WO2007069701A1 - 垂直搬送装置 - Google Patents

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WO2007069701A1
WO2007069701A1 PCT/JP2006/324978 JP2006324978W WO2007069701A1 WO 2007069701 A1 WO2007069701 A1 WO 2007069701A1 JP 2006324978 W JP2006324978 W JP 2006324978W WO 2007069701 A1 WO2007069701 A1 WO 2007069701A1
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transfer
conveyor
transport
vertical
track
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PCT/JP2006/324978
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Inventor
Munekuni Oshima
Original Assignee
Asyst Technologies Japan, Inc.
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Publication date
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    • Y10S414/135—Associated with semiconductor wafer handling
    • Y10S414/14—Wafer cassette transporting

Definitions

  • the present invention relates to a vertical transport device that connects a plurality of transport tracks laid on a plurality of floors and transports an object to be transported in a vertical direction.
  • a carrier containing a semiconductor substrate, a glass substrate for a liquid crystal display device, a glass substrate for a photomask, a substrate for an optical disk, etc. is used for a carrier, a transport conveyor, OHT, OHS, etc. It will be transported according to the process by the transport system.
  • Manufacturing factories that use transport systems have expanded production scale and large-scale manufacturing factories, and as a result, the number of manufacturing equipment has increased and the scale of transport systems has increased, and the manufacturing process has been expanded to multiple floors. It may be configured across. In such a case, transport between levels in the vertical direction and transport within the same floor in the horizontal direction are performed.
  • Patent Document 1 a conveyor function described in Patent Document 1 and Patent Document 2 is provided.
  • There are vertical transfer devices such as lifters.
  • a lifter with a compare function is disclosed, and a lifter conveyor is installed at a landing site adjacent to the horizontal part of a three-dimensional loop conveyance device on the first and second floors, and is moved up and down on the first and second floors. Carry out transportation.
  • Patent Document 2 discloses a loading / unloading chain conveyor with a lifter having a function similar to that of Patent Document 1.
  • Patent Document 1 Japanese Patent Laid-Open No. 6-239416
  • Patent Document 2 JP-A-5-262407
  • the conveyor transport direction of the conveyor to be transported and the conveyor transport direction of the conveyor laid on the floor to be unloaded are fixed so that they always coincide with each other.
  • a transfer device transfer port bot, etc.
  • a pantograph type elevation device has a limit in elevation height, and is There is a problem that cannot be handled by a powerful transport system.
  • the stagger crane is a transport device that can move up and down without any restriction in the height direction, a transfer machine such as a transfer robot is required to transfer the load, and the transfer time of the transfer machine is between levels. There is a problem that it causes a decrease in the conveyance efficiency of the machine.
  • the transfer device since the transfer device is used in an elevator equipped with the transfer device, it takes time to transfer the load, and the transfer efficiency between the levels cannot be improved.
  • the present invention provides a transport in which transport tracks in various transport directions are laid on a plurality of floors.
  • the present invention provides a vertical transfer device that can improve transfer efficiency between layers.
  • a vertical transport apparatus is a vertical transport apparatus that connects a plurality of transport rails laid on a plurality of floors and transports an object to be transported in the vertical direction.
  • a transfer conveyor capable of placing a transfer object to be transferred from one of the rails and transferring the transfer object to any of the transfer tracks, and the transfer in accordance with the transfer direction of the transfer track.
  • a rotation direction device that rotates a conveyor, a conveyance direction setting device, a lifting device that vertically elevates the conveyance direction setting device between the conveyance tracks of the plurality of floors, and a conveyance command for an object to be conveyed,
  • the apparatus includes the transfer direction setting device and a vertical transfer control device that controls the lifting device.
  • a transfer conveyor for receiving the transfer direction setting device is laid when the vertical transfer control device receives an object to be transferred.
  • the rotating device may be controlled so as to coincide with the transport direction of the transport track while simultaneously controlling the lifting device so as to move up and down to the floor where the transport conveyor for unloading the device is laid.
  • the elevating device is installed in a vertical direction across a plurality of floors on which the transfer track is laid, and the transfer method And a support member that supports the direction setting device on the lift track, and the transport direction setting device may be lifted and lowered by driving either the lift track or the support member.
  • the transport track is laid in a manufacturing factory consisting of a plurality of floors, and the transport track and the transport conveyor are a single conveyor. Power is composed of good ,.
  • a higher-order transport system force against an object to be transported Based on the transfer command, the transfer conveyor is aligned with the transfer direction of the transfer track that receives the cargo and the transfer track that delivers the load, and at the same time, the transfer track that receives the lift by the lifting device is unloaded from the floor.
  • the transport direction setting device can be moved up and down on the floor where the transport track is laid, and the transport efficiency between layers can be improved in a transport system in which transport tracks in various transport directions are laid on multiple floors.
  • the transfer track and unloading that are automatically received by the rotating device based on the transfer command for the transferred object from the higher transfer system.
  • the transport conveyor can be made to coincide with the transport direction of the transport track, and the transport direction setting device can be raised and lowered from the floor on which the transport track to be unloaded to the floor on which the transport track to be unloaded is laid, In transport systems where transport tracks in various transport directions are laid on multiple floors, transport efficiency between floors can be further improved.
  • a lifting device can be realized with a simple configuration, and in a transport system in which transport tracks in various transport directions are laid on a plurality of floors, a vertical direction between layers Therefore, it is possible to easily realize vertical conveyance between multiple levels.
  • the production scale is increased and the manufacturing plant is enlarged.
  • the number of manufacturing apparatuses is increased and the scale of the transport system is increased.
  • Hierarchy using a roller conveyor transport system where processes are configured across multiple floors and it is important to enable efficient transport between floors in a manufacturing plant that uses a transport system.
  • the conveyance track includes a conveyance track of a conveyance system that employs a conveyance method such as OHS or OHT, in addition to a conveyance conveyor track of a conveyance system that adopts a conveyor conveyance method.
  • the conveyer includes a roller conveyer, a chain conveyer, and a belt conveyer.
  • FIG. 1 is a perspective view showing a vertical transfer device according to the present embodiment.
  • ⁇ 2] It is a front view including a partial cross section showing a turntable of a vertical transfer device equipped with a FOUP according to this embodiment.
  • ⁇ 4 It is a front view for explaining the driving principle of the roller conveyor of the vertical conveying apparatus according to this embodiment.
  • FIG. 5 is a block diagram showing a vertical transfer controller of the vertical transfer apparatus according to the present embodiment.
  • FIG. 6 is a flowchart showing a processing procedure of a turntable controller of the vertical transfer controller according to the present embodiment.
  • ⁇ 7 A flowchart showing the processing procedure of the lifting controller of the vertical transfer controller according to this embodiment.
  • FIG. 8 is a front view including a partial cross section showing the cable carrier of the vertical transfer device according to the present embodiment.
  • FIG. 9 is a front view including a partial cross section showing a cable carrier of a vertical transfer device according to another embodiment.
  • the manufacturing process is applied to a transport system using a roller conveyor laid on a plurality of floors in a semiconductor manufacturing factory configured across a plurality of floors.
  • FIG. 1 is a perspective view showing a vertical transfer device according to this embodiment.
  • the vertical transfer device 1 includes a lifting conveyor (transfer direction setting device) 5, a cable bear (elevating device) 20, a lifting controller 4 and a turntable controller 7 (FIG. 2).
  • the vertical transfer controller (vertical transfer control device) 3 and the force are also configured.
  • the system controller 2 in FIG. 1 is a controller that controls the entire transport system, and issues a transport command to the FOUP 8 that is the transported object.
  • the elevating conveyor 5 is installed in an elevating space 9 that penetrates the fourth floor and is divided by the outer wall 22.
  • ports 21-1 to 21-4 are installed on each floor, and one or more conveyor rails (conveyance tracks) are installed in ports 21-1 to 21-4 on each floor. Is connected and installed.
  • three conveyor rails (conveyor rail 10-1, conveyor rail 11-1, and conveyor rail 12-1) are connected and installed on port 21-1 on the first floor, and three conveyor rails on the second floor.
  • Conveyor rail 10-2, Conveyor rail 11-2, Conveyor rail 12-2) are connected and installed at port 21-2.
  • FIG. 8 is a front view including a partial cross section showing the cable carrier of the vertical transfer device according to the present embodiment.
  • the cable bearer 20 includes a cable (elevating track) 20a and a coupling member (supporting member) 20b.
  • the elevating conveyor 5 is supported by a cable 20a installed in the elevating space 9 with a connecting member 20b as shown in FIG. 8, for example, and under the control of the elevating conveyor controller 4, the cable conveyor 20 (i.e., As the cable 20a) reciprocates in the vertical direction, the cable bearer 20 (that is, the cable 20a) is interlocked with the movement of the cable bearer 20 (that is, the cable 20a), and stops at the ports 21 installed on the first to fourth floors.
  • the cable conveyor 20 i.e., As the cable 20a) reciprocates in the vertical direction, the cable bearer 20 (that is, the cable 20a) is interlocked with the movement of the cable bearer 20 (that is, the cable 20a), and stops at the ports 21 installed on the first to fourth floors.
  • FIG. 2 is a front view including a partial cross-section showing a turntable of a vertical transfer device equipped with the FOUP according to the present embodiment.
  • FIG. 3 is a cross-sectional view taken along the line AA ′ for explaining the turning positioning drive principle of the turntable of the vertical transfer apparatus according to this embodiment.
  • FIG. 4 is a front view for explaining the driving principle of the roller conveyor of the vertical conveying apparatus according to the present embodiment.
  • the elevating conveyor 5 includes a turntable (rotating device) 17 and a roller conveyor (conveyor) 18.
  • the roller conveyor 18 is supported by a table 41 constituting the turntable 17.
  • the table 41 is supported on the pivot shaft 35 by the support member 33, and the pivot shaft 35 is fixed to the lifter frame 16 via the bearing 36.
  • a pulley 34 is fixed to the turning shaft 35 and is connected to a pulley 39 fixed to a rotary shaft 40 of a drive motor 38 via a timing belt 37, and is rotated forward and reverse by driving of the drive motor 38. .
  • a turntable controller 7 is installed in the lifter frame 16, and based on a rotation command of the table 41 detected by a photo sensor 45 and a dog 30 described later, based on a conveyance command from the system controller 2 described later. Then, the drive motor 38 is driven to rotate the table 41.
  • the transport conveyor provided in the elevating conveyor 5 is not limited to the roller conveyor 18 but may be a chain conveyor, a belt conveyor, or the like.
  • the turning positioning mechanism of the turntable 17 constituting the elevating conveyor 5 and the driving principle thereof will be described with reference to FIG. 2 and FIG.
  • the photosensor 4 is configured such that the light receiving element 31 and the light emitting element 32 are paired on the upper end surface of the lifter frame 16.
  • 5 is installed with the dog 30 installed on the lower surface of the table 41 interposed therebetween.
  • the photo sensor 45 and the dog 30 are installed to detect the rotation direction of the turntable 17, that is, the table 41, and determine the conveying direction of the roller conveyor.
  • the turning positioning mechanism of the turntable 17 includes four dog detection sensors 45a, 45b, 45c and 45d, an auxiliary dog detection sensor 45e, and a dog 30 and force.
  • the dog 30 is a rotational position recognition means for the tape sleeve 41 and is a flat plate installed on the table 41 along the outer periphery of the table 41.
  • the dog 30 is formed with a length that covers a range slightly shorter than the half circumference of the table 41.
  • the four dog detection sensors 45a, 45b, 45c, and 45d are light emitting elements on the extension of each dividing line that divides the central angle into four with the rotation axis 52 as the center, on the periphery of the upper surface of the lifter frame 16. 31 and light receiving element 32 are fixedly placed with dog 30 in between.
  • auxiliary dog detection sensor 45e is fixedly installed on the upper peripheral edge of the lifter frame 16 that is separated from the dog detection sensor 45a in the clockwise direction by the center angle ⁇ .
  • dog detection sensor 45a is 90 ° position sensor
  • dog detection sensor 45b is 0 ° position sensor
  • dog detection sensor 45c is + 90 ° position sensor
  • dog detection sensor 45d is + 180 ° position sensor
  • dog detection sensor 45e is called an over-position discrimination sensor.
  • the auxiliary dog detection sensor 45e is installed to discriminate between the + 180 ° ono position and the ⁇ 90 ° over position.
  • the rotational position of the table 41 is determined by the center position of the dog 30. For example, in FIG.
  • the center of the dog 30 is at the 0 ° position
  • the table 41 is at the 0 ° position.
  • the stop position of the table 41 is limited to four positions of 0 °, + 90 °, + 180 °, and ⁇ 90 ° at the center position of the dog 30.
  • the rotational position of the table 41 can be recognized by the combination of the presence or absence of detection of the dog 30 by a total of five photosensors 45 including the detection sensors 45a, 45b, 45c and 45d and the auxiliary dog detection sensor 45e.
  • the table 41 can be rotated in two directions, clockwise and counterclockwise. The rotation is at the 0 ° position as the origin.
  • the turn positioning machine for the turntable 17 described above In addition to determining the transport direction of the roller conveyor, it also detects the position of the turntable in the initialization of the tape position that is performed when the power is turned on. Further, the turning positioning mechanism of the turntable 17 is not limited to the above configuration, and any mechanism that can turn the turntable 17 in a predetermined direction based on the rotational position of the turntable 17 may be used. .
  • the roller conveyor 18 constituting the elevating conveyor 5 will be described with reference to Figs.
  • the roller conveyor 18 is supported on the turntable 17 and includes a roller support frame 29, a roller 27, and a roller shaft 28.
  • the roller 27 is provided on both sides of the frame 29, and includes a driving roller 47 having a driving mechanism provided on one side and a driven roller 44 that is rotatable and does not have a driving mechanism provided on the other side. Is done.
  • the drive roller 47 is composed of five rollers 27 in one block.
  • the drive roller 47 is supported by a roller support frame 29 of the roller conveyor 18 so that the roller shaft 28 can rotate freely.
  • the roller shaft 28 is provided with a load receiving portion 49 and a flange portion 50 on the body.
  • Urethane rubber 51 is inserted into the outer periphery of the flange 49.
  • a toothed pulley 48 is inserted into the roller shaft 28, and a sprocket 54 is fixed to the drive shaft 55 of the drive motor 53.
  • the sprocket 54 is the same as the sprocket 48 fixed to the series of rollers 27. They are arranged in a vertical plane.
  • the timing belt 46 has a plurality of sprockets (five in the example shown in FIG. 4) provided on each of the sprocket 54 of the drive motor 53 that is the drive source of the roller 27 and the series of rollers 27 arranged in a straight line. Engage the tooth side (inner circumferential surface) sequentially with 48 to form one loop!
  • tension rollers 52 are arranged at appropriate positions (two positions in the example shown in FIG. 4) on the side (outer peripheral surface) without having the teeth of the timing belt 46.
  • the support shaft of the tension roller 52 applies tension to the timing belt 46.
  • the flange 50 has a function of forcibly regulating the movement in the left-right direction so that the FOUP 8 transported on the roller conveyor 18 does not deviate from the force on the conveyor track.
  • a pair of in-stock sensors 25 determines whether the FOUP 8 is present and whether the FOUP 8 is in a proper position. If both of the pair of in-stock sensors 25 are in a state of being detected, the FOUP 8 determines that the vehicle is placed in a proper position, and one of the pair of in-stock sensors 25 If one of them is in the detection state, it is determined that the FOUP 8 is not placed at the proper position, and if neither of the pair of stock sensors 25 is in the detection state, it is determined that the FOUP 8 does not exist.
  • the presence / absence of the FOUP 8 in the in-stock sensor 25 and the determination as to whether or not the FOUP 8 is placed at the proper position are output to the turntable controller 7.
  • FIG. 5 is a block diagram showing the vertical transport controller of the vertical transport apparatus according to the present embodiment.
  • the vertical transfer controller 3 includes a turntable controller 7 for controlling the lifting conveyor 5 and a lifting controller 4 for controlling the cable bear 20.
  • the turntable controller 7 is connected to the system controller 2, the elevating controller 4, and the conveyor rail controllers 6 (1 to N floor conveyor rail controllers 6-1 to 6-N) on each floor, Signals are sent to and received from each controller connected to 7. Further, the turntable controller 7 stores data attached to the FOUP 8 (conveyance direction data of the turntable 17 unique to each floor, floor data on which the lifting controller 4 moves). Then, the turntable controller 7 receives the transport request from the system controller 2, and the current floor is the target floor (the floor on which the receiving rail is laid or the conveyor rail on which the cargo is delivered). ), And if it is on a different floor, sends a lift command to the lift controller 4.
  • the turntable controller 7 turns so that the turntable 17 coincides with the transport direction of the target conveyor rail (the compare rail that receives the cargo or the conveyor rail that delivers the cargo).
  • the turntable controller 7 receives the conveyor rail and lifting conveyor after receiving the target floor (the floor where the conveyor rail for receiving the cargo is laid or the floor where the conveyor rail for delivering the cargo is laid).
  • a driving command for driving the rollers of the conveyor rail is transmitted to the conveyor rail controller 6 on that floor, and the driving roller 47 of the elevating conveyor 5 is driven.
  • the lift controller 4 receives the lift command from the turntable controller 7 and receives the By reciprocating and circulating the bull bear 20 in the vertical direction, the lifting conveyor 5 is raised and lowered to the target floor (the floor on which the conveyor rail for receiving the cargo is laid or the floor on which the conveyor rail for delivering the cargo is laid), and the target floor (the cargo receiving) When it is confirmed that it has arrived at the port of the floor on which the conveyor rail to be laid or the floor on which the conveyor rail to be delivered is laid), a lift completion signal is transmitted to the turntable controller 7.
  • the transport request is issued from the system controller 2, the cargo is received at a certain floor, moved up and down to a certain floor (there may be the same floor), and then delivered to the vertical transport controller 3.
  • FIG. 6 is a flowchart showing a processing procedure of the turntable controller 7 of the vertical transfer controller 3 according to the present embodiment.
  • FIG. 7 is a flowchart showing a processing procedure of the lift controller 4 of the vertical transfer controller 3 according to this embodiment.
  • the turntable controller 7 determines whether there is a transfer request from the transfer system controller 2 at every predetermined time interval, and receives the transfer request from the transfer system controller 2 ( Step S1: YES), it is determined whether or not the current position is the receiving floor (Step S2).
  • step S2 If the current position is the receiving floor (step S2: YES), the elevator motor 4 is not transmitted to the elevator controller 4, and the drive motor 38 of the turntable 17 is driven to receive the turntable 17. Turn to match the conveying direction of the conveyor rail (step S3). On the other hand, if the current position is different from the receiving floor (step S2: NO), a lift command to the lifting floor 4 is sent to the lift controller 4 and at the same time the drive motor 38 of the turntable 17 is driven to turn the turntable 17 Rotate to match the conveying direction of the conveyor rail that receives the cargo (step S4).
  • step S5 when it arrives at the receiving floor and receives the lifting / lowering completion signal from the lifting / lowering controller 4 (step S5: YES), the roller conveyor 18 of the lifting / lowering conveyor 5 and the comparison conveyor for receiving the load are orbitally connected. In this state, it sends a drive command for the conveyor rail roller for receiving the cargo to the compare rail controller 6 on the floor where the conveyor rail to receive the cargo is laid, and also sets the drive motor 55 for the drive roller 47 of the elevating conveyor 5 Drive, FOUP8 Compare rail car that receives the cargo is transported to the lifting conveyor 5 to complete the loading (step S6). Note that when the FOUP 8 determines that both of the pair of stock sensors 25 on the lifting conveyor 5 are detected and the FOUP 8 is placed in the proper position, the receipt is completed.
  • step S6 When receiving is completed (step S6: YES), the elevator controller 4 sends an elevator command to the delivery floor, and simultaneously drives the drive motor 38 of the turntable 17 to deliver the turntable 17. Turn to match the conveyor rail transport direction (step S7).
  • step S8 when it arrives at the unloading floor and receives an elevating operation completion signal from the elevating controller 4 (step S8: YES), the roller conveyor 18 of the elevating conveyor 5 and the conveyor to be unloaded are orbitally connected. In this state, it sends a drive command for the rollers of the conveyor rail to be delivered to the compare rail controller 6 on the floor where the conveyor rail to be delivered is laid, and the drive motor for the drive roller 47 of the elevating conveyor 5 55 is driven, FOUP8 is transported from the lifting conveyor 5 to the conveyor rail to be delivered, and the receiving of the cargo is completed (step S9). The delivery is completed when it is determined that both of the pair of stock sensors 25 on the lifting conveyor 5 are not detected and the FOUP 8 does not exist.
  • the elevation controller 4 determines whether there is an elevation command from the turntable controller 7 at every predetermined time interval, and receives the elevation command from the turntable controller 7 ( Step S21: YES)
  • the elevator conveyor 5 is moved to the target floor on which the command is received (the floor on which the compare rail to receive the cargo is laid or the conveyor rail to deliver the cargo is Move up and down to the floor to be laid (step S22).
  • step S23 when it is confirmed that it has arrived at the port of the target floor (the floor on which the conveyor rail to receive the cargo is laid or the floor on which the conveyor rail to be delivered is laid) that has received the command (step S23 : YES), a lift operation completion signal is sent to the turntable controller 7 (step S24), and the lift operation is completed.
  • the load is loaded on the turntable 17 of the lifting conveyor 5 based on the transfer request from the system controller 2 to the FOUP 8.
  • the transport direction of the conveyor rail to receive and the conveyor rail to deliver is matched with the lifting device that moves up and down between the floors by placing FOUP 8 and the transport direction of the conveyor rail to receive the load on the turntable 17 and the conveyor rail to deliver
  • the roller conveyor 18 of the lifting conveyor 5 is made to coincide with the floor force at which the conveyor rail receiving the cable bear 20 is laid. In a transport system where conveyor rails in various transport directions are laid on the floor, transport efficiency between floors can be improved.
  • the production scale has been expanded and the manufacturing plant has been enlarged.
  • the number of production equipment has been increased and the scale of the transport system has been increased, so that the production process is configured across multiple floors. It is important to make it possible to efficiently transport between floors at a manufacturing plant that uses a transport system that transports loads between floors using a roller conveyor transport system.
  • the vertical conveyance device 1 according to the present invention By applying the vertical conveyance device 1 according to the present invention to the system, it is possible to improve the conveyance efficiency between layers.
  • the lifting device can be realized by a simple configuration of the cable bearer 20 installed in the lifting space 9, and a conveyor system of a conveyor transport system in which transport conveyors in various transport directions are laid on a plurality of floors. Therefore, it is possible to easily realize vertical conveyance between layers, particularly vertical conveyance between multiple layers.
  • the vertical transfer controller 3 automatically moves the conveyor rail that receives the cargo on the turntable 17 of the elevating conveyor 5 and the transfer direction of the conveyor rail that delivers the cargo based on the transfer request from the system controller 2 to the FOUP 8.
  • the lifting conveyor 5 can be lifted and lowered on the floor on which the conveyor rail to be delivered is laid. In a transport system where conveyor rails in various transport directions are laid on the floor, transport efficiency between floors can be further improved.
  • the present invention is not limited to the force described in the above-mentioned preferred embodiments. Various other embodiments may be made without departing from the spirit and scope of the invention. Furthermore, in this embodiment, the operation and effect of the configuration of the present invention are described. However, these operation and effect are examples, and do not limit the present invention. Yes. Further, the specific examples illustrate the configuration of the present invention and do not limit the present invention.
  • the elevating device is a cable bear 20 configured by the cable 20a installed in the elevating space 9 in which the elevating conveyor 5 as shown in Fig. 8 is coupled by the coupling member 20b.
  • a rail (elevating orbit) 60a is provided in the vertical direction in the elevating space 9 and a coupling member (supporting member) 60b that couples the elevating conveyor 5 is driven with a gear 60c and a gear 60c.
  • the configuration of the lifting device 60 such that a motor 60d is provided, the rail 60a and the gear 60c are engaged, and the gear 60c is driven by the motor 60d, so that the lifting conveyor 5 is vertically moved along the rail 60a. It may be.
  • the vertical conveyance device according to the above-described embodiment is assumed to be applied to a conveyance system using a roller conveyor, it is not limited thereto.
  • the vertical transfer device according to the above-described embodiment can be used for a transfer system using another transfer conveyor such as a belt conveyor or a chain conveyor, or a transfer system using a transfer method such as OHT or OHS.
  • the vertical transfer device according to the above-described embodiment is used in a transfer system using transfer methods such as OHT and OHS, the OHT and OHS ports installed adjacent to the OHT and OHS transfer tracks are connected. It is better to transport to each port 21 in Fig. 1.
  • OHS it is possible to deliver the object to be transported by OHS port and conveyor transport by configuring the loading platform as a conveyor.
  • the vertical transfer device of the present invention in the transfer direction of the transfer track that receives the cargo by the rotating device and the transfer track that delivers the load based on the transfer command for the object to be transferred from the upper transfer system.
  • Conveying conveyors at the same time and receiving the cargo with the lifting device From the floor on which the transport track is laid, the transport direction setting device can be raised and lowered to the floor on which the transport track to be unloaded is laid. In the transfer system where the transfer track is laid, the transfer efficiency between levels can be improved.

Abstract

　昇降コンベア５は、ターンテーブル１７とローラコンベア１８から構成される。ローラコンベア１８はターンテーブル１７上に支持され、ターンテーブルコントローラ７によりターンテーブル１７を旋回して荷受け又は荷渡しするコンベアレールの搬送方向とローラコンベア１８を一致させた上でコンベアレールとローラコンベア１８を駆動してＦＯＵＰ８を荷受け又は荷渡しする。昇降コンベア５は、ケーブルベア２０の結合部材２０ｂで昇降空間９内に設置されるケーブル２０ａに支持され、昇降コンベアコントローラ４によりケーブルベア２０の垂直方向の往復循環によりケーブルベア２０の動きに連動して各階に設置されたポート２１に昇降自在に停止する。

Description

垂直搬送装置
技術分野
[0001] 本発明は、複数階に敷設された複数の搬送軌道を接続し、被搬送物を垂直方向に 搬送する垂直搬送装置に関するものである。
背景技術
[0002] 半導体製造工場、液晶表示パネル製造工場等の製造工場では、製造過程の品物
(例えば、半導体製造工場の場合、半導体基板や液晶表示装置用ガラス基板、フォ トマスク用ガラス基板、光ディスク用基板等の処理対象物）を収納したキャリアを、搬 送コンベア、 OHT、 OHS等を用いた搬送システムにより、プロセスに従って、搬送す る。搬送システムを用いた製造工場では、生産規模の拡大、製造工場の大規模ィ匕が 図られ、これに伴い、製造装置台数の増加、搬送システムの規模拡大がなされ、製 造工程が複数の階にまたがって構成されている場合がある。そのような場合は、垂直 方向である階層間の搬送と、水平方向である同一階内の搬送とが行われる。
[0003] ここで、コンベア搬送方式を用いて階層間に荷を搬送する搬送システムにおいて、 垂直方向の搬送を行う従来技術として、例えば、特許文献 1及び特許文献 2に記載 されるコンベア機能を備えるリフタ等の垂直搬送装置がある。特許文献 1では、コンペ ァ機能付きリフタが開示されており、リフターコンベアは、 1, 2階部分の立体ループ 搬送装置の水平部に隣接した荷揚げ場に設置され 1, 2階を昇降し、ローラ搬送を実 施する。また、特許文献 2は、特許文献 1と類似する機能を有するリフタ付入出庫チェ 一ンコンベアが開示されて 、る。
[0004] また、コンベア搬送方式以外の搬送方式を用いて階層間に荷を搬送する搬送シス テムにおいて、垂直方向の搬送を行う従来技術としては、スタツカクレーン、移載装 置を装備したエレベータ、パンタグラフ方式の昇降装置等の垂直搬送装置がある。
[0005] 特許文献 1 :特開平 6— 239416号公報
特許文献 2：特開平 5 - 262407号公報
発明の開示 発明が解決しょうとする課題
[0006] ここで、近年、生産効率に対する要求が更に強まり、搬送システムにおいて搬送効 率の向上 (例えば、搬送時間の短縮)が求められている。特に、搬送能力が高ぐ高 V、生産効率を達成できるコンベア搬送方式を用いた搬送システムでは、階層間に荷 を搬送する垂直搬送装置についても、その搬送能力に調和させるために、階層間を 効率よく搬送可能とすることが重要になっている。し力しながら、先行技術の一例とし て前述した特許文献 1及び 2に係るコンベア機能を備えるリフタでは、いずれの場合 もリフタに装備されたコンベアの搬送方向は常に固定され、荷受けする階に敷設され るコンベアのコンベア搬送方向と、荷渡しする階に敷設されるコンベアのコンペァ搬 送方向は常に一致するよう固定されており、コンベア搬送方向を考慮した上で全て 統一した仕様で規制しな 、と搬送コンベア軌道のライン構築ができな 、と 、う問題を 有している。即ち、先行技術に係るリフタは、様々な搬送方向の搬送コンベア軌道を 有するコンベア搬送方式を用いた搬送システムに適用することができない、また、搬 送システムの規模拡大に伴う搬送コンベア軌道の搬送方向の変更に対応できな ヽと いう問題を有していた。また、垂直搬送装置に荷物を移載するための移載機 (移載口 ボットなど）を組み合わせることにより、複数階において様々な搬送方向の搬送コンペ ァ軌道を備える搬送システムに対応することができるが、移載機は搬送能力が低い ため、コンベア搬送方式の持つ高い搬送能力に調和することができず、非効率な搬 送システムになると 、う問題がある。
[0007] また、コンベア搬送方式以外の搬送方式を用いて階層間に荷を搬送する搬送シス テムにおける垂直搬送装置では、例えば、パンタグラフ方式の昇降装置は、昇降高 さに限界があり、多階層力もなる搬送システムには対応できない問題がある。また、ス タツカクレーンは高さ方向に制限のない昇降自在な搬送装置であるが、荷物の移載 には移載ロボットなどの移載機が必要となり、移載機の移載時間が階層間の搬送効 率を低下させる原因となるという問題がある。更に、従来技術の垂直搬送装置では、 移載装置を装備したエレベータでは移載装置を使用するため、荷の移載に時間を要 し、階層間の搬送効率の向上は得られない。
[0008] そこで、本発明は、複数階において様々な搬送方向の搬送軌道が敷設される搬送 システムにおいて、階層間の搬送効率を向上することができる垂直搬送装置を提供 するものである。
課題を解決するための手段
[0009] 本発明の第 1の側面に係る垂直搬送装置は、複数階に敷設された複数の搬送軌 道を接続し、被搬送物を垂直方向に搬送する垂直搬送装置であって、前記搬送軌 道のいずれかから搬送される被搬送物を載置すると共に当該被搬送物を前記搬送 軌道のいずれかに搬送することが可能な搬送コンベアと、前記搬送軌道の搬送方向 に合わせて当該搬送コンベアを旋回させる回転装置と、を備える搬送方向設定装置 と、前記複数階の搬送軌道間で、前記搬送方向設定装置を垂直方向に昇降させる 昇降装置と、被搬送物に対する搬送指令に基づいて、前記搬送方向設定装置と前 記昇降装置を制御する垂直搬送制御装置と、を備えることを特徴とする。
[0010] 更に、本発明の第 2の側面に係る垂直搬送装置は、前記垂直搬送制御装置が、被 搬送物を荷受けする際に、前記搬送方向設定装置を荷受けする搬送コンベアが敷 設される階に昇降するよう前記昇降装置を制御すると同時に前記搬送コンベアを荷 受けする前記搬送軌道の搬送方向と一致するよう前記回転装置を制御し、被搬送物 を荷渡しする際に、前記搬送方向設定装置を荷渡しする搬送コンベアが敷設される 階に昇降するよう前記昇降装置を制御すると同時に前記搬送コンベアを荷渡しする 前記搬送軌道の搬送方向と一致するよう前記回転装置を制御して良い。
[0011] また、本発明の第 3の側面に係る垂直搬送装置は、前記昇降装置が、前記搬送軌 道が敷設される複数階にまたがって垂直方向に設置される昇降軌道と、前記搬送方 向設定装置を前記昇降軌道に支持させる支持部材と、から構成され、前記昇降軌道 又は前記支持部材のいずれか一方が駆動することにより、前記搬送方向設定装置を 昇降させて良い。
[0012] 更に、本発明の第 4の側面に係る垂直搬送装置は、前記搬送軌道が、複数階から なる製造工場に敷設されたものであり、前記搬送軌道及び前記搬送コンベアが、口 一ラコンベア力 構成されて良 、。
発明の効果
[0013] 前記本発明の第 1の側面によれば、上位の搬送システム力 の被搬送物に対する 搬送指令に基づ!ヽて、回転装置で荷受けする搬送軌道及び荷渡しする搬送軌道の 搬送方向に搬送コンベアを一致させると同時に、昇降装置で荷受けする搬送軌道が 敷設される階から荷渡しする搬送軌道が敷設される階に搬送方向設定装置を昇降 することができ、複数階において様々な搬送方向の搬送軌道が敷設される搬送シス テムにおいて、階層間の搬送効率を向上することができる。
[0014] 本発明の第 2の側面に係る垂直搬送制御装置によれば、上位の搬送システムから の被搬送物に対する搬送指令に基づいて、自動的に、回転装置で荷受けする搬送 軌道及び荷渡しする搬送軌道の搬送方向に搬送コンベアを一致させるとともに、昇 降装置で荷受けする搬送軌道が敷設される階から荷渡しする搬送軌道が敷設される 階に搬送方向設定装置を昇降することができ、複数階において様々な搬送方向の 搬送軌道が敷設される搬送システムにおいて、階層間の搬送効率をより向上すること ができる。
[0015] 本発明の第 3の側面によれば、簡易な構成により昇降装置を実現することができ、 複数階において様々な搬送方向の搬送軌道が敷設される搬送システムにおいて、 階層間の垂直方向の搬送、特に多階層間の垂直方向の搬送をも容易に実現するこ とがでさる。
[0016] 本発明の第 4の側面によれば、特に、生産規模の拡大、製造工場の大規模化が図 られ、これに伴い、製造装置台数の増加、搬送システムの規模拡大がなされ、製造 工程が複数の階にまたがって構成されて 、る搬送システムを用いた製造工場にぉ ヽ て、階層間を効率よく搬送可能とすることが重要になっているローラコンベア搬送方 式を用いた階層間に荷を搬送する搬送システムに本発明に係る垂直搬送装置を適 用することにより、階層間の搬送効率の向上を実現することができる。
[0017] なお、本発明において、搬送軌道とは、コンベア搬送方式を採用する搬送システム の搬送コンベア軌道の他、 OHS、 OHT等の搬送方式を採用する搬送システムの搬 送軌道を含むものである。また、搬送コンベアとは、ローラコンベア、チェーンコンペ ァの他、ベルトコンベア等を含むものである。
図面の簡単な説明
[0018] [図 1]本実施形態に係る垂直搬送装置を示す斜視図である。 圆 2]本実施形態に係る FOUPを搭載した垂直搬送装置のターンテーブルを示す一 部断面を含む正面図である。
圆 3]本実施形態に係る垂直搬送装置のターンテーブルの旋回位置決め駆動原理 を説明する A— A '断面図である。
圆 4]本実施形態に係る垂直搬送装置のローラコンベアの駆動原理を説明する正面 図である。
圆 5]本実施形態に係る垂直搬送装置の垂直搬送コントローラを示すブロック図であ る。
[図 6]本実施形態に係る垂直搬送コントローラのターンテーブルコントローラの処理の 手順を示したフローチャートである。
圆 7]本実施形態に係る垂直搬送コントローラの昇降コントローラの処理の手順を示 したフローチャートである。
圆 8]本実施形態に係る垂直搬送装置のケーブルベアを示す一部断面を含む正面 図である。
[図 9]他の実施形態に係る垂直搬送装置のケーブルベアを示す一部断面を含む正 面図である。
符号の説明
1 垂直搬送装置
3 垂直搬送コントローラ (垂直搬送制御装置)
4 昇降コントローラ
5 昇降コンベア (搬送方向設定装置）
7 ターンテープノレコントローラ
8 FOUP (被搬送物）
10- 1〜： L0— 3 コンベアレール (搬送軌道）
11 - 1〜： L 1— 3 コンベアレール (搬送軌道）
12- 1〜12— 2 コンベアレール (搬送軌道）
13 コンベアレール (搬送軌道）
17 ターンテーブル（回転装置） 18 ローラコンベア（搬送コンベア）
20 ケーブルベア（昇降装置）
20a ケーブル (昇降軌道）
20b 結合部材 (支持部材）
発明を実施するための最良の形態
[0020] 以下、図面を参照しつつ、本発明に係る垂直搬送装置を実施するための最良の形 態について具体的な一例に即して説明する。尚、本実施形態においては、製造工程 が複数の階にまたがって構成されている半導体製造工場において、複数階に敷設さ れるローラコンベアを用 、た搬送システムに適用する場合を想定する。
[0021] 本実施形態に係る垂直搬送装置について、図 1に基づいて以下に説明する。図 1 は、本実施形態に係る垂直搬送装置を示す斜視図である。
[0022] 図 1に示すように、垂直搬送装置 1は、昇降コンベア (搬送方向設定装置） 5と、ケー ブルベア（昇降装置） 20と、昇降コントローラ 4及びターンテーブルコントローラ 7 (図 2 )とからなる垂直搬送コントローラ (垂直搬送制御装置） 3と、力も構成される。尚、図 1 中のシステムコントローラ 2は、搬送システム全体を制御するコントローラであり、被搬 送物である FOUP8に対する搬送指令を出すものである。
[0023] 昇降コンベア 5は、 4層階を貫き外壁 22で区切られた昇降空間 9に設置される。そ して、昇降空間 9には、各階毎にポート 21— 1〜21— 4が設置され、各階のポート 21 — 1〜 21— 4には、それぞれ 1つ又は複数のコンベアレール (搬送軌道）が接続設置 されている。図 1に示す例では、 1階において 3つのコンベアレール（コンベアレール 10- 1,コンベアレール 11— 1、コンベアレール 12—1)がポート 21— 1で接続設置 され、 2階において 3つのコンベアレール（コンベアレール 10— 2、コンベアレール 11 —2、コンベアレール 12— 2)がポート 21— 2で接続設置され、 3階において 2つのコ ンベアレール（コンベアレール 10— 3、コンベアレール 11— 3)がポート 21— 3で接続 設置され、更には、 4階において 1つのコンベアレール（コンベアレール 13)がポート 21— 4で接続設置されている。尚、 1〜4階の各階のコンベアレールには、各階のコ ンベアレールに対応したコンベアレールコントローラ 6— 1, 6- 2, 6- 3, 6—4が設 置される。 [0024] ここで、本実施形態に係るケーブルベア 20について図 8に基づいて、詳細に説明 する。図 8は、本実施形態に係る垂直搬送装置のケーブルベアを示す一部断面を含 む正面図である。ケーブルベア 20は、ケーブル (昇降軌道） 20aと、結合部材 (支持 部材） 20bとから構成されている。そして、昇降コンベア 5は、例えば、図 8に示すよう な結合部材 20bで、昇降空間 9内に設置されるケーブル 20aに支持され、昇降コン ベアコントローラ 4の制御下で、ケーブルベア 20 (即ち、ケーブル 20a)の垂直方向へ の往復循環によりケーブルベア 20 (即ち、ケーブル 20a)の動きに連動して、 1〜4の 各階に設置されたポート 21に昇降自在に停止する。
[0025] ここで、本実施形態に係る昇降コンベア 5について図 2〜図 4に基づいて、詳細に 説明する。図 2は、本実施形態に係る FOUPを搭載した垂直搬送装置のターンテー ブルを示す一部断面を含む正面図である。図 3は、本実施形態に係る垂直搬送装置 のターンテーブルの旋回位置決め駆動原理を説明する A— A '断面図である。図 4は 、本実施形態に係る垂直搬送装置のローラコンベアの駆動原理を説明する正面図 である。
[0026] 昇降コンベア 5は、図 2に示すように、ターンテーブル（回転装置） 17と、ローラコン ベア（搬送コンベア） 18と力 構成されている。ここで、ローラコンベア 18は、ターンテ 一ブル 17を構成するテーブル 41に支持される。そして、テーブル 41は、支持部材 3 3により旋回軸 35に支持され、旋回軸 35は軸受け 36を介してリフタ枠 16に固定され る。また、旋回軸 35にはプーリ 34が軸止され、タイミングベルト 37を介し駆動モータ 3 8の回転軸 40に軸止されたプーリ 39に連結され、駆動モータ 38の駆動のより正逆回 転する。そして、リフタ枠 16内にはターンテーブルコントローラ 7が設置され、後述す るフォトセンサ 45及びドグ 30で検出したテーブル 41の回転方向に基づいて、後述す るシステムコントローラ 2からの搬送指令に基づいて、駆動モータ 38を駆動させてテ 一ブル 41を旋回させる。尚、昇降コンベア 5に備えられる搬送コンベアは、ローラコン ベア 18に限らず、チェーンコンベア、ベルトコンベア等であっても良い。
[0027] ここで、昇降コンベア 5を構成するターンテーブル 17の旋回位置決め機構及びそ の駆動原理について、図 2及び図 3に基づいて説明する。図 2に示すように、リフタ枠 16の上部端面には受光素子 31と発光素子 32が対となって構成されるフォトセンサ 4 5が、テーブル 41の下面に設置されたドグ 30を挟んだ状態で設置される。このうちフ オトセンサ 45とドグ 30は、ターンテーブル 17、即ちテーブル 41の回転方向を検出し 、ローラコンベアの搬送方向を決定するために設置されるものである。図 3に示すよう に、ターンテーブル 17の旋回位置決め機構は 4つのドグ検出センサ 45a、 45b、 45c 、 45d、補助ドグ検出センサ 45eと、ドグ 30と力も構成される。ドグ 30は、テープノレ 41 の回転位置認識手段であって、テーブル 41の外周に沿ってテーブル 41上に湾曲さ せて設置された平板である。尚、ドグ 30は、テーブル 41の半周より僅か〖こ短い範囲 をカバーする長さで形成される。 4つのドグ検出センサ 45a、 45b、 45c、 45dは、リフ タ枠 16の上面円周縁部であって、回転軸 52を中心として中心角を 4等分する各分 割線の延長線上に、発光素子 31と受光素子 32とでドグ 30を挟んで固定設置される 。また、補助ドグ検出センサ 45eは、ドグ検出センサ 45aより時計回り方向に中心角 Θ だけ離れたリフタ枠 16の上面円周縁部に固定設置される。ここに、ドグ検出センサ 4 5aは 90° 位置センサ、ドグ検出センサ 45bは 0° 位置センサ、ドグ検出センサ 45 cは + 90° 位置センサ、ドグ検出センサ 45dは + 180° 位置センサ、ドグ検出センサ 45eはオーバ位置判別センサと呼ぶ。補助ドグ検出センサ 45eは、 + 180°ォーノ位 置と、—90° オーバ位置を判別するために設置されている。テーブル 41の回転位 置はドグ 30の中心位置で判断され、例えば、図 3ではドグ 30の中心は 0° の位置に あり、テーブル 41は 0° 位置にあると言う。尚、テーブル 41の停止位置は、ドグ 30の 中心位置が 0° 、 + 90° , + 180° , —90° の 4箇所に限定される。以上により、テ 一ブル 41の回転位置は、検出センサ 45a、 45b、 45c、 45dと補助ドグ検出センサ 45 eの合計 5個のフォトセンサ 45による、ドグ 30の検出の有無の組合せにより認識でき る。また、テーブル 41の回転には時計回り方向と反時計回り方向の 2方向がある。回 転は 0° の位置が原点となり、 90° 位置に位置合せする場合は原点から時計回り 方向に回転させ、 + 90° と + 180° の位置に位置合せする場合は原点から反計回 り方向にテーブル 41を回転させる。そして、フォトセンサ 45及びドグ 30で検出したテ 一ブル 41の回転位置に基づ!/、て、システムコントローラ 2からの搬送指令に基づ 、て ターンテーブルコントローラ 7から出力される旋回指令により、駆動モータ 38を駆動さ せてテーブル 41を旋回させる。尚、上述したターンテーブル 17の旋回位置決め機 構は、ローラコンベアの搬送方向の決定のみならず、電源投入時に実施するテープ ル位置初期化に於ける、ターンテーブル位置検出も行う。また、ターンテーブル 17の 旋回位置決め機構は、上述の構成に限らず、ターンテーブル 17の回転位置に基づ Vヽて、ターンテーブル 17を所定の方向に旋回することができる機構であれば良 、。
[0028] 次に、昇降コンベア 5を構成するローラコンベア 18の説明を、図 2及び図 4に基づ いて行う。ローラコンベア 18は、ターンテーブル 17上に支持され、ローラ支持フレー ム 29、ローラ 27、ローラ軸 28から構成される。そして、ローラ 27はフレーム 29の両側 に設けられ、一方の側に設けられる駆動機構を有する駆動ローラ 47と、他方の側に 設けられる駆動機構を有せず回転自在な従動ローラ 44と、で構成される。駆動ロー ラ 47は、図 4に示すように、 5個のローラ 27により 1ブロックで構成される。そして、駆 動ローラ 47は、ローラコンベア 18のローラ支持フレーム 29に対してローラ軸 28が回 動自在に支持され、ローラ軸 28には荷受け部 49と鍔部 50がー体に設けられ、荷受 け部 49の外周にはウレタンゴム 51が挿入される。また、ローラ軸 28には歯付プーリ 4 8が挿入され、駆動モータ 53の駆動軸 55には、スプロケット 54が固定され、当該スプ ロケット 54は、一連のローラ 27に固定されたスプロケット 48と同一垂直平面に配置さ れている。また、タイミングベルト 46は、ローラ 27の駆動源となる駆動モータ 53のスプ ロケット 54及び直線状に並ぶ一連のローラ 27のそれぞれに設けた複数個（図 4に示 す例では 5個）のスプロケット 48に対して順次歯部側（内周面）を係合し、 1ループを 形成して!/、る。そして、タイミングベルト 46の歯部を有しな 、側（外周面）の適所（図 4 に示す例では 2箇所）には、テンションローラ 52が配置されている。尚、テンション口 ーラ 52の支持軸は、タイミングベルト 46に張力を与えている。また、鍔部 50はローラ コンベア 18上を輸送される FOUP8がコンベア軌道上力も逸脱しないよう左右方向 の動きを強制的に規正する機能を担う。
[0029] また、ローラコンベア 18のローラ支持フレーム 29には 1対のセンサ支持部材 26が 取り付けられ、 1対のセンサ支持部材 26上には、それぞれ、在荷センサ 25が設置さ れる。 1対の在荷センサ 25は FOUP8の存在の有無と、 FOUP8が正規の位置に搭 置されているかどうかの判定を行う。 1対の在荷センサ 25の双方が検出する状態にあ れば FOUP8は正規の位置に搭置されていると判断し、 1対の在荷センサ 25のいず れか一方が検出する状態にあれば FOUP8は正規の位置に搭置されていないと判 断し、 1対の在荷センサ 25の双方が検出しない状態にあれば FOUP8は存在しない と判断する。尚、在荷センサ 25における FOUP8の存在の有無と、 FOUP8が正規 の位置に搭置されているかどうかの判定は、ターンテーブルコントローラ 7に出力され る。
[0030] 次に、昇降コンベア 5及びケーブルベア 20を制御する垂直搬送コントローラ 3の動 作説明を、図 5に基づいて行う。図 5は、本実施形態に係る垂直搬送装置の垂直搬 送コントローラを示すブロック図である。図 5に示すように、垂直搬送コントローラ 3は、 昇降コンベア 5を制御するためのターンテーブルコントローラ 7と、ケーブルベア 20を 制御するための昇降コントローラ 4と、から構成される。
[0031] ターンテーブルコントローラ 7は、システムコントローラ 2と、昇降コントローラ 4と、各 階のコンベアレールコントローラ 6 (1〜N階コンベアレールコントローラ 6— 1〜6—N )とに接続され、ターンテーブルコントローラ 7と接続される各コントローラとの間で信 号の送受信が行われる。また、ターンテーブルコントローラ 7は、 FOUP8に付属する データ（各階毎に固有なターンテーブル 17の搬送方向データ、昇降コントローラ 4が 移動する階データ）を記憶する。そして、ターンテーブルコントローラ 7は、システムコ ントローラ 2からの搬送要求を受信して、現在の階が目標の階 (荷受けするコンペァレ ールが敷設される階或いは荷渡しするコンベアレールが敷設される階)であるかを判 断して、異なる階である場合は昇降コントローラ 4に対して昇降指令を送信する。同 時に、ターンテーブルコントローラ 7は、ターンテーブル 17を目標のコンベアレール（ 荷受けするコンペアレール或 、は荷渡しするコンベアレール）の搬送方向に一致さ せるように旋回する。また、ターンテーブルコントローラ 7は、目標の階 (荷受けするコ ンベアレールが敷設される階或 、は荷渡しするコンベアレールが敷設される階）に到 着後、荷受け或いは荷渡しするコンベアレールと昇降コンベア 5とのローラコンベア 1 8を軌道連結させた状態で、その階のコンベアレールコントローラ 6に対してコンベア レールのローラの駆動指令を送信すると共に、昇降コンベア 5の駆動ローラ 47を駆 動させる。
[0032] 昇降コントローラ 4は、ターンテーブルコントローラ 7からの昇降指令を受信してケー ブルベア 20を垂直方向に往復循環させることにより昇降コンベア 5を目標の階 (荷受 けするコンベアレールが敷設される階或いは荷渡しするコンベアレールが敷設される 階）に昇降させ、目標の階 (荷受けするコンベアレールが敷設される階或いは荷渡し するコンベアレールが敷設される階)のポートに到着したことを確認すると、昇降動作 完了信号をターンテーブルコントローラ 7に送信する。
[0033] ここで、システムコントローラ 2から搬送要求が出され、ある階にて荷受けし、ある階（ 同一階の場合もある）まで昇降し、荷渡しするまでの垂直搬送コントローラ 3の処理の 手順について、図 6及び図 7に基づいて説明する。図 6は、本実施形態に係る垂直 搬送コントローラ 3のターンテーブルコントローラ 7の処理の手順を示したフローチヤ ートである。図 7は、本実施形態に係る垂直搬送コントローラ 3の昇降コントローラ 4の 処理の手順を示したフローチャートである。
[0034] まず、ターンテーブルコントローラ 7の処理の手順について、図 6に基づいて説明す る。図 6に示すように、まず、ターンテーブルコントローラ 7は、所定の時間間隔毎に、 搬送システムコントローラ 2からの搬送要求があるかどうか判断し、搬送システムコント ローラ 2からの搬送要求を受信すると (ステップ S1： YES)、現在位置が荷受け階であ る力否かの判断を行う（ステップ S2)。
[0035] そして、現在位置が荷受け階の場合は (ステップ S2 : YES)、昇降コントローラ 4に 対して昇降指令を送信せず、ターンテーブル 17の駆動モータ 38を駆動させてター ンテーブル 17を荷受けするコンベアレールの搬送方向に一致させるように旋回する（ ステップ S3)。一方、現在位置が荷受け階と異なる場合は (ステップ S2 : NO)、昇降 コントローラ 4に対して荷受け階までの昇降指令を送信すると同時に、ターンテープ ル 17の駆動モータ 38を駆動させてターンテーブル 17を荷受けするコンベアレール の搬送方向に一致させるように旋回する (ステップ S4)。
[0036] 次 、で、荷受け階に到着して昇降コントローラ 4から昇降動作完了信号を受信する と（ステップ S5 : YES)、昇降コンベア 5のローラコンベア 18と、荷受けするコンペァレ 一ルとを軌道連結させた状態で、荷受けするコンベアレールが敷設される階のコンペ アレールコントローラ 6に対して荷受けするコンベアレールのローラの駆動指令を送 信すると共に、昇降コンベア 5の駆動ローラ 47の駆動モータ 55を駆動させ、 FOUP8 を荷受けするコンペアレールカ 昇降コンベア 5上まで輸送し、荷受けを完了させる（ ステップ S6)。尚、昇降コンベア 5上の 1対の在荷センサ 25の双方が検出する状態に あり FOUP8は正規の位置に搭置されていると判断した場合に、荷受けが完了する。
[0037] 荷受けが完了すると (ステップ S6： YES)、昇降コントローラ 4に対して荷渡し階まで の昇降指令を送信すると同時に、ターンテーブル 17の駆動モータ 38を駆動させてタ ーンテーブル 17を荷渡しするコンベアレールの搬送方向に一致させるように旋回す る（ステップ S 7)。
[0038] 次いで、荷渡し階に到着して昇降コントローラ 4から昇降動作完了信号を受信する と（ステップ S8 : YES)、昇降コンベア 5のローラコンベア 18と、荷渡しするコンペァレ 一ルとを軌道連結させた状態で、荷渡しするコンベアレールが敷設される階のコンペ アレールコントローラ 6に対して荷渡しするコンベアレールのローラの駆動指令を送 信すると共に、昇降コンベア 5の駆動ローラ 47の駆動モータ 55を駆動させ、 FOUP8 を昇降コンベア 5から荷渡しするコンベアレール上まで輸送し、荷受けを完了させる（ ステップ S9)。尚、昇降コンベア 5上の 1対の在荷センサ 25の双方が検出しない状態 にあり FOUP8は存在しないと判断した場合に、荷渡しが完了する。
[0039] 次に、昇降コントローラ 4の処理の手順について、図 7に基づいて説明する。図 7に 示すように、まず、昇降コントローラ 4は、所定の時間間隔毎に、ターンテーブルコント ローラ 7からの昇降指令があるかどうか判断し、ターンテーブルコントローラ 7からの昇 降指令を受信すると (ステップ S 21： YES)、ケーブルベア 20を垂直方向に往復循環 させることにより、昇降コンベア 5を、指令を受けた目標の階 (荷受けするコンペアレー ルが敷設される階或いは荷渡しするコンベアレールが敷設される階）に昇降させる（ ステップ S22)。
[0040] そして、指令を受けた目標の階 (荷受けするコンベアレールが敷設される階或!、は 荷渡しするコンベアレールが敷設される階)のポートに到着したことを確認すると (ス テツプ S23 :YES)、昇降動作完了信号をターンテーブルコントローラ 7に送信し (ス テツプ S24)、昇降動作完了となる。
[0041] このように、本実施形態に係る垂直搬送装置 1によると、システムコントローラ 2から の FOUP8に対する搬送要求に基づいて、昇降コンベア 5のターンテーブル 17で荷 受けするコンベアレール及び荷渡しするコンベアレールの搬送方向に、 FOUP8を 載置して階層間を昇降する昇降装置を合わせるとともに、ターンテーブル 17で荷受 けするコンベアレール及び荷渡しするコンベアレールの搬送方向に昇降コンベア 5 のローラコンベア 18を一致させると同時に、ケーブルベア 20で荷受けするコンベア レールが敷設される階力 荷渡しするコンベアレールが敷設される階に昇降コンベア 5を昇降することができ、複数階において様々な搬送方向のコンベアレールが敷設さ れる搬送システムにおいて、階層間の搬送効率を向上することができる。
[0042] 特に、生産規模の拡大、製造工場の大規模化が図られ、これに伴い、製造装置台 数の増加、搬送システムの規模拡大がなされ、製造工程が複数の階にまたがって構 成されて!/ヽる搬送システムを用いた製造工場にぉ ヽて、階層間を効率よく搬送可能 とすることが重要になっているローラコンベア搬送方式を用いた階層間に荷を搬送す る搬送システムに本発明に係る垂直搬送装置 1を適用することにより、階層間の搬送 効率の向上を実現することができる。
[0043] また、昇降空間 9内に設置されるケーブルベア 20という簡易な構成により昇降装置 を実現することができ、複数階において様々な搬送方向の搬送コンベアが敷設され るコンベア搬送方式の搬送システムにおいて、階層間の垂直方向の搬送、特に多階 層間の垂直方向の搬送をも容易に実現することができる。
[0044] また、垂直搬送コントローラ 3により、システムコントローラ 2からの FOUP8に対する 搬送要求に基づいて、自動的に、昇降コンベア 5のターンテーブル 17で荷受けする コンベアレール及び荷渡しするコンベアレールの搬送方向に、昇降コンベア 5のロー ラコンベア 18を合わせるとともに、ケーブルベア 20で荷受けするコンベアレールが敷 設される階力 荷渡しするコンベアレールが敷設される階に昇降コンベア 5を昇降す ることができ、複数階において様々な搬送方向のコンベアレールが敷設される搬送 システムにおいて、階層間の搬送効率をより向上することができる。
[0045] 以上、本発明は、上記の好ましい実施形態に記載されている力 本発明はそれだ けに制限されな 、。本発明の精神と範囲力も逸脱することのな 、様々な実施形態が 他になされる。さらに、本実施形態において、本発明の構成による作用および効果を 述べているが、これら作用および効果は、一例であり、本発明を限定するものではな い。また、具体例は、本発明の構成を例示したものであり、本発明を限定するもので はない。
[0046] 例えば、上述の実施形態では、昇降装置を、図 8に示すような昇降コンベア 5を結 合部材 20bで結合した昇降空間 9内に設置されるケーブル 20aで構成されるケープ ルベア 20で実現しているがそれに限らない。例えば、図 9に示すように、昇降空間内 9の垂直方向にレール (昇降軌道） 60aを設けると共に、昇降コンベア 5を結合する結 合部材 (支持部材） 60bにギア 60c及びギア 60cを駆動させるモータ 60dを設け、当 該レール 60aとギア 60cをかみ合わせ、モータ 60dによりギア 60cを駆動させることに より、レール 60aに沿って、昇降コンベア 5を垂直方向に昇降させるような昇降装置 6 0の構成であっても良い。
[0047] また、上述の実施形態に係る垂直搬送装置は、ローラコンベアを用いた搬送システ ムに適用する場合を想定しているが、それに限らない。例えば、上述の実施形態に 係る垂直搬送装置を、ベルトコンベア、チェーンコンベア等の他の搬送コンベアを用 いた搬送システムや、 OHT、 OHS等の搬送方式を用いた搬送システムに用いること もできる。ここで、 OHT、 OHS等の搬送方式を用いた搬送システムに上述の実施形 態に係る垂直搬送装置を用いる場合は、 OHT、 OHSの搬送軌道から、隣接設置し た OHT、 OHS用のポートを介して図 1における各ポート 21に搬送するようにすると 良い。尚、 OHSの場合は、更に、荷台をコンベア構成とすることにより、 OHS用のポ ートとコンベア搬送で被搬送物を受け渡しが可能になる。
[0048] 本出願は、 2005年 12月 16日出願の日本特許出願 (特願 2005— 362757)に基づくも のであり、その内容はここに参照として取り込まれる。
産業上の利用可能性
[0049] 上述の如ぐ本発明の垂直搬送装置によれば、上位の搬送システムからの被搬送 物に対する搬送指令に基づいて、回転装置で荷受けする搬送軌道及び荷渡しする 搬送軌道の搬送方向に搬送コンベアを一致させると同時に、昇降装置で荷受けする 搬送軌道が敷設される階から荷渡しする搬送軌道が敷設される階に搬送方向設定 装置を昇降することができ、複数階において様々な搬送方向の搬送軌道が敷設され る搬送システムにおいて、階層間の搬送効率を向上することができる。

Claims

請求の範囲
[1] 複数階に敷設された複数の搬送軌道を接続し、被搬送物を垂直方向に搬送する 垂直搬送装置であって、
前記搬送軌道のいずれかから搬送される被搬送物を載置すると共に当該被搬送 物を前記搬送軌道のいずれかに搬送することが可能な搬送コンベアと、前記搬送軌 道の搬送方向に合わせて当該搬送コンベアを旋回させる回転装置と、を備える搬送 方向設定装置と、
前記複数階の搬送軌道問で、前記搬送方向設定装置を垂直方向に昇降させる昇 降装置と、
被搬送物に対する搬送指令に基づいて、前記搬送方向設定装置と前記昇降装置 を制御する垂直搬送制御装置と、を備えることを特徴とする垂直搬送装置。
[2] 前記垂直搬送制御装置が、
被搬送物を荷受けする際に、前記搬送方向設定装置を荷受けする搬送コンベアが 敷設される階に昇降するよう前記昇降装置を制御すると同時に前記搬送コンベアを 荷受けする前記搬送軌道の搬送方向と一致するよう前記回転装置を制御し、 被搬送物を荷渡しする際に、前記搬送方向設定装置を荷渡しする搬送コンベアが 敷設される階に昇降するよう前記昇降装置を制御すると同時に前記搬送コンベアを 荷渡しする前記搬送軌道の搬送方向と一致するよう前記回転装置を制御することを 特徴とする請求項 1に記載の垂直搬送装置。
[3] 前記昇降装置が、
前記搬送軌道が敷設される複数階にまたがって垂直方向に設置される昇降軌道と 前記搬送方向設定装置を前記昇降軌道に支持させる支持部材と、
から構成され、前記昇降軌道又は前記支持部材のいずれか一方が駆動することに より、前記搬送方向設定装置を昇降させることを特徴とする請求項 1又は 2に記載の 垂直搬送装置。
[4] 前記搬送軌道が、複数階力 なる製造工場に敷設されたものであり、
前記搬送軌道及び前記搬送コンベアが、ローラコンベア力 構成されることを特徴 とする請求項 1〜3のいずれか一項に記載の垂直搬送装置。
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