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Patentes

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Número de publicaciónWO2002005051 A3
Tipo de publicaciónSolicitud
Número de solicitudPCT/US2001/021317
Fecha de publicación25 Abr 2002
Fecha de presentación6 Jul 2001
Fecha de prioridad10 Jul 2000
También publicado comoEP1301838A2, US6552561, US20020050834, WO2002005051A2
Número de publicaciónPCT/2001/21317, PCT/US/1/021317, PCT/US/1/21317, PCT/US/2001/021317, PCT/US/2001/21317, PCT/US1/021317, PCT/US1/21317, PCT/US1021317, PCT/US121317, PCT/US2001/021317, PCT/US2001/21317, PCT/US2001021317, PCT/US200121317, WO 0205051 A3, WO 0205051A3, WO 2002/005051 A3, WO 2002005051 A3, WO 2002005051A3, WO-A3-0205051, WO-A3-2002005051, WO0205051 A3, WO0205051A3, WO2002/005051A3, WO2002005051 A3, WO2002005051A3
InventoresDouglas S Olsen, David Stura
SolicitanteTemptronic Corp, Douglas S Olsen, David Stura
Exportar citaBiBTeX, EndNote, RefMan
Enlaces externos:  Patentscope, Espacenet
Appareil et procede de regulation thermique d'une plaquette et dispositif en essai utilisant une diode integree sensible a la temperature
WO 2002005051 A3
Resumen  disponible en
Descripción  disponible en
Reclamaciones  disponible en
Citas de patentes
Patente citada Fecha de presentación Fecha de publicación Solicitante Título
WO1999034159A1 *9 Nov 19988 Jul 1999Temptronic CorporationTemperature control system for a workpiece chuck
DE19652046A1 *13 Dic 199618 Jun 1998Siemens AgVerfahren zur Ermittlung der Temperatur eines Halbleiter-Chips
US4734872 *30 Abr 198529 Mar 1988Temptronic CorporationTemperature control for device under test
US5154514 *29 Ago 199113 Oct 1992International Business Machines CorporationOn-chip temperature sensor utilizing a Schottky barrier diode structure
US5281026 *3 May 199325 Ene 1994Cray Research, Inc.Printed circuit board with cooling monitoring system
US5498971 *6 Jun 199512 Mar 1996Zenith Data Systems CorporationMethod and control circuit for measuring the temperature of an integrated circuit
US5875142 *17 Jun 199723 Feb 1999Micron Technology, Inc.Integrated circuit with temperature detector
Clasificaciones
Clasificación internacionalG01R31/30, H01L21/66, H01L21/822, G01R31/26, G05D23/20, H01L27/04, G01R31/28
Clasificación cooperativaG05D23/20, G01R31/2891, G05D23/1934
Eventos legales
FechaCódigoEventoDescripción
17 Ene 2002AKDesignated states
Kind code of ref document: A2
Designated state(s): AE AG AL AM AT AU AZ BA BB BG BR BY BZ CA CH CN CO CR CU CZ DE DK DM DZ EE ES FI GB GD GE GH GM HR HU ID IL IN IS JP KE KG KP KR KZ LC LK LR LS LT LU LV MA MD MG MK MN MW MX MZ NO NZ PL PT RO RU SD SE SG SI SK SL TJ TM TR TT TZ UA UG US UZ VN YU ZA ZW
17 Ene 2002ALDesignated countries for regional patents
Kind code of ref document: A2
Designated state(s): GH GM KE LS MW MZ SD SL SZ TZ UG ZW AM AZ BY KG KZ MD RU TJ TM AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LU MC NL PT SE TR BF BJ CF CG CI CM GA GN GW ML MR NE SN TD TG
13 Mar 2002121Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application
21 Mar 2002DFPERequest for preliminary examination filed prior to expiration of 19th month from priority date (pct application filed before 20040101)
5 Feb 2003WWEWipo information: entry into national phase
Ref document number: 2001950901
Country of ref document: EP
16 Abr 2003WWPWipo information: published in national office
Ref document number: 2001950901
Country of ref document: EP
22 May 2003REGReference to national code
Ref country code: DE
Ref legal event code: 8642
9 Sep 2005WWWWipo information: withdrawn in national office
Ref document number: 2001950901
Country of ref document: EP