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Patentes

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Número de publicaciónWO2005031315 A1
Tipo de publicaciónSolicitud
Número de solicitudPCT/US2004/030859
Fecha de publicación7 Abr 2005
Fecha de presentación21 Sep 2004
Fecha de prioridad23 Sep 2003
También publicado comoEP1668342A1, EP1668342A4, US7126131, US7189973, US7271394, US7391030, US7446876, US8014000, US8054453, US20050006590, US20060192958, US20060208198, US20070030488, US20080042071, US20090002711, US20100051822, US20100328648
Número de publicaciónPCT/2004/30859, PCT/US/2004/030859, PCT/US/2004/30859, PCT/US/4/030859, PCT/US/4/30859, PCT/US2004/030859, PCT/US2004/30859, PCT/US2004030859, PCT/US200430859, PCT/US4/030859, PCT/US4/30859, PCT/US4030859, PCT/US430859, WO 2005/031315 A1, WO 2005031315 A1, WO 2005031315A1, WO-A1-2005031315, WO2005/031315A1, WO2005031315 A1, WO2005031315A1
InventoresDale A. Harrison
SolicitanteMetrosol, Inc.
Exportar citaBiBTeX, EndNote, RefMan
Enlaces externos:  Patentscope, Espacenet
Vacuum ultraviolet referencing reflectometer
WO 2005031315 A1
Descripción  disponible en inglés
Reclamaciones  disponible en inglés
Citas de patentes
Patente citada Fecha de presentación Fecha de publicación Solicitante Título
US3825347 *9 Ago 197123 Jul 1974Max Planck GesellschaftApparatus for determining a substance by an optical radiation
US5042949 *17 Mar 198927 Ago 1991Greenberg Jeffrey SOptical profiler for films and substrates
US5781304 *14 Feb 199714 Jul 1998Textron Systems CorporationLaser ultrasonics-based material analysis system and method
US20010055118 *4 Dic 200027 Dic 2001Bernd NawracalaSelf-calibrating measuring setup for interference spectroscopy
Otras citas
Referencia
1 *See also references of EP1668342A1
Citada por
Patente citante Fecha de presentación Fecha de publicación Solicitante Título
WO2012033443A1 *1 Sep 201115 Mar 2012Chromalytica AbCombination of spectrograph barrier gas, carrier gas and cooling of ccd
US20140132948 *6 Nov 201315 May 2014Kla-Tencor CorporationApparatus and Method for Optical Metrology with Optimized System Parameters
Clasificaciones
Clasificación internacionalG01N21/47, G01N21/33, G01N21/55, G01N21/21, G01J3/28, G01J3/36, G01N3/28, G01J3/08, G01N21/27, G01J3/42
Clasificación cooperativaG01J3/2823, G01N21/33, G01N21/47, G01N21/9501, G01J3/2803, G01N21/211, G01J3/10, G01J3/4531, G01N21/55, G01J3/36, G01N2021/335, G01N21/274, G01J3/42, G01J3/28, G01J3/08, G01J3/02
Clasificación europeaG01J3/28B, G01J3/28D, G01J3/36, G01N21/95A, G01J3/02, G01J3/28, G01J3/453B, G01J3/10, G01N21/55, G01J3/42, G01N21/27E, G01N21/33, G01J3/08
Eventos legales
FechaCódigoEventoDescripción
7 Abr 2005ALDesignated countries for regional patents
Kind code of ref document: A1
Designated state(s): GM KE LS MW MZ NA SD SL SZ TZ UG ZM ZW AM AZ BY KG KZ MD RU TJ TM AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IT LU MC NL PL PT RO SE SI SK TR BF BJ CF CG CI CM GA GN GQ GW ML MR NE SN TD TG
7 Abr 2005AKDesignated states
Kind code of ref document: A1
Designated state(s): AE AG AL AM AT AU AZ BA BB BG BR BW BY BZ CA CH CN CO CR CU CZ DE DK DM DZ EC EE EG ES FI GB GD GE GH GM HR HU ID IL IN IS JP KE KG KP KR KZ LC LK LR LS LT LU LV MA MD MG MK MN MW MX MZ NA NI NO NZ OM PG PH PL PT RO RU SC SD SE SG SK SL SY TJ TM TN TR TT TZ UA UG US UZ VC VN YU ZA ZM ZW
8 Jun 2005121Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application
22 Mar 2006WWEWipo information: entry into national phase
Ref document number: 1020067005681
Country of ref document: KR
Ref document number: 2006528098
Country of ref document: JP
7 Abr 2006WWEWipo information: entry into national phase
Ref document number: 2004784655
Country of ref document: EP
14 Jun 2006WWPWipo information: published in national office
Ref document number: 2004784655
Country of ref document: EP
3 Ene 2007WWPWipo information: published in national office
Ref document number: 1020067005681
Country of ref document: KR