WO2004031838A1 - Device for reducing the coherence of a beam of light - Google Patents

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WO2004031838A1
WO2004031838A1 PCT/EP2003/010075 EP0310075W WO2004031838A1 WO 2004031838 A1 WO2004031838 A1 WO 2004031838A1 EP 0310075 W EP0310075 W EP 0310075W WO 2004031838 A1 WO2004031838 A1 WO 2004031838A1
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WO
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beam splitter
arrangement according
light beam
incident light
radiation
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Application number
PCT/EP2003/010075
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Inventor
Alexander Menck
Jörg BISCHOFF
Original Assignee
Carl Zeiss Microelectronic Systems Gmbh
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Publication date
Application filed by Carl Zeiss Microelectronic Systems Gmbh filed Critical Carl Zeiss Microelectronic Systems Gmbh
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    • G02B27/00—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
    • G02B27/10—Beam splitting or combining systems
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    • G—PHYSICS
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    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B27/00—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
    • G02B27/10—Beam splitting or combining systems
    • G02B27/14—Beam splitting or combining systems operating by reflection only
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    • G—PHYSICS
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    • G02B27/48—Laser speckle optics

Definitions

  • the invention relates to an arrangement for reducing the coherence of a light beam, in particular a laser light beam for illuminating an image area or a sample.
  • Light bundles are used to illuminate the sample in a microscope or to display light images on picture walls. Due to the relatively high temporal and spatial coherence of the laser light, interferences occur, which the observer perceives as different luminance levels or as annoying glitter. Such lighting structures are often referred to as "speckle".
  • DE 195 01 525 C2 describes a method which is used to reduce the temporal coherence of the laser light. It is provided that the light be passed through an optical plate which has a microstructured, phase-shifting radiation or radiation surface or to direct the light onto a plate, which is provided with such a surface structure and has a reflective effect.
  • the disadvantage here is that, due to the relatively large individual reflectors compared to the wavelength of the light, shadowing occurs, which results in an undesired weakening of the radiation intensity.
  • honeycomb capacitors are used to implement the different optical path lengths, which have differently thick glass paths in the individual honeycombs, or optical prisms, with different glass paths being specified depending on the position of the prism, the success only occurs with radiation sources whose temporal coherence is relatively low , otherwise considerable glass path differences have to be realized and this is not possible with these means.
  • the object of the invention is to find a further possibility for reducing coherence and thus for reducing speckle. the one in which the radiation intensity is weakened as little as possible.
  • such an arrangement for reducing the coherence of a light bundle comprises a beam splitter on which an incident light bundle is split into two orthogonal partial bundles, and two reflecting elements, at least one of which is designed as a reversing prism.
  • a partial bundle is aimed at a reflecting element and is thrown back from there to the beam splitter.
  • the reflecting elements are positioned at different distances from the beam splitter, so that the partial beams pass the beam splitter in the opposite direction again and are combined to form an outgoing light beam.
  • the different distances between the beam splitter and the respective reflecting element ensure different optical path lengths of the sub-beams and, to that extent, that the temporal coherence between the two arms is exceeded, so that the interference capability is at least reduced and therefore interference patterns are no longer or only in small, negligible extent.
  • the previously interference-capable phase space cells or wave trains are mixed by the inversion to non-interference-capable radiation components.
  • both reflecting elements are designed as reversing prisms and are aligned perpendicular to one another, ie they are rotated by 90 ° relative to each other in relation to the direction of radiation of the respective sub-bundle.
  • the solution according to the invention is particularly suitable for laser sources whose coherence lengths are greater than 1 mm. This applies to F 2 excimer lasers, such as those used in inspection systems in microlithography.
  • the beam splitter advantageously has a division ratio of 50:50, ie the incident light bundle is split into two sub-bundles with essentially the same radiation components.
  • the distances measured between the beam splitter and the reflecting elements should differ by at least 14 mm if the F 2 excimer laser is used as the radiation source, so that the temporal coherence between the two arms is exceeded and interference patterns can no longer arise.
  • At least one deflection prism is arranged in the beam path of the incident light beam in front of the beam splitter, through which the incident light beam passes before it strikes the beam splitter. Line separation in the light beam is thus achieved, and the variable optical paths over the beam cross section due to the deflection prism lead to a further reduction in coherence.
  • a partially reflecting layer can be placed in the beam path of the incident light bundle, which ensures that those coming from the beam splitter are falling light beams, reflected radiation components are directed back onto the beam splitter and thus included in an optical cycle. The light that would have made its way back into the radiation source without this partially reflecting layer is thus used again for the superposition.
  • the partially reflecting layer can be formed, for example, on the surface of a glass plate or on the surface of a deflection prism.
  • a device for pupil division is provided in the beam path of the incident light bundle, consisting of a mirror which couples a radiation component out of the light bundle, and a telescope through which the remaining, uncoupled radiation component passes, the decoupled radiation component is deflected via further mirrors and finally combined again with the radiation component emerging from the telescope in reverse.
  • the two radiation components are now offset from one another by more than the temporal coherence length due to the different optical path lengths, so that the interference capability of the resulting light beam, which now strikes the splitting surface of the beam splitter as an incident light beam, is reduced.
  • the radiation source is an F 2 - Excimer laser is concerned, the optical path lengths in turn differ by at least 14 mm.
  • a device for homogenizing the radiation intensity can be arranged downstream of the beam splitter, through which the emerging light bundle passes and the principle mode of operation of which can be found in the prior art.
  • a device for homogenization can be, for example, a transparent optical element with a microstructured, diffractive or refractive radiation and / or radiation surface.
  • Fig.l the basic structure of the arrangement according to the invention in a first embodiment
  • FIG. 2 shows the basic structure of the arrangement according to the invention in a second exemplary embodiment with an illustration of the superimposition of beam components by inversion
  • FIG. 3 shows the structure of the arrangement according to the invention according to FIG. 2, but with a deflection prism arranged upstream of the beam splitter and an upstream partly reflecting mirror
  • FIG .4 an embodiment of the invention with an arrangement upstream of the beam splitter for pupil division.
  • the basic structure of the arrangement according to the invention is shown in a first embodiment.
  • An incident light beam 1 is directed onto a beam splitter 2 with a splitter layer 3.
  • a first sub-bundle 4 is deflected towards a first reversing prism 5, while a second sub-bundle 6 passes through the divider layer 3 and meets a second reversing prism 7.
  • the divider layer 3 is designed in such a way that the incident light beam is divided in a ratio of 50:50, i.e. the two sub-beams 4 and 6 have approximately the same radiation components or the same radiation intensities.
  • the two prisms 5 and 7 are rotated relative to one another in relation to the respective direction of irradiation of the partial bundles by 90 °.
  • the longitudinal orientation (roof edge) of the first reversing prism 5 lies in the plane of the drawing, while the longitudinal orientation of the second reversing prism 7 is oriented perpendicular to the plane of the drawing.
  • the two reversing prisms 5 and 7 are positioned at different distances from the beam splitter 2.
  • the distance li between the first reversing prism 5 and the beam splitter 2 is approximately 14 mm greater than the distance 1 2 between the second reversing prism 7 and the beam splitter 2.
  • the first sub-bundle 4 is inverted in the first reversing prism 5, is again directed onto the divider layer 3 and passes through it.
  • the second sub-bundle 6 inverts in the second reversing prism 7 and is deflected at the dividing layer 3 in the direction which the first sub-bundle 4 has to pass through the dividing layer 3.
  • the two sub-beams 4 and 6 combine to form an outgoing light beam 8.
  • the outgoing light beam 8 has a reduced coherence, which has the consequence that the interference capability of the phase space cells or wave trains is reduced or eliminated.
  • FIG. 2 The mixing of the inverted radiation components is illustrated below using a second exemplary embodiment shown in FIG. 2, in which a plane mirror 9 is located at the location of the first inverting prism 5 (see FIG. 1).
  • the radiation components a to e of the incident light bundle 1 from the plane mirror 9 meet the divider layer 3 with the correct side and pass through it, while a reversal of the sides takes place in the reversing prism 7 and thereby, for example, the radiation components e of the first Sub-bundle 4 after the Combine flexion at the plane mirror 9 and after passing through the divider layer 3 with the radiation components a of the second sub-beam 6 deflected at the divider layer 3.
  • the radiation components b of the first sub-beam 4 combine with the radiation components d of the second sub-beam 6, etc.
  • the radiation components previously capable of interference mix after exceeding the time coherence and inversion on the plane mirror 9 or in the inverting prism 7 to form non-interference-capable radiation components.
  • a laser with a coherence length> 1 mm for example an F 2 excimer laser, is provided here as the radiation source for the incident light beam.
  • FIG 3 shows an embodiment variant in which a deflection prism 10 is arranged in the beam path of the incident light bundle 1 in front of the beam splitter 2, the purpose of which is to achieve a line separation in the light bundle 1, thereby overcoming the optical paths of the individual lines to vary the beam cross-section and thus additionally reduce the coherence.
  • an optical element 11 with a partially reflecting layer 12 can also be provided in the beam path of the incident light bundle 1 or as an alternative to the deflecting prism 10.
  • the partially reflecting layer 12 ensures that radiation components which are reflected back into the light beam 1 at the splitting layer 3 of the beam splitter 2 opposite to the direction of irradiation, at least partially invert at the partially reflecting layer 12, thereby again reaching the beam splitter 2 with the incident light beam 1 and can be used again for the overlay.
  • a device for pupil division can be provided in the path of the incident light bundle 1, as shown in FIG.
  • a mirror 13 is used to decouple a significant portion of the radiation from the light bundle 1, while the remaining portion of the radiation passes through a telescope 14 and thereby experiences a side reversal, as is illustrated by the designations g and h.
  • the outcoupled radiation component is deflected via further mirrors 15 and 16 and finally coupled back into the light path of the light bundle 1 with a mirror 17, with the coupling in an offset of this radiation component taking place laterally to the optical axis, as can be seen from the designations f and g is.
  • the telescope can it is, for example, a Kepler telescope (preferably 1: 1).
  • This device for pupil division also serves to reduce the coherence of the incident light beam 1 and thus in cooperation with the arrangements according to FIGS. 1 and 2 to increase the efficiency of these arrangements.
  • Such homogenization devices are sufficiently known from the prior art and can consist, for example, of a transparent optical element which is microstructured on the irradiation and / or the radiation surface, in such a way that the microstructure has a diffractive or refractive effect.

Abstract

The invention relates to a device for reducing the coherence of a beam of light, especially a laser beam, for illuminating an image surface or a sample. According to the invention, said device comprises a beam splitter (2) whereon an incident beam (1) is split into two orthogonal partial beams (4,6), and two reflecting elements whereof at least one is embodied in the form of a reversing prism (7). One partial beam (4,6) is respectively directed at a reflecting element and is reflected therefrom back to the beam splitter (2). The reflected elements are positioned at various distances from the beam splitter (2) such that the partial beams (4,6) pass once more through the beam splitter (2) in an opposite direction and are combined to form an outgoing beam (8) wherein the coherence is reduced.

Description

Anordnung zur Verminderung der Kohärenz eines Lichtbündels Arrangement for reducing the coherence of a light beam
Die Erfindung bezieht sich auf eine Anordnung zur Verminderung der Kohärenz eines Lichtbündels, insbesondere eines Laserlichtbündels zur Beleuchtung einer Bildfläche oder einer Probe .The invention relates to an arrangement for reducing the coherence of a light beam, in particular a laser light beam for illuminating an image area or a sample.
Zur Beleuchtung der Probe in einem Mikroskop oder zur Wiedergabe von Lichtbildern auf Bildwänden werden Lichtbündel, vorteilhaft Laserlichtbündel genutzt. Aufgrund der verhältnismäßig hohen zeitlichen und räumlichen Kohärenz des Laserlichts kommt es dabei zu Interferenzen, die der Beobach- ter als unterschiedliche Leuchtdichten bzw. als störendes Glitzern wahrnimmt. Derartige Beleuchtungsstrukturen werden häufig auch als „Speckle" bezeichnet.Light bundles, advantageously laser light bundles, are used to illuminate the sample in a microscope or to display light images on picture walls. Due to the relatively high temporal and spatial coherence of the laser light, interferences occur, which the observer perceives as different luminance levels or as annoying glitter. Such lighting structures are often referred to as "speckle".
Es ist bekannt, daß zur Verringerung dieser Störungen Ver- fahren und Anordnungen genutzt werden, die auf eine Kohärenzreduzierung abzielen, um dadurch die Interferenzfähigkeit der an der beleuchteten Fläche gestreuten bzw. reflektierten Strahlungsanteile zu verringern oder ganz aufzuheben.It is known that methods and arrangements which reduce coherence are used to reduce these interferences, in order to thereby reduce or completely eliminate the interference ability of the radiation components scattered or reflected on the illuminated surface.
Diesbezüglich beschreibt beispielsweise die DE 195 01 525 C2 ein Verfahren, das zur Verringerung der zeitlichen Kohärenz des Laserlichtes dient. Dabei ist vorgesehen, das Licht durch eine optische Platte hindurchzuleiten, die eine mikrostrukturierte, phasenverschiebende Ein- oder Abstrahl - fläche aufweist oder das Licht auf eine Platte zu richten, die mit einer derartigen Oberflächenstruktur versehen ist und reflektierend wirkt.In this regard, for example, DE 195 01 525 C2 describes a method which is used to reduce the temporal coherence of the laser light. It is provided that the light be passed through an optical plate which has a microstructured, phase-shifting radiation or radiation surface or to direct the light onto a plate, which is provided with such a surface structure and has a reflective effect.
Aus WO 01/35451 AI ist es weiterhin bekannt, mittels einer Vielzahl von Einzelreflektoren das Lichtbündel in Teilbündel aufzuspalten. Die Teilbündel werden dann über unterschiedliche optische Weglängen geführt, wobei die Weglängenunterschiede größer als die zeitliche Kohärenzlänge des Lichtes sind. Die Kohärenzreduzierung ergibt sich mit der Überlagerung der Teilbündel bei der nachfolgenden Zusammenführung zu einem neuen Gesamtlichtbündel .From WO 01/35451 AI it is also known to split the light beam into partial beams by means of a large number of individual reflectors. The sub-bundles are then guided over different optical path lengths, the path length differences being greater than the temporal coherence length of the light. The coherence reduction results from the superposition of the sub-beams in the subsequent merging into a new overall light beam.
Nachteilig dabei ist, daß aufgrund der im Vergleich zur Wellenlänge des Lichtes verhältnismäßig großen Einzelre- flektoren Abschattungen auftreten, die eine unerwünschte Schwächung der Strahlungsintensität zur Folge haben.The disadvantage here is that, due to the relatively large individual reflectors compared to the wavelength of the light, shadowing occurs, which results in an undesired weakening of the radiation intensity.
Werden zur Realisierung der unterschiedlichen optischen Weglängen Wabenkondensatoren genutzt, die unterschiedlich dicke Glaswege in den einzelnen Waben haben, oder optische Prismen, wobei je nach Position des Prismas unterschiedliche Glaswege vorgegeben sind, tritt der Erfolg jedoch nur bei Strahlungsquellen ein, deren zeitliche Kohärenz verhältnismäßig gering ist, da andernfalls erhebliche Glasweg- differenzen realisiert werden müssen und dies mit diesen Mitteln nicht möglich ist.If honeycomb capacitors are used to implement the different optical path lengths, which have differently thick glass paths in the individual honeycombs, or optical prisms, with different glass paths being specified depending on the position of the prism, the success only occurs with radiation sources whose temporal coherence is relatively low , otherwise considerable glass path differences have to be realized and this is not possible with these means.
Von diesem Stand der Technik ausgehend liegt der Erfindung die Aufgabe zugrunde, eine weitere Möglichkeit zur Kohä- renzminderung und damit zur Reduzierung von Speckle zu fin- den, bei der die Strahlungsintensität möglichst wenig geschwächt wird.Based on this prior art, the object of the invention is to find a further possibility for reducing coherence and thus for reducing speckle. the one in which the radiation intensity is weakened as little as possible.
Erfindungsgemäß umfaßt eine solche Anordnung zur Verminde- rung der Kohärenz eines Lichtbündels einen Strahlteiler, an dem ein einfallendes Lichtbündel in zwei orthogonale Teil- bündel aufgespalten wird, und zwei reflektierende Elemente, von denen mindestens eines als Umkehrprisma ausgebildet ist. Dabei ist jeweils ein Teilbündel auf ein reflektieren- des Element gerichtet und wird von dort zum Strahlteiler zurückgeworfen. Die reflektierenden Elemente sind in unterschiedlichen Abständen vom Strahlteiler positioniert, so daß die Teilbündel den Strahlteiler in umgekehrter Richtung wieder passieren und dabei zu einem abgehenden Lichtbündel vereinigt werden.According to the invention, such an arrangement for reducing the coherence of a light bundle comprises a beam splitter on which an incident light bundle is split into two orthogonal partial bundles, and two reflecting elements, at least one of which is designed as a reversing prism. In each case, a partial bundle is aimed at a reflecting element and is thrown back from there to the beam splitter. The reflecting elements are positioned at different distances from the beam splitter, so that the partial beams pass the beam splitter in the opposite direction again and are combined to form an outgoing light beam.
Die unterschiedlichen Abstände zwischen dem Strahlteiler und dem jeweiligen reflektierenden Element sorgen für unterschiedliche optische Weglängen der Teilbündel und inso- fern dafür, daß die zeitliche Kohärenz zwischen beiden Armen überschritten wird, so daß die Interferenzfähigkeit zumindest reduziert wird und deshalb Interferenzmuster nicht mehr oder nur noch in geringem, vernachlässigbarem Umfang entstehen können. Mit anderen Worten: die vorher interfe- renzfähigen Phasenraumzellen bzw. Wellenzüge werden durch die Invertierung zu nicht-interferenzfähigen Strahlungsanteilen gemischt .The different distances between the beam splitter and the respective reflecting element ensure different optical path lengths of the sub-beams and, to that extent, that the temporal coherence between the two arms is exceeded, so that the interference capability is at least reduced and therefore interference patterns are no longer or only in small, negligible extent. In other words: the previously interference-capable phase space cells or wave trains are mixed by the inversion to non-interference-capable radiation components.
In einer besonders bevorzugten Ausgestaltung der Erfindung sind beide reflektierenden Elemente als Umkehrprismen ausgebildet und senkrecht zueinander ausgerichtet, d.h. sie sind, bezogen auf die Einstrahlrichtung des jeweiligen Teilbündels, um 90° gegeneinander verdreht.In a particularly preferred embodiment of the invention, both reflecting elements are designed as reversing prisms and are aligned perpendicular to one another, ie they are rotated by 90 ° relative to each other in relation to the direction of radiation of the respective sub-bundle.
Die erfindungsgemäße Lösung ist insbesondere für Laserquel- len geeignet, deren Kohärenzlängen größer als 1 mm ist. Dies trifft für F2-Excimer-Laser zu, wie sie beispielsweise in Inspektionssystemen in der Mikrolithographie verwendet werden.The solution according to the invention is particularly suitable for laser sources whose coherence lengths are greater than 1 mm. This applies to F 2 excimer lasers, such as those used in inspection systems in microlithography.
Der Strahlteiler weist vorteilhaft ein Teilungsverhältnis von 50:50 auf, d.h. das einfallende Lichtbündel wird in zwei Teilbündel mit im wesentlichen gleichen Strahlungsanteilen aufgespaltet. Die zwischen dem Strahlteiler und den reflektierenden Elementen gemessenen Abstände sollten sich im Falle der Verwendung des F2-Excimer-Lasers als Strahlungsquelle um mindestens 14 mm unterscheiden, damit die zeitliche Kohärenz zwischen beiden Armen überschritten wird und keine Interferenzmuster mehr entstehen können.The beam splitter advantageously has a division ratio of 50:50, ie the incident light bundle is split into two sub-bundles with essentially the same radiation components. The distances measured between the beam splitter and the reflecting elements should differ by at least 14 mm if the F 2 excimer laser is used as the radiation source, so that the temporal coherence between the two arms is exceeded and interference patterns can no longer arise.
In einer besonderen Ausgestaltung der Erfindung ist im Strahlengang des einfallenden Lichtbündels vor dem Strahlteiler mindestens ein Ablenkprisma angeordnet, durch welches das einfallende Lichtbündel hindurchläuft, bevor es auf den Strahlteiler trifft. Damit wird eine Linientrennung im Lichtbündel erreicht, und die variablen optischen Wege über den Strahlquerschnitt aufgrund des Ablenkprismas führen zu einer weiteren Kohärenzminderung.In a special embodiment of the invention, at least one deflection prism is arranged in the beam path of the incident light beam in front of the beam splitter, through which the incident light beam passes before it strikes the beam splitter. Line separation in the light beam is thus achieved, and the variable optical paths over the beam cross section due to the deflection prism lead to a further reduction in coherence.
Weiterhin kann in den Strahlengang des einfallenden Licht- bündeis eine teilreflektierende Schicht gestellt sein, die dafür sorgt, daß vom Strahlteiler kommende, gegen das ein- fallende Lichtbündel zurückgeworfene Strahlungsanteile wieder auf den Strahlteiler gerichtet und so in einen optischen Kreislauf einbezogen werden. Damit wird das Licht, das ohne diese teilreflektierende Schicht seinen Weg zurück in die Strahlungsquelle nehmen würde, erneut zur Überlagerung genutzt. Die teilreflektierende Schicht kann beispielsweise auf der Oberfläche einer Glasplatte oder auf der Oberfläche eines Ablenkprismas ausgebildet sein.Furthermore, a partially reflecting layer can be placed in the beam path of the incident light bundle, which ensures that those coming from the beam splitter are falling light beams, reflected radiation components are directed back onto the beam splitter and thus included in an optical cycle. The light that would have made its way back into the radiation source without this partially reflecting layer is thus used again for the superposition. The partially reflecting layer can be formed, for example, on the surface of a glass plate or on the surface of a deflection prism.
In einer weiteren, ebenfalls vorteilhaften Ausgestaltung der Erfindung ist im Strahlengang des einfallenden Lichtbündels eine Einrichtung zur Pupillenteilung vorgesehen, bestehend aus einem Spiegel, der aus dem Lichtbündel einen Strahlungsanteil auskoppelt, und einem Teleskop, durch das der übrige, nicht ausgekoppelte Strahlungsanteil hindurchtritt, wobei der ausgekoppelte Strahlungsanteil über weitere Spiegel umgelenkt und schließlich wieder mit dem aus dem Teleskop seitenverkehrt austretenden Strahlungsanteil vereinigt wird.In a further, likewise advantageous embodiment of the invention, a device for pupil division is provided in the beam path of the incident light bundle, consisting of a mirror which couples a radiation component out of the light bundle, and a telescope through which the remaining, uncoupled radiation component passes, the decoupled radiation component is deflected via further mirrors and finally combined again with the radiation component emerging from the telescope in reverse.
Damit wird erreicht, daß die Strahlungsanteile, von denen einer über die Spiegel läuft, der andere das Teleskop passiert, phasenverschoben wieder zusammengesetzt werden.This ensures that the radiation components, one of which runs over the mirror, the other passes through the telescope, are reassembled out of phase.
Außerdem sind die beiden Strahlungsanteile nunmehr durch die unterschiedlichen optischen Weglängen um mehr als die zeitliche Kohärenzlänge gegeneinander versetzt, so daß die Interferenzfähigkeit des resultierenden Lichtbündels, das nunmehr als einfallendes Lichtbündel auf die Teilerfläche des Strahlteilers trifft, herabgesetzt ist. Hierbei sollten sich, sofern es sich bei der Strahlungsquelle um einen F2- Excimer-Laser handelt, die optischen Weglängen wiederum um mindestens 14 mm unterscheiden.In addition, the two radiation components are now offset from one another by more than the temporal coherence length due to the different optical path lengths, so that the interference capability of the resulting light beam, which now strikes the splitting surface of the beam splitter as an incident light beam, is reduced. If the radiation source is an F 2 - Excimer laser is concerned, the optical path lengths in turn differ by at least 14 mm.
Um auch noch zusätzlich eine Homogenisierung der Strah- lungsintensitat innerhalb des austretenden Lichtbündels zu erreichen, kann dem Strahlteiler eine Einrichtung zur Homogenisierung der Strahlungsintensität nachgeordnet sein, durch die das austretende Lichtbündel hindurchläuft und deren prinzipeile Wirkungsweise dem Stand der Technik zu ent- nehmen ist. Eine solche Einrichtung zur Homogenisierung kann beispielsweise ein transparentes optisches Element mit einer mikrostrukturierten, diffraktiv oder refraktiv wirkenden Ein- und/oder Abstrahlfläche sein.In order to additionally achieve a homogenization of the radiation intensity within the emerging light bundle, a device for homogenizing the radiation intensity can be arranged downstream of the beam splitter, through which the emerging light bundle passes and the principle mode of operation of which can be found in the prior art. Such a device for homogenization can be, for example, a transparent optical element with a microstructured, diffractive or refractive radiation and / or radiation surface.
Die Erfindung soll nachfolgend anhand von Ausfuhrungsbei- spielen näher erläutert werden. Die zugehörigen Zeichnungen zeigen inThe invention will be explained in more detail below on the basis of exemplary embodiments. The associated drawings show in
Fig.l den prinzipiellen Aufbau der erfindungsgemäßen Anordnung in einem ersten Ausführungsbeispiel,Fig.l the basic structure of the arrangement according to the invention in a first embodiment,
Fig.2 den prinzipiellen Aufbau der erfindungsgemäßen Anordnung in einem zweiten Ausführungsbeispiel mit einer Darstellung der Überlagerung von Strahlkomponenten durch Inversion, Fig.3 den Aufbau der erfindungsgemäßen Anordnung nach Fig.2, jedoch mit einem dem Strahlteiler vorgeordneten Ablenkprisma sowie einem vorgeordneten teilreflektierenden Spiegel, Fig.4 eine Ausgestaltung der Erfindung mit einer dem Strahlteiler vorgeordneten Anordnung zur Pupillenteilung . Im Ausführungsbeispiel nach Fig.l ist der prinzipielle Aufbau der erfindungsgemäßen Anordnung in einer ersten Ausgestaltungsvariante dargestellt . Ein einfallendes Lichtbündel 1 ist auf einen Strahlteiler 2 mit einer Teilerschicht 3 gerichtet .2 shows the basic structure of the arrangement according to the invention in a second exemplary embodiment with an illustration of the superimposition of beam components by inversion, FIG. 3 shows the structure of the arrangement according to the invention according to FIG. 2, but with a deflection prism arranged upstream of the beam splitter and an upstream partly reflecting mirror, FIG .4 an embodiment of the invention with an arrangement upstream of the beam splitter for pupil division. In the embodiment according to Fig.l, the basic structure of the arrangement according to the invention is shown in a first embodiment. An incident light beam 1 is directed onto a beam splitter 2 with a splitter layer 3.
An der Teilerschicht 3 wird ein erstes Teilbündel 4 in Richtung auf ein erstes Umkehrprisma 5 abgelenkt, während ein zweites Teilbündel 6 durch die Teilerschicht 3 hindurchtritt und auf ein zweites Umkehrprisma 7 trifft.At the divider layer 3, a first sub-bundle 4 is deflected towards a first reversing prism 5, while a second sub-bundle 6 passes through the divider layer 3 and meets a second reversing prism 7.
Die Teilerschicht 3 ist dabei so ausgebildet, daß das einfallende Lichtbündel im Verhältnis 50:50 geteilt wird, d.h. die beiden Teilbündel 4 und 6 weisen etwa gleiche Strahlungsanteile bzw. gleiche Strahlungsintensitäten auf.The divider layer 3 is designed in such a way that the incident light beam is divided in a ratio of 50:50, i.e. the two sub-beams 4 and 6 have approximately the same radiation components or the same radiation intensities.
Wie aus Fig.l zu erkennen ist, sind die beiden Prismen 5 und 7 bezogen auf die jeweilige Einstrahlrichtung der Teil- bündel um 90° gegeneinander verdreht ausgerichtet. So liegt beispielsweise die Längsausrichtung (Dachkante) des ersten Umkehrprismas 5 in der Zeichenebene, während die Längsausrichtung des zweiten Umkehrprismas 7 senkrecht zur Zeichenebene orientiert ist.As can be seen from FIG. 1, the two prisms 5 and 7 are rotated relative to one another in relation to the respective direction of irradiation of the partial bundles by 90 °. For example, the longitudinal orientation (roof edge) of the first reversing prism 5 lies in the plane of the drawing, while the longitudinal orientation of the second reversing prism 7 is oriented perpendicular to the plane of the drawing.
Außerdem ist aus Fig.l ersichtlich, daß die beiden Umkehrprismen 5 und 7 in unterschiedlichen Abständen zum Strahlteiler 2 positioniert sind. Im gewählten Beispiel ist der Abstand li zwischen dem ersten Umkehrprisma 5 und dem Strahlteiler 2 um etwa 14 mm größer als der Abstand 12 zwischen dem zweiten Umkehrprisma 7 und dem Strahlteiler 2. Das erste Teilbündel 4 invertiert im ersten Umkehrprisma 5, ist wieder auf die Teilerschicht 3 gerichtet und tritt durch diese hindurch. Das zweite Teilbündel 6 invertiert im zweiten Umkehrprisma 7 und wird an der Teilerschicht 3 in die Richtung abgelenkt, die das durch die Teilerschicht 3 hindurchtretende erste Teilbündel 4 hat. Dabei vereinigen sich beide Teilbündel 4 und 6 zu einem abgehenden Lichtbündel 8. Das abgehende Lichtbündel 8 weist eine verringerte Kohärenz auf, was zur Folge hat, daß die Interferenzfähigkeit der Phasenraumzellen bzw. Wellenzüge vermindert oder aufgehoben ist.It can also be seen from FIG. 1 that the two reversing prisms 5 and 7 are positioned at different distances from the beam splitter 2. In the selected example, the distance li between the first reversing prism 5 and the beam splitter 2 is approximately 14 mm greater than the distance 1 2 between the second reversing prism 7 and the beam splitter 2. The first sub-bundle 4 is inverted in the first reversing prism 5, is again directed onto the divider layer 3 and passes through it. The second sub-bundle 6 inverts in the second reversing prism 7 and is deflected at the dividing layer 3 in the direction which the first sub-bundle 4 has to pass through the dividing layer 3. The two sub-beams 4 and 6 combine to form an outgoing light beam 8. The outgoing light beam 8 has a reduced coherence, which has the consequence that the interference capability of the phase space cells or wave trains is reduced or eliminated.
Erreicht wird dies dadurch, daß die Umkehrprismen 5 und 7 bezogen auf die Zeichenebene senkrecht zueinander stehen und ihre Abstände zum Strahlteiler 2 so verschieden sind, daß die zeitliche Kohärenz zwischen beiden optischen Armen unterschritten wird.This is achieved in that the reversing prisms 5 and 7 are perpendicular to one another with respect to the plane of the drawing and their distances from the beam splitter 2 are so different that the time coherence between the two optical arms is undershot.
Die Mischung der invertierten Strahlungsanteile wird nachfolgend anhand eines in Fig.2 dargestellten zweiten Ausführungsbeispieles verdeutlicht, in welchem sich an der Stelle des ersten Umkehrprismas 5 (vgl. Fig.l) ein Planspiegel 9 befindet.The mixing of the inverted radiation components is illustrated below using a second exemplary embodiment shown in FIG. 2, in which a plane mirror 9 is located at the location of the first inverting prism 5 (see FIG. 1).
Aus Fig.2 ist ersichtlich, daß die Strahlungsanteile a bis e des einfallenden Lichtbündels 1 vom Planspiegel 9 seitenrichtig wieder auf die Teilerschicht 3 treffen und durch diese hindurchtreten, während im Umkehrprisma 7 eine Sei- tenumkehr erfolgt und sich dadurch beispielsweise die Strahlungsanteile e des ersten Teilbündels 4 nach der Re- flexion am Planspiegel 9 und nach Durchtritt durch die Teilerschicht 3 mit den an der Teilerschicht 3 abgelenkten Strahlungsanteilen a des zweiten Teilbündels 6 vereinigen.It can be seen from FIG. 2 that the radiation components a to e of the incident light bundle 1 from the plane mirror 9 meet the divider layer 3 with the correct side and pass through it, while a reversal of the sides takes place in the reversing prism 7 and thereby, for example, the radiation components e of the first Sub-bundle 4 after the Combine flexion at the plane mirror 9 and after passing through the divider layer 3 with the radiation components a of the second sub-beam 6 deflected at the divider layer 3.
In gleicher Weise vereinigen sich die Strahlungsanteile b des ersten Teilbündels 4 mit den Strahlungsanteilen d des zweiten Teilbündels 6 usw.In the same way, the radiation components b of the first sub-beam 4 combine with the radiation components d of the second sub-beam 6, etc.
Dadurch mischen sich die vorher interferenzfähigen Strah- lungsanteile nach Überschreitung der zeitlichen Kohärenz und Invertierung am Planspiegel 9 bzw. im Umkehrprisma 7 zu nicht-interferenzfähigen Strahlungsanteilen.As a result, the radiation components previously capable of interference mix after exceeding the time coherence and inversion on the plane mirror 9 or in the inverting prism 7 to form non-interference-capable radiation components.
Diese Mischung kann mit den beiden in Fig.l und in Fig.2 dargestellten Ausführungsbeispielen der erfindungsgemäßen Anordnung erzielt werden, d.h. entweder mit zwei Umkehrprismen 5 und 7 wie in Fig.l dargestellt oder auch mit einem Umkehrprisma 7 und einem Planspiegel 9 nach Fig.2. Selbstverständlich können in der Ausgestaltung nach Fig.2 auch Planspiegel 9 und Umkehrprisma 7 gegeneinander vertauscht sein.This mixture can be achieved with the two exemplary embodiments of the arrangement according to the invention shown in Fig. 1 and in Fig. 2, i.e. either with two reversing prisms 5 and 7 as shown in Fig.l or with a reversing prism 7 and a plane mirror 9 according to Fig.2. Of course, in the embodiment according to FIG. 2, plane mirror 9 and reversing prism 7 can also be interchanged.
Als Strahlungsquelle für das einfallende Lichtbündel sei hier ein Laser mit einer Kohärenzlänge >1 mm, beispielswei- se ein F2-Excimer-Laser, vorgesehen.A laser with a coherence length> 1 mm, for example an F 2 excimer laser, is provided here as the radiation source for the incident light beam.
Fig.3 zeigt eine Ausgestaltungsvariante, bei der im Strahlengang des einfallenden Lichtbündels 1 vor dem Strahlteiler 2 ein Ablenkprisma 10 angeordnet ist, dessen Zweck dar- in besteht, eine Linientrennung im Lichtbündel 1 zu erreichen, dabei die optischen Wege der einzelnen Linien über den Strahlquerschnitt zu variieren und so die Kohärenz zusätzlich zu mindern.3 shows an embodiment variant in which a deflection prism 10 is arranged in the beam path of the incident light bundle 1 in front of the beam splitter 2, the purpose of which is to achieve a line separation in the light bundle 1, thereby overcoming the optical paths of the individual lines to vary the beam cross-section and thus additionally reduce the coherence.
Wie in Fig .3 weiterhin dargestellt, kann in den Strahlen- gang des einfallenden Lichtbündels 1 auch oder alternativ zu dem Ablenkprisma 10 ein optisches Element 11 mit einer teilreflektierenden Schicht 12 vorgesehen sein.As further shown in FIG. 3, an optical element 11 with a partially reflecting layer 12 can also be provided in the beam path of the incident light bundle 1 or as an alternative to the deflecting prism 10.
Dabei sorgt die teilreflektierende Schicht 12 dafür, daß Strahlungsanteile, die an der Teilerschicht 3 des Strahlteilers 2 entgegengesetzt zur Einstrahlungsrichtung in das Lichtbündel 1 zurückgeworfen werden, zumindest teilweise an der teilreflektierenden Schicht 12 invertieren, dadurch wieder mit dem einfallenden Lichtbündel 1 zum Strahlteiler 2 gelangen und erneut zur Überlagerung genutzt werden.The partially reflecting layer 12 ensures that radiation components which are reflected back into the light beam 1 at the splitting layer 3 of the beam splitter 2 opposite to the direction of irradiation, at least partially invert at the partially reflecting layer 12, thereby again reaching the beam splitter 2 with the incident light beam 1 and can be used again for the overlay.
Darüberhinaus kann in einer weiteren vorteilhaften Ausgestaltung im Weg des einfallenden Lichtbündels 1 eine Einrichtung zur Pupillenteilung vorgesehen sein, wie in Fig.4 dargestellt. Hier dient ein Spiegel 13 dazu, einen erheblichen Strahlungsanteil aus dem Lichtbündel 1 auszukoppeln, während der übrige Strahlungsanteil durch ein Teleskop 14 hindurchtritt und dabei eine Seitenvertauschung erfährt, wie dies an den Bezeichnungen g und h verdeutlicht ist. Der ausgekoppelte Strahlungsanteil wird über weitere Spiegel 15 und 16 umgelenkt und schließlich mit einem Spiegel 17 wieder in den Lichtweg des Lichtbündels 1 eingekoppelt, wobei mit der Einkopplung ein Versatz dieses Strahlungsanteiles seitlich zur optischen Achse erfolgt, wie anhand der Be- Zeichnungen f und g ersichtlich ist. Bei dem Teleskop kann es sich beispielsweise um ein Keplerteleskop (bevorzugt 1:1) handeln.Furthermore, in a further advantageous embodiment, a device for pupil division can be provided in the path of the incident light bundle 1, as shown in FIG. Here, a mirror 13 is used to decouple a significant portion of the radiation from the light bundle 1, while the remaining portion of the radiation passes through a telescope 14 and thereby experiences a side reversal, as is illustrated by the designations g and h. The outcoupled radiation component is deflected via further mirrors 15 and 16 and finally coupled back into the light path of the light bundle 1 with a mirror 17, with the coupling in an offset of this radiation component taking place laterally to the optical axis, as can be seen from the designations f and g is. The telescope can it is, for example, a Kepler telescope (preferably 1: 1).
Diese Einrichtung zur Pupillenteilung dient ebenfalls der Reduzierung der Kohärenz des einfallenden Lichtbündels 1 und somit im Zusammenwirken mit den Anordnungen nach Fig.l und Fig.2 zur Erhöhung der Effizienz dieser Anordnungen.This device for pupil division also serves to reduce the coherence of the incident light beam 1 and thus in cooperation with the arrangements according to FIGS. 1 and 2 to increase the efficiency of these arrangements.
Weiterhin besteht die Möglichkeit, dem Strahlteiler 2 eine Einrichtung zur Homogenisierung der Intensität im Strahlungsquerschnitt des abgehenden Lichtbündels 8 nachzuordnen (nicht dargestellt) .Furthermore, there is the possibility of arranging a device for homogenizing the intensity in the radiation cross section of the outgoing light beam 8 after the beam splitter 2 (not shown).
Derartige Homogenisierungseinrichtungen sind aus dem Stand der Technik hinreichend bekannt und können beispielsweise aus einem transparenten optischen Element bestehen, das an der Einstrahl- und/oder der Abstrahlfläche mikrostrukturiert ist, und zwar so, daß die MikroStruktur diffraktiv oder refraktiv wirkt. Such homogenization devices are sufficiently known from the prior art and can consist, for example, of a transparent optical element which is microstructured on the irradiation and / or the radiation surface, in such a way that the microstructure has a diffractive or refractive effect.
BezugszeichenlisteLIST OF REFERENCE NUMBERS
5 1 einfallendes Lichtbündel5 1 incident light beam
2 Strahlteiler2 beam splitters
3 Teilerschicht3 divider layer
4 erstes Teilbündel4 first sub-bundle
5 erstes Umkehrprisma 10 6 zweites Teilbündel5 first reversing prism 10 6 second sub-bundle
7 zweites Umkehrprisma7 second reversing prism
8 abgehendes Lichtbündel8 outgoing light beams
9 Planspiegel9 plane mirror
10 Ablenkprisma10 deflection prism
15 11 optisches Element15 11 optical element
12 teilreflektierende Schicht12 partially reflective layers
13 Spiegel13 mirrors
14 Teleskop 15,16,17 Spiegel14 Telescope 15, 16, 17 mirror
20 20

Claims

Patentansprüche claims
1. Anordnung zur Verminderung der Kohärenz eines Lichtbündels, umfassend einen Strahlteiler (2) , an dem ein einfallendes Lichtbündel (1) in zwei orthogonale Teilbündel (4, 6) aufgespalten wird und - zwei reflektierende Elemente, von denen mindestens eines als Umkehrprisma (7) ausgebildet ist, wobei jeweils ein Teilbündel (4, 6) auf ein reflektierendes Element gerichtet ist und von dort zum Strahlteiler (2) zurückgeworfen wird, und wobei - die reflektierenden Elemente in unterschiedlichen Abständen vom Strahlteiler (2) positioniert sind, so daß die Teilbündel (4, 6) den Strahlteiler (2) in umgekehrter Richtung wieder passieren und dabei zu einem abgehenden Lichtbündel (8) vereinigt werden, das eine ge- genüber dem einfallenden Lichtbündel (1) verringerte Kohärenz aufweist .1. Arrangement for reducing the coherence of a light beam, comprising a beam splitter (2), on which an incident light beam (1) is split into two orthogonal partial beams (4, 6) and - two reflecting elements, at least one of which is used as a reversing prism (7 ) is formed, in each case a partial beam (4, 6) is directed towards a reflecting element and is thrown back from there to the beam splitter (2), and - the reflecting elements are positioned at different distances from the beam splitter (2), so that the Partial beams (4, 6) pass the beam splitter (2) again in the opposite direction and are combined to form an outgoing light beam (8) which has a reduced coherence compared to the incident light beam (1).
2. Anordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß beide reflektierenden Elemente als Umkehrprismen (5, 7) ausgebildet und senkrecht zueinander ausgerichtet sind.2. Arrangement according to claim 1, characterized in that both reflecting elements are designed as reversing prisms (5, 7) and are aligned perpendicular to one another.
3. Anordnung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß als Srahlungsquelle für das einfallende Lichtbündel (1) ein Laser mit einer Kohärenzlänge des Laser- lichtes > 1 mm, bevorzugt ein F2-Excimer-Laser, vorgesehen ist. 3. Arrangement according to claim 1 or 2, characterized in that a laser with a coherence length of the laser light> 1 mm, preferably an F 2 excimer laser, is provided as the radiation source for the incident light bundle (1).
4. Anordnung nach einem der vorgenannten Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der Strahlteiler (2) ein Teilungsverhältnis von 50:50 aufweist.4. Arrangement according to one of the preceding claims, characterized in that the beam splitter (2) has a division ratio of 50:50.
5. Anordnung nach einem der vorgenannten Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß sich die zwischen dem Strahlteiler (2) und den reflektierenden Elementen gemessenen Abstände um mindestens 14 mm unterscheiden.5. Arrangement according to one of the preceding claims, characterized in that the distances measured between the beam splitter (2) and the reflecting elements differ by at least 14 mm.
6. Anordnung nach einem der vorgenannten Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß im Strahlengang des einfallenden Lichtbündels (1) vor dem Strahlteiler (2) mindestens ein Ablenkprisma (10) angeordnet ist und eine Linientrennung im Lichtbündel (1) bewirkt.6. Arrangement according to one of the preceding claims, characterized in that at least one deflection prism (10) is arranged in the beam path of the incident light beam (1) in front of the beam splitter (2) and causes a line separation in the light beam (1).
7. Anordnung nach einem der vorgenannten Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß in den Strahlengang des einfallenden Lichtbündels (1) eine teilreflektierende Schicht (12) gestellt ist, welche vom Strahlteiler (2) kommende, gegen das einfallende Lichtbündel (1) zurückgeworfene Strahlungsanteile wieder auf den Strahlteiler (2) richtet.7. Arrangement according to one of the preceding claims, characterized in that in the beam path of the incident light beam (1) a partially reflecting layer (12) is provided, which coming from the beam splitter (2), against the incident light beam (1) reflected back radiation components again directs the beam splitter (2).
8. Anordnung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß sich die teilreflektierende Schicht (12) auf der Oberfläche einer Glasplatte oder eines Ablenkprismas befindet.8. Arrangement according to claim 7, characterized in that the partially reflecting layer (12) is on the surface of a glass plate or a deflecting prism.
9. Anordnung nach einem der vorgenannten Ansprüche, da- durch gekennzeichnet, daß im Strahlengang des einfallenden Lichtbündels (1) eine Einrichtung zur Pupillenteilung vorgesehen ist, bestehend aus einem Spiegel (13) , der aus dem Lichtbündel (1) einen Strahlungsanteil auskoppelt, einem Teleskop (14) , durch das der übrige Strahlungsanteil hindurchtritt und - weiteren Spiegeln (15, 16, 17), durch die der ausgekoppelte Strahlungsanteil umgelenkt und wieder mit dem aus dem Teleskop seitenverkehrt austretenden Strahlungsanteil vereinigt wird.9. Arrangement according to one of the preceding claims, characterized in that a device for pupil division is provided in the beam path of the incident light beam (1), consisting of a mirror (13) which couples a radiation component out of the light bundle (1), a telescope (14) through which the remaining radiation component passes and - further mirrors (15, 16, 17) through which the coupled radiation component is deflected and again with the radiation component emerging from the telescope reversed is combined.
10. Anordnung nach einem der vorgenannten Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß dem Strahlteiler (2) eine Einrichtung zur Homogenisierung der Strahlungsintensität innerhalb des abgehenden Lichtbündels (8) nachgeordnet ist. 10. Arrangement according to one of the preceding claims, characterized in that the beam splitter (2) is arranged downstream of a device for homogenizing the radiation intensity within the outgoing light beam (8).
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Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5048926A (en) * 1988-02-29 1991-09-17 Nikon Corporation Illuminating optical system in an exposure apparatus
US5153773A (en) * 1989-06-08 1992-10-06 Canon Kabushiki Kaisha Illumination device including amplitude-division and beam movements
US5233460A (en) * 1992-01-31 1993-08-03 Regents Of The University Of California Method and means for reducing speckle in coherent laser pulses
GB2304923A (en) * 1995-09-02 1997-03-26 Renishaw Plc Detector system for an interferometric measuring apparatus
US6238063B1 (en) * 1998-04-27 2001-05-29 Nikon Corporation Illumination optical apparatus and projection exposure apparatus

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4511220A (en) * 1982-12-23 1985-04-16 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Air Force Laser target speckle eliminator
JP2565134B2 (en) * 1994-06-06 1996-12-18 日本電気株式会社 Lighting optics
US6956878B1 (en) * 2000-02-07 2005-10-18 Silicon Light Machines Corporation Method and apparatus for reducing laser speckle using polarization averaging
JP2001296503A (en) * 2000-04-13 2001-10-26 Mitsubishi Heavy Ind Ltd Device for reducing speckle

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5048926A (en) * 1988-02-29 1991-09-17 Nikon Corporation Illuminating optical system in an exposure apparatus
US5153773A (en) * 1989-06-08 1992-10-06 Canon Kabushiki Kaisha Illumination device including amplitude-division and beam movements
US5233460A (en) * 1992-01-31 1993-08-03 Regents Of The University Of California Method and means for reducing speckle in coherent laser pulses
GB2304923A (en) * 1995-09-02 1997-03-26 Renishaw Plc Detector system for an interferometric measuring apparatus
US6238063B1 (en) * 1998-04-27 2001-05-29 Nikon Corporation Illumination optical apparatus and projection exposure apparatus

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