WO2002015264A2 - Verkapseltes organisch-elektronisches bauteil, verfahren zu seiner herstellung und seine verwendung - Google Patents

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Definitions

  • Encapsulated organic-electronic component process for its production and its use
  • the present invention relates to an electronic circuit made of organic material, in particular hermetically sealed against light and / or air and / or water, a method for its production and its use as a tag, sensor or the like.
  • Radio frequency ident tags are currently being built with metallic coils and a silicon chip. They are used, for example, for logistics purposes, access controls or the like.
  • a simple encapsulation of an organic field effect transistor is known from DE 100 40 442.1.
  • Tags should be as passive as possible, i.e. without battery, work. They derive their energy from a coil, which is triggered by a reader in resonance. In this case, a memory is activated in an electronic chip of the tag and, for example, stored information, such as the sender and addressee in logistics applications, is read out.
  • the range between the reader and the day is determined by the power of the radiation from the reader, these are certain frequency ranges, such as 125 kHz or
  • this range is typically less than 60 cm.
  • the structure of the coil depends strongly on the carrier frequency used, for example, a coil is wound at a frequency of 125 kHz
  • Organic electronic circuits can be manufactured very inexpensively. They are therefore suitable for building tags, which can therefore be used for the mass markets and as single-use products. One also thinks of electronic tickets, theft protection, baggage control or, for example, electronic stamps, electronic watermarks and much more.
  • Organic materials are very sensitive to environmental influences such as light, air and water and age relatively quickly under this influence.
  • antennas manufactured in polymer technology or at all in printing technology are significantly worse than metallic antennas. They have a higher electrical resistance and a lower quality. This means that such electronic components and tags based on organic materials have a short lifespan and are only suitable for a very short range.
  • OLEDs organic light-emitting diodes
  • Glass is currently used here as a substrate and a glass plate is also glued over the components, so that a fairly good hermetic encapsulation is guaranteed.
  • Conventional organic substrates are permeable to light, air and water and are therefore not suitable.
  • Metallized substrates such as those used for example in the food packaging sector or in the airtight packaging of sensitive materials, are obviously also out of the question, especially with RFID tags, since the metal layer in the S ubstrat prevents coupling of the coil to the reader. A Faraday cage or a metallic shield is created.
  • the electronic circuit should be simple and inexpensive to manufacture, so that tags made from it can be used for mass markets and as disposable products and in particular can be combined with coils and antennas without metallic shielding occurring.
  • the present invention relates to an electronic circuit comprising electronic components made in particular from organic material, the component (s) being / being arranged between at least two layers (2, 2 ') forming a barrier and of these against the influence of light and / or Air and / or a liquid such as water are protected.
  • This hermetic sealing or encapsulation is achieved by using materials that form the largest possible barrier against environmental influences such as light, air and water.
  • the circuit is arranged or built up on such a layer in a conventional manner, preferably using printing techniques.
  • Another identical or functionally similar layer is arranged over the circuit by gluing or lamination, so that the organic circuit is encapsulated in a similarly good manner as described above for the OLEDs. It is only necessary to ensure that electrical contact points are freely accessible from the circuit.
  • the barrier layer preferably comprises at least one layer of plastic film, for example organic polymer such as polymer lyvinylphenol, polymethyl methacrylate, polysulfone, polycarbonate, polyether ketone, polyethylene terephthalate, polyethylene, polyimide or any mixture of these polymers.
  • organic polymer such as polymer lyvinylphenol, polymethyl methacrylate, polysulfone, polycarbonate, polyether ketone, polyethylene terephthalate, polyethylene, polyimide or any mixture of these polymers.
  • the upper barrier layer forms a cover layer of an organic field-effect transistor (OFETs), which can also be a type of substrate or flexible film substrate, in one embodiment a gate electrode being located on this substrate or carrier is applied to the components with the barrier layer.
  • OFETs organic field-effect transistor
  • the gate electrode is applied to the upper substrate cover layer and preferably covered with an as yet uncrosslinked insulator.
  • a structure of substrate, drain and source electrode with a semiconducting layer and insulation layer is provided, in which the insulation layer is still not cross-linked.
  • Adjustment marks are again embedded in the two uncrosslinked insulation layers, so that the alignment marks allow simple and precise positioning of the superstructure (substrate with gate electrode and uncrosslinked isolator layer) on the substructure (substrate with source / drain electrode, semiconducting layer and uncrosslinked insulator layer) is possible.
  • the two superstructures are applied to one another, for example, by pressing on, pressing on, rolling on, etc.
  • the finished OFET is irradiated and / or annealed for a defined time.
  • Fixing rails, optical marks or crosses or the like are suitable as alignment marks.
  • a method for producing such an OFET comprises the following steps: at least one source and one drain electrode are formed on a carrier, which are coated with a semiconducting layer, on which a layer with an uncrosslinked insulator is applied; - On a second substrate, a gate electrode with an overlying layer of uncrosslinked insulator is applied and the two carriers are then brought together so that the two uncrosslinked insulator layers come to lie on one another and then the crosslinking of the insulator is initiated.
  • the above-mentioned plastic films can either serve themselves as a barrier layer, by appropriate doping or crosslinking, or can be provided with a barrier layer that forms a shield.
  • This separate barrier layer can be a metallic layer, for example, which is vapor-deposited or laminated onto the base film. Suitable metals are aluminum, copper or chrome.
  • the plastic film usually has a thickness between 10 and 100 ⁇ m, preferably 30-60 ⁇ m.
  • An applied metal layer is usually between 5 and 100 ⁇ m, preferably between 5 and 50 ⁇ m thick.
  • the barrier can also be formed by a non-metallic layer.
  • This non-metallic material should be selected so that it is light and / or water and / or traps or absorbs oxygen.
  • Suitable non-metallic coatings for forming a barrier against light, air and / or water are therefore, for example, layers of largely dense particles which are arranged to overlap as much as possible.
  • Suitable materials for this purpose form graphite or inorganic oxides with a platelet structure.
  • the barrier layer used for the encapsulation can comprise barrier layers of the same or different types.
  • the layer (s) forming the barrier can combine, for example, a metallic barrier coating and a non-metallic barrier coating.
  • the layer forming the barrier can therefore be a multi-layer system.
  • a suitable structure consists, for example, of a polyethylene terephthalate film which is coated with aluminum, a polyethylene terephthalate film being laminated onto the aluminum coating again.
  • the film substrate can be transparent but also completely opaque. An opaque film even has the advantage that harmful effects of light in organic electronics are prevented in an optimal way.
  • the electronic circuit designed in accordance with the invention can thus include all components that are essential for a circuit.
  • the active components are mainly encapsulated. These are primarily the integrated circuit, transistors, diodes and in particular rectifier diodes or similar active components.
  • the active components are preferably at least partially made of organic material.
  • organic material here encompasses all types of organic, organometallic and / or inorganic
  • Plastics that are called “plastics” in English. It deals with all types of fabrics Except for the semiconductors that form the classic diodes (germanium, silicon) and the typical metallic conductors. A restriction in the dogmatic sense to organic material as carbon-containing material is therefore not provided, but rather the widespread use of, for example, silicones , Furthermore, the term should not be subject to any restriction with regard to the molecular size, in particular to polymeric and / or oligomeric materials, but the use of "s all olecules" is also entirely possible.
  • the passive components such as resistors, capacitors, coils can also be included in the electronic circuit according to the invention. Only the sensitive components such as the organic integrated circuit itself can be contained just as well, and other parts, such as, for example, a rectifier diode, which can then still be produced using conventional silicon technology, can be located outside.
  • the electronic encapsulated circuit according to the invention can be used not only for tags but also wherever a metallized substrate is not an obstacle to use, for example also with sensors or other electronic components that can be implemented with organic electronics.
  • metal layers can also be integrated into the corresponding circuit, for example by means of suitable structuring as electrical conductors or as passive components such as capacitors, coils, resistors.
  • the invention accordingly also relates to a method for producing an electronic circuit, comprising electronic components made in particular from organic material, with the following steps: Building a layer forming a barrier, arranging electronic components to form an electronic circuit on the barrier layer,
  • At least one further barrier layer over at least partially the electronic components to seal them against light and / or air and / or water.
  • the electronic circuit can be as simple as
  • Tag or sensor can be formed and the inventive method can be used for this.
  • Fig. 1 shows an encapsulated electronic circuit according to the invention in section
  • Fig. 2 shows the electronic circuit shown in Fig. 1 in a schematic plan view
  • Fig. 4 is a preferred embodiment of the combination of an electronic circuit according to the invention with a coil
  • FIG. 1 shows an electronic circuit 1 according to the invention, which comprises electronic components 3.
  • These electronic components 3 can be constructed entirely or partially from organic materials, that is to say conductive, semiconducting or non-conductive polymeric plastics.
  • the electronic components 3 are arranged on a layer 2 forming a barrier, which in the embodiment shown is multi-layered. As such, the electronic components 3 or chips can be glued to the layer 2 or held stationary thereon in some other way. However, they can also be formed directly thereon by suitable printing processes.
  • the layer 2 itself is made up of three layers 4, 5 and 6 in the embodiment shown.
  • the lowermost layer 4 is a plastic film suitable for the purposes of use, such as polyethylene, polyethylene terephthalate, polyimide or the like, flexible materials.
  • the second layer 5 is designed as the actual barrier layer. This is preferably a metallic layer made of aluminum, copper or chromium, which is either laminated onto the layer 4 as a film or has been vapor-deposited thereon. As already mentioned, the barrier layer can also consist of a non-metallic substrate.
  • Another layer 6 in the form of a plastic film is glued or laminated over the barrier layer 5.
  • Electrical contacts 8 are formed or arranged on this layer 2 in addition to the electronic components 3. They serve to later connect the electronic circuit 1 to, for example, a coil or antenna, that is to say to set up, for example, an RFID tag.
  • the contacts 8 can consist of organic, conductive materials and can be applied, for example, to the film substrate in the printing process. the. Of course, metallic contacts, for example made of copper, can also be used. These contacts 8 are electrically conductively connected to predetermined ones of the electronic components 3 by lines 7.
  • a further barrier 2 ′ which has the same structure as the first layer 2, is hermetically sealed above the electronic components 3 and thus partly the lines 7.
  • it is again a multi-layer system consisting of two layers 4, 6 made of plastic film, between which a barrier layer 5 is arranged.
  • the materials for these layers can be selected from the same ones that can be used for the further layer 2.
  • glue or laminate on this second upper and covering or encapsulating barrier layer as such. It can be seen that the individual electronic components are completely enclosed by layers 2 and 2 'and are therefore optimally shielded from environmental influences.
  • FIG. 2 shows the structure of the electronic circuit 1 only in a top view, from which in particular the electrical connection to the contacts 8 lying outside the encapsulation is shown.
  • the electronics constructed in accordance with the invention are such that they can be attached as a kind of sticker with the exposed electrical contacts to a corresponding coil or antenna 9, 10.
  • the respective ends of the coil (Fig. 3a) and 3b)) or a rod-shaped antenna (Fig. 3c)) can be connected to the encapsulated electronics by simply sticking. The whole set-up results in a functioning day.
  • a further step in production is also saved which is generally necessary in the case of flat coils, namely the connection of the corresponding coil ends 14, 15 in a further plane. It is possible here to use antennas in the packaging industry, for example, by means of inexpensive printing processes, and in a final step the stickers corresponding to the electronics described above can be stuck on.
  • connection areas are quite large to allow easy adjustment. If the connections are standardized, the application can only take place at a later stage. In retail, every company could stick their own tags. With this construction, even a metallized surface of the entire electronics is not disruptive for the RF connection of the antenna, since this lies above the coil turns and not in the area enclosed by the coil.
  • the electronic circuit 1 according to the invention is equipped with an antenna 9, 10 in a particularly efficient and cost-saving manner combined.
  • An essential aspect here is that the “transponder circuit” is applied directly to the substrate of the antenna 9, 10.
  • a coil is generated on the metal layer 5 by a structuring method.
  • a metal layer is left, which then serves as a barrier or encapsulation. It is of course also conceivable to incorporate this metal layer directly into the circuit by appropriate structuring, for example as conductor tracks or as passive components. In this case, a multilayer system would be advantageous in which one layer can be used for encapsulation and one for use in the circuit.
  • the advantage of this structure is that the entire Ident Tag can be manufactured as an integrated system, which in particular reduces costs.
  • an antenna 9, 10 is formed on a barrier layer 2, which can be configured as described above, which antenna consists, for example, of a metal or a conductive polymer.
  • an electronic circuit 1 for example a silicon chip or a polymer chip, which is to be connected electronically at both ends 14, 15 of the antenna 9, 10.
  • the corner 13 of the layer 2 represented by a dotted line is folded over in such a way that the end 14 of the antenna comes to rest on the contact surface 12.
  • the electrical circuit 3 is connected to the antenna 9, 10 via the conductor tracks 7.
  • an insulation layer must be applied to the windings of the antenna 9, 10 before the folding.
  • This insulation layer can also be used as an adhesive serve to permanently fix the folded corner 13. This type of connection can save the previously usual method step, namely the additional application of a structured conductor track.
  • FIG. 5 there is an antenna 9, 10 on layer 2, as in FIG. 4.
  • An electronic circuit 3 is arranged outside the antenna 9, 10 in a corner 13 of layer 2. This corner 13 is then folded over so that the contact surface 8 comes to rest on the contacting surface 12 of the antenna 9, 10.
  • an insulation layer must be applied to the windings of the antenna 9, 10 before the folding. This insulation layer can also serve as an adhesive in order to permanently fix the folded corner 13.
  • the special feature of this embodiment is that the folding process on the one hand connects the electronic circuit 3 to the antenna 9, 10 and on the other hand encapsulates the electronic circuit 3, specifically by means of the substrate material, which must be suitably selected for this.
  • ITO indium tin oxide
  • the gate electrode 20 is embedded in a layer 21, for example of approximately 100 nm, of the uncrosslinked insulator material poly (4-hydroxystyrene) (PHS) with the crosslinker hexaethyloxyethylmelamine (HMMM).
  • the insulator material is still not crosslinked in this layer, but contains the components necessary for crosslinking (crosslinker, ie HMMM and a catalyst, eg camphorsulfonic acid (CSA).
  • the substructure 17 also has a substrate 19 with a structured layer 20 made of ITO, which forms the source and drain electrodes here.
  • the source / drain electrodes are embedded in a semiconducting layer 22, for example made of poly (3-octylthiophene) P30T, as the active semiconductor material.
  • An approximately 100 nm thick layer 21 of the insulator material PHS is likewise uncrosslinked on the semiconducting layer 22 and with the components necessary for crosslinking (crosslinker and catalyst).
  • the superstructure 16 and the substructure 17 are pressed onto one another (FIG. 7) in such a way that the two layers 21 come to lie on one another and connect to one another on the surface. Adjustment marks are used to adjust the source / drain and the gate electrode one above the other in the desired manner. In a final step, the entire assembly is annealed at 130 ° C for one hour and thus fixed.
  • the separate generation of the gate electrode on a second substrate, presented for the first time in this embodiment, and its adjustment on the substrate / source, drain electrode / semiconductor / insulator structure facilitates the construction of OFETs in that no structuring of the upper electrode (source / Drain or gate, depending on the structure) by photolithography, in which the lower organic layers are attacked and / or dissolved.
  • the OFET manufactured in this way is encapsulated and thus protected against mechanical damage and environmental influences.
  • the invention relates to an electronic circuit (1) comprising electronic components (3) made in particular of organic material, the component (s) being arranged between and against at least two layers (2, 2 *) forming a barrier the influence of light and / or air and / or water are protected.
  • Electronic circuits constructed in this way enable the generation of RFID ident tags in particular as mass articles.

Abstract

Die Erfindung betrifft eine elektronische Schaltung (1), umfassend elektronische Bauteile (3) aus insbesondere organischem Material, wobei das/die Bauteile (3) zwischen wenigstens zwei eine Barriere bildenden Schichten (2, 2') angeordnet sind und von diesen gegen den Einfluss von Licht und/oder Luft und/oder Wasser geschützt sind. Derart aufgebaute elektronische Schaltungen ermöglichen die Erzeugung insbesondere von RFID Ident Tags als Massenartikel.

Description

Verkapseltes organisch-elektronisches Bauteil, Verfahren zu seiner Herstellung und seine Verwendung
Die vorliegende Erfindung betrifft eine gegen Licht und/oder Luft und/oder Wasser hermetisch abgedichtete elektronische Schaltung aus insbesondere organischem Material, ein Verfahren zu ihrer Herstellung sowie ihre Verwendung als Tag, Sensor oder dergleichen.
Radio Frequenz Ident Tags (RFID) werden derzeit mit metallischen Spulen und einem Silicium-Chip aufgebaut. Sie werden beispielsweise für Logistikzwecke, Zugangskontrollen oder ähnliches verwendet.
Bekannt ist eine einfache Verkapselung eines organischen Feld Effekt Transistors aus der DE 100 40 442.1.
Aufgrund ihrer relativ hohen Erzeugungskosten sind sie für Massenanwendungen, wie elektronische Barcodes, für den Plagi- atschutz oder als Einwegartikel nicht wirtschaftlich. RFID-
Tags sollen möglichst passiv, d.h. ohne Batterie, arbeiten. Sie beziehen ihre Energie aus einer Spule, die von einem Lesegerät in Resonanz angesteuert wird. In diesem Fall wird ein Speicher in einem Elektronik-Chip des Tags aktiviert und bei- spielsweise eine gespeicherte Information, wie Absender und Adressat bei Logistikanwendungen, ausgelesen.
Die Reichweite zwischen Lesegerät und Tag wird durch die Leistung der Strahlung des Lesegerätes bestimmt, das sind be- stimmte Frequenzbereiche, wie zum Beispiel 125 kHz oder
13,56 MHz, sowie der Größe und der Güte der Spule bzw. Antenne des Tags. Bei passiven Tags ist diese Reichweite typischerweise kleiner als 60 cm. Der Aufbau der Spule hängt dabei stark von der verwendeten Trägerfrequenz ab, beispiels- weise wird bei einer Frequenz von 125 kHz eine gewickelte
Spule mit in der Regel mehreren hundert Windungen verwendet, während bei einer Frequenz von 13,56 MHz eine Flachspule von etwa zehn Windungen eingesetzt wird.
Organische elektronische Schaltungen lassen sich sehr kosten- günstig herstellen. Sie sind daher geeignet zum Aufbau von Tags, die daher für die Massenmärkte und als Einwegprodukte eingesetzt werden können. Man denkt dabei auch an elektronische Tickets, den Diebstahlschutz, die Gepäckkontrolle oder beispielsweise elektronische Briefmarken, elektronische Was- serzeichen und vieles andere mehr.
Elektronische Schaltungen aus insbesondere organischem Material weisen jedoch zwei wesentliche Nachteile auf. Zum einen sind die organischen Materialien gegenüber Umwelteinflüssen, wie Licht, Luft und Wasser, sehr empfindlich und altern unter diesem Einfluss relativ schnell. Zum anderen sind in Polymertechnik oder überhaupt in Drucktechnik hergestellte Antennen deutlich schlechter als metallische Antennen. Sie besitzen einen höheren elektrischen Widerstand und eine geringere Gü- te. Das führt dazu, dass solche auf organischen Materialien basierte elektronischen Bauteile und Tags nur eine geringe Lebensdauer haben und nur für eine sehr geringe Reichweite tauglich sind.
Halbwegs vergleichbar ist diese Alterungsproblematik bei organischen Leuchtdioden, sogenannten OLEDs . Derzeit wird hier Glas als Substrat benutzt und auch eine Glasplatte über die Bauteile geklebt, so dass eine recht gute hermetische Verkapselung gewährleistet ist. Glas ist jedoch für den im Rahmen dieser Erfindung angestrebten Anwendungsbereich aus mechanischen und Kostengründen nicht möglich. Herkömmliche organische Substrate sind für Licht, Luft und Wasser durchlässig und damit ebenfalls nicht geeignet. Metallisierte Substrate, wie sie beispielsweise im Lebensmittel-Verpackungsbereich oder bei der luftdichten Verpackung empfindlicher Materialien verwendet werden, kommen insbesondere bei RFID-Tags offensichtlich ebenfalls nicht infrage, da die Metallschicht im Substrat eine Ankoppelung der Spule an das Lesegerät verhindert. Es entsteht ein Faradayscher Käfig bzw. eine metallische Abschirmung.
Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es daher, einen Aufbau für eine elektronische Schaltung aus insbesondere organischem Material anzugeben, bei welchem die elektronische Schaltung gegen Licht, Luft und Wasser hermetisch abgeschirmt ist und somit die Alterungsproblematik nicht auftritt. Gleichzeitig soll die elektronische Schaltung einfach und kostengünstig herstellbar sein, damit daraus hergestellte Tags für Massenmärkte und als Einwegprodukte eingesetzt werden können und insbesondere mit Spulen, Antennen kombiniert werden können, ohne dass eine metallische Abschirmung auftritt.
Gegenstand der vorliegenden Erfindung ist eine elektronische Schaltung, umfassend elektronische Bauteile aus insbesondere organischem Material, wobei das/die Bauteile zwischen wenigstens zwei eine Barriere bildende Schichten (2, 2') angeordnet ist/sind und von diesen gegen den Einfluss von Licht und/oder Luft und/oder einer Flüssigkeit wie Wasser geschützt sind.
Diese hermetische Abdichtung bzw. Verkapselung wird dadurch erreicht, dass Materialien verwendet werden, die eine mög- liehst große Barriere gegen Umwelteinflüsse wie Licht, Luft und Wasser bilden. Auf einer solchen Schicht wird die Schaltung in herkömmlicher Weise, vorzugsweise durch Drucktechniken, angeordnet bzw. aufgebaut. Eine weitere identische oder wirkungsmäßig ähnliche Schicht wird über der Schaltung durch Kleben oder Auflaminieren angeordnet, so dass die organische Schaltung ähnlich gut verkapselt ist, wie oben für die OLEDs beschrieben ist. Es ist lediglich darauf zu achten, dass von der Schaltung elektrische Kontaktierungsstellen frei zugänglich sind.
Die Barrierenschicht umfasst vorzugsweise wenigstens eine Schicht aus Kunststofffolie, z.B. organischem Polymer wie Po- lyvinylphenol, Polymethylmethacrylat, Polysulfon, Polycarbo- nat, Polyetherketon, Polyethylenterephtalat, Polyethylen, Po- lyimid oder eine beliebige Mischung dieser Polymere.
Nach einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung bildet die obere Barrierenschicht eine Deckschicht eines organischen Feld-Effekt Transistors (OFETs) , die auch eine Art Substrat oder flexibles Foliensubstrat sein kann, wobei nach einer Ausgestaltung sich auf diesem Substrat oder Träger eine Ga- teelektrode befindet, die mit der Barrierenschicht auf die Bauteile aufgebracht wird. Um dann eine einfache und passgenaue Justierung der Deckschicht zu gewährleisten, wird die Gateelektrode auf der oberen Substrat-Deckschicht aufgebracht und bevorzugt mit einem noch unvernetzten Isolator überzogen. Gleichzeitig wird ein Aufbau von Substrat, Drain und Source- Elektrode mit halbleitender Schicht und Isolationsschicht zur Verfügung gestellt, bei der auch die Isolationsschicht noch unvernetzt ist.
In die beiden unvernetzten Isolationsschichten werden, wiederum bevorzugt, Justagemarken eingebettet, so dass anhand der Justagemarken eine einfache und passgenaue Positionierung des Oberbaus (Substrat mit Gateelektrode und unvernetzter I- solatorschicht) auf den Unterbau (Substrat mit Source/Drain- Elektrode, halbleitender Schicht und unvernetzter Isolatorschicht) möglich ist.
Das Aufbringen der beiden Aufbauten aufeinander erfolgt beispielsweise durch Aufdrücken, Aufpressen, Aufwalzen etc.
Zum Aushärten der Isolationsschicht wird der fertige OFET für eine definierte Zeit bestrahlt und/oder getempert.
Als Justagemarken eignen sich Fixierschienen, optische Marken oder Kreuze oder ähnliches. Dabei entsteht ein organischer Feld-Effekt-Transistor auf einem Substrat oder einem Träger, mit folgendem Aufbau: Source/Drain-Elektrode auf dem Substrat in einer halbleitenden Schicht eingebettet mit einer angrenzenden Schicht aus isolierendem Material, wobei diese Schicht noch unvernetzt ist und daran anschließend eine Gate-Elektrode an die eine Deckschicht angrenzt.
Ein Verfahren zur Herstellung eines solchen OFETs, umfasst folgende Schritte: auf einem Träger werden zumindest je eine Source und eine Drain Elektrode gebildet, die mit einer halbleitenden Schicht überzogen werden, auf der eine Schicht mit noch nicht vernetztem Isolator aufgebracht wird; - auf einem zweiten Substrat wird eine Gate-Elektrode mit einer darüberliegenden Schicht aus unvernetztem Isolator aufgebracht und beide Träger werden dann so aufeinander gebracht, dass die beiden unvernetzten Isolatorschichten aufeinander zu liegen kommen und dann wird die Vernetzung des Isolators initiiert.
Die oben genannten Kunststofffolien können entweder selbst als Barrierenschicht, durch eine entsprechende Dotierung oder Vernetzung, dienen oder mit einer, eine Abschirmung bildende, Barrierenschicht versehen sein. Diese gesonderte Barrierenschicht kann etwa eine metallische Schicht sein, welche auf die Basisfolie aufgedampft oder auflaminiert ist. Geeignete Metalle sind hierfür Aluminium, Kupfer oder Chrom. Die Kunst- stofffolie weist üblicherweise eine Dicke zwischen 10 und 100 μm, vorzugsweise 30-60 μm, auf. Eine aufgebrachte Metallschicht ist üblicherweise zwischen 5 und 100 μm, vorzugsweise zwischen 5 und 50 μm dick.
Andererseits kann die Barriere auch durch eine nicht-metallische Schicht ausgebildet sein. Dieses nicht-metallische Material ist so auszuwählen, dass es Licht und/oder Wasser und/oder Sauerstoff auffängt bzw. absorbiert. Geeignete nicht-metallische Beschichtungen zur Ausbildung einer Barriere gegen Licht, Luft und/oder Wasser sind daher beispielsweise Schichten aus weitgehend dichten Partikeln, die möglichst überlappend angeordnet sind. Geeignete Materialien bilden hierzu Graphit oder anorganische Oxide mit Plättchenstruktur.
Die zur Verkapselung verwendete Barrierenschicht kann in einer vorteilhaften Ausgestaltung der vorliegenden Erfindung Barrierenschichten gleicher oder verschiedener Art umfassen. Mit anderen Worten, die die Barriere bildende (n) Schicht (en) kann/können beispielsweise eine metallische Barrierenbe- schichtung und eine nicht-metallische Barrierenbeschichtung kombinieren. Allgemein kann die die Barriere bildende Schicht also ein mehrschichtiges System sein. Ein geeigneter Aufbau besteht beispielsweise aus einer Polyethylenterephthalat- Folie, die mit Aluminium beschichtet ist, wobei auf der Alu- miniumbeschichtung nochmals eine Polyethylenterephthalatfolie auflaminiert ist.
Das Foliensubstrat kann durchsichtig aber auch vollkommen undurchsichtig sein. Eine undurchsichtige Folie hat sogar den Vorteil, dass schädigende Einflüsse von Licht in der organischen Elektronik in optimaler Weise unterbunden werden.
Die erfindungsgemäß ausgebildete elektronische Schaltung kann somit alle für eine Schaltung wesentlichen Bauteile umfassen. Vorzugsweise werden aber hauptsächlich die aktiven Bauteile verkapselt. Das sind vor allem die integrierte Schaltung, Transistoren, Dioden und insbesondere Gleichrichterdioden oder ähnliche aktive Bauteile. Bevorzugt sind die aktiven Bauteile zumindest teilweise aus organischem Material.
Der Begriff "organisches Material" umfasst hier alle Arten von organischen, metallorganischen und/oder anorganischen
Kunststoffen, die im Englischen z.B. mit "plastics" bezeichnet werden. Es handelt sich um alle Arten von Stoffen mit Ausnahme der Halbleiter, die die klassischen Dioden bilden (Germanium, Silizium) , und der typischen metallischen Leiter, Eine Beschränkung im dogmatischen Sinn auf organisches Material als Kohlenstoff-enthaltendes Material ist demnach nicht vorgesehen, vielmehr ist auch an den breiten Einsatz von z.B. Siliconen gedacht. Weiterhin soll der Term keiner Beschränkung im Hinblick auf die Molekülgröße, insbesondere auf poly- ere und/oder oligomere Materialien unterliegen, sondern es ist durchaus auch der Einsatz von "s all olecules" möglich.
Auch die passiven Bauteile wie Widerstände, Kondensatoren, Spulen können von der erfindungsgemäßen elektronischen Schaltung umfasst sein. Ebenso gut können nur die empfindlichen Bauteile wie die organische integrierte Schaltung selbst ent- halten sein und andere Teile, wie zum Beispiel eine Gleichrichterdiode, die dann noch in der herkömmlichen Silicium- Technik hergestellt sein kann, kann sich außerhalb befinden.
Die erfindungsgemäße elektronische verkapselte Schaltung ist nicht nur für Tags einsetzbar sondern überall dort, wo ein metallisiertes Substrat kein Hindernis für den Einsatz ist, also zum Beispiel auch bei Sensoren oder sonstigen elektronischen Bauteilen, die mit organischer Elektronik realisiert werden können.
Ein besonderer Vorteil ergibt sich für den Fall, dass für die Foliensubstrate Schichtsysteme oder Foliensysteme mit Metallschichten verwendet werden. In diesem Fall können die Metallschichten auch in die entsprechende Schaltung integriert sein, beispielsweise durch eine geeignete Strukturierung als elektrische Leiter oder auch als passive Bauteile wie Kondensatoren, Spulen, Widerstände ausgebildet sein.
Gegenstand der Erfindung ist demnach auch ein Verfahren zur Herstellung einer elektronischen Schaltung, umfassend elektronische Bauteile aus insbesondere organischem Material, mit folgenden Schritten: Aufbauen einer eine Barriere bildenden Schicht, Anordnen elektronischer Bauteile zu einer elektronischen Schaltung auf der Barrierenschicht,
Anlegen von elektrischen Leiterbahnen zu elektrischen Kontak- ten,
Aufbringen wenigstens einer weiteren Barrierenschicht über wenigstens teilweise den elektronischen Bauteilen zu deren Abdichtung gegenüber Licht und/oder Luft und/oder Wasser.
Die elektronische Schaltung kann so in einfacher Weise als
Tag oder auch Sensor ausgebildet werden und das erfindungsgemäße Verfahren kann dazu verwendet werden.
Im Folgenden wird die Erfindung anhand der anhängenden Zeich- nungen näher erläutert, worin:
Fig. 1 eine erfindungsgemäße verkapselte elektronische Schaltung im Schnitt zeigt;
Fig. 2 die in Fig. 1 dargestellte elektronische Schaltung in einer schematischen Aufsicht zeigt;
Fig. 3a) bis c) Kombinationen der erfindungsgemäßen elektronischen Schaltung mit einer Spule oder einer Stab- antenne zeigt;
Fig. 4 ein bevorzugtes Ausführungsbeispiel der Kombination einer erfindungsgemäßen elektronischen Schaltung mit einer Spule ist; und
Fig. 5 ein weiteres bevorzugtes Ausführungsbeispiel einer solchen Kombination ist.
Fig.6/7 zeigen die Herstellung eines OFETs aus einem Unter- bau mit Source/Drain-Elektrode und halbleitender
Schicht und einem Oberbau mit Gate-Elektrode, wobei die beiden Aufbauten über eine Isolationsschicht verbunden werden.
In Fig. 1 ist eine erfindungsgemäße elektronische Schaltung 1 gezeigt, welche elektronische Bauteile 3 umfasst. Diese e- lektronischen Bauteile 3 können ganz oder teilweise aus organischen Materialien, also leitenden, halbleitenden oder nichtleitenden polymeren Kunststoffen aufgebaut sein. Die e- lektronischen Bauteile 3 sind auf einer eine Barriere bilden- den Schicht 2 angeordnet, die bei der gezeigten Ausführungsform mehrschichtig ist. Die elektronischen Bauteile 3 oder Chips können als solche auf die Schicht 2 aufgeklebt oder in sonstiger Weise darauf ortsfest gehalten sein. Sie können a- ber auch direkt darauf durch geeignete Druckverfahren ausge- bildet sein.
Die Schicht 2 selbst ist in der gezeigten Ausführungsform aus drei Schichten 4, 5 und 6 aufgebaut. Die unterste Schicht 4 ist eine für die Anwendungszwecke geeignete Kunststofffolie, wie Polyethylen, Polyethylenterephthalat, Polyimid oder dergleichen flexible Materialien. Die zweite Schicht 5 ist als die eigentliche Barrierenschicht ausgebildet. Das ist vorzugsweise eine metallische Schicht aus Aluminium, Kupfer oder Chrom, welche entweder als Folie auf die Schicht 4 auflami- niert ist oder auf diese aufgedampft wurde. Wie bereits erwähnt kann die Barrierenschicht auch aus einem nichtmetallischen Substrat bestehen. Über die Barrierenschicht 5 ist eine weitere Schicht 6 in Form einer Kunststofffolie aufgeklebt oder laminiert .
Auf dieser Schicht 2 sind neben den elektronischen Bauteilen 3 elektrische Kontakte 8 ausgebildet bzw. angeordnet. Sie dienen zum späteren Verbinden der elektronischen Schaltung 1 mit beispielsweise einer Spule oder Antenne, also zum Aufbau beispielsweise eines RFID-Tags. Die Kontakte 8 können aus organischen, leitfähigen Materialien bestehen und beispielsweise im Druckverfahren auf das Foliensubstrat aufgebracht wer- den. Selbstverständlich können auch metallische Kontakte, beispielsweise aus Kupfer, verwendet werden. Diese Kontakte 8 sind mit vorbestimmten der elektronischen Bauteile 3 durch Leitungen 7 elektrisch leitend verbunden.
Über den elektronischen Bauteilen 3 und damit teilweise den Leitungen 7 ist eine weitere Barriere 2 ' , die den gleichen Aufbau wie die erste Schicht 2 aufweist, hermetisch abdichtend angeordnet. Es handelt sich im gezeigten Ausführungsbei- spiel also wieder um ein mehrschichtiges System, bestehend aus zwei Schichten 4, 6 aus Kunststofffolie, zwischen welchen eine Barrierenschicht 5 angeordnet ist. Die Materialien für diese Schichten können unter den gleichen ausgewählt sein, die für die weitere Schicht 2 verwendbar sind. Für den Her- stellungsprozess ist es von Vorteil, diese zweite obere und abdeckende bzw. verkapselnde Barrierenschicht als solches entweder aufzukleben oder aufzulaminieren. Es ist ersichtlich, dass die einzelnen elektronischen Bauteile von den Schichten 2 und 2 ' vollständig umschlossen und damit optimal gegen Umwelteinflüsse abgeschirmt sind.
Die Fig. 2 zeigt den Aufbau der elektronischen Schaltung 1 lediglich in einer Aufsicht, aus welcher insbesondere die elektrische Verbindung mit den außerhalb der Verkapselung liegenden Kontakten 8 gezeigt ist.
Anhand der folgenden Fig. 3 wird nun beschrieben, wie es trotz möglicherweise metallisierter Verkapselung der elektronischen Schaltung 1 möglich ist, eine größere Reichweite einer Antenne, die für den Aufbau beispielsweise eines RFID-
Tags erforderlich ist, zu erreichen, als mit einer vollständigen Integration der organischen Elektronik mit der Spule.
Die erfindungsgemäß aufgebaute Elektronik ist nämlich derart, dass sie als eine Art Aufkleber mit den frei liegenden elektrischen Kontakten auf einer entsprechenden Spule bzw. Antenne 9, 10 befestigt werden kann. Die jeweiligen Enden der Spule (Fig. 3a) und 3b) ) oder auch einer stabförmigen Antenne (Fig. 3c) ) können mit der verkapselten Elektronik durch einfaches Aufkleben verbunden werden. Der ganze Aufbau ergibt so einen funktionierenden Tag.
Bei diesem Aufbau ist die Elektronik von der Spule getrennt. Man kann deshalb als Spule eine herkömmliche Metallantenne verwenden, welche eine entsprechend hohe Güte für eine möglichst hohe Reichweite aufweist. Auch können sehr große An- tennen angebunden werden, ohne den wirtschaftlichen Nachteil, dass die aufwändigere Technik für die Herstellung der organischen Schaltung nur für einen kleinen Teil der Fläche benötigt wird.
Auch wird ein weiterer Schritt bei der Herstellung eingespart, der allgemein bei Flachspulen nötig ist, nämlich die Verbindung der entsprechenden Spulenenden 14, 15 in einer weiteren Ebene. Hier besteht die Anwendungsmöglichkeit, dass beispielsweise in der Verpackungsmittelindustrie durch preis- werte Druckverfahren Antennen mit auf die Verpackungen aufgedruckt werden können und in einem letzten Schritt die der oben beschriebenen Elektronik entsprechenden Aufkleber aufgeklebt werden.
Vorteilhaft ist hier, dass die entsprechenden elektrischen
Anschlussflächen recht groß sind, um eine einfache Justierung zu erlauben. Wenn die Anschlüsse genormt sind, kann das Aufbringen auch erst in einem späteren Stadium geschehen. Im Einzelhandel könnte so jede Firma ihre eigenen Tags aufkle- ben. Bei diesem Aufbau ist selbst eine metallisierte Fläche der Gesamtelektronik für die RF-Anbindung der Antenne nicht störend, da diese über den Spulenwindungen liegt und nicht in der von der Spule eingeschlossenen Fläche.
Bei den Ausführungsformen gemäß den Fig. 4 und 5 wird die erfindungsgemäße elektronische Schaltung 1 in einer besonders effizienten und kostensparenden Weise mit einer Antenne 9, 10 kombiniert. Wesentlicher Aspekt ist hier, dass die "Transpon- derschaltung" direkt auf dem Substrat der Antenne 9, 10 aufgebracht wird. Als Barrierenschicht 2 wird dann eine homogen metallisierte Kunststofffolie 4, 5, beispielsweise wieder aus Polyethylen, Polyethylenterephthalat oder Polyimid mit aufgedampftem Aluminium verwendet. Durch ein Strukturierungsver- fahren wird auf der Metallschicht 5 eine Spule erzeugt. An Stellen, wo die eigentliche Schaltung 3 angeordnet wird, be- lässt man eine Metallschicht, die dann als Barriere bzw. Ver- kapselung dient. Es ist natürlich auch denkbar, diese Metallschicht durch entsprechende Strukturierung direkt in die Schaltung mit einzubringen, beispielsweise als Leiterbahnen oder als passive Bauteile. Hierbei wäre dann ein mehrschichtiges System von Vorteil, bei dem eine Schicht zur Verkapse- lung und eine für die Anwendung in der Schaltung verwendet werden kann.
Der Vorteil dieses Aufbaus besteht darin, dass das ganze Ident Tag als integriertes System hergestellt werden kann, was insbesondere die Kosten reduziert.
In der Fig. 4 ist auf einer Barrierenschicht 2, die wie oben beschrieben ausgebildet sein kann, eine Antenne 9, 10 ausgebildet, welche beispielsweise aus einem Metall oder einem leitenden Polymer besteht. Im Inneren der Antennenführung befindet sich eine elektronische Schaltung 1, beispielsweise ein Siliciumchip oder ein Polymerchip, welcher an beiden Enden 14, 15 der Antenne 9, 10 elektronisch angeschlossen werden soll. Dazu wird die durch eine punktierte Linie darge- stellte Ecke 13 der Schicht 2 derart umgefaltet, dass das Ende 14 der Antenne auf der Kontaktfläche 12 zum Liegen kommt. Nach dem Umfalten ist die elektrische Schaltung 3 über die Leiterbahnen 7 mit der Antenne 9, 10 verbunden. Um einen Kurzschluss der umgeklappten Leiterbahn 7 mit der Antenne 9, 10 zu verhindern, muss vor dem Umfalten eine Isolationsschicht auf die Wicklungen der Antenne 9, 10 aufgebracht werden. Diese Isolationsschicht kann gleichzeitig als Kleber dienen, um die umgefaltete Ecke 13 dauerhaft zu fixieren. Durch diese Art der Verbindung kann der bisher übliche Verfahrensschritt, nämlich das zusätzliche Aufbringen einer strukturierten Leiterbahn, eingespart werden.
Gemäß Fig. 5 befindet sich auf der Schicht 2 eine Antenne 9, 10, wie in Fig. 4. Eine elektronische Schaltung 3 ist außerhalb der Antenne 9, 10 in einer Ecke 13 der Schicht 2 angeordnet. Diese Ecke 13 wird nun so umgefaltet, dass die Kon- taktfläche 8 auf der Kontaktierungsfläche 12 der Antenne 9, 10 zum Liegen kommt. Um einen Kurzschluss der umgeklappten Leiterbahn 7 mit der Antenne 9, 10 zu verhindern, rαuss vor dem Umfalten eine Isolationsschicht auf die Wicklungen der Antenne 9, 10 aufgebracht werden. Diese Isolationsschicht kann gleichzeitig als Kleber dienen, um die umgefaltete Ecke 13 dauerhaft zu fixieren.
Das Besondere an dieser Ausführungsform ist, dass durch den Umklappvorgang zum einen die elektronische Schaltung 3 an die Antenne 9, 10 angeschlossen wird und zum anderen die elektronische Schaltung 3 verkapselt wird, und zwar durch das Substratmaterial, das dafür geeignet ausgewählt werden muss.
In der Figur 6 sieht man links Oberbau 16 und Unterbau 17 ge- trennt, wobei die Pfeile 18 die Richtung andeuten, in der die beiden Aufbauten aufeinander gepresst werden. Der Oberbau 16 umfasst ein Substrat 19 wie eine flexible PET-Folie auf der sich eine dünne in der Form einer Gate-Elektrode strukturierte Schicht 20 aus ITO (ITO = Indium Tin Oxide) befindet. Die Gate-Elektrode 20 ist eingebettet in eine beispielsweise ca. 100 nm dicke Schicht 21 des unvernetzten Isolatormaterials Poly(4-hydroxystyrol) (PHS) mit dem Vernetzer Hexa ethyoxy- ethylmelamin (HMMM) . In dieser Schicht liegt das Isolatormaterial noch unvernetzt vor, enthält jedoch die zur Vernetzung nötigen Komponenten (Crosslinker, d.h. HMMM und einen Katalysator, z.B. Kamphersulfonsäure (CSA) . Der Unterbau 17 hat ebenfalls ein Substrat 19 mit einer strukturierten Schicht 20 aus ITO, die hier die Source und Drain Elektroden bildet, darauf. Die Source/Drain Elektroden sind in eine halbleitende Schicht 22, beispielsweise aus Poly (3-octylthiophen) P30T als aktives Halbleitermaterial eingebettet. Auf der halbleitenden Schicht 22 befindet sich eine ca. lOOnm dicke Schicht 21 des Isolatormaterials PHS ebenfalls unvernetzt und mit den zur Vernetzung nötigen Komponenten (Crosslinker und Katalysator) . Oberbau 16 und Unterbau 17 werden so aufeinandergepresst (Figur 7) , dass die beiden Schichten 21 aufeinander zu liegen kommen und sich oberflächlich miteinander verbinden. Dabei wird mit Hilfe von Justagemarken so justiert, dass sich Source/Drain und die Gate-Elektrode in gewünschter Weise übereinander befinden. In einem abschließendem Schritt wird der gesamte Aufbau eine Stunde bei 130°C getempert und damit fi- xiert.
Die in dieser Ausführungsform erstmals vorgestellte separate Erzeugung der Gate-Elektrode auf einem zweiten Substrat und deren Justierung auf dem Aufbau Substrat/Source, Drain Elekt- rode/Halbleiter/Isolator erleichtert den Aufbau von OFETs dahingehend, dass keine Strukturierung der oberen Elektrode (Source/Drain oder Gate, je nach Aufbau) durch Fotolithographie mehr erfolgt bei der die unteren organischen Schichten angegriffen und/oder angelöst werden. Zudem wird der so her- gestellte OFET verkapselt und damit vor mechanischen Schäden und Umwelteinflüssen geschützt.
Die Erfindung betrifft eine elektronische Schaltung (1) , umfassend elektronische Bauteile (3) aus insbesondere organi- schem Material, wobei das/die Bauteile (3) zwischen wenigstens zwei eine Barriere bildenden Schichten (2, 2*) angeordnet sind und von diesen gegen den Einfluss von Licht und/oder Luft und/oder Wasser geschützt sind. Derart aufgebaute elektronische Schaltungen ermöglichen die Erzeugung insbesondere von RFID Ident Tags als Massenartikel.

Claims

Patentansprüche
1. Elektronische Schaltung (1), umfassend elektronische Bauteile (3) aus insbesondere organischem Material, wobei das/die Bauteile (3) zwischen wenigstens zwei eine Barriere bildenden Schichten (2, 2') angeordnet ist/sind und von diesen gegen den Einfluss von Licht und/oder Luft und/oder einer Flüssigkeit wie Wasser geschützt sind.
2. Elektronische Schaltung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Barrierenschicht (2) wenigstens eine Schicht aus Kunststofffolie u fasst.
3. Elektronische Schaltung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass sie ein organischer Feld-Effekt Transistor ist, bei dem folgender Aufbau realisiert ist :Source/Drain-Elektrode auf der ersten eine Barriere bildenden Schicht, einem Substrat, in einer halbleitenden Schicht eingebettet mit einer angrenzenden Schicht aus i- solierendem Material, wobei diese Schicht noch unvernetzt ist und anschließend an die unvernetzte Isolationsschicht eine Gate-Elektrode an die sich die zweite eine Barriere bildende Schicht, eine Deckschicht, anschließt.
4. Elektronische Schaltung nach Anspruch 3, bei der die
Deckschicht ein Substrat und/oder Träger wie eine flexible Folie ist.
5. Elektronische Schaltung nach einem der vorstehenden An- Sprüche 3 oder 4, bei der in der noch unvernetzten Isolationsschicht Justagemarken integriert sind.
6. Elektronische Schaltung nach einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Barrieren- schicht (2) eine metallische und/oder nicht-metallische Schicht ist.
7. Elektronische Schaltung nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass die metallische Schicht aus Aluminium, Kupfer oder Chrom ausgewählt ist.
8. Elektronische Schaltung nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, dass die Bauteile (3) aus aktiven Bauteilen ausgewählt sind.
9. Elektronische Schaltung nach Anspruch 8, dadurch gekenn- zeichnet, dass die aktiven Bauteile insbesondere eine integrierte Schaltung und/oder eine Gleichrichterdiode sind.
10. Elektronische Schaltung nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, dass die Bauteile (3) aus passiven Bauteilen ausgewählt sind.
11. Elektronische Schaltung nach einem der Ansprüche 1 bis 10, dadurch gekennzeichnet, dass die passiven Bauteile insbesondere Widerstände, Kondensatoren oder Spulen sind.
12. Elektronische Schaltung nach einem der Ansprüche 1 bis 11, dadurch gekennzeichnet, dass sie eine Spulenanordnung (9, 10) oder dergleichen umfasst bzw. mit einer solchen kombiniert ist.
13. Elektronische Schaltung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass sie mit äußeren Kontakten (8) leitend verbunden ist.
14. Verfahren zur Herstellung einer elektronischen Schaltung, umfassend elektronische Bauteile (3) aus insbesondere organischem Material, insbesondere nach einem der Ansprüche 1 bis 13, mit folgenden Schritten:
Aufbauen einer eine Barriere bildenden Schicht (2), i /
Anordnen elektronischer Bauteile (3) zu einer elektronischen Schaltung (1) auf der Barrierenschicht (2),
Anlegen von elektrischen Leiterbahnen (7) zu elektrischen Kontakten (8) ,
Aufbringen einer wenigstens eine Barrierenschicht (2) umfassenden weiteren Schicht (2') über den elektronischen Bauteilen (3) zu deren Schutz gegenüber Licht und/oder Luft und/oder Wasser.
15. Verfahren nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, dass die elektronische Schaltung (1) als ein Tag ausgebildet ist.
16. Verfahren nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, dass die elektronische Schaltung (1) als Sensor ausgebildet ist.
17. Verfahren zur Herstellung einer elektronischen Schaltung nach einem der Ansprüche 1 bis 13, bei dem auf einem Träger zumindest je eine Source und eine Drain Elektrode gebildet werden, die mit einer halbleitenden Schicht überzogen werden, auf der eine Schicht mit noch nicht vernetztem Isolator aufgebracht wird (Herstellung des Unterbaus) ; auf einem zweiten Substrat eine Gate-Elektrode mit einer darüberliegenden Schicht aus unvernetztem Isolator aufgebracht wird (Herstellung des Oberbaus) und - beide Träger dann so aufeinander gebracht werden, dass die beiden unvernetzten Isolatorschichten aufeinander zu liegen kommen und dann die Vernetzung des Isolators initiiert wird.
18.Verwendung einer elektronischen Schaltung (1) nach einem der Ansprüche 1 bis 13 zur Herstellung eines Tags.
9.Verwendung einer elektronischen Schaltung (1) nach einem der Ansprüche 1 bis 13 zur Herstellung eines Sensors.
PCT/DE2001/003164 2000-08-18 2001-08-17 Verkapseltes organisch-elektronisches bauteil, verfahren zu seiner herstellung und seine verwendung WO2002015264A2 (de)

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