A reticle assembly includes a reticle with a reticle plate. A radio frequency device is positioned on the reticle for providing information regarding the reticle to a reader by radio frequency. ...http://www.google.es/patents/US20040185682?utm_source=gb-gplus-sharePatente US20040185682 - Reticle tracking and cleaning
Número de solicitud: 10/635,231 Número de publicación: US 2004/0185682 A1 Fecha de presentación: 6 Ago 2003 Patente emitida: US6974782 ( Fecha de emisión 13 Dic 2005)
