WO2006134734A1 - スクリーン印刷版およびスクリーン印刷装置 - Google Patents

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WO2006134734A1
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pattern
printing
printing plate
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PCT/JP2006/309149
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Satoyuki Ojima
Naoki Ishikawa
Hiroyuki Ohtsuka
Original Assignee
Shin-Etsu Handotai Co., Ltd.
Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.
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    • H05K2203/0545—Pattern for applying drops or paste; Applying a pattern made of drops or paste

Definitions

  • the present invention relates to a screen printing plate provided with an opening for discharging a printing material for forming a target printing pattern on a printing material in screen printing.
  • a printing material such as ink or paste is extruded by the sliding motion of a squeegee, and the desired printing pattern is printed by transferring the shape of the opening onto the substrate. It is a printing method.
  • screen printing plates used in screen printing depending on the material and manufacturing method.
  • the one in which an opening to be printed with an emulsion is formed in a braid woven with fine metal wires, or the one to have an opening to be printed on a metal thin plate by etching or laser processing is generally used.
  • the end of the printing material may be removed due to bleeding of the printing material.
  • the printed pattern 5a after printing which is the shape, does not match the target printed pattern 4a and does not become a straight line.
  • the open end 3a is made straight to make the end of the printing material straight, the area of the printing area is increased due to bleeding of the printing material, and the end of the printing material Becomes irregularly shaped.
  • One method for preventing such bleeding of the printing material is to provide a printing material reservoir having a concave groove in the vicinity of the opening on the side of the screen printing plate that comes into contact with the printing material (example) For example, see JP-A-10-329444).
  • a bank is provided at a certain height in the normal direction of the contact surface with the substrate along the opening end on the side of the screen printing plate that contacts the substrate.
  • a method for example, see JP-A-5-270161.
  • the surface shape of the printing material greatly affects the bleeding phenomenon.
  • the surface shape of the printed material is an assembly of square pyramids called textures, so the screen printing plate is not necessarily printed. It does not adhere to the surface and opens a gap. In such a case, the above method is also effective.
  • the present invention has been made in view of the above problems, and an object of the present invention is to control bleeding of a printing material for screen printing, even if it is a fine design.
  • the aim is to provide a low-cost, high-quality screen printing plate that can accurately print the desired printing pattern with high transferability.
  • a screen printing plate provided with an opening for discharging a printing material for forming a target printing pattern on a printing material at least in screen printing.
  • the size of the opening is smaller than the target printing pattern, and the opening end of the opening has an uneven pattern shape different from the target printing pattern shape.
  • a screen printing plate is provided which is characterized by being.
  • the printing material has a larger spread width in the vicinity of the concave portion (opening force, the portion where the opening becomes narrower) in the concave / convex pattern at the opening end, and the bleeding width decreases in the vicinity of the convex portion (the portion where the opening becomes larger).
  • the pattern is smooth and regular. As a result, irregularities in the shape of the print pattern due to bleeding of the printing material can be prevented, so even if the target print pattern is a fine design, it is more accurately transferred with higher transferability.
  • the shape can be printed.
  • the size of the opening is made smaller than the target printing pattern, so that the printing material after the printing material has blotted.
  • the shape of the print pattern can be matched with the shape of the target print pattern.
  • the concavo-convex pattern shape of the opening end portion of the opening portion is such that the convex portion is at a position reduced by 0 to 25 ⁇ m from the end portion of the target printing pattern. preferable. In this way, by making the convex part of the opening at a position that is reduced by 0 to 25 m from the end of the target print pattern, the shape of the print pattern after the printing material has blotted can be made more accurate. To the shape of the target print pattern.
  • the height of the protrusion with respect to the recess is 5 to 25 m.
  • the height force of the convex portion with respect to the concave portion is 5 to 25 / ⁇ ⁇ , so that the spread width of the printing material in the vicinity of the concave portion is more effectively increased and the blur width in the vicinity of the convex portion is reduced. Therefore, the printed pattern after printing can be made more effective and smooth.
  • the uneven pattern shape at the opening end of the opening has a period of the uneven pattern of 5 to 50 m.
  • the period of the concave / convex pattern is 5 to 50 m, it is possible to effectively increase the spread width of the printing material near the concave portion and reduce the blur width near the convex portion.
  • the printing pattern can be made more effective and smooth and regular.
  • the regular printed pattern has a shape whose period coincides with the concave / convex pattern at the opening end.
  • the width of the recess is 5 to 25 / zm. In this way, when the width of the concave portion is 5 to 25 / zm, the spread width of the printing material near the concave portion can be increased more effectively, and the printed pattern after printing can be more effectively smoothed. It can be.
  • the uneven pattern shape of the opening end of the opening is at least one of a triangular wave, a rectangular wave, and a sine wave, or a combination of these shapes.
  • the concave / convex pattern shape is at least one of a triangular wave, a rectangular wave, and a sine wave, or a combination of these shapes, thereby forming a concave / convex pattern having a simple and accurate synchronization.
  • the concavo-convex pattern shape of the opening end portion of the opening portion is formed by periodically forming bag-like concave portions.
  • the concave / convex pattern shape is such that bag-like concave portions are periodically formed, so that it is possible to produce a portion that actively causes bleeding, and as a result, more effective bleeding occurs. Can be controlled. That is, it is possible to positively induce bleeding directly under the non-opening portion surrounded by the bag-like opening portion.
  • the shape of the bag-shaped recess is circular or trapezoidal.
  • the shape force of the bag-like recess is thus circular or trapezoidal, so that bleeding can be easily induced, the design and production of the bag-like recess is easy, and the manufacturing cost can be kept low.
  • a screen printing apparatus comprising a translation mechanism that translates the squeegee.
  • the squeegee is translated by a parallel movement mechanism, and the printing material is discharged through the opening of the screen printing plate and applied to the substrate. Since the end portion has a concavo-convex pattern shape different from the target print pattern shape, the end portion has a concavo-convex pattern at the opening end portion of the opening portion. In the vicinity of the concave portion, the spread width of the printing material is increased, and in the vicinity of the convex portion, the spread width is decreased. As a result, the end portion of the print pattern has a smooth and regular shape. As a result, it is possible to prevent irregularities in the shape of the print pattern due to bleeding of the printing material, so even if the target print pattern is a fine design, it is more accurate with high transferability and the desired pattern shape. Can be printed.
  • the above-described screen printing apparatus provides a solar cell in which electrodes are formed on the surface of a substrate by screen printing.
  • FIG. 1 is a schematic plan view showing an example of a screen printing plate of the present invention in which an opening end of an opening has an uneven pattern shape (triangular wave).
  • FIG. 2 is a schematic plan view showing an example of the screen printing plate of the present invention having an uneven pattern shape (triangular wave) at the opening end of an opening and an example of a printed pattern after printing.
  • uneven pattern shape triangular wave
  • FIG. 3 is a schematic plan view showing an example of a conventional screen printing plate in which an opening end of an opening has a linear shape.
  • FIG. 4 is a schematic view for explaining a bleeding phenomenon in screen printing by the screen printing plate of the present invention.
  • FIG. 5 is a schematic plan view showing an example of the screen printing plate of the present invention, in which the end of the target printing pattern is (a) linear and (b) curved.
  • FIG. 3 is a schematic plan view showing an example of a bag-shaped recess ((a) trapezoid (b) circle) formed.
  • FIG. 7 is a schematic plan view showing an example of the screen printing plate of the present invention, in which the uneven pattern shape of the opening end of the opening is a triangular wave, and the target printing pattern is a band (Example 1) ).
  • FIG. 8 is a schematic plan view showing an example of the screen printing plate of the present invention, in which the uneven pattern shape of the opening end of the opening is a circular bag-like recess and the target print pattern is a belt shape. (Example 2).
  • FIG. 9 is a schematic sectional view of an example of the screen printing apparatus of the present invention.
  • Screen printing is used in many industrial fields because of its high productivity. However, when screen printing is used to print a desired printing pattern, especially a fine design, it is opened. There is a problem that transferability is lowered due to bleeding of the printing material from the end. On the other hand, in screen printing used in the electronic industry field, for example, printing of patterns for solar cells, etc., particularly high transferability is required.
  • the present inventors have conducted intensive research, and at least a screen printing plate provided with an opening for discharging a printing material for forming a desired printing pattern on a printed material in screen printing.
  • the size of the opening is smaller than the target print pattern, and the opening end of the opening has an uneven pattern shape different from the target print pattern shape. This prevents irregularities in the shape of the printed pattern due to bleeding of the printing material, and even if the target printed pattern is a fine design, the pattern shape as intended can be obtained more accurately with high transferability. I found out that it can be printed.
  • FIG. 1 and FIG. 2 are schematic plan views showing an example of the screen printing plate of the present invention in which the opening end of the opening has an uneven pattern shape (triangular wave).
  • FIG. 9 is a schematic sectional view of an example of the screen printing apparatus of the present invention.
  • the screen printing apparatus 10 using the screen printing plate 1 of the present invention includes at least a screen.
  • the screen printing plate 1 is provided with the opening 2 for discharging the printing material 12 for forming the target printing pattern 4 on the substrate 11, and the size of the opening 2 is the target printing pattern.
  • 4 and the opening end 3 of the opening 2 is translated on the screen printing plate 1 having a concavo-convex pattern shape different from the shape of the target printing pattern 4 and the screen printing plate 1.
  • the squeegee 21 that discharges the printing material 12 through the opening 2 and applies the printing material 12 to the substrate 11 fixed on the chuck table 23, and the translation mechanism 20 that translates the squeegee 21 are provided.
  • the screen printing plate 1 of the present invention is provided with an opening 2 for discharging a printing material 12 for forming a target printing pattern 4 on a substrate 11 in screen printing.
  • the size of the opening 2 is smaller than that of the target print pattern 4, so that the printing material 12 can match the shape of the print pattern 5 after printing with the shape of the target print pattern 4. I'll do it.
  • the concave portion in the concavo-convex pattern of the opening end 3 of the opening 2 is used during screen printing.
  • the spread width of the printing material 12 increases, and in the vicinity of the convex portion 6, the spread width decreases, so that the printed pattern 5 after printing has a smooth and regular shape. This is because if the end of the opening has a similar shape as the target pattern shape as before, if the end is a straight line, the printing material bleeds irregularly and cannot be controlled. This is in contrast to the inability to form the desired printed pattern.
  • the printed pattern after printing is blurred. Due to the phenomenon, it becomes a gentle pattern 5 with the same period as the triangular wave.
  • the printed pattern 5 after printing expands from the opening due to bleeding.
  • the shape of the printed pattern 5 after printing is a shape in which the corners of the triangular wave of the boundary line are dulled (rounded), and the period of the shape of the edge coincides with the period of the triangular wave of the boundary line. In other words, it does not become an irregular pattern like 5a in Fig. 3.
  • FIG. 1 In screen printing, the printing material 12 is pushed out from the opening 2 by the sliding motion of the squeegee 21 and comes into contact with the surface of the substrate 11. Ideally, it is desirable that the contact surface between the printing material 12 and the substrate 11 is limited to a position directly below the opening 2, but a certain pressure is applied to the printing material 12 to start from the opening 2 of the screen printing plate 1. Due to the printing principle of extruding, it is inevitable that the printing material 12 oozes into the space between the non-opening 1B of the screen printing plate and the substrate 11.
  • the volume of the printing material 12 that spreads from the opening end 3 under the non-opening portion 1B is the same per unit length of the opening end 3. Further, when the printing material 12 bleeds from the opening 2 under the non-opening 1B, the printing material 12 bleeds in the direction perpendicular to the opening end 3 as indicated by the arrow in FIG. As a result, the ideal spread width should be equidistant from the open end 3 and should be as shown by the alternate long and short dash line in the figure.
  • the density of the arrows 8 is different from that of the other straight portions in the vicinity of the convex portion 6 of the opening 2 and in the vicinity of the concave portion 7 of the opening 2. Further, the density of the arrows 8 is different between the periphery of the convex portion 6 of the opening 2 and the periphery of the concave portion 7 of the opening 2.
  • the volume of the printing material 12 that oozes out is small. The volume of the printing material 12 that oozes out is large in the area surrounded by.
  • the spreading width force S decreases immediately below the recess of the non-opening portion 1B (around the tip of the convex portion 6 of the opening 2), and immediately below the convex portion of the non-opening portion 1B (the recess 7 of the opening 2). In the area surrounded by), the spread width increases. Then, the end surface of the printing material 12 (broken line in the figure) has a shape that cancels out the irregularities of the opening 2 and the corners become blunt (round).
  • Printing after printing is performed by utilizing the phenomenon that the amplitude of the printed pattern 5 after printing becomes smaller than the amplitude of the opening end 3 of the opening 2 and the non-opening 1B due to the phenomenon that the corners are rounded. It is possible to control the bleeding shape by bringing the shape of pattern 5 closer to the shape of the desired printed pattern 4. It is the principle of the present invention.
  • a periodic wave such as a triangular wave having a force substantially the same as the size of bleeding under the printing conditions originally used and a smaller size may be produced in the opening 2.
  • the period and amplitude of the periodic wave at the opening end 3 are made sufficiently larger than the size of the original bleeding, the bleeding in the straight line portion of the periodic wave cannot be ignored.
  • a concavo-convex pattern is produced with an amplitude smaller than the spread width in the printing conditions to be used.
  • the unevenness of the shape of the printed pattern 5 after printing is reduced.
  • the bleeding is performed so that the center of the amplitude follows the shape of the desired print pattern 4.
  • An uneven pattern is produced with an amplitude smaller than the width.
  • the concavo-convex pattern shape of the opening end 3 of the opening 2 is set so that the protrusion 6 is reduced by 0 to 25 m from the end of the target print pattern 4.
  • the shape of the printed pattern 5 after printing after the printing material 12 has spread can be more accurately matched with the shape of the intended printed pattern 4.
  • the uneven pattern shape of the opening end 3 of the opening 2 is a height force of the protrusion 6 with respect to the recess 7 of 5 to 25 / ⁇ ⁇ , printing in the vicinity of the recess 7 is more effectively performed. Since the spread width of the material 12 can be increased and the spread width near the convex portion 6 can be reduced, the printed pattern 5 after printing is made more effective and smooth and matches the target pattern 4. be able to.
  • the uneven pattern shape of the opening end 3 of the opening 2 is such that the period of the uneven pattern is 5 to 50 / ⁇ ⁇ . Since the spread width of the printing material 1 2 can be increased and the spread width near the convex portion 6 can be reduced, the printed pattern 5 after printing is made more effective and smooth and regular. be able to. Note that the regular printed pattern shape has a period that coincides with the concavo-convex pattern of the opening end 3. Therefore, the shape of the pattern 5 after printing can be freely controlled.
  • the width of the recess 7 is 5 to 25 / zm. As a result, the spread width of the printing material 12 in the vicinity of the recess 7 can be increased more effectively, and the printed pattern 5 after printing can be made more effective and smooth. Can do.
  • the uneven pattern shape of the opening end 3 of the opening 2 is at least one of a triangular wave, a rectangular wave, a sine wave, or a combination of these shapes. It is possible to form a concavo-convex pattern having a simple and accurate synchrony, and it is easy to design and produce the concavo-convex pattern, thereby reducing the manufacturing cost. In addition, with such a pattern, the printing material easily bleeds in the recesses, and the pattern after printing is easily flattened.
  • the concave-convex pattern shape of the opening end 3 of the opening 2 is formed by periodically forming bag-like concave portions 7B. It is possible to create a spot that actively causes bleeding, and to control bleeding more effectively. Bleeding can be positively induced directly below the non-opening 1B surrounded by the opening 2 in the bag shape.
  • the shape of the bag-like recess 7B is a trapezoid as shown in Fig. 6 (a) or a circle as shown in Fig. 6 (b). It is possible to cause the ink to bleed and be filled with a printing material, and to easily design and manufacture the bag-like recess 7B, thereby reducing the manufacturing cost.
  • a concave portion such as a groove or a hole may be provided.
  • the concave portion has a groove shape.
  • the substrate 11 for example, a silicon single crystal wafer is used, and particularly the force with which the solar cell silicon wafer is used, the shape and physical properties of the wafer are not particularly limited.
  • the present invention can be applied to the case where finger electrodes or bus bar electrodes are printed as electrode patterns of solar cells.
  • the substrate 11 of the present invention can be applied to materials other than silicon single crystal wafers, and may be a printed circuit board that requires complicated pattern printing!
  • the squeegee 21 is composed of a squeegee rubber 15 that is a member for applying the printing material 12 to the substrate 11 and a squeegee jig 16 that supports the squeegee rubber 15 on the screen printing plate 1.
  • the parallel movement that moves on the guide rail 27 while controlling the printing pressure and moving speed It can be translated by the moving mechanism 20.
  • the squeegee 21 moves on the screen printing plate 1 to discharge the printing material 12 through the opening 2 and applies it to the substrate 11.
  • the translation mechanism 20 is provided with means for controlling the movement speed through a connecting portion of the squeegee jig 16 fixed directly on the guide rail 27. Furthermore, the squeegee jig 16 or the translation mechanism 20 In this case, it is preferable to provide a printing pressure adjusting actuator for adjusting the pressure with which the squeegee 21 presses the screen printing plate 1 through the printing material 12.
  • the actuator can be connected to an actuator control circuit or the like, and the squeegee 21 can be moved up and down by compressed air to adjust the pressure with which the squeegee 21 presses the screen printing plate 1.
  • the guide rail 27 can be installed on the plate frame 24 of the screen printing plate 1 with a column 26 provided with a guide rail height adjusting actuator 25 and installed on the top thereof.
  • the squeegee 21 can be fixed to the parallel movement mechanism 20 by the squeegee jig 16, and the squeegee jig 16 can be slid parallel to the screen printing plate 1 by the guide rail 27.
  • the height of the squeegee 21 with respect to the screen printing plate 1 can be controlled by adjusting the height of the guide rail 27 using the guide rail height adjusting actuator 25.
  • the squeegee 21 is translated by the translation mechanism 20, and the printing material 12 is discharged through the opening 2 of the screen printing plate 1 to form the substrate 11 to be printed.
  • the opening end 3 of the opening 2 of the screen printing plate 1 has a concave / convex pattern shape different from the target printing pattern shape, so printing is performed in the vicinity of the concave portion 7 in the concave / convex pattern of the opening end 3 of the opening 2
  • the spread width of the material 12 is increased, and the spread width is decreased in the vicinity of the convex portion 6, so that the end portion of the print pattern has a smooth and regular shape.
  • the opening end of the opening as shown in Fig. 7 has an amplitude of 1
  • a screen printing plate 1 having a triangular wave of 0 m and a period of 20 m and an opening having a distance of 90 m between the amplitude centers of the triangular waves was prepared (Example 1).
  • the concave portion is a bag-shaped (circular) 7B screen printing plate, and the circular bag portion has a diameter of 10 ⁇ m, a period of 20 m, and an opening width of 100 ⁇ m. (Example 2) was also prepared.
  • the screen printing plate used was a ridge made of fine stainless steel wires.
  • the number of meshes is 380 and the emulsion thickness is 15 m.
  • conductive paste was printed on 50 silicon single crystal wafers (150 in total) using each of the above-mentioned plates.
  • the viscosity of this conductive paste is 50 Pa's.
  • the printing conditions according to the present invention were such that the force with which the squeegee pressed the screen printing plate was 300 N, and the squeegee speed was 150 mm / s.
  • Table 1 shows the minimum, maximum, and median values of the print width obtained.
  • the median print width was 101 ⁇ m in Example 1 according to the present invention, 111 m in Example 2, and 126 ⁇ m in the comparative example.
  • the difference between the maximum value and the minimum value of the print width is more than twice different between Example 2 and the comparative example. This is a big difference. In this experiment, we are trying to obtain the shape of the printed pattern after printing which is closer to a straight line.
  • the present invention is not limited to the above embodiment.
  • the above embodiment is an exemplification, and any device that has substantially the same configuration as the technical idea described in the claims of the present invention and exhibits the same operational effects can be used. It is included in the technical scope.

Abstract

　本発明は、少なくとも、スクリーン印刷において被印刷物上に目的の印刷パターン４を形成するための印刷材料を吐き出す開口部２が設けられたスクリーン印刷版１であって、前記開口部２の大きさは、前記目的の印刷パターン４より縮小されており、かつ、前記開口部２の開口端部３が、前記目的の印刷パターン形状と異なる凹凸パターン形状を有するものであることを特徴とするスクリーン印刷版である。これにより、スクリーン印刷の印刷材料の滲みを制御することができて、微細な図案であっても高い転写性で正確に目的の印刷パターンを印刷できる低コストで高品質なスクリーン印刷版が提供される。

Description

明 細 書
スクリーン印刷版およびスクリーン印刷装置
技術分野
[0001] 本発明は、スクリーン印刷において被印刷物上に目的の印刷パターンを形成する ための印刷材料を吐き出す開口部が設けられたスクリーン印刷版に関する。 背景技術
[0002] スクリーン印刷は、スキージの摺動動作によってインキやペーストなどの印刷材料を スクリーン印刷版の開口部力 押し出し、開口部の形状を被印刷物に転写することに よって目的の印刷パターンを印刷する印刷方法である。
スクリーン印刷で用いるスクリーン印刷版には、材質や製造方法の違いによって多 くの種類が存在する。なかでも、金属細線を編み込んだ紗に乳剤で印刷する開口部 を形成したものや、金属薄板にエッチングやレーザ加工により印刷する開口部を形 成したものが、一般的である。
[0003] スクリーン印刷は、生産性が高いため、多くの産業分野で活用されている。
しかし、このスクリーン印刷を用いて、 目的の印刷パターン、特に、微細な図案を印 刷する場合に、開口端部力 の印刷材料の滲みによって、転写性が低下するという 問題がある。一方で、電子工業分野で使用されているスクリーン印刷では、特に高い 転写性が求められている。
[0004] 例えば、図 3のように、開口部 2aの開口端部 3aが直線状であるスクリーン印刷版 la を用いて印刷動作をした場合、印刷材料の滲みのため、印刷材料の端部の形状で ある印刷後の印刷パターン 5aは目的の印刷パターン 4aと一致せず、直線状になら ない。元来、印刷材料の端部を直線状にするために開口端部 3aを直線としているに もかかわらず、印刷材料の滲みのため、印刷領域の面積が拡大する上に、印刷材料 の端部は不規則な形状となってしまう。
[0005] この滲み現象の原因には様々なものが複合的に作用していると考えられる力 特に は、（1)高い印圧、（2)被印刷物の表面形状、（3)メッシュの交点、（4)印刷材料の 粘度が挙げられる。
[0006] このような印刷材料の滲みを防止する方法の 1つに、スクリーン印刷版の被印刷物 と接触する側の開口部近傍に、凹形の溝の印刷材料溜まりを設ける方法がある（例 えば、特開平 10— 329444号公報参照)。
[0007] また、他の滲み防止方法としては、スクリーン印刷版の被印刷物と接触する側に、 開口端部に沿って、被印刷物との接触面の法線方向に堤をある高さで設ける方法が ある（例えば、特開平 5— 270161号公報参照)。
しかし、これらの方法では、スクリーン印刷版の作製方法が複雑になり、作製コスト が増大すると 、う問題点がある。
[0008] また、被印刷物の表面形状は滲み現象に大きく影響する。例えば、導電性ペースト のスクリーン印刷によって電極を作製している太陽電池では、被印刷物（基板)の表 面形状はテクスチャと呼ばれる四角錘の集合体となっているため、必ずしもスクリーン 印刷版は被印刷物表面と密着せず、隙間が開いてしまう。その様な場合には、上記 方法も効果的であるとは 、えな 、。
発明の開示
[0009] そこで、本発明は、上記問題点に鑑みてなされたものであって、本発明の目的は、 スクリーン印刷の印刷材料の滲みを制御することができて、微細な図案であっても高 い転写性で正確に目的の印刷パターンを印刷できる低コストで高品質なスクリーン印 刷版を提供することである。
[0010] 上記目的を達成するために、本発明によれば、少なくとも、スクリーン印刷において 被印刷物上に目的の印刷パターンを形成するための印刷材料を吐き出す開口部が 設けられたスクリーン印刷版であって、前記開口部の大きさは、前記目的の印刷バタ ーンより縮小されており、かつ、前記開口部の開口端部が、前記目的の印刷パター ン形状と異なる凹凸パターン形状を有するものであることを特徴とするスクリーン印刷 版が提供される。
[0011] このように開口部の開口端部が、前記目的の印刷パターン形状と異なる凹凸バタ ーン形状を有するスクリーン印刷版を用いてスクリーン印刷を行えば、前記開口部の 開口端部の凹凸パターンにおける凹部（開口力 、さくなる部分)近傍では印刷材料 の滲み幅が大きくなり、凸部（開口が大きくなる部分)近傍では滲み幅が小さくなるの で、印刷後の印刷パターンが滑らかで規則的な形状となる。そのため、印刷材料の 滲みによる印刷パターンの形状の不規則化を防止することができるので、目的の印 刷パターンが微細な図案であってもより高い転写性でより正確に、目的通りのパター ン形状を印刷することができる。また、スクリーン印刷では、滲み現象を皆無にするこ とは不可能であるので、前記開口部の大きさは、目的の印刷パターンより縮小された ものとすることにより、印刷材料が滲んだ後の印刷パターンの形状を、目的の印刷パ ターンの形状と一致させることができる。
[0012] このとき、前記開口部の開口端部の凹凸パターン形状は、凸部が、前記目的の印 刷パターンの端部よりも 0〜25 μ m縮小された位置となるものであることが好ましい。 このように開口部の凸部が目的の印刷パターンの端部よりも 0〜25 m縮小された 位置となるようにすることにより、印刷材料が滲んだ後の印刷パターンの形状を、さら に正確に目的の印刷パターンの形状と一致させることができる。
[0013] また、前記開口部の開口端部の凹凸パターン形状は、凹部に対する凸部の高さが 、 5〜25 mであることが好ましい。
このように凹部に対する凸部の高さ力 5〜25 /ζ πιであることにより、より効果的に 凹部近傍での印刷材料の滲み幅を大きくし、凸部近傍での滲み幅を小さくすることが できるので、印刷後の印刷パターンをより効果的に滑らかなものとすることができる。
[0014] さらに、前記開口部の開口端部の凹凸パターン形状は、該凹凸パターンの周期が 、 5〜50 mであることが好ましい。
このように凹凸パターンの周期が 5〜50 mであることにより、より効果的に凹部近 傍での印刷材料の滲み幅を大きくし、凸部近傍での滲み幅を小さくすることができる ので、印刷パターンをより効果的に滑らかで、かつ、規則的なものとすることができる 。なお、規則的な印刷パターンの形状は、周期が開口端部の凹凸パターンと一致す るちのとなる。
[0015] また、前記開口部の開口端部の凹凸パターン形状は、凹部の幅が、 5〜25 /z mで あることが好ましい。 このように凹部の幅が 5〜25 /z mであることにより、より効果的に凹部近傍での印刷 材料の滲み幅を大きくすることができ、印刷後の印刷パターンをより効果的に滑らか なちのとすることができる。
[0016] さらに、前記開口部の開口端部の凹凸パターン形状は、少なくとも、三角波、矩形 波、正弦波のいずれかの形状、または、これらの形状を組み合わせたものであること が好ましい。
このように凹凸パターン形状は、少なくとも、三角波、矩形波、正弦波のいずれかの 形状、または、これらの形状を組み合わせたものとすることにより、簡単で正確な同期 性を有する凹凸パターンを形成することができるとともに、凹凸パターンの設計およ び作製が容易であり、製造コストを低く抑えることができる。
[0017] また、前記開口部の開口端部の凹凸パターン形状は、袋状の凹部が周期的に形 成されたものであることが好まし 、。
このように凹凸パターン形状は袋状の凹部が周期的に形成されたものとすることに よって、積極的に滲みを生じさせる箇所を作製することができて、結果として、より効 果的に滲みを制御することができる。すなわち、この袋状の開口部に囲まれた非開口 部の直下に積極的に滲みを誘導することができる。
[0018] さらに、前記袋状の凹部の形状が、円形または台形であることが好ましい。
このように袋状の凹部の形状力 円形または台形であることにより、滲みを容易に誘 導できるし、袋状の凹部の設計および作製が容易であり、製造コストを低く抑えること ができる。
[0019] また、本発明によれば、少なくとも、上記のスクリーン印刷版と、該スクリーン印刷版 上で平行移動することによって前記開口部を通じて印刷材料を吐き出させて被印刷 物に塗布するスキージと、該スキージを平行移動させる平行移動機構とを備えたもの であることを特徴とするスクリーン印刷装置が提供される。
[0020] このようなスクリーン印刷装置によって平行移動機構によりスキージを平行移動させ て、スクリーン印刷版の開口部を通じて印刷材料を吐き出させて被印刷物に塗布す れば、スクリーン印刷版の開口部の開口端部が、前記目的の印刷パターン形状と異 なる凹凸パターン形状を有するので、前記開口部の開口端部の凹凸パターンにおけ る凹部近傍では印刷材料の滲み幅が大きくなり、凸部近傍では滲み幅が小さくなる ため、結果として印刷パターンの端部が滑らかで規則的な形状となる。そのため、印 刷材料の滲みによる印刷パターンの形状の不規則化を防止することができるので、 目的の印刷パターンが微細な図案であっても高い転写性でより正確に、 目的通りの ノ ターン形状を印刷することができる装置となる。
[0021] 特に、前記のスクリーン印刷装置によって、基板の表面上にスクリーン印刷で電極 が形成されたものであることを特徴とする太陽電池が提供される。
このように、前記のスクリーン印刷装置によって、スクリーン印刷で電極が形成され た太陽電池とすれば、正確にフィンガー電極等のパターンを低コストで印刷でき、安 価で高品質の太陽電池となる。
[0022] このように、本発明により、スクリーン印刷の際の印刷材料の滲みによる印刷パター ンの形状の不規則化を防止することができるので、 目的の印刷パターンが微細な図 案であっても高い転写性でより正確に、 目的通りのパターン形状を印刷することが可 能となった。 図面の簡単な説明
[0023] [図 1]本発明のスクリーン印刷版であって、開口部の開口端部が凹凸パターン形状（ 三角波）を有するものの一例を表した概略平面図である。
[図 2]本発明のスクリーン印刷版であって、開口部の開口端部の凹凸パターン形状（ 三角波）を有するものの一例と、印刷後の印刷パターンの例を表した概略平面図で ある。
[図 3]従来のスクリーン印刷版であって、開口部の開口端部が直線状の形状を有する ものの一例を表した概略平面図である。
[図 4]本発明のスクリーン印刷版によるスクリーン印刷における、滲み現象を説明する ための概略図である。
[図 5]本発明のスクリーン印刷版であって、 目的の印刷パターンの端部が（a)直線状 であるものと (b)曲線状であるものの例を表した概略平面図である。
[図 6]本発明のスクリーン印刷版であって、開口部の開口端部の凹凸パターン形状は 、袋状の凹部（(a)台形 (b)円形)が形成されたものの例を表した概略平面図である。
[図 7]本発明のスクリーン印刷版であって、開口部の開口端部の凹凸パターン形状が 三角波で、目的の印刷パターンが帯状であるものの一例を表した概略平面図である (実施例 1)。
[図 8]本発明のスクリーン印刷版であって、開口部の開口端部の凹凸パターン形状が 円形の袋状の凹部で、目的の印刷パターンが帯状であるものの一例を表した概略平 面図である（実施例 2)。
[図 9]本発明のスクリーン印刷装置の一例の概略断面図である。
発明を実施するための最良の形態
[0024] スクリーン印刷は、生産性が高いため、多くの産業分野で活用されているが、スクリ ーン印刷を用いて、目的の印刷パターン、特に、微細な図案を印刷する場合に、開 口端部からの印刷材料の滲みによって、転写性が低下するという問題がある。一方 で、電子工業分野、たとえば太陽電池等のパターンの印刷等で使用されているスクリ ーン印刷では、特に高 、転写性が求められて 、る。
[0025] そこで、本発明者等は、鋭意研究を重ね、少なくとも、スクリーン印刷において被印 刷物上に目的の印刷パターンを形成するための印刷材料を吐き出す開口部が設け られたスクリーン印刷版であって、前記開口部の大きさは、前記目的の印刷パターン より縮小されており、かつ、前記開口部の開口端部が、前記目的の印刷パターン形 状と異なる凹凸パターン形状を有するものとすることにより、印刷材料の滲みによる印 刷パターンの形状の不規則化を防止することができ、目的の印刷パターンが微細な 図案であっても高い転写性でより正確に、目的通りのパターン形状を印刷することが できることを見出した。
[0026] 以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら詳細に説明するが、本発 明はこれらに限定されるものではない。
図 1および図 2は、本発明のスクリーン印刷版であって、開口部の開口端部が凹凸 パターン形状 (三角波）を有するものの一例を表した概略平面図である。図 9は、本 発明のスクリーン印刷装置の一例の概略断面図である。
[0027] 本発明のスクリーン印刷版 1を用いたスクリーン印刷装置 10は、少なくとも、スクリー ン印刷において被印刷物 11上に目的の印刷パターン 4を形成するための印刷材料 12を吐き出す開口部 2が設けられたスクリーン印刷版 1であって、開口部 2の大きさ は、 目的の印刷パターン 4より縮小されており、かつ、開口部 2の開口端部 3が、 目的 の印刷パターン 4の形状と異なる凹凸パターン形状を有するスクリーン印刷版 1と、ス クリーン印刷版 1上で平行移動することによって開口部 2を通じて印刷材料 12を吐き 出させてチャックテーブル 23上に固定された被印刷物 11に塗布するスキージ 21と、 スキージ 21を平行移動させる平行移動機構 20とを備えたものである。
[0028] 本発明のスクリーン印刷版 1は、スクリーン印刷において被印刷物 11上に目的の印 刷パターン 4を形成するための印刷材料 12を吐き出す開口部 2が設けられたもので ある。
開口部 2の大きさは、 目的の印刷パターン 4より縮小されており、これにより、印刷材 料 12が印刷後の印刷パターン 5の形状を、 目的の印刷パターン 4の形状と一致させ ることがでさる。
[0029] 開口部 2の開口端部 3が、 目的の印刷パターン形状 4と異なる凹凸パターン形状を 有することにより、スクリーン印刷の際に、開口部 2の開口端部 3の凹凸パターンにお ける凹部 7近傍では印刷材料 12の滲み幅が大きくなり、凸部 6近傍では滲み幅が小 さくなるので、印刷後の印刷パターン 5が滑らかで規則的な形状となる。これは、従来 のように目的のパターン形状と同じ、相似形をした開口部の開口端部とすると端部が 直線状であれば、印刷材料が不規則に滲んで、コントロールできず、結果として目的 の印刷パターンを形成することができないこととは対照的である。
[0030] このように、印刷材料 12の滲みによる印刷パターンの形状の不規則化を防止する ことができ、すなわち、滲みが生じた後の印刷パターン形状を制御することができるの で、 目的の印刷パターン 4が微細な図案であっても高い転写性でより正確に、 目的通 りのパターン形状を印刷することができる。
[0031] たとえば、図 2に示したように、例えば、三角波を開口部 2の開口端部 3としたスクリ ーン印刷版 1を用いて印刷動作をした場合、印刷後の印刷パターンは、滲み現象に より三角波と同じ周期をもったゆるやかなパターン 5となる。
[0032] 図 3に示した直線状の開口端部 3aの場合と同様に、印刷材料 12の端部である印 刷後の印刷パターン 5は滲みによって開口部より拡大する。しかし、印刷後の印刷パ ターン 5の形状は、境界線の三角波の角部が鈍った (丸まった)形状となり、端部の形 状の周期は境界線の三角波の周期と一致する。すなわち、図 3の 5aのような不規則 なパターンとはならない。
[0033] この三角波の角部が鈍る理由を、図 4及び図 9を用いて説明する。まず、スクリーン 印刷では、印刷材料 12はスキージ 21の摺動動作によって開口部 2から押し出され、 被印刷物 11表面に接触する。理想的には、印刷材料 12と被印刷物 11との接触面 は、開口部 2直下に限定されることが望ましいが、ある圧力を印刷材料 12に印加して スクリーン印刷版 1の開口部 2から押し出すという印刷の原理上、印刷材料 12がスク リーン印刷版の非開口部 1Bと被印刷物 11との間の空間に滲み出ることは避けられ ない。
[0034] 開口端部 3から非開口部 1Bの下に滲む印刷材料 12の体積は、開口端部 3の単位 長さあたり同じとなる。また、印刷材料 12は、開口部 2から非開口部 1Bの下に滲む際 に、図 4中の矢印で示したように開口端部 3の垂直方向に滲む。その結果、理想的な 滲み幅は開口端部 3から等距離となり、図中に一点鎖線で示したようになるはずであ る。
[0035] しかし、開口部 2の凸部 6の周辺と開口部 2の凹部 7の周辺では、矢印 8の密度が他 の直線部分とは異なる。さらに、開口部 2の凸部 6の周辺と開口部 2の凹部 7の周辺と でも、矢印 8の密度が異なる。当然、非開口部 1Bの凹部の直下（開口部 2の凸部 6の 先端周辺）では、滲み出る印刷材料 12の体積が小さぐ非開口部 1Bの凸部の直下（ 開口部 2の凹部 7に囲まれた領域)では滲み出る印刷材料 12の体積が大きい。
[0036] この結果、非開口部 1Bの凹部の直下（開口部 2の凸部 6の先端周辺）では滲み幅 力 S小さくなり、非開口部 1Bの凸部の直下（開口部 2の凹部 7に囲まれた領域)では滲 み幅が大きくなる。そして、印刷材料 12の端面（図中の破線）は、開口部 2の凹凸を 打ち消すような形状となり、角部が鈍る (丸まる)。
[0037] この角部が丸まる現象によって、開口部 2と非開口部 1Bの開口端部 3の振幅よりも 、印刷後の印刷パターン 5の振幅が小さくなる現象を利用して、印刷後の印刷パター ン 5の形状を目的の印刷パターン 4の形状に近づけ、滲み形状の制御を行うことが、 本発明の原理である。
[0038] そのためには、元々使用する印刷条件における滲みの大きさとほぼ同じ力、より小 さい大きさの三角波などの周期波を、開口部 2に作製すれば良い。当然、この開口端 部 3の周期波の周期や振幅を元々の滲みの大きさよりも十分に大きくすれば、周期 波の直線部における滲みも無視できなくなる。
[0039] 例えば、図 5 (a)に点線で示したような直線状の目的の印刷パターン 4の形状を得 たい場合は、使用する印刷条件における滲み幅よりも小さい振幅で凹凸パターンを 作製し、印刷後の印刷パターン 5の形状の凹凸を小さくなるようにする。
また、図 5 (b)に点線で示したような曲線状の目的の印刷パターン 4の形状を得たい 場合は、振幅の中心を所望の目的の印刷パターン 4の形状に沿わせるように、滲み 幅よりも小さい振幅で凹凸パターンを作製する。
[0040] このとき、開口部 2の開口端部 3の凹凸パターン形状は、凸部 6が目的の印刷パタ ーン 4の端部よりも 0〜25 m縮小された位置となるようにすることが好ましぐこれに より、印刷材料 12が滲んだ後の印刷後の印刷パターン 5の形状を、さらに正確に目 的の印刷パターン 4の形状と一致させることができる。
[0041] また、開口部 2の開口端部 3の凹凸パターン形状は、凹部 7に対する凸部 6の高さ 力 5〜25 /ζ πιであることにより、より効果的に凹部 7近傍での印刷材料 12の滲み幅 を大きくし、凸部 6近傍での滲み幅を小さくすることができるので、印刷後の印刷バタ ーン 5をより効果的に滑らかなものとし、目的のパターン 4に合致させることができる。
[0042] さらに、開口部 2の開口端部 3の凹凸パターン形状は、該凹凸パターンの周期が、 5〜50 /ζ πιであることが好ましぐこれにより、より効果的に凹部 7近傍での印刷材料 1 2の滲み幅を大きくし、凸部 6近傍での滲み幅を小さくすることができるので、印刷後 の印刷パターン 5をより効果的に滑らかで、かつ、規則的なものとすることができる。な お、規則的な印刷パターンの形状は、周期が開口端部 3の凹凸パターンと一致する ものとなる。従って、印刷後のパターン 5の形状を自在に制御することができる。
[0043] また、開口部 2の開口端部 3の凹凸パターン形状は、凹部 7の幅が 5〜25 /z mであ ることが好ましい。これにより、より効果的に凹部 7近傍での印刷材料 12の滲み幅を 大きくすることができ、印刷後の印刷パターン 5をより効果的に滑らかなものとすること ができる。
[0044] さらに、開口部 2の開口端部 3の凹凸パターン形状は、少なくとも、三角波、矩形波 、正弦波のいずれかの形状、または、これらの形状を組み合わせたものであることが 好ましぐ簡単で正確な同期性を有する凹凸パターンを形成することができるとともに 、凹凸パターンの設計および作製が容易であり、製造コストを低く抑えることができる 。また、このようなパターンであれば、凹部で印刷材料が容易に滲んで、印刷後のパ ターンを平坦化し易い。
[0045] また、図 6のように、開口部 2の開口端部 3の凹凸パターン形状は、袋状の凹部 7B が周期的に形成されたものとすることが好ましぐこれによつて、積極的に滲みを生じ させる箇所を作製することができて、より効果的に滲みを制御することができる。この 袋状に開口部 2に囲まれた非開口部 1Bの直下に積極的に滲みを誘導することがで きる。
[0046] さらに、前記袋状の凹部 7Bの形状が、図 6 (a)のような台形、あるいは、図 6 (b)のよ うな円形であることが好ましぐこれにより、より容易に凹部に滲みを生じさせて印刷材 料で埋めることができ、また、袋状の凹部 7Bの設計および作製が容易であり、製造コ ストを低く抑えることができる。
[0047] ここで、被印刷物 11としては、コスト上、平板を用いることが好ましいが、溝や穴等 の凹部を設けてもよい。その場合、加工法として研削加工を用いた場合は、凹部は 溝形状となる。
また、被印刷物 11としては、例えばシリコン単結晶ゥエーハが用いられ、特に太陽 電池用シリコンゥエーハが用いられる力 その場合のゥエーハの形状、物性など特に 限定されない。たとえば、太陽電池の電極パターンとしてフィンガー電極やバスバー 電極を印刷するような場合に、本発明は適用できる。また、本発明の被印刷物 11とし ては、シリコン単結晶ゥエーハ以外の素材のものへの適用も可能であり、複雑なパタ ーンの印刷を要するプリント基板等であってもよ!/、。
[0048] スキージ 21は、図 9のように、印刷材料 12を被印刷物 11に塗布する部材であるス キージゴム 15と、スキージゴム 15を支持するスキージ治具 16からなり、スクリーン印 刷版 1上で、印圧や移動速度を制御しながら、ガイドレール 27上を移動する平行移 動機構 20によって平行移動させるものとすることができる。スキージ 21は、スクリーン 印刷版 1上で平行移動することによって開口部 2を通じて印刷材料 12を吐き出させ て被印刷物 11に塗布する。
[0049] 平行移動機構 20には、ガイドレール 27上に直接固定したスキージ冶具 16の連結 部を通じて、移動速度を制御する手段を設けるのが好ましぐさらに、スキージ冶具 1 6または平行移動機構 20には、スキージ 21が印刷材料 12を介してスクリーン印刷版 1を押す圧力を調節するための印刷圧力調整用ァクチユエータを設けることが好まし い。
この場合、ァクチユエ一タをァクチユエータ制御回路等に接続して、圧縮空気ゃ電 力によってスキージ 21を上下させ、スキージ 21がスクリーン印刷版 1を押す圧力を調 節することができる。
[0050] ガイドレール 27は、例えば図 9のように、スクリーン印刷版 1の版枠 24にガイドレー ル高さ調整用ァクチユエータ 25を備えた支柱 26を取り付け、その上部に設置するこ とができる。この場合、スキージ 21はスキージ冶具 16で平行移動機構 20と固定でき 、このスキージ冶具 16はガイドレール 27によりスクリーン印刷版 1に対して平行に滑 走可能となる。スキージ 21のスクリーン印刷版 1に対する高さはガイドレール高さ調整 用ァクチユエータ 25を用いてガイドレール 27の高さを調整することによって制御する ことができる。
[0051] 以上のような本発明のスクリーン印刷装置 10によって平行移動機構 20によりスキー ジ 21を平行移動させて、スクリーン印刷版 1の開口部 2を通じて印刷材料 12を吐き 出させて被印刷物 11に塗布すれば、スクリーン印刷版 1の開口部 2の開口端部 3が、 目的の印刷パターン形状と異なる凹凸パターン形状を有するので、開口部 2の開口 端部 3の凹凸パターンにおける凹部 7近傍では印刷材料 12の滲み幅が大きくなり、 凸部 6近傍では滲み幅が小さくなるため、印刷パターンの端部が滑らかで規則的な 形状となる。
[0052] そのため、印刷材料 12の滲みによる印刷パターンの形状の不規則化を防止するこ とができるので、目的の印刷パターン 4が微細な図案であっても高い転写性で正確に 、目的通りのパターン形状を印刷することができる。 [0053] 以下、実施例及び比較例を示して本発明をより具体的に説明するが、本発明はこ れらに限定されるものではない。
[0054] (実施例、比較例）
厚さ 300 /ζ πι、直径 125mmのシリコン単結晶ゥエーハ 150枚を用意し、水酸化カリ ゥム水溶液でダメージを取り除いた後、図 7に示すような開口部の開口端部を振幅 1
0 m、周期 20 mの三角波で、三角波の振幅中心間距離 90 mの開口部を持つ スクリーン印刷版 1を用意した (実施例 1)。
[0055] また、図 8に示すような凹部が袋状（円形) 7Bのスクリーン印刷版であって、円形の 袋部が直径 10 μ m、周期 20 m、開口幅 100 μ mのスクリーン印刷版も用意した（ 実施例 2)。
一方、比較のために、直線状の開口端部を持ち、開口幅を 100 mとしたスクリー ン印刷版も用意した (比較例)。
[0056] どの版とも、スクリーン印刷版には紗がステンレス製細線で作製されたものを使用し た。メッシュ数は 380、乳剤厚は 15 mである。
次に、上記版それぞれを用いてシリコン単結晶ゥエーハ 50枚ずつ (合計 150枚）に 、導電性ペーストを印刷した。この導電性ペーストの粘度は、 50Pa' sである。
[0057] 本発明による印刷条件は、スキージがスクリーン印刷版を押す力を 300N、スキー ジ速度を 150mm/sとした。
次に、光学顕微鏡を用いて、印刷後のゥエーハ表面における導電性ペーストの印 刷幅を測定した。得られた印刷幅の最小値と最大値、中央値を表 1に示す。
[0058] [表 1] 実施例 1 実施例 2 比較例
最小値 9 7 1 0 5 1 1 3
印刷幅
最大値 1 0 5 1 1 7 1 3 8
( μ m )
中央値 1 0 1 1 1 1 1 2 6
最大値と最小値の
8 1 2 2 5
( At m )
[0059] この結果から、印刷幅の中央値は、本発明による実施例 1で 101 μ m、実施例 2で 111 m、比較例で 126 μ mであった。
印刷幅の最大値と最小値との差は、実施例 2と比較例では 2倍以上異なる。これは 、大きな差である。本実験では、より直線に近い印刷後の印刷パターンの形状を得よ うとしているため、本発明による印刷材料の端面平準化の効果は大きいことがわかる
[0060] また、実施例 1と 2との間では、最大値に大きな差が生じた。これは、実施例 2にお ける直線部分における滲みが強く影響したためである。
[0061] なお、本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。上記実施形態は例示 であり、本発明の特許請求の範囲に記載された技術的思想と実質的に同一な構成 を有し、同様な作用効果を奏するものは、いかなるものであっても本発明の技術的範 囲に包含される。

Claims

請求の範囲
[1] 少なくとも、スクリーン印刷において被印刷物上に目的の印刷パターンを形成する ための印刷材料を吐き出す開口部が設けられたスクリーン印刷版であって、前記開 口部の大きさは、前記目的の印刷パターンより縮小されており、かつ、前記開口部の 開口端部が、前記目的の印刷パターン形状と異なる凹凸パターン形状を有するもの であることを特徴とするスクリーン印刷版。
[2] 前記開口部の開口端部の凹凸パターン形状は、凸部が、前記目的の印刷パター ンよりも 0〜25 μ m縮小された位置となるものであることを特徴とする請求項 1に記載 のスクリーン印刷版。
[3] 前記開口部の開口端部の凹凸パターン形状は、凹部に対する凸部の高さが、 5〜 25 μ mであることを特徴とする請求項 1または請求項 2に記載のスクリーン印刷版。
[4] 前記開口部の開口端部の凹凸パターン形状は、該凹凸パターンの周期が、 5〜50 μ mであることを特徴とする請求項 1な 、し請求項 3の 、ずれか一項に記載のスクリ ーン印刷版。
[5] 前記開口部の開口端部の凹凸パターン形状は、凹部の幅が、 5〜25 mであるこ とを特徴とする請求項 1な ヽし請求項 4の 、ずれか一項に記載のスクリーン印刷版。
[6] 前記開口部の開口端部の凹凸パターン形状は、少なくとも、三角波、矩形波、正弦 波のいずれかの形状、または、これらの形状を組み合わせたものであることを特徴と する請求項 1な 、し請求項 5の 、ずれか一項に記載のスクリーン印刷版。
[7] 前記開口部の開口端部の凹凸パターン形状は、袋状の凹部が周期的に形成され たものであることを特徴とする請求項 1な 、し請求項 5の 、ずれか一項に記載のスクリ ーン印刷版。
[8] 前記袋状の凹部の形状が、円形または台形であることを特徴とする請求項 7に記載 のスクリーン印刷版。
[9] 少なくとも、請求項 1ないし請求項 8のいずれか一項に記載のスクリーン印刷版と、 該スクリーン印刷版上で平行移動することによって前記開口部を通じて印刷材料を 吐き出させて被印刷物に塗布するスキージと、該スキージを平行移動させる平行移 動機構とを備えたものであることを特徴とするスクリーン印刷装置。
[10] 請求項 9に記載のスクリーン印刷装置によって、基板の表面上にスクリーン印刷で 電極が形成されたものであることを特徴とする太陽電池。
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