WO2001025843A1 - Element a cristaux liquides, dispositif afficheur a cristaux liquides et procedes de fabrication s'y rapportant - Google Patents

Description

明 細

細 液晶素子、 液晶表示装置及びそれ ら の 製造方法 技 術 分 野

本発 明 は、 液晶素子 に 関 し 、 特 に横電界方式の液晶 素子 に 関す る も の で あ る 。 背 景 技 術

(一般的な背景技術）

液晶素子、 特 に液晶表示装置 は、 ノ 一 卜 型パ ソ コ ンやデス ク ト ッ プ パ ソ コ ン の モ ニ タ ー を は じ め 、 ビデオカ メ ラ の ビ ュ ー フ ア イ ン ダ一、 投写型 の ディ ス プ レイ な ど様 々 な機器の表示部や こ れ に 関連 し た部分 等 に使われて お り 、 最近で はテ レ ビの表示部 と し て も 用 い ら れる よ う に な っ て き た。 ま た さ ら に 、 光 プ リ ン タ ーヘ ッ ド 、 光 フ ー リ エ変換素 子、 ラ イ ト ノ、'ルブな ど 、 オ プ ト エ レ ク ト ロ ニ ク ス 関連素子 と し て も 利 用 さ れて レ る 。

さ て 、 現在 にお い て は、 液晶素子 は表示装置 に使われる の が最 も 多 く 、 液晶表示モー ド と し て T N ( ッ イ ス テ ツ ド ネ マ テ ィ ッ ク ） モ ー ド 、 V A (垂直配 向） モ ー ド 、 I P S ( I n — P l a n e — S w i c h i n g ) モー ド 等が一般的で あ る 。

な かで も I P S モー ド は、 横電界方式 あ る い は櫛形電極方式 と も 呼 ばれ、 こ れは液晶分子 を 基板面 に対 し て ほ ぼ平行 に配向 さ せ、 基板面 に平行な電界 を発生 さ せ る こ と に よ り 液晶分子 を 基板面内 で回転 さ せ る た め 、 視角方 向 に よ る 明 る さ の変化が少な く 、 ひ い て は視野角特性 が優れて い る と い う 特徴 を 有す る も の で あ る （ 「液晶ディ ス プ レイ 技 術」 4 頁 産業 図書刊、 そ の他特開平 1 0 — 2 0 6 8 6 7"¾公報 f 。 以上の 他、 I P S 方式の改良 版 と し て 、 電極 間 隔 を狭 く し て斜め電 界 を利用 し て駆動す る F F S モー ド （ F r i n g e F i e l d S w i c h i n g M o d e ) や対向基板側 に 電極 を形成 し て斜め電界 を禾 IJ用 す る H S モー ド（ H y b r i d S w i c h i n g M o d e ) 等があ る 。 なお 、 こ れ ら 両方式 は、 厳密 に は あ る い は純技術的 に は I P S 方式 に含 ま れな い 面 も 有す る が、 後 に 説明す る 本願発 明 の 目 的 、 構成、 効果 に 関 し て は共通す る （ あ る い は、 本願発明 の思想 を利用 し う る ） 。 こ の た め 、 本明細書で は、 特 に そ の 請求の範囲で は、 I P S 方式あ る い は横電界方式 と 記載 し た場合 、 こ れ ら F. F S モ ー ド や H S モー ド を も含め る も の と す る 。

参考 ま で に 、 こ れ ら 3 モー ド を 図 1 に示す。 本図 に お い て 、 1 は、 ア レイ 基板で あ る 。 2 は、 対向基板で あ る 。 3 は、 液晶で あ る 。 6 は、 ソ ース 線で あ る 。 7 は、 走査線で あ る 。 1 7 は、 薄膜半導体で あ る 。 た だ し 、 こ れ ら 各モー ド の技術的 内容 は、 い わ ゆ る 周知技術な の で 、 そ の説明 は省略す る 。 - さ て 、 I P S 方式の みな ら ず、 液晶パ ネ ル内へ の液晶の充填 は、 図 2 に示すよ う に、 先ず 1 枚 の ガ ラ ス 基板 2 に 印刷 に よ り シール樹脂 の 帯 2 0 1 を 薄 く 四角 に 印刷 し 、 次 に他方 の硝子基板 1 と 併せてセ ル を 形成 し 、 そ の後 シール樹脂の 一部 を 欠 い て形成 し た注入 口 よ り セル内 へ液晶 を真空充填 し 、 そ の後注入 口 に紫外線硬化性 の樹脂 2 0 2 を 塗 布 し て液晶 を封入す る 。 そ の後、 該封 ロ 用 樹脂 を 、 紫外線 （ U . V . ) 照射 に よ り 硬化 さ せて い た。

し か し こ の よ う な方法で は、 紫外線樹脂 を 塗布す る と き に注入 口 の 2 枚の ガ ラ ス 基板 の 間 隙部分 に気泡 1 5 1 や異物 1 5 が残 る こ と が あ つ た。 そ し て 、 こ の よ う な気泡等が残 る と 、 図 3 に示すよ う に 、 紫外 線照射す る 際 に紫外線硬化樹脂 内 に 残 っ た気泡や異物等が紫外線 を散 乱屈折 さ せた り 吸収 し た り し 、 紫外線照射方向 か ら みて気泡 の後 ろ 側 に存在す る 紫外線硬化樹脂が紫外線の 照射不足 と な る 。 そ の結果、 そ の ま ま で は単 に 照射不足部分 の紫外線樹脂が未硬化 と な る だ けでな く 使用 時 に未硬化の樹脂が液晶 中 に拡散 し て い く た め 、 液晶 素子 の長期 信頼性 の低下の 一因 と も な つ て い た。 そ し て 、 こ の対策 と し て各方 向 か ら 紫外線 を 照射す る の は、 工程が複雑 と な る 。

次 に 、 こ の I P S モー ド の T F T 液晶表示装置 を連続 し て使用 し て い る と 、 白 黒表示な ら ば本来 白 表示で あ る べ き な の に黒 い点状 に見 え る 表示む ら が発生す る 場合が あ る 。 こ の 、 い わ ゆ る 黒点状 の む ら は、 表示品位 を大 き く 低下 さ せかねな い た めそ の解消 を 図 る 必要が あ る 。 そ し て こ の黒点状の表示む ら の対策、 解決方法 に つ い て は、 特 開平 1 0 — 2 0 6 8 5 7 号 に て言及 さ れて い る 。 それ に よ れ ば、 黒点状の む ら は画素電極、 ソ ー ス 信号配線の保護層 の ク ラ ッ ク 部分で電気化学反 応が起 こ り 、 イ オ ン性物質が生成す る こ と に よ っ て液晶層 の電圧保持 率が低下 し 、 液晶の配列 が変化 し て発 生す る と し て い る （従 っ て、 い わ ゆ る ノ 一マ リ ホ ワ イ ト や ノ ー マ リ ブ ラ ッ ク の表示モ ー ド の如何等 に よ っ て は、 白 い点状の表示む ら の場合 も あ り う る 。 ま た、 カ ラ ー表示 な ら ば、 表示む ら の色彩 は何 も 黒 白 と は限 ら な い 。 こ の た め 、 本明細 書で い う 「黒 い点状 の表示む ら 」 等 は、 「電圧の保持率の低下 に起 因 す る 白 や色彩の付 い た点状 の表示む ら 」 を も含む概念で あ る 。 ） 。 そ の 結果、 保護'層 の厚み を 電極厚み に 比べて厚 く す る か 、 ま た は有機高 分子の保護層 を形成す る こ と で、 黒点む ら を解消 出来 る と し て い る 。

以下、 従来の こ の I P S 方式の液晶表示装置 に つ い て 図面 を 用 い て 説明す る 。

図 4 は、 一の液晶表示装置の ア レイ 基板の 1 画素 の 平面 を模式的 に 示 し た 図で あ る 。 図 5 の （ 1 ) と （ 2 ) は、 各 々 図 4 の A — A 、 B — B 断面 を 示す図で あ る 。 図 6 の （ 1 ) 、 （ 2 ) 、 （ 3 ) は各 々 図 1 の C — C 、 D — D 、 E — E 断面 を 示す図で あ る 。 た だ し 、 （ 2 ) と （ 3 ) に お い て は、 対向基板 は （ 1 ) と 同一で あ る た め 、 そ の 図示 は省略 し て あ る 。

さ て 、 図 4 と 図 5 に お い て 、 5 は共通電極、 7 はゲー ト 信号配線で あ り 、 こ れ ら は同 じ 層 に 形成 さ れて い る 。 次 い で、 絶縁層 8 がそ の 上 層 （液晶層側） に形成 さ れ、 更 に 半導.体層 か ら な る 薄膜 ト ラ ン ジ ス タ ( T F T ) 1 7 、 ソ ー ス 信号配線 6 、 画素電極 4 がパ タ ー ン 形成 さ れ、 そ の上層 に保護層 1 0 が堆積 さ れて ア レイ 基板 1 を構成 し て レゝ る 。 こ の ア レ イ 基板及び こ の ア レ イ 基板 に対向す る 対向 （カ ラ 一 フ ィ ル 夕 ） 基板 2 の対向面側 に配向膜 9 が形成 さ れ、 更 に 両基板 間 に は液晶 層 3 が形成 さ れ液晶表示パ ネ ル を 構成 し て い る 。 図 6 は、 少 し 精密 な 断面 図で あ る 。 な お、 こ の 内容 は追 っ て説明す る 。

こ れ ら 3 図 に示すよ う に 、 T N 型液晶パ ネル と 異な り 、 I P S ノ、 ' ネ ル は電極が同一平面上 に存在 し て い る 。

ま た 、 薄膜 ト ラ ン ジ ス タ の ド レイ ン と接続 さ れた電極 を 画素.電極 と 呼 び、 ド レイ ン と 接続 さ れて い な い電極 を共通電極 と 呼んで い る 。

と こ ろ で、 こ の よ う な液晶表示パ ネ ルの製造工程 に お い て は非常 に 微細な加工が要求 さ れ る た め 、 製造 中 に 異物が混入 し た場合 、 こ れ に 起 因 し てゲー ト 信号配線 と ソ ー ス 信号配線の交差部分ゃゲー ト 信号配 線 と 共通電極の近接部分等で シ ョ ー 卜 が発生 し 、 生産歩留 ま り を 低下 さ せ る 大 き な要因 と な て い る 。

すなわ ち 、 図 4 〜 図 6 に 示すよ う に 、 同 一面上 にゲー ト 信号配線 と 共通電極 を 形成す る と き に は、 通常ス パ ッ タ リ シ グ法等 に よ り 電極材 料 を堆積 さ せた後、 フ ォ ト リ ソ グ ラ フ 法 を 用 い てノ、 タ ー ン 形成 を 行 う が、 図 7 及び図 8 に 示すよ う に 、 レ ジ ス ド'材料等 に含あれた 5 が電極材料 を 除去すべ き 箇所 に存在 し た場合 、 こ の 異物 に よ っ て露光 が出来ず、 本来図 4 に示すよ う に 除去 さ れ別 々 の 配線 · 電極 と し て形 成 さ れ る べ き 箇所が残 り 、 連続 し た配線 と な っ て シ ョ ー ト を起 こ し て し ま う こ と があ る 。

通常、 こ の シ ョ ー ト 箇所 は液晶表示パ ネル 中 で数 ケ 所程度の こ と が 多 い。 そ し て 、 こ の対策 と し て は、 レーザー等 に よ っ て シ ョ ー ト 部分 の切断 を行 う こ と がな さ れて い る 。

し か し 、 レ ーザー で異物 に よ る シ ョ ー ト 部分 を 除去 し た と き に は、 その箇所の電極 も 切断 さ れてお り 、 併せてゲー ト 電極上部の絶縁膜が 破壊 さ れ、 ゲー ト 電極が露出 し て し ま う 。

と こ ろ で、 ゲー ト 電極が露出 し た状態で液晶表示装置の 高温動作 を し た場合 に はそ の部分 に黒点状 の表示ム ラ が発生す る のがわか っ た 。 こ の原 因 と し て は、 液晶層 を駆動す る た め充電す る と き以外 はゲー ト 電位 は負電位 に な っ て い る 、 すなわ ち ほ と ん ど の期 間が、 液晶 中 へ 電子の注入が起 こ り 、 液晶層 中 にイ オ ンが多数生成す る 、 あ る い は液 晶層 中 のイ オ ンがゲー 卜 が露 出 し た部分 に集 ま り 、 イ オ ン の偏在が起 こ る た めで あ る と 考え ら れる 。 こ の発生 メ カ ニ ズム を模式的 に 図 9 に 示す。 本図で は液晶 中 へ注入 さ れる 電子 を e - と し 、 液晶 中 の物質 A がイ オ ン化 さ れて A _ と な る 様子 を模式的 に示 し て い る 。

特 に 、 基板 と 平行 あ る い は斜め の電界 を 印加 し て広視野角 を 実現す る 液晶モー ド で は、 従来 シ ァ ノ 系 の液晶 を 用 い て い た。 し か し 、 シ ァ ノ 系 の液晶 は高速化 に有利で あ る が、 定性 的で は あ る が、 液晶が分解 し ゃす い た め に液晶 内 の イ オ ン量が増加 し やす く 、 こ の面か ら は黒点 状の ム ラ が発 生 し やす い 恐れが あ る 。

と こ ろ で 、 こ の黒点状の ム ラ の発生の 防止 に 関 し て も 、 上記特 開 平 1 0 _ 2 0 6 8 5 7 号公報で言及 さ れ T レ る 。 こ.の公報 に よ れ ば、 I粜' 護膜 あ る い は絶縁膜 8 の 膜厚 を こ の保護膜 に接す る 電極の膜厚よ り 0 4 /i m以上厚 く する こ と が好 ま し い と し て い る 。 し か し 、 こ の 方法で は シ ョ ー ト 対策の た め に レーザー を 照射 し て電極 を切 断す る と 保護膜 が い く ら 厚 く て も 保護膜 は破壊 さ れて し ま う の で黒点状の ム ラ は発生 し て し ま う 。

ま た 、 特 開 平 1 0 — 1 8 6 3 9 1 号公報で は、 液晶 の比抵抗が 1 0 ^{1 3} Ω · c m以上で、 光学的な電圧保持率低下の 原 因 と な る 絶縁膜 を 除 去 し 、 電界 を 発生 さ せ る 電極構造の 一部 を 配向膜 に直接接 し て形成す る 方法が提案 さ れて い る 。

こ の よ う に 、 電極構造の 一部 を配向膜 に 直接接 し て 形成す る 方法で は、 全電極が絶縁膜で被覆 さ れて い る 場合 よ り は黒点状斑点 の大 き さ は弱冠低減 さ れる 。 し か し 、 こ の方法で は黒点状斑点低減 の効果 は小 さ く 、 近年 の 高度な水準の表示性能 を 充たす に は不十分で あ る 。

ま た 、 表示の焼き 付 き現象 （ あ る 一定パ タ ー ン を長時間表示 し た後、 他のパ タ ー ン に切 り 替え て も 前 の パ タ ー ン が残 る 現象） が顕著 に現れ て し ま う 。

こ の た め 、 本願発明者 ら が検討 を行 っ た 結果、 その理 由 と し て以下 の事が判 明 し た。 すなわ ち 、 黒点状 の ム ラ の原因 と な る 液晶 中 の ィ ォ ン性物質 は図 1 0 に模式的 に 示すよ う に 、 ア レイ 基板 1 側だ けで はな く 、 対向基板 2 側 （カ ラ ー フ ィ ル 夕 基板側） に も 広が る 。 こ の た め 、 い く ら 片方 の 基板側 （ ア レイ 基板側） だ け絶縁膜 を 除去 し た電極 を 形 成 し て も 不十分で あ る こ と に よ る 。

こ の対策 と し て、 画素電極、 ソ ー ス 信号配線、 共通配線、 共通電極 か ら 液晶層 へ直接ゲー ト 信号配線 に 対 し 正 の 電位 を 供給 し 、 生成 し た イ オ ン性物質 を 中和す る こ と も 考 え ら れ る が、 こ れ ら の配線 · 電極 は いずれ も 液晶層 を駆動す る の に必要な も の で あ り 、 'こ の配線 · 電極の 駆動 に必要な電位が液晶 と の電極反応 に よ っ て変化 し て し ま う の は表 示画質 の点 で問題 と な る ばか り でな く 、 長期 に 亘 る 信頼性 の観点か ら も 好 ま し く な い。

ま た 、 た だ単に電極 を 形成す る だけで は、 液晶 中 の イ オ ン性物質 の 中 和 、 回収用 の面積が小 さ い た め 、 黒点状 の ム ラ の発生防止 に は不充 分 で あ る 。

ま た横電界方式の液晶パ ネル に お い て 開 口 率 を 高 く す る た め に 、 導 電性 の ブ ラ ッ ク マ ト リ ク ス を 共通電極 と 略 同電位 に し た り 、 ブ ラ ッ ク マ ト リ ク ス の上 に共通電極 と 略 同電位 の 導電膜 を 形成す る 方法 （特 開 平 1 0 — 2 0 6 8 6 7 号公報ゃ特開平 9 — 2 6 9 5 0 4 号公報） が提 案 さ れて い る 。 し か し 先 に述べた よ う に 黒点状の ム ラ の原 因 と な る 液 晶 中 の イ オ ン性物質 は図 1 0 に模式的 に示すよ う に 、 対向基板側 （力 ラ ー フ ィ ルタ 基板側） だ けで はな く 、 ア レイ 基板側 に も 広が る の で、 片方の基板側 （対向基板側） だけ絶縁膜 を 除去 し た電極 を 形成 し て も 不十分で あ っ た。

更 に 、 こ れ ら の方法で は、 黒斑点欠陥 は多少は改善 は さ れ る も の の 、 長期連続駆動 に お い て完全 に な く す こ と はでき な か っ た。

(発明が解決 し ょ う と す る 課題 の面か ら 見た 背景技術）

こ の た め 、 2 枚 の基板間 の確実、 信頼性が高 い液晶注入用 孔 （ 口 ） の封止技術の 開発が望 ま れて い た。

ま た 、 紫外線照射 に よ る 樹脂 の硬化 は、 硬化時期 を任意 に設定 し え る が、 作業者の 目 の保護への 配慮が必要で あ る 。 こ の た め 、 何か他の 樹脂 に し た い と 言 う 要望 も あ る 。

ま た 、 長期 に 渡 る 使用 期 間 を 通 じ て黒表示が発 生 し な い 、 し か も 開 口 率 に 悪影響 を与えず、 他の表示特性 に悪影響 を 与えず、 し か も 製造 工程 が複雑 と な ら ず、 コ ス ト も 易 レ I P s 方式の '液晶表示素-子'や装置

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の 開発が望 ま れて い た。

ま た 、 近年 の表示装置 の 大型 、 高価格化の 下で、 そ の使用 期 間が極 く 長期 に成 る 場合が あ る 。 こ の場合、 上述 の理 由 に よ る イ オ ン の発生 の他 に 、 ユーザの過誤や 自 然放射線 に よ る 液晶 の分解、 加水分解がた と え在 っ た と し て も 、黒表示が発 生 し な い技術の 開発が望 ま れて い た。 発 明 の 開 示

本発 明 は、 以上 の課題 を解決す る こ と を 目 的 と し て な さ れた も ので あ る 。

第 1 の大発明群 は、 2 の発 明群 か ら な る 。 そ し て、 第 1 の 発 明群 に お い て は、 2 枚の基板 間 に液晶 を 狭持 し た液晶素子 に お い て 、 そ の製 造時 に基板間へ液晶 を 充た し た 際用 い た注入 口 の封止 に 、 粘度が 2 0 P a · s 以下、 好 ま し く は 1 O P a · s 以下の樹脂 を 用 レ る こ と を特 徴 と し て レ、 る 。

ま た 、 樹脂の粘度が低下す る よ う に 、 8 0 で 〜 5 0 で 、 脱気の 面か ら は好 ま し く は 8 0 で 〜 9 に赤外線等で力 Π温 し て い る 。 な お 、 赤 外線で加温する の は、 工程 が設備 の 面カゝ ら 容易 な こ と に よ る 。

ま た 、 樹脂の塗布時や塗布後 に 内部の 空気、 空気 中 に浮遊す る 微小 な塵埃や水分か ら な る 異物 を外へ逃すた め 、 2 0 K H z 以上 の超音波 や 1 M H z 以上の メ ガ ソ ニ ッ ク を 用 いて樹脂 に振動 を 与え る こ と を特 徴 と し て レ る 。

ま た 、 樹脂の塗布時若 し く はそ の後 に 、 そ の 内部の 空気 を 逃すた め 大気圧よ り 低 い環境、 例 え ば 0 . 5 気圧、 好 ま し く は 0 . 1 気圧、 よ り 好 ま し く は 0 . 0 1 気圧以下 に お く こ と を特徴 と し て い る 。

ま た 、 樹脂の塗布時若 し く はそ の後 に 、 内部の 空気 を外へ出すた め l g 、 2 g 等の力!]速度 を 与 え る こ と を特徴 と し て い る 。

ま た 、 注入 口 への樹脂 の 塗布時若 し く はそ の後 に 、 樹脂 の拭き 取 り と 再度 の 塗布 を 少な く と も 2 回繰 り 返す こ と を 特徴 と し て い る 。

ま た 、 樹脂 の塗布時若 し く はそ の後 に 、 内部 の 空気 を外へ出すた め カ卩速度 を 与え る こ と を特徴 と し て レ る 。

ま た 、 樹脂 と し て ばァ ク リ ル系やエ ポキ シ 系 の紫外線硬化樹脂 を 用 い る こ と に特徴が あ る 。 こ れ に よ り 、 樹脂 の硬化 の タ イ ミ ン グ を任意 に 設定 し え 、 ま た硬化速度 も 迅速 に な る 。

ま た 、 本発 明群 の他 の発 明で は物の 面か ら 発 明 を と ら え て い る 。 第 2 の発 明群 は、 封止用 樹脂 と し て嫌気性樹脂 を使用 す る も の で あ る 。 こ こ に 嫌気性樹脂 と は、 空気 に触れて い る 間 は硬化せず、 僅か な 隙 間で空気 を 遮断す る こ と に よ り 硬化す る 樹脂 を 言 う 。 一般的 に は 、 ネ ッ ジ ロ ッ ク 等 に し ょ う さ れ る も の で あ り 、 そ の他空気の遮断 と 押圧 や加熱で硬化す る も の も あ る 。

そ の原理で あ る が、 空気 の遮断 に よ り 、 ジ メ タ ァ ク リ レー ト が重合 し てポ リ ア ク リ レー ト に な っ て硬化す る も の で あ る 。 こ の た め 、 接着 面 に ポ リ マ ーが形成 さ れて強大な接着力 が発 生 し 、 空気の遮断後数 時 間で最大強度 に達す る も の で あ る 。 こ の た め 、 紫外線照射が必要で な く 、内部 に 不純物 に よ る 硬化む ら が発生 し に く い と 言 う 性質 を 有す る 。 第 2 の大発 明群 は、 8 つ の発 明群か ら な り 、 各発明群 に お い て は、 前述の ご と く 広義の横電界方式の液晶素子 に お い て、 いわ ゆ る 黒反転 を 消す こ と を 共通 の 目 的 と し て い る 。

従来の方法では、 長期 に渡 っ て の黒表示 防止 の効果がな い の は、 一 般的 に 図 5 等 に示す よ う に従来の カ ラ ー フ ィ ル タ 一側 の基板 は、 最表 面に I T O 等 の導電層 、 次 に ガ ラ ス 基板、 遮光層 、 カ ラ 一 フ ィ ル タ 一 、 オー バー コ ー ト 層 、 配向膜 と い う 構成 に な っ てお り 、 電極の （導電性 の物質） の 露出 し て い る 箇所が存在せず、 黒斑点欠陥 の原 因 で あ る ィ オ ンやイ オ ン化 し た成分がカ ラ ー フ ィ ル タ ー側基板で全 く 回収 さ れな い た め だ と わ か っ た 。 こ の た め 、 何 ら か の 手段でイ オ ン等 を確実 に 、 そ し て ほ と ん ど全て 消去 し続 け る こ と と し た も の で あ る 。

まず、 第 1 の発 明群 に お い て は、 横電界方式の液晶 素子 に お い て 、 こ の電極上 の絶縁層 （膜） と 配向膜の 膜厚 の 和 が非常 に薄 い 時 に は 、 絶縁膜 に 生 じ た細孔等 を 通 じ て液晶層 中 の イ オ ン 、 電荷の 消去がな さ れ る た め 、黒斑点が発生す る こ と がほ ぼな く な る こ と に着 目 し て い る 。 本発 明群 の第 1 の 発 明 にお い て は、 電極 ま た は信号配線か ら な る 金 属層 と 液晶層 と の 間 に絶縁層及び配向膜、 そ の他 こ れ ら を.兼ね る こ と も あ る 保護膜等の 第 3 の 層 が存在す る が、 こ れ ら 絶緣層 と 配 向膜 の厚 みが合わせて 1 0 0 0 · 以下、 好 ま し く は 5 0 0 A よ り 少な い領域が 存在す る こ と を 特徴 と し て レゝ る も ので あ る 。 こ こ に 、 電極 と は純粋な 横電界方式で は画素電極や こ れに付属 （付随） し て の 蓄積容量電極、 共通電極の こ と で あ る 。 H S 等広義の横電界方 式な ら ば、 こ れ に更 に 他の電極等 を含め る 。 ま た 、 画素電極、 共通電極共 に液晶層 と の 間 の 絶縁層 、 配向膜等 の 合計 の膜厚が 5 0 0 A よ り 少な ければ、 特 に 存在 し な い部分があ れ ばなお 良 い 。 なお 、 配向膜が存在 し な い 場合、 一部 存在 し な い領域が在 る 場合、 当 該部 に は何か他 の配向手段が講 じ ら れ て い る のが好 ま し い で あ ろ う 。 勿論、 ブ ラ ッ ク マ ト リ ク ス の 下部 （反 使用 者側） 等で あ れ ば、 こ れ ら の対策 は不必要で あ る 。 ま た 、 将来 の 技術発達の 下で、 配 向膜 の不必要な液晶材料が使用 さ れて も 良 い 。

以下、 各発明 に お い て は、

同 じ く 、 例 え ばブ ラ ッ ク マ ト リ ク ス 等の遮光膜が導電性で あ る こ と を特徴 と し て い る 。 ま た 、 導電性遮光膜 は対向基板 に 形成 さ れ る こ と を 特徴 と し て い る 。 ま た 、 配向膜や保護膜 は導電性物質膜で あ る こ と を 特徴 と し て い る 。

こ れ ら に よ り 、 液晶 中 を イ オ ン 、 電界が移動 し て 、 液晶分子や液晶 層 中 の イ オ ン 、 電荷 を 消去 し 、 絶縁欠 陥部等での液晶分子 の 配列 の不 揃 い 等が消去 さ れ、 ひ い て は 良好な表示がな さ れる 。

以上 の他、 ス イ ッ チ ン グ素子、 本発 明 の効果の発揮 に無関係 と な る 部分 の 電極、 配線上 に は シ ョ ー ト 防止 の た め の絶縁膜やそ の他絶縁 を 兼ねて の 保護膜等が形成 さ れて い る の は 論で あ る 。 勿論 、 他 の 発 明 群 の作用 、 効果 を発揮す る た め 、 一部保護膜等が形成 さ れて い な い こ と も あ り う る 。 ま た 、 導電性遮光膜 に所定の電位 を与え る 構成が付設 さ れた り し て おれば、 なお 良 い 。

同 じ く 、 横電界方式の液晶素子の製造方法 にお い て 、 配向膜 を 塗布 す る 工程 と 、 表示品質 に無関係 の ブ ラ ッ ク マ 卜 リ ク ス 直下部やそ の 中 央部等 の配 向膜 を 除去す る 工程 と を含む こ と を特徴 と す る 。

同 じ く 、 配向膜 を塗布す る 土程 の後 に 、 配向膜 の 一部 を 除去す る ェ ツ チ ン グ工程 、 更 に そ の後 に 残 っ た配向膜 に 、 紫外線照射等で配向処 理 を す る 工程 が存在す る こ と を特徴 と す る 。

同 じ く 、 配向膜の ラ ビ ン グ を行 い 、 電極若 し く は配線上 の 配 向膜 の 少 く も 一部 を 剥離す る （単 に 、 全体 を は ぎ取 る だ けでな く 、 上部 （液 晶層側） の み取 る 、 細孔や亀裂 を 形成す る こ と を含む） こ と を 特徴 と す る 。 こ の 時の ラ ビ ン グの 条件 と し て、 押 し込み量 を 0 . 5 m m以上 にす る と 、 配向膜の剥離が生 じ やす く よ り 良 い結果が得 ら れ る 。

第 2 の 発 明群 にお い て は、 中 和電極でイ オ ン を 消す こ と に着 目 し て' い る 。

本発 明群 の 1 の発明 に お い て は、 ソ ー ス 信号配線、 ゲー ト 信号配線、 画素電極、 共通電極、 共通配線等 の 多 く の 場合原則 と し て金属 か ら な る 導電層 以外 に、 液晶層 に直接 あ る い は配 向層 （膜） を介 し て 間接 的 に接す る 導電性物質か ら な る 中 和電極が、 そ し て 勿論原則 と し て表示 に無 関係 と な る 位置 に 設 け ら れて い る 。

さ て 、 黒点 む ら の発生原 因 は、 生成 し たイ オ ン は 中 和 さ れ る こ と が な い た め 欠 陥部近傍の液晶 中 の イ オ ン 濃度が高 く な り 、 こ の た め電圧 保持率が低下す る こ と に あ る 。 し か し 、 液晶 層 へ直接露出 し て い る か 、 あ る い は導電性物質か ら な る 配 向膜 を 介 し て液晶層 と 電気的 に 通 じ て い る 中 和電極があ る と 、 中 和電極で再び電子 を電極 に 与え る こ と が出 来 る た め 、 絶縁層欠陥部近傍の イ オ ン濃度 は あ ま り 増大せず、 電圧保 持率 の低下 を 最小限 に抑 え 、 ひ い て は黒点む ら の発生 を抑制で き る 。

以下、 各発 明 に お い て は、 中 和電極 を 液晶層 あ る い は配 向層 に 接す る よ う に 形成 し 、 こ の 中 和電極 に ゲー ト 信号配線 に対 し正の 電位 を 供 給す る 手段 を 設 けて い る 。

こ れ に よ り 、 よ り 効果的 に 生成 し た ァ ニ オ ン を 中和 し 、 黒点 む ら の 発 生 を 抑制す る 。

ま た他の発 明 に お い て は、 ゲ一 卜 信号配線 に 沿 っ て 中和電極 を 液晶 層 あ る い は配 向層 に接す る よ う に形成 し 、 こ の 中 和電極 にゲー ト 信号 配線 に対 し 正 の電位 を供給す る 手段 を 設 けて い る 。

こ れ に よ り 、 ァ ニオ ン発生源か ら 画素 へ拡散 し て い く 前 に 、 よ り 効 率的 に 生成 さ れた ァ ニオ ン を 中 和 で き る 。

ま た 、 ゲー ト 信号配線 を 形成 し た基板 と 対向す る 基板上 に 、 ゲー ト 信号配線 に 沿 っ て 中和電極 を液晶層 あ る い は配向層 に接す る よ う に 形 成 し 、 こ の 中 和電極 にゲー ト 信号配線 に対 し 正の電位 を供給す る 手段 を 設 けて レ る 。

こ れ に よ り 、 ゲー ト 信号線 と の 間 隔が広が り ゲー ト 信号配線 と の 間 に 形成 さ れ る 寄生容量 を 低減出来、 ゲ一 ト 信号の遅延 に対す る 影響 を 無 く す る 。 ま た他の 発 明 にお い て は、 ゲー ト 信号配線 を 形成 し た.基板 と 対向す る 基板上 に 、 中和電極 を 液晶層 あ る い は配向層 に接す る よ う に 形成 し 、 こ の 中 和電極 に ゲー ト 信号配線 に対 し 正の電位 を 供給す る 手段 を設 け る と と も に 、 こ の 中 和電極が ブ ラ ッ ク マ ト リ ク ス 等 の遮光膜 あ る い は そ の 一部 と な る よ う に し て レ、 る 。

こ れ に よ り 、 中和電極が ブ ラ ッ ク マ ト リ ク ス 等 と 兼用 さ れ、 該電極 形成工数 を低減でき る 。

以上 の他、 導電性 の遮光膜 と し て、 適宜 C r 、 T i 、 黒鉛、 導電性 樹脂 と し た り 、 酸化モ リ ブデ ン と モ リ ブデ ン の 2 層構造 と し た り し て い る 。 その他、 中 和電極 の 形成 を ソ ー ス 線若 し く はゲー ト 線方向 と し て 、 こ れ ら の線 と 同 時 に 形成す る 等の こ と を も 採用 し た り し て 、 必要 な 工程 の 削減 を 図 っ て い る の は勿論で あ る 。

ま た 、 中 和電極 に所定の 電位 を 与え る 構造 と し た り し て い る の も 勿 論で あ る 。

第 3 の発明群で は、 開 口 部 （露 出部、 絶縁膜の な い部分） と 対向基 板 の 中和電極 と を有す る こ と を特徴 と し て い る 。

本発 明群 の 1 の発 明で は、 画素電極、 共通電極、 信号配線電極 の 少 な く と も いずれか の電極の 上 の 少な く と も 一部分 に絶縁膜 の 形成 さ れ て い な い箇所、 領域が あ り 、 こ の部分 に お い て電極が配向膜の み を 介 し て、 あ る い は直接液晶 に 接 し 、 更 に画素電極及 び前記共通電極が形 成 さ れて い な い基板側 に 中和電極が形成 さ れて お り 、 こ の 中 和電極 の 上 に も 絶縁膜の形成 さ れて い な い 箇所があ る か 、 全 く 形成 さ れて い な レ こ と を特徴 と し て い る 。

上記構成 に よ り 、 ゲー ト 以外の電位が露 出 し て い る 部分の た め に 、 ゲー ト 電位部 に偏在 し たイ オ ンがゲー ト 以外の電位が露出 し て い る 部 分で電子 を 電極 に与え （ あ る い は与え ら れ） 、 非イ オ ン化 さ れ、 消去 さ れる た め イ オ ン の偏在が起 こ ら ず、黒点状ム ラ の発 生が抑 え ら れ る 。 特 に 両基板 （ ア レイ 側基板 と 対向側基板） に絶縁膜 の形成 さ れて い な い箇所が あ る た め 、 イ オ ンが両基板側で非イ オ ン化 さ れ る た め 、 黒 点状 の ム ラ の発生の抑止硬化が第で あ る 。

ま た、 液晶パ ネル に封入 さ れ る 液晶 の 比抵抗が 1 0 ' ³ Ω · c m よ り も 小 さ く し て る 。

こ れに よ り 、 表示 の焼 き付き現象 （ あ る 一定パ タ ー ン を長時 間表示 し た後、 他の パ タ ー ン に 切 り 替 え て も 前のパ タ ー ンが残る 現象） を 抑 え る こ と がで き る 。

ま た 、 中 和電極 に 走査配線の最小の電圧 レ ベル に対 し正の電位が印 カロ さ れ る こ と を 特徴 と し て い る 。

こ れ に よ り 、 効果 的 に 生成 し たイ オ ン を非イ オ ン化す る.こ と がで き る 。

ま た 、 中 和電極が共通電極 と （略） 同電位 に 設定 さ れて い る 。

こ れ に よ り 、 よ り 効果的 に 生成 し たイ オ ン を非イ オ ン化する こ と が で き 、 黒点状ム ラ の 発生 を抑え る こ と がで き る 。 ま た 、 中和電極 を共 通電極 と 同 じ 電位 にす る 場合 に は 中和電極 と し て特別 の電位供給手段 を設 け る 必要がな い の で、 構造 · 工程 の簡略化 を 図 る こ と がで き る 。 ま た、 中 和電極が ブ ラ ッ ク マ ト リ ク ス や カ ラ ー フ ィ ル夕 と 兼用 で あ る こ と を特徴 と し て レ る 。

ま た、 配向膜 の材質 に も 工夫 を 凝 ら し て い る 。

ま た 、液晶パ ネル に T F T 等の ス イ ッ チ ン グ素子が形成 さ れてお り 、 こ の ス イ ッ チ ン グ素子の 上部 に は絶縁膜が形成 さ れる 等 と し て い る 。 こ れ に よ り 、 ト ラ ン ジス タ 、 ノ リ ス 夕 一等の ス イ ッ チ ン グ素子劣化 を 防 ぐ こ と がで き る 。

第 4 の発 明群 で は、 絶縁膜 に 開 口 部 を 有 し 、 こ れ に よ り 液晶 を 中 和 す る こ と に 着 目 し て い る 。

本発 明群 の 1 の発 明 に お い て は、 画素電極及 び対向電極が同 一層 に な く 、 例 え ば下位の （反液晶側 と な る ） 対 向電極の上 に は絶縁膜が形 成 さ れてお り 、 上位 の 画素電極の上 に は全 く 絶縁膜が形成 さ れて い な レ こ と を 特徴 と し て レ る 。

上記構成 に よ り 、 ゲー ト 以外の電位が露 出 し て い る た め 、 ゲー ト 電 位部 に偏在 し たイ オ ン が導電層 の 露出部分 に 拡散 さ れ、 非イ オ ン化 さ れる た め 、 表示ム ラ の 発生 し な い 良好な表示品位 の液晶パ ネル を 得 る こ と がで き る 。

し か も 対向電極の 上 に は絶縁膜があ る の で、 シ ョ ー ト 欠陥が増大す る こ と も な レ 。

ま た 、 画素電極及 び対向電極が同一層 に な く 、 画素電極 の 上 に は絶 縁膜が形成 さ れてお り 、 対向電極の 上 に は全 く 絶縁膜が形成 さ れて い な い こ と を 特徴 と し て レ、 る 。

上記構成 に よ り 、 同様 に シ ョ ー ト 欠 陥が増大す る こ と な く 良好な表 示品位 の液晶パ ネル を 得 る こ と がで き る 。

ま た 、 他の発 明群 と 同 じ く 液晶パ ネル に封入 さ れる 液晶 の 比抵抗が 1 0 ^{1 3} Ω · c mよ り も 小 さ レ こ と を特徴 と し て レ る 。

こ れ に よ り 、 表示 の焼 き 付き現象 を 抑 え る こ と がで き る 。

ま た 、 ス イ ッ チ ン グ素子、 信号配線、 走査配線の上部 （液晶層側） に絶縁膜 を 形成す る こ と を特徴 と し て い る 。

こ れに よ り 、 ト ラ ン ジス タ 等の劣化等 を 防 ぐ こ と がで き 、 ま た 各部 の 保護がな さ れ る 。

ま た、 ラ ビ ン グ方 向 に 沿 っ た部分 に絶縁膜が存在 し て い る こ と を特 徴 と し て レ る 。

上記構成 に よ り 、 絶縁膜が ラ ビ ン グの 際 に 邪魔 に な ら な い の で、 良 好な表示 品位 の液晶パ ネ ル と な る 。

第 5 の 発 明群 では、 遮光層 （膜） や ブ ラ ッ ク マ ト リ ク ス の 少 く も 液 晶層側 の 面の 少 く も 一部 に 凹 凸 の構造 を 有す る よ う に し て い る こ と に 特徴が あ る 。

本発 明群 の 1 の発明 で は、 一方 の基板 に画素電極、 共通電極、 信号 配線、 走査配線等が形成 さ れて お り 、 画素電極等が形成 さ れて い な い 基板側 に ブ ラ ッ ク マ ト リ ク ス ゃ 半 導体の誤作動防止 の た め と 保護 の た め 等の遮光層等の遮光膜が形成 さ れ、 こ の遮光膜 の少 く も 液晶層側の 表面が 凹 凸構造 を有 し て い る こ と を 特徴 と し て い る 。

上記構成 に よ り 、 ゲー ト 電位部 に偏在 し たイ オ ンがゲー ト 以外の電 位が露 出 し て い る 部分 （例 え ばブ ラ ッ ク マ ト リ ク ス 部） で電子 を 与 え 、 非イ オ ン化 さ れる た め に イ オ ン の偏在が起 こ ら ず、 黒点状ム ラ の発生 を.抑 え る こ と がで き る 。 特 に ブ ラ ッ ク マ ト リ ク ス 等の液晶側表面 に 凹 凸が形成 さ れて い る ので、 開 口 率 はそ の ま ま でイ オ ン を 回収す る 表面 積が大 き く 、 十分な効果 を 得 る こ と ができ る 。

ま た 、 各発 明で は、 画素電極が形成 さ れて い る 基板側 に 、 あ る い は 形成 さ れて い な い対向基板側 に ブ ラ ッ ク マ ト リ ク ス 等の遮光膜が形成 さ れ、 そ の表面が凹 凸構造 を 有 し て い る こ と を特徴 と し て い る 。

上記構成 に よ り 、 先の発 明 と 似た作用 がな さ れ、 効果が発揮 さ れ る 。 更 に 、ブ ラ ッ ク マ ト リ ク ス 等が画素電極が形成 さ れて い る 基板側（ ァ レイ 側） に 形成 さ れて い る と き に は、 貼 り 合わせ の マ ー ジ ンが不用 に な り 、 開 口 率 を 大 き く と る こ と がで き る 。

ま た 、 画素電極等が形成 さ れて い な い 基板側若 し く は画素電極等が 形成 さ れて い る 基板側 に 中 和電極が形成 さ れ、 こ の電極の表面が 凹 凸 構造 を 有 し て い る こ と を 特徴 と し て い る 。

上記構成 に よ り 、 イ オ ン の偏在が起 こ ら ず、 黒点状 ム ラ の 発生 を抑 え る こ と がで き る 。 特 に 、 中 和電極の表面 に 凹 凸 が形成 さ れ： Γ い る の で、 イ オ ン を 回収す る 表 面積が大 き く 、 十分 な効果 を 得る こ と がで き る 。

ま た 、 対向電極の表面が 凹 凸構造 を 有 し て い る こ と を特徴 と し て い る 。

上構成 に よ り 、 斜め電界方式 を採用 し た液晶 モ ー ド （念 め た め 記載 す る な ら ば、 横電界方式 に含 ま れる 。 ） に お い て も ゲー ト 電位部 に偏 在 し たイ オ ンがゲー ト 以外 の電位が露出 し て い る 部分で電子 を 電極 に 与 え 、 非イ オ ン化 さ れ る た め に イ オ ン の偏在が起 こ ら ず、 黒点状ム ラ の 発生 を抑え る こ と がで き る 。 特 に 、 対向電極 の表面 に 凹 凸が形成 さ れて い る の で、 イ オ ン を 回収す る 表面積が大 き く 、 十分な効果 を 得 る こ と ができ る 。

ま た 、 ブ ラ ッ ク マ 卜 リ ク ス 等の遮光膜が導電性で あ る こ と を 特徴 と し て レ る 。

上記構成 に よ り 、 ゲー ト 電位部 に偏在 し た イ オ ンがゲー ト 以外の電 位が露出 し て い る 部分で電子 を電極 に 与え 、 非イ オ ン化 さ れ る た め 、 黒点状ム ラ の発生 を 抑 え る こ と がで き る 。

ま た 、 液晶素子のパ ネル に封入 さ れる 液晶 の 比抵抗が 1 0 ^{1 3} Ω · c よ り も 小 さ レ こ と を 特徴 と し て い る 。

こ れ に よ り 、 他の発 明 と 同 じ く 表示の焼 き付 き現象 を 抑 え る こ と が で き る 。

ま た 、 画像表示装置 に使用 さ れ る カ ラ ー フ ィ ル タ 一側部の ブ ラ ッ ク マ ト リ ク ス 等の遮光膜の 少 く も 液晶側の表面が凹 凸構造 を 、 好 ま し く は多数の孔、 凹 凸 の あ る 構造 を 有 し て い る こ と を特徴 と し て い る 。 上記構成 に よ り 、 イ オ ン の偏在が起 こ ら ず、 黒点状ム ラ の発生 を抑 え る こ と ができ る 。 ま た 、 凹 凸構造の 凹部 と 凸部の差が 0 . 1 m以上好 ま し ぐ は 0 . 3 // m以上で あ る こ と を特徴 と し て い る 。

上記構成 に よ り 、 イ オ ン を 回収す る 表面積 を 大 き く と る こ と がで き る の で十分な効果 を 得 る こ と がで き る 。

ま た 、 遮光膜 あ る い は 中 和電極 あ る い は両方 が配向膜 を介 し て あ る い は直接液晶 と 接 し て レゝ る こ と を特徴 と し て い る 。 こ れに よ り 、 配 向 膜の細孔か ら の 、 あ る い は直接のイ オ ン の 回収がな さ れる 。

上記構成 に よ り 、 確実 に イ オ ン を 回収す る こ と がで き る 。

第 6 の 発 明群 に お い て は、 導電性遮光膜 （層 ） を 有する こ と を 基本 と し て る 。

本発 明群 の 第 1 の 発明で は、 一対の基板間 に液晶 を 狭持 し 、 前記基 板の 一方の基板 に画素電極及び共通電極が形成 さ れてお り 、 画素電極 及び共通電極 間 に電圧 を 印加 し て液晶 を 駆動 し 、 他方 の基板 に導電性 の遮光膜 を有す る 液晶素子 に お いて 、 該遮光膜が液晶層 と 接 し て い る か 、 特 に導電性 の配 向膜 を 介 し て液晶層 と 接 し て い る こ と を特徴 と し て い る 。

ま た 、 信号線方向若 し く は走査線方向 に の びる ス ト ラ イ プ状 に 、 あ る い は信号線方向及び走査線方向 に の びる 格子状 に遮光層が液晶 と 接 し て い る 領域が存在す る こ と を 特徵 と す る も の で あ る 。

こ の た め 、 遮光膜が ブ ラ ッ ク マ ト リ ク ス 等 と 兼用 可能 と な り 、 開 口 率 も 向上す る 。

こ れ ら の 液晶素子 に 用 い る 導電性の遮光膜 と し て は、 遮光性 と 導電 性 の あ る 材料で あれ ば何で も 良 い が、 C r 、 T i 、 導電性樹脂等 を 用 い る と 遮光性 も 高 く よ り 良 い 。 ま た、 有機導電膜な ら ば、 工程が楽 に な る 。

ま た、 遮光膜若 し く は遮光膜か ら 伸びる 遮光膜 と ほ ぼ同電位 の配線 と 共通電極若 し く は共通電..極か ら 伸 びる 共通電極 と ほ ぼ同電.位 の配線 がー対 の 基板 間で少な く と も 1 つ 以上 の 導電性物質 に よ り 電気的 に接 続 さ れて レ る こ と を 特徴 と し て い る 。

ま た 、 遮光膜若 し く は遮光膜か ら 伸 びる 配線 と 共通電極若 し く は共 通電極か ら 伸 びる 共通電極 と ほ ぼ同電位 の配線が一対の基板間 で少な く と も 1 つ 以上 の導電性物質 に よ り 電気的 に 接続 さ れて い る こ と を 特 徴 と し て レ る 。

' ま た 、 遮光膜及びオーバー コ ー ト 層 を 有す る 液晶素子 に お い て 、 ォ 一バー コ ー ト 層 に感光性材料 を 用 い 、 導電性の遮光膜上オーバ一 コ 一 ト 層 を フ ォ ト リ ソ グ ラ フ ィ 一 に よ つ て 剥 が し 、 遮光膜上でォ一バー コ 一 ト 層 が存在 し な い領域 を つ く る こ と を 特徴 と し て い る 。 '

他 の 発明で は、 導電性 の遮光膜 に共通電極 と ほ ぼ同電位 の 電位 を 与 え る こ と を特徴 と し て い る 。

第 7 の発 明群で は、 開 口 と 対向基板 に遮光層 （膜） を有 し て い る こ と に特徴が あ る 。

本発 明群 の 1 の発明 は、 一対 の基板 間 に液晶 を挟持 し て お り 、 基板 の 少な く と も 一方の基板 に画素電極、 共通電極、 ' 信号配線電極、 走査 配線電極が形成 さ れてお り 、 画素電極及 び共通電極の 間 に電圧 を 印加 し て液晶分子の配列 を変化 さ せ る 等 の横電界方式の液晶素子 に お い て イ オ ン を 回収す る た め の 導電性物質等が両基板 に形成 さ れて い る こ と を特徴 と し て い る 。

上記構成 に よ り 、 ゲー ト 電位部 に偏在 し たイ オ ンがゲ一 ト 以外 の 電 位が露出 し て い る 部分で電子 を 電極 に 与 え 、 非イ オ ン化 さ れ る た め 、 イ オ ン の偏在が起 こ ら ず、 黒点状ム ラ の発 生 を 抑 え る こ と がで き る 。

ま た 、 画素電極、 共通電極、 信号配線電極の 少な く と も い ずれか の 電極の上の 少な く と も 一部分 に絶縁膜 の 形成 さ れて い な い 箇所が あ り 絶縁膜 の形成 さ れて い な い部分 に よ り 電極が配 向膜 の みを-介 し て あ る い は直接液晶 に接 し てお り 、 画素電極及び共通電極が形成 さ れて い な い基板側 に 導電性の ブ ラ ッ ク マ ト リ ク ス が形成 さ れてお り 、 表示領 域内 の 導電性 の ブ ラ ッ ク マ ト リ ク ス の 一部 あ る い は全部が配向膜 あ る レ は液晶 と 直接接 し て い る こ と を特徴 と し て い る 。

か か る 構成 にす る こ と に よ り 、 ゲー ト 以外 の電位が露出 し て い る た め 、 ゲー ト 電位部 に偏在 し た イ オ ンがゲー ト 以外 の電位が露 出 し て い る 部分で電子 を電極 に与え 、 非イ オ ン化 さ れ る た め に イ オ ン の偏在が 起 こ ら な く な る 。

特 に 両基板 （ア レイ 側基板 と 対向側基板） に絶縁膜 の形成 さ れて い な い 箇所があ る た め にイ オ ン が両基板側で非イ オ ン化 さ れ る た め に 黒 点状ム ラ の発生 を抑 え る こ と がで き る 。

ま た 、 画素電極の 上 に は絶縁膜が全 く 形成 さ れてお ら ず、 絶縁膜 の 形成 さ れて い な い部分で は画素電極が配向膜 の み を 介 し て 、 あ る い は 直接液晶 に接 し て い る 。 ま た 、 画素電極及び共通電極が形成 さ れて い な い基板側 に 導電性 の ブ ラ ッ ク マ ト リ ク ス が形成 さ れてお り 、 表示領 域内 の 導電性 の ブ ラ ッ ク マ ト リ タ ス の 一部 あ る い は全部が配向膜 あ る い は液晶 と 直接接 し て い る 。

上記構成 に す る こ と に よ り 、 黒点状 の ム ラ の発生が抑止 さ れ る 。 ま た 、 共通電極の 上 に は絶縁膜が全 く 形成 さ れてお ら ず、 絶縁膜の 形成 さ れて い な い部分 に よ り 共通電極が配向膜 の み を 介 し て、 あ る い は直接液晶 に接 し て い る 。 そ し て 、 画素電極及び共通電極が形成 さ れ て い な い基板側 に導電性の ブ ラ ッ ク マ ト リ ク ス が形成 さ れてお り 、 そ の 一部 あ る い は全部が配向膜 あ る い は液晶 と 直接接 し て い る こ と を 特 徴 と し て ！^ る 。

上記構成 に よ り 、 共通電極 の 上 に は絶縁膜が全 く 形成 さ れてお ら ず ま た対向基板側 に導電性 の ブ ラ ッ ク マ ト リ ク ス が形成 さ れて い る の で イ オ ン の 消滅 に よ り 黒点状 の ム ラ の発 生 を 抑 え る こ と がで き る 。

ま た 、 画素電極及 び共通電極の上 に は絶縁膜が全 く 形成 さ れてお ら ず、 そ の部分 に て画素電極及び共通電極が配 向膜 の み を介 し て 、 あ る い は直接液晶 に接 し て い る 。 そ し て、 画素電極等が形成 さ れて い な い 基板側 に導電性の ブ ラ ッ ク マ ト リ ク ス が形成 さ れてお り 、 そ の ブ ラ ッ ク マ ト リ ク ス の 一部 あ る い は全部が配 向膜 あ る い は液晶 と 直接接 し て レ る こ と を 特徴 と し て い る 。

上記構成 に よ り 、 黒点状の ム ラ の発 生 を 抑 え る こ と がで き る 。 （た だ し 、 画素電極 の上 と 共通電極の上 に は絶縁膜がな い ので電極間 の シ ョ ー ト は発 生 し やす く な る 。 ）

ま た他の 発 明群 と 同 じ く 、 液晶素子 に封入 さ れ る 液晶 の 比抵抗が 1 0 ^{1 3} Ω · c m よ り も 小 さ ぐ し て表示の焼 き 付 き 現象 （ あ る 一定ノ、 タ ー ン を長時 間表示 し た後、 他のパ タ ー ン に切 り 替え て も 前の パ タ ー ンが 残 る 現象） を抑 え て い る 。

ま た 、 液晶素子 に はそ の駆動の た め ス ィ ツ チ ン グ素子が形成 さ れて お り 、 その上部 に は絶縁膜が形成 さ れて い る 。 こ れ に よ り 半導体等の 劣化 を 防 ぐ こ と がで き る 。

ま た 、 ブ ラ ッ ク マ ト リ ク ス に 走査配線の最小 の電圧 レベル に対 し 正 の電位が印力 Π さ れる こ と を特徴 と し て い る 。

上記構成 に よ り 、 よ り 効果的 に 生成 し たイ オ ン を非イ オ ン化す る こ と がで き 、 黒点状ム ラ の発生 を 抑 え る こ と がで き る 。

ま た、 ブ ラ ッ ク マ ト リ ク ス が共通電極 と 略 同電位 に 設定 さ れて い る こ と を特徴 と し て レ る 。 こ の よ う にす る こ と に よ り 、 よ り 効果的 に 生 成 し たイ オ ン を非イ オ ン化す る こ と がで き 、 黒点状ム ラ の発生 を 抑 え る こ と がで き る 。 ま た ブ ラ ッ ク マ ト リ ク ス を 共通電極 と 同 じ 電位 にす る 場合 に は、 ブ ラ ッ ク マ ト リ ク ス 用 と し て特別 の電位::供給手段 を 設 け る 必要がな い の で、 構造 ' 工程 の簡略化 を 図 る こ と がで き る 。

ま た 、 導電性 の ブ ラ ッ ク マ ト リ ク ス が導電性の樹脂 に よ り 形成 さ れ て い る 。 ' こ の た め 、 カ ラ ー フ ィ ルタ ー を 形成す る の と 同一工程 で作製 で き る 。 ま た C r な ど の 金属 を 形成す る の と 異な り 高温形成 の必要が な い の で、 カ ラ 一 フ ィ ル 夕 一 を 形成 し た後 に ブ ラ ッ ク マ ト リ ク ス を 形 成す る こ と がで き る.、 ひ い て は ブ ラ ッ ク マ ト リ ク ス を 配向膜 あ る い は 液晶 と 接する 箇所 に 形成す る こ と がで き る 。

ま た 、 液晶素子の 基板 間 隔 を 一定 に保持す る ス ぺーサ一 と し て特定 の 箇所 に柱 を 形成す る こ と を 特徴 と し て い る 。 こ の よ う に規制す る こ と に よ り 上下基板が シ ョ 一 ト し に く い箇所 を選んでス ぺーサ一 を 設置 す る こ と がで き る の で、 両基板 に導電性物質が形成 さ れて い て も シ ョ ー ト し に く く な る 。

第 8 の発明群では、 配向膜 と し て あ る い はそ の 少 く も 一部表面、 中 和電極 の少 く も 一部表面等 に発泡剤 に よ る 細胞構造 （非常 に 小 さ い 径 の 空間 を有す る ス ポ ン ジ構造） を有 し 、 こ れに よ り 発生 し たイ オ ン の 吸収 を 図 っ て い る 。 図 面 の 簡 単 な 説 明

図 1 は、 各方式の横電界方式の液晶 素子の構成 を示す図で あ る 。 図 2 は、 従来技術 に お け る 液晶パ ネル内への液晶の充填そ し てそ の後の封入 口 の樹脂の硬化の様子 を 示す図で あ る 。

図 3 は、 封 口 樹脂 中 の気泡で、 樹脂硬化用 紫外線が屈折す る 様子 を 示す図で あ る 。

図 4 は、 従来技術の I P S モ ー ド の液晶表示装置の平面 を 示す図 で あ る 。 図 5 .は、 上記液晶表示装置 の A — A 、 B — B 断面 を示す 図 で あ る 。 図 6 は、 上記液晶表示装置 の C _ C 、 D — D 、 E — E 断面 を 示す 図で あ る 。

図 7 は、 液晶表示装置の 異物付着 の様子 を 示す平面図 で あ る 。 図 8 は、 液晶表示装置の 異物付着 の様子 を示す断面図で あ る 。 図 9 は、 黒点む ら の 発生 メ カ ニズム を示す模式的 に示 し た 図で あ る 。

図 1 0 は、 黒点 む ら の発生 の拡大 の メ カ ニ ズム を 示す模式的 に 示 し た 図 で あ る 。

図 1 1 は、 本発明 の第 1 の大発 明群 の 各実施の形態 を 示す図 で あ る 。

図 1 2 は、 本発明 の第 2 _ 1 - 1 の実施の 形態の液晶素 子 の 断面 図で あ る 。

図 1 3 は、 本発明 の第 2 — 1 — 2 の 実施の形態の液晶素 子 の 断面 図で あ る 。

図 1 4 は、 本発明 の第 2 — 1 一 3 の実施の 形態の液晶素 子 の 断面 図で あ る 。

図 1 5 は、 本発明 の第 2 — 1 一 4 の 実施の形態の液晶素 子 の 断面 図で あ る 。

図 1 6 は、 本発 明 の第 2 — 1 — 5 の実施の形態の液晶素子 の 製造 方法の要部 を 示す図で あ る 。

図 1 7 は 、 本発明 の第 2 — 2 — 1 の 実施の形態の液晶素 子の ァ レ ィ 基板の平面 図 で あ る 。

図 1 8 は、 上記液晶素子 の A _ A 断面の 図で あ る 。

図 1 9 は、 上記実施の形態 の液晶 素子の変形例 の 平面図 で あ る 。 図 2 0 は、 上記実施の形態 の液晶 素子の変形例 の 断面図 で あ る 。 o r o

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図 3 8 は 、 本発 明 の 第 2 — 3 — 6 の 実施 の 形 態 の 液 晶 パ ネ ル の 変 形 例 を 示 す 図 で あ る 。

図 3 9 は 、 本発 明 の 第 2 - 3 一 7 の 実施 の 形態 の 液 晶 パ ネ ル の 構 造 を 示 す 図 で あ る 。

図 4 0 は 、 本発 明 の 第 2 — 3 — 8 の 実施 の 形 態 の 液 晶 パ ネ ル の 変 形例 の 構造 を 示す 図 で あ る 。

図 4 1 は 、 本発 明 の 第 2 — 4 — 1 の 実施 の 形態 の 液 晶 パ ネ ル の 構 造 を 示す 図 で あ る 。

図 4 2 は 、 上記 実施 の 形態 の 比 較例 と し て の 液 晶 パ ネ ル の 構 造 図 で あ る 。

図 4 3 は 、 本発 明 の 第 2 — 4 一 2 の 実施 の 形態 の 液晶 パ ネ ル の 構 造 を 示す 図 で あ る 。

図 4 4 は 、 本発 明 の 第 2 — 4 — 3 と 第 2 — 4 — 4 の 実施 の 形態 の 液 晶 パ ネ ル の 構造 を 示す 図 で あ る 。

図 4 5 は 、 本発 明 の 第 2 — 4 — 5 の 実施 の 形態 の 液 晶 パ ネ ル の 構 造 を 示す 図 で あ る 。

図 4 6 は 、 本発 明 の 第 2 — 4 — 6 と 第 2 — 4 — 7 の 実施 の 形態 の 液 晶 パ ネ ル の 構造 を 示 す 図 で あ る 。

図 4 7 は 、 本発 明 の 第 2 — 4 — 8 の 実施 の 形態 の 液 晶 パ ネ ル の 構 造 を 示す 図 で あ る 。

図 4 8 は 、 本発 明 の 第 2 — 5 — 1 の 実施 の 形態 の 液 晶 素 子 の 対 向 基板 の 構 造 を 示す 図 で あ る 。

図 4 9 は 、 上記実 施 の 形 態 の ブ ラ ッ ク マ ト リ ク ス の 凹 凸部 の 構造 を 示す 図 で あ る 。

図 5 0 は 、 本発 明 の 第 2 — 5 — 2 の 実施 の 形態 の 液 晶 素 子 の ァ レ ィ 基板側 の 構 造 を 示す 図 で あ る 。

図 5 1 は 、 上記 実 施 の 形態 の 変 形例 を 示 し た 図 で あ る 。

図 5 2 は 、 上 記 実施 の 形 態 の 変 形例 を 示 し た 図 で あ る 。

図 5 3 は 、 本発 明 の 第 2 — 5 — 3 の 実施 の 形態 の 液 晶 素 子 の 対 向 基 板側 の 構造 を 示す 図 で あ る 。 .

. 図 5 4 は 、 従来 の I P S と H S モ ー ド の 構 造 を 示 す 図 で あ る 。 図 5 5 は 、 本発 明 の 第 2 — 5 — 5 の 実施 の 形態 の 液 晶 素 子 の 構 造 を 示す 図 で あ る 。

図 5 6 は 、 上記 実 施 の 形態 の 変 形例 の 図 で あ る 。

図 5 7 は 、 上 記 実施 の 形 態 の 変 形 例 の 図 で あ る 。

図 5 8 は 、 上記 実 施 の 形 態 の 変 形 例 の 図 で あ る 。

図 5 9 は 、 本発 明 の 第 2 _ 5 — 7 の 実施 の 形態 の 液 晶 素 子 の 構造 を 示す 図 で あ る 。

図 6 0 は 、 本発 明 の 第 2 _ 6 — 1 の 実施 の 形態 の 液 晶 素 子 を 示 す 図 で あ る 。

図 6 1 は 、 上記 実施 の 形態 の 液 晶 素 子 の カ ラ 一 フ ィ ル タ ー 側 基板 の 概 略 図 で あ る 。

図 6 2 は 、 本発 明 の 第 2 — 6 — 4 の 実施 の 形態 の 液 晶 素 子 の 断 面 図 で あ る 。

図 6 3 は 、 本発 明 の 第 2 — 7 — 1 の 実施 の 形態 の 液 晶 素 子 の ァ レ ィ 側基板 の 構 造 を 示 す 図 で あ る 。

図 6 4 は 、 上記 実施 の 形態 の 対 向 基板 の 構造 図 で あ る 。

図 6 5 は 、 上記 実施 の 形態 と 比 較例 の 相 違 を 示す 図 で あ る 。

図 6 6 は 、 本発 明 の 第 2 _ 7 — 2 の 実施 の 形態 の 液 晶 素 子 の 対 向 基板 の 構造 を 示す 図 で あ る 。

図 6 7 は 、 第 2 — 7 — 1 と 第 2 _ 7 _ 2 の 実施 の 形態 の 変 形例 の 図 で あ る 。

図 6 8 は 、 同 じ く 、 他 の 変 形例 の 図 で あ る 。

図 6 9 は 、 同 じ く 、 他 の 変 形例 の 図 で あ る 。

図 7 0 は 、 同 じ く 、 他 の 変 形例 の 図 で あ る 。

図 7 1 は 、 本発 明 の 第 2 — 7 — 3 の 実施 の 形態 の 液晶 素 子 の ァ レ ィ 基板 側 の 構 造 を 示 す 図 で あ る 。

図 7 2 は 、 上 記 実 施 の 形態 の ア レ イ 側基板 の 変 形 例 の 図 で あ る 。 図 7 3 は 、 本発 明 の 第 2 _ 7 _ 4 の 実施 の 形態 の 液 晶 素 子 の ァ レ ィ 側基板 の 構造 を 示す 図 で あ る 。

図 7 4 は 、 上記 実施 の 形態 の ア レ イ 側 基 板 の 変 形例 を 示 し た 図 で あ る 。

図 7 5 は 、 本発 明 の 第 2 — 7 — 5 の 実施 の 形態 の 液晶 素 子 の ァ レ ィ 基板側 の 構 造 を 示す 図 で あ る 。

図 7 6 は 、 上記 実施 の 形態 の ア レ イ 側基板 の 変 形例 の 図 で あ る 。 図 7 7 は 、 本発 明 の 第 2 — 7 — 6 の 実施 の 形態 の 液 晶 素 子 の 主 と し て ア レ イ 基板側 を 示す 図 で あ る 。

図 7 8 は 、 本発 明 の 第 2 — 8 _ 1 の 実施 の 形 態 の 要部 の 構成 を 示 す 図 で あ る 。

図 7 9 は 、 本発 明 を 採用 し た 反 射型 の 液 晶 表 示 装 置 の 要部 の 構成 を 示す 図 で あ る 。

図 8 0 は 、 本発 明 を 採用 し た 液 晶 光論 理 素 子 の 構成 図 で あ る 。 図 8 1 は 、 本発 明 を 採用 し た L E デ ィ ス プ レ イ の 構成 図 で あ る 。 図 8 2 は 、 本発 明 の 第 1 — 2 — 1 の 実施 の 形 態 の 変 形例 を 示す 図 で あ る 。

図 8 3 は 、 本発 明 の 第 2 の 大 発 明 群 の 各実 施 の 形態 の 変形例 を 示 す 図 で あ る 。 (符号の説明 ）

1 ア レイ 基板 -

2 対向基板

2 6 対向基板側電''極

2 0 1 シール樹脂 の帯

2 0 2 封 口 用 樹脂

2 0 2 1 嫌気性 の封 口 用 樹脂

2 1 1 封 口 部の 治具

2 1 2 封 口 部 の栓

2 1 3 封 口 部の 雄ね じ

2 1 4 封 口 部 の雌ね じ

3 液晶 （層 ）

4 画素電極

4 1 蓄積容量電極 （部）

5 共通電極 （対向電極）

5 1 共通電極

6 信号配線 （ ソ ース 線）

7 走査配線 （ゲー ト 線）

8 絶縁層 （膜）

8 0 絶縁膜 の な い部分

8 1 絶縁層 （膜）

8 2 絶縁膜 の な い 部分

9 酉己向膜

9 1 発泡剤 を 使用 し た 、 あ る い は含ん だイ オ ン回収兼配 向用 の樹脂

1 0 保護膜 （兼絶縁膜等） 1 0 0 保護膜 （ 兼絶縁膜 等 ）

1 1 カ ラ ー フ ィ ル タ ー

1 2 ブ ラ ッ ク マ ト リ ク ス 、 遮光 層

1 2 3 導電性 樹脂膜

1 3 透 明 導 電 膜

1 4 コ ン タ ク ト ホ ー ル

1 5 異物

1 5 1 封 口 樹脂 中 の 空気

1 6 半 導体 層 '

1 7 薄膜 ト ラ ン ジ ス タ

1 7 1 ダイ オ ー ド

1 8 ド レ イ ン

1 9 フ ォ ト レ ジ ス 卜

1 9 1 残 っ た フ ォ ト レ ジ ス ト

2 0 露光 マ ス ク

2 1 ラ ピ ン グ用 ロ ー ラ

3. 0 中 和 電極

6 0 基板 間 隔保持 用 突起物

7 0 ブ ラ シ 発 明 の 実 施 の 形 態

以 下 、 本発 明 を そ の 実施 の 形態 に 基 づ い て 説 明 す る 。

( 第 1 の 大発 明群 }

本大発 明 群 は 2 の 発 明 群 か ら な り 、 液 晶 注入 口 を 封止 す る 樹脂 に 関 す る

(第 1 の 大 発 明群 ） 本発 明群 は、 液晶注入 口 を封止す る の に 用 い る 紫外線硬化性等の樹 脂 の 内部 に 気泡等が入 ら な い よ う に す る こ と に 関す る 。

(第 1 の実施の形態）

( こ こ に 1 一 1 一 1 の実施の形態 と は 、 第 1 の大発 明群 の第 1 の発 明群 の 第 1 の 実施の 形態 を指す も の と す る 。 ）

本実施の 形態 は、 液晶 の注入 口 を封止す る た め の紫外線硬化樹脂 と し て、 粘度が低 い も の を選択す る も の で あ る 。 粘度が低 けれ ば注入 口 に樹脂 を 塗布す る と き に気泡 を 抱え込んで し ま う 可能性が少な く な る 特 に 2 0 P a · s 以下の粘度で あ ればほ と ん ど気泡 を 抱え込む こ と は な く な る た め よ り 良 い 。

第 2 に注入 口 に紫外線硬化樹脂 を 塗布す る と き に基板側 を 赤外線 ( I . R . ) 等で暖め てお く 、 ま た は塗布 し てか ら 樹脂の み、 ま た は 基板全体 を 暖め る 等の加温 を行 い 実質的 に樹脂の粘度 を低下 さ せてや る と 効果が あ る 。 ま た こ のカ卩温 に よ り 樹脂 の温度が 2 0 P a · s 以下 の粘度 に なれ ばほ と ん ど気泡 を抱え込む こ と はな く な る た め よ り 良 い 第 3 に あ ら か じ め紫外線硬化樹脂 を適 当 な温度例 え ば 7 0 ： 〜 8 に 暖め て お き粘度 を低下 さ せて塗布 し て も 良 い 。 加熱温度 は あ ま り 高す ぎる と 樹脂の硬化が始 ま る た め 8 O ： 〜 9 0 で 以下、 樹脂 に よ る が、 作業 の 面か ら は好 ま し く は 5 0 X： 、 よ り 好 ま し く は 4 0 : が良 い。 ま た力 Π熱 し た と き の樹脂 の粘度 は 2 0 P a · s 以下 に な る こ と が 望 ま し い 。

第 4 に従来 の方法で紫外線硬化樹脂 を 塗布 し 、 気泡 を抱え込 ん だ あ と に 、 基板全体、 も し く は樹脂部分 に加速度 （ g ) を与え 重 力 を 発 生 さ せ る 。 こ の 方法 と し て は例 え ば洗濯機 の脱水機 の よ う に 回転す る 装 置 を利用 す る 方法が あ る が、 こ の方法でな く て も 良 い。 こ の よ う に す る こ と に よ っ て気泡や異物そ の他水分 は加速度方 向 と 反対の方 向 に移 動 し 、 消滅す る こ と に な る 。

なお こ の場合 に は、 上下 の基板間 隔 を保持す る の は ガ ラ ス 球や繊維 でな く 、 フ オ ッ ト ソ ン グ ラ フ ィ を使用 し て 一方 の基板上、 T F T 部 を 極力 避 け、 ブ ラ ッ ク マ ト リ ク ス 部直下 （ユーザか ら 見て背面側） に 固 定 し て 形成 し た 間 隔保持用 支持極 と す る の が好 ま し い 。

第 5 に従来の方法で紫外線硬化樹脂 を 塗布 し 、 気泡 を 抱え込んだ あ と に基板全体、 も し く は樹脂部分 に振動 を与 え気泡 を 除去 し てや る と よ い。 ま た こ の時の 振動 を 力！] え る 方法 と し て 、 超音波 （ U . W ) ゃ メ ガ ソ ニ ッ ク （ M . W ) を 用 レ i る と効率的でな お よ 。

なお こ の 際 、 基板 を あ ら か じ め温め てお く と 、 樹脂 の粘度が低下す る た め 、 な お好 ま し い 。 " 第 6 に従来 の方法で紫外線硬化樹脂 を塗布 し 、 気泡 を抱え込んだ あ と に 、 剛体や繊維、 ブ ラ シ 7 0 の よ う な物体で気泡部分 を 接触 さ せ気 泡 を 取 り 除 い て も 良 い 。

第 7 に従来の方法で紫外線硬化樹脂 を 塗布 し 、 気泡 を 抱え込 んだ後 に 、 基板全体、 も し く は樹脂部分 を真空ポ ン プ等で真空 （ V ) 引 き し 、 大気圧よ り も低 い環境、 例 え ば 0 . 1 気圧 に 晒す。 そ う す る と 、 気泡 の 径が大 き く な り 、 最後 に は破裂 し て気泡が消滅す る 。

第 8 に従来の方法で紫外線硬化樹脂 を 塗布 し 、 気泡 を抱え込んだ あ と に 、 布等で一度樹脂 を 軽 く 拭 き 取 る 。 そ う す る と 、 注入 口 付近の ガ ラ ス 表面 は空気が存在 し な い ま ま 薄 く 樹脂が残 り 、 ま た 2 枚 の ガ ラ ス 基板の 隙間 に は樹脂が埋め 込 ま れて し ま う 。 そ し てそ の後 さ ら に紫外 線硬化樹脂 を塗布す る と 、 樹脂 の塗れ性が非常 に 良 く な り 、 気泡が残 ら な く な る 。 ま た こ の 工程 は繰.り 返 し行 っ て も 良 い。

図 1 1 に示すよ う に 、 こ の よ う な種々 の方法で注入 口 に紫外線硬化 樹脂 2 0 2 を 塗布 し た後紫外線 を 照射す る と 、 紫外線硬化樹脂内 に は 全 く 気泡が混入 し て い な い た め 、 照射 さ れた紫外線 は紫外線硬化樹脂 中 を 大 き な屈折 を受 け る こ と な く ほ ぼ均等 に 照射 さ れ （た だ し 減衰 は あ る ） 樹脂全体が完全 に硬化す る 。

こ の よ う に し て作製 さ れた液晶素子 は、 初期特性 と し て は、 電圧保 持率 9 9 % を示 し 、 し か も 高温試験 （ 7 0 ） で は 1 0 0 0 0 時間安 定 、 ま た連続駆動試験 に お い て も 1 0 0 0 0 時 間特性 に変化がな い こ と が確認 さ れた。

(第 2 の発 明群）

(第 1 — 2 — 1 の 実施の 形態）

本実施の形態 は、 図 2 に 示す液晶封入後の封止用 樹脂 に 嫌気性樹脂

'を 使用 し 、 そ の硬化 に紫外線照射 に代え て 、 薄 い 板 に よ る 押圧 を なす も の で あ る 。

な お 、 本実施の形態の 変形例 に つ い て は、 後で図 を 参照 し つ つ 説明 す る 。

{ 第 2 の大発明群 }

本第 2 の大発明群 は、 横電界方式の液晶素子 に お け る 黒点状ム ラ の 発 生 の 防止 に 関す る も の で あ る 。

(第 1 の発明群）

本発明 は、 黒点状ム ラ の 発 生 防止 の た め 、 基板上 に 形成 さ れた電極 等 の 上部 （液晶側） の絶縁膜、 絶縁膜 を 兼ねた保護膜等の厚 さ を 薄 く し た も の で あ る 。

以下、 本発明群 の 各発 明 を 説明す る 。

(第 2 — 1 一 1 の実施 の 形態）

(第 2 _ 1 - 1 と は、 第 2 の大発 明群 の第 1 の発明群 の 第 1 の実施 の 形態 と い う 意味で あ る 。 ）

以下、 図 を参照 し つ つ 、 本実施 の形態 に つ い て説明す る 。 本実施 の 形態の液晶素子 を 、 図 1 2 に 示す。 本図 に示す よ う に こ の 液晶素子 は、 ア レイ 側基板 1 の全面 に 形成 さ れた絶縁膜 8 1 の 表面 に 略平行 に 電界 を発生 さ せ る 画素電極 4 と 共通電極 5 を 有 し 、 画素電極 4 、 共通電極 5 又 は信号配線 6 等か ら な る 金属層 （厳 密 に は、 I T O 等 の非金 属 か ら な る 電極 の こ と も あ る 。 ま た 、 金属線、 金属電極 間 に は基板面か ら 同 一 の 高 さ で絶縁物質 、 配向 膜 の 下部が存在 し て い る の が原則 で あ る 。 ） と 液晶層 3 と の 間 に は上述 の金属層 、 液晶層 と 異な る 第 3 の 層 と し て絶縁層 8 及び配向膜 9 (厳 密 に は、 図 1 2 で は絶縁 層 の上部 と 配 向膜） が存在 し 、 こ れ ら 絶縁層 8 と 配向膜 9 の厚みが合 わせて 5 0 O A よ り 少な い領域が存在す る 。 更 に 詳 し く は、 画素電極 4 、 共通電極 5 、 信号配線 6 等 の 電極 の 上 、 下 に は製造.の都合 も あ り 、 他 の通常絶縁膜 8 1 や保護膜 （図示せず） 等が存在す る 。 そ し て 、 こ れ ら の 液晶層 と 金属層 と の 中 間 に在 る こ と と な る 第 3 の層 と し て の絶 縁層 、 配 向膜等の総厚が非常 に 薄 く 、 1 0 0 0 · 以下、 好 ま し く は 5 0 O A よ り も 薄 ければよ い。 なお 、 図で は 4 0 0 ， で あ る 。

こ れ は、 黒斑点 欠陥 の原因がイ オ ン種成分 の 局所的な集 中 に よ る 電 圧保持率 の低下 に よ る た め 、 集 中 し た イ オ ン種 を電極 を介 し て 回収す る こ と に よ り 、 黒斑点欠陥 を 無 く す も の で あ る 。 つ ま り 電極上 の 絶縁 層 や 、 配向膜 の膜厚 を 出来 る 限 り 薄 く し て 、 それ ら を通 し て あ る い は それ ら の細孔か ら 集 中 し たイ オ ン種 を 電極 に よ り 取 り 込みやす く し て い る の で あ る 。 なお 、 こ の 5 0 0 A よ り 少な い 薄 い領域は電極上全面 に形成 さ れる 必要性 はな く 、 部分的 に 5 0 0 A よ り 少な い と こ ろ が存 在すれ ば良 い 。 し か し 、 も ち ろ んその 領域が多 い ほ ど 、 あ る レゝ は広 い ほ ど効果は あ る 。 なお ま た配向膜 、 そ し て特 に 絶縁層 は いずれ も 何層 に な っ て レゝ て も 良 い 。

以上 の他、 図が煩雑 と な る こ と 、 自 明な こ と の ため 、 わ ざわ ざは図 示 し て い な い が、 ア レイ 側基板 に は、 T F T な ど の ス イ ッ チ ン グ素子.： がマ ト リ ッ ク ス 状 に 設 け ら れて お り 、 信号配線 は、 ス イ ッ チ ン グ素子 に 映像信号 を 供給す る 映像信号配線 と 、 ス ィ ツ チ ン グ素子 を 制御す る 走査信号配線 を含む も の で あ る 。 そ し て T F T は、 映像信号配線か ら の 映像信号電圧 を 走査信号 に 同期 し て画素電極 に 伝達す る 。 ま た 、 T F T の遮断期 間 に 画素電極 の電圧 を 保持す る た め に蓄積容量 を 設 けて い る 。 更 に 、 蓄積容量の 一方 の電極は画素電極 に接続 さ れて い る 。 そ し て 、 上述 の イ オ ン種 を 回収 さ せ る 電極 と し て は、 蓄積容量電極 も含 んで基板上 に 形成 さ れた いずれの電極で も 良 い 。 ま た イ オ ン種 を 回収 さ せ る 電極 と し て 、 電極や 、 信号配線 と し て レゝ る が、 と く に画素電極 4 ま た は共通電極 5 で あ れば、 総電極面積 も 大 き く 、 ま た部分的 に絶 縁層 と 配向膜 の総膜厚が 5 0 0 A よ り 少な い 領域 を形成 し やす く な り 良 い。 更 に 、 画素電極、 共通電極 と も に電極上 の 、 絶縁層 と 配向膜 の 総厚 を 5 0 O A よ り 少な く す る と イ オ ン種 を 回収する 電極面積が増加 し 、 よ り 一層 良 い 。

(第 2 — 1 _ 2 の 実施の形態）

本実施の 形態の液晶素子 は、 一部の配向膜 を 欠 く 場合で あ る 。

図 1 3 に示すよ う 、 本液晶素子では画素電極 4 、 共通電極 5 ま た は 信号配線 6 と 液晶層 3 と の 間 に は絶縁層 8 の みが存在 し 、 し か も そ の 絶縁層 の厚みが 5 0 0 A よ り 少な い領域が存在す る 。 すなわ ち 、 画素 電極 4 、 共通電極 5 、 信号配線 6 等の電極の 上 に は、 絶縁膜や更 に そ の 上 に は、 液晶 の配向 を 制御す る た め の 、 配 向膜が存在す る が、 本 図 で は画素電極 4 上等 こ の配向膜の存在 し な い領域が部分的 に存在 し 、 し か も そ の部分の絶縁層 あ る い は絶縁膜 と 通常絶縁性で あ る 保護層 の 厚 さ が 5 0 O A よ り 少な い も の で あ る 。 こ れ は、 電極上の絶縁層 を よ り 薄 く し 、 配 向膜 を 部分的 に な く す領域 を 設 け る こ と で、 先の 実施 の 形態 よ り も 一層集 中 し たイ オ ン種 を 電極 に よ り 取 り 込みやす く し い る の で あ る 。

なお 、 先の実施の 形態 と 同 じ く こ の 5 0 O A よ り 少な い 薄 い領域は 電極上全面で あ る 必要性 はな く 、 ま た 、 そ の 領域が多 い ほ ど効果 は あ る 。 更 に 、 絶縁層 は何層 に な っ て い て も 良 く 、 電極 は、 蓄積容量電極、 画素電極、 共通電極、 信号配線 を 問 わ な い。

ま た 、 本図では図示 し て い な い が、 ブ ラ ッ ク マ ト リ ク ス の 下部等開 口 率、表示特性 に無関係 な領域 に設 け る の が好 ま し い の は勿論で あ る 。 な お 、 こ の配向膜 の な い部分 は、 対向基板の ブ ラ ッ ク マ ト リ ク ス （図 示せず） 直下 と し た り 、 別途紫外線の照射で電極 に配 向性 を 与 え た り 、 液晶 の配向 を 乱 さ な い様 、 極 く 細 い帯状や点状 （ ピ ン ホール状） と す る の が好 ま し い。 こ の た め 、 ブ ラ ッ ク マ ト リ ク ス の位置 と 整合 さ せた り 、 電極 と し てかか る 配向性 を 有す る こ と と な る 物質 と し た り 、 フ ォ ッ ト ソ ン グ ラ フ ィ で ピ ン ホール を 形成 し た り す る 等の こ と を な し て も 良 ！^ 。

(第 2 — 1 一 3 の 実施の 形態）

本実施の形態は、 電極等が配向膜 9 の み を 介 し て液晶層 に接す る 場 合で あ る 。

本実施の 形態の液晶素子 を 、 図 1 4 に示す。 本図 に示す よ う に 、 こ の 液晶素子 は、 画素電極 4 、 共通電極 5 ま た は信号配線 6 と 液晶層 3 と の 間 に は配向膜 9 のみが存在 し 、そ の厚みが 5 0 0 A よ り 少な い（ 図 で は 3 0 0 · ) 領域が存在す る 。 更 に 詳 し く は、 画素電極 4 、 共通電 極 5 、 信号配線 6 等の 上 に は通常 は絶縁膜や 、 保護膜が存在す る が、 こ れ ら の膜 の 無 い領域が部分 的 に存在 し 、 そ の部分 は配向膜 だ けで あ り 、 し か も そ の厚 さ が 5 0 0 A よ り 少な レ 。

こ れ に よ り 、 先の 実施の 形態 と 同 じ く 、 集 中 し たイ オ ン種 を 電極 を 介 し て 回収 し 、 黒斑点欠 陥 を 無 く す も の で あ る 。 つ ま り 、 電極上 の 配 向膜 を よ り 薄 く し 、

(第 2 — 1 _ 4 の実施 の 形態）

本実施 の 形態 は、 一部 （一種） の電極等が絶縁層 、 配向膜等 を 介 さ ず、 直接液晶層 に接す る 場合で あ る 。

本実施 の 形態の液晶 素子 を 、 図 1 5 に示す。 本図 に示すよ う に 、 こ の液晶素子 は、 画素電極 4 、 共通電極 5 又 は信号配線 6 と 液晶層 3 と が直接接す る 領域が存在す る （ 図で は、 画素電極） 。 更 に 詳 し く は、 通常、 画素電極、 共通電極、 信号配線等の 上 に は絶縁膜や配向膜が存 在す る が、 こ れ ら の 層や膜が全 く 存在 し な い 領域 を形成 し て い る も の で あ る 。 こ れ に よ り 、 電極等 と 液晶 と が直接接す る 領域が設 け ら れ る た め 、 先 の 幾つか の実施の 形態よ り も 更 に集 中 し たイ オ ン種 を電極 に 取 り 込みやす く し て い る 。

(第 2 — 1 — 5 の実施の形態）

本実施の 形態は、先の 各実施の形態 の液晶 素子の製造.方法 に 関す る 。 そ の 1 と し て 、 配向膜が存在 し な い 領域の 在 る 実施の形態 の場合 を 例 に と っ て説明す る 。

本発 明 の液晶素子の製造方法で は、 配向膜 を 塗布す る 工程 の後 に 、 一旦塗布 し た配向膜の 一部 を 除去 し た り 、 落 と し た り する 工程 を 有 し て レゝ る こ と に特徴があ る 。 な お 、 ア レイ 側基板 に 各電極や T F T 、 そ の他絶縁膜 を 形成 し た り 配向膜 を 形成 し た り す る 工程その も の は 、 通 常 の横電界方式の液晶素子 と 異な ら な い 。 こ の た め、 こ れ ら に つ い て の 説明 は省略する 。

こ の 一旦形成 さ れた配向膜 を 除去 し た り 、 落 と し た り す る 工程 の 具 体的 内容 と し て は、 図 1 6 に 示す ご と き 以下の様な手段、 方法が あ る 。

( 1 ) ド ラ イ エ ッ チ ン グゃ ゥ エ ツ ト エ ッ チ ン グ にて基板全面の 配向 膜 を 薄 く す る 。

本 （ 1 ) に お い て は 、 ス ピ ン コ ー ト に よ り 表 面が基板面 に平行 に な る よ う に塗布 し た有機物 か ら な る 配向膜 9 を 0 ³ ( オ ゾ ン ） に てエ ツ チ ン グ除去 し てお り 、 そ の 結果、 電極等 の存在す る 部分 の 配向膜の厚 さ が薄 く な る 。

( 2 ) フ ォ ト リ ソ グ ラ フ ィ 一 を 用 い て 、 所定領域の みの 配向膜 を 薄 く し た り 、 除去 し た り す る 。

本 （ 2 ) に お い て は 、 フ ォ ト リ ソ グ ラ フ ィ ッ ク レ ジス ト 1 9 と 露光 マ ス ク 2 0 を使用 す る 。 そ し て 、 電極上部 の配 向膜の みが薄 く さ れ る 。

( 3 ) レー ヨ ンや コ ッ ト ン布で配向膜表面 を 擦 っ た り 、 ラ ビ ン グ に よ っ て配向膜 を部分的 に 強制的 に剥離す る 。 な お 、 こ の 際の ラ ピ ン グ の押 し込み量が、 0 . 5 m m以上で あ る と 、 配向膜 に よ り 強 い 力 が加 わ り 剥離 し やす い。

本 （ 3 ) にお い て は、 塗布 さ れたた め電極上 に あ る 配向膜 は突出 し た形 と な る が、 こ の た め こ の部分の みが ラ ビ ン グ用 ロ ー ラ 2 1 に よ り 強 く 押 し込 ま れる こ と と な る 。

以上の他、 配向膜 の 材質や押圧力 に よ っ て は、 厳密な剥離でな く 、 微小な傷や ピ ン ホー ルが発生す る こ と も 在 る が、 こ れ ら で も 良 い。

(第 2 の発明群）

本第 2 の発明群 は、 中 和電極 を形成す る も の で あ る 。

以下、 本発 明群 の液晶素子 につ い て 図面 を 参照 し つ つ説明す る 。

(第 2 — 2 — 1 の 実施の 形態）

本実施の 形態の液晶素子の ア レイ 側の平面 を 図 1 7 に 、 図 1 7 の A — A 断面図 を 図 1 8 に 示す。

こ の液晶素子は、 図 4 〜 6 に示す従来技術 の液晶素子 と 比較 し た場 合、 中 和電極 3 0 を 有す る の が大 き く 異な る 。 本実施 の 形態の液晶 素子 は、 画面の対角 1 5 . 2 イ ンチ、 ァ ス ぺ ク ト 比 1 6 ： 9 、 解像度が縦 7 6 8 X横 1 3 6 4 R G B の I P S モー ド T F T 液晶表示パ ネルの も の で あ り 、 こ のパ ネル、 そ し て液晶素子 を 以下の よ う に し て作製 し た 。

両図、 特 に 図 1 8 に お い て 、 ガ ラ ス 基板 を べ一 ス に し た ア レイ 基板

1 上 に ゲー ト 信号配線 7 、 共通配線 5 、 共通電極 5 を 、 ア ル ミ ニ ウ ム を 主成分 と す る 金属膜で成膜 し た後 フ ォ ト リ ソ グ ラ フ で必要な部分 の み残す こ と に よ り 、 同一平面状 に パ タ ー ン形成 し た。 なお 、 ゲー ト 信 号配線 の 材料 は、 配線抵抗の低 い金属が望 ま し い が、 特 に ア ル ミ ニ ゥ ム 系金属 に 限定す る も の で はな く 、 ま た単層膜で も 多層膜で あ っ て も よ い の は 勿論で あ る 。 ，，

次 に 、 絶縁層' 8 と し て 、 ア ル ミ ニ ウ ム 膜 の 陽極酸化層 と 窒化珪素 （ S i N X ) を 、 半導体層 1 7 と し て ア モル フ ァ ス シ リ コ ン を堆積 し た後 (両図で は、 詳 し く は図示せず） 、 ゲー ト 信号配線 7 上 の絶縁層 の 一 部 を 取 り 除 き 、 ス パ ッ タ リ ン グ法 に よ り ァ リレ ミ ニ ゥ ム チ タ ン （ A 1 / T i ) の 2 層 を堆積 さ せて ス イ ッ チ ン グ素子 と な る 薄膜 ト ラ ン ジス 夕 （ T F T ) 1 7 、 ソ ース 信号配線 6 、 画素電極 4 を フ ォ ト リ ソ グ ラ フ 法でパ タ ー ン形成す る と と も に 、 画素電極 と 共通配線の 間で蓄積容 量 4 1 を 形成 し た （図 1 8 では図示せず） 。 更 に 図 1 8 に示す様 に 、 保護層 （膜） 1 0 と し て C V D 法 に よ り 窒化珪素 （ S i N x ) 1 0 を 堆積 さ せた後、 そ の上層 に 中 和電極 3 0 と し て ア ル ミ ニ ウ ム を主成分 と す る 金属膜 を 成膜 し フ ォ ト リ ソ グ ラ フ 法でゲ一 ト 信号配線 7 に 沿 つ てパ タ ー ン形成 し 、 ま た表示領域外で各 中 和電極が連結す る よ う に 形 成 し た。 更 に 、 その 上部 に 配 向膜 9 を 薄 く 形成 し た。

こ の よ う に 形成 さ れた ア レイ 基板 1 と 、 こ の ア レイ 基板 と 対向 し て ブ ラ ッ ク マ ト リ ク ス 1 2 及び赤 、 緑、 青 （ R 、 G 、 B ) の カ ラ 一 フ ィ ル夕 1 1 が形成 さ れた 配向 （カ ラ ー フ ィ ル 夕 ） 基板 2 の対 向面側 に配 向膜 9 ( A L 5 4 1 7 ： J S R 製） を 印刷形成 し 、 ラ ピ ン グ を 施 し た 後、 ギ ャ ッ プ 3 . 5 / m 間 隔で両基板 を 貼 り 合わせ、 内部へ液晶 3 を 真空注入 し I P S パ ネ ル を 形成 し た。 な お 、 注入 し た液晶 は、 p 型成 分 と し て シ ァ ノ 置換 フ エ ニル シ ク ロ へキサ ン を 主成分 と す る p 型 の ネ マ チ ッ ク 液晶で あ る 。 液晶 は電界無印加時 に は上下基板間 で捻れ を持 たずに配 向 し てお り 、 そ の ダイ レ ク 夕 一方 向 は、 ゲー ト 信号配線 7 と 8 0 度 の 角度 を成 し て い る 。 なお 、 本発明 の主 旨 に直接の 関係がな い た め 図示 し て い な い偏光板 は、基板の上下 に互 い の偏光軸 を 直交 さ せ、 かつ 一方 の偏光軸 を液晶 の ダイ レ ク タ ー方 向 と 一致 さ せて貼 り 付 けた 以上 の よ う に し て製作 し た液晶表示パ ネリレ に お い て 、 レーザ一 リ ベ ァ を行 う の と 同様 に ゲー ト 信号配線部分 に レーザー ビ ーム を 照射 し 、 ゲー ト 信号配線部が液晶層 に 露出す る よ う に し た。

こ の パ ネル に駆動回路 を 接続 し 、 6 0 で の雰囲気温度中 で 3 0 0 時 間 ま で連続駆動 さ せた が、 約 3 0 0 時間 ま で はゲー ト 信号配線上 の絶 縁層 の 欠損部分か ら 黒点む ら の発生 は認め ら れず、 3 0 0 時 間で微小 な黒点む ら の発生が認め ら れた。 本実施の 形態で は、 画素電極及び ソ ース 信号配線上 に絶縁層 が存在せず、 電極が露出 し て い る た め 、 ゲ 一 ト 信号配線上の絶縁層 に 欠損部分があ っ て も 、 黒点ム ラ 発生 を 最 小 限 に抑制する こ と が出来た。

尚 、 本実施 の形態で は 中和電極 を アル ミ ニ ウ ム を主成分 と す る 金属 に よ り 形成 し て い る が、 I T O 等の電極材料 と し て も 良 い。

ま た 、 図 1 7 では 中 和電極 3 0 を ソ ー ス 信号配線 6 上 に も 形成 し て い る が、 図 1 9 の （ 1 ) に部分的 に示すよ う に ゲー ト 信号配線 7 上 の み に 形成 し 、 表示領域外で各 中 和電極が連結す る よ う に 形成 し て も 良 い 。 こ の場合 に は ソ ー ス 信号配線 と 中和電極 と の 間 に 形成 さ れ る 寄生 容量 を な く す る こ と が出来、 ソ ー ス 信号 の遅延 を 抑制 出来 る 。

ま た 、 図 1 9 の （ 2 ) に部分 的 に示すよ う に 中 和電極 3 0 を ゲー ト 信号配線 7 上か ら ず ら し て形成 し て も 良 い 。 こ の場合 に はゲー ト 信号 配線 と 中 和電極 と の 間 に 形成 さ れ る 寄 生容量 を低減出来、 ゲー ト 信号 の遅延 を抑制 出来る 。 ゲー ト 信号配線 と 中和電極の 層 間 に 形成 し て い る 保護層 に つ い て も 、 寄生容量の抑制 、 ピ ン ホール発 生確率 の低減 の 観点か ら 厚み を厚 く 形成 し た方がよ く 2 0 0 O A 以上 、 好 ま し く は 3 5 0 O A 以上 の厚みで形成す る 方が良 い 。

更 に 、 中 和電極 と し て金属 ク ロ ム やポ リ ピ ロ ール等 の導電性高分子 を 主体 と し た遮光性 の あ る 材料 を 用 い 、 図 2 0 に示すよ う に ゲー ト 信 号配線 7 と 共通電極 3 の 間 隙や ソ ー ス 信号配線 と 共通電極 の 間隙 を遮 光す る よ う に 形成 し て も 良 い。 こ の場合 に はカ ラ ー フ ィ ルタ 基板上 の ブ ラ ッ ク マ ト リ ク ス を 形成す る 必要がな く な り 、 工数ゃ コ ス 卜 の 削減 が可能 と な る 。

ま た 、 中 和電極が形成 さ れる た め 、 配向膜 の表面は厳密 に は凹 凸が 生 じ る 。 こ の ため 、 紫外線照射で配向性 を有す る こ と と な る 樹脂 を選 定 し て も 良 レ 。

(比較例 1 )

比較例 と し て 、 本実施の 形態 の液晶表示パ ネ ル と 、 画素部全面 に保 護層 と し て窒化珪素 （ S i N X ) を堆積 し た後、 中 和電極 を 形成 し な. い 点 の みが異な る 液晶表示パ ネル を 製作 し た 。 な お 、 こ のパ ネ ルの 画 素部 に お け る ア レイ 形状の 平面 は 図 4 に 、 断面 は 図 5 に示す も の と 同 様で あ る 。

なお 、 こ の 比較例 に お い て は、 勿論ゲー ト 信号配線上の絶縁層 の 欠 損部分 を モ デル的 に作 り 込 む た め 、 ゲー ト 信号配線部分 に レーザー ビ ー ム を 照射 し 、 ゲー ト 信号配線部の絶縁層 の 一部 を 除去 し て い る 。 さ て 、 こ の パ ネ ル に駆動回路 を接続 し 、 6 0 で の雰囲気温度 中 で連 続駆動 さ せた と こ ろ 、 2 0 時 間 でゲー ト 信号配線上の絶縁層 の欠損部 分か ら 黒点 む ら の発 生が認め ら れた。

本比較例で は、 ゲー 卜 信号配線上 の絶縁層 の 欠損部分近傍 に お い て 他の電極がすべて絶縁層 で被覆 さ れて い る た め 、 比較的短時間で黒斑 点 が発生 し て し ま う も の と 思われる 。

(第 2 — 2 — 2 の 実施 の形態）

先の第 1 の 実施の 形態 （以下、 かか る 場合 「第 2 — 2 — 」 は省略す る 。 ） で作成 し た液晶表示パネ ル に駆動回路 を接続す る と と も に 中 和 電極の一端 を こ の駆動 回路 の電源 回路 に 接続 し 、 + 6 V の電位 を 印加 す る よ う に し た。 こ の パ ネル を 6 O : の雰 囲気温度 中 で 5 0 0 時 間 ま で連続駆動 さ せたが、 ゲー ト 信号配線上 の絶縁層 の 欠損部分か ら 黒点 む ら の発生 は認め ら れな か っ た 。

(第 2 — 2 — 3 の実施の形態）

本実施の 形態で は、 中 和電極 を 対向基板側 に 形成す る も の で あ る 。 こ の た め 、 中和電極 の 形成 を 除 い て、 先 の 第 1 の実施の形態 と 同 様 の ア レ イ 基板 を 製作 し た。 そ し て、 こ の 基板 に対向す る カ ラ ー フ ィ ル 夕 基板 2 の ブ ラ ッ ク マ ト リ ク ス 1 2 上 に 先 の 実施の形態 と 同様 の方.法 で 中和電極 3 0 を パ タ ー ン形成 し た。 更 に 、 こ れ ら 両基板 の対向面側 に配向膜 （ A L 5 4 1 7 ： J S R 製） を 印刷形成 し 、 ラ ビ ン グ を 施 し 、 以後、 先の 実施の 形態 と 同様の 工程 で製作 し だ。 ま た 、 レーザー リ ベ ァ を行 う の と 同様 に ゲー ト 信号配線部分 に レ ーザー ビーム を 照射 し 、 ゲー ト 信号配線部が液晶層 に露出す る よ う に し た の も 同様で あ る 。

こ のパ ネル に駆動回路 を接続す る と と も に 、 中 和電極の 一端 を 駆動 回路の電源 に接続 し 、 + 6 V の電位 を 印力 Bす る よ う に し た。 こ の液晶 表示パ ネル を 6 0 で の雰囲気温度 中 で 5 0 0 時間 ま で連続駆動 さ せた が、 ゲー ト 信号配線上 の絶縁層 の 欠損部分か ら 黒点 む ら の発生 は認め ら れな か っ た 。

本実施の 形態で は 中 和電極が形成 さ れて い る た め 、 ゲ一 ト 信号配線 上の絶縁層 の 欠損部分が あ っ て も 黒点 む ら 発生 を 防止する こ と が出来 る 。 ま た本実施の 形態で は、 中 和電極 を ア レイ 基板側 に形成せずカ ラ ー フ ィ ルタ 基板側 に 形成 し た た め 、 ゲー ト 信号配線や 映像信号配線 の 寄生容量がほ と ん ど増加せず、 信号の遅延 の な い液晶表示パ ネ ルが得 ら れる 。

尚 、 本実施の形態 に お い て は 中和電極 を ソ ー ス 信号配線上 に も 形成 し たが図 2 2 の （ 1 ) に部分的 に示すよ う に ゲー ト 信号配線 7 上 の み に 、 あ る い はそ の方 向 の み に 形成 し て も 良 い 。 ま た 中 和電極 を ブ ラ ッ ク マ ト リ ク ス 上 に別 に 形成 し た が、 図 2 2 の （ 2 ) に部分的 に示すよ う に ブ ラ ッ ク マ ト リ ク ス を導電性 の材料、 例 え ば金属 ク ロ ム や ポ リ ピ ロ ール等の導電性高分子 を 主体 と し て形成 し 、 ブ ラ ッ ク マ ト リ ク ス 1 2 自 身 を 中 和電極 3 0 と し て も 良 い。 こ の場合 に は、 中和電極 を別途 形成す る 必要がな い の で、 工数ゃ コ ス 卜 の 削減が可能 と な る 。

(第 3 の発明群）

本発 明群 は、 絶縁膜等の 開 口 部 と 対 向側 の 中 和電極 を組み合わせた も の で あ る 。

(第 2 _ 3 — 1 の 実施の 形態）

図 2 3 は、 本実施の形態 の液晶パ ネルの ア レイ 基板側の平面図で あ る 。

図 2 4 の （ 1 ) は 図 2 3 の A — A 断面図で あ り 、 （ 2 ) は B — B 断 面 図で あ り 、 （ 3 ) は C 一 C 断面図で あ る 。

以下、 両図 に示す液晶パ ネル を説明す る 。

以下、 い わ ゆ る 周知技術の 面が多 い が、 本発 明 に 関係す る 面 も あ る の で 、 T F T を 含 め て 、 こ の 製造方 法 を 簡単 に 説 明 す る 。

ガ ラ ス 基 板 1 上 に 金 属 配線 と し て 映像信号線 （ ソ ー ス ） 6 と 走査信 号線 （ ゲー ト ） 7 を マ ト リ ク ス 状 に 形 成 し 、 そ の 交点 に 能 動 素 子 （ ス イ ッ チ ン グ素 子） と し て 半 導体 層 （ T F T : T h i n F i 1 m T r a n s i s 't' o r j を 形成 す る 。

ガ ラ ス 基板 1 上 に A 1 な ど の 金 属 を 用 い て ゲー ト 電 極 7 と 共 通電極 5 を 選択 的 に （所定位 置 に ） 形 成す る 。

'次 に プ ラ ズマ C V D 法 を 用 い て 第 1 の ゲー ト 絶緣膜 そ し て 保護 膜 1 0 と な る S i N x を 3 0 0 O A の 厚 さ で 形成 し 、 ト ラ ン ジ ス タ の チ ヤ ネ ル部 と な る 半 導体 層 （ ァ モ リレ フ ァ ス シ リ コ ン 層 ） を 5 0 O A の 厚 さ で 形成 し 、 エ ッ チ ン グ ス ト ツ パ 兼 保護 膜 1 0 0 と な る S i N x を 1 5 0 O A の 厚 さ で順次 形成す る 。 こ の 時 に 図 2 4 の （ 3 ) に 示 す よ う に ト ラ ン ジ ス 夕 の チ ャ ネ ル部 の 形成方 法 と し て ゲー ト 電極 の 上 の 絶縁膜 S i N x を ゲー ト 電極 よ り も 小 さ く 形成 し て エ ッ チ ン グ ス ト ツ ノ、' と し そ の 上 に プ ラ ズマ C V D 法 を 用 い て リ ン を 含 む n + の ア モ ル フ ァ ス シ リ コ ン層 を 5 0 O A の 厚 さ で 形成 し 、 ォ ー ミ ッ ク 接合 を 得 る （ n ⁺ ： 高 濃度 の ド ー ピ ン グ で あ り 、 n 型 不純 物 添加 の 割 合 が多 い ） 。

次 に 、 電極 等 を 形成す る 周 辺 部分 に コ ン タ ク ト ホ ー ル を 形成 し 、 配 線部分 と の コ ン タ ク ト が と れ る よ う に す る 。

次 に 、 A l / T i 等 の 金 属 を 用 い て 信 号 配線 （ ソ ー ス 線 ） 6 、 ド レ イ ン線 、 画 素 電極 4 を 4 0 0 0 Aの 厚 さ で 形成 す る 。

そ の 後 、 配線 を 保護す る た め に 第 2 の 絶縁膜 （ パ ッ シ ベ ー シ ョ ン 膜 ） あ る い は保護 膜 1 0 と し て S i N X を プ ラ ズマ C V D 法 を 用 い て 3 5 0 0 Aの 厚 さ で形成 す る 。

と こ ろ で こ の 際 、 基板 を 洗 浄 し た 後 、 レ ジ ス ト を ス ピ ン ナ 一 に よ り 塗布 し 、 マ ス ク 露光 を 行 う こ と に よ り 、 第 2 の 絶縁膜 （ パ ッ シ ベ ー シ ヨ ン 膜 ） 1 0 を 選択 的 に （ 一 部領域 に ） 形成 し 、 画 素 部 に お い て 絶縁 膜 （ あ る い は保護 膜 1 0 ) の 一 部 が形成 さ れ て い な い 領域 8 0 が在 る よ う に す る 。 具体 的 に は 図 2 3 の 中 央や 図 2 4 の （ 1 ) に 示 す よ う に 蓄積容 量部 4 の 上 の 一 部領 域 8 0 に 第 2 の 絶縁膜 （ パ ッ シ ベ ー シ ヨ ン 膜 ） 1 0 を 形成 し な い よ う に す る 。

そ の 後 、 現 像 、 乾燥 を 行 い 、 更 に R I E ( r e a c t i v e i o n e t c h i n g ) に よ り ド ラ イ エ ッ チ ン グ を 行 っ た 後 、 レ ジ ス ト を 除去 す る 。

次 に 、 カ ラ ー フ ィ ル 夕 一 1 1 の つ い た 対 向 の ガ ラ ス 基板 2 側 の ブ ラ ッ ク マ ト リ ク ス 1 2 部 分 に 中 和 電極 と し て A 1 電極 3 0 を 形 成 す る 。

こ の A 1 電極 の 上 に 絶縁 膜 と し て S i N x を 選 択 的 に （ 一部領域 の み に ） 形成す る 。 こ の 際 、 絶縁膜 の 一部 を 除去 し て お き 、 対 向 電極側 で も 発 生 し た イ オ ン を 非 イ オ ン 化 で き る よ う に し て お く 。

図 2 5 は対 向 の ガ ラ ス 基 板側 の 構成 を 示す 上 面 図 で あ る 。

図 2 6 の （ 1 ) は 、 図 2 5 の A — A 断面 図 で あ り 、 （ 2 ) は B — B 断 面 図 で あ る 。 本 図 2 6 に お い て 、 8 2 は対 向 基 板側 の 絶縁膜 で あ り 、 8 2 0 は 中 和 電極 兼 ブ ラ ッ ク マ ト リ ク ス 1 2 の 直 下 に 位置す る そ の 一 部 欠 損部で あ る 。 な お 、 9 は配 向 膜で あ り 、 1 0 は保護膜 で あ り 、 1 1 は カ ラ ー フ ィ Jレ タ で あ る 。

次 に 、 カ ラ ー フ ィ ル タ ー 1 1 の つ い た 対 向 の ガ ラ ス 基板 2 と ア レ イ が 形成 さ れた 基板 1 上 に 配 向 膜 9 ( A L 5 4 1 7 ： J S R 製 ） を 印刷 · 硬化 し 、 ラ ビ ン グ を 施 し た 。

次 に 、 ガ ラ ス 基板 の 縁部 に シ ー ル樹脂 （ ス ト ラ ク ト ボ ン ド ： 三 井 東 圧 製） を 印刷 す る 。 シ ー ル樹脂 中 に は ス ぺ ー サ 一 と し て 4 . 0 u m の ガ ラ ス フ ァ イ ノ 一 （ 日 本電気 硝子製） を 混入 し て い る 。

そ の 後 、 基板 間 隔 を 保持す る た め に 表示領域 内 に ス ぺ ー サ 一 と し て 直径 3 . 5 mの樹脂球 （ェポ ス タ — G P — H C ： 日 本触媒 （株） 製） を 散布す る 。

そ の後、 両基板 を 貼 り 合わせ、 1 5 0 : で 2 時 間加熱す る こ と で シ ール樹脂 を 硬化 さ せた。

以上 の よ う に し て作製 し た 空パ ネル に 誘電率異方性が正 の 液晶 3 を 真空注入法 （空パ ネ ル を 減圧 し た槽内 に 設置 し 、 パ ネ ル内 を 真空 に し た後、 注入 口 を液晶 に接触 さ せ、 槽内 を 常圧 に 戻す こ と に よ り 、 液晶 を パ ネ ル内 に注入す る 方法） に て注入 し た 。

(表 1 ) に用 い た液晶 と そ の 比抵抗 を 示す。

(表 1 )

そ の後、 液晶パネ ルの注入 口 に封 口 樹脂 と し て光硬化性樹脂 （ ロ ッ ク タ イ ト 3 5 2 A : 日 本 ロ ッ ク 夕 イ ト 製） を 注入 口 全体 に塗布 し 、 光 を 1 0 m W / c m ² で 5 分 間 照射 し て封 口 樹脂 を硬化 し た。

そ の後、 こ れ ら 基板 の上下 （ガ ラ ス 基板 の外側） に偏光板 （ N P F — H E G 1 4 2 5 D U ： 日 東電工製、 図示せず） を貼付 し た 。

比較例 と し て 、 （表 2 ) に示すパ ネ ル を作製 し た。

(表 2 )

比較例 2 はゲ一 ト 電位 に偏在 し たイ オ ン を非イ オ ン化す る た め の電極が露出 さ れて い な い の で、 黒点状 ム ラ は大 き い 。

比較例 3 は ア レイ 基板 の絶縁膜 は除去 さ れて い な い が、 対向基板側 に非イ オ ン化す る た め の電極が形成 さ れて い る た め に 、 黒点状 の ム ラ は比較例 1 、 2 よ り は小 さ く な る が、 ま だ不十分で あ る 。

比較例 4 、 5 は ア レイ 基板の絶縁膜が除去 さ れて い る た め に 、 あ る 程度ゲー 卜 電位 に偏在 し たイ オ ン を非イ オ ン化で き る が、 対向基板側 に非イ オ ン化する た め の電極が形成 さ れて い な い 、 あ る い は対向基板 側 の電極が露 出 さ れて い な い た め に 、 黒点状 の ム ラ は比較例 1 、 2 よ り は小 さ く な る が、 ま だ不十分で あ る 。

本実施の 形態で は、 ア レイ 基板 の絶縁膜が除去 さ れてお り 、 か つ 対 向基板側 に も非イ オ ン化す る た め の電極が形成 さ れて い る た め黒点状 の ム ラ が 0 . 1 m m以下 と 十分小 さ く 抑 え る こ と がで き る 。

ま た本実施 の形態 と 比較例 の相違 を 図 2 7 に概念的 に示す。

こ れ ら のパ ネルの ゲー ト 部分 に レーザー を 照射 し て 、 ゲー 卜 の電位 を 露出 さ せ、 7 0 で の 高温槽の 中 に入れ、 1 2 時 間駆動 さ せた後、 中 間調 を表示 さ せて評価 し た。

対向基板側の 中 和電極の電位 は ア レイ 基板側の共通電極 と 同電位 に な る よ う に設定 し た。

その結果、 表 2 に 示すよ う に 比較例 1 、 2 はゲー ト 電位 に偏在 し た イ オ ン を非イ オ ン化す る た め の電極が露 出 さ れて い な い の で、 黒点状 ム ラ は大 き く な つ て し ま う 。

比較例 3 は ア レイ 基板 の絶縁膜 は除去 さ れて い な い が、 対向基板側 に非イ オ ン化す る た め の電極が形成 さ れて い る た め に 、 黒点状の ム ラ は比較例 1 、 2 よ り は小 さ く な る が、 ま だ不十分で あ る 。

比較例 4 、 5 は ア レイ 基板の絶縁膜が除去 さ れて い る た め に 、 あ る 程度ゲー ト 電位 に偏在 し たイ オ ン を非イ オ ン化 で き る が、 対向基板側 に非イ オ ン化す る た め の電極が形成 さ れて い な い 、 あ る い は対向基板 側 の電極が露 出 さ れて い な い た め に 、 黒点状 の ム ラ は比較例 1 、 2 よ り は小 さ く な る が、 ま だ不十分 で あ る 。

本発 明 で は ア レイ 基板 の絶縁膜が除去 さ れて お り 、 かつ 対向基板側 に も 非イ オ ン化す る た め の電極が形成 さ れて い る た め 黒点状 の ム ラ が 0 . 1 m m以下 と 十分小 さ く 抑 え る こ と がで き た。

ま た表 1 カゝ ら わか る よ う に液晶 の 比抵抗 を 1 0 ^{1 3} Ω · c m よ り 小 さ く す る こ と に よ り 表示の 焼 き 付 き の な い 良好な表示 を 得 る こ と がで き た。

(第 2 螭 3 螭 2 の 実施の形態）

図 2 8 に 、 本実施の形態の液晶パ ネ ルの対向の ガ ラ ス 基板側 の構成 を 示す。

本図 の （ 1 ) は平面図で あ り 、 （ 2 ) は （ 1 ) の 断面図で あ る 。 先の 実施の 形態で は対向基板側 の 中 和電極上の絶縁膜の 一部 を 除去 し たが、 本実施の形態で は、 対向基板側の ブ ラ ッ ク マ ト リ ク ス 兼 中和 電極 1 2 上 に は絶縁膜 を 全 く 形成 し て い な い。

そ の他 は、 先の実施の 形態 と 同様で あ る 。

本 図 の よ う にす る と 、 中 和電極 の上 に は絶縁膜が全 く 形成 さ れて い な い の で、 先の実施の形態 に 比較 し て黒点状ム ラ の発生 を さ ら に抑 え る こ と がで き る 。

本実施の 形態等で は図 2 3 の よ う に 蓄積容量の 上の画素電極上 の絶 縁膜 を 除去 し たが、 除去す る 部分 8 0 は図 2 9 と 3 0 に示すよ う に信 号配線電極 6 上 （ 図上、 上下方 向） や画素電極 4 の上 （図上、 画素 の 中央部） や 、 それ ら の電極 に ま た がる 等の よ う に他の組み合わせで除 去 し て も 良 ！^ 。

ま た 、 図 3 1 に示すよ う に 共通電極 5 を 画素電極 4 よ り も 上 に 形成 す る よ う に し 、 共通電極 の上の絶縁膜 の 一部 を 除去 し て も 良 い 。

ま た 、 図 3 2 に示すよ う に共通電極 5 と 画素電極 4 を 同 一層 に 形成 し 、 そ の 上 の絶縁膜の 一部 を 除去 し て も 良 い 。

ま た 、 本実施の形態等で は対向基板側 に形成す る 電極 と し て 図 2 5 と 2 8 に 示すよ う に ブ ラ ッ ク マ ト リ ク ス 部 に マ ト リ ク ス 状 に形成 し た が、 図 3 3 の （ 1 ) に示すよ う に 矢印で示す信号配線電極 6 に対応す る 方向 、 部分 の みや 同 じ く 図 3 3 の （ 2 ) に 示すよ う に走査配線 7 に 対応す る 部分 、 方向 の み等 に だけ形成 し て も 良 く 、 ま た 図 3 4 に 示す よ う に 島状 に形成 し て も 良 い 。

(第 2 — 3 — 3 の実施の形態）

先の 2 つ の実施の形態 は第 2 の絶縁膜 を 除去す る 箇所 と し て蓄積容 量の 上 の 一部の み を 除去 し たが、 本実施の 形態で は、 図 3 5 の （ 1 ) に示す よ う に ス イ ッ チ ン グ素子で あ る T F T の上部 に だけ第 2 の 絶縁 膜 （ノ ッ シベー シ ヨ ン膜） 1 0 を 形成す る も の で あ る （すなわ ち （ 2 ) に示すよ う に画素電極 4 の 上 に は絶縁膜 を 全 く 形成 し な い よ う に す る ） 。 そ の 他 は、 先 の 実施の 形態 と 同様で あ る 。

図 3 5 に 、 本実施の 形態の液晶パ ネ ルの構成 を示す。

本図 の （ 1 ) は平面図で あ り （ 2 ) はそ の 断面図で あ る 。

更 に 、 対 向基板側 に も 、 図 2 5 に示すよ う に 、 中和電極上 に 一部絶 縁膜の 形成 さ れて い な い 箇所 を 形成 し た 。

こ の よ う な構成 にす る こ と に よ り 、 画素電極の 上 に は絶縁膜が全 く 形成 さ れて い な い の で、 先の 2 つ の実施の 形態 に 比較 し て黒点状 ム ラ の発生 を さ ら に抑え る こ と がで き た。

(第 2 _ 3 — 4 の実施の 形態）

本実施の 形態では、 先の実施の 形態 と 異な り 対向基板側 に は絶縁膜 を 形成 し な い。 その他 は、 先 の 実施の 形態 と 同様で あ る 。 すな わ ち 対向基板側 に は図 2 8 に示すよ う に絶縁膜 を形成せず、 ァ レイ 基板側 は 図 3 5 に 示すよ う に ス イ ッ チ ン グ素子で あ る T F T の上 部 に だ け第 2 の絶縁膜 （パ ッ シ ベー シ ヨ ン膜） 1 0 を 形成す る （すな わ ち 、 画 素電極 4 の 上 に は絶縁膜 を全 く 形成 し な い ） 。

こ の よ う に す る こ と に よ り 、 画素電極の 上及び対向基板側 の ブ ラ ッ ク マ ト リ ク ス 兼 中 和電極上 に は絶縁膜が全 く 形成 さ れな い の で、 先の 3 つ の 実施 の 形態 に 比較 し て黒点状ム ラ の発 生 を さ ら に抑 え る こ と が でき る 。

本実施 の 形態 と 先の 実施の 形態 にお い て も 、 対向基板側 は図 3 3 と 3 4 に 示すよ う に し て も 良 く 、 ま た ア レイ 基板側 は、 図 3 6 に示す よ う に 走査配線電極上 、 信号配線電極上 、 あ る い は走査配線電極上 と 信 号配線電極上 に絶縁膜 1 0 を 形成 し て も 良 い 。

(第 2 _ 3 — 5 の 実施 の 形態）

図 3 7 に 、 本実施の形態の液晶パ ネ ルの構造 を 示す。

先の実施 の 形態で 'はガ ラ ス 基板上 に走査線 と 共通電極 を 形成 し 、 そ の上 に第 1 の絶縁膜 を 形成 し 、 そ の上 に 半導体層 、 信号線、 画素電極 を形成 し た が、 本実施の 形態で はガ ラ ス 基板上 に信号線、 ド レイ ン 、 画素電極、 半導体層 を 形成 じ 、 そ の上 に第 1 の絶縁膜 を形成 し 、 そ の 上 に走査線 と 共通電極 を 選択的 に 形成す る 。

すな わ ち 、 先の 第 3 の実施の形態で は画素電極上 の 一部 に絶縁膜が な く 、 共通電極上 に絶縁膜が形成 さ れて い たが、 本実施の 形態で は画 素電極上 に絶縁膜が形成 さ れてお り 、 共通電極 の上 に は絶縁膜が形成 さ れて レゝ な い。

なお 、 対向基板 の 形成 は第 1 の実施 の形態 と 同様で あ る 。

更 に 、 対 向基板側 に は、 図 2 5 に示すよ う に 中 和電極や 中和電極兼 ブ ラ ッ ク マ ト リ ク ス 上 に 一部絶縁膜の形成 さ れて い な い箇所、 領域 を 形成す る 。

こ の よ う に共通電極上 の絶縁膜 と 対向基板上の 中和電極上の絶縁膜 の一部 を 除去す る こ と に よ り 、 ゲー ト 電位部 に偏在 し たイ オ ン が画素 電極部分 に拡散、 非 イ オ ン化 さ れる た め に 黒点状ム ラ の な い 良好な表 示品位 の液晶パ ネ ル を 得 る こ と がで き た 。

(第 2 — 3 — 6 の 実施 の形態）

先の第 5 の実施の形態で は対向基板側 に 絶縁膜の形成 さ れて い る 箇 所 を設 けた が、 本実施の 形態で は絶縁膜 を 形成 し な い 。 そ の他 は、 先 の第 5 の実施の 形態 と 同様で あ る 。

すな わ ち 、 対向基板側 は図 2 8 に示すよ う に絶縁膜 を形成せず、 ァ レイ 基板側 は図 3 7 に示す よ う に ス ィ ツ チ ン グ素子で あ る T F T の上 部 に だけ絶縁膜 （パ ッ シベ ー シ ヨ ン膜） を 形成す る （すな わ ち 共通電 極 の 上 に は絶縁膜 を 全 く 形成 し な い） 。

こ の よ う にす る こ と に よ り 、 共通電極 の 上及び対向基板側の 中 和電 極上 に は絶縁膜が全 く 形成 さ れて い な い の で、 先の第 5 の実施の形態 に 比べて黒点状ム ラ の発生 を さ ら に抑 え る こ と がで き る 。

本実施の形態 と 先の第 5 の実施の 形態 に お い て は、 対向基板側 は図 3 3 と 3 4 に示すよ う に し て も 良 い 。 ま た 、 ア レイ 基板側 は、 図 3 8 に示すよ う に 走査配線電極 に保護膜や こ れ を 兼ねた絶縁膜 1 0 を 形成 し た上、 信号配線電極上 、 あ る い は走査配線電極上 と 信号配線電極上 に絶縁膜 を 形成 し て も 良 い 。

(第 2 — 3 — 7 の 実施の 形態）

図 3 9 に 、 本実施の形態 の 液晶パ ネルの構成 を 示す。

先の第 3 の実施の 形態で は、 ガ ラ ス 基板 1 上 に走査線 と 共通電極 を 形成 し 、 そ の 上 に第 1 の絶縁膜 を 形成 し 、 そ の上 に 半導体層 、 信号線、 画素電極 を 形成 し た が、本実施の 形態で はガ ラ ス 基板 1 上 に 信号線 6 、 ド レイ ン 、 画素電極 4 、 半導体層 を 形成 し 、 そ の 上 に 第 1 の絶縁膜 を 形成 し 、 そ の 上 に走査線 7 と 共通電極 5 と 画素電極 4 を選択的 に 形成 す る 。

すな わ ち 本実施の 形態で は、 画素電極 と 共通電極 を 同一の 層 に 形成 す る の は第 1 の実施の 形態 と 同様で あ る 。

対向基板側 は、 図 2 5 の よ う に 中和電極上 に 一部絶縁膜 の 形成 さ れ て い な い箇所 を 形成す る 。

こ の よ う に 画素電極上及び共通電極上 の絶縁膜 と 対向基板上 の 中和 電極上 の絶縁膜の一部 を 除去す る こ と に よ り 、 ゲー ト 電位部 に偏在 し たイ オ ン が画素電極部分 に拡散、 非イ オ ン化 さ れ る た め に黒点状ム ラ の な い 良好な表示品位の液晶パ ネ ル を 得 る こ と がで き た。

(第 2 _ 3 _ 8 の、実施の形態）

先の 第 7 の 実施の形態で は、 対向基板側 に絶縁膜の 形成 さ れて い る 箇所 を 設 けた が、 本実施の形態で は対向基板側 に は絶縁膜 を 形成 し な い 。 そ の他 は、 先の実施の形態 と 同様で あ る 。

すなわ ち 、 対向基板側 は図 2 8 に示すよ う に絶縁膜 を 形成せず、 ァ レイ 基板側 は図 3 9 に示すよ う に ス ィ ツ チ ン グ素子で あ る T F T の 上 部 に だ け絶縁膜 （パ ッ シベ一 シ ヨ ン膜） を 形成す る （すなわ ち 共通電 極の上 に は絶縁膜 を 全 く 形成 し な い） 。

こ の よ う な構成 に よ り 、 共通電極 の 上及び対向基板側の 中 和電極上 に は絶縁膜が全 く 形成 さ れて い な い の で、 先の実施の 形態 に 比較 し て 黒点状ム ラ の発生 を さ ら に抑 え る こ と がで き る 。

なお 、 本実施の形態等 に お い て も 、 対向基板側 は図 3 3 と 3 4 に示 す よ う な形状で も 良 く 、 ま た ア レイ 基板側 は、 図 4 0 に示すよ う に 走 査配線電極上、 信号配線電極上、 走査配線電極上 と 信号配線電極上 に 絶縁膜 を 形成 し て も 良 い。 ( 第 4 の 発 明 群 ）

本発 明 群 は 、 T F T の 部分 を 除 く 最 上 部 （ 液 晶 層 側 ） の 金 属 層 （ 電 極 信号 線 ） は 開 口 部 と す る も の で あ る 。

( 第 2 — 4 _ 1 の 実 施 の 形態 ）

図 4 1 に 、 本実施 の 形 態 の 液 晶 パ ネ ル の 構成 を 示 す 。

本 図 の （ 1 ) は平 面 図 で あ り 、 （ 2 ) は そ の A — A 断面 の 図 で あ る 。 ( 3 ) は B — B 断面 の ア レ イ 側 基板 の 図 で あ る 。 （ 4 ) は 同 じ C 一 C 断面 の ア レ イ 側基板 の 図 で あ る 。 な お 、 B — B 断面 と C 一 C 断面 の 対 向 基板 は A — A 断面 と 同 じ で あ り 、 こ の た め 図 示 は省 略す る 。

以下 、 本 図 を 参照 し つ っ こ の 液 晶 パ ネ ル を 説 明 す る 。

ガ ラ ス 基 板 1 上 に 金 属 配線 と し て 映 像信 号線 （ ソ ー ス ） 6 と 走査 信 号線 （ ゲー ト ） 7 を マ ト リ ク ス 状 に 形成 し 、 そ の 交点 に 能 動 素 子 （ ス イ ッ チ ン グ 素 子） と し て 半 導体 層 （ T F T ) 1 6 を 形成 し た 。

そ の 形成 で あ る が 、 先ず最初 に ガ ラ ス 基板 1 上 に A 1 等 の 金 属 を 用 い て ゲー ト 電極 7 と 対 向 電極 5 を 選択 的 に 形成 し た 。

次 に 、 プ ラ ズマ C V D 法 を 用 い て 第 1 の ゲー ト 絶縁膜 8 と な る S i N x を 3 0 0 O A の 厚 さ で形成 し 、 ト ラ ン ジ ス タ の チ ャ ネ ル部 と な る 半 導体 層 （ ア モ ル フ ァ ス シ リ コ ン 層 ） を 5 0 O A の 厚 さ で 形 成 し 、 ェ ツ チ ン グ ス ト ツ パ と な る S i N X を 1 5 0 0 A の 厚 さ で順 次 形成 し た こ の 時 に 図 4 1 の （ 4 ) に 示 す よ う に ト ラ ン ジ ス タ の チ ャ ネ ル部 の 形 成方 法 と し て ゲー ト 電極 の 上 の 絶縁膜 S i N x を ゲ ー ト 電極 よ り も 小 さ く 形成 し て エ ッ チ ン グ ス ト ツ ノ と し 、 そ の 上 に プ ラ ズ マ C V D 法 を 用 ！^ て リ ン を 含 む n ⁺ の ア モ ル フ ァ ス シ リ コ ン 層 を 5 0 O A の 厚 さ で 形成 し 、 ォ 一 ミ ッ ク 接 合 を 得 た （ n ⁺ : 高 濃度 の ド ー ピ ン グ で あ り 、 n 型 不純物 添 加 の 割 合 が多 い ） 。

次 に 、 電極等 を 形成 す る 周 辺部分 に コ ン タ ク ト ホ ー ル を 形成 し 、 配 線部分 と の コ ン タ ク 卜 が と れ る よ う に し た 。

次 に 、 A 1 ノ T i な ど の 金 属 を 用 い て 信 号 配線 （ ソ ー ス 線 ） 6 、 ド レ イ ン 線 、 画 素 電極 4 を 4 0 0 O A の 厚 さ で 形成 し た 。

そ の 後 、 配線 を 保 護 す る た め に 第 2 の 絶縁膜 （ ノ、 ' ッ シ ベ 一 シ ョ ン 膜 ） 1 0 と し て S i N X を プ ラ ズマ C V D 法 を 用 ！^ て 3 5 0 O A の 厚 さ で 形 成 し た 。

基板 を 洗 浄 し た後 、 レ ジ ス ト を ス ピ ン ナ 一 に よ り 塗 布 し 、 マ ス ク 露 光 を 行 う こ と に よ り 、' ス ィ ツ チ ン グ素 子 で あ る T F T の 上 部 に だ け 第 2 の 絶縁膜 （ ノ ッ シ ベ ー シ ヨ ン 膜） 1 0 を 形 成 し た （ す な わ ち 、 図 4 1 の 断 面 図 に 示す よ う に 、 画 素 電極 4 の 上 に は絶縁膜 を 形成 し な い よ う に し た ） 。

そ の 後、 現 像 、 乾燥 を 行 っ た 後 、 R I E に よ り ド ラ イ エ ッ チ ン グ を 行 っ た 後 、 レ ジ ス ト を 除去 し た 。

ま た 、 比 較例 と し て 図 4 2 に 示す よ う な 画 素 全体 に 第 2 の 絶縁膜 が 形成 さ れ た パ ネ ル も 作 製 し た 。

こ れ ら の 基板 の ゲ ー ト 部分 に レ ーザ一 を 照 射 し て 、 ゲー 卜 の 電位 を 露 出 さ せた 。

次 に 、 カ ラ 一 フ ィ ル タ ー 1 1 の つ い た 対 向 の ガ ラ ス 基板 2 と ア レ イ が形成 さ れ た 基板 1 上 に 配 向 膜 9 ( A L 5 4 1 7 ： J S R 製 ） を 印刷 し 、 ラ ピ ン グ を 施 し た 。

ラ ビ ン グ は 、 ア レ イ 基板 の 信 号配線 （ ソ ー ス ラ イ ン ） 6 に 沿 っ た 方 向 で行 い 、 ア レイ 基 板 1 と カ ラ ー フ ィ ル タ ー 基 板 2 の ラ ビ ン グ方 向 が パ ラ レ ル と な る よ う に し た 。

次 に 、 ガ ラ ス 基板 2 の 縁部 に シ ール樹脂 （ ス ト ラ ク ト ポ ン ド ： 三 井 東圧製） を 印刷 し た 。

シ ー ル樹脂 中 に は ス ぺ ー サ 一 と し て 4 . 0 m の ガ ラ ス フ ァ イ バ ー ( 曰 本電気硝子製） を 混入 し た。

そ の後、 基板 間 隔 を 保持す る た め に 表示領域内 に ス ぺーサ 一 と し て 直径 3 . 5 /x mの樹脂球 （ ェポ ス タ ー G P — H C ： 日 本触媒 （株） 製） を 散布 し た。

そ の後基板 1 及び対 向基板 2 を 貼 り 合わせ、 1 5 O : で 2 時間加熱 し て シール樹脂 を硬化 さ せた 。

以上 の よ う に し て作製 し た 空パ ネル に誘電率異方性が正 の液晶 3 を 真空注入法 （空パ ネル を 減圧 し た槽内 に 設置 し 、 パ ネ ル内 を 真空 に し た後、 注入 口 を液晶 に 接触 さ せ、 槽内 を 常圧 に戻す こ と に よ り 、 液晶 を パ ネル内 に 注入す る 方法） に て注入 し た。

(表 1 ) に 、 用 い た液 晶 と そ の 比抵抗 を 示す。

(表 1 )

そ の後、 液晶パ ネルの注入 口 に 封 口 樹脂 と し て光硬化性樹脂 （ ロ ッ ク タ イ ト 3. 5 2 Α : 日 本 ロ ッ ク タ イ ト 製） を注入 口 全体 に塗布 し 、 光 を 1 0 m W c m ² で 5 分間 照射 し て封 口 樹脂 を硬化 し た。

こ れ ら 基板 1 、 2 の 上下 （ ガ ラ ス 基板 の外側） に偏光板 （ N P F — H E G 1 4 2 5 D U : 日 東電工製） を貼付 し た 。

こ れ ら のパ ネ ル を 7 0 で の 高温槽の 中 に入れ、 1 2 時 間駆動 さ せた 後、 中 間調 を表示 さ せて評価 し た と こ ろ 、 画素全 面 に S i N X が形成 さ れて い る 従来の液晶パ ネルで は、 レーザー を 照射 し た箇所か ら 表示 ム 乡 が発 生 し て い た の に対 し て 、 画素電極上部の絶緣膜 を 除去 し たパ ネ ルで は表示ム ラ はな く 、 良好な表示が観察で き た。 画素電極上部の絶縁膜 を 除去す る こ と に よ り 、 ゲー ト 電位部 に 偏在 し たイ オ ン が画素電極部分 に拡散、 非イ オ ン化 さ れる た め に 表示ム ラ の な い 良好な表示品位の液晶パ ネ ル を 得 る こ と がで き た。

ま た表 1 カゝ ら ゎ カゝ る よ う に 、 液晶 の 比抵抗 を 1 0 】 ³ Ω · c m よ り 小 さ く す る こ と に よ り 表示の焼 き付 き の な い 良好な表示 を得 る こ どがで き た。

なお 、 従来 は第 2 の絶縁膜 は画素部全面 に 形成 さ れて い る が、 電極 を 取 り 出 す周辺部分 に は形成 さ れて な い 。 こ の た め 、 その た め の 工程 が必要で あ る 。 さ て 、 本実施の形態で は画素 内 に第 2 の絶縁膜が形成 さ れて い な い箇所 を 形成す る が、従来の マ ス ク を 変更する だ けで 良 く 、 工程数 は変わ ら な い 。

(第 2 — 4 一 2 の実施の形態）

図 4 3 に 、 本実施の形態の液晶パ ネ ルの構成 を 示す。

本図 の （ 1 ) は平面図で あ り 、 （ 2 ) 〜 （ 4 ) は、 断面図 で あ る 。 な お 、 対向基板側の B — B 断面、 C — C 断面 は A — A 断面 と 同 じ で あ る 。

本実施の 形態 は、 第 2 の絶縁膜 8 1 を T F T 上 と信号配線 （ ソ ー ス 配線） 6 上 に形成す る 以外 は先の実施の 形態 と 同様で あ る 。

ラ ピ ン グの方 向 は、 ア レイ 基板の信号配線 （ ソ ース ラ イ ン） 6 に 沿 つ て行 い 、 ア レイ 基板 と カ ラ ー フ ィ ル タ ー基板 と で ラ ビ ン グ方 向 がパ ラ レル に な る よ う に し た。

本図 の よ う な構成 にす る こ と に よ り 、 T F T と （ ソ ース ） 信号配線 6 を保護す る こ と がで き る 。

ま た第 2 の絶縁膜が信号配線 に沿 っ て形成 さ れてお り 、 ラ ビ ン グ も ソ ー ス 信号配線 に 沿 っ て行 う の で、 絶縁膜が ラ ビ ン グの際 に邪魔 に な ら な い の で 良好な配向 を得 る こ と がで き る 。 (第 2 _ 4 — 3 の 実施 の 形態）

図 4 4 の （ 1 ) に 、 本実施の形態 の液晶パ ネ ルの構成 を 示す。

本図 にお い て 、 8 1 は T F T 上 の絶縁膜で あ る 。 こ の第 2 の絶縁膜 8 1 を T F T 1 7 上 と 走査配線 （ゲー ト 配線） 7 上 に 形成す る こ と と ラ ビ ン グ方向及び液晶以外 は先の第 1 の実施の形態 と 同様 で あ る 。

こ の よ う な構成 に す る こ と に よ り 、 T F T と 走査配線 7 を保護す る こ と がで き る 。

ま た第 2 の絶縁膜 8 1 が走査配線 7 に 沿 っ て 形成 さ れてお り 、 ラ ビ ン グ も 走査配線 に沿 っ て行 う の で 、 絶縁膜が ラ ビ ン グの際 に 邪魔 に な ら な い ので 良好な配 向 を 得 る こ と がで き る 。 第 1 の実施の形態で は、 誘電率異方性が正の液晶 を 用 い たが、 本実施の 形態で は誘電率異方性 が負 の液晶 を 用 い る こ と に よ り ラ ビ ン グ方向 を 走査配線方向 にす る こ と がで き る 。

(第 2 _ 4 _ 4 の 実施の 形態）

図 4 4 の （ 2 ) に 本実施の形態 の液晶パ ネ ルの構成 を示す。

本実施の 形態 は、 第 2 の 絶縁膜 8 1 を T F T 1 7 上 と 信号配線 （ ソ —ス 配線） 6 上 と 走査配線 （ゲー ト 配線） 7 上 に 形成す る 以外は第 1 の 実施の形態 と 同様 で あ る 。

こ の よ う な構成 にす る こ と に よ り 、 T F T と 信号配線 と 走査配線 を 保護す る こ と がで き る 。

(第 2 _ 4 — 5 の実施の 形態）

図 4 5 に 、 本実施の 形態 の液晶パ ネルの構成 を 示す。

本図 にお い て も 、 対向基板側 は全て A — A 断面 と 同 じ で あ る 。

第 1 の実施の形態で は、 ガ ラ ス 基板 1 上 に 走査線 と 対向電極 を 形成 し 、 そ の上 に 第 1 の絶縁膜 を 形成 し 、 そ の 上 に 半導体層 、 信号線、 画 素電極 を形成 し 、 そ の 上 に 第 2 の絶縁膜 を 部分 的 に形成 し た が、 本実 施 の 形態 で は ガ ラ ス 基 板 上 に 信 号線 6 、 ド レ イ ン 、 画 素 電極 4 、 .半 導 体 層 1 6 を 形成 し 、 そ の 上 に 第 1 の 絶縁膜 8 を 形 成 し 、 そ の 上 に 走 査 線 7 と 対 向 電極 5 を 選択 的 に 形成 し 、 そ の 上 に 第 2 の 絶縁 膜 8 1 を 部 分 的 に 形成 し て い る 。

す な わ ち 、 第 1 の 実 施 の 形態 で は画 素 電極 4 上 に 絶縁膜 がな く 、 対 向 電極上 に 絶縁膜 が形成 さ れ て い た が、 本 実施 の 形 態 で は画 素 電極 4 上 に 絶縁膜 8 1 が形 成 さ れ て お り 、 対 向 電極 5 上 に 絶縁膜が形成 さ れ て レ な い 構成 で あ る 。

こ の よ う に す る こ と に よ り 、 ゲー ト 電位 部 に 偏 在 し た イ オ ン が画 素 電極部分 に 拡散 し 、 非 イ オ ン 化 さ れ る た め に 表 示 ム ラ の な い 良 好 な 表 示 品位 の 液 晶パ ネ ル を 得 る こ と がで き た 。

( 第 2 — 4 — 6 の 実 施 の 形態 ）

図 4 6 の （ 1 ) に 本 実 施 の 形 態 の 液 晶 パ ネ ル の 構 成 を 示 す 。

本実施 の 形態 は 、 第 2 の 絶縁膜 を T F T 上 と 信号 配線 （ ソ ー ス 配線） 6 上 に 形成す る 以外 は 先 の 第 5 の 実施 の 形態 と 同 様 で あ る 。

ラ ビ ン グ の 方 向 も ア レ イ 基板 の 信号 配線 （ ソ ー ス ラ イ ン ） に 沿 っ た 方 向 で行 い 、 ア レ イ 基 板 と カ ラ ー フ ィ ル タ ー 基板 の ラ ビ ン グ方 向 がパ ラ レ ル な 方 向 に な る よ う に し た 。

こ の よ う な に す る こ と に よ り 、 T F T と 信 号 配線 を 保護す る こ と が で き る 。

ま た 第 2 の 絶縁膜 が信 号 配線 に 沿 っ て 形成 さ れ て お り 、 ラ ビ ン グ も 信 号配線 に 沿 っ て 行 う の で 、 絶縁膜 が ラ ビ ン グ の 際 に 邪魔 に な ら な い の で 良 好 な 配 向 を 得 る こ と がで き る 。

(第 2 _ 4 — 7 の 実施 の 形態 ）

図 4 6 の （ 2 ) に 本実 施 の 形態 の 液晶 パ ネ ル の 構成 を 示す 。

本実施 の 形態 は 、 第 2 の 絶縁膜 を T F T 上 と 走査 配線 （ ゲー ト 配線） 7 上 に 形成す る こ と と ラ ビ ン グ方向及 び液 晶以外 は先の第 5 の実施 の 形態 と 同様で あ る 。

こ の よ う にす る こ と に よ り 、 T F T と 走査配線 を保護す る こ と がで き る 。

ま た第 2 の絶縁膜が走査配線 に沿 っ て形成 さ れてお り 、 ラ ビ ン グ も 走 ¾配線 に 沿 っ て行 う の で、 ^緣膜が ラ ビ ン グの 際 に 邪魔 に な ら な い の で 良好な 配 向 を得 る こ と がで き る 。

(第 2 _ 4 — 8 の 実施の形態）

図 4 7 に 、 本実施の 形態の液晶パ ネルの構成 を 示す。

本実施の 形態 は、 第 2 の絶縁膜 を T F T 上 と 信号配線 （ ソ ー ス 配線） 上 と 走査配線 （ゲー ト 配線） 上 に 形成す る 以外 は、 先の第 5 の実施の 形態 と 同様で あ る 。

こ の よ う にす る こ と に よ り 、 T F T と 信号配線 と 走査配線 を 保護す る こ と がで き る 。

なお 、 第 2 の絶緣膜が形成 さ れな い部分が小 さ す ぎる と ゲー ト 電位 部 に偏在 し た イ オ ン が回収 し き れな い の で、 第 2 の絶縁膜が形成 さ れ な い部分 は画素電極上のすべて あ る い は対向電極上のすべて に 形成 さ れて い な い 必要があ る 。

ま た 、 画素電極上 と 対向電極上の ど ち ら も 絶縁膜 を 形成 し な い と シ ョ 一 卜 な ど の 問題が発生 し て し ま う の で不可で あ る 。

(第 5 の 発 明群）

本発明群 は、 ブ ラ ッ ク マ ト リ ク ス 等 に 凹 凸構造 を設 け る こ と に 関す る 。

(第 2 — 5 _ 1 の 実施の形態）

図 4 8 に 、 本実施の形態の液晶素子の対向 （ カ ラ 一 フ ィ ルタ ー側） 基板側の構成 を示す。 以 下 、 本 図 を 参 照 し つ っ こ の 液 晶 素 子 を 説 明 す る 。

な お 、 ア レ イ 基板側 は 、 図 4 に 示 す従来 と 同 じ 方法 で製作 す る 。 す な わ ち 、 ガ ラ ス 基 板 1 上 に 金 属 配線 と し て 映像信号線 （ ソ ー ス ） と 走査信 号 線 （ ゲー ト ） を マ ト リ ク ス 状 に 形 成 し 、 そ の 交 点 に 能 動 素 子 （ ス イ ッ チ ン グ素 子 ） と し て 半 導体 層 （ T F T ) -を 形成 し た 。

ガ ラ ス 基 板 1 上 に A 1 な ど の 金 属 を 用 い て ゲ ー ト 電極 と 共 通電極 5 を 選択 的 に 形 成 し た 。

次 に プ ラ ズ マ C V D 法 を 用 い て 第 1 の ゲ ー ト 絶縁膜 と な る S i N X を 3 0 0 O A の 厚 さ で 形成 し 、 ト ラ ン ジ ス タ の チ ャ ネ ル部 と な る 半 導 体 層 （ ア モ ル フ ァ ス シ リ コ ン 層 ） を 5 0 O A の 厚 さ で 形成 し 、 エ ッ チ ン グ ス ト ツ ノ と な る S i N X を 1 5 0 0 A の 厚 さ で順次 形 成 す る 。 こ の 際 、 ト ラ ン ジ ス タ の チ ャ ネ ル部 の 形 成方 法 と し て ゲ ー ト 電極 の 上 の 絶縁膜 S i N x を ゲ ー ト 電極 よ り も 小 さ く 形 成 し て エ ッ チ ン グ ス ト ツ パ と し 、 そ の 上 に プ ラ ズマ C V D 法 を 用 レ て リ ン を含 む n + の ァ モ ル フ ァ ス シ リ コ ン 層 4 1 を 5 0 O A の 厚 さ で 形成 し 、 ォ 一 ミ ッ ク 接 合 を 得 る （ n + ： 高 濃度 の ド ー ピ ン グで あ り 、 n 型 不 純物 添加 の 割 合 が 多 い ) 。

次 に 、 電極 等 を 形成す る 周 辺 部分 に コ ン タ ク ト ホ ー ル を 形成 し 、 配 線部分 と の コ ン タ ク ト が と れ る よ う に し た 。

次 に 、 A 1 T i な ど の 金 属 を 用 い て 信 号 配線 （ ソ ー ス 線） 6 、 ド レ イ ン 線 、 画 素電極 を 4 0 0 O A の 厚 さ で 形 成 し た 。

そ の 後 、 配線 を 保護す る た め に 第 2 の 絶縁 膜 （ パ ッ シ ベ ー シ ョ ン 膜 ） と し て S i N X を プ ラ ズ マ C V D 法 を 用 い て 3 5 0 O A の 厚 さ で 形 成 し た 。

次 に 、 図 4 8 の （ 2 ) に 示す カ ラ ー フ ィ ル タ ー 1 1 の つ レ た 対 向 の ガ ラ ス 基 板側 の 導電性 ブ ラ ッ ク マ ト リ ク ス 部分 の 一部 が配 向 膜 と 接 す る 構造 に し てお く 。 更 に 、 対向基板 2 の ブ ラ ッ ク マ ト リ ク ス 1 2 は 図 4 8 の （ 2 ) に示すよ う に 凹 凸部 を 形成 し て お き 、 表面積 を 大 き く し 、 対向基板側で も発 生 し たィ ォ を 非イ オ ン化で き る よ う に し てお く 。

導電性 の ブ ラ ッ ク マ ト リ ク ス の 形成方法 と し て は、 導電性 の金属 を 樹脂 中 に 混合 し て形成 し た 。 凹 凸構造 は こ の ブ ラ ッ ク マ ト リ ク ス を 部 分的 に パ タ ーニ ン グ ' 積層 を 2 回行 う こ と に よ り 作製 し た 。

凹 凸部の構成 と じ て は 凹部 と 凸部の差が 0 . 1 m に な る よ う に 形 成 し た も の と 凹部 と 凸部の差が 0 . 3 m に な る よ う に形成 し た も の の 2 種類 を作製 し た。 凹 凸部の構成 を 示す模式図 を 本 図の （ 2 ) に示 す。

こ の よ う にす る こ と に よ り 、 ブ ラ ッ ク マ ト リ ク ス の 実質的 な表面積 は 凹 凸 を 形成 し な い場合 と 比較 し てそれぞれ約 2 倍、約 6 倍 に な っ た 。 次 に 、 カ ラ 一 フ ィ ルタ ー の つ い た対向 の ガ ラ ス 基板 2 と ア レイ が形 成 さ れた基板 1 の 内面 （液晶） 側 に配向膜 （ A L 5 4 1 7 ： J S R 製） を 印刷 · 硬化 し 、 ラ ビ ン グ を 施 し た。

次 に 、 ガ ラ ス 基板 2 の縁部 に シール樹脂 （ス ト ラ ク ト ボ ン ド ： 三井 東圧製） を印刷 し た。 シ ー ル樹脂 中 に はス ぺーサ一 と し て 4 . 0 m の ガ ラ ス フ ァ イ ノ 一 （ 日 本電気硝子製） を混入 し てお い た。

そ の後、 基板間 隔 を保持す る た め に表示領域内 に ス ぺーサ一 と し て 直径 3 . 5 mの樹脂球 （ェポ ス タ — G P — H C ： 日 本触媒 （株） 製） を散布 し た。

そ の後、 基板 1 及び対 向基板 2 を貼 り 合わ せ、 1 5 0 : で 2 時 間加 熱す る こ と で シール樹脂 を硬化 さ せた。

以上 の よ う に し て作製 し た空パ ネル に誘電率異方性が正の液晶 を真 空注入法 （空パ ネル を 減圧 し た槽内 に 設置 し 、 パ ネ ル内 を 真空 に し た 後、 ，注入 口 を液晶 に接触 さ せ、 槽内 を常圧 に 戻す こ と に よ り 、 液晶 を パ ネ ル 内 に 注入す る 方 法 ） に て 注 入す る 。 表 1 に 用 い た 液 晶 と そ の 比 抵 抗 を 示す 。

( 表 1 )

そ の 後 ， 液 晶 素 子 の 注 入 口 に 封 口 樹脂 と し て 光硬 化性樹脂 （ ロ ッ ク タ イ 卜 3 5 2 Α : 日 本 ロ ッ ク 夕 ィ ト 製） を 注入 口 全体 に 塗 布 し 、 光 を 1 0 m W / c m ^? で 5 分 間 照 射 し て封 口 樹脂 を 硬 化 し た 。

両基板 の 上下 （ ガ ラ ス 基板 の 外側） に 偏 光板 （ N P F — H E G 1 4 2 5 D U ： 日 東電工 製 ） を 貼付 し た 。

比 較例 と し て 、 対 向 基 板側 の ブ ラ ッ ク マ ト リ ク ス に 凹 凸 を 形成 し な い パ ネ ル を 作製 し た 。

こ れ ら の パ ネ ル の ゲ ー ト 部分 に レ ー ザー を 照 射 し て 、 ゲ ー ト の 電位 を 露 出 さ せ 、 7 0 で の 高 温槽 の 中 に 入 れ 、 1 2 時 間駆動 さ せ た後 、 中 間 調 を 表示 さ せて 評価 し た 。

対 向 基板側 の ブ ラ ッ ク マ ト リ ク ス の 電位 は ア レ イ 基板側 の 共 通電極 と 同 饞位 に な る よ う に 設定 し た

そ の 結果 、 本実施例 で は ブ ラ ッ ク マ ト リ ク ス に 凹 凸 が形 成 さ れ て い る た め に イ オ ン を 回 収す る 面積 がそ れ だ け 大 き く な り'、 こ の た め 黒 点 状 の ム ラ を 小 さ く 抑 え る こ と が で き た 。

凹 凸 部 の 差 を 0 . l m に な る よ う に 形成 し た も の は 黒 点 状 の ム ラ の 直 径 が 0 . 1 m m 以 下 と な り 、 凹 凸 部 の 差 が 0 . 3 m に な る よ う に 形成 し た も の は黒 点 状 の ム ラ が全 く 発 生 し な か っ た の に 対 し て 、 比 較例 で 用 い た パ ネ ル は 3' m m の 黒 点 状 の ム ラ が発 生 し た 。 ま た 表 1 か ら わ か る よ う に 液 晶 の 比 抵 抗 を 1 0 ^{1 3} Ω · c m よ り 小 さ く す る こ と に よ り 表 示 の 焼 き 付 き の な い 良 好 な 表 示 を 得 る こ と がで き た 。

(第 2 _ 5 — 2 の 実施 の 形態）

図 4 9 に 本実施 の 形 態 の 液 晶 素 子 の ア レ イ 基 板 側 の 構成 を 示 す 。 図 5 0 の （ 1 ) と （ 2 ) に 、 そ の 断 面 を 示す 。

先 の 第 1 の 実施 の 形 態 で は ブ ラ ッ ク マ ト リ ク ス 1 2 を 対 向 基板側 に 作 製 し た が、 本実施 の 形態 で は 図 5 0 の （ 3 ) に 示 す よ う に 凹 凸 状 の ブ ラ ッ ク マ ト リ ク ス 1 2 を ア レ イ 基板側 に 作製 し た 。 そ の 他 は 、 先 の 第 1 の 実施 の 形態 と 同 様 で あ る 。

こ の よ う に す る こ と に よ り 、 ブ ラ ッ ク マ ト リ ク ス に は 凹 凸 が形 成 さ れ て い る た め イ オ ン を 回 収す る 面積が大 き く な り 、 ひ い て は黒点 状 の ム ラ が発 生せず 良 好 な 表 示が得 ら れた 。

本実施 の 形 態 等 で は ブ ラ ッ ク マ ト リ ク ス は 画 素 を 囲 む構成 と し た が 図 5 1 に 示す よ う に 走 査配線 （ゲー ト ラ イ ン ） 7 に 対応す る 部分 に だ け 形成 し た り 、 信号 配線 （ ソ ー ス ラ イ ン ） 6 に 対応す る 部分 に だ け 形 成 し て も 良 レ、 。

ま た 図 5 2 に 示す よ う に 島状 に 形成 し て も 良 い 。 な お こ の ブ ラ ッ ク マ ト リ ク ス で あ る が、 こ れ は 単 に カ ラ ー フ ィ ル タ ー の 各色彩 用 の 画 素 問 に 在 る だ け で な く 、 T F T の 保護 、 光 に よ る 誤作 動 防止 等 の 役 を も 担 う 遮光膜 （ 層 ） で あ っ て も 良 い の は 勿 論 で あ る 。

更 に 、 凹 凸 は 、 カ ラ 一 フ ィ ル タ ー側基板 の 純 粋 な ブ ラ ッ ク マ ト リ ク ス よ り も 幅 狭 等 の 場 合 、 本来液 晶 と 接す る 上 面 の み な ら ず、 側面 も 形 成 し て 良 い の は 勿 論 で あ る 。

(第 2 _ 5 — 3 の 実施 の 形態 ）

図 5 3 に 、 本発 明 の 第 2 — 5 - 3 の 実施 の 形態 の 液 晶 素 子 の 構成 を 示す。

先の 第 1 の実施の 形態で は導電性 の ブ ラ ッ ク マ ト リ ク ス に 凹 凸 を 形 成 し た が、 本実施の 形態で は対向基板 の ブ ラ ッ ク マ ト リ ク ス 部の 上 に オーバー コ ー ト を形成 し 、 そ の上 に 凹 凸状 の 中和電極 3 0 を 形成す る も の で あ る 。 そ し て 、 こ の 凹 凸状 の電極の電位 は共通電極 と 同電位 に な る よ う に し た。 そ の他 は、 先の第 1 の実施の形態 と 同様で あ る 。

こ の よ う にす る こ と に よ り 、 電極 に 凹 凸が形成 さ れて い る た め に ィ オ ン を 回収す る 面積が大 き く 、 黒点状 の ム ラ が発生せず良好な表示が 得 ら れた。

(第 2 — 5 — 4 の 実施の 形態）

先の 第 3 の実施の 形態で は対向基板側 に 凹 凸状 の 中 和電極 を 形成 し た が、 本実施 の 形態で は、 図 5 3 に示す の と 断面の上下が逆 と な る 他 は ほ ぼ同様で あ る た め 、 わ ざわ ざは図示 し な い が、 ア レイ 基板側 に 形 成す る 。 そ の 他 は、 先の第 3 の実施 の 形態 と 同様で あ る 。

本実施 の 形態で は、 中 和電極 に 凹 凸が形成 さ れて い る た め イ オ ン を 回収す る 面積が大 き く （広 く ） な り 、 黒点状の ム ラ が発生せず良好な 表示が得 ら れた 。

'すな わ ち 、ゲー ト 電位部 に偏在 し た ィ オ ン が中和電極部分 に拡散 し 、 非イ オ ン化 さ れる た め黒点状ム ラ の な い 良 好な表示品位の液晶素子 を 得 る こ と がで き た。

なお 、 本実施の形態で は 中和電極は画素電極、 各信号配線 と は別 に 形成 し た 。

(第 2 — 5 - 5 の 実施の形態）

図 5 4 の （ 1 ) は、 従来の I P S の 断面構成 を 示す図で あ り 、 （ 2 ) は従来 の I P S の改 良 版で あ る 対向基板側 に電極 を形成 し た H S モ ー ド （ H y b r i d S w i c h i n g M o d e ) の構成 を 示す断面 図 で あ る 。

こ れ ら の モ ー ド に お い て も 、 I P S モ ー ド と 同 様 に 黒点 状 の ム ラ が 発 生 す る 。

図 5 5 に 本 実施 の 形 態 の 液 晶 素 子 の 構成 を 示す。

以 下 、 こ の 図 に 示す液 晶 素 子 の 実施例 を 説 明 す る 。

先 の 第 3 の 実施 の 形 態 で は対 向 基板 側 の ブ ラ ッ ク マ ト リ ク ス 部 分 に 凹 凸 状 の 中 和 電極 3 0 を 形 成 し た が、 本 実 施 の 形 態 で は 図 5 5 の （ 2 ) に 示す よ う に ブ ラ ッ ク マ ト リ ク ス 以外 の 部分 に 凹 凸状 の 中 和 電極 を 形 成す る 。 そ の 他 は 、 先 の 第 3 の 実施 の 形態 と 同 様 で あ る 。

本実 施 の 形態で は 、 電 極 に 凹 凸 が形 成 さ れ て い る た め に イ オ ン を 回 収す る 面積 が 大 き く 、黒点 状 の ム ラ が発 生 せ ず 良 好 な 表示 が得 ら れ た 。

な お 、 本 実施 の 形態 で は ブ ラ ッ ク マ ト リ ク ス の 部分 に は電 極 を 形 成 し な か っ た が 、 図 5 6 に 示す よ う に 、 そ の 部分 に 電極 を 形 成 し て も 良 い 。 ま た 図 5 7 に 示す よ う に ブ ラ ッ ク マ ト リ ク ス の 部 分 に 形成 し た 電 極 の み を 凹 凸状 に し て も 良 く 、 ま た 図 5 8 に 示す よ う に ブ ラ ッ ク マ ト リ ク ス の 部分 に 形成 し た 電極 と そ れ以 外 の 部分 に 形成 し た 電極 の 両 方 を 凹 凸 状 に 形成 し て も 良 い 。

( 第 2 — 5 — 6 の 実施 の 形態 ）

先 の 第 5 の 実施 の 形 態 で は対 向 基板側 に 凹 凸 状 の 中 和 電極 を 形 成 し た が 、 本 実施 の 形態 で は ア レ イ 基板側 に 凹 凸 状 の 中 和 電極 を 形 成 す る も の で あ り 、 そ の 他 は第 5 の 実 施 の 形 態 と 同 様 で あ る 。

本実施 の 形態で は 、 電極 に 凹 凸 が 形 成 さ れて い る た め イ オ ン を 回 収 す る 面積 が大 き く 、 黒点 状 の ム ラ が発 生 せ ず 良 好 な 表示 が得 ら れ た 。

(第 2 — 5 — 7 の 実施 の 形 態 ）

図 5 9 の （ 1 ) に 本実施 の 形 態 の 液 晶 素 子 の 断面構成 を 示す。

先 の 第 5 の 実施 の 形態 で は 対 向 基板側 に 凹 凸状 の 中 和 電極 を 形 成 し た が、 本 実施 の 形態 で は 対 向 基 板側 の ブ ラ ッ ク マ ト リ ク ス を 凹 凸状 に 形成 す る も の で あ り 、 そ の 他 は第 5 の 実施 の 形態 と 同 様 で あ る 。

本実施 の 形 態 で は 、 ブ ラ ッ ク マ ト リ ク ス に 凹 凸 が形 成 さ れ て い る た め に イ オ ン を 回 収す る 面積 が大 き く 、 黒 点 状 の ム ラ が発 生 せず 良 好 な 表示 が得 ら れ た 。

以 上 の 他 、 図 5 9 の （ 2 ) に 示す よ う に 対 向 基 板側 に 形 成 し た 中 和 電極 3 0 及 び ブ ラ ッ ク マ ト リ ク ス 1 2 の 両方 に 凹 凸 を 形成 し て も 良 い ま た （ 3 ) と （ 4 ) に 示す よ う に オーバ一 コ ー ト の 上 に 電極 や ブ ラ ッ ク マ ト リ ク ス を 形成 し て も 良 い 。

(第 2 — 5 — 8 の 実施 の 形 態）

先 の 第 7 の 実施 の 形態 で は ブ ラ ッ ク マ ト リ ク ス を 対 向 基板側 に 形成 し た が 、 本実施 の 形 態 で は ア レ イ 基板側 に 形 成 す る も の で あ り 、 そ の 他 は第 7 の 実施 の 形 態 と 同 様 で あ る 。 本実施 の 形 態 で は 、 ブ ラ ッ ク マ ト リ ク ス に 凹 凸 が形 成 さ れて い る た め に イ オ ン を 回 収 す る 面積 が大 き く 、 黒点状 の ム ラ が発 生せず 良 好 な 表 示 が得 ら れ た 。

な お 本発 明 群 の 実施 の 形 態 で は 、 凹 凸 の 形 成方 法 と し て は 、 部分 的 に ノ 夕 一 ニ ン グ、 積 層 を 2 回繰 り 返す方 法 を 用 い た が 、 こ れ はサ ン ド ブ ラ ス タ 一 等 に よ り 微 小 な ド ッ ト を 形成 し た り 、 蒸着等他 の 方 法 に よ り 形成 し て も 良 い の は 勿 論 で あ る 。 ま た 、 ハ ー フ ト ー ン 露光 を 用 い れ ば 1 回 の 露光 に よ り 高 さ の 異 な る 膜 を 形成す る こ と も 可 能 で あ る 。 更 に 、 凹 凸 の 形状 は ド ッ ト 状 で も 良 く 、 ス ト ラ イ プ状や 円 状 や 多 角 形 状等 ど の よ う な パ タ ー ン で も 良 い の も 勿 論 で あ る 。

( 第 6 の 発 明群 ）

本発 明群 は 、 導電性遮光膜 を 使 用 す る も の で あ る 。 ' 以 下 、 本発 明 群 の 液 晶 素 子 を そ の 実 施 の 形態 に 基づ い て 説 明 す る 。

(第 2 - 6 一 1 の 実施 の'形 態 ） 本実施 の 形態の液晶 素子 は、 図 6 0 に示すよ う に 透 明導電膜 1 3 を 上部外表面 に 形成 し た ガ ラ ス 基板 に ブ ラ ッ ク マ ト リ ッ ク ス と 呼 ばれ る 遮光層 1 2 、 カ ラ 一 フ ィ ル タ ー 1 1 、 配向膜 9 を 形成 し た カ ラ ー フ ィ ルタ ー側基板 2 と 、 例 え ばガ ラ ス 基板上 に共通電極 5 、 絶縁層 8 、 信 号配線 6 、 画素電極 4 、 上部第 2 絶縁層 8 1 を 具備 し たイ ン プ レイ ン ス イ ッ チ ン グ （ I P S ) モ ー ド を 目 的 と 'し た薄膜 卜 ラ ン ジ ス 夕 （ T F T ) 基板 1 (図面で は T F T 部分 は省略 し て い る ） と の 2 枚 の基板で 液晶 3 を挟み込んだ構成 の液晶素子 に お いて 、 遮光層 1 2 が液晶 3 に 直接接す る 領域 1 2 0 が存在す る よ う に し て い る 。

こ の よ う に液晶が導電性 の遮光層 と 直接接す る こ と に よ り 、 た と え 液晶 中 に イ オ ン性不純物が発 生 し 、 集 中 し た と し て も 、 こ の 導電性遮 光層 が液晶 中 に含 ま れて い る イ オ ン性物質 と 電子の 受 け渡 し を行 い 、 イ オ ン性不純物が非イ オ ン性 と な る 。 こ の た め 、 黒斑点欠陥が発 生 し な く な る 。

こ の導電性 の遮光層 と 液晶 が直接接す る 領域 は ど の部分 に あ っ て も ま た個数 は どれだけ あ っ て も よ い が、 ト ー タ ルの 接触面積が大 き い ほ ど効果が第で あ る 。

ま た 、 図 6 1 の （ 1 ) に カ ラ ー フ ィ ルタ ー側 の基板 の みの 図面 を 示 すが、 赤色カ ラ ー フ ィ ル タ ー 1 1 1 、 緑色カ ラ ー フ ィ ルタ 一 1 1 2 、 青色カ ラ ー フ ィ ルタ ー 1 1 3 の 境界部分、 ま た遮光層 の 開 口 部 1 2 0 同士の 間部分、 つ ま り 、 表示画素 の周 囲 を 囲 む よ う に遮光層 と 液晶が 接す る 領域 1 1 5 を配置す る と 、 た と え 不純物イ オ ン が存在 し た と し て も 1 画素内 でイ オ ン性不純物 の拡散は抑制 さ れ、 黒斑点 欠 陥 の大 き さ も 1 画素以下 と な る た め よ り よ い 。 ま た 、 （ 2 ) と （ 3 ) に示すよ う に信号線方向若 し く は走査線方向 に ス 卜 ラ イ プ状 に連続 し て遮光層 と 液晶層 の接する 領域 を 配置す る と 横方向 、 縦方 向 の 不純物イ オ ン の 移動が全 く 発 生 し な い た め よ い。 更 に 、 （ 4 ) に 示すよ う に 画素 の 周 り をすベて遮光層 と 液晶層 の接す る 領域 2 0 5 で 囲む こ と に よ っ て最 大の効果 を 得 る こ と がで き る 。

(第 2 — 6 _ 2 の 実施の形態）

本実施の 形態 の液晶素子 は、 遮光層 と 液晶層 の 問 に配向膜層 が存在 す る も の で あ る 。 すなわ ち 、 液晶が配向膜 と 直接接 し 、 ま た配向膜が 遮光膜 と 直接接す る こ と と な る 。

さ て 、 配 向膜 は通常非常 に薄 く 2 0 0 0 A 以下で あ る た め 、 配向膜 に は多 く の ピ ンホールが存在 し て い る 。 こ の た め 、 例 え ば液晶 中 に 黑 斑点欠 陥が発生す る 原 因で あ る イ オ ン性 の 不純物が存在 し た 時 に は、 配向膜が存在 し てな い と き と 同様 、 導電性遮光膜 と イ オ ン性不純物 の 間でイ オ ン の受 け渡 し が行われ る 。

ま た 、 配 向膜、 特 に I P s モー ド に 用 い る 配向膜 は一般的 に極性が 大 き い た め イ オ ン性不純物 を 吸着 し やす い 。 そ の た め 、 一度イ オ ン性 不純物が配向膜 に 吸着 し てか ら 、 導電性遮光膜 と 電子の受 け渡 し を行 う た め 、 よ り 効率 的 に 不純物イ オ ン を 除去す る こ と ができ る 。

なお、 配 向膜 を介 し て遮光層が液晶 と 接触す る 領域の形状、 配置、 面積等 は、 先 の実施の形態 と 同様で あ る た め再度の説明 は省略す る 。

(第 2 _ 6 — 3 の実施の 形態）

本実施の 形態 は、 オーバー コ ー ト 層 の 除去 に 関す る 。

以上 2 つ の 実施の 形態 に お い て は、 オーバー コ ー ト 層 に 関 し て は全 く 触れて い な い が、 オーバー コ ー ト 層 が、 開 口 部分等 に存在 し て も 良 い の は勿論で あ る 。 し か し 、 遮光層 と 液晶層 の接する 領域、 ま た は配 向膜 を解 し て遮光層 と 液晶層 が接す る 領域部分 に お い て はオーバー コ ー ト 層 が存在 し て は効果がな い。

そ こ で、 本実施 の 形態の液晶素子で は、 オーバー コ ー ト 層 を感光性 の樹脂 を 用 い 、 遮光層 / オー バ ー コ ー ト 層 / 液晶 と い う 構造 に な る 部 分若 し く は遮光層 / オー バ ー コ ー ト 層 / 配向膜 / 液晶 と な る 部分 の ォ — ノ '一コ ー ト 層部分 を フ ォ ト リ ソ グ ラ フ ィ 一 に よ つ て 予め 除去す る と い う も ので あ る 。 こ れ に よ り オー バ 一 コ 一 卜 付 の カ ラ ー フ ィ ル夕 一基 板 を 用 い る が、 黒 白 斑点 を発 生 さ せな い液晶素子 を 製作す る こ と がで き る 。

(第 2 — 6 — 4 の 実施の形態）

次 に 、 本実施の 形態 の液晶素子の駆動で あ る が、 導電性の遮光層 を 共通電極 と ほ ぼ同電位 に設定 し て い る 。 こ れ に よ り 、 遮光層 に電位 を 持たせ る こ と に よ る 、 画素部力ゝ ら の光漏れ等 に よ る コ ン ト ラ ス ト の 低 下の 防止が図 ら れ、 ま た電位 を与え な い 時 よ り イ オ ン種が移動 し やす く な る ためイ オ ン の 除去速度が増す。

本実施の 形態の液 晶素子は、 図 6 2 に 示す よ う に遮光層 1 2 若 し く は こ れか ら 伸 びる 遮光層 と ほ ぼ同電位の配線 1 2 2 と 共通電極若 し く は こ れか ら 伸びる ほ ぼ同電'位の配線 5 1 がカ ラ ー フ ィ ルタ ー側基板 と T F T 側基板 の 間 で少な く と も 1 つ以上 の導電性物質 1 2 3 に よ り 電 気的 に接続 さ れて い る 。 こ の よ う にす る こ と に よ り 、 遮光層 の電位 を ア レイ 基板の共通電位 と 同時 に駆動す る こ と がで き 、 新た な取 り 出 し 配線の増加 も な く てすむ。 導電性物質 と し て は、 金属、 ·導電性樹脂等 導電性であ れば ど の よ う な も ので も よ い が、 カ ー ボ ン等 を混入 し た導 電性 を 持たせた樹脂が も つ と も 用 いやす く よ い 。

本発明群 の 各実施の形態の構成 を加え る こ と に よ り 、 非常 に容易 に 黒斑点欠陥 を 発生 さ せな い液晶素子 を作成す る こ と がで き た。

(第 7 の発 明群）

本発明群 は、 開 口 部 と 対向基板 の ブ ラ ッ ク マ ト リ ク ス 等 を利 用 す る も の で あ る 。 ( 第 2 — 7 — 1 の 実施 の 形 態 ）

図 6 3 の （ 1 ) に は本実 施 の 形 態 の 液 晶 素 子 の ア レ イ 側 の 基板 の 平 面 を 示 す 。

図 6 3 の （ 2 ) はそ の 断 面 図 で あ る 。

以 下 、 本 図 に 示す液 晶 素 子 を 説 明 す る 。

ま ず 、 ア レ イ 側基板 の 製造 で あ る が 、 配線 を 保護す る た め に 第 2 の 絶縁膜 （ ノ、。 ッ シ ベ 一 シ ヨ ン 膜 ） 8 1 と し て S i N X を プ ラ ズ マ C V D 法 を 用 い て 3 5 0 O A の 厚 さ で 形 成 す る ま で は 、 第 2 — 4 — 1 の 実 施 の 形態 と 同 じ で あ る 。 '

基板 を 洗 浄 し た後 、 レ ジ ス ト を ス ピ ン ナ 一 に よ り 塗 布 し 、 マ ス ク 露 光 を 行 う こ と に よ り 、 第 2 の 絶縁膜 （ ノ、。 ッ シ ベ ー シ ヨ ン 膜） を 選択 的 に 形成 し 、 画 素 部 に お い て 絶縁膜 の 一部 が形成 さ れて い な い 領域 を 形 成 し た 。 具体 的 に は本 図 6 3 の A — A 断面 に 示す よ う に 蓄積 容 量部 4 の 上 の 第 2 の 絶縁膜 （パ ッ シ ベ ー シ ヨ ン 膜 ） を 形成 し な い よ う に し た 点 が相 違す る 。

そ の 後 、 現像、 乾燥 を 行 っ た 後 、 R I E に よ り ド ラ イ エ ッ チ ン グ を 行 っ た 後 、 レ ジ ス ト を 除去 す る の は 、 第 2 — 4 — 1 の 実施 の 形態 と 同 じ で あ る 。

次 に 、 カ ラ ー フ ィ ル タ ー の つ い た 対 向 の ガ ラ ス 基 板側 の 導電性 ブ ラ ッ ク マ ト リ ク ス 部分 の 一部 が配 向 膜 と 接す る 構造 に し て お き 、 対 向 基 板側 で も 発 生 し た イ オ ン を 非 イ オ ン 化 で き る よ う に し て お い た 。

導電 性 の ブ ラ ッ ク マ 卜 リ ク ス の 形成 方 法 と し て は導電性 の 金 属 を 樹 脂 中 に 混 合 し て 形成 し た 。

図 6 4 に 、 対 向す る ガ ラ ス 基板 の 構成 を 示す 。

次 に 、 両 基 板 に よ り 液 晶パ ネ ル を 製造す る 方 法 、 内 容 、 使 用 す る 液 晶 で あ る が 、 こ れ ら も 先 の 第 2 — 4 _ 1 の 実施 の 形態 と 同 じ で あ る 。 比較例 と し て、 （表 2 ) に示すパ ネル を作製 し た。

(表 2 ) '

比較例 1 はゲ一 ト 電位 に偏在 し たイ オ ン を非イ オ ン化す る た め の電 極が露 出 さ れて いな い の で、 黒点状ム ラ は大 き い 。

比較例 2 は ア レイ 基板 の絶縁膜 は除去 さ れて い な い が、 対 向基板側 に非 イ オ ンィ匕す る た め の ブ ラ ッ ク マ ト リ ク ス が形成 さ れて い る た め に 黒点状 の ム ラ は比較例 1 よ り は小 さ く な る が、 ま だ不十分で あ る 。

比較例 3 は ア レイ 基板 の絶縁膜が除去 さ れて い る た め に 、 あ る 程度 ゲー ト 電位 に偏在 し た イ オ ン を非イ オ ン化で き る が、 対向基板側 に非 イ オ ン化す る た め の ブ ラ ッ ク マ ト リ ク ス が露出 さ れて い な い た め に 、 黒点状 の ム ラ は比較例 1 よ り は小 さ く な る が、 ま.だ不十分で あ る 。

本発 明で は ア レイ 基板 の絶縁膜が除去 さ れて お り 、 かつ対向基板側 に も非イ オ ン化す る た め の電極が形成 さ れて い る ため黒点状 の ム ラ が 0 . 1 m m以下 と十分小 さ く 抑 え る こ と がで き る 。

ま た本発 明 と 比較例 の 相違 を 図 6 5 に示す。

こ れ ら の パ ネルの ゲー ト 部分 に レーザー を 照射 し て、 ゲー 卜 の 零位 を 露出 さ せ、 7 0 の 高温槽の 中 に入れ、 1 2 時間駆動 さ せた後、 中 間調 を 表示 さ せて評価 し た 。

対向基板側の 中 和電極 の電位 は ア レイ 基板側 の共通電極 と 同電位 に な る よ う に 設定 し た。

そ の 結果、 表 2 に示すよ う に 比較例 1 はゲー ト 電位 に偏在 し た ィ ォ ン を 非 イ オ ン 化 す る た め の 電極 が 露 出 さ れ て い な い の で 、 黒 点 状 ム ラ は大 き く な つ て し ま う 。

比 較例 2 は ア レ イ 基 板 の 絶縁 膜 は 除去 さ れ て い な い が、 対 向基板側 に非イ オ ン 化す る た め の ブ ラ ッ ク マ ト リ ク ス が形 成 さ れ て い る た め に 黒 点状 の ム ラ は 比 較例 1 よ り は 小 さ く な る が 、 ま だ不 十分 で あ る 。

比 較例 3 は ア レ イ 基板 の 絶縁 膜 が除去 さ れて い る た め に 、 あ る 程 度 ゲ一 卜 電位 に 偏在 し た イ オ ン を 非イ オ ン 化 で き る が 、 対 向 基 板側 に 非 イ オ ン ィ匕す る た め の ブ ラ ッ ク マ ト リ ク ス が露 出 さ れ て い な い 、 あ る い は対 向 基板側 の 電極 が 露 出 さ れて い な い た め に 、 黒 点 状 の ム ラ は 比 較 例 1 よ り は 小 さ く な る が 、 ま だ不 十分 で あ る 。

一方 、 本 実施 の 形態 で は ア レ イ 基板 の 絶縁膜 が 除去 さ れ て お り 、 か つ 対 向 基板側 に も 非 イ オ ン 化 す る た め の 導電性 ブ ラ ッ ク マ ト リ ク ス が 形成 さ れて い る 、 す な わ ち イ オ ン を 回 収す る た め の 導電性 物 質 が両 基 板 に 形成 さ れて お り 、 前 記 導電性物 質 が配 向 膜 あ る い は液 晶 と 直 接接 し て い る た め に 黒点 状 の ム ラ が 0 . 1 m m 以 下 と 十分 小 さ く 抑 え る こ と がで き た 。

ま た 表 1 か ら わ か る よ う に 液 晶 の 比抵抗 を 1 0 ^{1 3} Ω · c m よ り 小 さ く す る こ と に よ り 表 示 の 焼 き 付 き の な い 良 好 な 表 示 を 得 る こ と が で き た 。

(第 2 _ 7 — 2 の 実施 の 形態 ）

図 6 6 の （ 1 ) に 本実施 の 形 態 の 液 晶 素 子 の 対 向 （ ガ ラ ス 基板 ） の 構成 を 示す。

先 の 第 1 の 実施 の 形 態 で は対 向基板側 の ブ ラ ッ ク マ ト リ ク ス を 画 素 の 回 り を 囲 む構成 と し た が 、 本 実施 の 形態 で は対 向 基 板側 の ブ ラ ッ ク マ ト リ ク ス は信号配線 （ ソ ー ス ラ イ ン ） 6 に 沿 っ て 構 成 す る 。

そ の 他 は 、 先 の 第 1 の 実 施 の 形態 と 同 様 で あ る 。 こ の よ う にす る こ と に よ り 、 ア レイ 基板 の絶縁膜が除去 さ れて お り 、 かつ対向基板側 に も 非イ オ ン化す る た め の 導電性'ブ ラ ッ ク マ ト リ ク ス が形成 さ れて い る 、 すな わ ち イ オ ン を 回収す る た め の導電性物質が両 基板 に形成 さ れてお り 、 前記導電性物質が配向膜 あ る い は液晶 と 直接 接 し て い る た め に黒点状の ム ラ を 小 さ く 抑 え る こ と ができ る 。

次 に 、 本実施の形態 と 先 の第 1 の実施の 形態 で は図 6 3 に 示すよ う に蓄積容量の上の画素電極上 の絶縁膜 を 除去 し た が、 除去す る 部分 は 図 6 7 に示すよ う に 信号配線電極上や画素電極 の上や 、 それ ら の電極 に ま たがる よ う に 除去 し て も 良 い。

ま た 、 図 6 8 に示すよ う に共通電極 を 画素電極よ り も 上 に 形成す る よ う に し 、 共通電極の上の絶縁膜 の 一部 を 除去 し て も 良 い 。 本図 に お いて、 1 6 は半導体層 、 1 6 1 は ド レイ ン 、 1 6 2 は第 2 の 半導体層 で あ る 。

ま た 、 図 6 9 に示す よ う に共通電極 と 画素電極 を 同一層 に 形成 し 、 その上の絶縁膜の 一部 を 除去 し て も 良 い 。

ま た本実施の 形態 と 先の実施の形態で は対向基板側 に形成す る ブ ラ ッ ク マ ト リ ク ス と し て 図 6 4 の （ 1 ) と 図 6 6 の （ 1 ) に 示すよ う な 構成 に し た が、 図 6 6 の （ 2 ) に示すよ う に 走査配線 （ゲー ト ラ イ ン） に対応す る 部分 に だ け ¾成 し て も 良 く 、 ま た 図 7 0 に示すよ う に 島状 に形成 し て も 良 い。

(第 2 — 7 — 3 の実施の形態）

図 7 1 に 、 本実施の 形態の液晶素子の構成 を 示す。

先の第 1 の実施の形態で は、 第 2 の絶縁膜 を 除去す る 箇所 と し て蓄 積容量の 上の 一部の み を 除去 し た が、 本実施の 形態で はス ィ ツ チ ン グ 素子で あ る T F T の 上部 に だ け第 2 の絶縁膜 （パ ッ シベー シ ヨ ン膜） 8 1 を 形成す る よ う にす る （すな わ ち 画素電極 の 上 に は絶縁膜 を 全 く 形成 し な い よ う に す る ） 。 そ の 他 は 、 先 の 第 1 の 実施 の 形態 と 同 様 で あ る 。

ま た 、 対 向 基板側 は 、 図 6 2 の よ う に 導 電性 の ブ ラ ッ ク マ ト リ ク ス を 形成 し 、 導 電性 の ブ ラ ッ ク マ 卜 リ ク ス が直 接 配 向 膜 と 接 す る よ う に す る 。

図 7 1 の よ う に す る こ と に よ り 、 画 素 電極 の 上 に は 絶縁膜 が全 く 形 成 さ れ て い な い の で 、 先 の 第 1 の 実施 の 形態 に 比 較 し て黒 点 状 ム ラ の 発 生 を 更 に 抑 え る こ と が で き る 。

な お 、 本実施 の 形態 3 に お い て も 、 対 向 基板側 は 図 6 6 、 図 7 0 に 示す よ う な 形 状で も 良 い 。 ま た 、 ア レ イ 基板側 は 図 7 2 に 示 す よ う に 、 走査配線電極 上 、 信 号 配線電極上 、 あ る い は 走 査配線 電極 上 と 信 号 配 線電極 上 に 絶縁膜 を 形成 し て も 良 い 。

( 第 2 — 7 — 4 の 実 施 の 形態 ）

図 7 3 に 、 本実施 の 形 態 の 液 晶 素 子 の 構成 を 示 す 。

さ て 、 先 の 第 3 の 実 施 の 形態 で は 、 ガ ラ ス 基 板 1 上 に 走査線 7 と 共 通電極 5 を 形 成 し 、 そ の 上 に 第 1 の 絶縁膜 を 形成 し 、 そ の 上 に 半 導 体 層 、 信号線 、 画 素電極 を 形 成 し た が 、 本 実 施 の 形態 で は ガ ラ ス 基板 1 上 に 信号線 6 、 'ド レ イ ン 、 画 素 電極 4 、 半 導体 層 1 6 を 形成 し 、 そ の 上 に 第 1 の 絶縁膜 を 形成 し 、 そ の 上 に 走査線 6 と 共 通 電極 5 を 選 択 的 に 形 成す る 。

す な わ ち 、第 3 の 実施 の 形 態 で は画 素 電極 上 の 一部 に 絶縁膜 が な く 、 共通電極 上 に 絶縁膜 が形成 さ れて い た が 、 本 実施 の 形態で は画 素 電極 上 に 絶縁膜 が形成 さ れ 、共 通 電極 の 上 に は絶縁膜 が形成 さ れて い な い 。

ま た 、 ア レ イ 基板側 は 、 図 7 3 に 示す よ う に ス イ ッ チ ン グ素 子 で あ る T F T の 上 部 に だ け絶縁膜 （ パ ッ シ ベ ー シ ヨ ン 膜） を 形成す る 。 な お 、 対 向 基板 の 形成方 法 は 先 の 第 1 の 実施 の 形態 と 同 様 で あ る 。 対向基板側 は、 図 6 4 に示す よ う に 導電性 の ブ ラ ッ ク マ ト リ ク ス を 形成 し 、 導電性 の ブ ラ ッ ク マ ト リ ク ス が直接配向膜 と 接す る よ う に す る 。

こ の よ う に 共通電極上の絶緣膜 を 除去 し 、 対向基板上 に導電性 の ブ ラ ッ ク マ ト リ ク ス を 形成す る こ と に よ り 、 ゲー ト 電位部 に 偏在 し た ィ オ ンが画素電極部分 に拡散、 非イ オ ン化 さ れ る た め に 黒点状 ム ラ の な い 良好 な表示品位 の液晶素子 を 得 る こ と がで き た。

な お 本実施 の 形態 に お い て も 、 対向基板側 は図 6 6 、 図 7 0 に 示す よ う な形状で も 良 く 、 ま た 、 ア レイ 基板側 は図 7 4 に 示す よ う に 、 走 査配線電極上 、 信号配線電極上、 走査配線電極上 と 信号配線電極上 に 絶縁膜 を 形成 し て も 良 い 。

(第 2 _ 7 — 5 の実施の 形態）

図 7 5 は、 本発 明 の 第 2 - 7 一 5 の 実施の形態の液晶素 子 の構成 を 示す 図で あ る 。

先 の第 3 の 実施の形態で はガ ラ ス 基板上 に 走査線 7 と共通電極 5 を 形成 し 、 そ の 上 に第 1 の絶縁膜 を 形成 し 、 そ の 上 に 半 導体層 1 6 、 信 号線 6 、 画素電極 4 を 形成 し たが、 本実施 の形態では ガ ラ ス 基板 1 上 に信号線 6 、 ド レイ ン 、 画素電極 4 、 半導体層 1 6 を 形成 し 、 そ の 上 に第 1 の絶縁膜 を 形成 し 、 そ の 上 に 走査線 7 と 共通電極 5 と 画素電極 4 を選択的 に 形成す る 。

すなわ ち 本実施の 形態で は画素電極 4 と 共通電極 5 を 同 一 の 層 に 形 成す る 。

なお 、 ア レイ 基板側 は図 7 5 に示すよ う に ス イ ッ チ ン グ素子で あ る T F T の上部 に だけ絶縁膜 （パ ッ シベ ー シ ヨ ン膜） を 形成す る 。

対向基板.の 形成方法 は先の第 1 の実施の 形態 と 同様で あ る 。 すな わ ち 、 図 6 4 に 示すよ う に導電性 の ブ ラ ッ ク マ ト リ ク ス を形成 し 、 導電 性 の ブ ラ ッ ク マ ト リ ク ス が直接配 向膜 と 接す る よ う にす る 。

こ の よ う に 、画素電極上及び共通電極上 の絶縁膜が除去 さ れてお り 、 ま た対向基板上 に導電性 の ブ ラ ッ ク マ ト リ ク ス を 形成す る こ と に よ り ゲー ト 電位部 に偏在 し た イ オ ンが画素電極部分 に拡散、 非イ オ ン化 さ れ る た め に 熏点状ム ラ の な い 良好な表示品位 の液晶素子 を 得 る こ と が で き た。

な お 、 本実施の形態 に お い て も 、 対向基板側 は図 6 6 に示すよ う な 形状で も 良 い。 ま た 、 ア レイ 基板側は図 7 6 に示すよ う に 、 走査配線 電極上 、 信号配線電極上、 走査配線電極上 と信号配線電極上 に絶縁膜 を 形成 し て も 良 レ 。

(第 2 _ 7 — 6 の実施の 形態）

図 7 7 に 、 本第 2 — 7 _ 6 の実施の形態の液晶 素子 の構成 を 示す。 先の 第 1 の実施の形態等で は基板間 隔 を 一定 に 保持す る ス ぺーサー と し て樹脂球 を散布 し た が、 本実施の形態で はカ ラ ー フ ィ ル タ ー側 に 突起物 （柱） 6 0 を 形成 し て い る 。 それ以外は、 他 の 実施の 形態 と 同 様で あ る 。

突起物 の 形成方法 と し て は、 感光性 ア ク リ ル樹脂 （ P C 3 3 5 ： J S R 製） を 用 い て以下 の方法で行 っ た。

感光性 ア ク リ ル樹脂 （ P C 3 3 5 ： J S R 製） を カ ラ 一 フ ィ ルタ ー 上 に ス ピ ン コ ー ト に よ り 塗布 し た後、 8 0 で で 1 分 間 プ リ べ一ク を 行 つ た。 そ の後所定の マ ス ク を 用 い て 3 0 0 m j Z c m ² で露光 を 行 つ た。 そ の後現像液 C D 7 0 2 A D に て 2 5 で で 1 分 間現像 を行 い 、 流 水で洗浄後、 2 2 0 で 1 時間 ポ ス ト べ一 ク を行 い （室温 よ り 昇温す る ） 、 膜厚 5 . Ο ΠΤの突起物 6 0 を 形成 し た 。

突起物 の 形成場所 と し て は、 ア レイ 側の.電極が第 1 の絶縁膜、 第 2 の絶縁膜で覆われて い る 箇所 に 形成 し た。 本発 明 の よ う に 基板 間 隔 を 一 定 に 保持す る ス ぺ ーサ 一 と し て 特定 の 箇 所 に 柱 を 形 成 す る こ と に よ り 、 上 下基 板 が シ ョ ー ト し に く い 箇所 を 選 ん で ス ぺ ー サ ー を 設 置 す る こ と がで き る の で 、 両 基 板 に 導 電性 物 質 が 形成 さ れ て い て も シ ョ ー ト し に く く な る 。

ま た 、 ブ ラ ッ ク マ ト リ ク ス 、 中 和 電極等 に 凹 凸 を 形成 す る 場 合 に は 、 そ れ ら の 部分 を 避 け て 形 成 す る こ と も 可能 と な る 。

ま た 、 封 口 様樹脂 の 硬 化 に 先 立 っ て そ の 内 部 の 空気 等 を 除去す る た め 液 晶 パ ネ ル に 加速度 を 与 え る 際 、 内 部 の ビー ズ の 移 動 の 発 生が な く な る 。

ま た 、 基板 間 隔 を 一 定 に 保持 す る ス ぺ ーサ 一 は 、 ア レ イ 基 板側 に 形 成 し て も 良 い 。 勿論 、 ケ ー ス に よ り 、 両方 の 基板 に 形成 し て も 良 い 。 更 に 、 多段式 の 表示 装 置 の 場 合 、 各 基板 に 形成 し て も 良 い 。

( 第 8 の 発 明群 ）

本発 明群 は 、 発 泡 剤 に よ る イ オ ン 等 の 吸着 、 吸収 に 関 す る 。

(第 2 — 8 — 1 の 実 施 の 形 態 ）

本実施 の 形態 は 、 中 和 電極 上 に 、 発 泡剤 に よ る 微 小 な ス ポ ン ジ状 の 樹脂 層 を 形成 す る も の で あ る 。 図 7 8 に 、 そ の 製造 、 形成 の 要部 を 示 す 。 以下本 図 を 参照 し つ つ 、 本 実施 の 形態 の 技術 内 容 を 説 明 す る 。

1 ) 中 和 電極 3 0 上 に 、 フ ィ ル タ を 使 用 す る 等 し て 発 泡剤 層 9 1 を 塗 布等で形成す る 。 こ の 発 泡 剤 は 、 ベ ー ス と な る ゴ ム や 樹脂 中 に 混 入 し て お き 、 加熱分解 さ せ て 窒 素 、 炭 酸 ガ ス 等 を 発 生 さ せ る こ と に よ り 、 ベ ー ス に 直径 2 、 3 等 の 微 小 な 泡構造 を 形成す る も の で あ る 。. 具 体 的 に は 、 ァ ゾ ジ カ ル ボ ン ア ミ ド 、 N , N — ジ ニ ト ロ ソ ペ ン タ メ チ レ ン テ ト ラ ミ ン 、 ベ ン ゼ ン ス ル ホ ニ ル ヒ ド ラ ジ ド 、 炭 酸水 素 ナ ト リ ウ ム 等 が あ る 。

2 ) 発 泡剤 を 加熱分 解 さ せ て 、 ベ ー ス の 配 向 膜剤 を 多孔 質 に す る 。 2 - 1 ) 必要 に応 じ て配 向性 を 付与す る 。

3 ) 液晶表示装置 の 使用 時 に 、 そ の泡構造 に よ る 広 い表面積 と 中 和電 極 を介 し て の電荷で、 液晶 中 の イ オ ンや不純物等の 回収 を行な う 。

(そ の他 の 実施の 形態）

以上 、 本発 明 を 2 つ の 大発 明群 、 更 に幾つ か の発明群 に 分 けて説 明 " す る 際、 液晶 素子 と し て'透明型 の液晶表示装置 を例 に と っ て説明 し て き た が、 何 も こ れ に 限定 さ れる ので はな い 。 すなわ ち 、 例 え ば、 以下 の よ う に し て も 良 レ 。

1 ) 図 7 9 に 示すよ う に 、 反射型 の液晶表示装置 と し て い る 。 本図 に お い て 、 9 1 は鏡で あ り 、 9 2 は透明絶縁膜で あ る 。 ま た、 T F T 1

6 等 は 、 透 明絶縁膜上 に （本図） あ る い は対向す る 基板側 （図示せず） に 形成 さ れて レゝ る 。

2 ) 遮光層 （膜） は、 カ ラ ー フ ィ ルタ 一 間 に 在 る こ と と な る ブ ラ ッ ク マ ト リ ク ス でな く 、 T F T の光 に よ る 誤操作防止等 を も 兼ねた保護膜 で あ る 。 なお こ の場合、 遮光層 の 凹 凸 は、 本来の （画素間 の） ブ ラ ッ ク マ ト リ ク ス と の寸法、 大 き さ の如何 に も 依 る が、 遮光膜の液晶側面 の みな ら ずその側面 に 設 けて も 良 い。

3 ) 図 8 0 に示すよ う に 、 液晶光学素子で あ る 。 近年 、 図 8 0 に 示す よ う に 、 入射光 7 9 0 に対 し てそ の演算結果 を 透過光 7 9 1 と し て 出 力 す る 光論理素子 7 9 2 が開発 さ れて い る 。 こ れは、 光 コ ン ピ ュ ー タ 一への応用 に 際 し て 高 い コ ン ト ラ ス ト 比が要求 さ れ る が、 横電界型液 晶 を採用 し た素子で の表示特性 を 改善す る こ と に よ り 、 高 い信頼性が 得 ら れた。 '

4 ) 図 8 1 に示すよ う に 、 E L ディ ス プ レ イ で あ る 。 本図 に お い て 、 9 1 1 は、 ガ ラ ス 基板で あ る 。 9 1 2 は、 薄膜 ト ラ ン ジス タ で あ る 。

9 1 3 は、 絶緣層で あ る 。 9 1 4 は、 配線電極で あ る 。 9 1 5 は、 陰 極で あ る 。 9 1 7 は、 有機 E L 層 で あ る 。 9 1 8 は、 陽極で あ る 。 9 2 0 は 、 支持柱で あ る 。 9 2 1 は、 カ ラ 一 フ ィ ル タ ー で あ る 。 9 2 2 は、 蛍光変換層で あ る 。 9 2 3 は、 透 明板で あ る 。 た だ し 、 こ の原理 等 は周 知技術な の で 、 そ の 説明 は省略す る 。

5 ) 図 8 2 に示す様 に 、 液晶 のパ ネル内への注入後の封 口 に 、 嫌気性 樹脂 2 0 2 1 と 機械的手段 と を 併用 し て い る 。 本図 の 1 ) は、 パ ネル の 液晶注入用 の樹脂製の細孔部 2 1 2 内 に 、 嫌気性樹脂 2 0 2 1 を 反 液晶側 に 塗布 し た栓 2 1 1 や外周部 に 塗布 し た板 2 1 1 0 を押圧で押 し 込 ん だ り 等する も の で あ る 。 2 ) は 、 パ ネルの液晶注入用 の雌ね U 2 1 4 に 、 頭部側 に 嫌気性樹脂 2 0 2 1 を 塗布 し た雄ね じ を ね じ 込む も の で あ る 。 更 に 、 こ の樹脂 は、 押圧手段で硬化す る タ イ プで あ り 、 こ れ に よ り 液晶注入部の封止 の 時期 を 調整可能 と し て い る 。

6 ) 図 8 3 に示す様 に 、 中 和電極 に 印加す る 電圧 を種 々 の も の 、 タ イ プ と し て い る 。 本図 の 1 ) は、 ゲー ト と 同 じ 電圧で あ る 。 こ の た め 、 略マ イ ナ ス 電圧 と な る 。 2 ) は、 単 に ゲー ト 信号線 あ る い は ソ ース 信 号線 と 接続 さ れる だけでな く 、 液晶 の チ ャ ー ジ ア ッ プ防止 の た め両信 号線の 電圧 を表示周 期毎 に交互 に 変化 さ せて も プ ラ ス あ る い はマ イ ナ ス の電荷の み有す る 様 ダイ オー ド に接続 さ れて い る 。 ま た 、 そ の液晶 側表面 に は、 発泡剤 を 使用 し た配向膜 9 1 が形成 さ れて い る 。

以上 、本発 明 を幾つ か の そ の 実施の形態 に基づい て 説明 し て き たが、 本発 明 は何 も こ れ ら に 限定 さ れな い の は勿論で あ る 。 即 ち 、 例 え ば以 下の様 に し て も 良 い 。

1 ) 液晶 と し て、 ネ マ テ ィ ッ ク 液晶でな く 、 例 え ば強誘電性液晶や反 強誘電性液晶等 の他 の種類の液晶 と し て い る 。

2 ) 配向方法 と し て 、 ラ ビ ン グ を 用 い な い方法 （例 え ば光 に よ り 配向 さ せ る 方法） を用 い 、 あ る い は併用 し て 、 更 に 均一な配向 を 得、 コ ン ト ラ ス 卜 の 改 良 を 図 っ て レ ^ る 。

3 ) 能 動 素 子 と し て 3 端子 素 子 の T F T で な く 、 2 端子 素 子 の M I M ( M e t a l - I n s u l a t o r - M e t a l ) 、 Z n O ノヽ' リ ス 夕 や S i N x ダイ オ ー ド 、 a _ S i ダイ オ ー ド 等 と し て い る 。

4 ) ト ラ ン ジ ス タ と し て は ボ ト ム ゲ ー ト 構 造及 び ト ッ プゲ ー ト 構 造 の ァ モ リレ フ ァ ス シ リ コ ン （ a — S i ) 以 外 の も の 、 例 え ば、 ポ リ シ リ コ ン （ p — S i ) 等 と し て レ る 。

5 ) T F T の 構造 は 、 チ ャ ネ ル保 護 型 で な く チ ャ ネ ル エ ッ チ型 と し て い る 。

6 ) 基 板 周 辺 に 駆動 回 路 を 形成 し て い る 。

7 )基板 の 一方 あ る い は両方 を フ ィ ル ム や プ ラ ス チ ッ ク 等 と し て い る 。 8 ) ア レ イ 基板側 に カ ラ ー フ ィ ル タ ー を 形 成 し た 基板 と し て レゝ る 。

9 ) 画 素 電極 、 共 通電極 、 対 向 側 の 中 和 電極 と し て A 1 で な く C r や C u 等 他 の 金 属 、 あ る い は I T O (酸 化 ス ズ を 混 入 し た 酸 化 イ ン ジ ゥ ム 膜 ） な ど の 透 明 電極 を 用 い て い る 。

1 0 ) 対 向側 の 中 和 電極 を I T O 等 の 透 明 電極 で 形成 し 、 ブ ラ ッ ク マ ト リ ク ス 以外 の 場 所 に 中 和 電極 を 形成 し 、 こ れ に よ り 開 口 率 の 向 上 を 図 っ て レゝ る 。

1 1 ) 対 向 側 の 中 和 電極 の 形成 箇 所 と し て 、 ブ ラ ッ ク マ ト リ ク ス 部 に ブ ラ ッ ク マ ト リ ク ス と は別 に 形成 し て レ る 。

1 2 ) 対 向 基板側 に 導 電性 の カ ラ ー フ ィ ル タ ー を 用 い て 、 対 向 基 板側 の 中 和 電極 を 対 向 基板側 の カ ラ ー フ ィ ル タ ー と 兼ね る よ う に し て い る

1 3 ) セ ル厚 形成 方 法 と し て 、 ス ぺ ー サ ー 散布 法で は な い 方 法 （ 例 え ば樹脂 に よ り 柱 を 形成す る 方 法 ） を 用 い て 均 一 な セ ル厚 を 形成 し て い る 。

1 4 ) 反 射 型 液 晶 パ ネ ル と し て 、 絶縁膜 あ る い は配 向 膜 と し て 着 色 さ れた も の を 用 い て も い る 。

1 5 ) ブ ラ ッ ク マ ト リ ク ス や カ ラ ー フ ィ ル 夕 一 は 、 顔料法、 印刷法、 染色法、 電着法、 イ ン ク ジ ェ ッ ト 法、 フ ィ ルム'転写法等の方法で形成 さ れて レゝ る 。

1 6 ) 発泡剤 に よ る 細胞構造 は、 セルの寸 法 は よ り 小 さ か っ た り 、 連 続 し て い た り し て レ^" る 。

1 7 ) 記述 の如 く 、 液晶 の チ ャ ー ジ ア ッ プ防止 の た め 、 画素電極 と 共 通電極 に か け る 電圧 の プ ラ ス 、 マ イ ナス の 関係 は所定時期毎 に反転可 能 と し 、 こ れ に併せて 中 和電極 に かか る 電圧 も 調整、 制御可能 と し て レ る 。 産 業 上 の 利 用 可 能 性 以上 の 説 明で判 る よ う に 、 第 1 の大発 明群 に よ れ ば、 液晶 の注入 口 を封止す る 樹脂部分 に 、 異物や気泡が無 い 、 発生 し な く な る た め 、 細 心の注意 を 払 っ てか つ 多方 向か ら 紫外線 を 照射 し な く て も 、 紫外線硬 化樹脂 の 未硬化部分がな く な る 。 そ の た め液晶 中 への未硬化の樹脂の 成分 の拡散がな く な る 。 そ の 結果、 液晶素子の初期特性及び長期信頼 性が飛躍的 に 向上す る 。

第 2 の大発 明群 に よ れ ば、 導電物質か ら な る 層 と 液晶層 と の 間 に介 在す る 電極上 の配向膜 と 絶縁層 等の第 3 の層 の総膜厚が 5 0 O A よ り 薄 い領域 を 設 け る こ と で 、 従来生 じ て い た 、 液晶 中 の イ オ ン種の集 中 に よ る 黒斑点欠陥 を ほ ぼな く す こ と がで き 、製造歩留 ま り が向上す る 。 同 じ く 、 中 和電極 を 設 け る こ と に よ っ て 、 レ ーザー リ ペ ア を行 っ た と きやゲー ト 信号配線上 の絶縁層 に ピ ン ホール等の欠損が存在す る と き で も 黒点む ら が発生 し な く な る 。

同 じ く 、 画素電極、 共通電極、 信号配線電極の 少な く と も 1 の電極 の 上 の 少な く と も 一部分 に絶縁膜の形成 さ れて い な い 箇所が あ り 、 当 該部分 に よ り 電極が配 向膜 の み を 介 し て 、 あ る い は直接液晶 に接 し て お り 、 更 に画 素電極等が形成 さ れて い な い 基板側 に絶緣膜 の 形成 さ れ て い な い箇所 を有す る 中 和電極が形成 さ れて お り 、 こ の た め ゲー ト 電 位部 に偏在 し たイ オ ン が非イ オ ン化 さ れ る た め に 表示ム ラ が発 生 し な く な る 。

同 じ く 、 画素電極及び対向電極が同 一層 に な く 、 上部側 と な る 一方 の 電極 の 上 に は絶縁膜 を 形成 し な い こ と に よ り 、 ゲー ト 電位部 に偏在 し た イ オ ン が画素電極部分 に 拡散 し 、 非イ オ ン化 さ れ る た め 、 表示ム ラ の な い 良好な表示品位 の 液晶素子 と な る 。

同 じ く 、 画素電極が形成 さ れて い な い基板側 の ブ ラ ッ ク マ ト リ ク ス の 表面 に 凹 凸構造 を 形成 し て表面積 を 大 に し 、 こ れ に よ り 、 ゲー ト 電 位部 に偏在 し たイ オ ン を非イ オ ン化す る た め 、 黒点状ム ラ の発 生 を抑 え る こ と がで き る 。 特 に ブ ラ ッ ク マ ト リ ク ス の表面 に 凹 凸が形成す る と 、 イ オ ン を 回収す る 表面積が大 き く 、 十分な効果 を 得 る こ と がで き る 。

ま た、 遮光層が直接若 し く は配向膜 を介 し て液晶 に 接す る 構成 にす る こ と に よ り 、 液晶 中 の イ オ ン性不純物が遮光層 か ら 回収 さ れ、 黒斑 点欠陥が全 く 発生 し な く な る 。

ま た、イ オ ン を 回収す る た め の電極 を 両基板 に 形成す る こ と に よ り 、 ゲー ト 電位部 に偏在 し た イ オ ン が非イ オ ン化 さ れ る た め に 表示ム ラ の 発 生が防止 さ れ る 。

Claims

請 求 の 範 囲

1 . 上下 を 2 枚 の基板で 、 周 囲 を壁で 囲 ま れた 空間 内 に液晶 を 狭持 し た液晶素子 の製造方法で あ っ て 、

上記空 間 内 に液晶 を 注入後、 注入 口 の封止 の た め に 、 4 0 で 以上 の 所定の 温度で は粘度が 2 0 P a · s 以下 と な る 、 そ し て紫外線等の 電 磁波で硬化す る 樹脂 を 用 い て塗布す る 低粘度樹脂塗布 ス テ ッ プ と 、 塗布 し た樹脂 を 2 O P a * s 以下の 粘度 と し 、 併せてそ の 内部 に含 ま れて い る 水分、 空気、 塵埃等の化学的異物 を 除去す る 異物除去ス テ ッ プ と 、

該異物 除去 ス テ ッ プの後か若 し く は共 に紫外線等の電磁波 を 照射 し て樹脂 を硬化 さ せる 低粘度紫外線硬化樹脂封入 ス テ ッ プを 有 し て い る こ と を 特徴 と す る 液晶素子の製造方法。

2 . 前記異物除去ス テ ッ プは、

上記封止用 の樹脂 に所定の振動 を与 え る 振動小 ス テ ッ プを 有 し て い る こ と を 特徴 と す る 請求項 1 記載の液晶素子の 製造方法。

3 . 前記振動ス テ ッ プは、

上記封止用 の樹脂 に与え る 振動 と し て超音波若 し く は メ ガ ソ ニ ッ ク を用 い る 超音波 メ ガ ソ ニ ッ ク 照射振動 小 ス テ ッ プで あ る こ と を 特徴 と す る 請求項 2 に記載 の液晶素子の 製造方法。

4 . 前記異物除去ス テ ッ プは、

前記低粘度樹脂塗布ス テ ッ プ時若 し く はそ の後 に 、 固体 に 注入 口 部 の樹脂 を接触 さ せて拭き 取 り 、 こ れ に よ り 内部 に 気泡の混入 し て い る 部分 を 除去す る 気泡部除去小ス テ ッ プ と 、

再度樹脂 を 塗布す る 再塗布小ス テ ッ プ と を 有 し て い る こ と を 特徴 と す る 請求項 1 に記載の液晶素子の 製造方法。

5 . 前記異物除去ス テ ッ プは、 前記低粘度樹脂塗布 ス テ ッ プ時若 し く はそ の後 に 、 塗布 し た封止用 の樹脂 を 少な く と も 大気圧 よ り 低 い圧 に 晒す低圧ス テ ッ プを 有 し て い る'こ と を特徴 と す る 請求項 1 に 記載の液晶 素子の 製造方法。

6 . 前記異物除去ス テ ッ プは、

前記低粘度樹脂塗布 ス テ ツ ブ後 に 、 樹脂 に 反 液晶側への加速度 を 与 え る 加速ス テ ッ プを 有 し て い る こ と を特徴 と す る 請求項 1 に 記載 の液 晶素子の 製造方法。

7 . 前記異物除去ス テ ッ プは、

上記塗布 し た封止用 樹脂 を加熱 に よ り 低粘度化す る ため 、 赤外線 を 照射す る 赤外線照射小ス テ ッ プを 有 し て い る こ と を特徴 と す る 請求項 1 か ら 請求項 6 の いずれか に 記載の液晶素子の 製造方法。

8 . 上下 を 2 枚 の基板で、 周 囲 を壁で 囲 ま れた空間 内 に 、 液晶 が保 持 さ れて な る 液晶素子で あ っ て、

上記空間 内 に液晶 を 充た し た後封止す る 部分 に 、 非硬化時 に は、 4 0 で 以上 の所定の温度で はそ の粘度が 2 0 P a · s 以下で あ っ た電磁 波硬化性 の 樹脂 を使用 有 し てお り 、 かつ硬化 し た樹脂 中 に は、 水分 、 空気、塵埃等 の光学的 異物 を 有 し て い な い こ と を 特徴 と す る 液晶素子。

9 . 前記電磁波硬化性樹脂 は、

紫外線硬化性樹脂で あ る こ と を 特徴 と す る 請求項 8 記載の液晶 素子 1 0 . 前記電磁波硬化性樹脂 は、

嫌気性樹脂で あ る こ と を特徴 と す る 請求項 8 記載の液晶素子。

1 1 . 前記電磁波硬化性樹脂 は、

5 0 で 以上 の 温度で 2 O P a · s 以下 に 軟化す る 性質 の樹脂で あ る こ と を特徴 と す る 請求項 8 〜請求項 1 0 の いずれか に記載 の 液晶 素子 1 2 . 上下 を 2 枚 の 基板で、 周 囲 を壁で 囲 ま れた 空 間 内 に 、 液晶が 保持 さ れて な る 液晶素子で あ っ て 、 上記空 間 内 に液晶 を 充た し た後封止す る 部分 に 、 嫌気性 の樹脂 を 使 用 し て い る こ と を特徴 と す る 液晶素子。

1 3 . —方 の基板 に 画素電極が、 他方 の基板 に共通電極が形成 さ れ、 両電極 間 での電圧の 印加 に よ り 両基板 の 内面側 に配向膜 を 介 し て挟持 さ れて い る 液晶層 の 分子配列 を 変化 さ せ る 液晶素子 に お い て 、

いずれか一方若 し く は両方 の基板 に 、 液晶層 中 のイ オ ン の電荷 を 中 和す る 中 和電極 を有 し て い る こ と を特徴 と す る 液晶素子。

1 4 . 一方の基板 に画素電極 と 共通電極が形成 さ れ、 両電極間 で の 電圧の 印加 に よ り 両基板 の 内面側 に配向膜 を介 し て挟持 さ れて い る 液 晶層 の分子配列 を変化 さ せ る 液晶素子 に お い て 、

いずれか一方若 し く は両方 の基板 に 、 液晶層 中 のイ オ ン の電荷 を 中 和す る 中 和電極 を 有 し て い る こ と を特徴 と す る 液晶素子。

1 5 . —方 の基板 に画素電極 と 共通電極が形成 さ れ、 他方 の基板 に 対向電極が形成 さ れ、 上記 3 つ の電極間 に所定の電圧の 印加す る こ と に よ り 両基板の 内面側 に配向膜 を介 し て挟持 さ れて い る 液晶層 の 分子 配列 を 変化 さ せ る 液晶素子 に お い て、

いずれか 一方若 し く は両方 の 基板 に 、 液晶層 中 のイ オ ン の電荷 を 中 和す る 中和電極 を有 し て い る こ と を特徴 と す る 液晶素子。

1 6 . 前記 中和電極 は、

導電性物質か ら な り 、 そ し て遮光膜 を 兼用 す る 導電遮光性 中 和 電極 で あ る こ と を 特徴 と す る 請求項 1 3 か ら 請求項 1 5 の いずれか に記載 の液晶素子。

1 7 . 前記 中和電極 は、

液晶 層 と 、 直接接す る か 又 は配 向膜 を介 し て接す る 、 1 0 0 0 > 以 下の薄膜 を 介 し て接す る 若 し く はイ オ ン を 透過す る 膜 を 介 し て接す る の い ずれかで あ る こ と を 特徴 と す る 請求項 1 3 〜 1 5 の いずれか に 記 載の液晶素子。

1 8 . 前記 中和電極 は、

液晶層 と 、 直接接す る か 又 は配向膜 を介 し て接す る 、 1 0 0 0 · 以 下の 薄膜 を介 し て接す る 若 し く はイ オ ン を 透過す る 膜 を介 し て接す る の い ずれかで あ る こ と を特徵 と す る 請求項 1 6 に記載 の液晶素子。

1 9 . 少な く と も 一方 に 画素電極、 共通'電極、 信号配線 、 走査配線 が形成 さ れた 一対の 基板 と 、 両基板 の 内面'側 に設 け ら れた 配向膜 を 介 し て挟持 さ れた液晶 層 と を 有す る 横電界方式の液晶素子 に お い て 、 上記画素電極等が形成 さ れて い な い基板側 にそ の液晶層側 の 表面が 凹 凸 の 構造の遮光膜 を有 し て い る こ と を 特徴 と す る 横電界方式の液晶 素子。

2 0 . 少な く と も 一方 に画素電極 、 共通電極、 信号配線、 走査配線 が形成 さ れた一対の基板 と 、 両基板の 内 '面側 に設 け ら れた配向膜 を 介 し て挟持 さ れた液晶層 と を有す る 横電界方式の液晶素子 に お い て 、 上記画素電極等が形成 さ れて い る 基板側 に その液晶層側の表面が凹 凸 の構造の遮光膜 を 有 し て い る こ と を 特徴 と す る 横電界方式の液晶素 子。

2 1 . 少な く と も 一方 に画素電極、 共通電極、 信号配線、 走査配線 が形成 さ れた一対の基板 と 、 両基板の 内面側 に設 け ら れた配向膜 を 介 し て挟持 さ れた液晶 と を 有す る 横電界方式の液晶素子 にお い て 、 上記画素電極等が形成 さ れて い な い基板側 にそ の液晶層側 の表面が 凹 凸 の構造の 中和電極 を有 し て い る こ と を特徴 と す る 横電界方式の液 晶素子。

2 2 . 少な く と も 一方 に画素電極、 共通電極、 信号配線、 走査配線 が形成 さ れた一対の基板 と 、 両基板 の 内面側 に設 け ら れた配 向膜 を 介 し て挟持 さ れた液晶層 と を有す る 横電界方式の液晶素子 に お い て 、 上記画素電極等が形成 さ れて い る 基板側 に そ の液晶層側 の表面が凹 凸 の構造 の 中 和電極 を 有 し て い る こ と を 特徴 と す る 横電界方式の液晶 素子。

2 3 . 少な く と も 一方 に 画素電極、 共通電極、 信号配線、 走査配線 が形成 さ れた 一対の 基板 と 、 画素電極 に対向 す る 対向電極が形成 さ れ た対向基板 と 、 両基板の 内面側 に設 け ら れた配向 膜 を 介 し て挟持 さ れ た液晶層 と を 有 し 、 画素電極、 共通電極及 び対 向電極 の 間 に 電圧 を 印 加 し て液晶分子の配列 を 変化 さ せ る 液晶素子 に お い て 、

上記対向電極 は、 そ の表面が凹 凸 の構造 を 有 し て い る こ と を 特徴 と す る 液晶素子。

2 4 . 少な く と も 一方 に 画素電極、 共通電極、 信号配線、 走査配線 が形成 さ れた 一対の 基板 と 、 画素電極 に対 向す る 対向電極が形成 さ れ た対向基板 と 、 両基板 の 内面側 に 設け ら れた配向膜 を 介 し て挟持 さ れ た液晶層 と を 有 し 、 画素電極、 共通電極及び対向電極の 間 に電圧 を 印 加 し て液晶分子の配列 を 変化 さ せ る 液晶素子 に お い て 、

上記画素電極等が形成 さ れて い な い対向基板側 にそ の液晶層側 の 表 面が凹 凸 の構造の遮光膜 を 有 し て い る こ と を 特徴 と す る液晶素子。

2 5 . 少な く と も 一方 に 画素電極、 共通電極、 信号配線、 走査配線 が形成 さ れた 一対の基板 と 、 画素電極 に対 向す る 対向電極が形成 さ れ た対向基板 と 、 両基板の 内面側 に 設 け ら れた配 向膜 を介 し て挟持 さ れ た液晶層 と を 有 し 、 画素電極、 共通電極及び対 向電極の 間 に電圧 を 印 加 し て液晶分子 の配列 を 変化 さ せ る 液晶素子 に お い て 、

上記画素電極等が形成 さ れて い る 基板側 に そ の液晶層側の表面が 凹 凸 の構造 の遮光膜 を有 し て い る こ と を特徴 と す る 液晶素子。

2 6 . 前記遮光膜 は、

導電性物質か ら な る 導電性遮光膜で あ る こ と を 特徴 と す る 請求項 1 9 、 請求項 2 0 、 請求項 2 4 若 し く は請求項 2 5 に記載の横電界方式 の液晶素子。

2 7 . 上記液晶層 は、

その 比抵抗が 1 0 ] ³ Ω · c mよ り も 小 さ い液晶 を 使用 する 低比抵抗 液晶層 で あ る こ と を 特徴 と す る 請求項 1 9 〜 請求項 2 5 の いずれか に 記載の横電界方式の液晶素子若 し く は液晶素子。

2 8 . 上記液晶層 は、

そ の 比抵抗が 1 0 ^{1 3} Ω · c mよ り も 小 さ い液晶 を 使用 す る 低比抵抗 液晶層 で あ る こ と を 特徴 と す る 請求項 2 6 に 記載 の横電界方式の 液晶 素子若 し く は液晶素子。

2 9 . 横電界方式で液晶 を駆動す る 表示装置 に使用 さ れる カ ラ ー フ ィ ルタ ー に お い て 、

遮光膜部の液晶層側 の表面が凹 凸の構造 を 有 し て い る こ と を特徴 と す る カ ラ 一 フ ィ ル 夕 一。

3 0 . 前記遮光膜 は、

その 凹 凸構造の 凹部 と 凸部の差が 0 . 1 m以上で あ る こ と を特徴 と する 請求項 1 9 、 請求項 2 0 、 請求項 2 4 若 し く は請求項 2 5 に 記 載の液晶素子。

3 1 . 前記遮光膜 は、

その 凹 凸構造の 凹部 と 凸部の差が 0 . 3 ΠΙ以上で あ る こ と を特徴 と する 請求項 1 9 、 請求項 2 0 、 請求項 2 4 若 し く は請求項 2 5 に 記 載の液晶素子。

3 2 . 前記遮光膜 は、

その 凹 凸構造の 凹部 と 凸部の差が 0 . 3 m以上で あ る こ と を 特徴 と す る 請求項 2 6 に 記載の液晶素子。

3 3 . 前記遮光膜 は、 そ の 凹 凸構造の 凹部 と 凸部 の差が 0 . 3 m以上で あ る こ と を特徴 と す る 請求項 2 7 に 記載 の液晶素子。

3 4 . 前記 中 和電極 は、

そ の 凹 凸構造 の 凹部 と 凸部の差が 0 . 1 m以上で あ る こ と を 特徴 と す る 請求項 2 1 若 し く は請求項 2 2 に記載の液晶素子。

3 5 . 前記遮光膜 は、

そ の 凹 凸構造の 凹部 と 凸部 の差が 0 . 3 m以上で あ る こ と を特徴 と す る 請求項 2 7 に記載の液晶素子。

3 6 . 前記遮光膜 は、

配 向膜 を 介 し て若 し く は直接液晶 と 接 し て い る こ と を特徴 と す る 請 求項 1 9 、 請求項 2 0 、 請求項 2 4 若 し く は請求項 2 5 に 記載 の液晶 素子。

3 7 . 前記遮光膜 は、

配向膜 を 介 し て若 し く は直接液晶 と 接 し て い る こ と を特徴 と す る 請 求項 2 3 に 記載の液晶素子。

3 8 . 前記遮光膜 は、

配向膜 を 介 し て若 し く は直接液晶 と 接 し て い る こ と を特徴 と す る 請 求項 2 4 に 記載の液晶素子。

3 9 . 前記 中和電極 は、

配 向膜 を 介 し て若 し く は直接液晶 と 接 し て い る こ と を特徴 と す る 請 求項 2 1 若 し く は請求項 2 2 に 記載 の液晶素子。

4 0 . 前記 中和電極 は、

配向膜 を 介 し て若 し く は直接液晶 と 接 し て い る こ と を特徴 と す る 請 求項 2 7 に記載の液晶素子。

4 1 . 少 く も 一方 に 、 マ ト リ ッ ク，ス 状 に配置 さ れた ソ ー ス 信号配線 及びゲー ト 信号配線、 該両信号配線の 各交差点部 のス ィ ツ チ ン グ素子 と こ れ に接続 さ れた画素電極、 こ れ に 対峙す る 共通電極並びに それ ら 各部の絶縁等 を なす絶縁層 を 有す る 一対の基板 と 、 原則 と し て両基板 の 内面側 に 設 け ら れた配 向膜 を 介 し て挟持 さ れ る 液晶層 と を 有す る 横 電界方式の液晶素子 に お い て 、

ゲー ト と 所定の 関係 の電圧 を 保持す る 電極 を 有 し て い る こ と を 特徴 と する 液晶 素子。

4 2 . 少 く も 一方 に 、 マ ト リ ッ ク ス 状 に 配置 さ れた ソ ー ス 信号配線 及びゲー 卜 信号配線、 該両信号配線の 各交差点部の ス ィ ツ チ ン グ素子 と こ れ に接続 さ れた画素電極、 こ れ に 対峙す る 共通電極並びに それ ら 各部の 絶縁等 を なす絶縁層 を有す る 一対の基板 と 、 原則 と し て両基板 の 内面側 に 設 け ら れた配 向膜 を 介 し て挟持 さ れ る 液晶 層 と を 有す る 横 電界方式の液晶素子 にお い て 、

画素電極 と 所定の 関係 の電圧 を 保持す る 電極 を 有 し て い る こ と を 特 徴 と す る 液晶素子。

4 3 . 少 く も 一方 に 、 マ ト リ ッ ク ス 状 に配置 さ れた ソ ー ス 信号配線 及びゲー ト 信号配線、 該両信号配線 の 各交差点部の ス ィ ツ チ ン グ素子 と こ れ に接続 さ れた画素電極、 こ れ に 対峙す る 共通電極並びに それ ら 各部の 絶縁等 を なす絶縁層 を有す る 一対の基板 と 、 原則 と し て両基板 の 内面側 に 設 け ら れた配向膜 を 介 し て挟持 さ れ る 液晶層 と を 有す る 横 電界方式の 液晶素子 にお い て 、

対向電極 と 所定の 関係 の電圧 を 保持 し 、 更 に 少な く と も そ の 一部が 上記液晶層 に 直接又 は配向膜、 1 0 0 0 A 以下の薄膜若 し く はイ オ ン を透過す る 膜 の いずれか を介 し て接す る 電極 を 有 し て い る こ と を 特徴 と す る 液晶 素子。

4 4 . 少 く も 一方 に 、 マ ト リ ッ ク ス 状 に 配置 さ れた ソ ース 信号配線 及びゲー ト 信号配線、 該両信号配線の 各交差点部の ス ィ ツ チ ン グ素子 と こ れ に 接続 さ れた画素電極、 こ れに対峙す る 共通電極並びにそれ ら 各部の絶縁等 を なす絶縁層 を 有す る 一対の基板 と 、 原則 と し て両基板 の 内面側 に設 け ら れた配 向膜 を 介 し て挟持 さ れ る 液晶層 と を有す る 横 電界方式の液晶 素子 に お い て 、

走査信号線若 し く はゲー ト 信号線の 少 く も 一方 と 所定の 関係 の電圧 を保持す る 電極 を有 し て い る こ と を特徴 と す る 液晶素子。

4 5 . 少な く と も 一方 に 導電層 と し て ソ ー ス 及びゲー ト 信号配線並 びに横電界 を発生 さ せ る た め の 画素電極 と 共通電極 と を有 し 、 更 に こ れ ら 導電層相互の絶縁等 と を なす絶縁膜 を 有す る 一対 の基板 と 、 原則 と し て両基板 の 内面側 に 設 け ら れた配向膜 を 介 し て狭持 さ れ る 液晶層 と を 有す る 横電界方式 の液晶素子 にお い て 、

上記導電層 と 液晶 層 と の 間 に 介在す る 絶縁膜、 配 向膜等か ら な る 第 3 の 層 を形成す る 膜 は、 そ の 膜厚の合計が 1 0 0 0 A よ り 少な い 薄膜 化領域 を有 し て い る こ と を特徴 と す る 液晶素子。

4 6 . 前記薄膜化領域 は 、

配向膜 と 絶縁層 と の 少な く と も 一方 の上 に 在 る こ と を特徴 とす る 請 求項 4 5 に 記載の液晶素子。

4 7 . 前記薄膜化領域 は、

配向膜若 し く は保護膜上 に あ り 、 当 該配向膜若 し く は保護膜 は、 導 電性物質か ら な る こ と を 特徴 と す る 請求項 4 5 に 記載の液晶素子。

4 8 . 前記薄膜化領域 は、

上記画素電極、 共通電極若 し く は信号配線上 に位置 し て い る こ と を 特徴 と する 請求項 4 5 、 請求項 4 6 若 し く は請求項 4 7 に記載の 液晶 素子。

4 9 . 上記液晶素子 は ， 導電性遮光膜 を有 し 、 更 に 、

前記薄膜化領域は、 導電性遮光膜上 に位置 し て い る こ と を特徴 と す る 請求項 4 5 、 請求 項 4 6 若 し く は請求項 4 7 に記載 の液晶素子。

5 0 . 前記薄膜化領域 は 、

上記画 素電極等の形成 さ れた基板 に対向す る 基板 に 形成 さ れて い る こ と を 特徴 と す る 請求項 4 9 に 記載の液晶素子。

5 1 . 少な く と も 一方 に 導電層 と'し て信号配線、 蓄積容量電極及び 横電界 を 発生 さ せる た め の 画素電極 と 共通電極 と を 有 し 、 更 に こ れ ら 導電層相互の絶縁等 と を なす絶縁膜 を有す る 一対の基板 と 、 原則 と し て両基板の 内面側 に 設 け ら れた配向膜 を介 し て狭持 さ れ る 液晶層 と を 有す る 横電界方式の液晶素子 に お い て 、

上記導電層 と液晶層 と の 間 に 介在す る 絶縁膜、 配向膜等か ら な る 第

3 の 層 を 形成する 膜 は、 所定位置では配向膜 の み存在す る か 、 1 0 0 O A 以下の 薄膜で あ る か、 イ オ ン透過性 の膜で あ る か 、 そ も そ も 形成 さ れて い な い かで あ る こ と を特徴 と す る 液晶素子。

5 2 . 上記液晶層 と 上記導電層 と が直接接触す る こ と と な る 所定位 置 は、

画素電極、 共通電極、 蓄積容量電極若 し く は信号配線上で あ る こ と を特徴 と す る 請求項 5 1 に記載の液晶素子。 '

5 3 . 上記液晶素子は導電性遮光膜 を有 し 、 更 に 、

上記液晶層 と 上記導電層 と が直接接触す る こ と と な る 所定位置 は、 上記導電性遮光膜上で あ る こ と を特徴 と す る 請求項 5 1 に記載の液 晶素子。

5 4 . 前記薄膜化領域は、

上記画素電極等の形成 さ れた基板 に対向す る 基板 に 形成 さ れて い る こ と を特徴 と す る 請求項 5 3 に 記載 の液晶素子。

5 5 . —方 の基板 に 画素電極 と 該画素電極 と 同一層 上 に な い対向電 極 と 信号配線 と こ れ ら 相互 の絶縁等 を な す絶縁膜 と を 有す る 一対の 基 板 と 、 原則 と し て両基板 の 内面側 に 設 け ら れた配向膜 を介 し て挟持 さ れて い る 液晶層 と を 有す る 横電界方式 の 液晶素子 にお いて 、

上記画素電極若 し く は対向電極 の 一方 に は絶縁膜が形成 さ れ、 他方 に は全 く 形成 さ れて い な レ こ と を特徴 と す る 液晶素子。

5 6 . 上記液晶素子 は、

ラ ビ ン グ方 向 に 沿 っ て絶縁膜が形成 さ れて い る こ と を特徴 と す る 請 求項 5 5 記載 の液晶素子。

5 7 . 上記液晶素子 は 、

そ の 比抵抗が 1 0 ^{1 3} Ω · c mよ り も 小 さ い液晶 を使用 す る 低比抵抗 液晶層 で あ る こ と を特徴 と す る 請求項 4 5 〜請求項 4 7 、 請求項 5 1 〜請求項 5 3 、 請求項 5 5 若 し く は請求項 5 6 の いずれか に記載の液 晶素子。

5 8 . 上記液晶素子 は、

そ の 比抵抗が 1 0 ^{1 3} Ω · c mよ り も 小 さ い液晶 を使用 す る 低比抵抗 液晶層 で あ る こ と を 特徴 と す る 請求項 5 0 に 記載 の液晶素子。

5 9 . 上記液晶素子 は、

そ の比抵抗が 1 0 ^{1 3} Ω ' c mよ り も 小 さ い 液晶 を使用 す る 低比抵抗 液晶層で あ る こ と を 特徴 と す る 請求項 5 4 に記載の液晶素子。

6 0 . —方 に 画素電極 と 共通電極及 び両電極 に対応 し て の信号線 と 走査線並びに 絶縁層 が形成 さ れた一対の基板 と 、 両基板の 内面側 に 設 け ら れた配向膜 を介 し て液晶 を 狭持 し た横電界方式の液晶素子 に お い て 、

他方の基板 に 、 上記液晶層 と 接 し た導電性 の遮光膜 を有 し て い る こ と を特徴 と す る 横電界方式の液晶素子。

6 1 . 一方 に 画素電極 と 共通電極及び両電極 に対応 し て の信号線 と 走査線並 びに絶縁層 が形成 さ れた 一対の基板 と 、 両基板の 内面側 に 設 け ら れた 配 向膜 を介 し て液晶 を 狭持 し た横電界方式の液晶素子 に お い て 、

他方 の 基板 に 、 上記信号線方 向若 し く は走査線方 向 に の び、 か つ ス 卜 ラ イ プ状 に液晶層 と 接 し て い る 領域が存在す る 遮光膜 を 有 し て い る こ と を 特徴 と す る 横電界方式の液晶素子。

6 2 . —方 に画素電極 と 共通電極及び両電極 に対応 し て の信号線 と 走査線並 びに絶縁層 が形成 さ れた一対 の基板 と 、 両基板の 内面側 に 設 け ら れた配 向膜 を介 し て液晶 を狭持 し た横電界方式の液晶素子 に お い て 、

他方 の 基板 に 、 信号線方 向及び走査線方 向 に の び、 かつ格子状 に 液 晶層 と 接 し て い る 領域が存在す る そ し て導電性 の遮光膜 を 有 し て い る こ と を 特徴 と す る 横電界方式の液晶素子。

6 3 . —方 に画素電極 と 共通電極及び両電極 に 対応 し て の信号線 と 走査線並びに絶縁層 が形成 さ れた 一対 の基板 と 、 両基板の 内面側 に 設 け ら れた配向膜 を介 し て液晶 を 狭持 し た横電界方式の液晶素子 に お い て 、

他方 の基板 に 、 配向膜 を介 し て液晶層 と 接す る 導電性の遮光膜 を 有 し て い る こ と を特徴 と す る 横電界方式の液晶素子。

6 4 . —方 に画素電極 と 共通電極及び両電極 に対応 し て の信号線 と 走査線並びに絶縁層 が形成 さ れた 一対の基板 と 、 両基板の 内面側 に設 け ら れた配向膜 を 介 し て液晶 を 狭持 し た横電界方式の液晶素子 に お い て 、

他方 の基板 に 、 上記信号線方 向若 し く は走査線方向 に の び、 か つ ス 卜 ラ イ プ状 に 配向膜 を 介 し て液晶層 と 接す る 領域が存在す る そ し て導 電性の遮光膜 を有 し て い る こ と を 特徴 と す る 横電界方式の液晶素子。

6 5 . 一方 に画素電極及び共通電極及 び両電極 に対応 し て の信号線 と 走査線が形成 さ れた 一対の基板 間 に 、 両基板 の 内面側 に 設 け ら れた 配向膜 を 介 し て液晶 を 狭持 し た横電界方式の液晶素子 にお い て 、 他方 の基板 に 、 上記信号線方向及び走査線方 向 に の び、 か つ液晶 層 と 1 0 0 0 · の 薄膜層若 し く はイ オ ン透過性 の 膜 を介 し て接 し た領域 が格子状 に存在す る 導電性 の遮光膜 を 有 し て い る こ と を特徴 と す る 横 電界方式の液晶素子。

6 6 . 前記導電性 の遮光膜 は、

そ の導電部が C r 、 T i 若 し く は導電性 の樹脂か ら な る こ と を特徴 と する 請求項 6 0 〜請求項 6 5 の いずれか に記載 の横電界方式の液晶 素子。

6 7 . 前記導電性 の遮光膜は、

導電性の樹脂製遮光膜で あ る こ と を特徴 と す る 請求項 6 0 〜請求項 6 5 の いずれか に 記載の横電界方式の液晶素子。

6 8 . 前記液晶素子 の基板間 隔 を 一定 に保持す る ス ぺーサ一 と し て 特定の箇所 に柱 を形成す る こ と を特徴 と す る 請求項 6 6 に 記載の液晶 素子。

6 9 . 少な く と も 一方 に 、 画素電極、 共通電極、 信号配線、 走査配 線並びにそれ ら 各部の絶縁等 を なす絶縁膜 を 有す る 一対の基板 と 、 原 則 と し て両基板の 内面側 に設 け ら れた配 向膜 を 介 し て挟持 さ れた液晶 層 と を有す る 横電界方式の液晶素子 に お い て 、

上記画素電極、 共通電極、 信号配線の 少な く と も 1 は、 その液晶側 の少な く と も 一部分 に 絶縁膜が形成 さ れて お ら ず、 こ のた め 当 該電極 若 し く は配線 は配向膜 の み を介 し て若 し く は直接液晶 に接す る 絶縁膜 開 口 電極で あ り 、

上記画素電極及び共通電極が形成 さ れて い な い基板側 に液晶層 と の 絶縁膜が全 く 形成 さ れて い な い か、 少 く も 一部 に 形成 さ れて い な い 箇 所があ る こ と に よ り 液 晶層 中 の イ オ ン の電荷 を 中 和す る 中 和電極 を 有 し て い る こ と を特徴 と す る 液晶 素子。

7 0 . 少な く と も 一方 に画素電極、 共通電極、 信号配線、 走査配線 並びに それ ら 各部の 絶縁等 を なす絶縁膜 を 有す る 一対 の基板 と 、 原則 と し て 両基板の 内面側 に 設 け ら れた配向膜 を介 し て挟持 さ れた液晶層 と を 有す る 横電界方式の液晶素子 にお い て 、

上記画素電極 は、 絶縁膜が全 く 形成 さ れて お ら ず、 こ の ため 当 該部 に 画素電極が配向膜 の み を 介 し て若 し く は直接液晶 に接す る 開 口 画素 電極で あ り 、

更 に 、 上記画素電極等が形成 さ れて い な い 基板側 に液晶層 と の絶縁 膜が全 く 形成 さ れて い な い か、 少 く も 一部 に 形成 さ れて い な い箇所が あ る こ と に よ り 液晶 層 中 の イ オ ン の電荷 を 中 和す る 中 和電極 を 有 し て い る こ と を 特徴 と す る 液晶素子。

7 1 . 少な く と も 一方 に 画素電極、 共通電極、 信号配線、 走査配線 並びに それ ら 各部の絶縁等 を なす絶縁膜 を有す る 一対の基板 と 、 原則 と し て両基板 の 内面側 に設 け ら れた配向膜 を 介 し て挟持 さ れた液晶層 と を有す る 横電界方式の液晶素子 にお い て 、

上記共通電極 は絶縁膜が全 く 形成 さ れてお ら ず、 こ の ため 当 該部 に 画素電極が配向膜 の み を 介 し て若 し く は直接液晶 に接す る 開 口 共通電 極で あ り 、

更 に 、 上記共通電極等が形成 さ れて い な い 基板側 に液晶層 と の絶縁 膜が全 く 形成 さ れて い な い か 、 少 く も 一部 に 形成 さ れて い な い箇所が あ る こ と に よ り 液晶層 中 の イ オ ン の電荷 を 中 和す る 中 和電極 を 有 し て い る こ と を 特徴 と す る 液晶素子。

7 2 . 少な く と も 一方 に 画素電極、 共通電極、 信号配線、 走査配線 並びに それ ら 各部の絶縁等 を なす絶縁膜 を 有す る 一対 の基板 と 、 原則 と し て 両基板 の 内面側 に設 け ら れた配 向膜 を介 し て挟持 さ れた液晶層 と を 有す る 横電界方式の液晶 素子 に お い て 、

上記画 素電極及び共通電極 は各 々 、 そ の液晶層 と の絶縁膜が全 く 形 成 さ れて お ら ず、 こ の た め 当 該部分 に て配 向膜 の み を 介 し て あ る い は 直接液 晶 に接す る 開 口 画素電極、 開 口 共通電極で あ り 、

更 に 、 上記画素電極及び共通電極が形成 さ れて い な い基板側 に液晶 層 と の絶縁膜が全 く 形成 さ れて い な い か、 少 く も 一部 に形成 さ れて い な い 箇所があ る こ と に よ り 液晶層 中 の イ オ ン の電荷 を 中和す る 中 和電 極 を 有 し て い る こ と を 特徴 と す る 液晶素子。

7 3 . 上記液晶素子の液晶層 は、 そ の 比抵抗が 1 0 ^{1 3} Ω · c mよ り も 小 さ い液晶 を使用 す る 低比抵抗液晶層 で あ る こ と を特徴 と す る 請求 項 6 9 〜請求項 7 2 の いずれか に記載の液晶素子。

7 4 . 前記 中和電極 に走査配線の最小の電圧 レベル に対 し 正の電位 を 印加す る 正電位印加手段 を 有 し て い る こ と を特徴 と する 請求項 6 9 〜請求項 7 2 の いずれか に記載の液晶素子。

7 5 . 前記 中和電極 は、

上記共通電極 と 同電位 に設定 さ れて い る 同電位 中和電極で あ る こ と を 特徴 と す る 請求項 6 9 〜請求項 7 2 の いずれか に記載の液晶素子。

7 6 . 前記 中和電極 は、

遮光膜 と 兼用 の遮光膜兼用 中 和電極であ る こ と を 特徴 と す る 請求項 6 9 〜請求項 7 2 の いずれか に記載の 液晶素子。

7 7 . 前記 中和電極 は、

カ ラ 一 フ ィ ル夕 一 と 兼用 の カ ラ ー フ ィ ルタ ー兼用 中 和電極で あ る こ と を特徴 と す る 請求項 6 9 〜請求項 7 2 の いずれか に記載の液晶素子， 7 8 . 上記画素電極、 共通電極、 信号配線の いずれかが、 そ の 上部 ' に絶縁膜が形成 さ れて い な い た め 、 当 該部 は配向膜 の み を 介 し て い る 部分 の 配 向膜 は、

導電性物質か ら な る 配向膜で あ る こ と を 特徴 と す る 請求項 6 9 〜請 求項 7 2 の い ずれか に 記載の液晶 と す る 。

7 9 . 前記 中和電極 に 走査配線の最 小 の電圧 レ ベル に対 し 正 の電位 を 印加す る 正電位印加手段 を 有 し て い る こ と を特徴 と す る 請求項 7 6 に記載 の液晶素子。

8 0 . 前記 中和電極 に走査配線の最小の電圧 レ ベル に対 し 正 の電位 を 印加す る 正電位印加手段 を 有 し て い る こ と を特徴 と す る 請求項 7 7 に記載 の液晶素子。

8 1 . 前記 中 和電極 は 、

上記共通電極 と 同電位 に 設定 さ れて レ る 同電位 中和電極で あ る こ と を 特徴 と す る 請求項 7 6 に記載 の液晶素子。

8 2 . 前記 中和電極 は、

上記共通電極 と 同電位 に 設定 さ れて い る 同電位 中和電極で あ る こ と を 特徴 と す る 請求項 7 7 に 記載 の液晶素子。

8 3 . 少な く と も 一方 に横電界 を 発 生 さ せ る 画素電極 と 共通電極 と こ れ ら 相互 の絶縁等 を なす絶縁膜 と を 有す る 一対の基板 と 、 原則 と し て両基板の 内面側 に設 け ら れた配向膜 を 介 し て狭持 さ れる 液晶層 と を 有す る 横電界方式の液晶素子 の製造方法 に お い て 、

両基板の 内面側 に 一旦形成 し た配向膜の 所定部 を 除去す る 配向膜除 去 ス テ ッ プを 有 し て い る こ と を特徴 と す る 液晶素子の製造方法。

8 4 . 少な く と も 一方 に横電界 を発生 さ せ る 画素電極 と 共通電極 と こ れ ら 相互 の絶縁膜等 を なす絶縁膜 を 有す る 一対 の基板 と 、 原則 と し て両基板の 内面側 に設 け ら れた配向膜 を 介 し て狭持 さ れる 液晶層 と を 有す る 横電界方式の液晶素子 の 製造方法 に お い て 、 両基板 の 内 面側 に 一旦形成 さ れた.配 向膜の所定部 を エ ッ チ ン グ に て 除去す る 配向膜除去ス テ ッ プ と 、

残 っ た配 向膜 に 、 配向処理 を す る 配 向 ス テ ッ プ と を 有 し て い る こ と を 特徴 と す る 液晶素子の製造方法。

8 5 . 少な く と も 一方 に横電界 を発生 さ せ る 画素電極 と 共通電極 と こ れ ら 相 互 の 絶縁膜等 を なす絶縁膜 を 有す る 一対の基板 と 、 原則 と し て 両基板 の 内 面側 に設 け ら れた配向膜 を 介 し て狭持 さ れる 液晶層 と を 有す る 横電界方式の液晶素子の 製造方法 に お い て 、

両基板 の 内 面側 に 一旦形成 さ れた電極若 し く は配線上の配向膜 の所 定部 を ラ ビ ン グに て剥離す る 剥離ス テ ッ プを有 し て い る こ と を 特徴 と す る 液晶素子 の製造方法。

8 6 . 前記剥離ス テ ツ プは、

ラ ビ ン グ時 に お け る 押 し 込み量 を 0 . 5 m m以上の押圧 ラ ビ ン グ剥 離ス テ ッ プで あ る こ と を 特徴 と す る 請求項 8 5 に記載の液晶素子の 製 造方法。

8 7 . —方 に画素電極 と 共通電極及び両電極 に対応 し て の信号線 と 走査線並びに 絶縁層 が形成 さ れた 一対の基板 と 、 両基板の 内面側 に設 け ら れた配 向 膜 を 介 し て液晶 を狭持 し た横電界方式の液晶素子 に お い て 、

他方の基板 に 形成 さ れた導電性 の遮光膜 と 、

該遮光膜 と 上記共通電極、 画素電極、 走査線若 し く は信号配線 と を 電気的 に接続す る 電気的接続部 と を有 し て い る こ と を特徴 と す る 横電 界方式の液晶 素子。

8 8 . —方 に画素電極 と 共通電極及 び両電極 に対応 し て の信号線 と 走査線並びに 絶縁層 が形成 さ れた 一対 の基板 と 、 両基板の 内面側 に 設 け ら れた配 向膜 を介 し て液晶 を狭持 し た横電界方式の液晶素子 に お い て、

他方 の基板の所定位置 に 導電性物質か ら な る 遮光膜 を形成す る 遮光 膜形成ス テ ッ プ と 、

上記遮光膜のオーバー コ ー ト 層 の材料 と し て感光性材料 を選択す る オーバー コ ー ト 層材料選択 ス テ ッ プ と 、

選択 さ れた感光性材料で オーバー コ ー ト 層 を 形成す る オーバー コ 一 ト 層形成 ス テ ッ プ と 、

前記導電性 の遮光膜上 の オーバー コ ー ト 材料層 を 該遮光膜上 でォー バー コ 一 ト 層 が存在 し な い領域が有 る よ う に フ ォ ト リ ソ グ ラ フ ィ ー を 使用 し て 形成する フ ォ ト ソ グ ラ フ ィ 禾 IJ用 オー バー コ ー ト 層 部分剥 が し 部形成 ス テ ッ プ と を 有 し て い る こ と を 特徴 と す る 横電界方式の液晶素 子の 製造方法。

8 9 . 形成 さ れた導電性 の遮光膜 に 上記共通電極 と 同 じ 電位 の 電位 を与え る こ と と な る 電気的接続部 を 形成す る 同電位用 導電部形成 ス テ ッ プを 有 し て い る こ と を 特徴 と す る 請求項 8 8 記載の横電界方 式の液 晶 素子 の 製造方法。

9 0 . 横電界方式の液晶 素子 の製造方法で あ っ て、

第 1 の 基板 に金属層 よ り な り ト ラ ン ジス タ の ゲー ト を 兼ね る 走査線 と 対向電極 を 所定位置 に形成す る 第 1 導電層 形成 ス テ ッ プ と 、

上記形成 さ れた走査線 と 対向電極 の 上 に 第 1 の絶縁膜 を 形成す る 第

1 絶縁膜形成ス テ ッ プ と 、

半導体層 を所定位置 に 形成す る 半導体層 形成ス テ ッ プ と 、

信号線 と 画素電極 を 所定位置 に 形成す る 第 2 導電層 形成ス テ ッ プ と 第 2 の絶縁膜 を 、 上記所定位置 に 形成 さ れた半導体層か ら な る ス ィ ツ チ ン グ素子 の 上 にだけ形成す る 第 2 絶縁膜形成ス テ ッ プ と を 有 し て い る こ と を 特徴 と す る 横電界方式の液晶素子 の 製造方法で あ っ て 、 電 界方式 の液晶素子の製造方法。

9 1 . 横電界方式の液晶素子の 製造方法で あ っ て、

第 1 の 基板 に金属層 よ り な り ト ラ ン ジス タ の ゲー ト を 兼ね る 走査線 と 対向電極 を 所定位置 に 形成す る 第 1 導電層形成ス テ ッ プ と 、

上記形成 さ れた走査線 と 対向電極の 上 に 第 1 の絶縁膜 を 形成す る 第 1 絶縁膜形成 ス テ ッ プ と 、

半導体層 を 所定位置 に 形成する 半導体形成 ス テ ッ プ と 、

' 信号線 と 画素電極 を 所定位置 に形成す る 第 2 導電層 形成 ス テ ッ プ と 第 2 の絶縁膜 を所定位置 に形成 さ れた 半導体層 か ら な る ス ィ ッ チ ン グ素子の 上 と 上記信号線の 上 に だ け形成す る 第 2 絶緣膜形成ス テ ッ プ と を有 し て い る こ と を 特徴 と す る 横電界方式の 液晶素子の 製造方法。

9 2 . 横電界方式の液晶素子の 製造方法で あ っ て 、

第 1 の基板 に金属層 よ り な り ト ラ ン ジス タ の ゲー ト を 兼ねる 走査線 と 対向電極 を 所定位置 に 形成-する 第 1 導電層形成 ス テ ッ プ と 、

上記形成 さ れた走査線 と 対向電極の上 に 第 1 の 絶縁膜 を 形成す る 第

1 絶縁膜形成ス テ ッ プ と 、

半導体層 を 所定位置 に 形成する 半導体形成 ス テ ツ プ と 、

信号線 と 画素電極 を所定位置 に 形成す る 第 2 導電層 形成ス テ ッ プ と 第 2 の絶縁膜 を所定位置 に 形成 さ れた 半導体層 か ら な る ス ィ ッ チ ン グ素子の 上 と 上記走査線の上 に だ け形成す る 第 2 絶縁膜形成ス テ ッ プ と を有 し て い る こ と を特徴 と す る 横電界方式の液晶素子の製造方法。

9 3 . 横電界方式の液晶素子の製造方法で あ っ て 、

第 1 の基板 に金属層 よ り な り ト ラ ン ジス タ の ゲー ト を 兼ねる 走査線 と 対向電極 を 所定位置 に形成す る 第 1 導電層形成ス テ ツ プ と 、

上記形成 さ れた走査線 と 対向電極の 上 に 第 1 の絶縁膜 を 形成す る 第

1 絶縁膜形成ス テ ッ プ と 、 半 導体 層 を 所 定位 置 に 形成 す る 半 導体 形成 ス テ ッ プ と 、

信 号線 と 画 素 電極 を 所 定位置 に 形 成 す る 第 2 導 電 層 形成 ス テ ツ プ と 第 2 の 絶縁膜 を 所 定位置 に 形成 さ れ た 半 導 体 層 か ら な る ス ィ ッ チ ン グ 素 子 の 上 と 上 記 号線 の 上 と 上記 走 査線 の 上 に だ け 形成す る 第 2 絶 縁膜形 成 ス テ ッ プ と を 有 し て い る こ と を 特徴 と す る 横電界 方 式 の 液 晶 素子 の 製造 方 法。

9 4 . 横電 界方 式 の 液 晶 素 子 の 製造方 法 で あ っ て 、

第 1 の 基 板 に 信号 線 と 画 素 電極 を 選 択 的 に 形 成す る 第 1 導 電 層 形成 ス テ ッ プ と 、

半 導体 層 を 所 定位 置 に 形成 す る 半 導体 層 形 成 ス テ ッ プ と 、

上記 形 成 さ れ た 信 号線及 び画 素 電極 の 上 に 第 1 の 絶縁膜 を 形成 す る 第 1 絶縁膜 形 成 ス テ ッ プ と 、

上記 形成 さ れ た 第 1 の 絶縁膜 の 上 に ト ラ ン ジ ス 夕 の ゲ一 ト を 兼 ね る 走査線 と 対 向 電極 を 所定位置 に 形成す る 第 2 導 電層 形 成 ス テ ッ プ と 、 第 2 の 絶縁膜 を 所 定位置 に 形成 さ れ た 半 導 体 層 か ら な る ス ィ ッ チ ン グ素子 の 上 に だ け 形 成す る 第 2 絶縁膜 形 成 ス テ ッ プ と を 有 し て い る こ と を 特徴 と す る 横電 界方 式 の 液 晶 素 子 の 製造方 法 。

9 5 . 横電 界方 式 の 液晶 素 子 の 製造方 法 で あ っ て 、

第 1 の 基板 に 信号線 と 画 素 電極 を 選択 的 に 形成す る 第 1 導電 層 形 成 ス テ ッ プ と 、

半 導体 層 を 所 定位 置 に 形成 す る 半 導体 層 形 成 ス テ ツ プ と 、

上記形成 さ れ た 信 号線及 び画 素 電極 の 上 に 第 1 の 絶縁膜 を 形成す る 第 1 絶縁膜 形 成 ス テ ッ プ と 、

上記 形 成 さ れ た 第 1 の 絶縁膜 の 上 に ト ラ ン ジ ス タ の ゲー ト を 兼 ね る 走査線 と 対 向 電極 を 選択 的 に 形成す る 第 2 導 電 層 形成 ス テ ッ プ と 、 第 2 の 絶縁 膜 を 所定位 置 に 形成 さ れ た 半 導 体 層 か ら な る ス ィ ッ チ ン グ素子 の 上 と 信号線 の 上 に だ け形成す る 第 2 絶縁膜形成ス テ ッ プ と を 有 し て い る こ と を 特徴 と す る 横電界方式の液晶 素子 の 製造方法。

9 6 . 横電界方式 の 液晶素子の製造方法で あ っ て 、

第 1 の基板 に信号線 と 画素電極 を選択的 に形成す る 第 1 導電層 形成 ス テ ッ プ と 、

半導体層 を所定位置 に 形成する 半導体層 形成 ス テ ツ プ と 、

上記形成 さ れた信号線及び画素電極 の上 に 第 1 の絶縁膜 を 形成す る 第 1 絶縁膜形成ス テ ッ プ と 、

上記形成 さ れた第 1 の 絶縁膜の上 に ト ラ ン ジ ス タ の ゲー ト を 兼ね る 走査線 と 対向電極 を 所定位置 に形成す る 第 2 導電層形成ス テ ッ プ と 、 第 2 の絶縁膜 を所定位置 に 形成 さ れた 半導体 層 か ら な る ス ィ ッ チ ン グ素子の上 と 走査線 の 上 に だけ形成す る 第 2 絶縁膜形成ス テ ッ プ と を 有 し て い る こ と を特徴 と す る 横電界方式の液晶素子 の 製造方法。

9 7 . 横電界方式 の液晶素子の製造方法で あ っ て、

第 1 の基板 に信号線 と 画素電極 を選択的 に 形成す る 第 1 導電層 形成 ス テ ッ プ と 、

半導体層 を 所定位置 に 形成す る 半導体層形成 ス テ ツ プと 、

上記形'成 さ れた信号線及び画素電極の 上 に第 1 の絶縁膜 を 形成す る 第 1 絶縁膜形成ス テ ッ プ と 、

上記形成 さ れた第 1 の絶縁膜の 上 に ト ラ ン ジ ス タ のゲー 卜 を 兼ね る 走査線 と 対向電極 を 所定位置 に形成す る 第 2 導電層形成ス テ ッ プ と 、 第 2 の絶縁膜 を所定位置 に 形成 さ れた 半導体層 か ら な る ス ィ ッ チ ン グ素子 と 信号線 と 走査線 の 上 に だ け形成す る 第 2 絶縁膜形成ス テ ッ プ と を有 し て い る こ と を 特徴 と す る 横電界方式の 液晶素子の製造方法。