WO2002020869A2 - Method for coating a component and coated component - Google Patents

Method for coating a component and coated component Download PDF

Info

Publication number
WO2002020869A2
WO2002020869A2 PCT/DE2001/003501 DE0103501W WO0220869A2 WO 2002020869 A2 WO2002020869 A2 WO 2002020869A2 DE 0103501 W DE0103501 W DE 0103501W WO 0220869 A2 WO0220869 A2 WO 0220869A2
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
component
aperture
coating
layer
lamp
Prior art date
Application number
PCT/DE2001/003501
Other languages
German (de)
French (fr)
Other versions
WO2002020869A3 (en
Inventor
Ursus KRÜGER
Uwe Pyritz
Wolfgang Schilling
Raymond Ullrich
Original Assignee
Siemens Aktiengesellschaft
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Siemens Aktiengesellschaft filed Critical Siemens Aktiengesellschaft
Publication of WO2002020869A2 publication Critical patent/WO2002020869A2/en
Publication of WO2002020869A3 publication Critical patent/WO2002020869A3/en

Links

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/04—Coating on selected surface areas, e.g. using masks
    • C23C14/042—Coating on selected surface areas, e.g. using masks using masks

Definitions

  • the invention relates to a method for applying at least one layer to a partial surface of a component.
  • a method for applying at least one layer to a partial surface of a component e.g. Coatings are applied to the light exit surface of a lamp.
  • Such coatings can serve to specifically change the light emitting properties of the lamp; these coatings can consist of light-absorbing or light-reflecting materials.
  • the invention has for its object to provide a method with which the application of layers on partial surfaces of a component can be improved.
  • this object is achieved according to the invention in that the layer is applied by vacuum coating using at least at least one screen arranged at a distance from the component to cover the surface of the component that is not to be coated, the screen having at least one screen opening that is smaller than the area of the layer to be applied, the relative position of the component to the screen is changed and the coating of the component in several successive steps each after changing the position of the component relative to the aperture.
  • This method according to the invention has the particular advantage that even complex shaped part surfaces of the component can be coated easily and precisely.
  • a diaphragm can be used, the diaphragm opening of which, in its flat configuration, represents a section of the part surface to be coated.
  • the method according to the invention can be designed in such a way that an aperture is used whose at least one aperture opening can be changed in its contour.
  • the cover can be used flexibly to coat different part surfaces of components.
  • the method according to the invention can be designed in such a way that an aperture is used whose at least one aperture opening can be changed in its contour by reducing a maximum opening by partially covering it with at least one auxiliary aperture.
  • the contour of the aperture opening for coating different partial surfaces can be changed in a simple manner.
  • the method according to the invention can be designed in such a way that several diaphragms are used, the openings of which are adapted in their areal shape to a partial area of the areal shape of the layer. It is possible to coat complexly shaped part surfaces in several steps by means of several screens, each of which has a screen opening that is simply structured with respect to the entire partial surface to be coated. Such an aperture can also be used for more than one coating step.
  • the method according to the invention can also be designed in such a way that at least one screen with a dimension that is only slightly larger in at least one plane than the layer to be applied is used and that at least one additional screen for additional coverage of those not covered by the screen and not to be coated in this process step Parts of the component is used, the screen and the additional screen being used together.
  • the term “aperture” denotes the entire aperture body that contains the aperture opening.
  • the “dimensions” of the aperture are the outer dimensions of the aperture body; these external dimensions are not identical to the dimensions of the aperture located in the aperture body.
  • the additional cover is used for cover areas outside the panel, for example the additional panel can frame areas around the panel.
  • the method according to the invention can also be designed in such a way that at least one screen with a dimension smaller than the layer to be applied in at least one plane is used and that at least one additional screen for additional coverage of those not covered by the screen and not to be coated in this process step
  • Parts of the component is used, the screen and the additional screen being used together.
  • the two aforementioned embodiments have the particular advantage that screens can be used which can only be slightly larger or even smaller than the dimension of the layer to be applied in a selected plane. This allows you to use panels with relatively small external dimensions that are easy to handle and z. B. even with three-dimensionally complicated shaped components close to the part surface to be coated or arranged. This gives you a very precise and precisely applied coating with high edge sharpness when coating.
  • the method according to the invention can also be designed such that the at least one diaphragm is brought into a predetermined position in front of the component and the component is aligned with the at least one diaphragm.
  • the screens can remain in a coating device, for example; only the component to be coated must be introduced into the coating device and aligned with respect to the screens. Therefore, the number of orifices needed in mass production can be reduced and there is no need to reassemble the panels for each component to be coated.
  • the method according to the invention can also advantageously be used for coating essentially cylindrical components which are rotated about their longitudinal axis with respect to the at least one diaphragm.
  • the essentially cylindrical component can advantageously be coated on all sides using an aperture which, compared to the coating, has relatively small external dimensions. A more or less all-round coating is also possible if the coating particles move from only one direction towards the part surface to be coated.
  • the method can also be designed in such a way that at least one curved-shaped diaphragm is used in accordance with the curvature of the cylindrical component.
  • This can advantageously z. B. at different points on the jacket of the cylindrical component, an approximately equal distance between the diaphragm and the partial surface of the cylindrical component to be coated can be achieved. It can be z. B. act at a uniformly small distance.
  • the method according to the invention is particularly advantageously suitable for coating cylindrically shaped lamps, on the translucent lamp bulb of which at least one layer is applied.
  • the layer can consist of a pure metal.
  • iron, copper or zirconium can be used as the metal.
  • At least one oxidic or nitridic metal compound can be applied as a layer.
  • Such a metal compound can in particular contain iron, copper or zirconium.
  • the method according to the invention can also be designed such that a plurality of layers are applied one above the other.
  • z. B. combine the properties of individual layers of different coating materials and achieve new properties that can only be achieved by combining several layers.
  • the method according to the invention can also be designed in such a way that the distance of the at least one orifice to the partial surface of the component and the pressure prevailing during vacuum coating are selected such that the mean free path length of the moving, which is dependent on the pressure
  • Coating particles is larger than the distance of the at least one aperture to the part surface.
  • the invention is based on the further object of specifying a component which has a coating which is applied in a simple manner, even in the case of complicatedly designed partial surfaces of the component.
  • a component which is coated by the method according to the invention and which has at least one layer on a partial surface which is applied by means of vacuum coating using at least one screen with at least one screen opening which is small compared to the area of the layer to be applied ,
  • Such a component can also have exact coatings on complicatedly shaped partial surfaces.
  • the component can be a lamp.
  • the lamp can be designed such that the coating at least reduces the light emission of the lamp in at least one predetermined solid angle. It can be achieved in particular that, depending on the design of the layered partial surface certain solid angles outside the lamp are less illuminated than others.
  • the lamp according to the invention can advantageously be used in motor vehicles, the coating reducing the glare. So that, for example, oncoming traffic is not dazzled, the coating can be applied to the lamp in such a way that when the lamp is installed in a headlight of a motor vehicle, light radiation to the front and to the right occurs in relation to the direction of travel, but not to the left at the front, because a beam of light in the direction of the left front could blind drivers of oncoming vehicles on this side. For this purpose you need precisely applied layers so that the lamp meets the regulations for avoiding glare.
  • FIG. 1 shows a schematic illustration of an exemplary embodiment of the method for applying at least one layer on a partial surface of a lamp, in the
  • FIG. 5 shows an embodiment of an aperture magazine consisting of several apertures
  • FIG. 6 shows an embodiment of a coating device with an aperture and an auxiliary aperture
  • FIG. 7 shows a schematic illustration of an embodiment of a sequence of a coating method with two apertures.
  • the component to be coated is uses a lamp 1 which has an essentially cylindrical shape and is shown in a view from above in FIG. 1. Parts of the lateral surfaces of the cylinder form the part surface 2 of the component to be coated. Furthermore, a supply of coating material 3 is shown in FIG. 1, this supply of coating material 3 is also referred to as a target in vacuum coating processes. Between the lamp 1 and the supply of coating material 3 there is an aperture 4, which is also shown in a view from above.
  • the diaphragm 4 contains a diaphragm opening 5 (indicated by dashed lines in this view) which releases part of the partial surface 2 of the lamp 1 to be coated for the coating.
  • PVD physical vapor deposition
  • a storage part called a target which consists of coating material
  • the coating material then deposits on the part surface of the component to be coated.
  • the PVD process includes the so-called sputtering process.
  • the coating is to be carried out by a sputtering process.
  • Coating material particles are knocked out of the supply of coating material 3 (target) by bombardment with high-energy particles (not shown); these coating material particles move towards the lamp in an approximately parallel movement.
  • the approximately parallel movement of the coating material particles is symbolized by parallel arrows 6.
  • the particles of the coating material to the aperture 4.
  • the particles can pass through the aperture 4 and reach the partial surface 2 of the lamp 1. There they deposit and form a layer, the dimensions of which Dimension of the aperture 5 and depends on the geometric arrangement of the partial surface 2 of the lamp 1 with respect to the aperture 4.
  • the coating particles are deposited on the diaphragm 4 and do not reach the lamp 1.
  • the result of this is that the projection surface of the diaphragm opening 5 onto the partial surface 2 of the lamp is coated with the material of the target 3.
  • the projection surface (the projected surface) represents the partial surface 2 of the
  • Lamp which is coated This takes place regardless of how the surface of the lamp is designed behind the opening 5.
  • the surface can have manufacturing-related irregularities or defects, so it can deviate from the ideal cylindrical shape.
  • Vacuum coating processes and in particular sputtering processes can be carried out at different pressures (ie at different vacuum pressures).
  • the lower the pressure in the vacuum coating system the fewer foreign particles per unit volume. Accordingly, the accelerated coating particles can travel a long way until they collide with these foreign particles still present in low pressure gases.
  • the lower the pressure in the vacuum vapor deposition system the greater the mean free path of the accelerated coating particles.
  • the distance "d" between the diaphragm 4 and the partial surface 2 of the lamp is designed such that this distance is smaller than the mean free path length of the particles, most of the particles reach the partial surface of the lamp and can rest on it separate before they collide with the foreign particles, which enables an effective coating of the lamp surface, for example, a short coating time can be achieved.
  • the coating method can also be designed such that the distance between the diaphragm 4 and the partial surface 2 of the lamp is greater than the mean free path of the particles. This causes some coating particles to collide with foreign particles and these coating particles are deflected from their path (parallel to the path of the other coating particles) and can hit areas of the surface of the lamp which are not hit by coating particles which do not collide with foreign particles. This can result in edge blurring of the boundary of the coating.
  • Vacuum coating processes and in particular sputtering processes can be used to apply light-tight, adhesive and scratch-resistant, temperature-resistant and low-reflection coatings. For example, ceramics, glass, quartz, transparent plastics such as plastic can be used as materials to be coated.
  • plexiglass, glass ceramic, sapphire or polymers can be used as plexiglass, glass ceramic, sapphire or polymers.
  • the following coating materials or material combinations are particularly suitable, for example, for producing light-tight coatings for both ultraviolet light (UV light), visible light (VIS light) and infrared light (IR light): Fe, FeO, FeO / Fe / FeO, Cu , CuO, CuO / CuN, CuO / Cu / CuO, ZrO, ZrO / ZrN and ZrO / Zr / ZrO.
  • the diaphragm 4 is aligned with a lamp 8 of the lamp and not with respect to the partial surface 2 of the lamp.
  • the illuminant 8 is shown schematically as a circle in FIG. This illuminant can be, for example, a lamp burner, an incandescent filament, a gas discharge path or the gas filling of a fluorescent tube.
  • the illuminant 8 is surrounded by a cylinder-shaped lamp bulb; Parts of the outer surface of this lamp bulb form the part surface 2 of the lamp 1 to be coated.
  • the illuminant 8 which is located in a precisely defined position, is exactly aligned with a lamp base of the lamp 1, which is not shown in the figure.
  • the lamp bulb which forms the partial surface 2 of the lamp, is mounted on this lamp base.
  • this lamp bulb is sometimes mounted crookedly on the lamp base, so that the lamp bulb is not in the originally planned position with respect to the lamp. If one were to use the lamp bulb to determine the position of the coatings to be applied (i.e.
  • the position of the layer is aligned directly with the illuminant or with the lamp base, an exact position of the coating with respect to the light-emitting illuminant is ensured even if the lamp bulb is not precisely adjusted. This is exactly what happens through the aperture 4, which is aligned with respect to the illuminant 8. This is done in detail by aligning the diaphragm 4 with respect to the lamp base; As described above, this lamp base has been aligned exactly with the illuminant 8 during assembly.
  • FIG. 2 Part surface 2 of the lamp. Disturbing influences of a z. B. not exactly adjusted lamp bulb avoided.
  • FIG. 2 two embodiments of diaphragms are shown in an oblique view from above. These can be such diaphragms, as is shown in FIG. 1 as diaphragm 4 in the view from above.
  • the left diaphragm 20 has a diaphragm opening 21 which has the shape of a capital letter “L”.
  • the diaphragm 22 shown on the right in FIG. 2, on the other hand, has a diaphragm opening 23 which is in the form of a vertical mirror axis has the mirrored capital letter "L”.
  • the partial surface of the component to be coated (in this case the lamp) has the shape of a large letter "U".
  • This partial surface in the shape of a large "U” can be coated by a A first coating step, for example with the aperture 20 shown on the left in FIG. 2, and a subsequent second coating step with the aperture 22 shown on the right in FIG. 2.
  • the cylindrical lamp can be rotated about its longitudinal axis so that the two layers, the through the left-hand diaphragm opening 21 or the right-hand diaphragm opening 23, have collided at their two shorter horizontal legs or overlap there.
  • FIG. 3 shows a further exemplary embodiment of two diaphragms with which a U-shaped coating on the lamp can also be implemented.
  • the left-hand diaphragm 25 has a diaphragm opening 26 which has the shape of a vertically arranged rectangle.
  • diaphragm 28 shown in the right part of FIG. 3 there is an diaphragm opening 29 which has the shape of a horizontally arranged rectangle.
  • three successively Feeding coating processes can also be applied to the surface of the lamp by means of these two screens 26 and 28. For example, in a first step, the left vertical leg of a "U" can be applied with the aperture 26.
  • the lamp can be rotated about its longitudinal axis and the right vertical leg of the "U" can be applied with the same aperture 26.
  • the lower horizontal leg of the “U u which connects the two vertical legs, is then applied with the diaphragm 28.
  • FIG. 4 shows an aperture 40 in the left half, which has a relatively large aperture 41.
  • an auxiliary diaphragm 43 which has the shape of a flat rectangle, the effectively effective diaphragm opening of the diaphragm 40 can now be reduced by covering the opening 41 with the auxiliary diaphragm 43.
  • the auxiliary diaphragm 43 represented by a double arrow, when the auxiliary diaphragm moves to the right, a narrow rectangle is created as the effective diaphragm opening of the diaphragm 40; when moving the
  • Auxiliary diaphragm 43 to the left creates a wider rectangle as the effective diaphragm opening of diaphragm 40.
  • auxiliary diaphragm for one diaphragm.
  • a further auxiliary diaphragm constructed identically to the auxiliary diaphragm 43 could be used to cover the diaphragm opening 41 on the right-hand side. If one imagines a position for this additional auxiliary diaphragm, such as would be created by mirroring the auxiliary diaphragm 43 on a vertical axis of symmetry 45, the diaphragm opening obtained as the effective diaphragm opening is similar to the diaphragm opening 26 shown on the left in FIG. 3. Analogous to the exemplary embodiment explained above with the aperture 40 and the auxiliary aperture 43, the right-hand illustration of FIG. 4 shows how a vertically movable auxiliary aperture 48 starts from the opening
  • an effective aperture can be changed.
  • the effective aperture can be changed between the individual coating steps depending on the position of the lamp to be coated by moving the auxiliary cover after, for example, the position of the lamp base and / or the position of the illuminant in the lamp bulb, for example by position sensors (e.g. by a camera).
  • position sensors e.g. by a camera
  • a coating that is exactly arranged with respect to the illuminant can also be applied if e.g. the lamp is not exactly in its intended position.
  • the two diaphragms shown in FIG. 4 have the particular advantage that by differently overlapping the diaphragm opening with auxiliary diaphragms, differently sized effective diaphragm openings can be specified.
  • the shape of this aperture opening depends both on the shape of the aperture and on the shape of the auxiliary aperture.
  • Figure 5 is a diaphragm magazine in a view from above
  • the aperture 53 required for the respective coating process can be selected, for example, by sliding it out and brought into the position required for the coating process between the target and the component to be coated.
  • Such an aperture magazine 51 can also contain several apertures with the same aperture openings. If a screen is contaminated by coating particles, this soiled screen can be pulled back into the screen magazine and a clean screen can be pushed out of the screen magazine. This is possible without opening or expensive conversion of the coating system, so that the downtime of the coating system due to pollution can be kept to a minimum.
  • FIG. 6 shows in its right part the coating of a cylindrical lamp 1. Between the lamp 1 to be coated (consisting of a lamp bulb 62 and a lamp base
  • auxiliary diaphragm 67 Above the space between auxiliary diaphragm 67 and lamp bulb 62, the diaphragm magazine 51 is shown in a side view; the aperture magazine 51 becomes a selected aperture 72 in the space between
  • the auxiliary diaphragm 67 serves to remove the parts of the lamp 1 which are not covered by the diaphragm 72 and which cannot be coated. cover (by, for example, arranging the auxiliary screen 67 in front of the screen 72 in a manner similar to a picture frame and thus covering areas outside the external dimensions of the screen 72) and to protect it from an undesired coating.
  • this diaphragm 72 can have small external dimensions, so that it can be positioned close to the partial surface to be coated (in this case the surface of the lamp bulb 62).
  • the distance between the diaphragm 72 and the partial surface of the lamp bulb 62 can be kept small, which in particular enables an improved quality of the coating with regard to the accuracy of its structure and a good edge definition of its boundary lines.
  • auxiliary cover 67 it is also possible to make the auxiliary cover 67 longer at the bottom than shown in FIG. 6, so that it also protects the lamp base 63 from an undesired coating.
  • FIG. 7 shows in a sequence of individual figures 7A to 7G how a U-shaped coating 82 is formed on the surface with the aid of the two screens 20 and 22 shown in FIG
  • the lamp 1 consisting of lamp bulb 62 and lamp base 63 is rotatably supported about its axis of symmetry 80, as indicated by two round arrows in FIG. 7A. For example, it can be rotated by a stepper motor.
  • the lamp bulb 62 is now covered with the diaphragm 20 shown in FIG. 7B, this diaphragm being able to be lowered, for example, from a diaphragm magazine and being introduced into the space between the target 2 and the lamp 1.
  • the diaphragm 20 as symbolized in FIG. 7C by the arrow pointing vertically upward, is drawn upward into the diaphragm magazine.
  • the lamp 1 then has the appearance shown in FIG. 7D; A coating in the form of an upright “L” is applied to its lamp bulb 62.
  • the lamp is then rotated about its axis of symmetry.
  • the same lamp is coated by means of the aperture 22; for this purpose, the aperture 22 is first from an aperture magazine, not shown, in front of the aperture 22;
  • Lamp bulb 62 lowered and a coating process carried out.
  • the aperture 22 is moved upward back into the aperture magazine (represented by a vertical upward arrow in FIG. 7F).
  • the lamp 1 now has the U-shaped coating shown in FIG. 7G with a layer 82.
  • coatings of almost any structure can be applied with a high degree of accuracy with regard to the dimension and contour of the coating structure, inter alia, on curved or cylindrical surfaces.
  • B. gas discharge lamps for motor vehicles eg to reduce glare for drivers oncoming motor vehicles
  • the method is not limited to the coating of lamps, rather coatings can be applied to a wide variety of coatable bodies.
  • the coatings can also be mirror layers that can be applied to a lamp bulb.
  • the joint use of reflective and light-absorbing coatings is also possible.

Abstract

The invention relates to a method for applying at least one coating (82) to a part of a surface (2) of a component (1). A method of this type can be used e.g. to apply coatings to the light emergent surface of a lamp in order to reduce the glare effects of the lamp. The aim of the invention is to improve the application of coatings to parts of surfaces. To this end, the coating (82) is applied by vacuum-coating, using at least one mask (4) for covering the surface of the component that is not to be coated. Said mask (4) is situated at a distance from the component (1) and has at least one mask opening (5, 20) which is smaller than the surface of the coating (82) to be applied. The position of the component (1) in relation to the mask (4) is altered and the coating of the component is completed in several successive steps according to the respective alteration of the position of the component (1) in relation to the mask (4).

Description

Beschreibungdescription
Verfahren zum Beschichten eines Bauteils und beschichtetes BauteilProcess for coating a component and coated component
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Aufbringen mindestens einer Schicht auf eine Teil-Oberfläche eines Bauteils. Mit einem solchen Verfahren können z.B. Beschichtungen auf die Lichtaustrittsfläche einer Lampe aufgebracht werden. Sol- ehe Beschichtungen können dazu dienen, die Lichtaussendeeigenschaften der Lampe gezielt zu verändern; diese Beschichtungen können aus lichtabsorbierenden oder aus lichtreflektierenden Materialien bestehen.The invention relates to a method for applying at least one layer to a partial surface of a component. With such a method e.g. Coatings are applied to the light exit surface of a lamp. Such coatings can serve to specifically change the light emitting properties of the lamp; these coatings can consist of light-absorbing or light-reflecting materials.
Bei einem solchen Verfahren ist es denkbar, die Schicht auf die Teil-Oberfläche des Bauteils mit Hilfe eines Zeichengerätes, wie z. B. eines Pinsels oder eines Stiftes, aufzubringen. Diese Art des Aufbringens benötigt jedoch besonders bei kompliziert geformten zu beschichtenden Teil-Oberflächen eine lange Zeit und ist aufwendig. Ein automatisiertes Verfahren mit einem Zeichengerät ist darüber hinaus dann schwierig zu realisieren, wenn die zu beschichtende Teil-Oberfläche des Bauteils z. B. durch Produktions- oder Montageungenauigkeiten eine Abweichung von der im Normalzustand vorhandenen Gestalt oder Lage der Teil-Oberfläche aufweist.With such a method, it is conceivable to coat the layer on the partial surface of the component with the aid of a drawing device, such as. B. a brush or a pen to apply. However, this type of application takes a long time, particularly in the case of complicatedly shaped part surfaces to be coated, and is complex. An automated method with a drawing device is also difficult to implement if the part surface of the component to be coated z. B. due to production or assembly inaccuracies a deviation from the shape or location of the part surface present in the normal state.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren anzugeben, mit dem das Aufbringen von Schichten auf Teil-Oberflächen eines Bauteils verbessert werden kann.The invention has for its object to provide a method with which the application of layers on partial surfaces of a component can be improved.
Diese Aufgabe wird bei einem Verfahren der oben angegebenen Art erfindungsgemäß dadurch gelöst, dass die Schicht durch Vakuumbeschichten aufgebracht wird unter Verwendung mindes- tens einer zum Bauteil beabstandet angeordneten Blende zum Abdecken der nicht zu beschichtenden Oberfläche des Bauteils, wobei die Blende mindestens eine Blendenöffnung aufweist, die kleiner ist als die Fläche der aufzubringenden Schicht, die relative Lage des Bauteils zur Blende verändert wird und die Beschichtung des Bauteils in mehreren aufeinanderfolgenden Schritten jeweils nach der Veränderung der relativen Lage des Bauteils zur Blende vorgenommen wird.In a method of the type specified above, this object is achieved according to the invention in that the layer is applied by vacuum coating using at least at least one screen arranged at a distance from the component to cover the surface of the component that is not to be coated, the screen having at least one screen opening that is smaller than the area of the layer to be applied, the relative position of the component to the screen is changed and the coating of the component in several successive steps each after changing the position of the component relative to the aperture.
Dieses erfindungsgemäße Verfahren hat insbesondere den Vorteil, dass sich auch kompliziert geformte Teil-Oberflächen des Bauteils problemlos und präzise beschichten lassen. Durch die Verwendung der zum Bauteil beabstandet angeordneten Blende kommt ein Projektionseffekt zur Geltung, der es er- laubt, gerade auch kompliziert geformte Teil-Oberflächen von Bauteilen zu beschichten, selbst wenn diese z. B. durch Produktions- oder Montageungenauigkeiten Abweichungen von ihrer Normalgestalt oder Normallage aufweisen. Durch Anwendung einer relativ kleinen einfach gestalteten Blendenöffnung ist es möglich, in mehreren Schritten auch komplizierte Teil- Oberflächen formgetreu zu beschichten.This method according to the invention has the particular advantage that even complex shaped part surfaces of the component can be coated easily and precisely. The use of the diaphragm, which is spaced apart from the component, brings out a projection effect which allows even complex-shaped part surfaces of components to be coated, even if they are z. B. have deviations from their normal shape or normal position due to production or assembly inaccuracies. By using a relatively small, simply designed aperture, it is possible to coat even complex partial surfaces true to shape in several steps.
Dabei kann eine Blende verwendet werden, deren Blendenöffnung in ihrer flächigen Ausgestaltung einen Ausschnitt der zu be- schichtenden Teil-Oberfläche darstellt.A diaphragm can be used, the diaphragm opening of which, in its flat configuration, represents a section of the part surface to be coated.
Das erfindungsgemäße Verfahren kann derart ausgestaltet sein, dass eine Blende verwendet wird, deren mindestens eine Blendenöffnung in ihrer Kontur veränderbar ist. Dadurch lässt sich die Blende flexibel zur Beschichtung von verschiedenen Teil-Oberflächen von Bauteilen nutzen. Das erfindungsgemäße Verfahren kann derart ausgestaltet sein, dass eine Blende verwendet wird, deren mindestens eine Blendenöffnung in ihrer Kontur veränderbar ist, indem eine Maximalöffnung durch partielles Überdecken mit mindestens einer Hilfsblende verkleinert wird. Somit ist auf eine einfache Art und Weise die Kontur der Blendenö fnung zur Beschichtung unterschiedlicher Teil-Oberflächen veränderbar.The method according to the invention can be designed in such a way that an aperture is used whose at least one aperture opening can be changed in its contour. As a result, the cover can be used flexibly to coat different part surfaces of components. The method according to the invention can be designed in such a way that an aperture is used whose at least one aperture opening can be changed in its contour by reducing a maximum opening by partially covering it with at least one auxiliary aperture. Thus, the contour of the aperture opening for coating different partial surfaces can be changed in a simple manner.
Das erfindungsgemäße Verfahren kann derart ausgestaltet sein, dass mehrere Blenden verwendet werden, deren Öffnungen in ihrer flächenhaften Gestalt an jeweils einen Teilbereich der Flächengestalt der Schicht angepasst sind. Hierbei ist es möglich, kompliziert geformte Teil-Oberflächen in mehreren Schritten mittels mehrerer Blenden zu beschichten, die je- 'weils eine bezüglich der gesamten zu beschichtenden Teil- Oberfläche einfach strukturierte Blendenöffnung aufweisen. Eine derartige Blende kann auch für mehr als einen Beschich- tungsschritt verwendet werden.The method according to the invention can be designed in such a way that several diaphragms are used, the openings of which are adapted in their areal shape to a partial area of the areal shape of the layer. It is possible to coat complexly shaped part surfaces in several steps by means of several screens, each of which has a screen opening that is simply structured with respect to the entire partial surface to be coated. Such an aperture can also be used for more than one coating step.
Das erfindungsgemäße Verfahren kann ebenfalls derart ausgestaltet sein, dass mindestens eine Blende mit einer in mindestens einer Ebene lediglich geringfügig größeren Abmessung als die aufzubringende Schicht verwendet wird und dass mindestens eine Zusatzblende zur ergänzenden Abdeckung der von der Blende nicht abgedeckten, nicht in diesem Verfahrensschritt zu beschichtenden Teile des Bauteils eingesetzt wird, wobei die Blende und die Zusatzblende gemeinsam angewendet werden. In dieser Beschreibung ist mit dem Begriff „Blende" der gesamte Blendenkörper, der die Blendenöffnung enthält, bezeichnet. Die „Abmessungen" der Blende sind die Außenabmessungen des Blendenkörpers; diese Außenabmessungen sind nicht identisch mit den Abmessungen der in dem Blendenkörper befindlichen Blendenöffnung. Die Zusatzblende dient zum Ab- decken von Bereichen außerhalb der Blende, beispielsweise kann die Zusatzblende rahmenartig Bereiche um die Blende herum abdecken.The method according to the invention can also be designed in such a way that at least one screen with a dimension that is only slightly larger in at least one plane than the layer to be applied is used and that at least one additional screen for additional coverage of those not covered by the screen and not to be coated in this process step Parts of the component is used, the screen and the additional screen being used together. In this description, the term “aperture” denotes the entire aperture body that contains the aperture opening. The “dimensions” of the aperture are the outer dimensions of the aperture body; these external dimensions are not identical to the dimensions of the aperture located in the aperture body. The additional cover is used for cover areas outside the panel, for example the additional panel can frame areas around the panel.
Das erfindungsgemäße Verfahren kann ebenso derart ausgestaltet sein, dass mindestens eine Blende mit einer in mindestens einer Ebene kleineren Abmessung als die aufzubringende Schicht verwendet wird und dass mindestens eine Zusatzblende zur ergänzenden Abdeckung der von der Blende nicht abgedeck- ten, nicht in diesem Verfahrensschritt zu beschichtendenThe method according to the invention can also be designed in such a way that at least one screen with a dimension smaller than the layer to be applied in at least one plane is used and that at least one additional screen for additional coverage of those not covered by the screen and not to be coated in this process step
Teile des Bauteils eingesetzt wird, wobei die Blende und die Zusatzblende gemeinsam angewendet werden. Die beiden vorgenannten Ausgestaltungsformen weisen insbesondere den Vorteil auf, dass Blenden verwendet werden können, die nur geringfü- gig größer bzw. sogar kleiner als die Abmessung der aufzubringenden Schicht in einer ausgewählten Ebene sein können. Dadurch kann man Blenden mit relativ kleinen Außenabmessungen verwenden, die sich gut handhaben lassen und die z. B. auch bei dreidimensional kompliziert geformten Bauteilen dicht an die zu beschichtende Teil-Oberfläche herangeführt bzw. angeordnet werden können. Dadurch erhält man beim Beschichten eine sehr genau und exakt aufgebrachte Beschichtung mit einer hohen Kantenschärfe.Parts of the component is used, the screen and the additional screen being used together. The two aforementioned embodiments have the particular advantage that screens can be used which can only be slightly larger or even smaller than the dimension of the layer to be applied in a selected plane. This allows you to use panels with relatively small external dimensions that are easy to handle and z. B. even with three-dimensionally complicated shaped components close to the part surface to be coated or arranged. This gives you a very precise and precisely applied coating with high edge sharpness when coating.
Das erfindungsgemäße Verfahren kann auch derart ausgestaltet sein, dass die mindestens eine Blende jeweils in eine vorbestimmte Position vor das Bauteil gebracht wird und das Bauteil gegenüber der mindestens einen Blende ausgerichtet wird. Bei dieser Ausgestaltungsform können die Blenden beispiels- weise in einem Beschichtungsgerät verbleiben; lediglich das zu beschichtende Bauteil uss in das Beschichtungsgerät eingebracht und bezüglich der Blenden ausgerichtet werden. Daher kann die Anzahl der in der Massenfertigung benötigten Blenden reduziert werden und es entfällt eine Neumontage der Blenden bei jedem zu beschichtenden Bauteil.The method according to the invention can also be designed such that the at least one diaphragm is brought into a predetermined position in front of the component and the component is aligned with the at least one diaphragm. In this embodiment, the screens can remain in a coating device, for example; only the component to be coated must be introduced into the coating device and aligned with respect to the screens. Therefore, the number of orifices needed in mass production can be reduced and there is no need to reassemble the panels for each component to be coated.
Das erfindungsgemäße Verfahren kann auch mit Vorteil zum Be- schichten von im wesentlichen zylindrischen Bauteilen verwendet sein, welche gegenüber der mindestens einen Blende um ihre Längsachse gedreht werden. Hierbei kann vorteilhafterweise das im wesentlichen zylindrische Bauteil allseitig unter Verwendung einer Blende beschichtet werden, die im Ver- gleich zur Beschichtung relativ kleine Außenabmessungen aufweist. Ein mehr oder weniger allseitiges Beschichten ist auch dann möglich, wenn die Beschichtungsteilchen sich aus lediglich einer Richtung kommend auf die zu beschichtende Teiloberfläche zubewegen.The method according to the invention can also advantageously be used for coating essentially cylindrical components which are rotated about their longitudinal axis with respect to the at least one diaphragm. In this case, the essentially cylindrical component can advantageously be coated on all sides using an aperture which, compared to the coating, has relatively small external dimensions. A more or less all-round coating is also possible if the coating particles move from only one direction towards the part surface to be coated.
Das Verfahren kann erfindungsgemäß auch derart ausgestaltet sein, dass der Wölbung des zylindrischen Bauteils entsprechend mindestens eine gewölbt geformte Blende verwendet wird. Dadurch kann vorteilhafterweise z. B. an verschiedenen Stelle des Mantels des zylindrischen Bauteils ein annähernd gleich großer Abstand zwischen der Blende und der zu beschichtenden Teil-Oberfläche des zylindrischen Bauteils erreicht werden. Dabei kann es sich z. B. um einen gleichmäßig kleinen Abstand handeln.According to the invention, the method can also be designed in such a way that at least one curved-shaped diaphragm is used in accordance with the curvature of the cylindrical component. This can advantageously z. B. at different points on the jacket of the cylindrical component, an approximately equal distance between the diaphragm and the partial surface of the cylindrical component to be coated can be achieved. It can be z. B. act at a uniformly small distance.
Das erfindungsgemäße Verfahren ist insbesondere mit Vorteil zum Beschichten von zylindrisch geformten Lampen geeignet, auf deren lichtdurchlässigen Lampenkolben die mindestens eine Schicht aufgebracht wird.The method according to the invention is particularly advantageously suitable for coating cylindrically shaped lamps, on the translucent lamp bulb of which at least one layer is applied.
Die Schicht kann erfindungsgemäß aus einem reinen Metall bestehen. Als Metall kann insbesondere Eisen, Kupfer oder Zirkonium verwendet werden. Weiterhin kann beim erfindungsgemä- ßen Verfahren als Schicht mindestens eine oxidische oder nitridische Metallverbindung aufgebracht werden. Eine solche Metallverbindung kann insbesondere Eisen, Kupfer oder Zirkonium enthalten. Durch die Verwendung von reinen Metallen wie beispielsweise Eisen, Kupfer oder Zirkonium oder oxidischen oder nitridischen Metallverbindungen, wie beispielsweise oxidische oder nitridische Verbindungen der oben genannten Metalle, können auf Teil-Oberflächen von Bauteilen festhaftende dünne und abriebfeste Schichten aufgebracht werden, die ab- hängig von der Schichtdicke z.B. gute lichtabsorbierende Eigenschaften aufweisen.According to the invention, the layer can consist of a pure metal. In particular, iron, copper or zirconium can be used as the metal. Furthermore, in the case of the At least one oxidic or nitridic metal compound can be applied as a layer. Such a metal compound can in particular contain iron, copper or zirconium. Through the use of pure metals such as iron, copper or zirconium or oxidic or nitridic metal compounds such as oxidic or nitridic compounds of the above-mentioned metals, thin and abrasion-resistant layers can be applied to part surfaces of components, depending on the layer thickness, for example, have good light-absorbing properties.
Das erfindungsgemäße Verfahren kann auch derart ausgestaltet sein, dass mehrere Schichten übereinander aufgebracht werden. Durch das Aufbringen von mehreren Schichten übereinander lassen sich vorteilhafterweise z. B. die Eigenschaften von Einzelschichten verschiedener Beschichtungsmaterialien kombinieren und neue Eigenschaften erreichen, die nur bei Kombination mehrerer Schichten erreichbar sind.The method according to the invention can also be designed such that a plurality of layers are applied one above the other. By applying several layers on top of each other, z. B. combine the properties of individual layers of different coating materials and achieve new properties that can only be achieved by combining several layers.
Das erfindungsgemäße Verfahren kann ebenfalls derart ausgestaltet sein, dass der Abstand der mindestens einen Blende zur Teil-Oberfläche des Bauteils und der bei der VakuumbeSchichtung herrschende Druck so gewählt werden, dass die von dem Druck abhängige mittlere freie Weglänge der sich bewegendenThe method according to the invention can also be designed in such a way that the distance of the at least one orifice to the partial surface of the component and the pressure prevailing during vacuum coating are selected such that the mean free path length of the moving, which is dependent on the pressure
Beschichtungsteilchen größer ist als der Abstand der mindestens einen Blende zur Teil-Oberfläche. Durch eine derartige Wahl von Abstand und Druck wird erreicht, dass allenfalls geringe Störungen des Beschichtungsprozesses durch un- gewollte Kollisionen der sich bewegenden Beschichtungsteilchen mit anderen in der Beschichtungseinrichtung vorhandenen Gasteilchen stattfinden. Mit mittlerer freier Weglänge der sich bewegenden Beschichtungsteilchen ist der Weg bezeichnet, den die sich bewegenden Beschichtungsteilchen im Mittel zurücklegen, bevor sie auf ein anderes Fremd-Teilchen stoßen, welches sich in dem Gas sehr niedrigen Drucks (dem Vakuum) der Vakuumbeschichtungsanläge befindet. Zwischen dem bei der VakuumbeSchichtung herrschenden Druck und der mittleren freien Weglänge besteht eine umgekehrte Proportionalität. Bei der oben angegebenen Wahl des Abstands der Blende zur Teil-Oberfläche und des Drucks ist gewährleistet, dass ein Großteil der Beschichtungsteilchen auf die zu beschichtende Teil-Oberfläche des Bauteils auftrifft, anstatt mit Fremdteilchen zusammenzustoßen.Coating particles is larger than the distance of the at least one aperture to the part surface. With such a choice of distance and pressure it is achieved that there are at most minor disturbances in the coating process due to undesired collisions of the moving coating particles with other gas particles present in the coating device. The mean free path of the moving coating particles denotes the path which the moving coating particles travel on average before encountering another foreign particle which is in the very low pressure (vacuum) gas of the vacuum coating system. There is an inverse proportionality between the pressure prevailing in vacuum coating and the mean free path. The above-mentioned choice of the distance from the screen to the part surface and the pressure ensures that a large part of the coating particles impinges on the part surface of the component to be coated, instead of colliding with foreign particles.
Der Erfindung liegt die weitere Aufgabe zugrunde, ein Bauteil anzugeben, welches eine Beschichtung aufweist, welche auf einfache Art und Weise aufgebracht ist auch bei kompliziert gestalteten Teil-Oberflächen des Bauteils.The invention is based on the further object of specifying a component which has a coating which is applied in a simple manner, even in the case of complicatedly designed partial surfaces of the component.
Diese weitere Aufgabe wird gelöst durch ein Bauteil, das nach dem erfindungsgemäßen Verfahren beschichtet ist und das auf einer Teil-Oberfläche mindestens eine Schicht aufweist, die mittels Vakuumbeschichtens unter Verwendung mindestens einer Blende mit mindestens einer im Vergleich zur Fläche der aufzubringenden Schicht kleinen Blendenöffnung aufgebracht ist. Eine derartiges Bauteil kann auch auf kompliziert geformten Teil-Oberflächen exakte Beschichtungen aufweisen.This further object is achieved by a component which is coated by the method according to the invention and which has at least one layer on a partial surface which is applied by means of vacuum coating using at least one screen with at least one screen opening which is small compared to the area of the layer to be applied , Such a component can also have exact coatings on complicatedly shaped partial surfaces.
Bei dem Bauteil kann es sich um eine Lampe handeln.The component can be a lamp.
Die Lampe kann erfindungsgemäß derart gestaltet sein, dass die Beschichtung die Lichtaussendung der Lampe in mindestens einem vorgegebenen Raumwinkel mindestens verringert. Hierbei ist insbesondere erreichbar, dass je nach Gestaltung der be- schichteten Teil-Oberfläche bestimmte Raumwinkel außerhalb der Lampe weniger stark ausgeleuchtet werden als andere.According to the invention, the lamp can be designed such that the coating at least reduces the light emission of the lamp in at least one predetermined solid angle. It can be achieved in particular that, depending on the design of the layered partial surface certain solid angles outside the lamp are less illuminated than others.
Die erfindungsgemäße Lampe kann vorteilhaft verwendet werden in Kraftfahrzeugen, wobei die Beschichtung die Blendwirkung reduziert. Damit beispielsweise der Gegenverkehr nicht geblendet wird, kann hierbei die Beschichtung derart auf die Lampe aufgebracht werden, dass bei Einbau der Lampe in einen Scheinwerfer eines Kraftfahrzeuges zwar bezüglich der Fahrt- richtung eine Lichtabstrahlung nach vorne und rechts vorne auftritt, nicht jedoch nach links vorne, da durch eine Licht- abstrahlung in Richtung links vorne Fahrer auf dieser Seite entgegenkommender Fahrzeuge geblendet werden könnten. Für diesen Zweck benötigt man exakt aufgebrachte Schichten, damit die Lampe den Vorschriften zur Blendungsvermeidung genügt.The lamp according to the invention can advantageously be used in motor vehicles, the coating reducing the glare. So that, for example, oncoming traffic is not dazzled, the coating can be applied to the lamp in such a way that when the lamp is installed in a headlight of a motor vehicle, light radiation to the front and to the right occurs in relation to the direction of travel, but not to the left at the front, because a beam of light in the direction of the left front could blind drivers of oncoming vehicles on this side. For this purpose you need precisely applied layers so that the lamp meets the regulations for avoiding glare.
Zur weiteren Erläuterung der Erfindung sind inTo further explain the invention are in
Figur 1 eine schematische Darstellung eines Ausführungsbei- spiels des Verfahrens zum Aufbringen mindestens einer Schicht auf eine Teil-Oberfläche einer Lampe, in denFIG. 1 shows a schematic illustration of an exemplary embodiment of the method for applying at least one layer on a partial surface of a lamp, in the
Figuren 2, 3 und 4 verschiedene Ausführungsbeispiele von Blenden, inFigures 2, 3 and 4 different embodiments of panels, in
Figur 5 ein Ausführungsbeispiel eines aus mehreren Blenden bestehenden Blendenmagazins, in Figur 6 ein Ausführungsbeispiel einer Beschichtungseinrich- tung mit einer Blende und einer Hilfsblende und in Figur 7 eine schematische Darstellung eines Ausführungsbei- spiels eines Ablaufs eines Beschichtungsverfahrens mit zwei Blenden dargestellt.5 shows an embodiment of an aperture magazine consisting of several apertures, FIG. 6 shows an embodiment of a coating device with an aperture and an auxiliary aperture, and FIG. 7 shows a schematic illustration of an embodiment of a sequence of a coating method with two apertures.
Zur Erläuerung des erfindungsgemäßen Verfahrens zum Beschichten einer Teil-Oberfläche eines Bauteils wird auf Fig. 1 verwiesen. Als zu beschichtendes Bauteil wird in diesem Beispiel eine Lampe 1 verwendet, die eine im wesentlichen zylinderför- mige Gestalt aufweist und in der Figur 1 in einer Ansicht von oben dargestellt ist. Teile der Mantelflächen des Zylinders bilden die zu beschichtende Teil-Oberfläche 2 des Bauteils. Weiterhin ist in Figur 1 ein Vorrat an Beschichtungsmaterial 3 dargestellt, dieser Vorrat an Beschichtungsmaterial 3 wird bei Vakuumbeschichtungsverfahren auch als Target bezeichnet. Zwischen der Lampe 1 und dem Vorrat an Beschichtungsmaterial 3 befindet sich eine Blende 4, welche ebenfalls in einer An- sieht von oben dargestellt ist. Die Blende 4 enthält eine (in dieser Ansicht mit gestrichelten Linien angedeutete) Blendenöffnung 5, die einen Teil der zu beschichtenden Teil-Oberfläche 2 der Lampe 1 für die Beschichtung freigibt .For an explanation of the method according to the invention for coating a partial surface of a component, reference is made to FIG. 1. In this example, the component to be coated is uses a lamp 1 which has an essentially cylindrical shape and is shown in a view from above in FIG. 1. Parts of the lateral surfaces of the cylinder form the part surface 2 of the component to be coated. Furthermore, a supply of coating material 3 is shown in FIG. 1, this supply of coating material 3 is also referred to as a target in vacuum coating processes. Between the lamp 1 and the supply of coating material 3 there is an aperture 4, which is also shown in a view from above. The diaphragm 4 contains a diaphragm opening 5 (indicated by dashed lines in this view) which releases part of the partial surface 2 of the lamp 1 to be coated for the coating.
Verfahren zum Vakuumbeschichten gehören zu den sog. PVD-Ver- fahren (PVD = physical vapor deposition) . Bei solchen PVD- Verfahren wird mittels physikalischer Prozesse (Verdampfen, Beschuss mit hochenergetischen Teilchen usw. ) ein Target genanntes Vorratsteil, welches aus Beschichtungsmaterial be- steht, im Vakuum abgetragen. Das Beschichtungsmaterial scheidet sich danach auf der zu beschichtenden Teil-Oberfläche des Bauteils ab. Zu den PVD-Verfahren gehören die sog. Sputter- Verfahren .Vacuum coating processes belong to the so-called PVD processes (PVD = physical vapor deposition). In such PVD processes, a storage part called a target, which consists of coating material, is removed in vacuo by means of physical processes (evaporation, bombardment with high-energy particles, etc.). The coating material then deposits on the part surface of the component to be coated. The PVD process includes the so-called sputtering process.
Bei dem Ausführungsbeispiel der Figur 1 soll die Beschichtung durch einen Sputter-Prozess erfolgen. Aus dem Vorrat an Beschichtungsmaterial 3 (Target) werden durch Beschuss mit nicht dargestellten hochenergetischen Teilchen Beschichtungs- materialteilchen herausgeschlagen; diese Beschichtungsmate- rialteilchen bewegen sich in einer annähernd parallelen Bewegung auf die Lampe zu. Die annähernd parallele Bewegung der Beschichtungsmaterialteilchen ist durch parallele Pfeile 6 symbolisiert. Die Teilchen des Beschichtungs aterials gelan- gen zur Blende 4. An den Stellen, an denen die Blende die Blendenöffnung 5 aufweist, können die Teilchen die Blende 4 passieren und gelangen zur Teil-Oberfläche 2 der Lampe 1. Dort schlagen sie sich nieder und bilden eine Schicht, deren Abmessungen von den Abmessung der Blendenöffnung 5 sowie von der geometrischen Anordnung der Teil-Oberfläche 2 der Lampe 1 in Bezug auf die Blende 4 abhängt. An den Stellen, an denen die Blende 4 keine Blendenöffnung aufweist, schlagen sich die Beschichtungsteilchen auf der Blende 4 nieder und gelangen nicht bis zur Lampe 1.In the exemplary embodiment in FIG. 1, the coating is to be carried out by a sputtering process. Coating material particles are knocked out of the supply of coating material 3 (target) by bombardment with high-energy particles (not shown); these coating material particles move towards the lamp in an approximately parallel movement. The approximately parallel movement of the coating material particles is symbolized by parallel arrows 6. The particles of the coating material to the aperture 4. At the points where the aperture has the aperture 5, the particles can pass through the aperture 4 and reach the partial surface 2 of the lamp 1. There they deposit and form a layer, the dimensions of which Dimension of the aperture 5 and depends on the geometric arrangement of the partial surface 2 of the lamp 1 with respect to the aperture 4. At the points where the diaphragm 4 has no diaphragm opening, the coating particles are deposited on the diaphragm 4 and do not reach the lamp 1.
Zwischen der Blende 4 und der Teil-Oberfläche 2 der Lampe 1 besteht in Beschichtungsrichtung 6 ein Abstand; ein solcher Abstand in der Mitte der Blende ist beispielhaft mit „d" ge- kennzeichnet. Durch das Zusammenwirken der in der Blende 4 vorhandenen mindestens einen Blendenöffnung 5 und dem Abstand „d" zwischen Blende 4 und Lampe 1 und den sich nahezu parallel bewegenden Beschichtungsteilchen findet eine Projektion der Blendenöffnung 5 auf die Teil-Oberfläche 2 der Lampe 1 statt.There is a distance in the coating direction 6 between the diaphragm 4 and the partial surface 2 of the lamp 1; such a distance in the middle of the diaphragm is identified by way of example with “d”. The interaction of the at least one diaphragm opening 5 present in the diaphragm 4 and the distance “d” between the diaphragm 4 and the lamp 1 and the coating particles moving almost parallel the aperture 5 is projected onto the partial surface 2 of the lamp 1.
Dies hat zur Folge, dass die Projektionsfläche der Blendenöffnung 5 auf die Teil-Oberfläche 2 der Lampe mit dem Material des Targets 3 beschichtet wird. Die Projektionsfläche (die projizierte Fläche) stellt die Teil-Oberfläche 2 derThe result of this is that the projection surface of the diaphragm opening 5 onto the partial surface 2 of the lamp is coated with the material of the target 3. The projection surface (the projected surface) represents the partial surface 2 of the
Lampe dar, welche beschichtet wird. Dies erfolgt unabhängig davon, wie die Oberfläche der Lampe hinter der Öffnung 5 gestaltet ist. Beispielsweise kann die Oberfläche herstellungs- bedingte Unregelmäßigkeiten oder Defekte aufweisen, sie kann also von der idealen zylindrischen Gestalt abweichen. Vakuumbeschichtungsverfahren und insbesondere auch Sputter- verfahren können bei verschieden Drücken ausgeführt werden (d. h. bei unterschiedlichen Vakuumdrücken) . Je kleiner der Druck in der Vakuumbeschichtungsanlage ist, desto weniger störende Fremd-Teilchen pro Volumeneinheit sind vorhanden. Dementsprechend können die beschleunigten Beschichtungsteilchen einen längeren Weg zurücklegen, bis sie mit diesen in Gasen niedrigen Drucks noch vorhandenen Fremd-Teilchen zusammenstoßen. Je geringer der Druck in der Vakuumbedampfungsan- läge ist, desto größer wird also die mittlere freie Weglänge der beschleunigten Beschichtungsteilchen. Wird der Abstand „d" zwischen der Blende 4 und der Teil-Oberfläche 2 der Lampe so gestaltet, dass dieser Abstand kleiner ist als die mittlere freie Weglänge der Teilchen, so erreichen die meisten Teilchen die Teil-Oberfläche der Lampe und können sich auf dieser abscheiden, bevor sie mit den Fremd-Teilchen zusammenstoßen. Dadurch ist eine effektive Beschichtung der Lampenoberfläche möglich, z.B. kann eine kurze Beschichtungszeit erreicht werden.Lamp which is coated. This takes place regardless of how the surface of the lamp is designed behind the opening 5. For example, the surface can have manufacturing-related irregularities or defects, so it can deviate from the ideal cylindrical shape. Vacuum coating processes and in particular sputtering processes can be carried out at different pressures (ie at different vacuum pressures). The lower the pressure in the vacuum coating system, the fewer foreign particles per unit volume. Accordingly, the accelerated coating particles can travel a long way until they collide with these foreign particles still present in low pressure gases. The lower the pressure in the vacuum vapor deposition system, the greater the mean free path of the accelerated coating particles. If the distance "d" between the diaphragm 4 and the partial surface 2 of the lamp is designed such that this distance is smaller than the mean free path length of the particles, most of the particles reach the partial surface of the lamp and can rest on it separate before they collide with the foreign particles, which enables an effective coating of the lamp surface, for example, a short coating time can be achieved.
Das Beschichtungsverfahren kann auch so gestaltet sein, dass der Abstand zwischen der Blende 4 und der Teil-Oberfläche 2 der Lampe größer ist als die mittlere freie Weglänge der Teilchen. Dadurch kommt es bei einigen Beschichtungsteilchen zu Zusammenstößen mit Fremdteilchen und diese Beschichtungsteilchen werden aus ihrer (zu der Bahn der anderen Beschichtungsteilchen parallelen) Bahn abgelenkt und können Bereiche der Oberfläche der Lampe treffen, welche von Beschichtungsteilchen, die nicht mit Fremdteilchen zusammenstoßen, nicht getroffen werden. Dadurch können Kantenunschärfen der Begrenzung der Beschichtung entstehen. Durch Vakuumbeschichtungsverfahren und insbesondere durch Sputterverfahren können lichtdichte, haft- und kratzfeste, temperaturbeständige sowie reflexionsarme Beschichtungen aufgebracht werden. Als zu beschichtende Materialien können bei- spielsweise Keramik, Glas, Quarz, durchsichtige Kunststoffe wie z. B. Plexiglas, Glaskeramik, Saphir oder Polymere verwendet werden. Folgende Beschichtungsmaterialien bzw. Materialkombinationen sind beispielsweise besonders geignet, um lichtdichte Beschichtungen sowohl für Ultraviolettlicht (UV- Licht) , sichtbares Licht (VIS-Licht) und Infrarotlicht (IR- Licht) zu erzeugen: Fe, FeO, FeO/Fe/FeO, Cu, CuO, CuO/CuN, CuO/Cu/CuO, ZrO, ZrO/ZrN und ZrO/Zr/ZrO.The coating method can also be designed such that the distance between the diaphragm 4 and the partial surface 2 of the lamp is greater than the mean free path of the particles. This causes some coating particles to collide with foreign particles and these coating particles are deflected from their path (parallel to the path of the other coating particles) and can hit areas of the surface of the lamp which are not hit by coating particles which do not collide with foreign particles. This can result in edge blurring of the boundary of the coating. Vacuum coating processes and in particular sputtering processes can be used to apply light-tight, adhesive and scratch-resistant, temperature-resistant and low-reflection coatings. For example, ceramics, glass, quartz, transparent plastics such as plastic can be used as materials to be coated. As plexiglass, glass ceramic, sapphire or polymers can be used. The following coating materials or material combinations are particularly suitable, for example, for producing light-tight coatings for both ultraviolet light (UV light), visible light (VIS light) and infrared light (IR light): Fe, FeO, FeO / Fe / FeO, Cu , CuO, CuO / CuN, CuO / Cu / CuO, ZrO, ZrO / ZrN and ZrO / Zr / ZrO.
Es ist für die Erfindung wesentlich, dass die Blende 4 bezüglich eines Leuchtmittels 8 der Lampe ausgerichtet ist und nicht bezüglich der Teil-Oberfläche 2 der Lampe. Das Leuchtmittel 8 ist in der Figur 1 schematisch als Kreis dargestellt. Bei diesem Leuchtmittel kann es sich beispielsweise um einen Lampenbrenner, um eine Glühwendel, eine Gasentladungsstrecke oder um die Gasfüllung einer Leuchtstoffröhre handeln. Das Leuchtmittel 8 ist umgeben von einem zylinder- för igen Lampenkolben; Teile der Mantelfläche dieses Lampen- kolbens bilden die zu beschichtende Teil-Oberfläche 2 der Lampe 1.It is essential for the invention that the diaphragm 4 is aligned with a lamp 8 of the lamp and not with respect to the partial surface 2 of the lamp. The illuminant 8 is shown schematically as a circle in FIG. This illuminant can be, for example, a lamp burner, an incandescent filament, a gas discharge path or the gas filling of a fluorescent tube. The illuminant 8 is surrounded by a cylinder-shaped lamp bulb; Parts of the outer surface of this lamp bulb form the part surface 2 of the lamp 1 to be coated.
In der Praxis ist häufig der Fall anzutreffen, dass das Leuchtmittel 8, welches sich in einer genau definierten Position befinden uss, exakt zu einem in der Figur nicht darge- stellten Lampensockel der Lampe 1 ausgerichtet ist. Auf diesen Lampensockel wird der Lampenkolben montiert, der die Teil-Oberfläche 2 der Lampe bildet. Jedoch ist es oftmals nicht möglich, auch den Lampenkolben exakt ausgerichtet zum Sockel zu positionieren, vielmehr wird dieser Lampenkolben gelegentlich schief auf dem Lampensockel montiert, so dass sich der Lampenkolben nicht in der ursprünglich geplanten Lage bezüglich des Leuchtmittels befindet. Würde man zur Festlegung der Lage der aufzubringenden Beschichtungen nun den Lampenkolben verwenden (also die Blende 4 an der Teil- Oberfläche 2 des Lampenkolbens ausrichten) , so entstünde eine Beschichtung, die zwar bezüglich des Lampenkolbens an der vorgesehenen Stelle angeordnet wäre, die jedoch nicht bezüg- lieh des Leuchtmittels an der vorgesehenen Stelle angeordnet wäre. In der Regel muss jedoch eine definierte Zuordnung der Beschichtung zum Leuchtmittel erreicht werden.In practice, it is often the case that the illuminant 8, which is located in a precisely defined position, is exactly aligned with a lamp base of the lamp 1, which is not shown in the figure. The lamp bulb, which forms the partial surface 2 of the lamp, is mounted on this lamp base. However, it is often not possible to align the lamp bulb precisely Positioning the base, rather this lamp bulb is sometimes mounted crookedly on the lamp base, so that the lamp bulb is not in the originally planned position with respect to the lamp. If one were to use the lamp bulb to determine the position of the coatings to be applied (i.e. align the diaphragm 4 on the partial surface 2 of the lamp bulb), a coating would result which would be arranged at the intended location with respect to the lamp bulb, but which was not related - Lent the lamp would be arranged at the intended location. As a rule, however, a defined assignment of the coating to the illuminant must be achieved.
Richtet man die Lage der Schicht direkt am Leuchtmittel bzw. am Lampensockel aus, so wird auch bei einem gegebenenfalls nicht exakt justierten Lampenkolben eine exakte Lage der Beschichtung zum lichtaussendenden Leuchtmittel gewährleistet. Genau dies geschieht durch die Blende 4, welche bezüglich des Leuchtmittels 8 ausgerichtet wird. Im Einzelnen erfolgt dies dadurch, dass die Blende 4 bezüglich des Lampensockels ausgerichtet wird; dieser Lampensockel ist - wie oben beschrieben - exakt zum Leuchtmittel 8 bei der Montage ausgerichtet worden.If the position of the layer is aligned directly with the illuminant or with the lamp base, an exact position of the coating with respect to the light-emitting illuminant is ensured even if the lamp bulb is not precisely adjusted. This is exactly what happens through the aperture 4, which is aligned with respect to the illuminant 8. This is done in detail by aligning the diaphragm 4 with respect to the lamp base; As described above, this lamp base has been aligned exactly with the illuminant 8 during assembly.
Die Verwendung der Blende 4, welche in BeschichtungsrichtungThe use of the aperture 4, which is in the coating direction
6 einen Abstand „d" zur Teil-Oberfläche 2 der Lampe aufweist und die Ausrichtung der Blende 4 bezüglich des Leuchtmittels 8 bzw. des Lampensockels der Lampe 1 ermöglichen also eine Beschichtung der Teil-Oberfläche 2 der Lampe unter Ausnutzung der Projektion der Blendenöffnung 5 der Blende 4 auf die6 is at a distance “d” from the partial surface 2 of the lamp and the alignment of the diaphragm 4 with respect to the illuminant 8 or the lamp base of the lamp 1 thus enables the partial surface 2 of the lamp to be coated using the projection of the diaphragm opening 5 in FIG Aperture 4 on the
Teil-Oberfläche 2 der Lampe. Dadurch werden störende Einflüsse eines z. B. nicht exakt justierten Lampenkolbens vermieden. In Figur 2 sind zwei Ausführungsbeispiele von Blenden in einer Ansicht von schräg oben dargestellt. Hierbei kann es sich um solche Blenden handeln, wie eine in Figur 1 als Blende 4 in der Ansicht von oben dargestellt ist. In Figur 2 weist die linke Blende 20 eine Blendenöffnung 21 auf, die die Form eines großen Buchstabens „L" besitzt. Die rechts in der Figur 2 dargestellte Blende 22 dagegen weist eine Blendenöffnung 23 auf, welche die Form eines an einer senkrechten Spie- gelachse gespiegelten großen Buchstabens „L" besitzt. In diesem Beispiel soll angenommen werden, dass die zu beschichtende Teiloberfläche des Bauteils (in diesem Fall der Lampe) die Form eines großen Buchstabens „U" besitzt. Diese Teil- Oberfläche in der Form eines großen „U" lässt sich beschich- ten durch einen ersten Beschichtungsschritt z.B. mit der linksseitig in Figur 2 dargestellten Blende 20 und einen anschließenden zweiten Beschichtungsschritt mit der in Figur 2 rechtsseitig dargestellten Blende 22. Zwischen den beiden Be- schichtungsschritten kann die zylinderförmige Lampe um ihre Längsachse gedreht werden, so dass die beiden Schichten, die durch die linksseitige Blendenöffnung 21 bzw. die rechtsseitige Blendenöffnung 23 hindurch aufgebracht wurden, an ihren beiden kürzeren waagerechten Schenkeln zusammenstoßen oder sich dort überlappen.Part surface 2 of the lamp. Disturbing influences of a z. B. not exactly adjusted lamp bulb avoided. In Figure 2, two embodiments of diaphragms are shown in an oblique view from above. These can be such diaphragms, as is shown in FIG. 1 as diaphragm 4 in the view from above. In FIG. 2, the left diaphragm 20 has a diaphragm opening 21 which has the shape of a capital letter “L”. The diaphragm 22 shown on the right in FIG. 2, on the other hand, has a diaphragm opening 23 which is in the form of a vertical mirror axis has the mirrored capital letter "L". In this example it should be assumed that the partial surface of the component to be coated (in this case the lamp) has the shape of a large letter "U". This partial surface in the shape of a large "U" can be coated by a A first coating step, for example with the aperture 20 shown on the left in FIG. 2, and a subsequent second coating step with the aperture 22 shown on the right in FIG. 2. Between the two coating steps, the cylindrical lamp can be rotated about its longitudinal axis so that the two layers, the through the left-hand diaphragm opening 21 or the right-hand diaphragm opening 23, have collided at their two shorter horizontal legs or overlap there.
In Figur 3 ist ein weiteres Ausführungsbeispiel von zwei Blenden gezeigt, mit welchen sich ebenfalls eine U-förmige Beschichtung auf der Lampe realisieren läßt. Die linksseitige Blende 25 weist eine Blendenöffnung 26 auf, welche die Form eines senkrecht angeordneten Rechteckes besitzt. In der im rechten Teil der Figur 3 dargestellten Blende 28 befindet sich eine Blendenöffnung 29, die die Form eines waagerecht angeordneten Rechteckes besitzt. Durch drei nacheinander aus- zuführende Beschichtungsvorgänge lässt sich mittels dieser beiden Blenden 26 und 28 ebenfalls eine U-förmige Beschichtung auf der Oberfläche der Lampe aufbringen. Beispielsweise kann in einem ersten Schritt mit der Blende 26 der linke senkrechte Schenkel eines „U" aufgebracht werden. Danach kann die Lampe um ihre Längsachse gedreht und mit derselben Blende 26 der rechte senkrechte Schenkel des „U" aufgebracht werden. Daraufhin wird mit der Blende 28 der untere waagerechte Schenkel des „Uu, der die beiden senkrechten Schenkel verbin- det, aufgebracht.FIG. 3 shows a further exemplary embodiment of two diaphragms with which a U-shaped coating on the lamp can also be implemented. The left-hand diaphragm 25 has a diaphragm opening 26 which has the shape of a vertically arranged rectangle. In the diaphragm 28 shown in the right part of FIG. 3 there is an diaphragm opening 29 which has the shape of a horizontally arranged rectangle. By three successively Feeding coating processes can also be applied to the surface of the lamp by means of these two screens 26 and 28. For example, in a first step, the left vertical leg of a "U" can be applied with the aperture 26. Then the lamp can be rotated about its longitudinal axis and the right vertical leg of the "U" can be applied with the same aperture 26. The lower horizontal leg of the “U u , which connects the two vertical legs, is then applied with the diaphragm 28.
Figur 4 zeigt in der linken Hälfte eine Blende 40, welche eine relativ großen Blendenöffnung 41 aufweist. Mittels einer Hilfsblende 43, welche die Form eines ebenen Rechteckes auf- weist, kann nun durch Überdecken der Öffnung 41 mit der Hilfsblende 43 die effektiv wirksame Blendenöffnung der Blende 40 verringert werden. Bei der durch einen Doppelpfeil dargestellten Bewegung der Hilfsblende 43 entsteht bei Bewegung der Hilfsblende nach rechts ein schmales Rechteck als effektive Blendenöffnung der Blende 40; bei Bewegung derFIG. 4 shows an aperture 40 in the left half, which has a relatively large aperture 41. By means of an auxiliary diaphragm 43, which has the shape of a flat rectangle, the effectively effective diaphragm opening of the diaphragm 40 can now be reduced by covering the opening 41 with the auxiliary diaphragm 43. During the movement of the auxiliary diaphragm 43 represented by a double arrow, when the auxiliary diaphragm moves to the right, a narrow rectangle is created as the effective diaphragm opening of the diaphragm 40; when moving the
Hilfsblende 43 nach links entsteht ein breiteres Rechteck als effektive Blendenöffnung der Blende 40.Auxiliary diaphragm 43 to the left creates a wider rectangle as the effective diaphragm opening of diaphragm 40.
Obwohl in der linken Darstellung in Figur 4 nicht darge- stellt, ist es ebenso möglich, mehr als eine Hilfsblende für eine Blende zu benutzen. Beispielsweise könnte eine baugleich zur Hilfsblende 43 aufgebaute weitere Hilfsblende zur rechtsseitigen Überdeckung der Blendenöffnung 41 eingesetzt werden. Stellt man sich für diese weitere Hilfsblende eine Lage vor, wie sie durch Spiegelung der Hilfsblende 43 an einer senkrechten Symmetrieachse 45 entstehen würde, so erhält man als effektive Blendenöffnung eine Blendenöffnung ähnlich der in Figur 3 linke Abbildung dargestellten Blendenöffnung 26. Analog zu dem vorstehend erläuterten Ausführungsbeispiel mit der Blende 40 und der Hilfsblende 43 ist in der rechtsseitigen Abbildung der Figur 4 dargestellt, wie sich mittels einer vertikal bewegbaren Hilfsblende 48, ausgehend von der ÖffnungAlthough not shown in the left representation in FIG. 4, it is also possible to use more than one auxiliary diaphragm for one diaphragm. For example, a further auxiliary diaphragm constructed identically to the auxiliary diaphragm 43 could be used to cover the diaphragm opening 41 on the right-hand side. If one imagines a position for this additional auxiliary diaphragm, such as would be created by mirroring the auxiliary diaphragm 43 on a vertical axis of symmetry 45, the diaphragm opening obtained as the effective diaphragm opening is similar to the diaphragm opening 26 shown on the left in FIG. 3. Analogous to the exemplary embodiment explained above with the aperture 40 and the auxiliary aperture 43, the right-hand illustration of FIG. 4 shows how a vertically movable auxiliary aperture 48 starts from the opening
50 einer Blende 52, eine effektiv wirksame Blendenöffnung verändern lässt.50 of an aperture 52, an effective aperture can be changed.
Die effektiv wirksame Blendenöffnung kann zwischen den ein- zelnen Beschichtungsschritten in Abhängigkeit von der Lage der zu beschichtenden Lampe durch Verschieben der Hilfsblende verändert werden, nachdem z.B die Lage des Lampensockels und/oder die Lage des in dem Lampenkolben sich befindenden Leuchtmittels beispielsweise durch Lagesensoren (z.B. durch eine Kamera) ermittelt wurde. Dadurch kann auch dann eine bezüglich des Leuchtmittels exakt angeordnete Beschichtung aufgebracht werden, wenn sich z.B. das Leuchtmittel nicht genau in seiner vorgesehenen Position befindet.The effective aperture can be changed between the individual coating steps depending on the position of the lamp to be coated by moving the auxiliary cover after, for example, the position of the lamp base and / or the position of the illuminant in the lamp bulb, for example by position sensors (e.g. by a camera). As a result, a coating that is exactly arranged with respect to the illuminant can also be applied if e.g. the lamp is not exactly in its intended position.
Die beiden in Figur 4 dargestellten Blenden haben insbesondere den Vorteil, dass sich durch eine verschieden weite Überlappung der Blendenöffnung mit Hilfsblenden verschieden große effektive Blendenöffnungen vorgeben lassen. Die Form dieser Blendenöffnung ist sowohl von der Form der Blende als auch von der Form der Hilfsblende abhängig. Somit kann mit einer relativ geringen Anzahl von Blenden und Hilfsblenden eine große Anzahl von effektiv wirksamen Blendenöffnungen realisiert werden, was einen kostengünstigen und leicht an sich verändernde Formen von zu beschichtenden Teiloberflächen an- paßbaren Beschichtungsprozess ermöglicht.The two diaphragms shown in FIG. 4 have the particular advantage that by differently overlapping the diaphragm opening with auxiliary diaphragms, differently sized effective diaphragm openings can be specified. The shape of this aperture opening depends both on the shape of the aperture and on the shape of the auxiliary aperture. Thus, with a relatively small number of diaphragms and auxiliary diaphragms, a large number of effectively effective diaphragm openings can be realized, which enables a cost-effective coating process that can be easily adapted to changing shapes of partial surfaces to be coated.
In Figur 5 ist in einer Ansicht von oben ein BlendenmagazinIn Figure 5 is a diaphragm magazine in a view from above
51 dargestellt, welches mehrere hintereinander angeordnete Blenden 53 enthält. Diese Blenden 53 können verschiedene Größen und Formen und verschiedene Blendenöffnungen aufweisen. Im hier dargestellten Ausführungsbeispiel können sich die Blenden z.B. unterscheiden hinsichtlich ihrer Blendenöff- nungen (in der Ansicht von oben nicht sichtbar) sowie in der Länge der Blenden (in der Ansicht von oben ebenfalls nicht sichtbar) . Aus einem derartigen Blendenmagazin 51 kann die für den jeweiligen Beschichtungsvorgang benötigte Blende 53 z.B. durch Herausschieben ausgewählt werden und in die zum Beschichtungsvorgang notwendige Lage zwischen dem Target und dem zu beschichtenden Bauteil gebracht werden.51, which shows a plurality of one behind the other Apertures 53 contains. These diaphragms 53 can have different sizes and shapes and different diaphragm openings. In the exemplary embodiment shown here, the screens can differ, for example, with regard to their screen openings (not visible in the view from above) and in the length of the screens (also not visible in the view from above). From such an aperture magazine 51, the aperture 53 required for the respective coating process can be selected, for example, by sliding it out and brought into the position required for the coating process between the target and the component to be coated.
Ein solches Blendenmagazin 51 kann auch mehrere Blenden mit gleichen Blendenöffnungen enthalten. Wenn eine Blende durch Beschichtungsteilchen verschmutzt ist, kann diese verschmutzte Blende in das Blendenmagazin zurückgezogen werden und eine saubere Blende aus dem Blendenmagazin herausgeschoben werden. Dies ist ohne ein Öffnen oder einen aufwendigen Umbau der Beschichtungsanlage möglich, so dass die verschmut- zungsbedingten Stillstandszeiten der Beschichtungsanlage gering gehalten werden können.Such an aperture magazine 51 can also contain several apertures with the same aperture openings. If a screen is contaminated by coating particles, this soiled screen can be pulled back into the screen magazine and a clean screen can be pushed out of the screen magazine. This is possible without opening or expensive conversion of the coating system, so that the downtime of the coating system due to pollution can be kept to a minimum.
Figur 6 zeigt in ihrem rechten Teil die Beschichtung einer zylindrischen Lampe 1. Zwischen der zu beschichtenden Lampe 1 (bestehend aus einem Lampenkolben 62 und einem LampensockelFIG. 6 shows in its right part the coating of a cylindrical lamp 1. Between the lamp 1 to be coated (consisting of a lamp bulb 62 and a lamp base
63) und dem aus Beschichtungsmaterial bestehenden Target 65 befindet sich eine Hilfsblende 67. Oberhalb des Raumes zwischen Hilfsblende 67 und Lampenkolben 62 ist das Blendenmagazin 51 in einer Seitenansicht dargestellt; aus dem Blendenma- gazin 51 wird eine ausgewählte Blende 72 in den Raum zwischen63) and the target 65 made of coating material there is an auxiliary diaphragm 67. Above the space between auxiliary diaphragm 67 and lamp bulb 62, the diaphragm magazine 51 is shown in a side view; the aperture magazine 51 becomes a selected aperture 72 in the space between
Hilfsblende 67 und Lampenkolben 62 abgesenkt. Die Hilfsblende 67 dient dazu, die Teile der Lampe 1, die von der Blende 72 nicht abgedeckt werden und die nicht zu beschichten sind, ab- zudecken (indem z.B. die Hilfsblende 67 ähnlich eines Bilderrahmens vor der Blende 72 angeordnet wird und so Bereiche außerhalb der Außenabmessungen der Blende 72 abdeckt) und vor einer unerwünschten Beschichtung zu schützen. Durch gemein- same Verwendung der Hilfsblende 67 und der Blende 72 kann diese Blende 72 geringe Außenabmessungen aufweisen, so dass sie sich nah an der zu beschichtende Teiloberfläche (in diesem Fall die Oberfläche des Lampenkolbens 62) positionieren lässt. Dadurch kann der Abstand zwischen der Blende 72 und der Teil-Oberfläche des Lampenkolbens 62 gering gehalten werden, was insbesondere eine verbesserte Qualität der Beschichtung in Bezug auf die Genauigkeit ihrer Struktur und eine gute Kantenschärfe ihrer Begrenzungslinien ermöglicht.Auxiliary cover 67 and lamp bulb 62 lowered. The auxiliary diaphragm 67 serves to remove the parts of the lamp 1 which are not covered by the diaphragm 72 and which cannot be coated. cover (by, for example, arranging the auxiliary screen 67 in front of the screen 72 in a manner similar to a picture frame and thus covering areas outside the external dimensions of the screen 72) and to protect it from an undesired coating. By using the auxiliary diaphragm 67 and the diaphragm 72 together, this diaphragm 72 can have small external dimensions, so that it can be positioned close to the partial surface to be coated (in this case the surface of the lamp bulb 62). As a result, the distance between the diaphragm 72 and the partial surface of the lamp bulb 62 can be kept small, which in particular enables an improved quality of the coating with regard to the accuracy of its structure and a good edge definition of its boundary lines.
Es ist hierbei auch möglich, die Hilfsblende 67 nach unten hin länger als in Figur 6 dargestellt zu gestalten, damit sie auch den Lampensockel 63 von einer unerwünschten Beschichtung schützt .It is also possible to make the auxiliary cover 67 longer at the bottom than shown in FIG. 6, so that it also protects the lamp base 63 from an undesired coating.
In der linken Seite der Figur 6 ist derselbe Sachverhalt in einer Ansicht von vorn dargestellt.The same situation is shown in a view from the front in the left side of FIG.
In Figur 7 ist in einer Abfolge von Einzelfiguren 7A bis 7G dargestellt, wie mit Hilfe der beiden in Figur 2 abgebildeten Blenden 20 und 22 eine U-förmige Beschichtung 82 auf derFIG. 7 shows in a sequence of individual figures 7A to 7G how a U-shaped coating 82 is formed on the surface with the aid of the two screens 20 and 22 shown in FIG
Oberfläche des zylinderförmigen Lampenkolbens 62, der sich auf dem Lampensockel 63 befindet, vorgenommen werden kann. Die aus Lampenkolben 62 und Lampensockel 63 bestehende Lampe 1 ist um ihre Symmetrieachse 80 drehbar gelagert, wie durch zwei runde Pfeile in Figur 7A angedeutet ist. Sie kann beispielsweise durch einen Schrittmotor gedreht werden. Der Lampenkolben 62 wird nun mit der in Figur 7B dargestellten Blende 20 abgedeckt, wobei diese Blende beispielsweise aus einem Blendenmagazin abgesenkt werden kann und in den Zwischenraum zwischen dem Target 2 und der Lampe 1 einge- bracht wird. Nach der Beschichtung des Lampenkolbens wird die Blende 20, wie in Figur 7C durch den senkrecht nach oben weisenden Pfeil symbolisiert, nach oben in das Blendenmagazin zurückgezogen. Danach besitzt die Lampe 1 das in Figur 7D dargestellte Aussehen; auf ihrem Lampenkolben 62 ist eine Be- Schichtung in der Form eines aufrecht stehenden „L" aufgebracht. Danach wird die Lampe um ihre Symmetrieachse gedreht.Surface of the cylindrical lamp bulb 62, which is located on the lamp base 63, can be made. The lamp 1 consisting of lamp bulb 62 and lamp base 63 is rotatably supported about its axis of symmetry 80, as indicated by two round arrows in FIG. 7A. For example, it can be rotated by a stepper motor. The lamp bulb 62 is now covered with the diaphragm 20 shown in FIG. 7B, this diaphragm being able to be lowered, for example, from a diaphragm magazine and being introduced into the space between the target 2 and the lamp 1. After the lamp bulb has been coated, the diaphragm 20, as symbolized in FIG. 7C by the arrow pointing vertically upward, is drawn upward into the diaphragm magazine. The lamp 1 then has the appearance shown in FIG. 7D; A coating in the form of an upright “L” is applied to its lamp bulb 62. The lamp is then rotated about its axis of symmetry.
Daraufhin wird, wie in Figur 7E dargestellt, dieselbe Lampe mittels der Blende 22 beschichtet; dazu wird die Blende 22 zuerst aus einem nicht dargestellten Blendenmagazin vor denThen, as shown in FIG. 7E, the same lamp is coated by means of the aperture 22; for this purpose, the aperture 22 is first from an aperture magazine, not shown, in front of the
Lampenkolben 62 abgesenkt und ein Beschichtungsvorgang durchgeführt .Lamp bulb 62 lowered and a coating process carried out.
Nach Ende des Beschichtungsprozesses wird die Blende 22 nach oben zurück ins Blendenmagazin bewegt (durch einen senkrechten nach oben weisenden Pfeil in Figur 7F dargestellt) .After the coating process has ended, the aperture 22 is moved upward back into the aperture magazine (represented by a vertical upward arrow in FIG. 7F).
Die Lampe 1 weist nun die in Figur 7G dargestellte U-förmige Beschichtung mit einer Schicht 82 auf.The lamp 1 now has the U-shaped coating shown in FIG. 7G with a layer 82.
Mit dem beschriebenen Verfahren können Beschichtungen nahezu beliebiger Struktur mit einer hohen Genauigkeit hinsichtlich der Dimension und Kontur der Beschichtungsstruktur u. a. auf gewölbte oder zylindrische Oberflächen aufgebracht werden. Es sind hierbei z. B. lichtdichte (lichtabsorbierende), haft- und kratzfeste, temperaturbeständige und reflexionsarme Beschichtungen auf z. B. Gas-Entladungslampen für Kraftfahrzeuge (z.B. zur Reduzierung der Blendwirkung für Fahrer ent- gegenkommender Kraftfahrzeuge) realisierbar. Das Verfahren beschränkt sich jedoch nicht auf das Beschichten von Lampen, vielmehr können Beschichtungen auf verschiedensten beschichtbaren Körpern aufgebracht werden. Bei den Beschichtungen kann es sich auch um auf einen Lampenkolben aufbringbare Spiegelschichten handeln. Auch die gemeinsame Anwendung von reflektierenden und lichtabsorbierenden Beschichtungen ist möglich. With the described method, coatings of almost any structure can be applied with a high degree of accuracy with regard to the dimension and contour of the coating structure, inter alia, on curved or cylindrical surfaces. There are z. B. light-tight (light-absorbing), adhesive and scratch-resistant, temperature-resistant and low-reflection coatings on z. B. gas discharge lamps for motor vehicles (eg to reduce glare for drivers oncoming motor vehicles) can be realized. However, the method is not limited to the coating of lamps, rather coatings can be applied to a wide variety of coatable bodies. The coatings can also be mirror layers that can be applied to a lamp bulb. The joint use of reflective and light-absorbing coatings is also possible.

Claims

Patentansprüche claims
1. Verfahren zum Aufbringen mindestens einer Schicht (82) auf eine Teil-Oberfläche (2) eines Bauteils (1), d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t , dass die Schicht (82) durch Vakuumbeschichten aufgebracht wird unter Verwendung mindestens einer zum Bauteil (1) beabstandet angeordneten Blende (4) zum Abdecken der nicht zu beschichtenden Oberfläche des Bauteils , wobei die Blende (4) mindestens eine Blendenöffnung (5,20) aufweist, die kleiner ist als die Fläche der aufzubringenden Schicht (82) , die relative Lage des Bauteils (1) zur Blende (4) verändert wird und - die Beschichtung des Bauteils in mehreren aufeinanderfolgenden Schritten jeweils nach der Veränderung der relativen Lage des Bauteils (1) zur Blende (4) vorgenommen wird.1. A method for applying at least one layer (82) to a partial surface (2) of a component (1), characterized in that the layer (82) is applied by vacuum coating using at least one panel (1) spaced apart from the component (1). 4) for covering the surface of the component which is not to be coated, the panel (4) having at least one panel opening (5, 20) which is smaller than the area of the layer (82) to be applied, the relative position of the component (1) Aperture (4) is changed and - the coating of the component is carried out in several successive steps, each time after the change in the relative position of the component (1) to the aperture (4).
2. Verfahren nach Anspruch 1, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t , dass eine Blende (4) verwendet wird, deren mindestens eine Blendenöffnung (20) in ihrer flächigen Ausgestaltung einen Ausschnitt der zu beschichtenden Teil-Oberfläche (2) darstellt. 2. The method according to claim 1, so that a diaphragm (4) is used, the at least one diaphragm opening (20) of which, in its flat configuration, represents a section of the partial surface (2) to be coated.
3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t , dass eine Blende (40) verwendet wird, deren mindestens eine Blendenöffnung (41) in ihrer Kontur veränderbar ist.3. The method according to claim 1 or 2, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t that an aperture (40) is used, the at least one aperture opening (41) is variable in its contour.
4. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t , dass4. The method according to any one of the preceding claims, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t that
- eine Blende (40) verwendet wird, deren mindestens eine- An aperture (40) is used, the at least one
Blendenöffnung (41) in ihrer Kontur veränderbar ist, indem eine Maximalöffnung durch partielles Überdecken mit mindestens einer Hilfsblende (43) verkleinert wird.The shape of the aperture (41) can be changed by a maximum opening is reduced by partially covering it with at least one auxiliary screen (43).
5. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t , dass mehrere Blenden (20,22) verwendet werden, deren Öffnungen in ihrer flächenhaften Gestalt an jeweils einen Teilbereich der Flächengestalt der Schicht angepasst sind.5. The method according to any one of the preceding claims, that a plurality of diaphragms (20, 22) are used, the openings of which are adapted in their areal shape to a partial area of the areal shape of the layer.
6. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t , dass6. The method according to any one of the preceding claims, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t that
- mindestens eine Blende (72) mit einer in mindestens einer Ebene lediglich geringfügig größeren Abmessung als die aufzubringende Schicht (82) verwendet wird und dass min- destens eine Zusatzblende (67) zur ergänzenden Abdeckung der von der Blende nicht abgedeckten, nicht in diesem Verfahrensschritt zu beschichtenden Teile des Bauteils (1) eingesetzt wird, wobei die Blende (72) und die Zusatzblende (67) gemeinsam angewendet werden.- At least one screen (72) with a dimension that is only slightly larger in at least one plane than the layer (82) to be applied and that at least one additional screen (67) is used to additionally cover those not covered by the screen and not in this process step parts of the component (1) to be coated, the screen (72) and the additional screen (67) being used together.
7. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t , dass7. The method according to any one of the preceding claims, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t that
- mindestens eine Blende mit einer in mindestens einer Ebene kleineren Abmessung als die aufzubringende Schicht (82) verwendet wird und dass mindestens eine Zusatzblende (67) zur ergänzenden Abdeckung der von der Blende nicht abgedeckten, nicht in diesem Verfahrensschritt zu beschichtenden Teile des Bauteils eingesetzt wird, wobei die Blende und die Zusatzblende (67) gemeinsam angewendet werden.- At least one screen with a smaller dimension in at least one plane than the layer (82) to be applied is used and that at least one additional screen (67) is used to additionally cover the parts of the component which are not covered by the screen and are not to be coated in this process step , wherein the aperture and the additional aperture (67) are used together.
8. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t , dass die mindestens eine Blende (4) jeweils in eine vorbestimmte Position vor das Bauteil (1) gebracht wird und8. The method according to any one of the preceding claims, characterized in that the at least one screen (4) is brought into a predetermined position in front of the component (1) and
- das Bauteil (1) gegenüber der mindestens einen Blende (4) ausgerichtet wird.- The component (1) is aligned with the at least one aperture (4).
9. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t , dass9. The method according to any one of the preceding claims, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t that
- als Bauteil (1) ein im wesentlichen zylindrisches Bauteil verwendet wird, welches gegenüber der mindestens einen Blende (4) um seine Längsachse gedreht wird.- An essentially cylindrical component is used as the component (1), which is rotated about its longitudinal axis with respect to the at least one diaphragm (4).
10. Verfahren nach Anspruch 9, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t , dass10. The method of claim 9, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t that
- der Wölbung des zylindrischen Bauteils (1) entsprechend mindestens eine gewölbt geformte Blende (4) verwendet wird.- The curvature of the cylindrical component (1) is used in accordance with at least one arched aperture (4).
11. Verfahren nach Anspruch 9 oder 10, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t , dass - als zylindrisches Bauteil eine Lampe (1) verwendet wird, auf deren lichtdurchlässigen Kolben (2) die mindestens eine Schicht (82) aufgebracht wird.11. The method according to claim 9 or 10, so that a lamp (1) is used as the cylindrical component, on the translucent bulb (2) of which at least one layer (82) is applied.
12. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t , dass12. The method according to any one of the preceding claims, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t that
- als Schicht (82) eine Schicht aus einem reinen Metall aufgebracht wird.- A layer of a pure metal is applied as a layer (82).
13. Verfahren nach Anspruch 12 , d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t , dass13. The method of claim 12, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t that
- als Metall Eisen, Kupfer oder Zirkonium verwendet wird. O 02/20869- Iron, copper or zirconium is used as the metal. O 02/20869
2424
14. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t , dass14. The method according to any one of the preceding claims, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t that
- als Schicht (82) eine Schicht aus mindestens einer oxidischen oder nitridischen Metallverbindung aufgebracht wird.- A layer of at least one oxidic or nitridic metal compound is applied as a layer (82).
15. Verfahren nach Anspruch 14, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t , dass15. The method according to claim 14, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t that
- als Bestandteil der Metallverbindung Eisen, Kupfer oder Zirkonium verwendet wird.- Iron, copper or zirconium is used as part of the metal compound.
16. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t , dass16. The method according to any one of the preceding claims, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t that
- mehrere Schichten (82) übereinander aufgebracht werden.- Several layers (82) are applied one above the other.
17. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t , dass - der Abstand der mindestens einen Blende (4) zur Teil-Oberfläche (2) und der bei der Vakuumbeschichtung herrschende Druck so gewählt werden, dass die von dem Druck abhängige mittlere freie Weglänge der sich bewegenden Beschichtungsteilchen größer ist als der Abstand (d) der mindestens einen Blende (4) zur Teil-Oberfläche (2).17. The method according to any one of the preceding claims, characterized in that - the distance of the at least one diaphragm (4) to the partial surface (2) and the pressure prevailing in the vacuum coating are selected such that the mean free path of the pressure-dependent moving coating particles is greater than the distance (d) of the at least one screen (4) to the part surface (2).
18. Bauteil (1), beschichtet nach einem der Ansprüche 1 bis 17, das auf einer Teil-Oberfläche (2) mindestens eine Schicht (82) aufweist, die mittels Vakuumbeschichtens mittels mindestens einer zum Bauteil beabstandet angeordneten Blende (4) mit mindestens einer im Vergleich zur Fläche der aufzubringenden Schicht kleinen Blendenöffnung (21) aufgebracht ist.18. Component (1), coated according to one of claims 1 to 17, which has on a partial surface (2) at least one layer (82), which by means of vacuum coating by means of at least one screen arranged at a distance from the component with at least one compared to the surface of the layer to be applied, a small aperture (21) is applied.
19. Bauteil nach Anspruch 18, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t , dass19. The component of claim 18, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t that
- das Bauteil eine Lampe (1) ist. - The component is a lamp (1).
20. Bauteil nach Anspruch 19, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t , dass - die mindestens eine Schicht (82) die Lichtaussendung der Lampe (1) in mindestens einem vorgegebenen Raumwinkel mindestens verringert .20. Component according to claim 19, so that the at least one layer (82) at least reduces the light emission of the lamp (1) in at least one predetermined solid angle.
21. Lampe nach Anspruch 19 oder 20, g e k e n n z e i c h n e t durch - die Verwendung in Kraftfahrzeugen, wobei die mindestens eine Schicht (82) die Blendwirkung reduziert. 21. The lamp as claimed in claim 19 or 20, which is used in motor vehicles, the at least one layer (82) reducing the glare.
PCT/DE2001/003501 2000-09-07 2001-09-07 Method for coating a component and coated component WO2002020869A2 (en)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE2000145785 DE10045785C2 (en) 2000-09-07 2000-09-07 Process for coating a component
DE10045785.1 2000-09-07

Publications (2)

Publication Number Publication Date
WO2002020869A2 true WO2002020869A2 (en) 2002-03-14
WO2002020869A3 WO2002020869A3 (en) 2002-06-27

Family

ID=7656399

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/DE2001/003501 WO2002020869A2 (en) 2000-09-07 2001-09-07 Method for coating a component and coated component

Country Status (2)

Country Link
DE (1) DE10045785C2 (en)
WO (1) WO2002020869A2 (en)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102021130420A1 (en) 2021-11-22 2023-05-25 HELLA GmbH & Co. KGaA Process and arrangement for the directed vacuum coating of an optical component

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4562093A (en) * 1983-10-29 1985-12-31 Saint-Gobain Vitrage Process for the production of glass panes having a glare protection filter and apparatus for carrying out the process
US4814056A (en) * 1987-06-23 1989-03-21 Vac-Tec Systems, Inc. Apparatus for producing graded-composition coatings
US5403614A (en) * 1992-04-14 1995-04-04 Fuji Electric Co., Ltd. Method for making an electroluminescent element
DE19613745A1 (en) * 1996-04-01 1997-10-02 Gos Ges Zur Foerderung Angewan Production of anamorphic micro optic arrays
WO1998047613A1 (en) * 1997-04-22 1998-10-29 Symyx Technologies Systems and methods for the combinatorial synthesis of novel materials

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3784861A (en) * 1971-02-25 1974-01-08 Philips Corp Lamp with opaque screen
DE3601010A1 (en) * 1986-01-15 1987-07-16 Patent Treuhand Ges Fuer Elektrische Gluehlampen Mbh DEVICE FOR PARTLY COATING THE INTERNAL SURFACE OF LAMP BULBS
DE8601283U1 (en) * 1986-01-20 1986-08-28 Patent-Treuhand-Gesellschaft für elektrische Glühlampen mbH, 8000 München Motor vehicle discharge lamp
DE4131520C1 (en) * 1991-09-21 1992-09-24 Battelle-Institut Ev, 6000 Frankfurt, De Single or multilayer structured coatings core - with mask film passed over cylindrical body

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4562093A (en) * 1983-10-29 1985-12-31 Saint-Gobain Vitrage Process for the production of glass panes having a glare protection filter and apparatus for carrying out the process
US4814056A (en) * 1987-06-23 1989-03-21 Vac-Tec Systems, Inc. Apparatus for producing graded-composition coatings
US5403614A (en) * 1992-04-14 1995-04-04 Fuji Electric Co., Ltd. Method for making an electroluminescent element
US6045671A (en) * 1994-10-18 2000-04-04 Symyx Technologies, Inc. Systems and methods for the combinatorial synthesis of novel materials
DE19613745A1 (en) * 1996-04-01 1997-10-02 Gos Ges Zur Foerderung Angewan Production of anamorphic micro optic arrays
WO1998047613A1 (en) * 1997-04-22 1998-10-29 Symyx Technologies Systems and methods for the combinatorial synthesis of novel materials

Also Published As

Publication number Publication date
DE10045785A1 (en) 2002-04-25
WO2002020869A3 (en) 2002-06-27
DE10045785C2 (en) 2002-10-24

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE3035996C2 (en) Workpiece with a machine-readable code marking and method for producing the code marking
DE102004034417B4 (en) Process for the preparation of a coated substrate with a curved surface
DE102011106097A1 (en) Method and device for machining a workpiece
WO2006000862A1 (en) Coating device for coating a substrate and coating method
DE2339594B2 (en) METHOD OF MANUFACTURING A SCREEN OF A COLOR IMAGE CATHODE BEAM TUBE
DE2440575C3 (en) Exposure device for photographic printing of the screen of a color picture tube
WO2002020869A2 (en) Method for coating a component and coated component
DE102012213095A1 (en) gas separation
WO2004042111A2 (en) Lock arrangement for a substrate coating installation
DE10045544C2 (en) Process for applying a coating to a lamp
EP1013791B1 (en) Plasma spraying installation
DE102004018435A1 (en) Device for coating substrates on both sides with a hydrophobic layer
DE10145050C1 (en) Device for coating substrates having a curved surface contains a pair of rectangular magnetron sources and substrate holders arranged in an evacuated chamber
DE875938C (en) Device for dimming light sources
DE102021130420A1 (en) Process and arrangement for the directed vacuum coating of an optical component
DE10239014B4 (en) Vacuum coating system with two magnetrons
DE19500964A1 (en) Cathode sputtering appts. for coating flat substrates, esp. optical components
EP2041434B1 (en) Getter pump and vacuum coating installation comprising a getter pump
EP0964239A2 (en) Procedure and device for simulating vehicle accidents
DE2032639B2 (en) Process for depositing a thin layer of gold on a carrier by cathodic sputtering
DD265175A1 (en) METHOD AND DEVICE FOR HOMOGENEOUS COATING IN VACUUM PLANTS
DE829433C (en) Headlights for vehicles, in particular motor vehicles
DE202004011153U1 (en) Coating curved substrates, e.g. head lamp surfaces with patterned optical layers, provides coating in one area but not in another, adjacent area
DE102021123027A1 (en) Laser processing device
DE102020126592A1 (en) Motor vehicle lighting device with at least one micro-projection light module and method for its production

Legal Events

Date Code Title Description
AK Designated states

Kind code of ref document: A2

Designated state(s): JP US

AL Designated countries for regional patents

Kind code of ref document: A2

Designated state(s): AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LU MC NL PT SE TR

121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application
DFPE Request for preliminary examination filed prior to expiration of 19th month from priority date (pct application filed before 20040101)
AK Designated states

Kind code of ref document: A3

Designated state(s): JP US

AL Designated countries for regional patents

Kind code of ref document: A3

Designated state(s): AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LU MC NL PT SE TR

122 Ep: pct application non-entry in european phase
NENP Non-entry into the national phase

Ref country code: JP