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Patentes

  1. Búsqueda avanzada de patentes
Número de publicaciónWO2004049398 A3
Tipo de publicaciónSolicitud
Número de solicitudPCT/US2003/037171
Fecha de publicación9 Jun 2005
Fecha de presentación19 Nov 2003
Fecha de prioridad21 Nov 2002
También publicado comoUS7342295, US7456488, US20040102006, US20050161763, WO2004049398A2, WO2004049398B1
Número de publicaciónPCT/2003/37171, PCT/US/2003/037171, PCT/US/2003/37171, PCT/US/3/037171, PCT/US/3/37171, PCT/US2003/037171, PCT/US2003/37171, PCT/US2003037171, PCT/US200337171, PCT/US3/037171, PCT/US3/37171, PCT/US3037171, PCT/US337171, WO 2004/049398 A3, WO 2004049398 A3, WO 2004049398A3, WO-A3-2004049398, WO2004/049398A3, WO2004049398 A3, WO2004049398A3
InventoresChongying Xu, Alexander S Borovik, Thomas H Baum
SolicitanteAdvanced Tech Materials
Exportar citaBiBTeX, EndNote, RefMan
Enlaces externos:  Patentscope, Espacenet
Porogen material
WO 2004049398 A3
Citas de patentes
Patente citada Fecha de presentación Fecha de publicación Solicitante Título
US6528409 *29 Abr 20024 Mar 2003Advanced Micro Devices, Inc.Interconnect structure formed in porous dielectric material with minimized degradation and electromigration
US6632531 *13 Dic 200114 Oct 2003Rohm And Haas CompanyPorous particles, their aqueous dispersions, and method of preparation
US6670285 *14 Mar 200130 Dic 2003International Business Machines CorporationNitrogen-containing polymers as porogens in the preparation of highly porous, low dielectric constant materials
Clasificaciones
Clasificación internacionalH01L21/316
Clasificación cooperativaH01L21/02203, H01L21/02126, Y10T428/2998, H01L21/02216, H01L21/31695, H01L21/02271, Y10T428/2982, Y10T428/2985
Clasificación europeaH01L21/02K2C1L1, H01L21/02K2E3B6, H01L21/02K2C7C4B, H01L21/02K2C5, H01L21/316P
Eventos legales
FechaCódigoEventoDescripción
10 Jun 2004AKDesignated states
Kind code of ref document: A2
Designated state(s): AE AG AL AM AT AU AZ BA BB BG BR BW BY BZ CA CH CN CO CR CU CZ DE DK DM DZ EC EE EG ES FI GB GD GE GH GM HR HU ID IL IN IS JP KE KG KP KR KZ LC LK LR LS LT LU LV MA MD MG MK MN MW MX MZ NI NO NZ OM PG PH PL PT RO RU SC SD SE SG SK SL SY TJ TM TN TR TT TZ UA UG UZ VC VN YU ZA ZM ZW
10 Jun 2004ALDesignated countries for regional patents
Kind code of ref document: A2
Designated state(s): BW GH GM KE LS MW MZ SD SL SZ TZ UG ZM ZW AM AZ BY KG KZ MD RU TJ TM AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IT LU MC NL PT RO SE SI SK TR BF BJ CF CG CI CM GA GN GQ GW ML MR NE SN TD TG
11 Ago 2004121Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application
9 Jun 2005DFPERequest for preliminary examination filed prior to expiration of 19th month from priority date (pct application filed before 20040101)
14 Jul 2005BLater publication of amended claims
Effective date: 20050516
28 Dic 2005122Ep: pct app. not ent. europ. phase
23 Oct 2006NENPNon-entry into the national phase in:
Ref country code: JP
23 Oct 2006WWWWipo information: withdrawn in national office
Country of ref document: JP