordnung zur Detektion von Luftinhaltsstoffen und Verfahren zum Betreiben der Anordnung
EP3588081A1 (de) Verfahren und vorrichtung zum kalibrieren eines fluiddetektors mit präkonzentrator
DE102013006291A1 (de) Messung von Kohlenmonoxid, Schwefeldioxid, Stickoxiden, Kohlendioxid und Kohlenwasserstoffen

Legal Events

Date Code Title Description
AK Designated states

Kind code of ref document: A1

Designated state(s): CA US

AL Designated countries for regional patents

Kind code of ref document: A1

Designated state(s): GH GM KE LS MW SD SL SZ TZ UG ZW AM AZ BY KG KZ MD RU TJ TM AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LU MC NL PT SE BF BJ CF CG CI CM GA GN GW ML MR NE SN TD TG

DFPE Request for preliminary examination filed prior to expiration of 19th month from priority date (pct application filed before 20040101)
121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application
WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 1999959234

Country of ref document: EP

WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 09806736

Country of ref document: US

ENP Entry into the national phase

Ref document number: 2348505

Country of ref document: CA

Ref document number: 2348505

Country of ref document: CA

Kind code of ref document: A

WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 200100648

Country of ref document: EA

WWP Wipo information: published in national office

Ref document number: 1999959234

Country of ref document: EP

WWW Wipo information: withdrawn in national office

Ref document number: 1999959234

Country of ref document: EP